JP2002126662A - 液晶セルの洗浄装置 - Google Patents
液晶セルの洗浄装置Info
- Publication number
- JP2002126662A JP2002126662A JP2000331708A JP2000331708A JP2002126662A JP 2002126662 A JP2002126662 A JP 2002126662A JP 2000331708 A JP2000331708 A JP 2000331708A JP 2000331708 A JP2000331708 A JP 2000331708A JP 2002126662 A JP2002126662 A JP 2002126662A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal cell
- cleaning
- stage
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 89
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 title claims abstract description 87
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 13
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 10
- 239000003599 detergent Substances 0.000 claims description 8
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 5
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 abstract description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 101001078143 Homo sapiens Integrin alpha-IIb Proteins 0.000 description 2
- 102100025306 Integrin alpha-IIb Human genes 0.000 description 2
- 101100219325 Phaseolus vulgaris BA13 gene Proteins 0.000 description 2
- 108010064539 amyloid beta-protein (1-42) Proteins 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 230000004656 cell transport Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶セル同士の接触による割れや欠け、それ
に外圧によるギャップ変動などを起こさせることなく、
液晶セルの表裏両面をきれいに、しかも効率よく洗浄す
る。 【解決手段】 液晶セル１を吸着固定し得る第１および
第２搬送テーブル１１，２１を有し、第１搬送テーブル
１１上に液晶セル１を載置固定して、その一方の面を洗
浄した後、移載手段４０により液晶セル１の表裏を反転
させて第２搬送テーブル２１上に移し替えて液晶セル１
の他方の面を洗浄する。
に外圧によるギャップ変動などを起こさせることなく、
液晶セルの表裏両面をきれいに、しかも効率よく洗浄す
る。 【解決手段】 液晶セル１を吸着固定し得る第１および
第２搬送テーブル１１，２１を有し、第１搬送テーブル
１１上に液晶セル１を載置固定して、その一方の面を洗
浄した後、移載手段４０により液晶セル１の表裏を反転
させて第２搬送テーブル２１上に移し替えて液晶セル１
の他方の面を洗浄する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶セルの洗浄装置
に関し、さらに詳しく言えば、液晶セルを傷付けること
なく、その表裏両面をきれいに洗浄する液晶セルの洗浄
装置に関するものである。
に関し、さらに詳しく言えば、液晶セルを傷付けること
なく、その表裏両面をきれいに洗浄する液晶セルの洗浄
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルの製造工程の一つに、液
晶セルに偏光膜を貼着する工程があるが、その際、液晶
セルのガラス基板面にゴミなどの異物が付着している
と、表示品質が損なわれることになる。そこで、偏光膜
を貼着する前に液晶セルの洗浄工程を設け、従来におい
ては液晶セルをローラコンベアにより搬送しながら、ブ
ラシもしくは水洗スプレーにて洗浄するようにしてい
る。
晶セルに偏光膜を貼着する工程があるが、その際、液晶
セルのガラス基板面にゴミなどの異物が付着している
