JP2015030548A - 薄板移送装置及び薄板清掃システム - Google Patents

Abstract

【課題】薄板を効率よく反転できる薄板移送装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明の薄板移送装置は、所定の第１受渡領域において薄板の一方の面を吸着し、所定の第２受渡領域において薄板を解放する吸着部と、この吸着部が一端側に付設されているアームと、このアームの他端側を支持し、吸着部に吸着されているときの薄板と平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能な回転部とを備える。複数の吸着部及びアームが、回転部を中心に略対称に配置されており、第１受渡領域と第２受渡領域とが回転軸を中心に略対称に位置するとよい。回転部とアームとの間に設けられ、回転部に対してアームを吸着部の吸引方向に突出又は後退する突出機構を備え、吸着部が、第１受渡領域において、突出機構がアームを後退させることによって薄板よりも下方に退避し、突出機構がアームを突出させることによって薄板を持ち上げるとよい。【選択図】図３

Description

本発明は、薄板移送装置及び薄板清掃システムに関する。

液晶表示装置等に使用されるガラスのような薄板の表裏面には、光学被膜等が形成される。薄板が汚れていると光学被膜等が適切に形成できない場合があるため、薄板を清掃するシステムが必要とされている。

ベルトコンベヤ上に敷いた清浄な布の上に薄板を載置して、アルコールを散布した無塵の布で薄板の上面全体の汚れを払拭する清掃装置が提案されている（中国特許出願公開第１０２６９８９８８号）。このような構成では、薄板のサイズに関わらず、薄板表面を清掃できる。しかしながら、この装置では、薄板の片面しか清掃できない。このため、薄板の片面を清掃した後に、裏返してこの清掃装置でもう一方の面を清掃する必要がある。

ここで、特開平０８−８９９１０号公報の図１０には、両端を把持して薄板を反転させる構成及び薄板の一面を清掃する構成が記載されている。この構成では、薄板の一面を清掃した後に、薄板を反転させて、他方の面を清掃する。

中国特許出願公開第１０２６９８９８８号 特開平８−８９９１０号公報

特開平０８−８９９１０号公報の図１０に記載の構成では、チャックの外側にモータ等が配置されているため、モータ等を超えてチャックを開くことができない。したがって、大きなサイズの薄板に対応できない。また、この構成では、薄板の両端を把持するため、すでに清掃した箇所に把持するためのチャックの一部が接触する。このため、薄板の両端を完全に清掃することは難しい。

そこで、本発明は、薄板を効率よく反転できる反転できる薄板移送装置、及びこの薄板移送装置を備えることで、効率よく薄板の両面を容易かつ確実に清掃できる薄板清掃システムを提供することを課題とする。

上記課題を解決するためになされた発明は、所定の第１受渡領域において薄板の一方の面を吸着し、所定の第２受渡領域において上記薄板を解放する吸着部と、この吸着部が一端側に付設されているアームと、このアームの他端側を支持し、上記吸着部に吸着されているときの上記薄板と平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能な回転部とを備える薄板移送装置である。

当該薄板移送装置は、回転部から延出するアームの先端側に設けた吸着部によって薄板の一方の面を吸着し、吸着部に吸着されている薄板と実質的に平行な回転軸を中心に回転部を回転することによりアームを縦に旋回させて、円弧を描くように薄板を移動させると共に薄板の一方の面及び他方の面を反転させる。これにより、薄板の他方の面に触れることなく薄板を移送及び反転できる。

当該薄板移送装置において、複数の上記吸着部及び上記アームが、上記回転部を中心に略対称に配置されており、上記第１受渡領域と上記第２受渡領域とが上記回転軸を中心に略対称に位置するとよい。この構成によれば、第１受渡領域において一方の吸着部が薄板を吸着するとき、他方の吸着部が第２受渡領域に配置されるため、第１受渡領域における薄板の吸着と同時に第２受渡領域における薄板の解放が可能である。このため、当該薄板移送装置は、効率よく薄板を移送できる。

当該薄板移送装置は、上記回転部と上記アームとの間に設けられ、上記回転部に対して上記アームを上記吸着部の吸引方向に突出又は後退する突出機構を備え、上記吸着部が、上記第１受渡領域において、上記突出機構が上記アームを後退させることによって上記薄板よりも下方に退避し、上記突出機構が上記アームを突出させることによって上記薄板を持ち上げるとよい。この構成によれば、回転体を回転することなく、突出機構がアームを突出させることによって吸着部により薄板を持ち上げられる。このため、第１受渡領域における薄板の吸着と第２受渡領域における薄板の解放とを同期せずに行えるので、前後の装置を待たせる可能性が小さい。また、この構成では、搬送速度の遅れや搬送中のトラブルが発生した場合であっても、柔軟に対応できる。

当該薄板移送装置は、上記吸着部及び上記回転体の動作を制御する制御装置を備え、上記制御装置が、上記第１受渡領域において、上記薄板が移動している状態で上記吸着部が上記薄板を吸着するよう制御する吸着制御要素と、上記第２受渡領域において、確認信号に応じて上記吸着部が上記薄板を解放するよう制御する解放制御要素と、上記第１受渡領域における上記薄板の吸着と、上記第２受渡領域における上記薄板の解放とが共に完了した後、上記回転部が回転するよう制御する回転制御要素とを有するとよい。このように、吸着制御要素、解放制御要素及び回転制御要素を有することにより、第１受渡領域における薄板の吸着と、第２受渡領域における薄板の解放と、第１受渡領域から第２受渡領域への薄板の移送とを効率よく行える。

当該薄板移送装置において、上記吸着制御要素が、上記第２受渡領域における上記薄板の解放と同時に、上記第１受渡領域において上記吸着部が上記薄板を吸着するよう制御するとよい。第１受渡領域における薄板の吸着のタイミングと第２受渡領域における薄板の解放のタイミングとが同じであれば、薄板の移送サイクルを短くできる。

