CN104340729B - 薄板输送装置及薄板清扫系统 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于提供一种能够高效翻转薄板的薄板输送装置及薄板清扫系统。本发明的薄板输送装置包括：吸附部，在第一交接区域吸附薄板的第一面，并在第二交接区域释放所述薄板；臂，在一端侧附设有所述吸附部；以及旋转部，支撑所述臂的另一端侧，能够以旋转轴为中心360°旋转，所述旋转轴位于与被吸附于所述吸附部时的所述薄板平行的平面上。

Description

薄板输送装置及薄板清扫系统

技术领域

本发明涉及薄板输送装置及薄板清扫系统。

背景技术

在使用于液晶显示装置等的玻璃这样的薄板的正反面形成有光学覆膜等。由于存在薄板弄脏时不能适当形成光学覆膜等的情况，因此，需要清扫薄板的系统。

已提议了一种将薄板载置于铺在传送带上的干净的布上并通过洒有酒精的无尘布擦拭薄板整个上表面的污垢的清扫装置(中国专利申请公开第102698988号)。通过这种构成，不论薄板的尺寸如何，均能够清扫薄板表面。但是，通过该装置只能清扫薄板的单面。因此，在清扫了薄板的单面之后，需要翻过来后再用该清扫装置清扫另一面。

这里，在日本特开平08-89910号公报的图10中记载有：把持两端而使薄板翻转的构成及清扫薄板的一面的构成。通过该构成，在清扫了薄板的一面之后，使薄板翻转而清扫另一面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：中国专利申请公开第102698988号

专利文献2：日本特开平8-89910号公报

发明内容

[发明所要解决的课题]

在日本特开平08-89910号公报的图10所记载的构成中，由于电机等配置于夹盘的外侧，从而不能超出电机等而打开夹盘。因此，无法应对大尺寸的薄板。并且，在该构成中，由于把持薄板的两端，从而用于把持的夹盘的一部分接触已经清扫过的部位。因此，难以完全地清扫薄板的两端。

因此，本发明的课题在于，提供一种能够高效地在翻转薄板的同时对其进行输送的薄板输送装置、以及通过包括该薄板输送装置而能够容易且可靠地高效清扫薄板两面的薄板清扫系统。

[解决课题的技术方案]

为解决上述课题而完成的发明为一种薄板输送装置，包括：吸附部，在第一交接区域吸附薄板的第一面，在第二交接区域释放所述薄板；臂，在所述臂的一端侧附设有所述吸附部；以及旋转部，支撑所述臂的另一端侧，并能以旋转轴为中心360°旋转，其中，所述旋转轴位于与被吸附于所述吸附部时的所述薄板平行的平面上。

在该薄板输送装置中，通过设置于所述另一端侧支撑于旋转部的臂的所述一端侧的吸附部来吸附薄板的第一面，并使旋转部以与被吸附于吸附部的薄板实质上平行的旋转轴为中心旋转，从而能够使臂旋转，使薄板以描绘圆弧的方式移动，同时使薄板的第二面及第一面翻转。由此，能够在不接触薄板的第二面的情况下输送及翻转薄板。

在该薄板输送装置中，优选多个所述吸附部及多个所述臂以所述旋转部为中心大致呈旋转对称地被配置，且所述第一交接区域和所述第二交接区域位于以所述旋转轴为中心大致呈旋转对称的位置。根据该构成，一吸附部在第一交接区域吸附薄板时，另一吸附部被配置于第二交接区域，因此，能够与第一交接区域中的一薄板的吸附同时地进行第二交接区域中的其它薄板的释放。因此，该薄板输送装置能够高效地输送薄板。此外，所谓的“大致呈旋转对称”是指，不仅包括完全旋转对称的情况，还包括配置成能够同时进行第一交接区域中的一薄板的吸附和第二交接区域中的其它薄板的释放的程度的情况。例如，即便是大致呈旋转对称的一对交接区域(或者臂或吸附部)中的一个与旋转轴的距离为另一个与旋转轴的距离的90％以上110％以下的情况，交接区域彼此也为大致呈旋转对称。此外，相对于旋转轴的角度差也是同样，具体而言，例如在连接大致呈旋转对称的一对交接区域(或者臂或吸附部)中的一个和旋转轴的假想直线与连接另一个和旋转轴的假想直线不足10°这样的情况下，交接区域彼此也为大致呈旋转对称。

优选该薄板输送装置包括：突出机构，所述突出机构设置于所述旋转部和所述臂之间，用于使所述臂沿着所述吸附部的吸引方向相对于所述旋转部突出或者后退。根据该构成，在上述第一交接区域中，通过上述突出机构使上述臂后退，从而上述吸附部从薄板退避，通过上述突出机构使上述臂突出，从而上述吸附部靠近薄板。由此，即使暂时保持旋转部的旋转停止状态，也能通过突出机构使臂突出而使吸附部接近薄板。

在本申请发明中，臂可以是不能伸缩的，但优选臂能够伸缩。由此，即使是尺寸不同的薄板，也能通过臂的伸缩来容易且可靠地使其翻转的同时对其进行输送。具体而言，例如，在小尺寸的薄板的情况下，能够在使臂伸长的状态下通过吸附部来吸附薄板并使其翻转的同时对其进行输送，另一方面，在大尺寸的薄板的情况下，能够在使臂收缩的状态下通过吸附部来吸附薄板并使其翻转的同时对其进行输送。

在该薄板输送装置中，优选所述臂具有：支撑于所述旋转部的固定部件和能够滑动地设置于该固定部件的滑动部件，且所述吸附部附设于该滑动部件。通过采用以滑动来伸缩臂的简单构成，从而不会使该薄板输送装置过度复杂化。