と、表示品質が損なわれることになる。そこで、偏光膜
を貼着する前に液晶セルの洗浄工程を設け、従来におい
ては液晶セルをローラコンベアにより搬送しながら、ブ
ラシもしくは水洗スプレーにて洗浄するようにしてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の洗浄装置によると、洗浄に使用される洗剤により液
晶セルがローラコンベアに対して滑りやすくなるため、
次々と液晶セルを搬送する場合、液晶セル同士が接触し
て割れや欠けが発生していた。
来の洗浄装置によると、洗浄に使用される洗剤により液
晶セルがローラコンベアに対して滑りやすくなるため、
次々と液晶セルを搬送する場合、液晶セル同士が接触し
て割れや欠けが発生していた。
【０００４】これを防止するため、一部の洗浄ラインで
は、滑り防止用押えローラを併用するようにしている
が、その押え圧（外圧）によっては液晶セル内にギャッ
プ変動が生じ、それが表示むらなどとなって現れるの
で、好ましい解決策とは言えない。
は、滑り防止用押えローラを併用するようにしている
が、その押え圧（外圧）によっては液晶セル内にギャッ
プ変動が生じ、それが表示むらなどとなって現れるの
で、好ましい解決策とは言えない。
【０００５】本発明、このような課題を解決するために
なされたもので、その目的は、液晶セル同士の接触によ
る割れや欠け、それに外圧によるギャップ変動などを起
こさせることなく、液晶セルの表裏両面をきれいに、し
かも効率よく洗浄することができるようにした液晶セル
の洗浄装置を提供することにある。
なされたもので、その目的は、液晶セル同士の接触によ
る割れや欠け、それに外圧によるギャップ変動などを起
こさせることなく、液晶セルの表裏両面をきれいに、し
かも効率よく洗浄することができるようにした液晶セル
の洗浄装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、液晶セルを搬送しながら、その表裏両面
を洗剤を含む洗浄液で洗浄する液晶セルの洗浄装置にお
いて、上記液晶セルの搬送方向の上流側から下流側に沿
って順に並べられた第１ないし第４ステージと、上記液
晶セルを吸着固定して上記第１および第２ステージ間を
往復的に移動する第１基板搬送手段と、同第１基板搬送
手段にて搬送される上記液晶セルの一方の面を上記洗浄
液で洗浄する第１洗浄手段と、上記液晶セルを吸着固定
して上記第３および第４ステージ間を往復的に移動する
第２基板搬送手段と、同第２基板搬送手段にて搬送され
る上記液晶セルの他方の面を上記洗浄液で洗浄する第２
洗浄手段と、上記第１基板搬送手段にて上記第２ステー
ジに搬送された上記液晶セルを、その表裏を反転させて
上記第３ステージに位置している上記第２基板搬送手段
に受け渡す移載手段とを備えていることを特徴としてい
る。
め、本発明は、液晶セルを搬送しながら、その表裏両面
を洗剤を含む洗浄液で洗浄する液晶セルの洗浄装置にお
いて、上記液晶セルの搬送方向の上流側から下流側に沿
って順に並べられた第１ないし第４ステージと、上記液
晶セルを吸着固定して上記第１および第２ステージ間を
往復的に移動する第１基板搬送手段と、同第１基板搬送
手段にて搬送される上記液晶セルの一方の面を上記洗浄
液で洗浄する第１洗浄手段と、上記液晶セルを吸着固定
して上記第３および第４ステージ間を往復的に移動する
第２基板搬送手段と、同第２基板搬送手段にて搬送され
る上記液晶セルの他方の面を上記洗浄液で洗浄する第２
洗浄手段と、上記第１基板搬送手段にて上記第２ステー
ジに搬送された上記液晶セルを、その表裏を反転させて
上記第３ステージに位置している上記第２基板搬送手段
に受け渡す移載手段とを備えていることを特徴としてい
る。
【０００７】上記各洗浄手段は水洗スプレーであっても
よいが、上記洗浄液を上記液晶セルの基板面に供給する
洗浄液供給部と、同洗浄液供給部の下流側に配置された
ブラシ洗浄部とを備えていることが好ましい。
よいが、上記洗浄液を上記液晶セルの基板面に供給する
洗浄液供給部と、同洗浄液供給部の下流側に配置された
ブラシ洗浄部とを備えていることが好ましい。
【０００８】上記第４ステージの下流側には、上記液晶
セルから上記洗浄液を落とすための水洗手段と、上記液
晶セルを乾燥させる乾燥手段とが設けられるが、上記液
晶セルは上記水洗手段により洗剤が洗い落とされるた
め、上記第４ステージ以降の下流側搬送手段はローラ搬
送手段であってもよい。
セルから上記洗浄液を落とすための水洗手段と、上記液
晶セルを乾燥させる乾燥手段とが設けられるが、上記液
晶セルは上記水洗手段により洗剤が洗い落とされるた
め、上記第４ステージ以降の下流側搬送手段はローラ搬
送手段であってもよい。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図１の
工程模式図により説明する。図１において、被洗浄物で
ある液晶セル１の搬送方向を左側から右側方向であると
すると、この液晶セル洗浄装置は、そのセル搬送方向に