ここで、伸縮不能なアームを備えた薄板移送装置の場合には、どのようなサイズの薄板であっても、吸着部上に薄板が移動した時点で回転部が回転して薄板を移送する。しかしながら、このような構成の場合、薄板のサイズによっては効率的ではない場合が存在する。例えば、小さい薄板の搬送に合わせて、アームを長く設定している場合には、大きい薄板を搬送する際には、回転部を中心として大きな薄板が回転することとなるため大きなスペースが必要となる。一方で大きな薄板の搬送に合わせて短いアームに設定されている場合には、小さい薄板を搬送する際には、アームの吸着部が位置する箇所まで、薄板を搬送する機構が必要となる。

当該薄板移送装置において、上記アームが上記他端から上記一端に向かう方向に伸縮可能であるとよい。当該薄板移送装置は、薄板のサイズに合わせてアームを伸縮することで、供給された瞬間の薄板を吸着してしっかりと保持できる。これにより多様なサイズの薄板を確実に反転させつつ移送できる。また、例えば、小さなサイズの薄板の場合には、アームを伸長させた状態で薄板を吸着部が吸着し、かつアームを伸長させた状態で回転部が回転することにより、アームが収縮した状態で薄板を吸着する場合よりも薄板の搬送距離が短くなり、かつ回転部の回転によって遠くまで薄板を搬送することができる。一方で、大きなサイズの薄板の場合には、アームを伸ばした状態で吸着部上の薄板が移動した瞬間に吸着した場合には、吸着するのが難しい場合がある。例えば、薄板の一部が薄板の搬送機構に残っているため、吸着に大きな力が必要な場合や、アームを伸ばして薄板を回転させるためのスペースを確保しにくい場合等には、アームを伸長した状態で回転部を回転させることは難しい。この場合には、アームを収縮させた状態で薄板を吸着部が吸着し、回転部が回転することで大きなサイズの薄板であっても問題なく、反転させつつ移送することができる。

当該薄板搬送装置において、上記アームが、上記回転部に固定されている固定部材と、上記吸着部が付設されると共に上記固定部材に対して上記他端から上記一端に向かう方向にスライド可能に設けられているスライド部材とを有するとよい。スライドによりアームを伸縮する簡素な構成とすることで、当該薄板搬送装置を過度に複雑化させない。

当該薄板搬送装置は、上記第１受渡領域において上記アームを伸長した際の上記吸着部の近傍で上記薄板の有無を検出する上流側センサと、上記第１受渡領域において上記アームを収縮した際の上記他端の近傍で上記薄板の有無を検出する下流側センサとを備えるとよい。上流側センサは薄板が供給システムから離間して吸着部による保持が可能となったことを検出し、下流側センサは薄板が吸着部による保持が可能な範囲を通過しようとしていることを検出する。このように、２つのセンサを用いることで、簡単な制御で薄板の確実な吸着が可能となる。

当該薄板搬送装置は、上記吸着部、上記アーム及び上記回転部の動作を制御する制御装置を備え、上記制御装置が、上記アームの伸縮方向における上記薄板の長さが所定の基準長さ以下である場合には、上記アームが伸長した状態で上記上流側センサが上記薄板を検出しなくなったときに上記吸着部が上記薄板を吸着するよう制御し、上記アームの伸縮方向における上記薄板の長さが上記基準長さを超える場合には、上記アームが収縮した状態で上記下流側センサが上記薄板を検出したときに上記吸着部が上記薄板を吸着するよう制御するとよい。アームを伸長して短い薄板を吸着する場合には上流側センサのみを使用し、アームを収縮して長い薄板を吸着する場合には下流側センサのみを使用するので、制御が簡単でありながら薄板を確実の吸着できる。

当該薄板搬送装置は、上記第１受渡領域に供給された上記薄板の上記一方の面を支持できると共に、上記吸着部がそれらの間を通過できるように上記第１受渡領域に配設された複数の仮受部材を備えるとよい。一度仮受部材で薄板を支持するので、供給システムの影響をなくして薄板を確実に吸着できる。

当該薄板搬送装置において、上記制御装置が、上記第２受渡領域において上記アームが伸長した状態で上記吸着部が上記薄板を解放し、上記薄板を解放した後であって上記回転部が回転する前に上記アームが収縮するよう制御する解放制御要素を有するとよい。アームを伸長して回転部の回転中心から離れた位置において下流側装置に薄板を受け渡し、アームを収縮することで回転部の回転時にアームが下流側装置及び下流側装置が保持する薄板と干渉しないようにできる。このため下流側装置の状態にかかわらず回転部が回転できる。

上記課題を解決するためになされた別の発明は、当該薄板移送装置と、上記薄板の他方の面を清掃し、上記薄板移送装置に薄板を供給する第１クリーニング装置と、上記薄板の一方の面を清掃し、上記薄板移送装置から薄板が供給される第２清掃部を有する第２クリーニング装置とを備える薄板清掃システムである。

当該薄板移送装置が薄板の他方の面に触れることなく多様なサイズの薄板を移送及び反転できるので、薄板清掃システムは多様なサイズの薄板の両面を容易かつ確実に清掃できる。

本発明の薄板移送装置は、アームの伸縮により多様なサイズの薄板を吸着部が確実に吸着し、回転部の回転によって薄板を移送しながら反転させることができる。また、当該薄板移送装置を備える本発明の薄板清掃システムでは、薄板を反転させる際に清掃済みの面にアーム等が接触することがないため、多様なサイズの薄板の両面を容易かつ確実に清掃できる。

