KR101594529B1 - 박판 이송 장치 및 박판 청소 시스템 - Google Patents
박판 이송 장치 및 박판 청소 시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101594529B1 KR101594529B1 KR1020140089606A KR20140089606A KR101594529B1 KR 101594529 B1 KR101594529 B1 KR 101594529B1 KR 1020140089606 A KR1020140089606 A KR 1020140089606A KR 20140089606 A KR20140089606 A KR 20140089606A KR 101594529 B1 KR101594529 B1 KR 101594529B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- thin plate
- arm
- area
- adsorption
- cleaning
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
- B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G45/00—Lubricating, cleaning, or clearing devices
- B65G45/10—Cleaning devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/52—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices
- B65G47/53—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices between conveyors which cross one another
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
박판을 효율적으로 반전할 수 있는 박판 이송 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 본 발명의 박판 이송 장치는, 제1 받아건넴 영역에 있어서 박판의 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 박판을 해방하는 흡착부와, 이 흡착부가 일단측에 부설되어 있는 암과, 이 암의 타단측을 지지하고, 상기 흡착부에 흡착되어 있을 때의 상기 박판과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 360˚ 회전 가능한 회전부를 구비한다.
Description
본 발명은, 박판(薄板) 이송 장치 및 박판 청소 시스템에 관한 것이다.
액정 표시 장치 등에 사용되는 유리와 같은 박판의 표리면(表裏面)에는, 광학 피막 등이 형성된다. 박판이 오염되어 있으면 광학 피막 등을 적절히 형성할 수 없는 경우가 있으므로, 박판을 청소하는 시스템이 필요해지고 있다.
벨트 컨베이어 상에 펼친 청정한 천 상에 박판을 탑재하여, 알코올을 살포한 먼지가 없는 천으로 박판의 상면 전체의 오염을 제거하는 청소 장치가 제안되어 있다(중국 특허 출원 공개 제102698988호). 이와 같은 구성에서는, 박판의 사이즈에 관계없이, 박판 표면을 청소할 수 있다. 그러나, 이 장치에서는, 박판의 한쪽 면밖에 청소할 수 없다. 그러므로, 박판의 한쪽 면을 청소한 후에, 뒤집어 이 청소 장치라도 한쪽 면을 청소할 필요가 있다.
여기서, 일본 공개특허 제1996―89910호 공보의 도 10에는, 양단을 파지하여 박판을 반전시키는 구성 및 박판의 일면을 청소하는 구성이 기재되어 있다. 이 구성에서는, 박판의 일면을 청소한 후에, 박판을 반전시켜, 다른 쪽 면을 청소한다.
벨트 컨베이어 상에 펼친 청정한 천 상에 박판을 탑재하여, 알코올을 살포한 먼지가 없는 천으로 박판의 상면 전체의 오염을 제거하는 청소 장치가 제안되어 있다(중국 특허 출원 공개 제102698988호). 이와 같은 구성에서는, 박판의 사이즈에 관계없이, 박판 표면을 청소할 수 있다. 그러나, 이 장치에서는, 박판의 한쪽 면밖에 청소할 수 없다. 그러므로, 박판의 한쪽 면을 청소한 후에, 뒤집어 이 청소 장치라도 한쪽 면을 청소할 필요가 있다.
여기서, 일본 공개특허 제1996―89910호 공보의 도 10에는, 양단을 파지하여 박판을 반전시키는 구성 및 박판의 일면을 청소하는 구성이 기재되어 있다. 이 구성에서는, 박판의 일면을 청소한 후에, 박판을 반전시켜, 다른 쪽 면을 청소한다.
일본 공개특허 제1996―89910호 공보의 도 10에 기재된 구성에서는, 척(chuck)의 외측에 모터 등이 배치되어 있으므로, 모터 등을 넘어 척을 열 수가 없다. 따라서, 큰 사이즈의 박판에 대응할 수 없다. 또한, 이 구성에서는, 박판의 양단을 파지(把持)하므로, 이미 청소한 개소(箇所)에 파지하기 위한 척의 일부가 접촉한다. 그러므로, 박판의 양단을 완전히 청소하는 것은 어렵다.
그래서, 본 발명은, 박판을 효율적으로 반전하면서 이송할 수 있는 박판 이송 장치, 및 이 박판 이송 장치를 구비함으로써, 효율적으로 박판의 양면을 용이하고 또한 확실하게 청소할 수 있는 박판 청소 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
그래서, 본 발명은, 박판을 효율적으로 반전하면서 이송할 수 있는 박판 이송 장치, 및 이 박판 이송 장치를 구비함으로써, 효율적으로 박판의 양면을 용이하고 또한 확실하게 청소할 수 있는 박판 청소 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 발명은, 제1 받아건넴 영역에 있어서 박판의 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 박판을 해방하는 흡착부와, 이 흡착부가 일단측에 부설되어 있는 암(arm)과, 이 암의 타단측을 지지하고, 상기 흡착부에 흡착되어 있을 때의 상기 박판과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 360˚ 회전 가능한 회전부를 구비하는 박판 이송 장치이다.
상기 박판 이송 장치는, 회전부에 상기 타단측이 지지된 암의 상기 일단측에 설치한 흡착부에 의해 박판의 하면을 흡착하고, 흡착부에 흡착되어 있는 박판과 실질적으로 평행한 회전축을 중심으로 회전부를 회전함으로써 암을 선회(旋回)시켜, 원호를 그리도록 박판을 이동시키는 동시에 박판의 하면 및 상면을 반전시킬 수 있다. 이로써, 박판의 상면에 접촉하지 않고 박판을 이송 및 반전할 수 있다.
상기 박판 이송 장치에 있어서, 복수의 상기 흡착부 및 상기 암이, 상기 회전부를 중심으로 대략 회전 대칭으로 배치되어 있고, 상기 제1 받아건넴 영역과 상기 제2 받아건넴 영역이 상기 회전축을 중심으로 대략 회전 대칭으로 위치하면 된다. 이 구성에 의하면, 제1 받아건넴 영역에 있어서 한쪽의 흡착부가 박판을 흡착할 때, 다른 쪽의 흡착부가 제2 받아건넴 영역에 배치되므로, 제1 받아건넴 영역에서의 하나의 박판의 흡착과 동시에 제2 받아건넴 영역에서의 다른 박판의 해방이 가능하다. 그러므로, 상기 박판 이송 장치는, 효율적으로 박판을 이송할 수 있다. 그리고, 「대략 회전 대칭」이란, 완전히 회전 대칭인 경우뿐 아니라, 제1 받아건넴 영역에서의 하나의 박판의 흡착과 제2 받아건넴 영역에서의 다른 박판의 해방을 동시에 행할 수 있을 정도로 배치되어 있는 경우를 포함하는 것이다. 예를 들면, 대략 회전 대칭으로 되는 한 쌍의 받아건넴 영역(또는 암 또는 흡착부)의 한쪽과 회전축과의 거리가, 다른 쪽과 회전축과의 거리의 90% 이상 110% 이하인 경우라도, 받아건넴 영역끼리는 대략 회전 대칭이다. 그리고, 회전축에 대한 각도차도 마찬가지이며, 구체적으로는, 예를 들면, 대략 회전 대칭으로 되는 한 쌍의 받아건넴 영역(또는 암 또는 흡착부)의 한쪽과 회전축을 연결하는 가상 직선과, 다른 쪽과 회전축을 연결하는 가상 직선이, 10˚ 미만으로 되도록 한 경우에도, 받아건넴 영역끼리는 대략 회전 대상(對象)이다.
상기 박판 이송 장치는, 상기 회전부와 상기 암과의 사이에 설치되고, 상기 회전부에 대하여 상기 암을 상기 흡착부의 흡인 방향으로 돌출 또는 후퇴시키는 돌출 기구(機構)를 구비하면 된다. 이 구성에 의하면, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 돌출 기구가 상기 암을 후퇴시킴으로써 상기 흡착부가 박판으로부터 퇴피하고, 상기 돌출 기구가 상기 암을 돌출시킴으로써 상기 흡착부가 박판에 근접한다. 이로써, 만일 회전부의 회전 정지 상태인 채라도, 돌출 기구에 의한 암의 돌출에 의해 흡착부를 박판에 근접시키는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서는, 암이 신축 불가능이라도 되지만, 암이 신축 가능한 것이 바람직하다. 이로써, 사이즈가 상이한 박판이라도, 암의 신축에 의해 용이하고 또한 확실하게 반전시키면서 이송할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 작은 사이즈의 박판의 경우에는, 암을 신장(伸長)시킨 상태에서 박판을 흡착부에 의해 흡착하여 반전시키면서 이송하고, 한편, 큰 사이즈의 박판의 경우에는, 암을 수축시킨 상태에서 박판을 흡착부에 의해 흡착하여 반전시키면서 이송할 수 있다.
상기 박판 이송 장치에 있어서, 상기 암이, 상기 회전부에 지지되어 있는 고정 부재와, 이 고정 부재에 대하여 슬라이딩 가능하게 설치되어 있는 슬라이딩 부재를 가지고, 이 슬라이딩 부재에 상기 흡착부가 부설되어 있게 된다. 슬라이딩에 의해 암을 신축되는 간소한 구성으로 함으로써, 상기 박판 이송 장치를 과도하게 복잡화시키지 않는다.
상기 박판 이송 장치는, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 1개의 상기 박판을 아래로부터 지지하는 복수의 가지지(假支持) 부재를 구비하고, 이 복수의 가지지 부재가, 이 복수의 가지지 부재 사이를 상기 암이 통과할 수 있도록 설치되어 있는 것이면 된다. 한 번 가지지 부재로 박판을 지지할 수 있으므로, 예를 들면, 상기 박판 이송 장치에 대한 박판의 공급 장치로부터 순차적으로 박판을 가지지 부재로 수취할 수 있어, 공급 장치의 가동 상황 등의 영향을 쉽게 받지 않는다.
상기 박판 이송 장치는, 전술한 바와 같이 복수의 상기 흡착부, 상기 암 및 받아건넴 영역이 각각 회전부를 중심으로 대략 회전 대칭으로 배치되어 있는 경우에는, 상기 흡착부 및 상기 회전체의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 제어 장치가, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는 흡착 제어 요소(要素)와, 상기 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 흡착부가 상기 박판을 해방하도록 제어하는 해방 제어 요소와, 상기 제1 받아건넴 영역에서의 하나의 흡착부에 의한 하나의 박판의 흡착과, 상기 제2 받아건넴 영역에서의 다른 흡착부에 의한 다른 박판의 해방이 함께 완료한 후, 상기 회전부가 회전하도록 제어하는 회전 제어 요소를 가지면 된다. 이와 같이, 흡착 제어 요소, 해방 제어 요소 및 회전 제어 요소를 가지는 것에 의해, 제1 받아건넴 영역에서의 박판의 흡착과 제2 받아건넴 영역에서의 박판의 해방과 제1 받아건넴 영역으로부터 제2 받아건넴 영역으로의 박판의 이송을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 상기 박판 이송 장치에 있어서, 상기 흡착 제어 요소가, 상기 제2 받아건넴 영역에서의 상기 박판의 해방과 동시에, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하면 된다. 제1 받아건넴 영역에서의 박판의 흡착의 타이밍과 제2 받아건넴 영역에서의 박판의 해방의 타이밍이 같으면, 박판의 이송 사이클을 짧게 할 수 있다.
상기 박판 이송 장치는, 전술한 바와 같이 암이 신축 가능한 경우에는, 상기 흡착부, 상기 암 및 상기 회전체의 동작을 제어하는 제어 장치와, 상기 박판의 유무를 각각 검출하여 검지 신호를 상기 제어 장치에 송신하는 제1 센서 및 제2 센서를 구비하고, 상기 제1 센서가, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 암을 신장시켰을 때의 상기 흡착부의 근방에서 상기 박판의 유무를 검출하고, 상기 제2 센서가, 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 암의 상기 회전부에 지지되는 측의 상기 타단의 근방에서 상기 박판의 유무를 검출하면 된다. 이와 같이, 2개의 센서를 사용함으로써, 간단한 제어로 사이즈가 상이한 박판의 확실한 흡착이 가능해진다.
상기 박판 이송 장치는, 상기 제어 장치가, 상기 제1 센서가 상기 박판을 검출하지 않게 되었을 때 상기 암의 신장 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는 제1 제어 상태와, 상기 제2 센서가 상기 박판을 검출했을 때 상기 암이 수축된 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는 제2 제어 상태로 전환 가능하게 설치되어 있으면 된다. 이로써, 사이즈가 작은 박판을 흡착하는 경우에는, 상기 제1 제어 상태로 함으로써, 암을 신장시켜 상기 제1 센서를 사용하고, 한편, 사이즈가 큰 박판을 흡착하는 경우에는, 상기 제2 제어 상태로 함으로써, 암을 수축시켜 상기 제2 센서를 사용하는 것에 의해, 간단한 제어로 사이즈가 상이한 박판의 보다 확실한 흡착이 가능해진다.
상기 박판 이송 장치에 있어서, 상기 흡착부, 상기 암 및 상기 회전부의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 제어 장치가, 상기 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 암이 신장된 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 해방시킨 후, 상기 회전부가 회전하기 전에 상기 암이 수축되도록 제어하면 된다. 예를 들면, 상기 박판 장치에 의해 하류측의 다른 장치로 박판을 받아건네는 경우, 암을 신장시켜 회전부의 회전 중심으로부터 이격된 위치에 있어서 하류측의 다른 장치로 박판을 받아건네는 것, 또한 박판을 받아건넨 후에 암을 수축시킴으로써 회전부의 회전 시에 하류측의 다른 장치 및 이 장치가 유지하는 박판과 암이 쉽게 간섭하지 않는다. 그러므로, 하류측의 다른 장치의 상태에 관계없이 회전부가 회전하기 용이하다.
상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 다른 발명은, 상기 박판 이송 장치와, 상기 박판의 상면을 청소하고, 상기 박판 이송 장치에 박판을 공급하는 제1 클리닝 장치와, 상기 박판이 박판 이송 장치에 의해 반전되어 공급되고, 이 박판의 상면을 청소하고, 제2 청소부를 가지는 제2 클리닝 장치를 구비하는 박판 청소 시스템이다.
상기 박판 이송 장치는, 제1 클리닝 장치에서 이미 청소된 박판의 상면에 접촉하지 않고 박판을 유지하고, 박판을 효율적으로 반전시킬 수 있도록 반전하여, 반전된 미청소의 면(상면)을 청소하는 제2 클리닝 장치에 공급할 수 있으므로, 박판 청소 시스템은 효율적으로 박판의 양면을 용이하고 또한 확실하게 청소할 수 있다.
상기 박판 이송 장치는, 회전부에 상기 타단측이 지지된 암의 상기 일단측에 설치한 흡착부에 의해 박판의 하면을 흡착하고, 흡착부에 흡착되어 있는 박판과 실질적으로 평행한 회전축을 중심으로 회전부를 회전함으로써 암을 선회(旋回)시켜, 원호를 그리도록 박판을 이동시키는 동시에 박판의 하면 및 상면을 반전시킬 수 있다. 이로써, 박판의 상면에 접촉하지 않고 박판을 이송 및 반전할 수 있다.
상기 박판 이송 장치에 있어서, 복수의 상기 흡착부 및 상기 암이, 상기 회전부를 중심으로 대략 회전 대칭으로 배치되어 있고, 상기 제1 받아건넴 영역과 상기 제2 받아건넴 영역이 상기 회전축을 중심으로 대략 회전 대칭으로 위치하면 된다. 이 구성에 의하면, 제1 받아건넴 영역에 있어서 한쪽의 흡착부가 박판을 흡착할 때, 다른 쪽의 흡착부가 제2 받아건넴 영역에 배치되므로, 제1 받아건넴 영역에서의 하나의 박판의 흡착과 동시에 제2 받아건넴 영역에서의 다른 박판의 해방이 가능하다. 그러므로, 상기 박판 이송 장치는, 효율적으로 박판을 이송할 수 있다. 그리고, 「대략 회전 대칭」이란, 완전히 회전 대칭인 경우뿐 아니라, 제1 받아건넴 영역에서의 하나의 박판의 흡착과 제2 받아건넴 영역에서의 다른 박판의 해방을 동시에 행할 수 있을 정도로 배치되어 있는 경우를 포함하는 것이다. 예를 들면, 대략 회전 대칭으로 되는 한 쌍의 받아건넴 영역(또는 암 또는 흡착부)의 한쪽과 회전축과의 거리가, 다른 쪽과 회전축과의 거리의 90% 이상 110% 이하인 경우라도, 받아건넴 영역끼리는 대략 회전 대칭이다. 그리고, 회전축에 대한 각도차도 마찬가지이며, 구체적으로는, 예를 들면, 대략 회전 대칭으로 되는 한 쌍의 받아건넴 영역(또는 암 또는 흡착부)의 한쪽과 회전축을 연결하는 가상 직선과, 다른 쪽과 회전축을 연결하는 가상 직선이, 10˚ 미만으로 되도록 한 경우에도, 받아건넴 영역끼리는 대략 회전 대상(對象)이다.