沿って上流側から順に並べられた第１ステージＡ、第２
ステージＢ、第３ステージＣおよび第４ステージＤを備
えている。
工程模式図により説明する。図１において、被洗浄物で
ある液晶セル１の搬送方向を左側から右側方向であると
すると、この液晶セル洗浄装置は、そのセル搬送方向に
沿って上流側から順に並べられた第１ステージＡ、第２
ステージＢ、第３ステージＣおよび第４ステージＤを備
えている。
【００１０】なお、液晶セル１は、周辺シール材を介し
て圧着された一対の透明電極基板間に液晶を封入した状
態のもので、例えばスティック基板から個々に切り出す
ことにより得られる。
て圧着された一対の透明電極基板間に液晶を封入した状
態のもので、例えばスティック基板から個々に切り出す
ことにより得られる。
【００１１】各ステージＡ〜Ｄは仮想的なものであって
よい。また、各ステージＡ〜Ｄは必ずしも直線状に並設
されている必要はなく、第１および第２ステージＡ，Ｂ
を含む第１搬送部１０と、第３および第４ステージＣ，
Ｄを含む第２搬送部２０とが例えば直角に配置されてい
てもよい。
よい。また、各ステージＡ〜Ｄは必ずしも直線状に並設
されている必要はなく、第１および第２ステージＡ，Ｂ
を含む第１搬送部１０と、第３および第４ステージＣ，
Ｄを含む第２搬送部２０とが例えば直角に配置されてい
てもよい。
【００１２】第１ステージＡには、その上流側の図示し
ないセル貯留部から移送手段３０により液晶セル１が１
枚ずつ供給され、第４ステージＤの下流側には後述する
水洗・乾燥工程が設けられている。この実施形態におい
て、移送手段３０には、ガイドレール３１に沿って第１
ステージＡと上記セル貯留部との間を往復動する負圧吸
着ヘッド３２が用いられている。
ないセル貯留部から移送手段３０により液晶セル１が１
枚ずつ供給され、第４ステージＤの下流側には後述する
水洗・乾燥工程が設けられている。この実施形態におい
て、移送手段３０には、ガイドレール３１に沿って第１
ステージＡと上記セル貯留部との間を往復動する負圧吸
着ヘッド３２が用いられている。
【００１３】第１搬送部１０は、第１ステージＡと第２
ステージＢとの間を往復動する第１搬送テーブル（第１
搬送手段）１１を備えている。図示されていないが、第
１搬送テーブル１１は負圧源に接続されており、その上
面に液晶セル１を吸着固定する。また、第１ステージＡ
と第２ステージＢとの間には、第１搬送テーブル１１に
て搬送される液晶セル１に所定の洗剤を含む洗浄液を例
えばシャワー状に吹き付ける洗浄液供給ノズル１２と、
その下流側で液晶セル１を洗浄するブラシ１３とが設け
られている。
ステージＢとの間を往復動する第１搬送テーブル（第１
搬送手段）１１を備えている。図示されていないが、第
１搬送テーブル１１は負圧源に接続されており、その上
面に液晶セル１を吸着固定する。また、第１ステージＡ
と第２ステージＢとの間には、第１搬送テーブル１１に
て搬送される液晶セル１に所定の洗剤を含む洗浄液を例
えばシャワー状に吹き付ける洗浄液供給ノズル１２と、
その下流側で液晶セル１を洗浄するブラシ１３とが設け
られている。
【００１４】同様に、第２搬送部２０も、第３ステージ
Ｃと第４ステージＤとの間を往復動する第２搬送テーブ
ル（第２搬送手段）２１を備えている。この第２搬送テ
ーブル２１も負圧源に接続されており、その上面に液晶
セル１を吸着固定する。また、第３ステージＣと第４ス
テージＤとの間にも、第２搬送テーブル２１にて搬送さ
れる液晶セル１に所定の洗剤を含む洗浄液を例えばシャ
ワー状に吹き付ける洗浄液供給ノズル２２と、その下流
側で液晶セル１を洗浄するブラシ２３とが設けられてい
る。ブラシ１３，２３はディスクブラシ、ローラブラシ
などであってよく、その形態に特に制限はない。
Ｃと第４ステージＤとの間を往復動する第２搬送テーブ
ル（第２搬送手段）２１を備えている。この第２搬送テ
ーブル２１も負圧源に接続されており、その上面に液晶
セル１を吸着固定する。また、第３ステージＣと第４ス
テージＤとの間にも、第２搬送テーブル２１にて搬送さ
れる液晶セル１に所定の洗剤を含む洗浄液を例えばシャ
ワー状に吹き付ける洗浄液供給ノズル２２と、その下流
側で液晶セル１を洗浄するブラシ２３とが設けられてい
る。ブラシ１３，２３はディスクブラシ、ローラブラシ
などであってよく、その形態に特に制限はない。
【００１５】第２ステージＢと第３ステージＣとの間に
は、第１搬送テーブル１１にて第２ステージＢに運ばれ
た液晶セル１を、その表裏を反転させて第３ステージＣ
に待機している第２搬送テーブル２１に受け渡す移載手
段４０が設けられている。
は、第１搬送テーブル１１にて第２ステージＢに運ばれ
た液晶セル１を、その表裏を反転させて第３ステージＣ
に待機している第２搬送テーブル２１に受け渡す移載手
段４０が設けられている。
【００１６】この実施形態において、移載手段４０は、
反転部４１と移送部４２とを備えている。反転部４１
は、第１搬送テーブル１１に対して昇降可能で、かつ、