优选该薄板输送装置还包括：在所述第一交接区域中从下方支撑一个所述薄板的多个临时承接部件，且该多个临时承接部件以所述臂能够通过该多个临时承接部件之间的方式而配设。由于能够暂时通过临时承接部件支撑薄板，因此，例如能够通过临时承接部件从向该薄板输送装置供给薄板的供给装置依次接收薄板，不易受到供给装置的工作状况等的影响。

在如上所述地多个所述吸附部、所述臂及交接区域分别以旋转部为中心大致呈旋转对称地配置的情况下，优选该薄板输送装置还包括：控制所述吸附部及所述旋转部的动作的控制装置，所述控制装置具有：吸附控制单元，控制所述吸附部在所述第一交接区域吸附所述薄板；释放控制单元，控制所述吸附部在所述第二交接区域释放所述薄板；以及旋转控制单元，控制所述旋转部在所述第一交接区域中的一个吸附部对一块薄板的吸附和所述第二交接区域中的其它吸附部对其它薄板的释放全都完成之后进行旋转。如此，由于具有吸附控制单元、释放控制单元以及旋转控制单元，因此，能够高效地进行第一交接区域中的薄板的吸附、第二交接区域中的薄板的释放、以及从第一交接区域到第二交接区域的薄板的输送。

进一步地，在该薄板输送装置中，优选所述吸附控制单元控制所述吸附部使其在所述第二交接区域中释放所述薄板的同时在所述第一交接区域吸附所述薄板。如果第一交接区域中的薄板的吸附定时与第二交接区域中的薄板的释放定时相同，则能够缩短薄板的输送循环。

在如上所述地臂能够伸缩的情况下，优选该薄板输送装置还包括：控制所述吸附部、所述臂和所述旋转部的动作的控制装置、以及分别检测有无所述薄板并将检测信号发送给所述控制装置的第一传感器和第二传感器，所述第一传感器在所述第一交接区域中、在伸长所述臂时的所述吸附部的附近检测有无所述薄板，所述第二传感器在所述第一交接区域中、在所述臂的支撑于所述旋转部一侧的所述另一端附近检测有无所述薄板。如此，通过使用2个传感器，从而以简单的控制即可实现尺寸不同的薄板的可靠的吸附。

在该薄板输送装置中，优选所述控制装置被设置成能够切换为下述两种控制状态：第一控制状态，在所述第一传感器不再检测到所述薄板时、控制所述吸附部在所述臂的伸长状态下吸附所述薄板；以及第二控制状态，在所述第二传感器检测到所述薄板时、控制所述吸附部在所述臂的收缩状态下吸附所述薄板。由此，在吸附尺寸小的薄板的情况下，切换为上述第一控制状态，从而使臂伸长而使用上述第一传感器，另一方面，在吸附尺寸大的薄板的情况下，切换为上述第二控制状态，从而使臂收缩而使用上述第二传感器，由此，以简单的控制即可实现尺寸不同的薄板的更可靠的吸附。

在该薄板输送装置中，优选还包括：控制所述吸附部、所述臂以及所述旋转部的动作的控制装置，且所述控制装置进行以下控制：在所述吸附部于所述第二交接区域中在所述臂伸长的状态下释放了所述薄板之后、且所述旋转部旋转之前，使所述臂进行收缩。例如，当通过该薄板输送装置将薄板交接至下游侧的其它装置时，使臂伸长而能够在离开旋转部的旋转中心的位置将薄板交接至下游侧的其它装置，进一步地，在交接了薄板之后，通过使臂收缩，从而在旋转部旋转时臂不易与下游侧的其它装置及由该装置所保持的薄板相干涉。因此，不管下游侧的其它装置的状态如何，旋转部均容易旋转。

为解决上述课题而完成的另一发明为一种薄板清扫系统，包括：该薄板输送装置；第一清洁装置，清扫所述薄板的第二面，并将所述薄板供给至所述薄板输送装置；以及第二清洁装置，所述薄板被所述薄板输送装置翻转并供给至所述第二清洁装置，所述第二清洁装置清扫该薄板的第二面。

该薄板输送装置能够在不与已由第一清洁装置清扫过的薄板的第二面接触的情况下保持薄板，能够高效地将薄板翻转并供给至清扫被翻转的未清扫的面(第二面)的第二清洁装置，因此，薄板清扫系统能够高效地容易且可靠地清扫薄板的两面。

[发明效果]

本发明的薄板输送装置能够高效地在翻转薄板的同时对其进行输送，并且，该薄板清扫系统能够高效地容易且可靠地清扫薄板的两面。

附图说明

图1为示出本发明一实施方式的薄板清扫系统的示意性侧面图。

图2为示出图1的薄板清扫系统的薄板输送装置的示意性平面图。

图3为图2的薄板输送装置的示意性侧面图。

图4为示出薄板输送装置的构成的框图。

图5为例示输送短薄板时的薄板输送装置的待机状态的示意性侧面图。

图6为例示图5的下一状态中的薄板输送装置的示意性侧面图。

图7为例示图6的下一状态中的薄板输送装置的示意性侧面图。

图8为例示图7的下一状态中的薄板输送装置的示意性侧面图。

图9为例示输送长薄板时的薄板输送装置的待机状态的示意性侧面图。

图10为例示图9的下一状态中的薄板输送装置的示意性侧面图。

图11为例示图10的下一状态中的薄板输送装置的待机状态的示意性侧面图。

图12为与图1不同的实施方式的薄板清扫系统所涉及的薄板输送装置的示意性平面图。

具体实施方式

以下，适当参照附图，详细说明本发明的实施方式。首先，参照图1至图11，对本发明的第一实施方式的薄板清扫系统进行说明。

[第一实施方式]