상기 박판 이송 장치는, 상기 회전부와 상기 암과의 사이에 설치되고, 상기 회전부에 대하여 상기 암을 상기 흡착부의 흡인 방향으로 돌출 또는 후퇴시키는 돌출 기구(機構)를 구비하면 된다. 이 구성에 의하면, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 돌출 기구가 상기 암을 후퇴시킴으로써 상기 흡착부가 박판으로부터 퇴피하고, 상기 돌출 기구가 상기 암을 돌출시킴으로써 상기 흡착부가 박판에 근접한다. 이로써, 만일 회전부의 회전 정지 상태인 채라도, 돌출 기구에 의한 암의 돌출에 의해 흡착부를 박판에 근접시키는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서는, 암이 신축 불가능이라도 되지만, 암이 신축 가능한 것이 바람직하다. 이로써, 사이즈가 상이한 박판이라도, 암의 신축에 의해 용이하고 또한 확실하게 반전시키면서 이송할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 작은 사이즈의 박판의 경우에는, 암을 신장(伸長)시킨 상태에서 박판을 흡착부에 의해 흡착하여 반전시키면서 이송하고, 한편, 큰 사이즈의 박판의 경우에는, 암을 수축시킨 상태에서 박판을 흡착부에 의해 흡착하여 반전시키면서 이송할 수 있다.
상기 박판 이송 장치에 있어서, 상기 암이, 상기 회전부에 지지되어 있는 고정 부재와, 이 고정 부재에 대하여 슬라이딩 가능하게 설치되어 있는 슬라이딩 부재를 가지고, 이 슬라이딩 부재에 상기 흡착부가 부설되어 있게 된다. 슬라이딩에 의해 암을 신축되는 간소한 구성으로 함으로써, 상기 박판 이송 장치를 과도하게 복잡화시키지 않는다.
상기 박판 이송 장치는, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 1개의 상기 박판을 아래로부터 지지하는 복수의 가지지(假支持) 부재를 구비하고, 이 복수의 가지지 부재가, 이 복수의 가지지 부재 사이를 상기 암이 통과할 수 있도록 설치되어 있는 것이면 된다. 한 번 가지지 부재로 박판을 지지할 수 있으므로, 예를 들면, 상기 박판 이송 장치에 대한 박판의 공급 장치로부터 순차적으로 박판을 가지지 부재로 수취할 수 있어, 공급 장치의 가동 상황 등의 영향을 쉽게 받지 않는다.
상기 박판 이송 장치는, 전술한 바와 같이 복수의 상기 흡착부, 상기 암 및 받아건넴 영역이 각각 회전부를 중심으로 대략 회전 대칭으로 배치되어 있는 경우에는, 상기 흡착부 및 상기 회전체의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 제어 장치가, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는 흡착 제어 요소(要素)와, 상기 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 흡착부가 상기 박판을 해방하도록 제어하는 해방 제어 요소와, 상기 제1 받아건넴 영역에서의 하나의 흡착부에 의한 하나의 박판의 흡착과, 상기 제2 받아건넴 영역에서의 다른 흡착부에 의한 다른 박판의 해방이 함께 완료한 후, 상기 회전부가 회전하도록 제어하는 회전 제어 요소를 가지면 된다. 이와 같이, 흡착 제어 요소, 해방 제어 요소 및 회전 제어 요소를 가지는 것에 의해, 제1 받아건넴 영역에서의 박판의 흡착과 제2 받아건넴 영역에서의 박판의 해방과 제1 받아건넴 영역으로부터 제2 받아건넴 영역으로의 박판의 이송을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 상기 박판 이송 장치에 있어서, 상기 흡착 제어 요소가, 상기 제2 받아건넴 영역에서의 상기 박판의 해방과 동시에, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하면 된다. 제1 받아건넴 영역에서의 박판의 흡착의 타이밍과 제2 받아건넴 영역에서의 박판의 해방의 타이밍이 같으면, 박판의 이송 사이클을 짧게 할 수 있다.
상기 박판 이송 장치는, 전술한 바와 같이 암이 신축 가능한 경우에는, 상기 흡착부, 상기 암 및 상기 회전체의 동작을 제어하는 제어 장치와, 상기 박판의 유무를 각각 검출하여 검지 신호를 상기 제어 장치에 송신하는 제1 센서 및 제2 센서를 구비하고, 상기 제1 센서가, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 암을 신장시켰을 때의 상기 흡착부의 근방에서 상기 박판의 유무를 검출하고, 상기 제2 센서가, 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 암의 상기 회전부에 지지되는 측의 상기 타단의 근방에서 상기 박판의 유무를 검출하면 된다. 이와 같이, 2개의 센서를 사용함으로써, 간단한 제어로 사이즈가 상이한 박판의 확실한 흡착이 가능해진다.
상기 박판 이송 장치는, 상기 제어 장치가, 상기 제1 센서가 상기 박판을 검출하지 않게 되었을 때 상기 암의 신장 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는 제1 제어 상태와, 상기 제2 센서가 상기 박판을 검출했을 때 상기 암이 수축된 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는 제2 제어 상태로 전환 가능하게 설치되어 있으면 된다. 이로써, 사이즈가 작은 박판을 흡착하는 경우에는, 상기 제1 제어 상태로 함으로써, 암을 신장시켜 상기 제1 센서를 사용하고, 한편, 사이즈가 큰 박판을 흡착하는 경우에는, 상기 제2 제어 상태로 함으로써, 암을 수축시켜 상기 제2 센서를 사용하는 것에 의해, 간단한 제어로 사이즈가 상이한 박판의 보다 확실한 흡착이 가능해진다.
상기 박판 이송 장치에 있어서, 상기 흡착부, 상기 암 및 상기 회전부의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 제어 장치가, 상기 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 암이 신장된 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 해방시킨 후, 상기 회전부가 회전하기 전에 상기 암이 수축되도록 제어하면 된다. 예를 들면, 상기 박판 장치에 의해 하류측의 다른 장치로 박판을 받아건네는 경우, 암을 신장시켜 회전부의 회전 중심으로부터 이격된 위치에 있어서 하류측의 다른 장치로 박판을 받아건네는 것, 또한 박판을 받아건넨 후에 암을 수축시킴으로써 회전부의 회전 시에 하류측의 다른 장치 및 이 장치가 유지하는 박판과 암이 쉽게 간섭하지 않는다. 그러므로, 하류측의 다른 장치의 상태에 관계없이 회전부가 회전하기 용이하다.
상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 다른 발명은, 상기 박판 이송 장치와, 상기 박판의 상면을 청소하고, 상기 박판 이송 장치에 박판을 공급하는 제1 클리닝 장치와, 상기 박판이 박판 이송 장치에 의해 반전되어 공급되고, 이 박판의 상면을 청소하고, 제2 청소부를 가지는 제2 클리닝 장치를 구비하는 박판 청소 시스템이다.
상기 박판 이송 장치는, 제1 클리닝 장치에서 이미 청소된 박판의 상면에 접촉하지 않고 박판을 유지하고, 박판을 효율적으로 반전시킬 수 있도록 반전하여, 반전된 미청소의 면(상면)을 청소하는 제2 클리닝 장치에 공급할 수 있으므로, 박판 청소 시스템은 효율적으로 박판의 양면을 용이하고 또한 확실하게 청소할 수 있다.
본 발명의 박판 이송 장치는, 박판을 효율적으로 반전하면서 이송할 수 있고, 또한 상기 박판 청소 시스템은 효율적으로 박판의 양면을 용이하고 또한 확실하게 청소할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시형태의 박판 청소 시스템을 나타내는 모식적 측면도이다.
도 2는 도 1의 박판 청소 시스템의 박판 이송 장치를 나타낸 모식적 평면도이다.
도 3은 도 2의 박판 이송 장치의 모식적 측면도이다.
도 4는 박판 이송 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 5는 짧은 박판을 이송하는 경우의 박판 이송 장치의 대기 상태를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 6은 도 5의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 7은 도 6의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 8은 도 7의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 9는 긴 박판을 이송하는 경우의 박판 이송 장치의 대기 상태를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 10은 도 9의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 11은 도 10의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치의 대기 상태를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 12는 도 1과는 상이한 실시형태의 박판 청소 시스템에 관한 박판 이송 장치의 모식적 평면도이다.
도 2는 도 1의 박판 청소 시스템의 박판 이송 장치를 나타낸 모식적 평면도이다.
도 3은 도 2의 박판 이송 장치의 모식적 측면도이다.
도 4는 박판 이송 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 5는 짧은 박판을 이송하는 경우의 박판 이송 장치의 대기 상태를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 6은 도 5의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 7은 도 6의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 8은 도 7의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 9는 긴 박판을 이송하는 경우의 박판 이송 장치의 대기 상태를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 10은 도 9의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 11은 도 10의 다음의 상태에서의 박판 이송 장치의 대기 상태를 예시하는 모식적 측면도이다.
도 12는 도 1과는 상이한 실시형태의 박판 청소 시스템에 관한 박판 이송 장치의 모식적 평면도이다.
이하, 적절히 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다. 먼저, 도 1 내지 도 11을 참조하면서, 본 발명의 제1 실시형태의 박판 청소 시스템에 대하여 설명한다.
[제1 실시형태]
도 1의 박판 청소 시스템(1)은, 투명한 박판(P)을 아래로부터 지지하여 상면을 청소하는 제1 클리닝 장치(10)와, 박판(P)을 아래로부터 지지하여 상면[제1 클리닝 장치(10)에서의 하면]을 청소하는 제2 클리닝 장치(20)와, 박판(P)을 제1 클리닝 장치(10)로부터 제2 클리닝 장치(20)로 반전하면서 이송하는 박판 이송 장치(30)를 구비한다. 여기서, 박판(P)에는, 예를 들면, 액정 표시 장치 등에 사용되는 유리나 수지 소재의 기판이 포함된다. 그리고, 도 1 등에 나타낸 바와 같이, 제1 클리닝 장치(10)의 박판(P)의 반송 방향[박판 이송 장치(30)에 대한 박판(P)의 공급 방향]과, 제2 클리닝 장치(10)의 박판(P)의 반송 방향[박판 이송 장치(30)로부터의 박판(P)의 공급 방향]은, 동일 방향[측면도인 도 1의 우측으로부터 좌측으로(지면(紙面) 최상으로부터 아래로)의 방향]이다.
<제1 클리닝 장치>
제1 클리닝 장치(10)는, 제1 반송부(搬送部)(11)와, 제1 청소부(12)를 가진다. 제1 반송부(11)는, 하면이 접촉하도록 박판(P)이 탑재되는 박판 공급 영역(A1)으로부터, 박판(P)이 청소되는 제1 청소 영역(A2)을 통하여, 박판(P)을 박판 이송 장치(30)로 받아건네는 제1 받아건넴 영역(A3)까지 박판(P)을 반송하는 벨트 컨베이어로 이루어진다. 제1 청소부(12)는, 제1 청소 영역(A2)에 있어서 제1 반송부(11) 상에 탑재되어 있는 박판(P)의 상면을 청소한다.
제1 청소부(12)는, 다음과 같이 하여 박판(P)의 상면에 부착되어 있는 오염을 제거하도록 구성되어 있다. 먼저, 먼지가 생기지 않도록 형성된 청정한 장척(長尺)의 천(13)에 도시하지 않은 살포 장치에 의해 알코올이 살포된다. 그리고, 연직의 편심축을 중심으로 회전하는 원반(14)에 의해, 제1 반송부(11) 상에 탑재되어 있는 박판(P)에 장척의 천(13)이 가압된다. 이로써, 장척의 천(13)은, 박판(P)의 위에서 원을 그리도록 작동되어 박판(P)의 상면의 오염을 제한다.
<제2 클리닝 장치>
제2 클리닝 장치(20)는, 제1 클리닝 장치(10)의 제1 받아건넴 영역(A3)의 박판(P)이 박판 이송 장치(30)에 의해 반전되어 공급된다. 이 제2 클리닝 장치(20)는, 제2 반송부(21)와, 제2 청소부(22)를 가진다. 제2 반송부(21)는, 박판(P)을 수취하는 제2 받아건넴 영역(A4)으로부터 박판(P)이 청소되는 제2 청소 영역(A5)을 통하여 박판(P)을 배출하는 박판 배출 영역(A6)까지 박판(P)을 반송한다. 제2 청소부(22)는, 제2 청소 영역(A5)에 있어서 박판(P)의 상면[제1 클리닝 장치(10)에서의 박판(P)의 하면(반전 전의 하면)]을 청소한다.
제2 반송부(21)는, 벨트 컨베이어(23)와, 벨트 컨베이어(23) 상에 공급되고, 벨트 컨베이어(23)와 같은 속도로 이동하는 청정한 탑재용 장척의 천(24)을 가진다. 박판(P)은, 항상 새롭게 공급되는 탑재용 장척의 천(24)의 상에, 제1 클리닝 장치(10)에 의해 청소된 하면(반전 전의 상면)이 접촉하도록 탑재된다. 또한, 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21)가 박판(P)에 접촉하는 높이는, 제1 클리닝 장치(10)의 제1 반송부(11)가 박판(P)에 면접촉하는 높이 미만이다.
제2 청소부(22)는, 다음과 같이 하여 박판(P)의 상면(반전 전의 하면)의 오염을 제거하도록 구성되어 있다. 먼저, 먼지가 생기지 않도록 형성된 청정한 장척의 천(25)에 도시하지 않은 살포 장치에 의해 알코올이 살포된다. 그리고, 연직의 편심축을 중심으로 회전하는 원반(26)에 의해, 제2 반송부(21) 상에 탑재되어 있는 박판(P)에 장척의 천(25)이 가압된다. 이로써, 장척의 천(25)은, 박판(P)의 위에서 원을 그리도록 작동되어 박판(P)의 상면의 오염을 제거한다.
<박판 이송 장치>
도 2는, 박판 이송 장치(30)의 평면을 도시하고, 도 3은, 박판 이송 장치(30)의 평면을 도시한다. 박판 이송 장치(30)는, 상류의 공급 장치[상기 제1 클리닝 장치(10)]로부터 순차적으로 제1 받아건넴 영역(A3)에 공급되는 박판(P)을, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 하류의 장치[상기 제2 클리닝 장치(20)]에 받아건네는 장치이며, 상기 제2 클리닝 장치(20)는 받아건넨 박판(P)을 순차적으로 하류측으로 반송한다. 이 박판 이송 장치(30)는, 도 2 및 도 3에 상세하게 나타낸 바와 같이, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)의 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 상기 박판(P)을 해방하는 흡착부(32)와, 이 흡착부(32)가 일단측에 부설되어 있는 암(33)과, 이 암(33)의 타단측을 지지하는 회전부(35)를 구비하고 있다.
또한, 박판 이송 장치(30)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 설치된 가지지 부재(31)와, 회전부(35)에 대하여 상기 암(33)을 상기 흡착부(32)의 흡인 방향으로 돌출 또는 후퇴시키는 돌출 기구(34)를 구비한다. 박판 이송 장치(30)는 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 1개의 박판(P)을 아래쪽으로부터 지지하는 가지지 부재(31)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 가지지 부재(31)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 제1 클리닝 장치(10)(도 1 참조)로부터 배출된 박판(P)의 하면을 일시적으로 지지한다. 흡착부(32)는, 가지지 부재(31)에 지지되어 있는 박판(P)의 하면을 흡착한다. 암(33)은 신축 가능하다. 구체적으로는, 암(33)은, 회전부(35)에 지지되는 상기 타단으로부터 흡착부(32)가 부설되는 상기 일단을 향하는 방향으로 신축 가능하다. 돌출 기구(34)는, 회전부(35)와 암(33)과의 사이에 설치되고, 전술한 바와 같이 회전부(35)에 대하여 암(33)을 흡착부(32)의 흡인 방향으로 돌출 또는 후퇴하는 기구이다. 구체적으로는, 돌출 기구(34)는, 암(33)의 상기 타단측을 지지하는 에어 실린더로 이루어진다. 회전부(35)는, 돌출 기구(34)가 고정되고, 이로써, 전술한 바와 같이 암(33)을 지지하고 있다. 회전부(35)는, 흡착부(32)에 흡착되는 박판(P)과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 회전 가능하다. 이 회전축은, 흡착부(32)의 흡인 방향과 수직이며, 또한 수평 방향[제1 반송부(11)가 박판(P)을 반송하는 방향으로 수직인 방향]으로 설치되어 있다. 박판 이송 장치(30)는, 복수의 상기 흡착부(32), 상기 암(33) 및 상기 돌출 기구(34)를 구비하고 있고, 이들 복수의 상기 흡착부(32), 상기 암(33) 및 상기 돌출 기구(34)는 각각 쌍을 이루어, 한 쌍의 상기 흡착부(32), 상기 암(33) 및 상기 돌출 기구(34)는, 각각 회전부(35)의 회전축을 중심으로 회전 대칭으로 설치되어 있다.
