KR100537022B1

KR100537022B1 - 세정 설비 및 세정액 공급 방법

Info

Publication number: KR100537022B1
Application number: KR1019980017907A
Authority: KR
Inventors: 정화규; 이수원; 김진수; 양수근
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 1998-05-19
Filing date: 1998-05-19
Publication date: 2006-03-17
Also published as: KR19990085473A

Abstract

순수와 세정제가 일정 비율로 혼합된 혼합 세정용액과 브러쉬를 이용하여 기판면을 기계적, 화학적으로 세정함으로써 기판의 세정 효율을 극대화시킨 세정 설비 및 세정액 공급 방법이 개시되고 있는 바, 본 발명에 의하면 농축된 세정제를 계량용기에 의하여 계량한 후 혼합용기에 일정량의 순수와 혼합하여 일정 농도를 갖도록 희석하여 혼합 세정액을 제조한 다음 혼합 세정액을 대용량의 분배용기에 임시적으로 저장하였다가 다수개의 세정챔버와 연결된 공급용기에 다시 공급한 후, 공급용기의 혼합 세정액을 세정 챔버로 공급하여 세정 챔버에 설치된 브러쉬와 혼합 세정액에 의하여 LCD 패널의 세정력을 극대화시킨다.

Description

세정 설비 및 세정액 공급 방법

본 발명은 세정 설비 및 세정액 공급 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 순수와 세정력을 극대화시키는 세정제가 일정 비율로 혼합된 혼합 세정용액과 브러쉬를 이용하여 기판면을 기계적, 화학적으로 세정함으로써 기판의 세정 효율을 극대화시킨 세정 설비 및 세정액 공급 방법에 관한 것이다.

일반적으로 세정 공정이란, 제품의 신뢰성을 향상시키기 위해 기판에 막을 형성하기 전과 막을 형성하는 공정 중간에 기판의 표면에 존재하는 부유성이물질, 무기물 및 미세한 유기물을 순수로 세정한 후 건조하는 공정이다.

일예로, LCD 패널의 제조 공정에 있어서 세정공정을 설명하면, 세정공정은 유리기판에 막이 형성되기 이전, 포토레지스트 도포 공정이 진행되기 이전, 에칭 공정이 진행된 후, 배향막이 코팅되기 이전, 러빙 공정이 진행된 후 등 파티클이 발생하는 전 공정에 걸쳐서 실시된다.

세정 방법으로는 화학적 세정, 건식 세정, 물리적 세정 등 여러 가지 방법이 개발, 시행되고 있다. 특히, 이들 중 물리적 세정방법중 하나인 브러쉬를 사용하는 방법으로는 미합중국 특허 공고 제 4109337호에 세정될 LCD 패널의 두 면을 브러쉬와 순수를 이용하여 기판에 부착된 오염물질을 제거하는 장치가 개시된 바 있다.

그러나, 브러쉬와 순수를 이용하여 기판을 세정할 때에는 브러쉬의 회전력 및 브러쉬가 기판에 작용하는 압력에 의존하여 유리기판에 부착된 오염물질이 세정되기 때문에 설비를 일정시간 이상 가동하였을 때에는 브러쉬가 마모되어 성능이 저하된다.

<표 1>과 도 1은 다양한 조건에 의하여 LCD 패널에 형성된 크롬성막을 일례로 세정하였을 때의 세정 효과를 나타내고 있다.

[표 1]

<표 1>의 항목중 브러쉬는 LCD 패널의 양면을 세정하기 위하여 LCD 패널이 사이에 개재되도록 2 개가 사용되었으며, 도 1의 그래프는 <표 1>의 조건에 의하여 실험한 후 산출된 데이터에 의한 것이다.

<표 1>과 도 1을 참조하면 특히, 1-D의 경우와 같이 브러쉬를 사용하지 않은 상태에서 세정하였을 경우, 세정전 초기 파티클의 수와 세정 후 파티클의 수에 차이가 그다지 크게 발생하지 않게 되어 이와 같은 상태에서 LCD 패널에 후속 공정을 진행할 경우 오염물질에 인한 공정불량이 발생하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 브러쉬 등에 의하여 물리적으로 기판을 세정함과 동시에 순수와 세정제에 의하여 제조된 세정액을 기판에 공급하여 세정력 향상 및 이에 따른 제품의 신뢰성 향상과 공정불량을 미연에 방지하는데 있다.