图1的薄板清扫系统1包括：从下方支撑透明的薄板P并清扫第二面的第一清洁装置10；从下方支撑薄板P并清扫第二面(第一清洁装置10中的第一面)的第二清洁装置20；以及将薄板P翻转的同时从第一清洁装置10输送至第二清洁装置20的薄板输送装置30。这里，薄板P中包括在液晶显示装置等中使用的玻璃或树脂材料的基板。此外，如图1等所示，第一清洁装置10的薄板P的运送方向(向薄板输送装置30供给薄板P的方向)与第二清洁装置20的薄板P的运送方向(来自薄板输送装置30的薄板P的供给方向)为相同方向(侧面图图1的从右向左(纸面上的从上往下)的方向)。

<第一清洁装置>

第一清洁装置10具有第一运送部11和第一清扫部12。第一运送部11由将薄板P从薄板供给区域A1经由第一清扫区域A2运送至第一交接区域A3的传送带构成，其中，薄板P以第一面与薄板供给区域A1接触的方式载置于薄板供给区域A1，薄板P在第一清扫区域A2被清扫，在第一交接区域A3将薄板P交接给薄板输送装置30。第一清扫部12在第一清扫区域A2中对载置于第一运送部11上的薄板P的第二面进行清扫。

第一清扫部12构成为按下述这样对附着于薄板P的第二面的污垢进行擦拭。首先，通过未图示的撒布装置将酒精洒于形成为不产生尘埃的干净的长布13上。然后，通过以垂直的偏心轴为中心旋转的圆盘14，长布13抵到载置于第一运送部11上的薄板P。由此，长布13以在薄板P上画圆的方式进行动作，擦拭薄板P的第二面的污垢。

<第二清洁装置>

第一清洁装置10的第一交接区域A3的薄板P被薄板输送装置30翻转并供给至第二清洁装置20。该第二清洁装置20具有第二运送部21和第二清扫部22。第二运送部21将薄板P从接收薄板P的第二交接区域A4经由清扫薄板P的第二清扫区域A5而运送至排出薄板P的薄板排出区域A6。第二清扫部22在第二清扫区域A5中对薄板P的第二面(第一清洁装置10中的薄板P的第一面(翻转前的第一面))进行清扫。

第二运送部21具有：传送带23、以及被供给到传送带23上的以与传送带23相同的速度移动的干净的载置用长布24。薄板P以由第一清洁装置10清扫过的第一面(翻转前的第二面)与总是被新供给的载置用长布24之上接触的方式载置于载置用长布24之上。并且，第二清洁装置20的第二运送部21与薄板P接触的高度不足第一清洁装置10的第一运送部11与薄板P面接触的高度。

第二清扫部22构成为按下述这样对薄板P的第二面(翻转前的第一面)的污垢进行擦拭。首先，通过未图示的撒布装置将酒精洒于形成为不产生尘埃的干净的长布25上。然后，通过以垂直的偏心轴为中心旋转的圆盘26，长布25抵到载置于第二运送部21上的薄板P。由此，长布25以在薄板P上画圆的方式进行动作，擦拭薄板P的第二面的污垢。

<薄板输送装置>

图2图示了薄板输送装置30的平面，图3图示了薄板输送装置30的侧面。薄板输送装置30为将从上游的供给装置(上述第一清洁装置10)依次供给至第一交接区域A3的薄板P在第二交接区域A4交接至下游的装置(上述第二清洁装置20)的装置，上述第二清洁装置20将被交接的薄板P依次运送至下游侧。如图2及图3所详细示出的，该薄板输送装置30包括吸附部32、臂33、和旋转部35，吸附部32在第一交接区域A3吸附薄板P的第一面，在第二交接区域A4释放上述薄板P，该吸附部32附设于臂33的一端侧，旋转部35支撑该臂33的另一端侧。

进一步，薄板输送装置30包括：配设于第一交接区域A3的临时承接部件31、以及使上述臂33沿上述吸附部32的吸引方向相对于旋转部35突出或者后退的突出机构34。薄板输送装置30包括在第一交接区域A3中从下侧支撑一个薄板P的临时承接部件31。具体而言，临时承接部件31在第一交接区域A3中暂时地支撑从第一清洁装置10(参照图1)排出的薄板P的第一面。吸附部32吸附被临时承接部件31支撑的薄板P的第一面。臂33能够伸缩。具体而言，臂33能够沿着从支撑于旋转部35的上述另一端朝向附设有吸附部32的上述一端的方向伸缩。突出机构34设置于旋转部35和臂33之间，如上所述，为使臂33沿着吸附部32的吸引方向相对于旋转部35突出或者后退的机构。具体而言，突出机构34由支撑臂33的上述另一端侧的气缸构成。旋转部35固定有突出机构34，由此，如上所述地支撑臂33。旋转部35能够以位于与吸附于吸附部32的薄板P平行的平面上的旋转轴为中心旋转。该旋转轴与吸附部32的吸引方向垂直，并沿水平方向(与第一运送部11运送薄板P的方向垂直的方向)设置。薄板输送装置30包括多个上述吸附部32、上述臂33及上述突出机构34，这些多个上述吸附部32、上述臂33及上述突出机构34分别成对，一对上述吸附部32、上述臂33及上述突出机构34分别以旋转部35的旋转轴为中心旋转对称地配设。

如图2等所示，薄板输送装置30包括多个上述临时承接部件31。该多个临时承接部件31与第一运送部11的运送方向平行地配设，并配设成臂33能够通过该多个临时承接部件31之间。各临时承接部件31由在第一运送部11的运送方向上并列配置的多个滑轮31a构成。临时承接部件31其上游侧(图1中的第一清洁装置10侧)与下游侧相比，在第一运送部11的运送方向上以更小的间隔配置。此外，临时承接部件31在与第一运送部11的运送方向正交的横切方向上以比臂33的宽度更宽的间隔排列，以便臂33能够通过。并且，临时承接部件31在上游侧，在与第一运送部11的运送方向正交的横切方向上以小的间隔排列，以便能够支撑宽度小的薄板P，在下游侧，在横切方向上以大的间隔排列，以便能够支撑宽度大的薄板P。