その第１搬送テーブル１１から液晶セル１を吸着保持し
て水平回転軸線を中心として液晶セル１を１８０度反転
させる。
反転部４１と移送部４２とを備えている。反転部４１
は、第１搬送テーブル１１に対して昇降可能で、かつ、
その第１搬送テーブル１１から液晶セル１を吸着保持し
て水平回転軸線を中心として液晶セル１を１８０度反転
させる。
【００１７】移送部４２は、ガイドレール４２１に沿っ
て第２ステージＢと第３ステージＣとの間を往復動する
負圧吸着ヘッド４２２を備えている。負圧吸着ヘッド４
２２は、反転部４１にて反転された液晶セル１を反転部
４１から受け取り、第３ステージＣに待機している第２
搬送テーブル２１上に降ろす。
て第２ステージＢと第３ステージＣとの間を往復動する
負圧吸着ヘッド４２２を備えている。負圧吸着ヘッド４
２２は、反転部４１にて反転された液晶セル１を反転部
４１から受け取り、第３ステージＣに待機している第２
搬送テーブル２１上に降ろす。
【００１８】第１搬送テーブル１１と第２搬送テーブル
２１の動きは、図示しない移送制御手段により制御され
る。例えば、第１搬送テーブル１１が第２ステージＢに
到来するタイミングと、第２搬送テーブル２１が第３ス
テージＣに到来するタイミングとを一致するように制御
することが好ましい。
２１の動きは、図示しない移送制御手段により制御され
る。例えば、第１搬送テーブル１１が第２ステージＢに
到来するタイミングと、第２搬送テーブル２１が第３ス
テージＣに到来するタイミングとを一致するように制御
することが好ましい。
【００１９】第２搬送部２０の第４ステージＤの下流側
には、第３搬送部５０が設けられており、この第３搬送
部５０に沿って水洗手段５１、水切り手段５２および乾
燥手段５３が、この順序で配置されている。また、第４
ステージＤと第３搬送部５０との間には、ガイドレール
６１に沿って第４ステージＤと第３搬送部５０との間を
往復動する負圧吸着ヘッド６２を有する移送手段６０が
設けられている。
には、第３搬送部５０が設けられており、この第３搬送
部５０に沿って水洗手段５１、水切り手段５２および乾
燥手段５３が、この順序で配置されている。また、第４
ステージＤと第３搬送部５０との間には、ガイドレール
６１に沿って第４ステージＤと第３搬送部５０との間を
往復動する負圧吸着ヘッド６２を有する移送手段６０が
設けられている。
【００２０】この実施形態において、水洗手段５１には
所定温度に加温された純水シャワーが用いられている。
また、水切り手段５２はエアーナイフからなり、乾燥手
段５３には通常のブロワー式乾燥炉が採用されている。
第３搬送部５０においては、水洗手段５１により液晶セ
ル１から洗浄液が洗い落とされるため、この実施形態で
は、水洗手段５１以降の搬送手段にローラコンベアを用
いて洗浄装置を簡略化している。
所定温度に加温された純水シャワーが用いられている。
また、水切り手段５２はエアーナイフからなり、乾燥手
段５３には通常のブロワー式乾燥炉が採用されている。
第３搬送部５０においては、水洗手段５１により液晶セ
ル１から洗浄液が洗い落とされるため、この実施形態で
は、水洗手段５１以降の搬送手段にローラコンベアを用
いて洗浄装置を簡略化している。
【００２１】次に、この洗浄装置の一連の流れについて
説明する。まず、移送手段３０により図示しないセル貯
留部から１枚の液晶セル１が第１ステージＡに運ばれ、
同ステージＡに待機している第１搬送テーブル１１上に
置かれる。第１搬送テーブル１１は、液晶セル１を吸着
固定して第２ステージＢに搬送する。その途中で、洗浄
液供給ノズル１２から液晶セル１の一方の面に洗剤を含
む洗浄液が吹き付けられ、ブラシ１３により汚れが除去
される。
説明する。まず、移送手段３０により図示しないセル貯
留部から１枚の液晶セル１が第１ステージＡに運ばれ、
同ステージＡに待機している第１搬送テーブル１１上に
置かれる。第１搬送テーブル１１は、液晶セル１を吸着
固定して第２ステージＢに搬送する。その途中で、洗浄
液供給ノズル１２から液晶セル１の一方の面に洗剤を含
む洗浄液が吹き付けられ、ブラシ１３により汚れが除去
される。
【００２２】第１搬送テーブル１１が第２ステージＢに
到来すると、移載手段４０の反転部４１が下降して液晶
セル１を吸着保持し、所定高さに上昇した時点で液晶セ
ル１の表裏を反転する。これにより、未洗浄の他方の面
が上になる。そして、移送部４２の負圧吸着ヘッド４２
２が反転部４１から液晶セル１を受け取ってガイドレー
ル４２１に沿って第３ステージＣ上に至り、第３ステー
ジＣに待機している第２搬送テーブル２１上に液晶セル
１を載置する。
到来すると、移載手段４０の反転部４１が下降して液晶
セル１を吸着保持し、所定高さに上昇した時点で液晶セ
ル１の表裏を反転する。これにより、未洗浄の他方の面
が上になる。そして、移送部４２の負圧吸着ヘッド４２
２が反転部４１から液晶セル１を受け取ってガイドレー
ル４２１に沿って第３ステージＣ上に至り、第３ステー
ジＣに待機している第２搬送テーブル２１上に液晶セル