본 발명의 다른 목적들은 후술될 상세한 설명에서 보다 상세하게 설명될 것이다.

본 발명에 따르면, 일정량의 세정제와 일정량의 순수를 일정 체적을 갖는 용기에 투입하여 혼합한 다음, 용기에서 혼합된 혼합 세정용액을 세정 챔버 내에 설치된 브러쉬 및 세정액 분사노즐로 공급하여 브러쉬 외에도 세정력이 탁월한 혼합 세정용액과 물리 세정부에 의하여 기판의 세정력을 증대시킬 수 있다.

또한, 이와 같은 본 발명에 의한 세정장치에 의한 세정액 공급 방법은 LCD 패널의 세정력을 증대시키는 세정제를 일정 용기에 일정량 계량한 후, 계량된 세정제와 순수를 일정 비율로 혼합하여 혼합 세정액을 제조한 다음, 혼합 세정액을 다수개의 세정 챔버로 분배하기 위하여 대용량의 용기에 임시적으로 저장하고, 저장된 혼합 세정액을 세정 챔버에 공급하기 위하여 이들을 공급용 용기에 다시 저장하고 혼합 세정액을 공급하기 위한 배관에 의하여 이들을 세정 챔버로 공급하여 LCD 패널을 세정한다.

이하, 본 발명에 따른 세정 설비를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 의한 세정 설비의 바람직한 일실시예가 도시되어 있다.

일실시예에 의하면, 세정 설비는 전체적으로 보아 순수가 공급되는 순수 공급부(200), 공급된 순수와 세정력이 탁월한 세정제를 혼합하는 세정액 혼합부(100), 혼합 세정액을 세정 챔버로 공급하는 세정액 공급부(300), 공급된 혼합 세정액을 이용하여 기판을 물리적으로 세정하는 물리 세정부 및 이들을 전반적으로 제어하는 마이크로프로세서와 같은 제어부(미도시)로 구성된다.

상세하게, 세정액 혼합부(100)는 세정제 저장용기(110), 세정제 계량용기(120), 혼합용기(130)(135)를 포함한다.

각 요소의 구성과 결합관계를 살펴보면, 세정제 저장용기(110)는 일실시예로 약 200ℓ의 체적을 갖고, 이와 같은 세정제 저장용기(110)에는 원액인 세정제가 저장된다. 세정제는 소량의 순수와 세정력을 향상시키는 역할을 하는 화학약액이 비교적 높은 농도로 혼합(순수+화학약액)되어 있다.

세정제 저장용기(110)에 저장된 세정제는 농도가 높고 그 양이 작기 때문에 세정이 진행되는 세정 챔버에 곧바로 공급될 수 없고 보다 낮은 농도로 희석된 상태로 세정 챔버에 공급되어야 한다.

이와 같은 이유로 농도가 높은 세정제를 보다 낮은 농도로 희석시켜 다량의 세정액을 만들기 위해서는 세정제 저장용기(110)에 저장된 세정제를 일정량 만큼 계량한 후, 계량된 세정제의 양을 기준으로 일정량의 순수를 혼합함으로써, 일정 농도를 갖는 세정액을 얻을 수 있다.

이를 구현하기 위하여 다량의 세정제가 저장된 세정제 저장용기(110)는 배관(112)의 일측 단부와 연통되고, 배관(112)의 타측 단부는 일정 용량을 갖도록 제작된 세정제 계량용기(120)에 연통되도록 하는 것이 바람직하다.

세정제 계량용기(120)는 일실시예로 약 0.5ℓ의 용량을 갖고, 세정제 계량용기(120)에는 메인배관(140)의 일측 단부가 연통되며, 메인배관(140)의 타측 단부는 2 개의 분기관(141,142)으로 분기된 상태에서 분기관(141,142)은 약 120ℓ의 용량을 갖는 혼합용기(130,135)와 연통된다. 분기관(141,142)에는 개폐밸브(141a,142a)가 설치되어 있다.

이때, 혼합용기는 적어도 1 이상이 설치되는 것이 바람직한 바, 본 발명에서는 바람직하게 2 개의 혼합용기(130,135)를 사용하기로 한다. 이처럼 2 개의 혼합용기(130,135)를 사용함으로써 어느 일측 혼합용기(130,135)에 설비 이상이 발생하여도 세정 공정은 중단되지 않고 연속적으로 공정을 수행할 수 있다.

