JP2006093591A - 基板の処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】気体が供給されるとともにチャンバ1内に基板の搬送方向と交差する方向に沿って配置された気体用配管41と、液体が供給されるとともに気体用配管と一体化されてチャンバ内に配置された液体用配管31と、液体供給口体、気体供給口体及び噴射孔を有し、液体供給口体を液体用配管に接続するとともに気体供給口体を気体用配管に接続してこれら配管の長手方向に所定間隔で設けられ液体用配管から液体供給口体を通じて供給された液体を気体用配管から気体供給口体を通じて供給された気体によって加圧して噴射孔から噴射する複数の二流体噴射ノズル44とを具備する。
【選択図】 図2
Description
気体が供給されるとともに前記チャンバ内に前記基板の搬送方向と交差する方向に沿って配置された気体用配管と、
液体が供給されるとともに前記気体用配管と一体化されて前記チャンバ内に配置された液体用配管と、
液体供給部、気体供給部及び噴射孔を有し、前記液体供給部を前記液体用配管に接続するとともに、前記気体供給部を前記気体用配管に接続してこれら配管の長手方向に所定間隔で設けられ、前記液体用配管から前記液体供給部を通じて供給された液体を前記気体用配管から前記気体供給部を通じて供給された気体によって加圧して前記噴射孔から噴射する複数の二流体噴射ノズルと
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
前記高さ調整機構は、上下方向に沿う長孔が形成され前記チャンバの側壁内面に取り付けられたブラケットと、前記気体用配管と液体用配管とのどちらか一方の両端に設けられ前記長孔に上下方向に沿って移動可能に挿入される取り付け軸部と、前記ブラケットに設けられ先端部が前記取り付け軸部に螺合されていて、回転させることで前記取り付け軸部を介して前記気体用配管と液体用配管とを上下動させる調整ねじとによって構成されていることが好ましい。
前記二流体噴射ノズルは、ノズル本体を有し、このノズル本体には側部に前記液体供給部が設けられ上端部に前記気体供給部が設けられていて、
前記液体供給部と前記液体用配管とは直接的に接続され、前記気体供給部と前記気体用配管とは金属パイプによって接続されていることが好ましい。
前記チャンバ1の一対の端面壁1eの一方には例えば液晶表示パネルに用いられるガラス製の基板W(図1に示す)を導入する搬入口6が開口形成され、他方にはチャンバ1内で処理された前記基板Wを搬出する搬出口(図示せず)が開口形成されている。なお、底壁1cはチャンバの幅方向中央に行くにつれて低くなっていて、最も低い位置には排液管7が接続されている。
Claims (4)
- チャンバ内を搬送される基板に、気体によって加圧された液体を噴射して処理する基板の処理装置であって、
気体が供給されるとともに前記チャンバ内に前記基板の搬送方向と交差する方向に沿って配置された気体用配管と、
液体が供給されるとともに前記気体用配管と一体化されて前記チャンバ内に配置された液体用配管と、
液体供給部、気体供給部及び噴射孔を有し、前記液体供給部を前記液体用配管に接続するとともに、前記気体供給部を前記気体用配管に接続してこれら配管の長手方向に所定間隔で設けられ、前記液体用配管から前記液体供給部を通じて供給された液体を前記気体用配管から前記気体供給部を通じて供給された気体によって加圧して前記噴射孔から噴射する複数の二流体噴射ノズルと
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。 - 一体化された前記気体用配管と液体用配管とは、これらの両端に設けられた高さ調整機構によって前記チャンバ内に高さ調整可能に設けられていて、
前記高さ調整機構は、上下方向に沿う長孔が形成され前記チャンバの側壁内面に取り付けられたブラケットと、前記気体用配管と液体用配管とのどちらか一方の両端に設けられ前記長孔に上下方向に沿って移動可能に挿入される取り付け軸部と、前記ブラケットに設けられ先端部が前記取り付け軸部に螺合されていて、回転させることで前記取り付け軸部を介して前記気体用配管と液体用配管とを上下動させる調整ねじとによって構成されていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。 - 前記気体用配管が上側で、前記液体用配管が下側に位置するよう上下方向に配置され、
前記二流体噴射ノズルは、ノズル本体を有し、このノズル本体には側部に前記液体供給部が設けられ上端部に前記気体供給部が設けられていて、
前記液体供給部と前記液体用配管とは直接的に接続され、前記気体供給部と前記気体用配管とは金属パイプによって接続されていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。 - 前記気体用配管の長手方向両端にはこの気体用配管に気体を供給する給気管が接続され、前記液体用配管の長手方向両端にはこの液体用配管に液体を供給する給液管が接続されていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
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