JP2019013897A - 洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、上記従来の問題を解決するものであり、気体と液体とを供給した二流体ノズルを洗浄に用いることにより、洗浄時に周辺への洗浄水の飛散を抑制しつつ洗浄可能な洗浄方法及び洗浄装置を提供することを目的とする。
液体流路と気体流路とを有する噴霧装置本体部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて、前記液体流路の開口を覆いかつ平らな内側端面を有する内蓋部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて前記内蓋部を覆うとともに、前記気体流路の開口を覆いかつ前記内蓋部の前記内側端面に対向する平らな外側端面を持つ外側端部を有する外蓋部と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間に配置され、前記内蓋部の前記内側端面と前記外蓋部の前記外側端面との間の円板状の外形の空間で構成され、前記気体流路を流れる気体流と前記液体流路を流れる液体流とを混合する気液混合部と、
前記内蓋部の前記内側端面の周方向の少なくとも1箇所に貫通して設けられて前記気液混合部と連通して、前記液体流路を流れる液体流を前記気液混合部に流入させる液体流入口と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間の前記気液混合部の側部に前記気液混合部と連通して配置されて、前記液体流入口から前記気液混合部に流入する前記液体流に向かって、前記気体流路を流れる前記気体流を前記気液混合部に流入させる気体流入口と、
前記外蓋部の前記外側端面に貫通して設けられて前記気液混合部と連通し、前記気液混合部で前記気体流と前記液体流が混合して微粒化した液体を噴出する噴出口とを備える噴霧装置を使用して、前記気液混合部で前記気体流と前記液体流が混合して前記微粒化した液体を被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する洗浄方法であって、
前記被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の距離が、予め決められた洗浄距離以内にあるか否かを表示装置で表示し、
前記被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の前記距離が前記洗浄距離以内にあると前記表示装置で表示されたのち、前記噴霧装置から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する。
液体流路と気体流路とを有する噴霧装置本体部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて、前記液体流路の開口を覆いかつ平らな内側端面を有する内蓋部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて前記内蓋部を覆うとともに、前記気体流路の開口を覆いかつ前記内蓋部の前記内側端面に対向する平らな外側端面を持つ外側端部を有する外蓋部と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間に配置され、前記内蓋部の前記内側端面と前記外蓋部の前記外側端面との間の円板状の外形の空間で構成され、前記気体流路を流れる気体流と前記液体流路を流れる液体流とを混合する気液混合部と、
前記内蓋部の前記内側端面の周方向の少なくとも1箇所に貫通して設けられて前記気液混合部と連通して、前記液体流路を流れる液体流を前記気液混合部に流入させる液体流入口と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間の前記気液混合部の側部に前記気液混合部と連通して配置されて、前記液体流入口から前記気液混合部に流入する前記液体流に向かって、前記気体流路を流れる前記気体流を前記気液混合部に流入させる気体流入口と、
前記外蓋部の前記外側端面に貫通して設けられて前記気液混合部と連通し、前記気液混合部で前記気体流と前記液体流が混合して微粒化した液体を噴出する噴出口とを備える噴霧装置を少なくとも二つ以上備え、
被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の距離が、予め決められた洗浄距離以内にあるか否かを表示する表示装置をさらに備えて、
前記被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の前記距離が前記洗浄距離以内にあると前記表示装置で表示されるとき、前記噴霧装置から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する。