세정제 개량용기(120)에서 계량된 세정제를 혼합용기(130,135)에 공급하기 위하여 분기관(141,142)의 개폐밸브(140a,142a)중 어느 하나가 개방되면, 세정제 계량용기(120)에서 계량된 세정제는 분기관(141,142)중 어느 하나를 따라서 혼합용기중 어느 하나(135)에 유입된다.

세정제가 공급된 혼합용기(135)에는 다시 순수가 공급되고, 순수와 세정제가 혼합되면서 혼합세정액이 제조된다.

혼합용기(135)에 순수를 공급하기 위해서 순수 공급부(200)와 연통된 순수 메인배관(210)의 단부는 다시 2 개의 분기관(210,215)으로 분기된 후 혼합용기(130,135)와 연통되고, 분기관(210,215)의 소정 위치에는 개폐밸브(210a,215a)가 설치된다.

이와 같은 과정을 반복하여 모든 혼합용기(130,135)에 순수와 세정제를 공급하여 혼합한다.

한편, 혼합용기(130,135) 내부로 유입되는 순수의 양을 측정하기 위하여 혼합용기(130,135)에는 유량센서(130a,135a)가 설치되는 것이 바람직하며, 혼합용기(130,135) 내부로 유입된 순수와 세정제의 혼합을 촉진시키기 위하여 혼합용기(130,135)의 내부에는 교반기(미도시)가 설치되는 것이 바람직하다.

이와 같은 혼합용기(130,135)에는 순수와 세정제의 혼합에 의하여 제조된 혼합 세정액이 임시적으로 저장되는데, 이와 같이 제조된 혼합 세정액은 앞서 언급한 세정액 공급부(300)에 의하여 세정 챔버로 공급된다.

세정액 공급부(300)는 혼합용기(130,135)로부터 혼합 세정액을 공급받는 분배용기(310,320)와, 분배용기(310,320)로부터 혼합 세정액을 분배받는 공급용기(330,340)와, 공급용기(330,340)로부터 혼합 세정액을 공급받아 이를 세정 챔버(350)의 LCD 패널(352)에 분사하는 세정액 공급관(360)과, 분사노즐(354)로 구성된다.

이들을 보다 상세하게 설명하면, 분배용기(310,320)는 다수개의 세정 챔버(350)에 일정량의 혼합 세정액을 동시에 공급할 수 있도록 대용량을 갖는다. 본 발명에서는 일실시예로 하나의 분배용기가 약 700ℓ의 용량을 갖고, 이와 같은 분배용기가 2 개 설치되어 있음으로 약 1400ℓ의 세정제를 저장,분배할 수 있다.

이때, 혼합용기(130,135)와 분배용기(310,320)를 연결하기 위하여 각각의 혼합용기(130,135)에는 2 개의 배관(152,155)에 의하여 일측 단부가 연통된다.

각 배관(152,155)의 타측 단부는 다시 메인배관(150)의 일측 단부와 합쳐지고, 메인배관(150)의 타측 단부는 다시 분기된 분기관(154,157)과 연통되고, 분기관(154,157)은 분배용기(310,320)와 연통된다.

또한, 각 배관(152,154,155,157)에는 혼합용기(130,135)로부터 선택적으로 혼합 세정액이 분배 용기(310,320)로 공급될 수 있도록 개폐 밸브(150a,154a,155a,157a)가 설치된다.

또한, 메인 배관(150)에는 혼합용기(130,135)에서 제조된 혼합 세정액을 분배용기(310,320)로 펌핑하기 위한 펌프(153)가 설치되는 것이 바람직하며, 분배용기(310,320)에는 내부에 혼합 세정액이 얼마나 남아 있는가를 인식하기 위하여 유량 센서(310a,320a)가 부착되는 것이 바람직하다.

이와 같은 분배용기(310,320)에 저장된 혼합 세정액은 다수개의 세정 챔버(350)와 연통된 100ℓ의 용량을 갖는 공급용기(330,340)에 분배되어 저장된다.

이때, 분배용기(310,320)로부터 혼합 세정액을 공급용기(330,340)에 공급하기 위하여 각 분배용기(310,320)는 배관(160,170)에 의하여 상호 연통된다.