上述吸附部32具有安装于臂33的真空吸盘36。这里，在各臂33上分别安装有多个上述真空吸盘36。在臂33上形成有与连接于未图示的真空源的流路连通并能安装真空吸盘36的多个吸引孔37。真空吸盘36吸附并支撑薄板P。这些真空吸盘36根据要吸附的薄板P的大小而安装于适当的位置。未安装真空吸盘36的吸引孔37用塞子密封。

上述臂33能够伸缩，使得吸附部32如图3等所示地接近/离开旋转部35的旋转轴，具体而言，上述臂33能够在与吸附部32的吸引方向垂直的方向(如图3所示、与吸附于吸附部32的薄板P平行的方向)、即将吸附部32配置于第一交接区域A3时与第一运送部11的运送方向D平行的水平方向上伸缩。臂33具有通过固定于上述突出机构34而支撑于旋转部35的固定部件38和可滑动地设置于该固定部件38的滑动部件39，上述吸附部32附设于该滑动部件39上。具体说明如下，固定部件38包括无杆气缸的滑道38a及壳体38b，滑动部件39包括：无杆气缸的滑动台39a、和从该滑动台39a向无杆气缸的动作方向延伸设置并在与滑动台39a相反的一侧附设有吸附部32的细长厚板状的部件39b。

如上所述，上述突出机构34使臂33与吸附部32的吸引方向平行地突出(离开旋转部35)或者后退(接近旋转部35)。在第一交接区域A3水平地配置臂33，当将突出机构34设于臂33的后退状态时，吸附部32的真空吸盘36整体位于临时承接部件31支撑薄板P的高度的下方，其后，当通过突出机构34使臂33为突出状态时，真空吸盘36的吸附面位于临时承接部件31支撑薄板P的高度的上方。也就是说，通过突出机构34使臂33后退，从而吸附部32在第一交接区域A3中退避至薄板P的下方，通过突出机构34使臂33突出，从而抬升薄板P。由此，在第一交接区域A3中能够通过吸附部32从下侧保持薄板P。

借助电机40，上述旋转部35以旋转轴为中心360°旋转。并且，所谓360°旋转，不是指旋转部35仅能旋转一周，而是指能够向一方向连续旋转。该旋转部35的旋转轴配设于第一交接区域A3的高度位置和第二交接区域A4的高度位置之间的高度。也就是说，该旋转轴配设于第一运送部11与薄板P接触的部分和第二运送部21与薄板P接触的部分之间的高度。当旋转部35旋转时，臂33以通过临时承接部件31之间并旋转的方式而移动。

此外，薄板输送装置30包括：分别检测薄板的有无并将检测信号发送至后述的控制装置的上游侧传感器41(第一传感器)、下游侧传感器42(第二传感器)及释放侧传感器43。

上游侧传感器41及下游侧传感器42配设于第一交接区域A3，也就是说，薄板输送装置30在第一交接区域A3中在薄板P的供给方向上配设有多个传感器41、42。上游侧传感器41在第一交接区域A3中在使臂33伸长时的上述吸附部32的附近检测上述薄板P的有无。具体而言，上游侧传感器41在上述吸附部32附近的比吸附部32更靠伸长侧(上游侧)的位置检测薄板P的有无。更具体而言，上游侧传感器41以能够检测薄板P从第一清洁装置10离开的方式而配设。下游侧传感器42在第一交接区域A3中在臂33的支撑于旋转部35一侧的上述另一端附近检测薄板P的有无。具体而言，下游侧传感器42在使臂33收缩时的吸附部32附近的比吸附部32更靠收缩一侧(下游侧)的位置检测薄板P的有无。

释放侧传感器43配设于第二交接区域A4。在第二交接区域A4中，释放侧传感器43在使臂33伸长时的吸附部32附近的比吸附部32更靠伸长一侧(下游侧)的位置检测薄板P的有无。优选上游侧传感器41、下游侧传感器42及释放侧传感器43为光电传感器等非接触型传感器，并被固定于不因旋转部35的旋转而与其它构成要素相干涉的位置。

薄板输送装置30还包括控制上述各构成要素的动作的控制装置44。控制装置44优选由能够编程的微型计算机等构成。

图4的框图中示出薄板输送装置30的控制所涉及的各构成要素的关系。通过设定输入部45，将所输送的薄板P的尺寸等条件设定预先输入控制装置44。并且，上游侧传感器41、下游侧传感器42及释放侧传感器43的检测信号被输入控制装置44。控制装置44基于这些输入，控制吸附部32的吸引动作、臂33的伸缩动作、突出机构34的突出后退动作以及旋转部35的旋转动作。如上所述，在薄板输送装置30中，一对吸附部32、臂33及突出机构34以旋转部35的旋转轴为中心呈旋转对称地配置。由于各构成要素被单独控制，因此可以根据需要对这些构成要素冠以“第一”或“第二”的编号来加以区分。

控制装置44具有：吸附控制单元46、释放控制单元47、和旋转控制单元48。吸附控制单元46控制用于吸附部32在第一交接区域A3吸附薄板P的动作。释放控制单元47控制用于吸附部32在第二交接区域A4释放薄板P而交接至第二清洁装置20的动作。旋转控制单元48控制用于旋转旋转部35而将薄板P从第一交接区域A3输送至第二交接区域A4的动作。这些吸附控制单元46、释放控制单元47、及旋转控制单元48为控制装置44的电路或者程序的一部分，优选构成为像电路模块或者子程序一样地能够与其它部分区分。