박판 이송 장치(30)는, 도 2 등에 나타낸 바와 같이 복수의 상기 가지지 부재(31)를 구비하고 있다. 이 복수의 가지지 부재(31)는, 제1 반송부(11)의 반송 방향으로 평행하게 설치되고, 이 복수의 가지지 부재(31) 사이를 암(33)을 통과할 수 있도록 설치되어 있다. 각각의 가지지 부재(31)는, 제1 반송부(11)의 반송 방향으로 나란히 배치된 복수의 풀리(31a)로 이루어진다. 가지지 부재(31)는, 상류측[도 1에서의 제1 클리닝 장치(10) 측]) 쪽이 하류측보다, 제1 반송부(11)의 반송 방향으로 작은 간격으로 배치되어 있다. 또한, 가지지 부재(31)는, 암(33)이 통과 가능하도록, 제1 반송부(11)의 반송 방향에 직교하는 횡단 방향에 있어서 암(33)의 폭보다 넓은 간격으로 배열되어 있다. 그리고, 가지지 부재(31)는, 상류측에서는 폭의 작은 박판(P)을 지지 가능하도록 제1 반송부(11)의 반송 방향에 직교하는 횡단 방향으로 작은 간격으로 배열되고, 하류측에서는 폭의 큰 박판(P)을 지지 가능하도록 횡단 방향으로 큰 간격으로 배열되어 있다.
상기 흡착부(32)는, 암(33)에 장착된 진공 패드(36)를 가진다. 여기서, 각 암(33)에는 각각 복수의 상기 진공 패드(36)가 장착되어 있다. 암(33)에는, 도시하지 않은 진공원에 접속된 유로(流路)와 연통되고, 진공 패드(36)를 장착 가능한 복수의 흡인공(37)이 형성되어 있다. 진공 패드(36)는, 박판(P)을 흡착하여 지지한다. 이들 진공 패드(36)는, 흡착해야 할 박판(P)의 크기에 따라 적당한 위치에 장착된다. 진공 패드(36)를 장착하지 않는 흡인공(37)은 플러그로 봉지(封止)된다.
상기 암(33)은, 흡착부(32)가 도 3 등에 나타낸 바와 같이 회전부(35)의 회전축으로부터 접근·이격되도록 신축 가능하며, 구체적으로는 흡착부(32)의 흡인 방향과 수직인 방향[도 3에 나타낸 바와 같이 흡착부(32)에 흡착한 박판(P)에 평행한 방향]으로서, 흡착부(32)를 제1 받아건넴 영역(A3)에 배치했을 때 제1 반송부(11)의 반송 방향(D)과 평행한 수평 방향으로 신축 가능하다. 암(33)은, 상기 돌출 기구(34)에 체결 고정됨으로써 회전부(35)에 지지되어 있는 고정 부재(38)와, 이 고정 부재(38)에 슬라이딩 가능하게 설치되는 슬라이딩 부재(39)를 가지고, 이 슬라이딩 부재(39)에 상기 흡착부(32)가 부설되어 있다. 구체적으로 설명하면, 고정 부재(38)는, 로드레스 실린더의 슬라이딩 튜브(38a) 및 하우징(38b)을 포함하고, 슬라이딩 부재(39)는, 로드레스 실린더의 슬라이딩 테이블(39a)과 이 슬라이딩 테이블(39a)로부터 로드레스 실린더의 동작 방향으로 연장되고, 슬라이딩 테이블(39a)과는 반대측에 흡착부(32)가 부설되는 가늘고 긴 후판형(厚板形)의 부재(39b)를 포함한다.
상기 돌출 기구(34)는, 전술한 바와 같이 암(33)을 흡착부(32)의 흡인 방향과 평행하게, 돌출[회전부(35)로부터 이격] 또는 후퇴[회전부(35)에 접근]시킨다. 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)을 수평으로 배치하고, 돌출 기구(34)를 암(33)의 후퇴 상태로 하면, 가지지 부재(31)가 박판(P)을 지지하는 높이보다 아래쪽에 흡착부(32)의 진공 패드(36) 전체가 위치하고, 그 후, 돌출 기구(34)에 의해 암(33)을 돌출 상태로 하면, 가지지 부재(31)가 박판(P)을 지지하는 높이보다 위쪽으로 진공 패드(36)의 흡착면이 위치한다. 즉, 흡착부(32)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서, 돌출 기구(34)가 암(33)을 후퇴시키는 것에 의해 박판(P)보다 아래쪽으로 퇴피하고, 돌출 기구(34)가 암(33)을 돌출시킴으로써 박판(P)을 들어올린다. 이로써, 제1 주고받는 위치(A3)에 있어서 흡착부(32)에 의해 박판(P)을 아래쪽으로부터 유지할 수 있다.
상기 회전부(35)는, 모터(40)에 의해 회전축을 중심으로 360˚ 회전한다. 그리고, 360˚ 회전한다는 것은, 회전부(35)가, 1회전밖에 할 수 없는 것을 의미하는 것이 아니고, 일방향으로 연속하여 회전할 수 있는 것을 의미한다. 이 회전부(35)의 회전축은, 제1 받아건넴 영역(A3)의 높이 위치와 제2 받아건넴 영역(A4)의 높이 위치와의 사이의 높이로 설치되어 있다. 즉, 이 회전축은, 제1 반송부(11)가 박판(P)과 접촉하는 부분과 제2 반송부(21)가 박판(P)과 접촉하는 부분과의 사이의 높이에 설치되어 있다. 회전부(35)가 회전하면, 암(33)은, 가지지 부재(31)의 사이를 통과하여 선회하도록 이동한다.
또한, 박판 이송 장치(30)는, 박판의 유무를 각각 검출하여 검지 신호를 후술하는 제어 장치에 송신하는 상류측 센서(41)(제1 센서), 하류측 센서(42)(제2 센서) 및 해방측 센서(43)를 구비한다.
상류측 센서(41) 및 하류측 센서(42)는 제1 받아건넴 영역(A3)에 설치되고, 즉 박판 이송 장치(30)는 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)의 공급 방향으로 복수의 센서(41, 42)가 설치되어 있다. 상류측 센서(41)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)을 신장시켰을 때의 상기 흡착부(32)의 근방에서 상기 박판(P)의 유무를 검출한다. 구체적으로는, 상류측 센서(41)는, 상기 흡착부(32)의 근방 또한 흡착부(32)보다 신장측(상류측)에서 박판(P)의 유무를 검출한다. 보다 구체적으로는, 상류측 센서(41)는, 박판(P)이 제1 클리닝 장치(10)로부터 이격된 것을 검지 가능하게 설치되어 있다. 하류측 센서(42)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)의 회전부(35)에 지지되는 측의 상기 타단의 근방에서 박판(P)의 유무를 검출한다. 구체적으로는, 하류측 센서(42)는, 암(33)을 수축했을 때의 흡착부(32)의 근방 또한 흡착부(32)보다 수축측(하류측)에서 박판(P)의 유무를 검출한다.
해방측 센서(43)는 제2 받아건넴 영역(A4)에 설치되어 있다. 해방측 센서(43)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 암(33)을 신장시켰을 때의 흡착부(32)의 근방 또한 흡착부(32)보다 신장측(하류측)에서 박판(P)의 유무를 검출한다. 상류측 센서(41), 하류측 센서(42) 및 해방측 센서(43)는, 바람직하게는 광전 센서 등의 비접촉형의 센서이며, 회전부(35)의 회전에 의해 다른 구성 요소와 간섭하지 않는 위치에 고정된다.
또한, 박판 이송 장치(30)는, 전술한 각각의 구성 요소의 동작을 제어하는 제어 장치(44)를 구비한다. 제어 장치(44)는, 바람직하게는 프로그램 가능한 마이크로 컴퓨터 등에 의해 구성된다.
도 4의 블록도에, 박판 이송 장치(30)의 제어에 관한 각각의 구성 요소의 관계를 나타낸다. 제어 장치(44)에는, 설정 입력부(45)를 통하여 이송하는 박판(P)의 사이즈 등의 조건 설정이 미리 입력된다. 또한, 제어 장치(44)에는, 상류측 센서(41), 하류측 센서(42) 및 해방측 센서(43)의 검출 신호가 입력된다. 제어 장치(44)는, 이들의 입력에 따라, 흡착부(32)의 흡인 동작, 암(33)의 신축 동작, 돌출 기구(34)의 돌출 후퇴 동작, 및 회전부(35)의 회전 동작을 제어한다. 박판 이송 장치(30)는, 전술한 바와 같이 한 쌍의 흡착부(32), 암(33) 및 돌출 기구(34)가 회전부(35)의 회전축을 중심으로 회전 대칭으로 배치되어 있다. 각각의 구성 요소가 개별적으로 제어되므로, 필요에 따라 이들 구성 요소에 「제1」또는 「제2」의 번호를 부여하여 구별한다.
제어 장치(44)는, 흡착 제어 요소(46)와, 해방 제어 요소(47)와, 회전 제어 요소(48)를 가진다. 흡착 제어 요소(46)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착하기 위한 동작을 제어한다. 해방 제어 요소(47)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시켜 제2 클리닝 장치(20)로 받아건네기 위한 동작을 제어한다. 회전 제어 요소(48)는, 회전부(35)를 회전시켜 박판(P)을 제1 받아건넴 영역(A3)으로부터 제2 받아건넴 영역(A4)으로 이송하기 위한 동작을 제어한다. 이들 흡착 제어 요소(46), 해방 제어 요소(47) 및 회전 제어 요소(48)는, 제어 장치(44)의 회로 또는 프로그램의 일부이며, 회로 모듈 또는 서브 루틴과 같이 다른 부분과 구별 가능하게 구성되는 것이 바람직하다.
흡착 제어 요소(46)는, 미리 설정 입력부(45)에 있어서 설정된 박판(P)의 길이[암(33)의 신축 방향(제1 반송부(11)의 반송 방향(D)의 길이]가 소정의 기준 길이(L) 이하인 경우에는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)이 신장되고, 또한 돌출 기구(34)가 암(33)을 아래쪽으로 후퇴시킨 상태에서 대기하고, 상류측 센서(41)가 박판(P)을 검출하지 않게 되었을 때 돌출 기구(34)가 암(33)을 위쪽으로 돌출시키는 동시에 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착하도록 제어한다(제1 제어 상태). 흡착 제어 요소(46)는, 설정된 박판(P)의 길이가 기준 길이(L)를 초과하는 경우에는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)이 수축된 상태에서 대기하고, 하류측 센서(42)가 박판(P)을 검출했을 때 돌출 기구(34)가 암(33)을 위쪽으로 돌출시키는 동시에, 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착하도록 제어한다(제2 제어 상태). 즉, 제어 장치(44)는, 박판(P)의 사이즈에 따라서, 상기 제1 제어 상태와 제2 제어 상태로 전환 가능하게 설치되어 있다.
해방 제어 요소(47)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 돌출 기구(34)가 암(33)을 아래쪽으로 돌출시킨 상태에서 대기하고, 해방측 센서(43)의 검출 신호(확인 신호)에 따라, 흡착부(32)의 흡인을 정지하여 흡착하고 있는 박판(P)을 해방시키고, 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21) 상에 박판(P)을 탑재하도록 흡착부(32)를 제어한다. 더욱 상세하게는, 제어 요소(47)는, 앞의 제어 사이클에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후, 한 번 해방측 센서(43)가 박판(P)을 검출하고 나서, 재차 박판(P)을 검출하지 않게 되었을 때, 박판(P)이 제2 받아건넴 영역(A4)으로부터 제2 청소 영역(A5)으로 이송되고, 제2 받아건넴 영역(A4)에 박판(P)이 없는 것으로 판단한다. 또한, 해방 제어 요소(47)는, 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 돌출 기구(34)에 암(33)을 위쪽으로 후퇴시키는 동시에 이 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 암(33)을 수축시킨다.
회전 제어 요소(48)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 하나의 흡착부(32)에 의한 하나의 박판(P)의 흡착과, 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 다른 흡착부(32)에 의한 다른 박판(P)의 해방이 모두 완료된 후, 회전부(35)가 회전하도록 제어하고 있다. 보다 구체적으로는, 이 회전 제어 요소(48)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방이 완료되고, 또한 암(33)의 수축이 모두 완료한 후에, 상기 회전부(35)가 회전하도록 제어한다. 그러므로, 제어 장치(44)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 암(33)이 신장된 상태에서 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후, 회전부(35)가 회전하기 전에 암(33)이 수축하도록 제어하고 있다. 그리고, 상기 흡착 제어 요소(46)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방과 동시에 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착하도록 제어할 수 있다.
<동작>
이로써, 박판 이송 장치(30)의 상태 변화를 순차적으로 나타내는 주로 도 5 내지 도 11을 참조하면서, 순서에 따라 상기 박판 청소 시스템의 동작을 설명한다. 그리고, 이하의 동작의 제어는, 상기 제어 장치에 의해되어 있다.
박판 청소 시스템이 동작을 개시하기 전에, 사용자가 유리판의 크기를 미리 조작 패널에 의해 입력한다. 전술한 바와 같이, 제1 클리닝 장치(10)(도 1 참조)는, 제1 반송부(11) 상에 박판(P)을 탑재하여 반송하면서, 제1 청소부(12)에 의해 제1 반송부(11) 상에 탑재되어 있는 박판(P)의 상면을 청소한다. 그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 반송부(11)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)을 박판 이송 장치(30)의 가지지 부재(31) 상으로 배출한다.
이 때, 박판 이송 장치(30)는, 돌출 기구(34)에 의해 암(33)을 후퇴시켜 흡착부(32)를 가지지 부재(31) 아래로 퇴피시킨 상태에서, 가지지 부재(31) 상에 박판(P)이 공급되는 것을 기다린다. 도 5는, 박판(P)의 반송 방향에서의 길이가 기준 길이(L) 이하이며, 암(33)을 신장시킨 상태에서 박판(P)의 공급을 기다리는 상태를 나타낸다.
제1 반송부(11)에 의해 제1 받아건넴 영역(A3)에 박판(P)이 반입(搬入)되기 시작하면, 상류측 센서(41)가 박판(P)을 검출한다. 그리고, 박판(P)의 전체가 제1 반송부(11)로부터 가지지 부재(31)로 받아건넨 직후에, 박판(P)의 후단(後端) 에지가 상류측 센서(41)를 통과하므로, 상류측 센서(41)가 다시 박판(P)을 검출할 수 없어진다. 이 순간에, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 받아건넴 영역(A3) 측의 돌출 기구(34)가 암(33)을 돌출시켜 흡착부(32)의 진공 패드(36)를 가지지 부재(31)보다 위쪽으로 돌출시킨다. 그리고, 이와 동시에, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있는 흡착부(32)가 진공원에 접속되어 흡인력을 발생한다. 이로써, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있는 흡착부(32)는, 박판(P)을 가지지 부재(31)로부터 들어올리는 동시에 하면을 흡착하여 유지한다. 여기서, 진공 패드(36)가 박판(P)을 흡착하기 직전에는, 박판(P)은 이동하고 있다. 그러므로, 박판(P)이 이동하고 있는 상태에서 진공 패드(36)는 박판(P)에 흡착된다.
제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착 유지하고나서, 도 7에 나타낸 바와 같이 회전부(35)가 도 7에 있어서 반시계 방향으로 180˚ 회전한다. 즉, 회전부(35)는, 제1 받아건넴 영역(A3) 측의 암(33)의 상류측 선단이 위쪽으로 이동하고, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 암(33)의 하류측 선단이 아래쪽으로 이동하도록 회전한다.