(実施の形態1)
図1Aは、本発明の実施の形態1における洗浄装置71が有する噴霧装置10の噴霧装置本体部10a近傍の切断断面図である。図1Bは、図1Aの1B−1B線での断面図である。以下に、この噴霧装置10の構成について図1Aを参照しながら説明する。
洗浄装置71は、少なくとも1個の噴霧装置10を備えている。
噴霧装置10は、噴霧装置本体部10aと、内蓋部13と、外蓋部14とを少なくとも備えている。内蓋部13と外蓋部14とで気液混合部15を構成している。噴霧装置10は、さらに、噴霧装置蓋固定部17を備えている。
円筒部10bの先端は、円筒部10b以外の噴霧装置本体部10aより先端側に少し突出し、その先端に内蓋部13が固定されている。
気体流路配管52の他端には、高圧気体発生器58が接続されている。高圧気体発生器58は、一例として、大気圧以上に加圧した気体、より具体的には圧縮空気、を供給可能としている。
また、気体流路配管52の途中には、一端から他端の間に順に流量制御器63と圧力制御器64とが配置されている。
本実験例では、洗浄効果を確認するための被洗浄体として、数日間雨ざらしにすることで表面に汚れが付着した鋼板を用いた。噴霧装置本体部10aに供給する気体の例として圧縮空気を、液体の例として水をそれぞれ使用し、圧縮空気の圧力を0.2MPa(ゲージ圧)、水の圧力を0.15MPa(ゲージ圧)とし、水の供給量は50ml/minとし、洗浄の効果を確認している。本実験条件においては、噴霧装置本体部10aから被洗浄体表面までの距離を概略5mm〜30mmの範囲で維持することで、被洗浄体表面が洗浄できることが確認できた。
この実施の形態1にかかる洗浄装置71は、少なくとも1つの噴霧装置10を有して、被洗浄体74の表面に近接して配置された状態で噴霧を行って洗浄を行うことを想定している。その理由は、気体及び液体の供給圧力が比較的低いため、噴霧範囲79が小さいためである。
また、制御部65により、測定距離Lが洗浄距離Lw以内にある場合にのみ、噴霧装置10から、微粒化した液体を被洗浄体表面に噴霧可能となるようにポンプ56と高圧気体発生器58とを駆動制御するようにして、被洗浄体表面を洗浄することもできる。
図3A及び図3Bは、本発明の実施の形態2における、噴霧装置10の噴霧装置本体部10aを六個、一列に配置して洗浄装置71aを構成するときの断面図及び平面図である。図3Aあるいは図3Bにおいて、六個の噴霧装置本体部10aは、細長い矩形の支持プレート70aによって一列に間隔をあけて固定保持されて洗浄装置71aを構成している。図3Aおける三角形の点線79は、各噴霧装置本体部10aからの噴霧範囲の概略をイメージしたものであり、隣接する噴霧装置本体部10aからそれぞれ噴霧された噴霧範囲は互いに重複する重複範囲79aを有するものとして、洗浄効果を高めるようにしている。逆に言えば、洗浄効果を高めるために、噴霧範囲79を重複範囲79aで互いに重複するように、隣接する噴霧装置10の間隔を狭く配置している。一例としては、洗浄効果をより高めるために、重複範囲79aとして少なくとも噴霧範囲の4分の1は、互いに重複するように構成することができる。
図4は、本発明の実施の形態3における洗浄装置71により、被洗浄体74を洗浄する場合の構成を示す概略図である。洗浄装置71は、噴霧装置本体部10a(図示せず)と支持プレート70a(図示せず)から構成されている。例えば、洗浄装置71は、図3A〜図3Dのうちのいずれかで構成されてもよい。本実施の形態3において、洗浄装置71は、互いに直角なXYZの3方向にそれぞれ独立して移動可能な機構を有する移動装置72に設置されている。移動装置72は、例えば、洗浄装置71をX方向に移動可能なX方向移動装置72xと、洗浄装置71をY方向に同期して移動可能な一対のY方向移動装置72yと、洗浄装置71をZ方向に同期して移動可能な一対のZ方向移動装置72zとで構成することができ、制御部65で駆動制御される。
よって、測長装置73で被洗浄体74の表面と噴霧装置10との間の距離Lを測定し、測定結果を制御部65に入力する。制御部65は、測定距離Lが洗浄距離Lw以内にあるとき、移動装置72に対してはX方向移動装置72xのみを駆動して噴霧及び洗浄動作を行う。制御部65は、測定距離Lが洗浄距離Lw以内ではないとき、被洗浄体74の表面に接近するように各Y方向移動装置72y及び各Z方向移動装置72zを駆動して、測定距離Lが洗浄距離Lw以内に入るように駆動制御し、測定距離Lが洗浄距離Lw以内に入ると噴霧及び洗浄動作を行う。所定時間駆動しても測定距離Lが洗浄距離Lw以内に入らないときは、異常であるとしてすべての移動装置の駆動を停止する。
