KR940006205A - 세정용 브러시를 가지는 기판세정장치 및 기판 세정방법 - Google Patents

Abstract

기관세정장치는. LCD용 유리기판의 양면을 브러시 세정하기 위한 상하 브러시 부재를 가지는 브러시 세정기구와, 상하 브러시 부재의 각각을 회전시키는 회전기구와, 상하 브러시 부재의 각각에 순수한 물을 공급하는 세정액 공급기구와. 기판을 상하 브러시 부재 상호간에 반송하며. 상하브러시 부재의 상호간 위치로서 기판을 반송방향으로 왕복운동시키는 반송기구와, 상기 반송수단의 동작을 제어하는 콘트롤러를 가진다.

Description

세정용 브러시를 가지는 기판세정장치 및 기판세정방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제 1도는 LCD용 유리기판을 브러시로 세정하는 세정 처리장치를 포함하는 레지스트 처리시스템을 나타내는 사시도,

제2도는 제1실시에에 관한 기판 세정 처리 장치의 개요를 나타내는 정면 레이아우트도,

제3도는 세정처리장치의 개요를 나타내는 평면 레이아우트도,

제4도는 LCD용 유리기판을 반송하는 기구를 나타내는 사시도,

제5도는 기판반송기구를 기판의 반송방향에서 보고 나타내는 부분단면도.

제7도는 기판반송기구를 위에서 보고 나타내는 평 면도

Claims (18)

1. 기판(4)의 양면을 브러시 세정하기 위한 상하브러시 부재를 가지는 브러시 세정수단과, 상기 상하 브러시 부재의 각각을 회전시키는 수단과, 상기 상하 브러시 부재의 각각의 세정액을 공급하는 수단과, 기판을 상기 상하브러시 부재 상호간에 반송하며, 상기 상하 브러시 부재의 상호간 위치로서 기판을 반송방향으로 왕복운동시키는 반송수단과, 상기 반송수단의 동작을 제어하는 수단을 가지는 기판세정장치.
2. 제1항에 있어서, 기판(4)에 고압수를 제트(jet)하는 노즐수단을 가지는 것을 더욱 포함하는 기판세정장치.
3. 제2항에 있어서. 물(水)제트의 입력은 100∼150kg/㎠인 기판세정장치.
4. 제1항에 있어서, 기판(4)에 초음파 수류(水流)를 뿌리는 노즐수단을 가지는 것을 더욱 포함하는 기판세정장치.
5. 제4항에 있어서, 수류에 인가되는 초음파는 주파수 1±0.2MHz인 기판세정장치.
6. 제1항에 있어서, 기판(4)에 다량의 린스액을 공급하는 노즐수단을 가지는 것을 더욱 포함하는 기판세정장치.
7. 제7항에 있어서, 린스액의 유량은 2∼17ℓ/분이고, 그 공급압력은 10∼20kg/㎠인 기관세정장치.
8. 제1항에 있어서, 반송수단은 벨트구동되는 1쌍의 유지아암을 가지는 기판세정장치.
9. 제1항에 있어서, 세정공급수단의 통로가 각 브러시 부재의 중앙에 뚫려 있는 기판세정장치.
10. 제1항에 있어서, 상 브러시 부재(35)의 그룹과 하 브러시 부재(36)외 그룹은, 수평면내에서 서로 다르게 나란하게 있는 기판세정장치.
11. 기판의 양면을 브러시 세정하기 위한 상하브러시 부재를 가지는 브러시 세정수단과, 상기 상하 브러시 부재의 각각을 회전시키는 수단과, 상기 상하 브러시 부재의 각각에 세정액을 공급하는 수단과, 상기 상 브러시 부재 상호간에 설치된 상 로울러(72) 및 상기 하 브러시 부재의 상호간에 설치된 하 로울러(71)를 가지며, 이들 상하 로울러(72)(71)에 의하여 기판(4)을 상기 상하 브러시 부재의 상호간에 반송하는 반송수단과, 상기 반송수단으로 부터 기판(4)을 받아 들이고, 기판(4)을 유지하며, 상승하는 리프트 호울더 수단(77)과, 상기 리프트 호울더 수단977)에 의하여 기초판이 실리어 옮겨지며, 기판(4)에 세정액을 공급하는 스테이지 수단을 가지는 기판세정장치.
12. 제11항에 있어서, 리프트 호울더 수단(77)은, 기판(4)의 테두리면부를 흡착유지하는 흡착유지 기구를 가지는 기판세정장치.
13. 기판(4)을 브러시 세정수단의 위치로 반송하며, 기판(4)의 반송중에 기판(4)의 양면에 세정액을 뿌리면서 상기 브러시 세정수단에 의하여 기판(4)의 양면을 브러시 세정하고, 기판(4)에 린스액을 뿌려서 린싱하며, 기판(4)을 회전시켜 부착액을 기판(4)으로부터 원심분리에 의하여 제거하는 것에 의하여 기판(4)을 드라이한 상태로 하는 기판 세정방법.
14. 제13항에 있어서, 10∼20kg/㎠의 압력으로 가압한 린스액을 기판(4)에 뿌리는 기판세정방법.
15. 제13항에 있어서, 브러시 세정후에 고압수를 기관(4)에 제트하는 것을 더욱 포함하는 기판세정방법.
16. 제13항에 있어서, 브러시 세정후에 초음파가 인가된 수류를 기판(4)에 뿌리는 것을 더욱 포함하는 기판세정방법.
17. 제13항에 있어서, 브러시 세정후에 기판(4)에 고압수를 기판(4)에 제트함과 동시 에, 초음파가 인가된 수류를 뿌리는 것을 더욱 포함하는 기판세정방법.
18. 제13항에 있어서, 세정하지 않을시에, 상기 브러시 세정수단으로 부터 기판 (4)에 세정액을 뿌려서 기관(4)을 세정하는 기판세정방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.