회전부(35)를 회전한 후에는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 암(33)이 유지하고 있는 박판(P)은 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21) 상에 배치되어 있다. 그러므로, 암(33)은, 제2 클리닝 장치(20)로부터의 요구가 있으면 즉시 제2 반송부(21) 상에 박판(P)을 탑재할 수 있는 상태로 되어 있다. 한편, 제1 받아건넴 영역(A3) 측의 암(33)이 신장되어, 도 5에 대하여 설명한 바와 같이 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)을 흡착할 수 있는 상태로 된다.
이 상태에서, 먼저 제1 받아건넴 영역(A3)에 다음의 박판(P)이 공급된 경우, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제1 받아건넴 영역(A3) 측의 돌출 기구(34)가 암(33)을 돌출시키는 동시에 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착한다. 그리고, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 암(33)은 신장된 제2 반송부(21) 상에 박판(P)을 탑재할 수 있는 상태를 유지한다.
해방측 센서(43)에 의해, 전회의 제어 사이클에 있어서 제2 받아건넴 영역(A4)에 공급된 박판(P)을 제2 반송부(21)가 제2 청소 영역(A5)으로 이송한 것을 확인할 수 있었을 때, 부가하자면, 제2 받아건넴 영역(A4)에 박판(P)을 공급 가능한 상태로 되었을 때, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 흡착부(32)가 진공원으로부터 격리되어 흡착력을 상실함으로써 박판(P)을 해방한다. 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후에는, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 돌출 기구(34)가 암(33)을 후퇴시켜, 이 암(33)이 수축되어 회전부(35)의 회전 시에 제2 반송부(21)과 간섭하지 않도록 한다.
도 7의 상태에 있어서, 제1 받아건넴 영역(A3)에 다음의 박판(P)이 공급되기 전에 해방측 센서(43)에 의해 제2 받아건넴 영역(A4)에 박판(P)이 없는 것이 확인되었을 때는, 바로 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시키고, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 암(33)의 수축 및 돌출 기구(34)에 의한 후퇴(상승)가 행해지고, 도 5에 나타낸 상태에서, 제1 받아건넴 영역(A3)으로의 박판(P)의 공급을 기다린다. 전원 투입된 후에 행해지는 박판(P)의 청소나, 반송 등에 트러블이 없는 경우에는, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과 제2 받아건넴 영역에서의 박판(P)의 해방은 동시에 행해지도록 설정되어 있다.
이와 같이, 회전부(35)의 회전은, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과, 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방 및 암(33)의 수축이 모두 완료된 후에 행해진다.
이상의 도 5 내지 도 8의 동작은, 박판(P)의 길이가 기준 길이(L) 이하인 경우이다. 박판(P)의 길이가 기준 길이(L)를 넘는 경우, 도 9∼도 11에 나타낸 바와 같은 동작으로 된다.
박판(P)의 길이가 기준 길이(L)를 넘는 경우, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착은, 도 9에 나타낸 바와 같이, 암(33)을 수축시킨 상태에서, 박판(P)의 공급을 기다리고, 하류측 센서(42)가 박판(P)의 전단(前端) 에지를 검출했을 때 암(33)을 위쪽으로 돌출시키는 동시에 흡착부(32)와 박판(P)을 흡착한다. 여기서, 진공 패드(36)가 박판(P)을 흡착하기 직전에는, 박판(P)은 이동하고 있다. 그러므로, 박판(P)이 이동하고 있는 상태에서 진공 패드(36)는 박판(P)에 흡착한다.
박판 이송 장치(30)에 있어서, 박판(P)이 긴 경우에는, 박판(P)이 흡착부(32)로부터 상류측으로 돌출된 상태로 흡착지지된다. 만일, 암(33)을 신장시킨 상태로 긴 박판(P)을 흡착부(32)에 의해 흡착하는 것으로 하면, 박판(P)의 상류측의 부분이 아직도 제1 반송부(11) 상에 위치하고 있는 동안에 흡착부(32)에 의해 박판(P)을 들어올릴 필요가 있다. 그러나, 제1 반송부(11)와 박판(P)은 맞닿은 면적이 크기 때문에, 제1 반송부(11) 상에 있는 박판(P)을 그 면에 수직으로 들어올리려고 하면 제1 반송부(11)와 박판(P)과의 사이에 진공(기압 저하)이 생겨 큰 저항으로 된다. 따라서, 암(33)을 수축된 상태로 함으로써, 박판(P)이 완전히 제1 반송부(11)로부터 이탈하고나서 흡착부(32)가 박판(P)을 들어올리면서 흡착하도록 할 수 있다.
흡착부(32)가 박판(P)을 흡착한 후, 도 10에 나타낸 바와 같이, 회전부(35)가 회전한다. 그리고, 도 11에 나타낸 바와 같이, 암(33)이 신장되어, 박판(P)이 제2 받아건넴 영역(A4)에 배치된다. 이 신장의 전에, 돌출 기구(34)에 의해 암(33)을 퇴피 상태로 할 수 있고, 이로써, 신장에 있어서 박판(P)이 제2 반송부(21)와의 뜻하지 않은 접촉을 회피할 수 있다. 또한 그 후, 해방측 센서(43)에 의해 제2 받아건넴 영역(A4)에 박판(P)이 없는 것이 확인되면, 흡착부(32)는 박판(P)을 해방한다. 이 해방 전에, 돌출 기구(34)에 의해 암(33)을 돌출 상태로 할 수 있고, 이로써, 제2 반송부(21)에 정확하게 박판(P)을 받아건넬 수 있다. 이 후, 암(33)을 수축 상태로 한 후에, 회전부(35)가 회전한다.
<장점>
상기 박판 청소 시스템은, 제1 클리닝 장치(10)에 의해 박판(P)의 상면의 전체를 청소하고, 박판 이송 장치(30)에 의해 박판(P)을 청소가 끝난 상면에 접촉시키지 않고 이송 및 반전하고, 제2 클리닝 장치(20)에 의해 미청소의 박판(P)의 상면(반전 전의 하면)의 전체를 청소한다. 그러므로, 상기 박판 청소 시스템은, 사람을 통하지 않고 박판(P)의 양면을 단시간에 용이하고 또한 확실하게 청소할 수 있다.
또한, 회전부가 360˚ 회전하므로, 제1 받아건넴 영역(A3)으로부터 제2 받아건넴 영역(A4)까지의 투명판의 이송을 연속하여 행할 수 있고, 특히 흡착부(32)가 각각 부설되는 복수의 암(33)을 구비함으로써, 하나의 암(33)으로 제1 받아건넴 영역(A3)으로부터 제2 받아건넴 영역(A4)까지의 박판(P)의 이송을 행하면서, 박판(P)을 받아건넴이 완료된 다른 암(33)을 제2 받아건넴 영역(A4)으로부터 받아건넴 준비 위치[제1 받아건넴 영역(A3)]까지 이동시킬 수 있고, 그러므로, 박판(P)의 연속적인 이송을 효과적으로 행할 수 있다.
상기 박판 청소 시스템에 있어서, 박판 이송 장치(30)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 한쪽의 암(33)에 장착된 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착할 때, 회전축을 중심으로 회전 대칭 위치에 배치된 다른 쪽의 암(33)에 장착된 흡착부(32)가 제2 받아건넴 영역(A4)에 배치된다. 그러므로, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과 동시에 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방이 가능하다. 따라서, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방의 타이밍이 상이한 경우보다, 효율이 양호하다.
상기 박판 청소 시스템에 있어서, 박판 이송 장치(30)는, 흡착부(32)에 의해 박판(P)을 흡착할 때, 회전부(35)를 회전시키지 않고 돌출 기구(34)를 사용하여 암(33)을 돌출시켜 박판(P)을 들어올린다. 그러므로, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 제1 클리닝 장치(10)로부터의 박판(P)의 수취와, 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 제2 클리닝 장치(20)에 대한 박판(P)의 주고받음을 반드시 동기하는 것을 필요로 하지 않아 상이한 타이밍에서 행할 수 있다. 즉, 상기 박판 청소 시스템은, 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)가 서로의 동작을 기다리지 않고 독립적으로 가동하는 것이 가능해지고, 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)의 반송 속도의 지연이나 반송 중의 트러블이 발생한 경우라도, 유연하게 대응할 수 있어, 처리 능력이 높다
상기 박판 청소 시스템에 있어서, 제1 반송부(11)가 박판(P)과 접촉하는 높이 위치가 회전부(35)의 높이 이상이며, 제2 반송부(21)가 박판(P)과 접촉하는 높이 위치가 회전부(35)의 높이 이하이다. 이로써, 박판 이송 장치(30)는, 평면에서 볼 때 회전부(35)에 중첩되도록 박판(P)을 유지할 수 있으므로, 제1 받아건넴 영역(A3)과 제2 받아건넴 영역(A4)을 가깝게 설정할 수 있어, 상기 박판 청소 시스템의 전유(專有) 면적을 작게 할 수 있다.
박판 이송 장치(30)에 있어서, 제어 장치(44)의 해방 제어 요소(47)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후에 암(33)을 수축시킨다. 이로써, 회전부(35)의 회전 시에 암(33)이 제2 반송부(21)와 간섭하지 않는다.
암(33)이 신축 가능하였으므로, 박판(P)의 사이즈에 맞추어 암(33)을 신축함으로써, 사이즈가 상이한 박판(P)이라도 용이하고 또한 확실하게 반전시키면서 이송할 수 있다. 즉, 작은 사이즈의 박판(P)의 경우에는, 암(33)을 신장시킨 상태에서 박판(P)을 흡착부(32)가 흡착하여 회전하면, 암(33)이 수축된 상태에서 박판(P)을 흡착하는 경우보다 박판(P)의 반송 거리가 짧아지고, 또한 회전부(35)의 회전에 의해 먼 곳까지 박판(P)을 반송할 수 있다. 한편, 사이즈가 큰 박판(P)의 경우[반송 방향에 있어서 박판(P)이 긴 경우]에는 암(33)을 수축시킨 상태에서 박판(P)을 수취하므로, 박판(P)은, 완전히 제1 반송부(11)로부터 이탈한 후에, 흡착부(32)에 의해 들어올리면서 흡착된다. 즉, 제1 반송부(11)와 박판(P)이 접촉된 상태에서 박판(P)을 들어올리는 경우에는, 박판(P)의 일부가 제1 반송부(11)에 남아 있으므로, 흡착에 큰 힘을 필요로 할 우려가 있고, 또한 암(33)을 신장시켜 박판(P)을 회전시키기 위한 스페이스를 확보할 필요가 있다. 이에 대하여, 전술한 바와 같이 암(33)을 수축시킨 상태에서 박판(P)을 수취함으로써, 흡착부(32)의 흡인 부하를 저감할 수 있다. 그러므로, 박판 이송 장치(30)에서는, 다양한 사이즈의 박판(P)을 확실하게 반송하면서 반전할 수 있다. 또한, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)을 수축시킨 상태에서 박판(P)을 수취하고, 회전한 후에, 암(33)을 신장시켜, 박판(P)을 해방하기 위해, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서, 암(33)을 신장시켜 박판(P)을 수취하는 경우와 비교하여, 박판(P)을 제2 청소 영역(A5)에 가까운 위치까지 반송할 수 있다. 그러므로, 반송 속도를 빨리할 수 있다.
박판 이송 장치(30)에 있어서, 암(33)은, 고정 부재(38) 및 슬라이딩 부재(39)로 이루어지고, 흡착부(32)가 흡착되어 있는 박판(P)과 평행하게 신축된다. 그러므로, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서, 박판(P)을 제2 반송부(21) 상에 해방하는 위치를 선택할 수 있다.
박판 이송 장치(30)에 있어서, 제어 장치(44)의 흡착 제어 요소(46)는, 제1 받아건넴 영역에서의 박판(P)의 흡착의 타이밍을, 박판(P)의 반송 방향의 길이가 기준 길이(L)를 초과하는 경우에는 상류측 센서(41)만에 따라서 결정하고, 박판(P)의 반송 방향의 길이가 기준 길이(L) 이하의 경우에는 하류측 센서(42)만에 따라서 결정할 수 있다. 따라서, 간단한 제어로 다양한 사이즈의 박판(P)을 흡착할 수 있다.
박판 이송 장치(30)는, 가지지 부재(31)를 구비하므로, 완전히 제1 반송부(11)로부터 이격될 때까지 박판(P)을 지지할 수 있다. 즉, 흡착부(32)와 박판(P)을 흡착하기 위해 돌출 기구(34)가 암(33)을 돌출시킬 때 박판(P)을 제1 반송부(11)로부터 무리하게 당겨 벗길 필요가 없다. 그러므로, 흡착부(32)에 과대한 부하가 걸리지 않아, 박판(P)의 확실한 흡착이 가능하다.
[제2 실시형태]
본 발명의 제2 실시형태의 박판 청소 시스템은, 제1 실시형태와 같은 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)와, 도 12에 나타낸 박판 이송 장치(30a)를 가진다. 본 실시형태에 대하여, 제1 실시형태와 같은 구성 요소에는 같은 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 12의 박판 청소 시스템에서는, 제1 클리닝 장치(10)와 제2 클리닝 장치(20)가 평면에서 볼 때 평행하게 나란히 배치되어 있다. 상세하게는, 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)는, 제1 클리닝 장치(10)의 제1 반송부(11)에 의한 박판(P)의 반송 방향(D1)과 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21)에 의한 박판(P)의 반송 방향(D2)이 반대 방향으로 되도록 배치되어 있다.
<박판 이송 장치>
박판 이송 장치(30a)는, 흡착부(32)에 흡착되어 있을 때의 박판(P)과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 회전하는 회전부(35a)를 구비하고, 이 회전부(35a)는, 수평 또한 제1 반송부(11)의 반송 방향(D1) 및 제2 반송부(21)의 반송 방향(D2)과 평행한 회전축을 중심으로 회전한다. 이 회전부(35a)의 회전축은, 제1 클리닝 장치(10)와 제2 클리닝 장치(20)와의 사이에 배치되어 있다. 이 회전부(35a)는, 회전축과 수직으로 연장된 암형(arm shape)의 부재이며, 제1 받아건넴 영역(A3)보다 제1 반송부(11)의 반송 방향(D1)의 하류측, 또한 제2 받아건넴 영역(A4)보다 제2 반송부(21)의 반송 방향(D2)의 상류측에 배치되어 있다. 그리고, 회전부(35a)는, 양 단부의 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20) 측의 측부에 돌출 기구(34)를 지지하고 있다.
이와 같은 구성을 가지는 상기 박판 청소 시스템은, 전체 길이가 짧으므로, 설치 장소의 확보가 용이하다.
[그 외의 실시형태]
이번 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시로서 제한적인 것이 아니라고 생각된다. 본 발명의 범위는, 상기 실시형태의 구성에 한정되지 않고, 특허 청구의 범위에 의해 기재되고, 특허 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경(구성의 치환, 부가 및 삭제)이 포함되는 것이 의도된다.
예를 들면, 흡착 제어 요소 및 해방 제어 요소가 암의 수축을 행하지 않고, 회전 제어 요소가 회전부의 회전전에 암의 수축을 행해도 된다.
또한, 본 발명은, 반드시 암(33)이 신축 가능한 구성일 필요는 없다. 단, 신축 불가능한 암을 구비한 박판 이송 장치의 경우에는, 어떠한 사이즈의 박판이라도, 흡착부 상에 박판이 이동한 시점에서 회전부가 회전하여 박판을 이송한다. 그러나, 이와 같은 구성의 경우, 박판의 사이즈에 따라서는 효율적이 아닌 경우가 존재한다. 예를 들면, 작은 박판의 반송에 맞추어, 암을 길게 설정하고 있는 경우에는, 큰 박판을 반송할 때는, 회전부를 중심으로 하여 큰 박판이 회전하게 되므로, 큰 스페이스를 필요로 한다. 한편, 큰 박판의 반송에 맞추어 짧은 암에 설정되어 있는 경우에는, 작은 박판을 반송할 때는, 암의 흡착부가 위치하는 개소까지, 박판을 반송하는 기구가 필요로 한다. 그러므로, 전술한 바와 같이 암(33)이 신축 가능한 것이 바람직하다.
또한, 제2 받아건넴 영역에 박판을 받아건네는 다른 기구를 설치하면, 예를 들면, 제2 반송부를 슬라이딩 에지형의 컨베이어로 하면, 박판 이송 장치는, 암을 수축시킨 상태에서 박판을 제2 클리닝 장치에 받아건넬 수 있다.