かかる構成によれば、自家用車のような大型の被洗浄体74を自動的に洗浄することが可能となる。
10a 噴霧装置本体部
11 液体流路
12 気体流路
13 内蓋部
13a 内側端面
14 外蓋部
14a 外側端面
15 気液混合部
16 噴出部
16a 噴出口
17 噴霧装置蓋固定部
19 気体流入口
51 液体流路配管
52 気体流路配管
56 ポンプ
58 高圧気体発生器
59 流量制御器
60 圧力制御器
63 流量制御器
64 圧力制御器
65 制御部
70a,70c,70d 支持プレート
71,71a,71c,71d 洗浄装置
72 移動装置
72x X方向移動装置
72y Y方向移動装置
72z Z方向移動装置
74 被洗浄体
81x,81y,81z モータ
82x,82y,82z 螺子軸
83x,83y,83z 可動部
Claims (11)
- 液体流路と気体流路とを有する噴霧装置本体部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて、前記液体流路の開口を覆いかつ平らな内側端面を有する内蓋部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて前記内蓋部を覆うとともに、前記気体流路の開口を覆いかつ前記内蓋部の前記内側端面に対向する平らな外側端面を持つ外側端部
を有する外蓋部と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間に配置され、前記内蓋部の前記内側端面と前記外蓋部の前記外側端面との間の円板状の外形の空間で構成され、前記気体流路を流れる気体流と前記液体流路を流れる液体流とを混合する気液混合部と、
前記内蓋部の前記内側端面の周方向の少なくとも1箇所に貫通して設けられて前記気液混合部と連通して、前記液体流路を流れる液体流を前記気液混合部に流入させる液体流入口と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間の前記気液混合部の側部に前記気液混合部と連通して配置されて、前記液体流入口から前記気液混合部に流入する前記液体流に向かって、前記気体流路を流れる前記気体流を前記気液混合部に流入させる気体流入口と、
前記外蓋部の前記外側端面に貫通して設けられて前記気液混合部と連通し、前記気液混合部で前記気体流と前記液体流が混合して微粒化した液体を噴出する噴出口とを備える噴霧装置を使用して、前記気液混合部で前記気体流と前記液体流が混合して前記微粒化した液体を被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する洗浄方法であって、
前記被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の距離が、予め決められた洗浄距離以内にあるか否かを表示装置で表示し、
前記被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の前記距離が前記洗浄距離以内にあると前記表示装置で表示されたのち、前記噴霧装置から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する、洗浄方法。 - 前記洗浄距離は5mm〜30mmであり、
前記被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の前記距離が前記洗浄距離である5mm〜30mmの範囲以内にあると前記表示装置で表示されたのち、前記噴霧装置から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する、請求項1に記載の洗浄方法。 - 前記噴霧装置を少なくとも二つ以上配置して、前記少なくとも二つ以上の噴霧装置の前記噴霧装置本体部から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に同時に噴霧して、噴霧範囲を互いに重複させた状態で前記被洗浄体の表面を洗浄する、請求項1又は2に記載の洗浄方法。
- 液体を前記噴霧装置に供給するとき前記液体を間欠的に供給することにより、前記液体を前記噴霧装置に供給して前記噴霧装置本体部から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する洗浄動作と、前記液体の前記噴霧装置に対する供給を停止して前記噴霧装置本体部から気体のみを前記被洗浄体の表面に噴射する気体噴射動作とを繰り返して行う、請求項1〜3のいずれか1つに記載の洗浄方法。