이와 같은 과정을 거쳐 혼합 세정액이 공급된 공급용기(330,340)에는 혼합 세정액을 다시 한번 교반한 후 세정 챔버(350)로 공급하기 위하여 순환 배관(335,345)과 순환 펌프(337,347)가 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 공급용기(330,340)에는 혼합 세정액의 온도를 측정하기 위하여 온도 센서(미도시)와 공급용기(330,340) 내부의 유량을 판단하기 위한 유량 센서(미도시) 및 혼합 세정액의 온도를 조절하기 위하여 온도 조절장치(미도시)가 설치되는 것이 바람직하다.

이와 같은 각 공급용기(330,340)에는 배관(333,336)의 일측 단부가 연통되고 배관(333,336)의 타측 단부는 메인 세정액 공급관(360)의 일측 단부와 연결된다. 메인 세정액 공급관(360)의 타측 단부는 분기된 분기관(365,366)에 의하여 세정 챔버(350)와 연통된다.

이때, 메인 세정액 공급관(360)에는 혼합 세정액이 일정 압력으로 세정 챔버(350)로 공급되도록 펌프(362)와 혼합 세정액에 포함된 각종 오염물질을 필터링하는 필터(364)가 설치된다.

또한, 메인 세정액 공급관(360)의 소정 부분으로부터 분기된 분기관(365)은 LCD 패널(352)의 하면을 세정하기 위하여 세정 챔버(350)의 하면까지 연장되고, 세정 챔버(350)의 하부까지 분기되어 연장된 분기관(365)의 단부는 3 개의 분기관(367)로 다시 분기된 후 그 단부에 각각 분사노즐(367a)이 설치된다.

세정 챔버(350)의 상부까지 분기되어 연장된 분기관(366)의 단부는 다시 5 개의 분기관(354)으로 분기된 후, 각각의 단부에는 분사노즐(354a)이 설치된다.

이들 5 개의 노즐중 2 개는 물리적으로 LCD 패널(352)을 세정하는 물리 세정부인 브러쉬(356)로 직접 혼합 세정액을 분사하는 분사노즐이다.

한편, 세정 챔버(350)까지 연장된 분기관(365,366)에는 모두 개폐 밸브(365a,366a)와 유량조절부(MFC; Mass Flow Controller;362,364)가 설치되어 분사노즐(367a,354a)의 혼합 세정액 분사량을 최적으로 조절하도록 한다.

또한, 세정 챔버(350)에 분사된 혼합 세정액은 세정 챔버(350)의 저면에 형성된 배수구(358), 배수구(358)와 일측 단부가 연통되고 타측 단부는 공급용기(330,340)와 연통된 혼합 세정액 회수관(335)을 통하여 다시 회수되고, 회수된 혼합 세정액에 포함되어 있는 오염 물질은 앞서 설명한 필터(364)에 의하여 제거된다.

이와 같은 과정을 거쳐 세정 챔버(350)에 공급된 혼합 세정액에 의하여 LCD 패널에 세정을 진행한 결과가 <표 2>에 도시되어 있다.

[표 2]

접촉각은 LCD 패널에 일정량의 액체를 떨어뜨렸을 때 액체의 표면장력에 의하여 형성된 액체의 라운드진면과 LCD 패널이 이루는 접선각도를 말한다.

예를 들어, LCD 패널 표면이 매끄럽고 오염의 정도가 작을수록 LCD 패널 상에 떨어진 액체의 퍼짐 정도가 크게 되어 접촉각은 상대적으로 작게 나타나고, 동일 LCD 패널 상에 오염의 정도가 클수록 액체가 넓게 퍼지지 못하게 되어 접촉각은 커지게 된다.

<표 2>에 의하면 세정을 하지 않았을 경우, 순수만 사용하였을 경우, 순수에 미량의 세정제를 혼합하여 실험하였을 경우, 접촉각은 세정을 안했을 때가 가장 크고, 순수만을 사용하였을 때, 순수와 세정제를 혼합하였을 때의 순서로 접촉각이 작아지는 경향을 보였다. 즉, 세정력이 순수와 세정제를 소정 비율로 혼합한 상태로 세정하였을 때가 가장 좋은 접촉각을 보였다.

파티클의 수는 단위면적당 파티클의 수로 이 경우에도 순수와 세정제를 혼합하여 사용하였을 때가 순수만 사용하였을 때보다 월등히 감소한 경향을 보였다.