상기한 실시형태에서는, 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)는, 각각 제1 청소부(12) 및 제2 청소부(22)를 가지는 구성에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 제1 클리닝 장치(10)가 2개의 제1 청소부(12)를 가지고, 제2 클리닝 장치(20)가 2개의 제2 청소부(22)를 가지는 구성이라도 된다. 또한, 제1 청소부(12)나 제2 청소부(22)와는 상이한 청소 기구를 구비한 장치라도 된다.
상기한 실시형태에서는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)의 흡착에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)에 대하여 퇴피 상태로부터 돌출할 수 있도록 돌출 기구(34)를 구비하는 것에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 돌출 기구(34)를 가지고 있지 않은 구성이라도 된다. 또한, 본 발명에 있어서, 상기 박판(P)의 흡착에 있어서 퇴피 상태로부터 흡착부(32)를 돌출시키기 위해, 암(33)과 흡착부(32)와의 사이에 출퇴(出退) 기구를 설치하고, 이 출퇴 기구에 의해 흡착부(32)를 박판(P)에 대하여 출퇴시키는 것도 가능하다. 그러나, 암(33)과 흡착부(32)와의 사이에 상기 출퇴 기구를 설치하는 것은 곤란하고, 장치 전체의 비용 상승을 초래할 우려가 있으므로, 상기한 실시형태와 같이 회전부(35)와 암(33)과의 사이에 상기 돌출 기구(34)를 설치하는 것이 바람직하다.
상기한 실시형태에서는, 암(33)은 신장 및 수축의 2개의 상태로만 변화할 수 있는 구성에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 3 단계 또는 그 이상의 단계로 변화할 수 있는 암을 구비한 구성이라도 된다. 이 경우에는, 상기한 실시예보다 더 다양한 사이즈의 박판에 대응할 수 있다.
상기한 실시형태에서는, 제1 클리닝 장치(10)에는, 제2 클리닝 장치(20)의 탑재용 장척의 천(24)에 상당하는 구성은 배치되어 있지 않지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 제1 클리닝 장치(10)에도 제2 클리닝 장치(20)의 탑재용 장척의 천(24)에 상당하는 구성을 설치해도 된다.
상기한 실시형태에서는, 박판(P)을 흡착부(32)에 의해 흡착함으로써 유지하는 구성을 사용하였지만, 본 발명은 흡착하는 구성에 한정되지 않고, 박판(P)을 점착력(粘着力) 등, 다른 방법으로 유지하는 구성이라도 된다.
또한, 제2 받아건넴 영역에서의 박판(P)의 해방의 타이밍을 정하는 확인 신호로서는, 제2 클리닝 장치(20)로부터 박판(P)의 공급을 구하기 위해 박판 이송 장치(30)에 입력되는 외부 신호를 사용해도 된다.
또한, 상기 제2 실시형태에서는, 회전부(35a)가 회전축과 평행하게 암(33)을 지지하고 있으나, 암(33)을 상이한 각도로 지지함으로써, 제1 클리닝 장치(10)의 제1 반송부(11)에 의한 박판(P)의 반송 방향(D1)과 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21)에 의한 박판(P)의 반송 방향(D2)이 원하는 각도로 되도록 배치할 수 있다.
상기한 실시형태에 있어서는, 박판 이송 장치(30)는, 제1 클리닝 장치(10)로부터 제2 클리닝 장치(20)로 박판(P)을 이송하는 것 사용하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 일단에 흡착부를 장착한 암과, 암의 타단에 장착된 회전부를 구비한 장치는, 제1 클리닝 장치에 박판(P)에 공급하기 위해 사용할 수도 있어 제2 클리닝 장치(20)로부터 클리닝 끝난 박판(P)을 수납 박스로 이송하기 위해 사용할 수도 있다.
상기한 실시형태에서는, 박판 이송 장치(30)는 2개의 암(33)을 구비하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 2개 이상, 예를 들면, 4개의 암을 구비한 박판 이송 장치라도 된다.
[산업 상의 이용 가능성]
본 발명의 박판 청소 시스템은, 휴대 기기(機器)의 표시 장치에 사용되는 유리 기판 등의 박판의 청소에 바람직하게 이용할 수 있다.
[제1 실시형태]
도 1의 박판 청소 시스템(1)은, 투명한 박판(P)을 아래로부터 지지하여 상면을 청소하는 제1 클리닝 장치(10)와, 박판(P)을 아래로부터 지지하여 상면[제1 클리닝 장치(10)에서의 하면]을 청소하는 제2 클리닝 장치(20)와, 박판(P)을 제1 클리닝 장치(10)로부터 제2 클리닝 장치(20)로 반전하면서 이송하는 박판 이송 장치(30)를 구비한다. 여기서, 박판(P)에는, 예를 들면, 액정 표시 장치 등에 사용되는 유리나 수지 소재의 기판이 포함된다. 그리고, 도 1 등에 나타낸 바와 같이, 제1 클리닝 장치(10)의 박판(P)의 반송 방향[박판 이송 장치(30)에 대한 박판(P)의 공급 방향]과, 제2 클리닝 장치(10)의 박판(P)의 반송 방향[박판 이송 장치(30)로부터의 박판(P)의 공급 방향]은, 동일 방향[측면도인 도 1의 우측으로부터 좌측으로(지면(紙面) 최상으로부터 아래로)의 방향]이다.
<제1 클리닝 장치>
제1 클리닝 장치(10)는, 제1 반송부(搬送部)(11)와, 제1 청소부(12)를 가진다. 제1 반송부(11)는, 하면이 접촉하도록 박판(P)이 탑재되는 박판 공급 영역(A1)으로부터, 박판(P)이 청소되는 제1 청소 영역(A2)을 통하여, 박판(P)을 박판 이송 장치(30)로 받아건네는 제1 받아건넴 영역(A3)까지 박판(P)을 반송하는 벨트 컨베이어로 이루어진다. 제1 청소부(12)는, 제1 청소 영역(A2)에 있어서 제1 반송부(11) 상에 탑재되어 있는 박판(P)의 상면을 청소한다.
제1 청소부(12)는, 다음과 같이 하여 박판(P)의 상면에 부착되어 있는 오염을 제거하도록 구성되어 있다. 먼저, 먼지가 생기지 않도록 형성된 청정한 장척(長尺)의 천(13)에 도시하지 않은 살포 장치에 의해 알코올이 살포된다. 그리고, 연직의 편심축을 중심으로 회전하는 원반(14)에 의해, 제1 반송부(11) 상에 탑재되어 있는 박판(P)에 장척의 천(13)이 가압된다. 이로써, 장척의 천(13)은, 박판(P)의 위에서 원을 그리도록 작동되어 박판(P)의 상면의 오염을 제한다.
<제2 클리닝 장치>
제2 클리닝 장치(20)는, 제1 클리닝 장치(10)의 제1 받아건넴 영역(A3)의 박판(P)이 박판 이송 장치(30)에 의해 반전되어 공급된다. 이 제2 클리닝 장치(20)는, 제2 반송부(21)와, 제2 청소부(22)를 가진다. 제2 반송부(21)는, 박판(P)을 수취하는 제2 받아건넴 영역(A4)으로부터 박판(P)이 청소되는 제2 청소 영역(A5)을 통하여 박판(P)을 배출하는 박판 배출 영역(A6)까지 박판(P)을 반송한다. 제2 청소부(22)는, 제2 청소 영역(A5)에 있어서 박판(P)의 상면[제1 클리닝 장치(10)에서의 박판(P)의 하면(반전 전의 하면)]을 청소한다.
제2 반송부(21)는, 벨트 컨베이어(23)와, 벨트 컨베이어(23) 상에 공급되고, 벨트 컨베이어(23)와 같은 속도로 이동하는 청정한 탑재용 장척의 천(24)을 가진다. 박판(P)은, 항상 새롭게 공급되는 탑재용 장척의 천(24)의 상에, 제1 클리닝 장치(10)에 의해 청소된 하면(반전 전의 상면)이 접촉하도록 탑재된다. 또한, 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21)가 박판(P)에 접촉하는 높이는, 제1 클리닝 장치(10)의 제1 반송부(11)가 박판(P)에 면접촉하는 높이 미만이다.
제2 청소부(22)는, 다음과 같이 하여 박판(P)의 상면(반전 전의 하면)의 오염을 제거하도록 구성되어 있다. 먼저, 먼지가 생기지 않도록 형성된 청정한 장척의 천(25)에 도시하지 않은 살포 장치에 의해 알코올이 살포된다. 그리고, 연직의 편심축을 중심으로 회전하는 원반(26)에 의해, 제2 반송부(21) 상에 탑재되어 있는 박판(P)에 장척의 천(25)이 가압된다. 이로써, 장척의 천(25)은, 박판(P)의 위에서 원을 그리도록 작동되어 박판(P)의 상면의 오염을 제거한다.
<박판 이송 장치>
도 2는, 박판 이송 장치(30)의 평면을 도시하고, 도 3은, 박판 이송 장치(30)의 평면을 도시한다. 박판 이송 장치(30)는, 상류의 공급 장치[상기 제1 클리닝 장치(10)]로부터 순차적으로 제1 받아건넴 영역(A3)에 공급되는 박판(P)을, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 하류의 장치[상기 제2 클리닝 장치(20)]에 받아건네는 장치이며, 상기 제2 클리닝 장치(20)는 받아건넨 박판(P)을 순차적으로 하류측으로 반송한다. 이 박판 이송 장치(30)는, 도 2 및 도 3에 상세하게 나타낸 바와 같이, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)의 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 상기 박판(P)을 해방하는 흡착부(32)와, 이 흡착부(32)가 일단측에 부설되어 있는 암(33)과, 이 암(33)의 타단측을 지지하는 회전부(35)를 구비하고 있다.
또한, 박판 이송 장치(30)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 설치된 가지지 부재(31)와, 회전부(35)에 대하여 상기 암(33)을 상기 흡착부(32)의 흡인 방향으로 돌출 또는 후퇴시키는 돌출 기구(34)를 구비한다. 박판 이송 장치(30)는 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 1개의 박판(P)을 아래쪽으로부터 지지하는 가지지 부재(31)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 가지지 부재(31)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 제1 클리닝 장치(10)(도 1 참조)로부터 배출된 박판(P)의 하면을 일시적으로 지지한다. 흡착부(32)는, 가지지 부재(31)에 지지되어 있는 박판(P)의 하면을 흡착한다. 암(33)은 신축 가능하다. 구체적으로는, 암(33)은, 회전부(35)에 지지되는 상기 타단으로부터 흡착부(32)가 부설되는 상기 일단을 향하는 방향으로 신축 가능하다. 돌출 기구(34)는, 회전부(35)와 암(33)과의 사이에 설치되고, 전술한 바와 같이 회전부(35)에 대하여 암(33)을 흡착부(32)의 흡인 방향으로 돌출 또는 후퇴하는 기구이다. 구체적으로는, 돌출 기구(34)는, 암(33)의 상기 타단측을 지지하는 에어 실린더로 이루어진다. 회전부(35)는, 돌출 기구(34)가 고정되고, 이로써, 전술한 바와 같이 암(33)을 지지하고 있다. 회전부(35)는, 흡착부(32)에 흡착되는 박판(P)과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 회전 가능하다. 이 회전축은, 흡착부(32)의 흡인 방향과 수직이며, 또한 수평 방향[제1 반송부(11)가 박판(P)을 반송하는 방향으로 수직인 방향]으로 설치되어 있다. 박판 이송 장치(30)는, 복수의 상기 흡착부(32), 상기 암(33) 및 상기 돌출 기구(34)를 구비하고 있고, 이들 복수의 상기 흡착부(32), 상기 암(33) 및 상기 돌출 기구(34)는 각각 쌍을 이루어, 한 쌍의 상기 흡착부(32), 상기 암(33) 및 상기 돌출 기구(34)는, 각각 회전부(35)의 회전축을 중심으로 회전 대칭으로 설치되어 있다.
박판 이송 장치(30)는, 도 2 등에 나타낸 바와 같이 복수의 상기 가지지 부재(31)를 구비하고 있다. 이 복수의 가지지 부재(31)는, 제1 반송부(11)의 반송 방향으로 평행하게 설치되고, 이 복수의 가지지 부재(31) 사이를 암(33)을 통과할 수 있도록 설치되어 있다. 각각의 가지지 부재(31)는, 제1 반송부(11)의 반송 방향으로 나란히 배치된 복수의 풀리(31a)로 이루어진다. 가지지 부재(31)는, 상류측[도 1에서의 제1 클리닝 장치(10) 측]) 쪽이 하류측보다, 제1 반송부(11)의 반송 방향으로 작은 간격으로 배치되어 있다. 또한, 가지지 부재(31)는, 암(33)이 통과 가능하도록, 제1 반송부(11)의 반송 방향에 직교하는 횡단 방향에 있어서 암(33)의 폭보다 넓은 간격으로 배열되어 있다. 그리고, 가지지 부재(31)는, 상류측에서는 폭의 작은 박판(P)을 지지 가능하도록 제1 반송부(11)의 반송 방향에 직교하는 횡단 방향으로 작은 간격으로 배열되고, 하류측에서는 폭의 큰 박판(P)을 지지 가능하도록 횡단 방향으로 큰 간격으로 배열되어 있다.
상기 흡착부(32)는, 암(33)에 장착된 진공 패드(36)를 가진다. 여기서, 각 암(33)에는 각각 복수의 상기 진공 패드(36)가 장착되어 있다. 암(33)에는, 도시하지 않은 진공원에 접속된 유로(流路)와 연통되고, 진공 패드(36)를 장착 가능한 복수의 흡인공(37)이 형성되어 있다. 진공 패드(36)는, 박판(P)을 흡착하여 지지한다. 이들 진공 패드(36)는, 흡착해야 할 박판(P)의 크기에 따라 적당한 위치에 장착된다. 진공 패드(36)를 장착하지 않는 흡인공(37)은 플러그로 봉지(封止)된다.
상기 암(33)은, 흡착부(32)가 도 3 등에 나타낸 바와 같이 회전부(35)의 회전축으로부터 접근·이격되도록 신축 가능하며, 구체적으로는 흡착부(32)의 흡인 방향과 수직인 방향[도 3에 나타낸 바와 같이 흡착부(32)에 흡착한 박판(P)에 평행한 방향]으로서, 흡착부(32)를 제1 받아건넴 영역(A3)에 배치했을 때 제1 반송부(11)의 반송 방향(D)과 평행한 수평 방향으로 신축 가능하다. 암(33)은, 상기 돌출 기구(34)에 체결 고정됨으로써 회전부(35)에 지지되어 있는 고정 부재(38)와, 이 고정 부재(38)에 슬라이딩 가능하게 설치되는 슬라이딩 부재(39)를 가지고, 이 슬라이딩 부재(39)에 상기 흡착부(32)가 부설되어 있다. 구체적으로 설명하면, 고정 부재(38)는, 로드레스 실린더의 슬라이딩 튜브(38a) 및 하우징(38b)을 포함하고, 슬라이딩 부재(39)는, 로드레스 실린더의 슬라이딩 테이블(39a)과 이 슬라이딩 테이블(39a)로부터 로드레스 실린더의 동작 방향으로 연장되고, 슬라이딩 테이블(39a)과는 반대측에 흡착부(32)가 부설되는 가늘고 긴 후판형(厚板形)의 부재(39b)를 포함한다.
상기 돌출 기구(34)는, 전술한 바와 같이 암(33)을 흡착부(32)의 흡인 방향과 평행하게, 돌출[회전부(35)로부터 이격] 또는 후퇴[회전부(35)에 접근]시킨다. 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)을 수평으로 배치하고, 돌출 기구(34)를 암(33)의 후퇴 상태로 하면, 가지지 부재(31)가 박판(P)을 지지하는 높이보다 아래쪽에 흡착부(32)의 진공 패드(36) 전체가 위치하고, 그 후, 돌출 기구(34)에 의해 암(33)을 돌출 상태로 하면, 가지지 부재(31)가 박판(P)을 지지하는 높이보다 위쪽으로 진공 패드(36)의 흡착면이 위치한다. 즉, 흡착부(32)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서, 돌출 기구(34)가 암(33)을 후퇴시키는 것에 의해 박판(P)보다 아래쪽으로 퇴피하고, 돌출 기구(34)가 암(33)을 돌출시킴으로써 박판(P)을 들어올린다. 이로써, 제1 주고받는 위치(A3)에 있어서 흡착부(32)에 의해 박판(P)을 아래쪽으로부터 유지할 수 있다.