吸附控制单元46在预先在设定输入部45设定的薄板P的长度(臂33的伸缩方向(第一运送部11的运送方向D)的长度)为规定的基准长度L以下时进行控制，使得在第一交接区域A3中臂33伸长且在突出机构34使臂33后退至下方的状态下待机，当上游侧传感器41不再检测到薄板P时，突出机构34使臂33向上方突出，且吸附部32吸附薄板P(第一控制状态)。吸附控制单元46在所设定的薄板P的长度超过基准长度L时进行控制，使得在第一交接区域A3中臂33在收缩状态下待机，且当下游侧传感器42检测到薄板P时，突出机构34使臂33向上方突出，且吸附部32吸附薄板P(第二控制状态)。也就是说，控制装置44设置成能够根据薄板P的尺寸而切换为上述第一控制状态和第二控制状态。

释放控制单元47对吸附部32进行控制，使得在突出机构34于第二交接区域A4使臂33向下方突出的状态下待机，并根据释放侧传感器43的检测信号(确认信号)，停止吸附部32的吸引而释放吸附的薄板P，以将薄板P载置于第二清洁装置20的第二运送部21之上。更详细而言，释放控制单元47在吸附部32于前次的控制循环中释放了薄板P之后，释放侧传感器43检测到一次薄板P之后不再检测到薄板P时，判断为薄板P被从第二交接区域A4输送至第二清扫区域A5而在第二交接区域A4中不存在薄板P。并且，释放控制单元47在吸附部32释放了薄板P之后，控制第二交接区域A4侧的突出机构34，使得臂33向上方后退，并使该第二交接区域A4侧的臂33收缩。

旋转控制单元48进行控制，使得第一交接区域A3中的一个吸附部32对一块薄板P的吸附和第二交接区域A4中的其它吸附部32对其它薄板P的释放均完成之后，旋转部35进行旋转。更具体而言，该旋转控制单元48控制为：在第一交接区域A3中的薄板P的吸附和第二交接区域A4中的薄板P的释放完成且臂33的收缩均完成之后，上述旋转部35进行旋转。因此，控制装置44控制为：在第二交接区域A4中，在吸附部32在臂33伸长的状态下释放了薄板P之后而旋转部35旋转之前，臂33收缩。此外，上述吸附控制单元46可以控制为：与第二交接区域A4中的薄板P的释放同时地在第一交接区域A3中吸附部32吸附薄板P。

<动作>

下面，主要参照依次示出薄板输送装置30的状态变化的图5至图11，顺序说明该薄板清扫系统的动作。此外，以下的动作控制通过上述控制装置完成。

在薄板清扫系统开始动作之前，用户预先在操作面板上输入玻璃板的大小。如上所述，第一清洁装置10(参照图1)边将薄板P载置于第一运送部11之上进行运送，边通过第一清扫部12清扫载置于第一运送部11上的薄板P的第二面。并且，如图5所示，第一运送部11在第一交接区域A3将薄板P排出至薄板输送装置30的临时承接部件31之上。

此时，薄板输送装置30在通过突出机构34而使臂33后退并使吸附部32退避至临时承接部件31之下的状态下，等待薄板P供给到临时承接部件31之上。图5示出薄板P在运送方向上的长度为基准长度L以下且在臂33伸长的状态下等待薄板P的供给的样子。

当通过第一运送部11而将薄板P开始运入第一交接区域A3时，上游侧传感器41检测出薄板P。并且，在整个薄板P刚从第一运送部11交接至临时承接部件31之后，由于薄板P的后端缘通过上游侧传感器41，所以上游侧传感器41不能再检测到薄板P。在此瞬间，如图6所示，第一交接区域A3侧的突出机构34使臂33突出，使吸附部32的真空吸盘36突出到临时承接部件31的上方。并且，伴随于此，位于第一交接区域A3的吸附部32连接于真空源而产生吸引力。由此，位于第一交接区域A3的吸附部32使薄板P从临时承接部件31抬升的同时吸附第一面进行保持。这里，在真空吸盘36即将吸附薄板P之前，薄板P正在移动。因此，在薄板P正在移动的状态下，真空吸盘36吸附于薄板P。

在吸附部32于第一交接区域A3中吸附并保持薄板P之后，如图7所示，旋转部35在图7中逆时针旋转180°。也就是说，旋转部35以第一交接区域A3侧的臂33的上游侧前端向上方移动、第二交接区域A4侧的臂33的下游侧前端向下方移动的方式旋转。

旋转了旋转部35之后，如图7所示，臂33所保持的薄板P被配置于第二清洁装置20的第二运送部21之上。因此，臂33成为如果有来自第二清洁装置20的请求的话则能够立刻将薄板P载置于第二运送部21之上的状态。另一方面，第一交接区域A3侧的臂33伸长，如对于图5所说明的那样，处于能够在第一交接区域A3中吸附薄板P的状态。

在该状态下，在下一薄板P先供给至第一交接区域A3的情况下，如图8所示，第一交接区域A3侧的突出机构34使臂33突出且吸附部32吸附薄板P。并且，第二交接区域A4侧的臂33保持伸长地维持能够将薄板P载置于第二运送部21之上的状态。

当通过释放侧传感器43能够确认第二运送部21已将前一次控制循环中供给至第二交接区域A4的薄板P输送至第二清扫区域A5时，换言之，成为能够将薄板P供给至第二交接区域A4的状态时，第二交接区域A4侧的吸附部32与真空源隔离，丧失吸附力，从而释放薄板P。第二交接区域A4侧的吸附部32释放了薄板P之后，第二交接区域A4侧的突出机构34使臂33后退，该臂33收缩，在旋转部35旋转时不会干涉第二运送部21。