１を載置する。
【００２３】第２搬送テーブル２１は、液晶セル１を吸
着固定して第４ステージＤに搬送する。その途中で、洗
浄液供給ノズル２２から液晶セル１の他方の面に洗剤を
含む洗浄液が吹き付けられ、ブラシ２３により汚れが除
去される。このようにして、液晶セル１の表裏両面の汚
れが除去される。
着固定して第４ステージＤに搬送する。その途中で、洗
浄液供給ノズル２２から液晶セル１の他方の面に洗剤を
含む洗浄液が吹き付けられ、ブラシ２３により汚れが除
去される。このようにして、液晶セル１の表裏両面の汚
れが除去される。
【００２４】第２搬送テーブル２１が第４ステージＤに
到来すると、液晶セル１は移送手段６０により第３搬送
部５０のローラコンベアに移し替えられ、水洗手段５１
により洗浄液が洗い落とされる。そして、水切り手段５
２にて液晶セル１の表面に付着している水が除去された
後、乾燥手段５３によりブロワー乾燥される。
到来すると、液晶セル１は移送手段６０により第３搬送
部５０のローラコンベアに移し替えられ、水洗手段５１
により洗浄液が洗い落とされる。そして、水切り手段５
２にて液晶セル１の表面に付着している水が除去された
後、乾燥手段５３によりブロワー乾燥される。
【００２５】上記実施形態ではブラシ洗浄を採用してい
るが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えばス
プレー洗浄方式であってもよい。また、上流側と下流側
の移送手段３０，６０に負圧吸着ヘッドを用いている
が、これらの移送手段３０，６０については例えばグリ
ップハンド機構などとしてもよい。
るが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えばス
プレー洗浄方式であってもよい。また、上流側と下流側
の移送手段３０，６０に負圧吸着ヘッドを用いている
が、これらの移送手段３０，６０については例えばグリ
ップハンド機構などとしてもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液晶セルを吸着固定し得る第１および第２搬送テーブル
を有し、第１搬送テーブル上に液晶セルを載置固定し
て、その一方の面を洗浄した後、移載手段により液晶セ
ルの表裏を反転させて第２搬送テーブル上に液晶セルを
載置固定して、その他方の面を洗浄するようにしたこと
により、液晶セル同士の接触による割れや欠け、それに
外圧によるギャップ変動などを起こさせることなく、液
晶セルの表裏両面をきれいに、しかも効率よく洗浄する
ことができる。
液晶セルを吸着固定し得る第１および第２搬送テーブル
を有し、第１搬送テーブル上に液晶セルを載置固定し
て、その一方の面を洗浄した後、移載手段により液晶セ
ルの表裏を反転させて第２搬送テーブル上に液晶セルを
載置固定して、その他方の面を洗浄するようにしたこと
により、液晶セル同士の接触による割れや欠け、それに
外圧によるギャップ変動などを起こさせることなく、液
晶セルの表裏両面をきれいに、しかも効率よく洗浄する
ことができる。
【図１】本発明による液晶セルの洗浄装置の実施形態を
示した模式図。
示した模式図。
【符号の説明】 １ 液晶セル １０ 第１搬送部 １１ 第１搬送テーブル １２ 洗浄液供給ノズル １３ ブラシ ２０ 第２搬送部 ２１ 第２搬送テーブル ２２ 洗浄液供給ノズル ２３ ブラシ ３０，６０ 移送手段 ３１，６１ ガイドレール ３２，６２ 負圧吸着ヘッド ４０ 移載手段 ４１ 反転部 ４２ 移送部 ４２１ ガイドレール ４２２ 負圧吸着ヘッド ５０ 第３搬送部（ローラコンベア） ５１ 水洗手段 ５２ 水切り手段（エアーナイフ） ５３ 乾燥手段 Ａ 第１ステージ Ｂ 第２ステージ Ｃ 第３ステージ Ｄ 第４ステージ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三上 昭文 広島県三次市四拾貫町91番地 広島オプト 株式会社内 Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA21 HA01 MA20 2H090 JC19 LA15 3B116 AA02 AB14 AB23 AB27 AB42 BA02 BA13 BA14 BB22 BB33 CC01 CC03 CD41 3B201 AA02 AB14 AB23 AB27 AB42 BA02 BA13 BA14 BB22 BB33 BB92 CB15 CC01 CC12 CD41
Claims (4)
- 【請求項１】 液晶セルを搬送しながら、その表裏両面
を洗剤を含む洗浄液で洗浄する液晶セルの洗浄装置にお
いて、 上記液晶セルの搬送方向の上流側から下流側に沿って順
に並べられた第１ないし第４ステージと、 上記液晶セルを吸着固定して上記第１および第２ステー
ジ間を往復的に移動する第１基板搬送手段と、同第１基
板搬送手段にて搬送される上記液晶セルの一方の面を上