상기 회전부(35)는, 모터(40)에 의해 회전축을 중심으로 360˚ 회전한다. 그리고, 360˚ 회전한다는 것은, 회전부(35)가, 1회전밖에 할 수 없는 것을 의미하는 것이 아니고, 일방향으로 연속하여 회전할 수 있는 것을 의미한다. 이 회전부(35)의 회전축은, 제1 받아건넴 영역(A3)의 높이 위치와 제2 받아건넴 영역(A4)의 높이 위치와의 사이의 높이로 설치되어 있다. 즉, 이 회전축은, 제1 반송부(11)가 박판(P)과 접촉하는 부분과 제2 반송부(21)가 박판(P)과 접촉하는 부분과의 사이의 높이에 설치되어 있다. 회전부(35)가 회전하면, 암(33)은, 가지지 부재(31)의 사이를 통과하여 선회하도록 이동한다.
또한, 박판 이송 장치(30)는, 박판의 유무를 각각 검출하여 검지 신호를 후술하는 제어 장치에 송신하는 상류측 센서(41)(제1 센서), 하류측 센서(42)(제2 센서) 및 해방측 센서(43)를 구비한다.
상류측 센서(41) 및 하류측 센서(42)는 제1 받아건넴 영역(A3)에 설치되고, 즉 박판 이송 장치(30)는 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)의 공급 방향으로 복수의 센서(41, 42)가 설치되어 있다. 상류측 센서(41)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)을 신장시켰을 때의 상기 흡착부(32)의 근방에서 상기 박판(P)의 유무를 검출한다. 구체적으로는, 상류측 센서(41)는, 상기 흡착부(32)의 근방 또한 흡착부(32)보다 신장측(상류측)에서 박판(P)의 유무를 검출한다. 보다 구체적으로는, 상류측 센서(41)는, 박판(P)이 제1 클리닝 장치(10)로부터 이격된 것을 검지 가능하게 설치되어 있다. 하류측 센서(42)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)의 회전부(35)에 지지되는 측의 상기 타단의 근방에서 박판(P)의 유무를 검출한다. 구체적으로는, 하류측 센서(42)는, 암(33)을 수축했을 때의 흡착부(32)의 근방 또한 흡착부(32)보다 수축측(하류측)에서 박판(P)의 유무를 검출한다.
해방측 센서(43)는 제2 받아건넴 영역(A4)에 설치되어 있다. 해방측 센서(43)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 암(33)을 신장시켰을 때의 흡착부(32)의 근방 또한 흡착부(32)보다 신장측(하류측)에서 박판(P)의 유무를 검출한다. 상류측 센서(41), 하류측 센서(42) 및 해방측 센서(43)는, 바람직하게는 광전 센서 등의 비접촉형의 센서이며, 회전부(35)의 회전에 의해 다른 구성 요소와 간섭하지 않는 위치에 고정된다.
또한, 박판 이송 장치(30)는, 전술한 각각의 구성 요소의 동작을 제어하는 제어 장치(44)를 구비한다. 제어 장치(44)는, 바람직하게는 프로그램 가능한 마이크로 컴퓨터 등에 의해 구성된다.
도 4의 블록도에, 박판 이송 장치(30)의 제어에 관한 각각의 구성 요소의 관계를 나타낸다. 제어 장치(44)에는, 설정 입력부(45)를 통하여 이송하는 박판(P)의 사이즈 등의 조건 설정이 미리 입력된다. 또한, 제어 장치(44)에는, 상류측 센서(41), 하류측 센서(42) 및 해방측 센서(43)의 검출 신호가 입력된다. 제어 장치(44)는, 이들의 입력에 따라, 흡착부(32)의 흡인 동작, 암(33)의 신축 동작, 돌출 기구(34)의 돌출 후퇴 동작, 및 회전부(35)의 회전 동작을 제어한다. 박판 이송 장치(30)는, 전술한 바와 같이 한 쌍의 흡착부(32), 암(33) 및 돌출 기구(34)가 회전부(35)의 회전축을 중심으로 회전 대칭으로 배치되어 있다. 각각의 구성 요소가 개별적으로 제어되므로, 필요에 따라 이들 구성 요소에 「제1」또는 「제2」의 번호를 부여하여 구별한다.
제어 장치(44)는, 흡착 제어 요소(46)와, 해방 제어 요소(47)와, 회전 제어 요소(48)를 가진다. 흡착 제어 요소(46)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착하기 위한 동작을 제어한다. 해방 제어 요소(47)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시켜 제2 클리닝 장치(20)로 받아건네기 위한 동작을 제어한다. 회전 제어 요소(48)는, 회전부(35)를 회전시켜 박판(P)을 제1 받아건넴 영역(A3)으로부터 제2 받아건넴 영역(A4)으로 이송하기 위한 동작을 제어한다. 이들 흡착 제어 요소(46), 해방 제어 요소(47) 및 회전 제어 요소(48)는, 제어 장치(44)의 회로 또는 프로그램의 일부이며, 회로 모듈 또는 서브 루틴과 같이 다른 부분과 구별 가능하게 구성되는 것이 바람직하다.
흡착 제어 요소(46)는, 미리 설정 입력부(45)에 있어서 설정된 박판(P)의 길이[암(33)의 신축 방향(제1 반송부(11)의 반송 방향(D)의 길이]가 소정의 기준 길이(L) 이하인 경우에는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)이 신장되고, 또한 돌출 기구(34)가 암(33)을 아래쪽으로 후퇴시킨 상태에서 대기하고, 상류측 센서(41)가 박판(P)을 검출하지 않게 되었을 때 돌출 기구(34)가 암(33)을 위쪽으로 돌출시키는 동시에 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착하도록 제어한다(제1 제어 상태). 흡착 제어 요소(46)는, 설정된 박판(P)의 길이가 기준 길이(L)를 초과하는 경우에는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)이 수축된 상태에서 대기하고, 하류측 센서(42)가 박판(P)을 검출했을 때 돌출 기구(34)가 암(33)을 위쪽으로 돌출시키는 동시에, 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착하도록 제어한다(제2 제어 상태). 즉, 제어 장치(44)는, 박판(P)의 사이즈에 따라서, 상기 제1 제어 상태와 제2 제어 상태로 전환 가능하게 설치되어 있다.
해방 제어 요소(47)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 돌출 기구(34)가 암(33)을 아래쪽으로 돌출시킨 상태에서 대기하고, 해방측 센서(43)의 검출 신호(확인 신호)에 따라, 흡착부(32)의 흡인을 정지하여 흡착하고 있는 박판(P)을 해방시키고, 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21) 상에 박판(P)을 탑재하도록 흡착부(32)를 제어한다. 더욱 상세하게는, 제어 요소(47)는, 앞의 제어 사이클에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후, 한 번 해방측 센서(43)가 박판(P)을 검출하고 나서, 재차 박판(P)을 검출하지 않게 되었을 때, 박판(P)이 제2 받아건넴 영역(A4)으로부터 제2 청소 영역(A5)으로 이송되고, 제2 받아건넴 영역(A4)에 박판(P)이 없는 것으로 판단한다. 또한, 해방 제어 요소(47)는, 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 돌출 기구(34)에 암(33)을 위쪽으로 후퇴시키는 동시에 이 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 암(33)을 수축시킨다.
회전 제어 요소(48)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 하나의 흡착부(32)에 의한 하나의 박판(P)의 흡착과, 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 다른 흡착부(32)에 의한 다른 박판(P)의 해방이 모두 완료된 후, 회전부(35)가 회전하도록 제어하고 있다. 보다 구체적으로는, 이 회전 제어 요소(48)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방이 완료되고, 또한 암(33)의 수축이 모두 완료한 후에, 상기 회전부(35)가 회전하도록 제어한다. 그러므로, 제어 장치(44)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 암(33)이 신장된 상태에서 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후, 회전부(35)가 회전하기 전에 암(33)이 수축하도록 제어하고 있다. 그리고, 상기 흡착 제어 요소(46)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방과 동시에 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착하도록 제어할 수 있다.
<동작>
이로써, 박판 이송 장치(30)의 상태 변화를 순차적으로 나타내는 주로 도 5 내지 도 11을 참조하면서, 순서에 따라 상기 박판 청소 시스템의 동작을 설명한다. 그리고, 이하의 동작의 제어는, 상기 제어 장치에 의해되어 있다.
박판 청소 시스템이 동작을 개시하기 전에, 사용자가 유리판의 크기를 미리 조작 패널에 의해 입력한다. 전술한 바와 같이, 제1 클리닝 장치(10)(도 1 참조)는, 제1 반송부(11) 상에 박판(P)을 탑재하여 반송하면서, 제1 청소부(12)에 의해 제1 반송부(11) 상에 탑재되어 있는 박판(P)의 상면을 청소한다. 그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 반송부(11)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)을 박판 이송 장치(30)의 가지지 부재(31) 상으로 배출한다.
이 때, 박판 이송 장치(30)는, 돌출 기구(34)에 의해 암(33)을 후퇴시켜 흡착부(32)를 가지지 부재(31) 아래로 퇴피시킨 상태에서, 가지지 부재(31) 상에 박판(P)이 공급되는 것을 기다린다. 도 5는, 박판(P)의 반송 방향에서의 길이가 기준 길이(L) 이하이며, 암(33)을 신장시킨 상태에서 박판(P)의 공급을 기다리는 상태를 나타낸다.
제1 반송부(11)에 의해 제1 받아건넴 영역(A3)에 박판(P)이 반입(搬入)되기 시작하면, 상류측 센서(41)가 박판(P)을 검출한다. 그리고, 박판(P)의 전체가 제1 반송부(11)로부터 가지지 부재(31)로 받아건넨 직후에, 박판(P)의 후단(後端) 에지가 상류측 센서(41)를 통과하므로, 상류측 센서(41)가 다시 박판(P)을 검출할 수 없어진다. 이 순간에, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 받아건넴 영역(A3) 측의 돌출 기구(34)가 암(33)을 돌출시켜 흡착부(32)의 진공 패드(36)를 가지지 부재(31)보다 위쪽으로 돌출시킨다. 그리고, 이와 동시에, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있는 흡착부(32)가 진공원에 접속되어 흡인력을 발생한다. 이로써, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있는 흡착부(32)는, 박판(P)을 가지지 부재(31)로부터 들어올리는 동시에 하면을 흡착하여 유지한다. 여기서, 진공 패드(36)가 박판(P)을 흡착하기 직전에는, 박판(P)은 이동하고 있다. 그러므로, 박판(P)이 이동하고 있는 상태에서 진공 패드(36)는 박판(P)에 흡착된다.
제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착 유지하고나서, 도 7에 나타낸 바와 같이 회전부(35)가 도 7에 있어서 반시계 방향으로 180˚ 회전한다. 즉, 회전부(35)는, 제1 받아건넴 영역(A3) 측의 암(33)의 상류측 선단이 위쪽으로 이동하고, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 암(33)의 하류측 선단이 아래쪽으로 이동하도록 회전한다.
회전부(35)를 회전한 후에는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 암(33)이 유지하고 있는 박판(P)은 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21) 상에 배치되어 있다. 그러므로, 암(33)은, 제2 클리닝 장치(20)로부터의 요구가 있으면 즉시 제2 반송부(21) 상에 박판(P)을 탑재할 수 있는 상태로 되어 있다. 한편, 제1 받아건넴 영역(A3) 측의 암(33)이 신장되어, 도 5에 대하여 설명한 바와 같이 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)을 흡착할 수 있는 상태로 된다.
이 상태에서, 먼저 제1 받아건넴 영역(A3)에 다음의 박판(P)이 공급된 경우, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제1 받아건넴 영역(A3) 측의 돌출 기구(34)가 암(33)을 돌출시키는 동시에 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착한다. 그리고, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 암(33)은 신장된 제2 반송부(21) 상에 박판(P)을 탑재할 수 있는 상태를 유지한다.
해방측 센서(43)에 의해, 전회의 제어 사이클에 있어서 제2 받아건넴 영역(A4)에 공급된 박판(P)을 제2 반송부(21)가 제2 청소 영역(A5)으로 이송한 것을 확인할 수 있었을 때, 부가하자면, 제2 받아건넴 영역(A4)에 박판(P)을 공급 가능한 상태로 되었을 때, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 흡착부(32)가 진공원으로부터 격리되어 흡착력을 상실함으로써 박판(P)을 해방한다. 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후에는, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 돌출 기구(34)가 암(33)을 후퇴시켜, 이 암(33)이 수축되어 회전부(35)의 회전 시에 제2 반송부(21)과 간섭하지 않도록 한다.
도 7의 상태에 있어서, 제1 받아건넴 영역(A3)에 다음의 박판(P)이 공급되기 전에 해방측 센서(43)에 의해 제2 받아건넴 영역(A4)에 박판(P)이 없는 것이 확인되었을 때는, 바로 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시키고, 제2 받아건넴 영역(A4) 측의 암(33)의 수축 및 돌출 기구(34)에 의한 후퇴(상승)가 행해지고, 도 5에 나타낸 상태에서, 제1 받아건넴 영역(A3)으로의 박판(P)의 공급을 기다린다. 전원 투입된 후에 행해지는 박판(P)의 청소나, 반송 등에 트러블이 없는 경우에는, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과 제2 받아건넴 영역에서의 박판(P)의 해방은 동시에 행해지도록 설정되어 있다.
이와 같이, 회전부(35)의 회전은, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과, 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방 및 암(33)의 수축이 모두 완료된 후에 행해진다.
이상의 도 5 내지 도 8의 동작은, 박판(P)의 길이가 기준 길이(L) 이하인 경우이다. 박판(P)의 길이가 기준 길이(L)를 넘는 경우, 도 9∼도 11에 나타낸 바와 같은 동작으로 된다.
박판(P)의 길이가 기준 길이(L)를 넘는 경우, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착은, 도 9에 나타낸 바와 같이, 암(33)을 수축시킨 상태에서, 박판(P)의 공급을 기다리고, 하류측 센서(42)가 박판(P)의 전단(前端) 에지를 검출했을 때 암(33)을 위쪽으로 돌출시키는 동시에 흡착부(32)와 박판(P)을 흡착한다. 여기서, 진공 패드(36)가 박판(P)을 흡착하기 직전에는, 박판(P)은 이동하고 있다. 그러므로, 박판(P)이 이동하고 있는 상태에서 진공 패드(36)는 박판(P)에 흡착한다.
박판 이송 장치(30)에 있어서, 박판(P)이 긴 경우에는, 박판(P)이 흡착부(32)로부터 상류측으로 돌출된 상태로 흡착지지된다. 만일, 암(33)을 신장시킨 상태로 긴 박판(P)을 흡착부(32)에 의해 흡착하는 것으로 하면, 박판(P)의 상류측의 부분이 아직도 제1 반송부(11) 상에 위치하고 있는 동안에 흡착부(32)에 의해 박판(P)을 들어올릴 필요가 있다. 그러나, 제1 반송부(11)와 박판(P)은 맞닿은 면적이 크기 때문에, 제1 반송부(11) 상에 있는 박판(P)을 그 면에 수직으로 들어올리려고 하면 제1 반송부(11)와 박판(P)과의 사이에 진공(기압 저하)이 생겨 큰 저항으로 된다. 따라서, 암(33)을 수축된 상태로 함으로써, 박판(P)이 완전히 제1 반송부(11)로부터 이탈하고나서 흡착부(32)가 박판(P)을 들어올리면서 흡착하도록 할 수 있다.
흡착부(32)가 박판(P)을 흡착한 후, 도 10에 나타낸 바와 같이, 회전부(35)가 회전한다. 그리고, 도 11에 나타낸 바와 같이, 암(33)이 신장되어, 박판(P)이 제2 받아건넴 영역(A4)에 배치된다. 이 신장의 전에, 돌출 기구(34)에 의해 암(33)을 퇴피 상태로 할 수 있고, 이로써, 신장에 있어서 박판(P)이 제2 반송부(21)와의 뜻하지 않은 접촉을 회피할 수 있다. 또한 그 후, 해방측 센서(43)에 의해 제2 받아건넴 영역(A4)에 박판(P)이 없는 것이 확인되면, 흡착부(32)는 박판(P)을 해방한다. 이 해방 전에, 돌출 기구(34)에 의해 암(33)을 돌출 상태로 할 수 있고, 이로써, 제2 반송부(21)에 정확하게 박판(P)을 받아건넬 수 있다. 이 후, 암(33)을 수축 상태로 한 후에, 회전부(35)가 회전한다.