本発明の一実施形態の薄板清掃システムを示す模式的側面図である。 図１の薄板清掃システムの薄板移送装置を示す模式的平面図である。 図２の薄板移送装置の模式的側面図である。 薄板移送装置の構成を示すブロック図である。 短い薄板を移送する場合の薄板移送装置の待機状態を例示する模式的側面図である。 図５の次の状態における薄板移送装置を例示する模式的側面図である。 図６の次の状態における薄板移送装置を例示する模式的側面図である。 図７の次の状態における薄板移送装置を例示する模式的側面図である。 長い薄板を移送する場合の薄板移送装置の待機状態を例示する模式的側面図である。 図９の次の状態における薄板移送装置を例示する模式的側面図である。 図１０の次の状態における薄板移送装置の待機状態を例示する模式的側面図である。 図１とは異なる実施形態の薄板清掃システムに係る薄板移送装置の模式的平面図である。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。先ず、図１から図１１を参照しながら、本発明の第一実施形態の薄板清掃システムについて説明する。

［第一実施形態］
図１の薄板清掃システム１は、透明な薄板Ｐの一方の面（第１面）を支持して他方の面（第２面）を清掃する第１クリーニング装置１０と、薄板Ｐの第２面を支持して第１面を清掃する第２クリーニング装置２０と、薄板Ｐを第１クリーニング装置１０から第２クリーニング装置２０に移送する薄板移送装置３０とを備える。ここで、薄板Ｐには、例えば、液晶表示装置等に用いられるガラスや樹脂素材の基板が含まれる。

＜第１クリーニング装置＞
第１クリーニング装置１０は、第１搬送部１１と、第１清掃部１２とを有する。第１搬送部１１は、第１面が接触するように薄板Ｐが載置される薄板供給領域Ａ１から、薄板Ｐが清掃される第１清掃領域Ａ２を介して、薄板Ｐを薄板移送装置３０に受け渡す第１受渡領域Ａ３まで薄板Ｐを搬送するベルトコンベアからなる。第１清掃部１２は、第１清掃領域Ａ２において第１搬送部１１上に載置されている薄板Ｐの第２面を清掃する。

第１清掃部１２は、以下のようにして薄板Ｐの第２面に付着している汚れを払拭するよう構成されている。まず、塵埃を生じないように形成された清浄な長尺布１３に不図示の散布装置によってアルコールが散布される。そして、鉛直な偏心軸を中心に回転する円盤１４によって、第１搬送部１１上に載置されている薄板Ｐに長尺布１３が押し当てられる。これにより、長尺布１３は、薄板Ｐの上で円を描くように動かされ、薄板Ｐの第２面の汚れを払拭する。

＜第２クリーニング装置＞
第２クリーニング装置２０は、第２搬送部２１と、第２清掃部２２とを有する。第２搬送部２１は、薄板移送装置３０より薄板Ｐを受け取る第２受渡領域Ａ４から薄板Ｐが清掃される第２清掃領域Ａ５を介して薄板Ｐを排出する薄板排出領域Ａ６まで薄板Ｐを搬送する。第２清掃部２２は、第２清掃領域Ａ５において薄板Ｐの第１面を清掃する。

第２搬送部２１は、ベルトコンベア２３と、ベルトコンベア２３上に供給され、ベルトコンベア２３と同じ速度で移動する清浄な載置用長尺布２４とを有する。薄板Ｐは、常に新しく供給される載置用長尺布２４の上に、第１クリーニング装置１０によって清掃された第２面が接触するように載置される。また、第２クリーニング装置２０の第２搬送部２１が薄板Ｐに接触する高さは、第１クリーニング装置１０の第１搬送部１１が薄板Ｐに接面する高さ未満である。

第２清掃部２２は、以下のようにして薄板Ｐの第２面の汚れを払拭するよう構成されている。まず、塵埃を生じないように形成された清浄な長尺布２５に不図示の散布装置によってアルコールが散布される。そして、鉛直な偏心軸を中心に回転する円盤２６によって、第２搬送部２１上に載置されている薄板Ｐに長尺布２５が押し当てられる。これにより、長尺布２５は、薄板Ｐの上で円を描くように動かされ、薄板Ｐの第１面の汚れを払拭する。

＜薄板移送装置＞
図２は、薄板移送装置３０の平面を図示し、図３は、薄板移送装置３０の平面を図示する。薄板移送装置３０は、図２及び図３に詳しく示すように、仮受部材３１と、吸着部３２と、アーム３３と、突出機構３４と、回転部３５とを備える。仮受部材３１は、第１受渡領域Ａ３において第１クリーニング装置１０（図１参照）から排出された薄板Ｐの第１面を一時的に支持する。吸着部３２は、仮受部材３１に支持されている薄板Ｐの第１面を吸着する。アーム３３は、吸着部３２が一端側に付設されており、他端から上記一端に向かう方向に伸縮可能である。突出機構３４は、アーム３３の他端側を支持するエアシリンダからなる。回転部３５は、突出機構３４が固定され、吸着部３２に吸着される薄板Ｐと実質的に平行（吸着部３２の吸引方向と垂直、第１搬送部１１が薄板Ｐを搬送する方向に垂直かつ水平な方向）に延びる回転軸を中心に回転可能である。吸着部３２、アーム３３及び突出機構３４は、回転部３５の回転軸を中心に対称に二組配設されている。

仮受部材３１は、第１搬送部１１の搬送方向に並んで配置された複数列のプーリーからなる。仮受部材３１は、上流側（図１における第１クリーニング装置１０側）の方が下流側よりも、第１搬送部１１の搬送方向に小さい間隔で配置されている。また、仮受部材３１は、アーム３３が通過できるように、第１搬送部１１の搬送方向に直交する横断方向においてアーム３３の幅より広い間隔で配列されている。そして、仮受部材３１は、上流側では幅の小さい薄板Ｐを支持できるように第１搬送部１１の搬送方向に直交する横断方向に小さい間隔で配列され、下流側では幅の大きい薄板Ｐを支持できるように横断方向に大きい間隔で配列されている。