記洗浄液で洗浄する第１洗浄手段と、 上記液晶セルを吸着固定して上記第３および第４ステー
ジ間を往復的に移動する第２基板搬送手段と、同第２基
板搬送手段にて搬送される上記液晶セルの他方の面を上
記洗浄液で洗浄する第２洗浄手段と、 上記第１基板搬送手段にて上記第２ステージに搬送され
た上記液晶セルを、その表裏を反転させて上記第３ステ
ージに位置している上記第２基板搬送手段に受け渡す移
載手段とを備えていることを特徴とする液晶セルの洗浄
装置。 - 【請求項２】 上記各洗浄手段は、上記洗浄液を上記液
晶セルに供給する洗浄液供給部と、同洗浄液供給部の下
流側に配置されたブラシ洗浄部とを備えている請求項１
に記載の液晶セルの洗浄装置。 - 【請求項３】 上記第４ステージの下流側に、上記液晶
セルから上記洗浄液を落とすための水洗手段と、上記液
晶セルを乾燥させる乾燥手段とがさらに設けられている
請求項１または２に記載の液晶セルの洗浄装置。 - 【請求項４】 上記第４ステージ以降の下流側搬送手段
がローラ搬送手段である請求項３に記載の液晶セルの洗
浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000331708A JP2002126662A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 液晶セルの洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000331708A JP2002126662A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 液晶セルの洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002126662A true JP2002126662A (ja) | 2002-05-08 |
Family
ID=18808010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000331708A Withdrawn JP2002126662A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 液晶セルの洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002126662A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150015370A (ko) * | 2013-07-31 | 2015-02-10 | 가부시키가이샤 하리즈 | 박판 이송 장치 및 박판 청소 시스템 |
| CN104340730A (zh) * | 2013-07-31 | 2015-02-11 | 哈里斯股份有限公司 | 透明板清扫系统 |
| JP2016140851A (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | 株式会社 ハリーズ | 透明板検査装置及び透明板清掃検査システム |
| JP2016140815A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社 ハリーズ | 透明板清掃システム |
| JP2016140817A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社 ハリーズ | 清掃装置及びワーク清掃システム |
| JP2016140816A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社 ハリーズ | 透明板清掃システム |
| CN108160579A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-15 | 重庆市华阳光学仪器有限公司 | 一种望远镜外壳清洗工艺 |
-
2000
- 2000-10-31 JP JP2000331708A patent/JP2002126662A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150015370A (ko) * | 2013-07-31 | 2015-02-10 | 가부시키가이샤 하리즈 | 박판 이송 장치 및 박판 청소 시스템 |
| CN104340729A (zh) * | 2013-07-31 | 2015-02-11 | 哈里斯股份有限公司 | 薄板输送装置及薄板清扫系统 |
| CN104340730A (zh) * | 2013-07-31 | 2015-02-11 | 哈里斯股份有限公司 | 透明板清扫系统 |
| JP2015029922A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 株式会社 ハリーズ | 透明板清掃システム |