- 前記噴霧装置の前記噴霧装置本体部と前記被洗浄体の表面との距離を測長装置で測定し、その測定結果を前記表示装置で表示して、前記測定した距離を5mm〜30mmの範囲内に維持しつつ前記洗浄を行う、請求項1〜4のいずれか1つに記載の洗浄方法。
- 液体流路と気体流路とを有する噴霧装置本体部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて、前記液体流路の開口を覆いかつ平らな内側端面を有する内蓋部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて前記内蓋部を覆うとともに、前記気体流路の開口を覆いかつ前記内蓋部の前記内側端面に対向する平らな外側端面を持つ外側端部
を有する外蓋部と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間に配置され、前記内蓋部の前記内側端面と前記外蓋部の前記外側端面との間の円板状の外形の空間で構成され、前記気体流路を流れる気体流と前記液体流路を流れる液体流とを混合する気液混合部と、
前記内蓋部の前記内側端面の周方向の少なくとも1箇所に貫通して設けられて前記気液混合部と連通して、前記液体流路を流れる液体流を前記気液混合部に流入させる液体流入口と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間の前記気液混合部の側部に前記気液混合部と連通して配置されて、前記液体流入口から前記気液混合部に流入する前記液体流に向かって、前記気体流路を流れる前記気体流を前記気液混合部に流入させる気体流入口と、
前記外蓋部の前記外側端面に貫通して設けられて前記気液混合部と連通し、前記気液混合部で前記気体流と前記液体流が混合して微粒化した液体を噴出する噴出口とを備える噴霧装置を少なくとも二つ以上備え、
被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の距離が、予め決められた洗浄距離以内にあるか否かを表示する表示装置をさらに備えて、
前記被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の前記距離が前記洗浄距離以内にあると前記表示装置で表示されるとき、前記噴霧装置から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する洗浄装置。 - 前記洗浄距離は5mm〜30mmであり、
前記被洗浄体の表面と前記噴霧装置との間の前記距離が前記洗浄距離である5mm〜30mmの範囲以内にあると前記表示装置で表示されるとき、前記噴霧装置から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する、請求項6に記載の洗浄装置。 - 前記噴霧装置を少なくとも二つ以上配置して、前記少なくとも二つ以上の噴霧装置の前記噴霧装置本体部から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に同時に噴霧して、噴霧範囲を互いに重複するように、隣接する前記噴霧装置の間隔を狭く配置する、請求項6又は7に記載の洗浄装置。
- 液体を前記噴霧装置に供給するとき前記液体を間欠的に供給することにより、前記液体を前記噴霧装置に供給して前記噴霧装置本体部から前記微粒化した液体を前記被洗浄体の表面に噴霧して前記被洗浄体の表面を洗浄する洗浄動作と、前記液体の前記噴霧装置に対する供給を停止して前記噴霧装置本体部から気体のみを前記被洗浄体の表面に噴射する気体噴射動作とを繰り返して行うように前記噴霧装置を制御する制御部をさらに備える、請求項6〜8のいずれか1つに記載の洗浄装置。
- 前記噴霧装置の前記噴霧装置本体部と前記被洗浄体の表面との距離を測定する測長装置をさらに備えて、
前記測長装置からの測定結果を前記表示装置で表示する、請求項6〜9のいずれか1つに記載の洗浄装置。 - 前記噴霧装置の前記噴霧装置本体部と前記被洗浄体の表面との距離を測定する測長装置と、
前記噴霧装置と前記被洗浄体との距離を可変させるように前記噴霧装置を前記被洗浄体に対して移動させる移動装置と、
前記噴霧装置を前記被洗浄体に接近して前記測長装置で測定された前記距離が5mm〜30mmの範囲で維持されるように前記移動装置を駆動制御する制御部とを備える、請求項6〜8のいずれか1つに記載の洗浄装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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JP2008000649A (ja) | ユニットタイプのスプレー装置 |
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