吸着部３２は、アーム３３に取り付けられた複数のバキュームパッド３６を有する。アーム３３には、不図示の真空源に接続された流路に連通し、バキュームパッド３６を取り付け可能な複数の吸引穴３７が形成されている。バキュームパッド３６は、薄板Ｐを吸着して支持する。これらのバキュームパッド３６は、吸着すべき薄板Ｐの大きさに応じて適当な位置に取り付けられる。バキュームパッド３６を取り付けない吸引穴３７はプラグで封止される。

アーム３３は、吸着部３２の吸引方向と垂直な方向（図３に示すように吸着部３２に吸着した薄板Ｐに平行な方向）であって、吸着部３２を第１受渡領域Ａ３に配置したときに第１搬送部１１の搬送方向Ｄと平行な水平方向に伸縮可能である。このため、アーム３３は、突出機構３４に支持された固定部材３８と、固定部材３８に対してスライド可能に設けられたスライド部材３９とを有する。具体的に説明すると、固定部材３８は、ロッドレスシリンダのスライドチューブ３８ａ及びハウジング３８ｂを含み、スライド部材３９は、ロッドレスシリンダのスライドテーブル３９ａと、このスライドテーブル３９ａからロッドレスシリンダの動作方向に延設され、スライドテーブル３９ａと反対側に吸着部３２が付設される細長い厚板状の部材３９ｂとを含む。

突出機構３４は、アーム３３を吸着部３２の吸引方向と平行に、突出（回転部３５から離間）又は後退（回転部３５に接近）させる。吸着部３２を第１受渡領域Ａ３において支持するようにアーム３３が水平に配置された状態で、突出機構３４がアーム３３を後退させると仮受部材３１が薄板Ｐを支持する高さよりも下方に吸着部３２のバキュームパッド３６全体が位置し、突出機構３４がアーム３３を突出させると仮受部材３１が薄板Ｐを支持する高さより上方にバキュームパッド３６の吸着面が位置する。

回転部３５は、モータ４０によって回転軸を中心に回転させられる。この回転部３５の回転軸は、第１搬送部１１が薄板Ｐと接触する部分と第２搬送部２１が薄板Ｐと接触する部分との間の高さに配設されている。回転部３５が回転すると、アーム３３は、仮受部材３１の間を通過して旋回するように移動する。

また、薄板移送装置３０は、上流側センサ４１、下流側センサ４２及び解放側センサ４３とを備える。上流側センサ４１は、第１受渡領域Ａ３においてアーム３３を伸長した際の吸着部３２の近傍かつ吸着部３２よりも伸長側（上流側）で薄板Ｐの有無を検出する。下流側センサ４２は、第１受渡領域Ａ３においてアーム３３を収縮した際の吸着部３２の近傍かつ吸着部３２よりも収縮側（下流側）で薄板Ｐの有無を検出する。解放側センサ４３は、第２受渡領域Ａ４においてアーム３３を伸長した際の吸着部３２の近傍かつ吸着部３２よりも伸長側（下流側）で薄板Ｐの有無を検出する。上流側センサ４１、下流側センサ４２及び解放側センサ４３は、好ましくは光電センサ等の非接触型のセンサであり、回転部３５の回転によって他の構成要素と干渉しない位置に固定される。

さらに、薄板移送装置３０は、上述の各構成要素の動作を制御する制御装置４４を備える。制御装置４４は、好ましくはプログラム可能なマイクロコンピュータ等によって構成される。

図４のブロック図に、薄板移送装置３０の制御に係る各構成要素の関係を示す。制御装置４４には、設定入力部４５を介して移送する薄板Ｐのサイズ等の条件設定が予め入力される。また、制御装置４４には、上流側センサ４１、下流側センサ４２及び解放側センサ４３の検出信号が入力される。制御装置４４は、これらの入力に基づいて、吸着部３２の吸引動作、アーム３３の伸縮動作、突出機構３４の突出後退動作、及び回転部３５の回転動作を制御する。薄板移送装置３０は、二組の吸着部３２、アーム３３及び突出機構３４が回転部３５の回転軸を中心に対称に配置されている。各構成要素が個別に制御されるため、必要に応じてそれらの構成要素に「第１」又は「第２」の番号を冠して区別する。

制御装置４４は、吸着制御要素４６と、解放制御要素４７と、回転制御要素４８とを有する。吸着制御要素４６は、第１受渡領域Ａ３において吸着部３２が薄板Ｐを吸着するための動作を制御する。解放制御要素４７は、第２受渡領域Ａ４において吸着部３２が薄板Ｐを解放して第２クリーニング装置２０に受け渡すための動作を制御する。回転制御要素４８は、回転部３５を回転して薄板Ｐを第１受渡領域Ａ３から第２受渡領域Ａ４に移送するための動作を制御する。これらの吸着制御要素４６、解放制御要素４７及び回転制御要素４８は、制御装置４４の回路又はプログラムの一部であり、回路モジュール又はサブルーチンのように他の部分と区別可能に構成されることが好ましい。

吸着制御要素４６は、予め設定入力部４５において設定された薄板Ｐのアーム３３の伸縮方向（第１搬送部１１の搬送方向Ｄ）の長さが所定の基準長さＬ以下である場合には、第１受渡領域Ａ３においてアーム３３が伸長し、かつ突出機構３４がアーム３３を下方に後退させた状態で待機し、上流側センサ４１が薄板Ｐを検出しなくなったときに突出機構３４がアーム３３を上方に突出させると共に吸着部３２が薄板Ｐを吸着するよう制御する。吸着制御要素４６は、設定された薄板Ｐの長さが基準長さＬを超える場合には、第１受渡領域Ａ３においてアーム３３が収縮した状態で待機し、下流側センサ４２が薄板Ｐを検出したときに突出機構３４がアーム３３を上方に突出させると共に吸着部３２が薄板Ｐを吸着するよう制御する。