<장점>
상기 박판 청소 시스템은, 제1 클리닝 장치(10)에 의해 박판(P)의 상면의 전체를 청소하고, 박판 이송 장치(30)에 의해 박판(P)을 청소가 끝난 상면에 접촉시키지 않고 이송 및 반전하고, 제2 클리닝 장치(20)에 의해 미청소의 박판(P)의 상면(반전 전의 하면)의 전체를 청소한다. 그러므로, 상기 박판 청소 시스템은, 사람을 통하지 않고 박판(P)의 양면을 단시간에 용이하고 또한 확실하게 청소할 수 있다.
또한, 회전부가 360˚ 회전하므로, 제1 받아건넴 영역(A3)으로부터 제2 받아건넴 영역(A4)까지의 투명판의 이송을 연속하여 행할 수 있고, 특히 흡착부(32)가 각각 부설되는 복수의 암(33)을 구비함으로써, 하나의 암(33)으로 제1 받아건넴 영역(A3)으로부터 제2 받아건넴 영역(A4)까지의 박판(P)의 이송을 행하면서, 박판(P)을 받아건넴이 완료된 다른 암(33)을 제2 받아건넴 영역(A4)으로부터 받아건넴 준비 위치[제1 받아건넴 영역(A3)]까지 이동시킬 수 있고, 그러므로, 박판(P)의 연속적인 이송을 효과적으로 행할 수 있다.
상기 박판 청소 시스템에 있어서, 박판 이송 장치(30)는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 한쪽의 암(33)에 장착된 흡착부(32)가 박판(P)을 흡착할 때, 회전축을 중심으로 회전 대칭 위치에 배치된 다른 쪽의 암(33)에 장착된 흡착부(32)가 제2 받아건넴 영역(A4)에 배치된다. 그러므로, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과 동시에 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방이 가능하다. 따라서, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 박판(P)의 흡착과 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 박판(P)의 해방의 타이밍이 상이한 경우보다, 효율이 양호하다.
상기 박판 청소 시스템에 있어서, 박판 이송 장치(30)는, 흡착부(32)에 의해 박판(P)을 흡착할 때, 회전부(35)를 회전시키지 않고 돌출 기구(34)를 사용하여 암(33)을 돌출시켜 박판(P)을 들어올린다. 그러므로, 제1 받아건넴 영역(A3)에서의 제1 클리닝 장치(10)로부터의 박판(P)의 수취와, 제2 받아건넴 영역(A4)에서의 제2 클리닝 장치(20)에 대한 박판(P)의 주고받음을 반드시 동기하는 것을 필요로 하지 않아 상이한 타이밍에서 행할 수 있다. 즉, 상기 박판 청소 시스템은, 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)가 서로의 동작을 기다리지 않고 독립적으로 가동하는 것이 가능해지고, 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)의 반송 속도의 지연이나 반송 중의 트러블이 발생한 경우라도, 유연하게 대응할 수 있어, 처리 능력이 높다
상기 박판 청소 시스템에 있어서, 제1 반송부(11)가 박판(P)과 접촉하는 높이 위치가 회전부(35)의 높이 이상이며, 제2 반송부(21)가 박판(P)과 접촉하는 높이 위치가 회전부(35)의 높이 이하이다. 이로써, 박판 이송 장치(30)는, 평면에서 볼 때 회전부(35)에 중첩되도록 박판(P)을 유지할 수 있으므로, 제1 받아건넴 영역(A3)과 제2 받아건넴 영역(A4)을 가깝게 설정할 수 있어, 상기 박판 청소 시스템의 전유(專有) 면적을 작게 할 수 있다.
박판 이송 장치(30)에 있어서, 제어 장치(44)의 해방 제어 요소(47)는, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)을 해방시킨 후에 암(33)을 수축시킨다. 이로써, 회전부(35)의 회전 시에 암(33)이 제2 반송부(21)와 간섭하지 않는다.
암(33)이 신축 가능하였으므로, 박판(P)의 사이즈에 맞추어 암(33)을 신축함으로써, 사이즈가 상이한 박판(P)이라도 용이하고 또한 확실하게 반전시키면서 이송할 수 있다. 즉, 작은 사이즈의 박판(P)의 경우에는, 암(33)을 신장시킨 상태에서 박판(P)을 흡착부(32)가 흡착하여 회전하면, 암(33)이 수축된 상태에서 박판(P)을 흡착하는 경우보다 박판(P)의 반송 거리가 짧아지고, 또한 회전부(35)의 회전에 의해 먼 곳까지 박판(P)을 반송할 수 있다. 한편, 사이즈가 큰 박판(P)의 경우[반송 방향에 있어서 박판(P)이 긴 경우]에는 암(33)을 수축시킨 상태에서 박판(P)을 수취하므로, 박판(P)은, 완전히 제1 반송부(11)로부터 이탈한 후에, 흡착부(32)에 의해 들어올리면서 흡착된다. 즉, 제1 반송부(11)와 박판(P)이 접촉된 상태에서 박판(P)을 들어올리는 경우에는, 박판(P)의 일부가 제1 반송부(11)에 남아 있으므로, 흡착에 큰 힘을 필요로 할 우려가 있고, 또한 암(33)을 신장시켜 박판(P)을 회전시키기 위한 스페이스를 확보할 필요가 있다. 이에 대하여, 전술한 바와 같이 암(33)을 수축시킨 상태에서 박판(P)을 수취함으로써, 흡착부(32)의 흡인 부하를 저감할 수 있다. 그러므로, 박판 이송 장치(30)에서는, 다양한 사이즈의 박판(P)을 확실하게 반송하면서 반전할 수 있다. 또한, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 암(33)을 수축시킨 상태에서 박판(P)을 수취하고, 회전한 후에, 암(33)을 신장시켜, 박판(P)을 해방하기 위해, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서, 암(33)을 신장시켜 박판(P)을 수취하는 경우와 비교하여, 박판(P)을 제2 청소 영역(A5)에 가까운 위치까지 반송할 수 있다. 그러므로, 반송 속도를 빨리할 수 있다.
박판 이송 장치(30)에 있어서, 암(33)은, 고정 부재(38) 및 슬라이딩 부재(39)로 이루어지고, 흡착부(32)가 흡착되어 있는 박판(P)과 평행하게 신축된다. 그러므로, 제2 받아건넴 영역(A4)에 있어서, 박판(P)을 제2 반송부(21) 상에 해방하는 위치를 선택할 수 있다.
박판 이송 장치(30)에 있어서, 제어 장치(44)의 흡착 제어 요소(46)는, 제1 받아건넴 영역에서의 박판(P)의 흡착의 타이밍을, 박판(P)의 반송 방향의 길이가 기준 길이(L)를 초과하는 경우에는 상류측 센서(41)만에 따라서 결정하고, 박판(P)의 반송 방향의 길이가 기준 길이(L) 이하의 경우에는 하류측 센서(42)만에 따라서 결정할 수 있다. 따라서, 간단한 제어로 다양한 사이즈의 박판(P)을 흡착할 수 있다.
박판 이송 장치(30)는, 가지지 부재(31)를 구비하므로, 완전히 제1 반송부(11)로부터 이격될 때까지 박판(P)을 지지할 수 있다. 즉, 흡착부(32)와 박판(P)을 흡착하기 위해 돌출 기구(34)가 암(33)을 돌출시킬 때 박판(P)을 제1 반송부(11)로부터 무리하게 당겨 벗길 필요가 없다. 그러므로, 흡착부(32)에 과대한 부하가 걸리지 않아, 박판(P)의 확실한 흡착이 가능하다.
[제2 실시형태]
본 발명의 제2 실시형태의 박판 청소 시스템은, 제1 실시형태와 같은 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)와, 도 12에 나타낸 박판 이송 장치(30a)를 가진다. 본 실시형태에 대하여, 제1 실시형태와 같은 구성 요소에는 같은 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 12의 박판 청소 시스템에서는, 제1 클리닝 장치(10)와 제2 클리닝 장치(20)가 평면에서 볼 때 평행하게 나란히 배치되어 있다. 상세하게는, 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)는, 제1 클리닝 장치(10)의 제1 반송부(11)에 의한 박판(P)의 반송 방향(D1)과 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21)에 의한 박판(P)의 반송 방향(D2)이 반대 방향으로 되도록 배치되어 있다.
<박판 이송 장치>
박판 이송 장치(30a)는, 흡착부(32)에 흡착되어 있을 때의 박판(P)과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 회전하는 회전부(35a)를 구비하고, 이 회전부(35a)는, 수평 또한 제1 반송부(11)의 반송 방향(D1) 및 제2 반송부(21)의 반송 방향(D2)과 평행한 회전축을 중심으로 회전한다. 이 회전부(35a)의 회전축은, 제1 클리닝 장치(10)와 제2 클리닝 장치(20)와의 사이에 배치되어 있다. 이 회전부(35a)는, 회전축과 수직으로 연장된 암형(arm shape)의 부재이며, 제1 받아건넴 영역(A3)보다 제1 반송부(11)의 반송 방향(D1)의 하류측, 또한 제2 받아건넴 영역(A4)보다 제2 반송부(21)의 반송 방향(D2)의 상류측에 배치되어 있다. 그리고, 회전부(35a)는, 양 단부의 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20) 측의 측부에 돌출 기구(34)를 지지하고 있다.
이와 같은 구성을 가지는 상기 박판 청소 시스템은, 전체 길이가 짧으므로, 설치 장소의 확보가 용이하다.
[그 외의 실시형태]
이번 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시로서 제한적인 것이 아니라고 생각된다. 본 발명의 범위는, 상기 실시형태의 구성에 한정되지 않고, 특허 청구의 범위에 의해 기재되고, 특허 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경(구성의 치환, 부가 및 삭제)이 포함되는 것이 의도된다.
예를 들면, 흡착 제어 요소 및 해방 제어 요소가 암의 수축을 행하지 않고, 회전 제어 요소가 회전부의 회전전에 암의 수축을 행해도 된다.
또한, 본 발명은, 반드시 암(33)이 신축 가능한 구성일 필요는 없다. 단, 신축 불가능한 암을 구비한 박판 이송 장치의 경우에는, 어떠한 사이즈의 박판이라도, 흡착부 상에 박판이 이동한 시점에서 회전부가 회전하여 박판을 이송한다. 그러나, 이와 같은 구성의 경우, 박판의 사이즈에 따라서는 효율적이 아닌 경우가 존재한다. 예를 들면, 작은 박판의 반송에 맞추어, 암을 길게 설정하고 있는 경우에는, 큰 박판을 반송할 때는, 회전부를 중심으로 하여 큰 박판이 회전하게 되므로, 큰 스페이스를 필요로 한다. 한편, 큰 박판의 반송에 맞추어 짧은 암에 설정되어 있는 경우에는, 작은 박판을 반송할 때는, 암의 흡착부가 위치하는 개소까지, 박판을 반송하는 기구가 필요로 한다. 그러므로, 전술한 바와 같이 암(33)이 신축 가능한 것이 바람직하다.
또한, 제2 받아건넴 영역에 박판을 받아건네는 다른 기구를 설치하면, 예를 들면, 제2 반송부를 슬라이딩 에지형의 컨베이어로 하면, 박판 이송 장치는, 암을 수축시킨 상태에서 박판을 제2 클리닝 장치에 받아건넬 수 있다.
상기한 실시형태에서는, 제1 클리닝 장치(10) 및 제2 클리닝 장치(20)는, 각각 제1 청소부(12) 및 제2 청소부(22)를 가지는 구성에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 제1 클리닝 장치(10)가 2개의 제1 청소부(12)를 가지고, 제2 클리닝 장치(20)가 2개의 제2 청소부(22)를 가지는 구성이라도 된다. 또한, 제1 청소부(12)나 제2 청소부(22)와는 상이한 청소 기구를 구비한 장치라도 된다.
상기한 실시형태에서는, 제1 받아건넴 영역(A3)에 있어서 박판(P)의 흡착에 있어서 흡착부(32)가 박판(P)에 대하여 퇴피 상태로부터 돌출할 수 있도록 돌출 기구(34)를 구비하는 것에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 돌출 기구(34)를 가지고 있지 않은 구성이라도 된다. 또한, 본 발명에 있어서, 상기 박판(P)의 흡착에 있어서 퇴피 상태로부터 흡착부(32)를 돌출시키기 위해, 암(33)과 흡착부(32)와의 사이에 출퇴(出退) 기구를 설치하고, 이 출퇴 기구에 의해 흡착부(32)를 박판(P)에 대하여 출퇴시키는 것도 가능하다. 그러나, 암(33)과 흡착부(32)와의 사이에 상기 출퇴 기구를 설치하는 것은 곤란하고, 장치 전체의 비용 상승을 초래할 우려가 있으므로, 상기한 실시형태와 같이 회전부(35)와 암(33)과의 사이에 상기 돌출 기구(34)를 설치하는 것이 바람직하다.
상기한 실시형태에서는, 암(33)은 신장 및 수축의 2개의 상태로만 변화할 수 있는 구성에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 3 단계 또는 그 이상의 단계로 변화할 수 있는 암을 구비한 구성이라도 된다. 이 경우에는, 상기한 실시예보다 더 다양한 사이즈의 박판에 대응할 수 있다.
상기한 실시형태에서는, 제1 클리닝 장치(10)에는, 제2 클리닝 장치(20)의 탑재용 장척의 천(24)에 상당하는 구성은 배치되어 있지 않지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 제1 클리닝 장치(10)에도 제2 클리닝 장치(20)의 탑재용 장척의 천(24)에 상당하는 구성을 설치해도 된다.
상기한 실시형태에서는, 박판(P)을 흡착부(32)에 의해 흡착함으로써 유지하는 구성을 사용하였지만, 본 발명은 흡착하는 구성에 한정되지 않고, 박판(P)을 점착력(粘着力) 등, 다른 방법으로 유지하는 구성이라도 된다.
또한, 제2 받아건넴 영역에서의 박판(P)의 해방의 타이밍을 정하는 확인 신호로서는, 제2 클리닝 장치(20)로부터 박판(P)의 공급을 구하기 위해 박판 이송 장치(30)에 입력되는 외부 신호를 사용해도 된다.
또한, 상기 제2 실시형태에서는, 회전부(35a)가 회전축과 평행하게 암(33)을 지지하고 있으나, 암(33)을 상이한 각도로 지지함으로써, 제1 클리닝 장치(10)의 제1 반송부(11)에 의한 박판(P)의 반송 방향(D1)과 제2 클리닝 장치(20)의 제2 반송부(21)에 의한 박판(P)의 반송 방향(D2)이 원하는 각도로 되도록 배치할 수 있다.
상기한 실시형태에 있어서는, 박판 이송 장치(30)는, 제1 클리닝 장치(10)로부터 제2 클리닝 장치(20)로 박판(P)을 이송하는 것 사용하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 일단에 흡착부를 장착한 암과, 암의 타단에 장착된 회전부를 구비한 장치는, 제1 클리닝 장치에 박판(P)에 공급하기 위해 사용할 수도 있어 제2 클리닝 장치(20)로부터 클리닝 끝난 박판(P)을 수납 박스로 이송하기 위해 사용할 수도 있다.
상기한 실시형태에서는, 박판 이송 장치(30)는 2개의 암(33)을 구비하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 2개 이상, 예를 들면, 4개의 암을 구비한 박판 이송 장치라도 된다.
[산업 상의 이용 가능성]
본 발명의 박판 청소 시스템은, 휴대 기기(機器)의 표시 장치에 사용되는 유리 기판 등의 박판의 청소에 바람직하게 이용할 수 있다.