在图7的状态中，当在下一薄板P被供给至第一交接区域A3之前通过释放侧传感器43确认了第二交接区域A4中不存在薄板P时，第二交接区域A4侧的吸附部32立刻释放薄板P，进行第二交接区域A4侧的臂33的收缩及通过突出机构34所进行的后退(上升)，在图5所示的状态下，等待向第一交接区域A3供给薄板P。在接通电源后所进行的薄板P的清扫、运送等中不存在故障的情况下，设定为第一交接区域A3中的薄板P的吸附和第二交接区域A4中的薄板P的释放同时进行。

这样，在第一交接区域A3中的薄板P的吸附和第二交接区域A4中的薄板P的释放及臂33的收缩全都完成之后，进行旋转部35的旋转。

以上的图5至图8的动作是薄板P的长度为基准长度L以下的情况。当薄板P的长度超过基准长度L时，为图9～图11所示的动作。

在薄板P的长度超过基准长度L的情况下，如图9所示，第一交接区域A3中的薄板P的吸附是在臂33的收缩状态下等待薄板P的供给，当下游侧传感器42检测到薄板P的前端缘时，使臂33向上方突出，并通过吸附部32吸附薄板P。这里，在真空吸盘36即将吸附薄板P之前，薄板P正在移动。因此，在薄板P正在移动的状态下，真空吸盘36吸附于薄板P。

在薄板输送装置30中，在薄板P长的情况下，薄板P在从吸附部32向上游侧超出的状态下被吸附保持。假如在臂33伸长的状态下通过吸附部32吸附薄板P，则需要在薄板P的上游侧的部分仍位于第一运送部11上的时候通过吸附部32抬升薄板P。但是，由于第一运送部11和薄板P的抵接面积大，因此，如果要将位于第一运送部11上的薄板P与其面垂直地抬升的话，会在第一运送部11和薄板P之间产生真空(气压下降)，阻力变大。由此，通过使臂33为收缩状态，从而能够在薄板P完全离开第一运送部11之后由吸附部32抬升薄板P的同时进行吸附。

吸附部32吸附薄板P之后，如图10所示，旋转部35旋转。并且，如图11所示，臂33伸长，薄板P被配置于第二交接区域A4。可在该伸长之前通过突出机构34而使臂33成为退避状态。由此，可避免伸长时薄板P与第二运送部21的不经意的抵接。进一步地，随后通过释放侧传感器43确认了第二交接区域A4中不存在薄板P时，吸附部32释放薄板P。可在该释放之前通过突出机构34而使臂33成为突出状态，由此，能够可靠地将薄板P交接至第二运送部21。然后，在使臂33为收缩状态之后，旋转部35旋转。

<优点>

该薄板清扫系统通过第一清洁装置10清扫薄板P的整个第二面，通过薄板输送装置30而不与清扫完毕的第二面接触地对薄板P进行输送及翻转，并通过第二清洁装置20清扫未清扫的薄板P的整个第二面(翻转前的第一面)。因此，该薄板清扫系统不经人介入即可在短时间内容易且可靠地清扫薄板P的两面。

并且，由于旋转部360°旋转，因此能够连续地进行从第一交接区域A3至第二交接区域A4的透明板的输送，特别是由于包括分别附设有吸附部32的多个臂33，因此，能够在通过一个臂33进行从第一交接区域A3至第二交接区域A4的薄板P的输送的同时，使已交接薄板P的其它臂33从第二交接区域A4移动至交接准备位置(第一交接区域A3)，因此，能够有效地进行薄板P的连续输送。

在该薄板清扫系统的薄板输送装置30中，当安装于一个臂33的吸附部32在第一交接区域A3中吸附薄板P时，安装于以旋转轴为中心配置在旋转对称位置的另一个臂33的吸附部32被配置于第二交接区域A4。因此，可以在进行第一交接区域A3中的薄板P的吸附的同时，进行第二交接区域A4中的薄板P的释放。因此，与第一交接区域A3中的薄板P的吸附和第二交接区域A4中的薄板P的释放的定时不同的情况相比，效率更高。

在该薄板清扫系统的薄板输送装置30中，在通过吸附部32吸附薄板P时，不使旋转部35旋转，而是使用突出机构34使臂33突出来抬升薄板P。因此，第一交接区域A3中的来自第一清洁装置10的薄板P的接收和第二交接区域A4中的向第二清洁装置20的薄板P的交接不一定非要同步，可以以不同的定时进行。也就是说，该薄板清扫系统可以使第一清洁装置10及第二清洁装置20不等待彼此动作地独立地工作，即使在发生了第一清洁装置10及第二清洁装置20的运送速度的延迟或运送中的故障时，也能够灵活应对，处理能力高。

在该薄板清扫系统中，第一运送部11与薄板P接触的高度位置在旋转部35的高度以上，第二运送部21与薄板P接触的高度位置在旋转部35的高度以下。由此，薄板输送装置30能够以在俯视观察中与旋转部35重叠的方式保持薄板P，因此，能够较近地设定第一交接区域A3和第二交接区域A4，能够缩小该薄板清扫系统的占有面积。

在薄板输送装置30中，控制装置44的释放控制单元47在吸附部32于第二交接区域A4中释放了薄板P之后使臂33收缩。因此，在旋转部35旋转时，臂33不与第二运送部21相干涉。