解放制御要素４７は、第２受渡領域Ａ４において突出機構３４がアーム３３を下方に突出させた状態で待機し、解放側センサ４３の検出信号（確認信号）に応じて、吸着部３２の吸引を停止して吸着している薄板Ｐを解放し、第２クリーニング装置２０の第２搬送部２１の上に薄板Ｐを載置するよう吸着部３２を制御する。より詳しくは、制御要素４７は、先の制御サイクルにおいて吸着部３２が薄板Ｐを解放した後、一度解放側センサ４３が薄板Ｐを検出してから、再度薄板Ｐを検出しなくなったときに、薄板Ｐが第２受渡領域Ａ４から第２清掃領域Ａ５に移送され、第２受渡領域Ａ４に薄板Ｐがないと判断する。また、解放制御要素４７は、吸着部３２が薄板Ｐを解放した後、第２受渡領域Ａ４側の突出機構３４にアーム３３を上方に後退させると共にこの第２受渡領域Ａ４側のアーム３３を収縮させる。

回転制御要素４８は、第１受渡領域Ａ３における薄板Ｐの吸着と、第２受渡領域Ａ４における薄板Ｐの解放及びアーム３３の収縮とが共に完了した後に、上記回転部３５が回転するよう制御する。

＜動作＞
これより、薄板移送装置３０の状態変化を順番に示す主に図５から図１１を参照しながら、順を追って当該薄板清掃システムの動作を説明する。

薄板清掃システムが動作を開始する前に、ユーザーがガラス板の大きさを予め操作パネルで入力する。上述のように、第１クリーニング装置１０（図１参照）は、第１搬送部１１の上に薄板Ｐを載置して搬送しながら、第１清掃部１２によって第１搬送部１１上に載置されている薄板Ｐの第２面を清掃する。そして、図５に示すように、第１搬送部１１は、第１受渡領域Ａ３において薄板Ｐを薄板移送装置３０の仮受部材３１の上に排出する。

このとき、薄板移送装置３０は、突出機構３４によってアーム３３を後退させて吸着部３２を仮受部材３１の下に退避させた状態で、仮受部材３１の上に薄板Ｐが供給されるのを待つ。図５は、薄板Ｐの搬送方向における長さが基準長さＬ以下であり、アーム３３を伸長した状態で薄板Ｐの供給を待つ様子を示す。

第１搬送部１１によって第１受渡領域Ａ３に薄板Ｐが搬入され始めると、上流側センサ４１が薄板Ｐを検出する。そして、薄板Ｐの全体が第１搬送部１１から仮受部材３１に受け渡された直後に、薄板Ｐの後端縁が上流側センサ４１を通過するので上流側センサ４１が再び薄板Ｐを検出できなくなる。この瞬間に、図６に示すように、第１受渡領域Ａ３側の突出機構３４がアーム３３を突出させて吸着部３２のバキュームパッド３６を仮受部材３１よりも上方に突出させる。そして、これと共に、第１受渡領域Ａ３にある吸着部３２が真空源に接続されて吸引力を発生する。これにより、第１受渡領域Ａ３にある吸着部３２は、薄板Ｐを仮受部材３１から持ち上げると同時に第１面を吸着して保持する。ここで、バキュームパッド３６が薄板Ｐを吸着する直前には、薄板Ｐは移動している。このため、薄板Ｐが移動している状態でバキュームパッド３６は薄板Ｐに吸着する。

第１受渡領域Ａ３において保持部３２が薄板Ｐを吸着保持してから、図７に示すように回転部３５が図７において反時計回りに１８０°回転する。すなわち、回転部３５は、第１受渡領域Ａ３側のアーム３３の上流側先端が上方に移動し、第２受渡領域Ａ４側のアーム３３の下流側先端が下方に移動するように回転する。

回転部３５を回転した後には、図７に示すように、アーム３３が保持している薄板Ｐは第２クリーニング装置２０の第２搬送部２１の上に配置されている。このため、アーム３３は、第２クリーニング装置２０からの要求があれば直ちに第２搬送部２１の上に薄板Ｐを載置できる状態となっている。一方、第１受渡領域Ａ３側のアーム３３が伸長されて、図５について説明したように第１受渡領域Ａ３において薄板Ｐを吸着できる状態とされる。

この状態で、先に第１受渡領域Ａ３に次の薄板Ｐが供給された場合、図８に示すように、第１受渡領域Ａ３側の突出機構３４がアーム３３を突出させると共に吸着部３２が薄板Ｐを吸着する。そして、第２受渡領域Ａ４側のアーム３３は伸長したまま第２搬送部２１の上に薄板Ｐを載置できる状態を維持する。

解放側センサ４３によって、前回の制御サイクルにおいて第２受渡領域Ａ４に供給された薄板Ｐを第２搬送部２１が第２清掃部Ａ５に移送したことを確認できたとき、言い換えると、第２供給領域Ａ４に薄板Ｐを供給可能な状態となったとき、第２受渡領域Ａ４側の吸着部３２が真空源から隔離され、吸着力を喪失することにより薄板Ｐを解放する。第２受渡領域Ａ４側の吸着部３２が薄板Ｐを解放した後には、第２受渡領域Ａ４側の突出機構３４がアーム３３を後退させ、このアーム３３が収縮して回転部３５の回転の際に第２搬送部２１と干渉しないようにする。