[표 3]

<표 3>은 본 발명에 사용된 혼합 세정액과 자외선을 함께 조사하였을 경우의 세정력을 비교 분석한 것으로써, 접촉각은 세정전>혼합 세정액>혼합세정액+자외선의 순서대로 작아지는 것을 나타내고 있으며, 도 3의 그래프는 자외선을 조사할 때와, 조사하지 않았을 때를 도시한 그래프로, 도 3의 그래프에 의하면 자외선을 조사하였을 때의 파티클 제거 효율이 자외선을 조사하지 않았을 때보다 좋아지는 경향을 보였다.

[표 4]

도 4에는 <표 4>에 나타난 다양한 조건에 의하여 LCD 패널의 Al-Alloy성막을 세정하였을 때의 결과 그래프가 도시되어 있다. 이들중 <표 4>의 4-B의 조건하에서 세정 후 파타클의 수가 가장 크게 감소하여 세정의 효율이 가장 높게 나타난다. 여기서 초음파 항목은 세정 효율을 극대화시키기 위한 보조수단으로 사용된다.

[표 5]

도 5의 그래프는 LCD 패널에 ITO성막을 형성한 후, 이를 <표 5>의 조건에서 세정하였을 때 자외선을 30초, 브러쉬를 사용하고 초음파액으로 혼합 세정액을 사용하는 5-D의 조건이 유기 세정에 비하여 높은 세정력 향상을 얻을 수 있음을 나타내고 있다.

도 6에서는 혼합 세정제의 온도와 세정력의 관계가 그래프로 도시되어 있다. 첨부된 도면을 참조하면 혼합 세정제를 25℃로부터 40℃로 조정하고 세정을 수행한 결과 25℃에서 30℃구간에서 세정력이 가장 좋았고, 30℃이상에서는 점차 세정력이 감소하는 경향을 보였다. 30℃로부터 40℃구간에서 세정력이 감소하는 이유로는 버블(bubble)이 과도하게 발생하여 세정력이 감소되기 때문이다.

도 7에는 이와 같은 본 발명 세정 장치에 의한 세정액 공급 방법이 도시되어 있다.

먼저, 세정제 저장용기(110)로부터 세정제 계량용기(120)로 세정제를 일정량 계량한다(단계 10).

세정제 계량용기(120)에 세정제가 일정량 계량되면, 세정제 계량용기(120)와 혼합용기(130,135)를 연결하고 있는 분기관(140,142)중 비어 있는 상태인 혼합용기(130)에 연결된 분기관(142)의 개폐 밸브(142a)를 개방하여 세정제 개량용기(120)의 세정제가 혼합용기(130)에 저장되도록 한다.

세정제가 혼합용기(130)에 저장되면, 혼합용기(130)에는 순수가 메인 순수공급배관(215) 및 분기관(215)을 통하여 공급되고, 교반기(미도시)가 순수와 세정제를 균일하게 교반하여 혼합 세정액을 제조한다(단계 20). 이와 같은 단계를 반복하여 나머지 혼합탱크(135)에서도 혼합 세정액을 제조한다.

이후, 혼합용기(130,135)에서 제조된 혼합 세정액은 혼합용기(130,135)와 분배용기(310,320)를 연결하는 배관(152,155) 및 메인배관(150), 분기관(154,157), 펌프(153)에 의하여 대용량을 갖는 분배용기(310,320)로 이송되어 저장된다(단계 30).

계속해서, 분배용기(310,320)에 저장된 혼합 세정액은 분배용기(310,320)와 공급용기(330,340)를 연결하는 배관(160,170)에 의하여 공급용기(330,340)로 분배되어 저장된다(단계 40).

이때, 공급용기(330,340)에 저장된 혼합 세정액은 혼합 세정액 순환 펌프(337,347)에 의하여 계속 순환, 교반되어 일정한 농도를 유지한다.

이어서, 공급용기(330,340)에 저장된 혼합 세정액은 배관(333,336)과 메인 배관(360)과 분기관(365,366) 및 펌프(362)에 의하여 세정 챔버(350)로 공급된다. 이때, 혼합 세정액은 오염물질을 필터링하는 필터(364)에 의하여 필터링된 상태로 세정 챔버(350)로 공급되어 LCD 패널(352)의 상면, 하면을 물리적 세정장치인 브러쉬와 함께 세정하여(단계 50), LCD 패널의 세정력을 향상시킨다.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, 각종 원인에 의하여 오염된 LCD 패널의 상면, 하면을 물리적 세정장치인 브러쉬와 더불어 순수와 세정력을 향상시키는 세정제를 소정 비율로 혼합한 혼합 세정제에 의하여 세정함으로써 순수에 의하여 제거되지 않는 오염물질을 제거하여 LCD 패널의 세정력을 증대시켜 LCD 패널의 공정 불량을 극소화시키는 효과가 있다.