由于臂33能够伸缩，因此，通过使臂33配合薄板P的尺寸而伸缩，从而即使是不同尺寸的薄板P，也能够容易且可靠地在对其进行翻转的同时加以输送。也就是说，在小尺寸的薄板P的情况下，如果在臂33伸长的状态下使吸附部32吸附薄板P并旋转，则与在臂33的收缩状态下吸附薄板P的情况相比，薄板P的运送距离更短，并且，通过旋转部35的旋转，能够将薄板P运送至更远。另一方面，在尺寸大的薄板P的情况(在运送方向上薄板P长的情况下)下，由于在使臂33收缩的状态下接收薄板P，因此，在薄板P完全从第一运送部11脱离后，借助吸附部32抬升薄板P的同时加以吸附。也就是说，当在第一运送部11与薄板P接触的状态下抬升薄板P时，由于薄板P的一部分留在第一运送部11，因此，吸附有可能需要较大的力，并且需要使臂33伸长来确保使薄板P旋转的空间。与此对比，通过如上所述地在使臂33收缩的状态下接收薄板P，从而能够降低吸附部32的吸引负荷。因此，在薄板输送装置30中，能够可靠地在运送多种尺寸的薄板P的同时加以翻转。进而，由于在第一交接区域A3中，在使臂33收缩的状态下接收薄板P，旋转后，使臂33伸长而释放薄板P，因此，与在第一交接区域A3中伸长臂33来接收薄板P的情况相比，能够将薄板P运送至接近第二清扫区域A5的位置。因此，能够提升运送速度。

在薄板输送装置30中，臂33由固定部件38及滑动部件39构成，并与吸附部32所吸附的薄板P平行地伸缩。因此，在第二交接区域A4中，能够选择将薄板P释放于第二运送部21上的位置。

在薄板输送装置30中，控制装置44的吸附控制单元46可以在薄板P的运送方向长度超过基准长度L的情况下，仅利用下游侧传感器42来确定第一交接区域中的薄板P的吸附定时，可以在薄板P的运送方向长度在基准长度L以下的情况下，仅利用上游侧传感器41来确定第一交接区域中的薄板P的吸附定时。因此，能够以简单的控制来吸附多种尺寸的薄板P。

薄板输送装置30由于包括临时承接部件31，所以能够支撑薄板P直至其完全地与第一运送部11分离。也就是说，当为了吸附部32吸附薄板P而突出机构34使臂33突出时，不必强制地使薄板P从第一运送部11剥离。因此，不会在吸附部32上施加过大的负荷，能够实现薄板P的可靠的吸附。

[第二实施方式]

本发明的第二实施方式的薄板清扫系统具有与第一实施方式相同的第一清洁装置10和第二清洁装置20、以及图12所示的薄板输送装置30a。在本实施方式中，对与第一实施方式相同的构成要素标注相同的标记并省略重复的说明。

在图12的薄板清扫系统中，第一清洁装置10和第二清洁装置20在俯视观察中平行地并列配置。详细而言，第一清洁装置10及第二清洁装置20配置为第一清洁装置10的第一运送部11运送薄板P的运送方向D1与第二清洁装置20的第二运送部21运送薄板P的运送方向D2相反。

<薄板输送装置>

薄板输送装置30a包括以位于与被吸附于吸附部32时的薄板P平行的平面上的旋转轴为中心旋转的旋转部35a。该旋转部35a以水平且与第一运送部11的运送方向D1及第二运送部21的运送方向D2平行的旋转轴为中心旋转。该旋转部35a的旋转轴配置于第一清洁装置10和第二清洁装置20之间。该旋转部35a为垂直于旋转轴延伸的臂状的部件，其配置于第一交接区域A3的在第一运送部11的运送方向D1上的下游侧、且配置于第二交接区域A4的在第二运送部21的运送方向D2上的上游侧。并且，旋转部35a在两端部的第一清洁装置10及第二清洁装置20侧的侧面部支撑有突出机构34。

具有这种构成的该薄板清扫系统由于全长短，因此容易确保设置场所。

[其它实施方式]

应理解此次披露的实施方式的所有方面仅为例示而非限制性因素。本发明的范围不限于上述实施方式的构成，其由权利要求书所示出，且包括在与权利要求书同等意思以及范围内的所有变更(结构的替换、附加及删除)。

例如，吸附控制单元及释放控制单元也可以不进行臂的收缩，旋转控制单元也可以在旋转部的旋转后进行臂的收缩。

此外，本发明不一定非要臂33构成为能够伸缩。不过，在包括不能伸缩的臂的薄板输送装置的情况下，无论什么尺寸的薄板，旋转部都是在薄板移动至吸附部上的时间点旋转来输送薄板。但是，在这种构成的情况下，存在根据薄板的尺寸而效率不高的情况。例如，在配合小的薄板的运送而将臂设定为了较长的情况下，当要运送大的薄板时，变为大的薄板以旋转部为中心旋转，因此需要大的空间。另一方面，在配合大的薄板的运送而设定为了短臂的情况下，当要运送小的薄板时，需要将薄板运送至臂的吸附部所处的位置的机构。因此，优选如上所述地臂33能够伸缩。

此外，如果在第二交接区域设置交接薄板的别的机构的话，例如使第二运送部为滑边型传送带(スライドエッジ型のコンベア)的话，则薄板输送装置能够在臂收缩的状态下将薄板交接至第二清洁装置。

在上述实施方式中，说明了第一清洁装置10及第二清洁装置20分别具有第一清扫部12及第二清扫部22的构成，但本发明不限于此，例如，可以构成为第一清洁装置10具有2个第一清扫部12，而第二清洁装置20具有2个第二清扫部22。另外，第一清扫部12、第二清扫部22可以为包括不同的清扫机构的装置。

在上述实施方式中，说明了包括突出机构34，该突出机构34在第一交接区域A3中的薄板P的吸附时使吸附部32能够从退避状态向薄板P突出，但本发明不限于此，也可以构成为不具有突出机构34。此外，在本发明中，为了使吸附部32在吸附上述薄板P时从退避状态突出，也可以在臂33和吸附部32之间设置进退机构，通过该进退机构来使吸附部32相对于薄板P前进/后退。但是，在臂33和吸附部32之间设置上述进退机构是困难的，有可能招致装置整体的成本升高，因此，优选如上述实施方式这样在旋转部35和臂33之间设置上述突出机构34。

在上述实施方式中说明了臂33仅能够变化为伸长及收缩两个状态的构成，但本发明不限于此，也可以构成为包括能够变化为3个阶段或这之上的阶段的臂。这种情况下，与上述的实施方式相比，能够进一步应对各种尺寸的薄板。