図７の状態において、第１受渡領域Ａ３に次の薄板Ｐが供給される前に解放側センサ４３により第２受渡領域Ａ４に薄板Ｐがないことが確認されたときには、すぐに第２受渡領域Ａ４側の吸着部３２が薄板Ｐを解放し、第２受渡領域Ａ４側のアーム３３の収縮及び突出機構３４による後退（上昇）が行われ、図５に示した状態で、第１受渡領域Ａ３への薄板Ｐの供給を待つ。電源投入された後に行われる薄板Ｐの清掃や、搬送等にトラブルがない場合には、第１受渡領域Ａ３における薄板Ｐの吸着と、第２受渡領域における薄板Ｐの解放は同時に行われるよう設定されている。

このように、回転部３５の回転は、第１受渡領域Ａ３における薄板Ｐの吸着と、第２受渡領域Ａ４における薄板Ｐの解放及びアーム３３の収縮とが共に完了した後に行われる。

以上の図５から図８の動作は、薄板Ｐの長さが基準長さＬ以下の場合である。薄板Ｐの長さが基準長さＬをこえる場合、図９〜図１１に示すような動作となる。

薄板Ｐの長さが基準長さＬをこえる場合、第１受渡領域Ａ３における薄板Ｐの吸着は、図９に示すように、アーム３３を収縮した状態で、薄板Ｐの供給を待ち、下流側センサ４２が薄板Ｐの前端縁を検出したときにアーム３３を上方に突出させると共に吸着部３２で薄板Ｐを吸着する。ここで、バキュームパッド３６が薄板Ｐを吸着する直前には、薄板Ｐは移動している。このため、薄板Ｐが移動している状態でバキュームパッド３６は薄板Ｐに吸着する。

薄板移送装置３０において、薄板Ｐが長い場合には、薄板Ｐが吸着部３２から上流側にはみ出した状態で吸着保持される。仮に、アーム３３を伸長した状態で長い薄板Ｐを吸着部３２によって吸着するとすれば、薄板Ｐの上流側の部分が未だ第１搬送部１１上に位置している間に吸着部３２によって薄板Ｐを持ち上げる必要がある。しかしながら、第１搬送部１１と薄板Ｐとは当接面積が大きいので、第１搬送部１１上にある薄板Ｐをその面に垂直に持ち上げようとすると第１搬送部１１と薄板Ｐとの間に真空（気圧低下）が生じて大きな抵抗となる。よって、アーム３３を収縮した状態とすることで、薄板Ｐが完全に第１搬送部１１から離脱してから吸着部３２が薄板Ｐを持ち上げつつ吸着するようにできる。

吸着部３２が薄板Ｐを吸着した後、図１０に示すように、回転部３５が回転する。その後、突出機構３４がアーム３３を退避させる。そして、図１１に示すように、アーム３３が伸張して、薄板Ｐが第２受渡領域Ａ４に配置される。その後、解放側センサ４３により第２受渡領域Ａ４に薄板Ｐがないことが確認されると、吸着部３２は薄板Ｐを解放する。この後、アーム３２が収縮してから、回転部３５が回転する。

＜利点＞
当該薄板清掃システムは、第１クリーニング装置１０により薄板Ｐの第２面全体を清掃し、薄板移送装置３０により薄板Ｐを第２面に触れることなく移送及び反転し、第２クリーニング装置２０により薄板Ｐの第１面全体を清掃する。このため、当該薄板清掃システムは、人が介在することなく薄板Ｐの両面を短時間で容易かつ確実に清掃できる。

当該薄板清掃システムにおいて、薄板移送装置３０は、第１受渡領域Ａ３において一方のアーム３３に取り付けられた吸着部３２が薄板Ｐを吸着するとき、回転軸を中心に対称位置に配置された他方のアーム３３に取り付けられた吸着部３２が第２受渡領域Ａ４に配置される。このため、第１受渡領域Ａ３における薄板Ｐの吸着と同時に第２受渡領域Ａ４における薄板Ｐの解放が可能である。したがって、第１受渡領域Ａ３における薄板Ｐの吸着と第２受渡領域Ａ４における薄板Ｐの解放のタイミングが異なる場合よりも、効率が良い。

当該薄板清掃システムにおいて、薄板移送装置３０は、吸着部３２によって薄板Ｐを吸着する際、回転部３５を回転させずに突出機構３４を用いてアーム３３を突出させて薄板Ｐを持ち上げる。このため、第１受渡領域Ａ３における第１クリーニング装置１０からの薄板Ｐの受け取りと、第２受渡領域Ａ４における第２クリーニング装置２０への薄板Ｐの受け渡しとを同期せずに異なるタイミングで行える。つまり、当該薄板清掃システムは、第１クリーニング装置１０及び第２クリーニング装置２０が互いの動作を待たずに独立して稼働できるので、処理能力が高い。

当該薄板清掃システムにおいて、第１搬送部１１が薄板Ｐと接触する高さ位置が回転部３５の高さ以上であり、第２搬送部２１が薄板Ｐと接触する高さ位置が回転部３５の高さ以下である。これにより、薄板移送装置３０は、平面視で回転部３５に重なるように薄板Ｐを保持できるので、第１受渡領域Ａ３と第２受渡領域Ａ４とを近く設定でき、当該薄板清掃システムの専有面積を小さくできる。

薄板移送装置３０において、制御装置４４の解放制御要素４７は、第２受渡領域Ａ４において吸着部３２が薄板Ｐを解放した後にアーム３３を収縮させる。これにより、回転部３５の回転時にアーム３３が第２搬送部２１と干渉しない。