도 1은 종래 브러쉬에 의한 세정력을 설명하기 위한 그래프.

도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예를 도시한 세정 설비의 개념도.

도 3은 본 발명에 의한 혼합 세정액과 자외선을 조사하였을 때의 세정력 결과 그래프.

도 4는 Al-Alloy성막을 일정 조건하에서 세정하였을 때를 도시한 결과 그래프.

도 5는 ITO성막을 일정조건하에서 세정하였을 때를 도시한 결과 그래프.

도 6은 본 발명에 의한 혼합 세정액과 온도와의 관계를 도시한 그래프.

도 7은 본 발명에 의한 세정액 공급 방법을 도시한 순서도.

Claims

순수를 공급하는 순수 공급부와;

세정제를 저장하는 세정제 용기, 상기 세정제 용기로부터 공급된 상기 세정제를 계량하여 저장하는 계량용기, 상기 계량용기로부터 계량되어 공급된 상기 세정제와 상기 순수 공급부로부터 공급된 상기 순수가 소정 비율로 혼합된 혼합 세정액을 저장하는 적어도 하나의 혼합용기를 포함하는 세정액 혼합부와:

상기 혼합 세정액을 LCD 패널로 공급하는 세정액 공급부와;

물리적으로 상기 LCD 패널을 세정하는 물리 세정부를 포함한 것을 특징으로 하는 세정 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 세정액 공급부는 상기 혼합용기에 저장된 상기 혼합 세정액을 세정액 공급관을 통해 세정 챔버로 공급하는 적어도 하나의 공급용기와;

상기 세정액 공급관의 단부에 설치되어 상기 혼합 세정액을 상기 세정 챔버 내부에 위치한 상기 LCD 패널로 분사하는 분사노즐을 구비한 것을 특징으로 하는 세정 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 혼합용기의 후단에는 상기 공급용기보다 큰 용량을 가지며 다수개의 상기 공급용기에 상기 혼합 세정액을 분배하는 적어도 하나의 분배용기가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 세정 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 세정 챔버에는 배수구가 형성되어 있고, 상기 배수구는 세정액 회수관을 통하여 상기 공급용기에 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 세정 설비.
제 3 항에 있어서, 상기 공급용기와 상기 분배용기에는 온도 센서와, 유량 센서가 설치된 것을 특징으로 하는 세정 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 세정액 공급관에는 상기 공급용기로부터 상기 세정챔버로 상기 혼합 세정액을 공급하기 위한 펌프와, 상기 혼합 세정액에 함유되어 있는 오염물질을 필터링하는 필터가 설치되는 것을 특징으로 하는 세정 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 공급용기에는 순환용 배관과, 상기 순환용 배관에 설치되어 상기 혼합 세정액을 순환시켜 교반시키기 위한 순환 펌프가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 세정 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 물리 세정부는 상기 LCD 패널의 상면을 물리적으로 세정하는 브러쉬인 것을 특징으로 하는 세정 설비.
계량용기에 의하여 세정제를 계량하는 단계와;

계량된 세정제와 일정량의 순수를 혼합용기에 공급하여 혼합 세정액을 제조하는 단계와;

상기 혼합 세정액을 LCD 패널로 공급하여 오염된 LCD 패널을 세정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 방법.
제 9 항에 있어서, 상기 혼합 세정액을 상기 LCD 패널로 공급하는 단계에는 상기 혼합 세정액을 소정 용량을 갖는 용기에 임시적으로 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 방법.
제 10항에 있어서, 상기 저장된 혼합 세정액은 순환되어 교반되는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 방법.
제 10 항에 있어서, 상기 저장된 혼합 세정액은 필터에 의하여 필터링되는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 방법.
제 9 항에 있어서, 상기 혼합 세정액을 상기 LCD 패널로 공급하는 단계에는 상기 혼합 세정액의 온도를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 방법.