在上述实施方式中，在第一清洁装置10中未配置有相当于第二清洁装置20的载置用长布24的构成，但本发明不限于此，在第一清洁装置10中也可以设置相当于第二清洁装置20的载置用长布24的构成。

在上述实施方式中采用了通过吸附部32吸附薄板P来保持薄板P的构成，但本发明不限于吸附的构成，也可以为通过粘接力等其它方法来保持薄板P的构成。

此外，作为确定第二交接区域中的薄板P的释放定时的确认信号，可以使用由于从第二清洁装置20请求薄板P的供给而输入薄板输送装置30的外部信号。

此外，在所述第二实施方式中，旋转部35a与旋转轴平行地支撑臂33，但也可以配置为将臂33支撑为不同的角度，从而使第一清洁装置10的第一运送部11运送薄板P的运送方向D1与第二清洁装置20的第二运送部21运送薄板P的运送方向D2成为所期望的角度。

在上述实施方式中，薄板输送装置30用于将薄板P从第一清洁装置10输送至第二清洁装置20，但本发明不限于此。包括一端安装有吸附部的臂和安装于臂的另一端的旋转部的装置既可以用于将薄板P供给至第一清洁装置，也可以用于将清洁完毕的薄板P从第二清洁装置20输送至收纳箱。

在上述的实施方式中，薄板输送装置30包括2个臂33，但本发明不限于此。也可以为包括2个以上、例如4个臂的薄板输送装置。

[产业上的可利用性]

本发明的薄板清扫系统适合用于在便携设备的显示装置上使用的玻璃基板等薄板的清扫。

附图说明

10 第一清洁装置

11 第一运送部

12 第一清扫部

20 第二清洁装置

21 第二运送部

22 第二清扫部

23 传送带

30 薄板输送装置

31 临时承接部件

32 吸附部

33 臂

34 突出机构

35 旋转部

38 固定部件

39 滑动部件

41 上游侧传感器(第一传感器)

42 下游侧传感器(第二传感器)

43 释放侧传感器

44 控制装置

46 吸附控制单元

47 释放控制单元

48 旋转控制单元

A3 第一交接区域

A4 第二交接区域

P 薄板。

Claims (10)

1.一种薄板输送装置，包括：

吸附部，在第一交接区域吸附薄板的第一面，在第二交接区域释放所述薄板；

臂，在所述臂的一端侧附设有所述吸附部；以及

旋转部，支撑所述臂的另一端侧，并能以旋转轴为中心360°旋转，其中，所述旋转轴位于与被吸附于所述吸附部时的所述薄板平行的平面上，

所述臂能够伸缩，

所述薄板输送装置还包括控制所述吸附部、所述臂和所述旋转部的动作的控制装置、以及分别检测有无所述薄板并将检测信号发送给所述控制装置的第一传感器和第二传感器，

所述第一传感器在所述第一交接区域中、在伸长所述臂时的所述吸附部的附近检测有无所述薄板，

所述第二传感器在所述第一交接区域中、在所述臂的支撑于所述旋转部一侧的所述另一端附近检测有无所述薄板。

2.根据权利要求1所述的薄板输送装置，还包括：

突出机构，所述突出机构设置于所述旋转部和所述臂之间，用于使所述臂沿着所述吸附部的吸引方向相对于所述旋转部突出或者后退。

3.根据权利要求1所述的薄板输送装置，其中，

多个所述吸附部及多个所述臂以所述旋转部为中心大致呈旋转对称地被配置，

所述第一交接区域和所述第二交接区域位于以所述旋转轴为中心大致呈旋转对称的位置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的薄板输送装置，其中，

所述控制装置具有：

吸附控制单元，控制所述吸附部在所述第一交接区域吸附所述薄板；

释放控制单元，控制所述吸附部在所述第二交接区域释放所述薄板；以及

旋转控制单元，控制所述旋转部在所述第一交接区域中的一个吸附部对一块薄板的吸附和所述第二交接区域中的其它吸附部对其它薄板的释放全都完成之后进行旋转。

5.根据权利要求4所述的薄板输送装置，其中，

所述吸附控制单元控制所述吸附部使其在所述第二交接区域中释放所述薄板的同时在所述第一交接区域吸附所述薄板。

6.根据权利要求3所述的薄板输送装置，其中，所述臂具有：支撑于所述旋转部的固定部件和能够滑动地设置于该固定部件的滑动部件，所述吸附部附设于该滑动部件。

7.根据权利要求1所述的薄板输送装置，其中，

所述控制装置被设置成能够切换为下述两种控制状态：

第一控制状态，在所述第一传感器不再检测到所述薄板时、控制所述吸附部在所述臂的伸长状态下吸附所述薄板；以及

第二控制状态，在所述第二传感器检测到所述薄板时、控制所述吸附部在所述臂的收缩状态下吸附所述薄板。

8.根据权利要求3所述的薄板输送装置，还包括：

在所述第一交接区域中从下方支撑一个所述薄板的多个临时承接部件，该多个临时承接部件以所述臂能够通过该多个临时承接部件之间的方式而配设。

9.根据权利要求3所述的薄板输送装置，其中，

所述控制装置进行以下控制：在所述吸附部于所述第二交接区域中在所述臂伸长的状态下释放了所述薄板之后、且所述旋转部旋转之前，使所述臂进行收缩。

10.一种薄板清扫系统，包括：

权利要求1至9中任一项所述的薄板输送装置；

第一清洁装置，清扫所述薄板的第一面，并将所述薄板供给至所述薄板输送装置；以及

第二清洁装置，所述薄板被所述薄板输送装置翻转并供给至所述第二清洁装置，所述第二清洁装置清扫该薄板的第二面。