| JP2015030548A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 株式会社 ハリーズ | 薄板移送装置及び薄板清掃システム |
| KR101594529B1 (ko) * | 2013-07-31 | 2016-02-16 | 가부시키가이샤 하리즈 | 박판 이송 장치 및 박판 청소 시스템 |
| CN104340729B (zh) * | 2013-07-31 | 2017-04-12 | 哈里斯股份有限公司 | 薄板输送装置及薄板清扫系统 |
| JP2016140816A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社 ハリーズ | 透明板清掃システム |
| JP2016140817A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社 ハリーズ | 清掃装置及びワーク清掃システム |
| JP2016140815A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社 ハリーズ | 透明板清掃システム |
| JP2016140851A (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | 株式会社 ハリーズ | 透明板検査装置及び透明板清掃検査システム |
| CN108160579A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-15 | 重庆市华阳光学仪器有限公司 | 一种望远镜外壳清洗工艺 |
| CN108160579B (zh) * | 2017-12-27 | 2019-11-29 | 重庆市华阳光学仪器有限公司 | 一种望远镜外壳清洗工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001213517A (ja) | 板状部材の搬送装置 | |
| JPH09285958A (ja) | ウェーハの研磨装置システム | |
| JP2002212786A5 (ja) | ||
| JP2007052300A (ja) | マスク基板用の洗浄装置及びそれを用いたマスク基板の洗浄方法 | |
| WO2005077594A1 (ja) | 板材の縦型加工ライン | |
| JP2007165554A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
| JP2002126662A (ja) | 液晶セルの洗浄装置 | |
| JP3611563B2 (ja) | 板材の縦型加工ライン | |
| TW201039931A (en) | Cleansing apparatus and method for glass substrate | |
| JP2017190895A (ja) | 基材の液切り装置 | |
| JP2002239485A (ja) | 基板の洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JPH07249605A (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JP2005238109A (ja) | 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び電気光学装置の製造方法 | |
| JPS6028385B2 (ja) | 洗浄乾燥装置 | |
| CN100467140C (zh) | 涂布装置 | |
| KR20150072216A (ko) | 글라스 기판 접촉식 세정유닛 및 그 세정유닛이 구비된 세정장치 | |
| JP3192759B2 (ja) | 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 | |
| JP2543007B2 (ja) | ウエ−ハ枚葉洗浄装置 | |
| JP2000150441A (ja) | ローラブラシ洗浄装置 | |
| JP2004057862A (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JPH07241534A (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JP2003124285A (ja) | ウエット処理装置及び搬送方法 | |
| KR940006205A (ko) | 세정용 브러시를 가지는 기판세정장치 및 기판 세정방법 | |
| JP2656980B2 (ja) | ガラス基板洗浄方法 | |
| JP2988828B2 (ja) | 基板の液切り乾燥装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080108 |