薄板移送装置３０において、搬送方向において薄板Ｐが長い場合にはアーム３３を収縮した状態で薄板Ｐを受け取るので、薄板Ｐは、完全に第１搬送部１１から離脱した後に、吸着部３２により持ち上げつつ吸着される。これにより、第１搬送部１１と薄板Ｐが接触した状態で薄板Ｐを持ち上げる場合と比べて、吸着部３２の吸引負荷を低減することができる。このため、薄板移送装置３０では、多様なサイズの薄板Ｐを確実に搬送しつつ反転できる。さらに、第１受渡領域Ａ３においてアーム３３を収縮した状態で薄板Ｐを受け取り、回転した後に、アーム３３を伸長させて、薄板Ｐを解放するため、第１受渡領域Ａ３において、アーム３３を伸長して薄板Ａ３を受け取る場合と比べて、薄板Ａ３を第２清掃領域に近い位置まで搬送することができる。このため、搬送速度を速めることができる。

薄板移送装置３０において、アーム３３は、固定部材３８及びスライド部材３９からなり、吸着部３２が吸着している薄板Ｐと平行に伸縮する。このため、第２受渡領域Ａ４において、薄板Ｐを第２搬送部２１上に解放する位置を選択できる。

薄板移送装置３０において、制御装置４４の吸着制御要素４６は、第１受渡領域における薄板Ｐの吸着のタイミングを、薄板Ｐの搬送方向長さが基準長さＬを超える場合には上流側センサ４１のみによって決定し、薄板Ｐの搬送方向長さが基準長さＬ以下の場合には下流側センサ４２のみによって決定する。よって、簡単な制御で多様なサイズの薄板Ｐを吸着できる。

薄板移送装置３０は、仮受部材３１を備えるので、完全に第１搬送部１１から離間するまで薄板Ｐを支持できる。つまり、吸着部３２で薄板Ｐを吸着するために突出機構３４がアーム３３を突出させるときに薄板Ｐを第１搬送部１１から無理矢理引き剥がす必要がない。このため、吸着部３２に過大な負荷がかからず、薄板Ｐの確実な吸着が可能である。

［第二実施形態］
本発明の第二実施形態の薄板清掃システムは、第一実施形態と同じ第１クリーニング装置１０及び第２クリーニング装置２０と、図１２に示す薄板移送装置３０ａとを有する。本実施形態について、第一実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付して重複する説明を省略する。

図１２の薄板清掃システムでは、第１クリーニング装置１０と第２クリーニング装置２０とが平面視で平行に並んで配置されている。詳しくは、第１クリーニング装置１０及び第２クリーニング装置２０は、第１クリーニング装置１０の第１搬送部１１による薄板Ｐの搬送方向Ｄ１と第２クリーニング装置２０の第２搬送部２１による薄板Ｐの搬送方向Ｄ２とが反対向きになるように配置されている。

＜薄板移送装置＞
薄板移送装置３０ａは、水平かつ第１搬送部１１の搬送方向Ｄ１及び第２搬送部２１の搬送方向Ｄ２と平行な回転軸を中心に回転する回転部３５ａを有する。回転部３５ａの回転軸は、第１クリーニング装置１０と第２クリーニング装置２０との間に配置されている。この回転部３５ａは、回転軸と垂直に延伸する腕状の部材であり、第１受渡領域Ａ３よりも第１搬送部１１の搬送方向Ｄ１の下流側、かつ第２受渡領域Ａ４よりも第２搬送部２１の搬送方向Ｄ２の上流側に配置されている。そして、回転部３５ａは、両端部の第１クリーニング装置１０及び第２クリーニング装置２０側の側部に突出機構３４を支持している。

このような構成を有する当該薄板清掃システムは、全長が短いので、設置場所の確保が容易である。

［その他の実施形態］
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更（構成の置換、付加及び削除）が含まれることが意図される。

例えば、吸着制御要素及び解放制御要素がアームの収縮を行わず、回転制御要素が回転部の回転前にアームの収縮を行ってもよい。また、本発明は、必ずしもアーム３３が伸縮可能な構成である必要はない。

また、第２受渡領域に薄板を受け渡す別の機構を設ければ、例えば第２搬送部をスライドエッジ型のコンベアとすれば、薄板移送装置は、アームを収縮した状態で薄板を第２クリーニング装置に受け渡すことができる。

上記の実施形態では、第１クリーニング装置１０及び第２クリーニング装置２０は、それぞれ第１清掃部１２及び第２清掃部２２を有する構成について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、第１クリーニング装置１０が２つの第１清掃部１２を有し、第２クリーニング装置２０が２つの第２清掃部２２を有する構成であってもよい。また、第１清掃部１２や第２清掃部２２とは異なる清掃機構を備えた装置であってもよい。

上記の実施形態では、アーム３３を突出機構３４によって突出又は後退させる構成としたが、本発明はこれに限らず、突出機構３４を有していない構成であってもよい。

上記の実施形態では、アーム３３は伸長及び収縮の２つの状態にのみ変化し得る構成について説明したが、本発明はこれに限らず、３段階又はそれ以上の段階に変化し得るアームを備えた構成であっても良い。この場合には、上記の実施形態よりもさらに、様々なサイズの薄板に対応することができる。

上記の実施形態では、第１クリーニング装置１０には、第２クリーニング装置２０の載置用長尺布２４に相当する構成は配置されていないが、本発明はこれに限らず、第１クリーニング装置１０にも第２クリーニング装置２０の載置用長尺布２４に相当する構成を設けてもよい。

上記の実施形態では、薄板Ｐを吸着部３２により吸着することで保持する構成を用いたが、本発明は吸着する構成に限らず、薄板Ｐを粘着力等、他の方法で保持する構成であってもよい。

また、第２受渡領域における薄板Ｐの解放のタイミングを定める確認信号としては、第２クリーニング装置２０から薄板Ｐの供給を求めるために薄板移送装置３０に入力される外部信号を用いてもよい。