10 제1 클리닝 장치
11 제1 반송부
12 제1 청소부
20 제2 클리닝 장치
21 제2 반송부
22 제2 청소부
23 벨트 컨베이어
30 박판 이송 장치
31 가지지 부재
32 흡착부
33 암
34 돌출 기구
35 회전부
38 고정 부재
39 슬라이딩 부재
41 상류측 센서(제1 센서)
42 하류측 센서(제2 센서)
43 해방측 센서
44 제어 장치
46 흡착 제어 요소
47 해방 제어 요소
48 회전 제어 요소
A3 제1 받아건넴 영역
A4 제2 받아건넴 영역
P 박판
11 제1 반송부
12 제1 청소부
20 제2 클리닝 장치
21 제2 반송부
22 제2 청소부
23 벨트 컨베이어
30 박판 이송 장치
31 가지지 부재
32 흡착부
33 암
34 돌출 기구
35 회전부
38 고정 부재
39 슬라이딩 부재
41 상류측 센서(제1 센서)
42 하류측 센서(제2 센서)
43 해방측 센서
44 제어 장치
46 흡착 제어 요소
47 해방 제어 요소
48 회전 제어 요소
A3 제1 받아건넴 영역
A4 제2 받아건넴 영역
P 박판
Claims (20)
- 제1 받아건넴 영역에 있어서 박판(薄板)의 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 박판을 해방하는 흡착부;
상기 흡착부가 일단측에 부설(付設)되어 있는 암(arm); 및
상기 암의 타단측을 지지하고, 상기 흡착부에 흡착되어 있을 때의 상기 박판과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 360˚ 회전 가능한 회전부;
를 포함하고,
상기 암이 신축 가능하고,
상기 암이, 상기 회전부에 지지되어 있는 고정 부재와, 상기 고정 부재에 슬라이딩 가능하게 설치되는 슬라이딩 부재를 가지고, 상기 슬라이딩 부재에 상기 흡착부가 부설되어 있는,
박판 이송 장치. - 제1 받아건넴 영역에 있어서 박판(薄板)의 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 박판을 해방하는 흡착부;
상기 흡착부가 일단측에 부설(付設)되어 있는 암(arm); 및
상기 암의 타단측을 지지하고, 상기 흡착부에 흡착되어 있을 때의 상기 박판과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 360˚ 회전 가능한 회전부;
를 포함하고,
상기 회전부와 상기 암 사이에 설치되고, 상기 회전부에 대하여 상기 암을 상기 흡착부의 흡인 방향으로 돌출 또는 후퇴시키는 돌출 기구(機構)를 구비하는,
박판 이송 장치. - 제2항에 있어서,
상기 흡착부, 상기 회전부 및 상기 돌출 기구의 동작을 제어하는 제어 장치를 더 포함하는 박판 이송 장치. - 제1 받아건넴 영역에 있어서 박판(薄板)의 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 박판을 해방하는 흡착부;
상기 흡착부가 일단측에 부설(付設)되어 있는 암(arm); 및
상기 암의 타단측을 지지하고, 상기 흡착부에 흡착되어 있을 때의 상기 박판과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 360˚ 회전 가능한 회전부;
를 포함하고,
상기 암이 신축 가능하고,
상기 암이, 상기 회전부에 지지되어 있는 고정 부재와, 상기 고정 부재에 슬라이딩 가능하게, 상기 흡착부, 상기 암 및 상기 회전부의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 제어 장치가, 상기 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 암이 신장된 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 해방시킨 후, 상기 회전부가 회전하기 전에 상기 암이 수축되도록 제어하는,
박판 이송 장치. - 제4항에 있어서.
복수의 상기 흡착부 및 상기 암이, 상기 회전부를 중심으로 회전 대칭으로 배치되어 있고,
상기 제1 받아건넴 영역과 상기 제2 받아건넴 영역이 상기 회전축을 중심으로 회전 대칭으로 위치하는, 박판 이송 장치. - 제5항에 있어서,
상기 흡착부 및 상기 회전부의 동작을 제어하는 제어 장치를 더 구비하고,
상기 제어 장치가,
상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는 흡착 제어 요소(要素);
상기 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 흡착부가 상기 박판을 해방하도록 제어하는 해방 제어 요소; 및
상기 제1 받아건넴 영역에서의 하나의 흡착부에 의한 하나의 박판의 흡착과, 상기 제2 받아건넴 영역에서의 다른 흡착부에 의한 다른 박판의 해방이 모두 완료된 후, 상기 회전부가 회전하도록 제어하는 회전 제어 요소;를 포함하는, 박판 이송 장치. - 제6항에 있어서,
상기 흡착 제어 요소가, 상기 제2 받아건넴 영역에서의 상기 박판의 해방과 동시에, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는, 박판 이송 장치. - 제3항에 있어서,
상기 암이 신축 가능한, 박판 이송 장치. - 제4항 또는 제8항에 있어서,
상기 암이, 상기 회전부에 지지되어 있는 고정 부재와, 상기 고정 부재에 슬라이딩 가능하게 설치되는 슬라이딩 부재를 가지고, 상기 슬라이딩 부재에 상기 흡착부가 부설되어 있는, 박판 이송 장치. - 제4항 또는 제8항에 있어서,
상기 흡착부, 상기 암 및 상기 회전부의 동작을 제어하는 제어 장치; 상기 박판의 유무를 각각 검출하여 검지 신호를 상기 제어 장치에 송신하는 제1 센서 및 제2 센서;를 더 구비하고,
상기 제1 센서가, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 암을 신장시켰을 때의 상기 흡착부의 근방에서 상기 박판의 유무를 검출하고,
상기 제2 센서가, 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 암의 상기 회전부에 지지되는 측의 상기 타단의 근방에서 상기 박판의 유무를 검출하는, 박판 이송 장치. - 제10항에 있어서,
상기 제어 장치가,
상기 제1 센서가 상기 박판을 검출하지 않았을 때 상기 암의 신장(伸長) 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는 제1 제어 상태; 및
상기 제2 센서가 상기 박판을 검출했을 때 상기 암이 수축된 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하도록 제어하는 제2 제어 상태;로 전환 가능하게 설치되어 있는, 박판 이송 장치. - 제4항 또는 제8항에 있어서,
상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 1개의 상기 박판을 아래로부터 지지하는 복수의 가지지(假支持) 부재를 구비하고, 상기 복수의 가지지 부재는, 상기 복수의 가지지 부재 사이를 상기 암이 통과할 수 있도록 설치되어 있는, 박판 이송 장치. - 제4항 또는 제8항에 있어서,
상기 흡착부, 상기 암 및 상기 회전부의 동작을 제어하는 제어 장치를 더 구비하고,
상기 제어 장치가, 상기 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 암이 신장된 상태에서 상기 흡착부가 상기 박판을 해방시킨 후, 상기 회전부가 회전하기 전에 상기 암이 수축되도록 제어하는, 박판 이송 장치. - 제1항, 제2항, 및 제4항 중 어느 한 항에 기재된 박판 이송 장치;
상기 박판의 상면을 청소하고, 상기 박판 이송 장치에 박판을 공급하는 제1 클리닝 장치; 및
상기 박판이 박판 이송 장치에 의해 반전되어 공급되고, 상기 박판의 상면을 청소하고, 제2 청소부를 가지는 제2 클리닝 장치;
를 포함하는 박판 청소 시스템. - 제1 받아건넴 영역에 있어서 박판(薄板)의 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 박판을 해방하는 흡착부;
상기 흡착부가 일단측에 부설(付設)되어 있는 암(arm); 및
상기 암의 타단측을 지지하고, 상기 흡착부에 흡착되어 있을 때의 상기 박판과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 360˚ 회전 가능한 회전부;
를 포함하고,
상기 암이 신축 가능하고,
상기 흡착부, 상기 암 및 상기 회전부의 동작을 제어하는 제어 장치; 상기 박판의 유무를 각각 검출하여 검지 신호를 상기 제어 장치에 송신하는 제1 센서 및 제2 센서;를 더 구비하고,
상기 제1 센서가, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 암을 신장시켰을 때의 상기 흡착부의 근방에서 상기 박판의 유무를 검출하고,
상기 제2 센서가, 상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 상기 암의 상기 회전부에 지지되는 측의 상기 타단의 근방에서 상기 박판의 유무를 검출하는,
박판 이송 장치. - 제1 받아건넴 영역에 있어서 박판(薄板)의 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 박판을 해방하는 흡착부;
상기 흡착부가 일단측에 부설(付設)되어 있는 암(arm); 및
상기 암의 타단측을 지지하고, 상기 흡착부에 흡착되어 있을 때의 상기 박판과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 360˚ 회전 가능한 회전부;
를 포함하고,
상기 제1 받아건넴 영역에 있어서 1개의 상기 박판을 아래로부터 지지하는 복수의 가지지(假支持) 부재를 구비하고, 상기 복수의 가지지 부재는, 상기 복수의 가지지 부재 사이를 상기 암이 통과할 수 있도록 설치되어 있는,
박판 이송 장치. - 제1 받아건넴 영역에 있어서 박판(薄板)의 상면에 접촉하지 않고 하면을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역에 있어서 상기 박판을 해방하는 흡착부와, 상기 흡착부가 일단측에 부설(付設)되어 있는 암(arm)과, 상기 암의 타단측을 지지하고, 상기 흡착부에 흡착되어 있을 때의 상기 박판과 평행한 평면 상에 위치하는 회전축을 중심으로 360˚ 회전 가능한 회전부를 포함하는 박판 이송 장치;
상기 박판의 상면을 청소하고, 상기 박판 이송 장치에 박판을 공급하는 제1 클리닝 장치; 및
상기 박판이 상기 박판 이송 장치에 의해 반전되어 공급되고, 이 박판의 상면을 청소하고, 제2 청소부를 가지는 제2 클리닝 장치
를 포함하는 박판 청소 시스템. - 제17항에 있어서,
상기 제1 클리닝 장치 및 상기 박판 이송 장치가, 상기 제1 클리닝 장치에 의해 청소된 박판의 상면에 접촉하지 않는, 박판 청소 시스템. - 제17항에 있어서,
상기 제1 클리닝 장치가 상기 박판의 상면 전체를 청소하고, 상기 제2 클리닝 장치가 상기 박판의 반전된 상면 전체를 청소하는, 박판 청소 시스템. - 제17항에 있어서,
상기 제1 클리닝 장치가, 상기 박판을 제1 청소 영역으로부터 제1 받아건넴 영역까지 반송하는 제1 반송부를 구비하고,
상기 제2 클리닝 장치가, 상기 박판을 제2 청소 영역으로부터 제2 받아건넴 영역까지 반송하는 제2 반송부를 구비하고,
상기 흡착부가, 상기 제1 영역에서 박판의 하면을 흡착하고,
상기 박판 이송 장치가, 상기 회전부의 회전에 의해 상기 박판을 상기 제1 받아건넴 영역으로부터 상기 제2 받아건넴 영역 측으로 이동시키면서 반전시키고,
상기 박판 이송 장치가, 상기 회전부와 상기 암의 사이에 설치되고, 상기 흡착부의 흡인 방향으로 상기 암을 돌출 또는 후퇴시키는 돌출 기구를 구비하고,
상기 제1 받아건넴 영역에 있어서, 상기 박판이 공급되고, 상기 박판이 이동하고 있는 상태에서 상기 돌출 기구가 상기 암을 돌출시키는 동시에 상기 흡착부가 상기 박판을 흡착하는, 박판 청소 시스템.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JPJP-P-2013-158742 | 2013-07-31 | ||
| JP2013158742A JP5799059B2 (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 薄板移送装置及び薄板清掃システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20150015370A KR20150015370A (ko) | 2015-02-10 |
| KR101594529B1 true KR101594529B1 (ko) | 2016-02-16 |
Family
ID=52497295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140089606A KR101594529B1 (ko) | 2013-07-31 | 2014-07-16 | 박판 이송 장치 및 박판 청소 시스템 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5799059B2 (ko) |
| KR (1) | KR101594529B1 (ko) |
| CN (1) | CN104340729B (ko) |
| TW (1) | TWI532662B (ko) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107032119A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-08-11 | 桂林航天工业学院 | 一种采用电磁吸附的远距离自动上料输送装置 |
| KR101800169B1 (ko) * | 2017-01-11 | 2017-12-20 | 주식회사 디이엔티 | 패널 상하 반전 장치 및 그 방법 |
| CN111572096B (zh) * | 2020-05-27 | 2021-10-01 | 深圳市凡诚智能装备有限公司 | 一种上料机械手 |
| CN112317404B (zh) * | 2020-09-30 | 2022-04-05 | 张家港市盛嘉建筑新材料科技有限公司 | 一种板材表面清洁装置及清洁方法 |
| TWI764675B (zh) * | 2021-04-15 | 2022-05-11 | 由田新技股份有限公司 | 翻轉裝置、翻轉方法、檢測設備及檢測方法 |
| CN113526124B (zh) * | 2021-07-26 | 2022-09-16 | 平显智能装备(深圳)有限责任公司 | 一种大尺寸盖板自动上下料装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002126662A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-08 | Optrex Corp | 液晶セルの洗浄装置 |
| JP2002145448A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 反転積み重ね装置 |
| JP2012218844A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 板状部材反転システム及びその反転移送方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10269A (en) | 1853-11-22 | Machine for dressing millstones | ||
| JPS4520012Y1 (ko) * | 1968-01-05 | 1970-08-12 | ||
| JPH0530029U (ja) * | 1991-09-26 | 1993-04-20 | 三菱マテリアル株式会社 | 粉末冶金における圧粉体の整列装置 |
| JP2653955B2 (ja) * | 1992-03-05 | 1997-09-17 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性平版印刷版の反転装置 |
| JP3236742B2 (ja) | 1994-09-28 | 2001-12-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置 |
| JP4050181B2 (ja) * | 2003-04-30 | 2008-02-20 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| CN201035276Y (zh) * | 2007-05-15 | 2008-03-12 | 北京京东方光电科技有限公司 | 高节拍翻转装置 |
| US8182009B2 (en) * | 2008-03-13 | 2012-05-22 | Xyratex Technology, Ltd. | End effector |
| JP5107122B2 (ja) * | 2008-04-03 | 2012-12-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| CN101814586B (zh) * | 2009-12-01 | 2011-09-28 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 夹持式基板翻转装置 |
-
2013
- 2013-07-31 JP JP2013158742A patent/JP5799059B2/ja active Active
-
2014
- 2014-07-16 KR KR1020140089606A patent/KR101594529B1/ko active IP Right Grant
- 2014-07-29 TW TW103125853A patent/TWI532662B/zh active
- 2014-07-30 CN CN201410370247.2A patent/CN104340729B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002126662A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-08 | Optrex Corp | 液晶セルの洗浄装置 |
| JP2002145448A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 反転積み重ね装置 |
| JP2012218844A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 板状部材反転システム及びその反転移送方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW201520155A (zh) | 2015-06-01 |
| CN104340729A (zh) | 2015-02-11 |
| TWI532662B (zh) | 2016-05-11 |
| JP5799059B2 (ja) | 2015-10-21 |
| KR20150015370A (ko) | 2015-02-10 |
| JP2015030548A (ja) | 2015-02-16 |
| CN104340729B (zh) | 2017-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101594529B1 (ko) | 박판 이송 장치 및 박판 청소 시스템 | |
| JP6005007B2 (ja) | 透明板清掃システム | |
| TWI470729B (zh) | 破損基板或晶圓回收系統及以該系統卸除破損晶圓碎片的方法 | |
| KR101559018B1 (ko) | 판형 부재 반전 시스템 및 그 반전 이송 방법 | |
| CN106144473A (zh) | 一种机械手定位抓取机构 | |
| JP7232615B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| WO2018003573A1 (ja) | 搬送システム | |
| JP6842300B2 (ja) | 基板位置アライナ | |
| CN106144625A (zh) | 一种基于机械手的分类码垛设备 | |
| TWI491548B (zh) | 搬送裝置及搬送方法 | |
| KR101384551B1 (ko) | 무인 이송 시스템용 셔틀 틸팅 장치 및 이를 포함하는 무인 이송 시스템 | |
| JP7147475B2 (ja) | 物品移載設備 | |
| JPH10236636A (ja) | 基板反転方法及び装置 | |
| JP5449856B2 (ja) | 半導体ウエハの搬送方法 | |
| JP2016140816A (ja) | 透明板清掃システム | |
| JP5512349B2 (ja) | 基板反転装置及び基板反転方法 | |
| JP2006298507A (ja) | ガラス基板の移積装置及び移載方法 | |
| KR20150068575A (ko) | 기판 파지, 이송장치 및 이를 이용한 이송방법 | |
| JP4687120B2 (ja) | 物品整列装置 | |
| KR101401871B1 (ko) | 무인 이송 시스템용 진공 흡착장치 및 이를 포함하는 무인 이송 시스템 | |
| JP6166872B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
| JP6517522B2 (ja) | 清掃装置及びワーク清掃システム | |
| CN110989226B (zh) | 一种贴片设备和贴片工艺 | |
| JP2014125317A (ja) | 移載装置およびこれを備える搬送システム | |
| KR102386336B1 (ko) | 기판 검사 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190124 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200130 Year of fee payment: 5 |