また、上記第二実施形態では、回転体３５ａが回転軸と平行にアーム３３を支持しているが、アーム３３を異なる角度に支持することで、第１クリーニング装置１０の第１搬送部１１による薄板Ｐの搬送方向Ｄ１と第２クリーニング装置２０の第２搬送部２１による薄板Ｐの搬送方向Ｄ２とが所望の角度になるように配置できる。

上記の実施形態においては、薄板移送装置３０は、第１クリーニング装置１０から第２クリーニング装置２０に薄板Ｐを移送するために用いたが、本発明はこれに限られない。一端に吸着部を取り付けたアームと、アームの他端に取り付けられた回転部とを備えた装置は、第１クリーニング装置に薄板Ｐに供給するために用いることもでき、第２クリーニング装置２０からクリーニング済みの薄板Ｐを収納ボックスに移送するために用いることもできる。

上記の実施形態では、薄板移送装置３０は２つのアーム３３を備えているが、本発明はこれに限らない。２つ以上、例えば４つのアームを備えた薄板移送装置であっても良い。

本発明の薄板清掃システムは、携帯機器の表示装置に用いられるガラス基板等の薄板の清掃に好適に利用できる。

１０ 第１クリーニング装置
１１ 第１搬送部
１２ 第１清掃部
２０ 第２クリーニング装置
２１ 第２搬送部
２２ 第２清掃部
２３ ベルトコンベア
３０ 薄板移送装置
３１ 仮受部材
３２ 吸着部
３３ アーム
３４ 突出機構
３５ 回転部
３８ 固定部材
３９ スライド部材
４１ 上流側センサ
４２ 下流側センサ
４３ 解放側センサ
４４ 制御装置
４６ 吸着制御要素
４７ 解放制御要素
４８ 回転制御要素
Ａ３ 第１受渡領域
Ａ４ 第２受渡領域
Ｐ 薄板

Claims (12)

1. 所定の第１受渡領域において薄板の一方の面を吸着し、所定の第２受渡領域において上記薄板を解放する吸着部と、
   この吸着部が一端側に付設されているアームと、
   このアームの他端側を支持し、上記吸着部に吸着されているときの上記薄板と平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能な回転部と
   を備える薄板移送装置。
2. 複数の上記吸着部及び上記アームが、上記回転部を中心に略対称に配置されており、
   上記第１受渡領域と上記第２受渡領域とが上記回転軸を中心に略対称に位置する請求項１に記載の薄板移送装置。
3. 上記回転部と上記アームとの間に設けられ、上記回転部に対して上記アームを上記吸着部の吸引方向に突出又は後退する突出機構を備え、
   上記吸着部が、上記第１受渡領域において、上記突出機構が上記アームを後退させることによって上記薄板よりも下方に退避し、上記突出機構が上記アームを突出させることによって上記薄板を持ち上げる請求項１又は請求項２に記載の薄板移送装置。
4. 上記吸着部及び上記回転体の動作を制御する制御装置を備え、
   上記制御装置が、
   上記第１受渡領域において、上記薄板が移動している状態で上記吸着部が上記薄板を吸着するよう制御する吸着制御要素と、
   上記第２受渡領域において、確認信号に応じて上記吸着部が上記薄板を解放するよう制御する解放制御要素と、
   上記第１受渡領域における上記薄板の吸着と、上記第２受渡領域における上記薄板の解放とが共に完了した後、上記回転部が回転するよう制御する回転制御要素とを有する請求項２又は請求項３に記載の薄板移送装置。
5. 上記吸着制御要素が、上記第２受渡領域における上記薄板の解放と同時に、上記第１受渡領域において上記吸着部が上記薄板を吸着するよう制御する請求項４に記載の薄板移送装置。
6. 上記アームが上記他端から上記一端に向かう方向に伸縮可能である請求項１、請求項２又は請求項３に記載の薄板移送装置。
7. 上記アームが、上記回転部に固定されている固定部材と、上記吸着部が付設されると共に上記固定部材に対して上記他端から上記一端に向かう方向にスライド可能に設けられているスライド部材とを有する請求項６に記載の薄板移送装置。
8. 上記第１受渡領域において上記アームを伸長した際の上記吸着部の近傍で上記薄板の有無を検出する上流側センサと、上記第１受渡領域において上記アームを収縮した際の上記他端の近傍で上記薄板の有無を検出する下流側センサとを備える請求項６又は請求項７に記載の薄板移送装置。
9. 上記吸着部、上記アーム及び上記回転部の動作を制御する制御装置を備え、
   上記制御装置が、上記アームの伸縮方向における上記薄板の長さが所定の基準長さ以下である場合には、上記アームが伸長した状態で上記上流側センサが上記薄板を検出しなくなったときに上記吸着部が上記薄板を吸着するよう制御し、上記アームの伸縮方向における上記薄板の長さが上記基準長さを超える場合には、上記アームが収縮した状態で上記下流側センサが上記薄板を検出したときに上記吸着部が上記薄板を吸着するよう制御する吸着制御要素を有する請求項８に記載の薄板移送装置。
10. 上記第１受渡領域に供給された上記薄板の上記一方の面を支持できると共に、上記吸着部がそれらの間を通過できるように上記第１受渡領域に配設された複数の仮受部材を備える請求項６から請求項９のいずれか１項に記載の薄板移送装置。
11. 上記制御装置が、上記第２受渡領域において上記アームが伸長した状態で上記吸着部が上記薄板を解放し、上記薄板を解放した後であって上記回転部が回転する前に上記アームが収縮するよう制御する解放制御要素を有する請求項６から請求項１０のいずれか１項に記載の薄板移送装置。
12. 請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の薄板移送装置と、
    上記薄板の他方の面を清掃し、上記薄板移送装置に薄板を供給する第１クリーニング装置と、
    上記薄板の一方の面を清掃し、上記薄板移送装置から薄板が供給される第２清掃部を有する第２クリーニング装置と
    を備える薄板清掃システム。

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