JP2006051504A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル待機部152において、レジストノズル150がノズル保持体154に装着された状態では、レジストノズル150の吐出口110dがドレイン口156に臨み、ノズル本体110のテーパ状側面110e,110fと凹所154aの内壁面との間にほぼ一定間隔(幅)の隙間158が形成され、この隙間158の上端部がノズル保持体154の上面の溝部154bに連通する。ドレイン口156は、ドレイン管160を介して空気圧式真空装置からなるエジェクタ装置に通じている。ノズル保持体154の内側には、レジストノズル150の吐出部を洗浄するための1個または複数個の溶剤噴射ノズル164が設けられている。
【選択図】 図8
Description
88 レジストノズル
90 ノズル走査機構
92 ノズル洗浄部
93 ノズル待機部
106 レジスト供給管
150 レジストノズル
152 ノズル待機部
154 ノズル保持体
155 屈折部
156 ドレイン口
158 流体通路
164 溶剤噴射ノズル
172 溶媒溜り
174 溶媒溜り
184 ノズル待機部
186 ブリッジ部材
Claims (8)
- 被処理基板上に上方から処理液を滴下して塗布するための塗布装置において、
1個または複数個の吐出口とそれらの吐出口に連通する処理液導入口とを有し、処理液を前記処理液導入口より導入して前記吐出口より吐出する処理液吐出ノズルと、
所定のノズル待機位置に設けられ、前記処理液吐出ノズルの少なくとも吐出口付近の部分を所定の隙間を空けて覆うようにして前記処理液吐出ノズルを着脱可能に保持し、前記処理液吐出ノズルの吐出口と対向する位置に排液部を有し、前記排液部以外の前記隙間の開口端部を気体空間に開放させるノズル保持体と、
前記ノズル保持体に保持される前記処理液吐出ノズルの前記吐出口近傍よりも上方の部分に向けて溶剤を噴射するために前記ノズル保持体に設けられた溶剤噴射ノズルと、
前記ノズル保持体に保持される前記処理液吐出ノズルの吐出口付近に存在する液体をバキューム吸引により除去するために前記排液部に接続されているバキューム手段と
を有する塗布装置。 - 前記ノズル保持体に保持される前記処理液吐出ノズルの吐出口近傍に自由端が近接するようにノズル保持体の内壁面に設けられた櫛の歯状のブリッジ部材を有する請求項1に記載の塗布装置。
- 前記ブリッジ部材が可撓性の材質からなる請求項2に記載の塗布装置。
- 前記溶剤噴射ノズルが、前記処理液吐出ノズルの吐出口と1対1の対応関係で配置される請求項1〜3のいずれか一項に記載の塗布装置。
- 各隣接する2つの前記処理液吐出ノズルの吐出口にそれぞれ対応する2つの前記溶剤噴射ノズルが、前記処理液吐出ノズルの吐出口列に対して両側に分かれて配置される請求項4に記載の塗布装置。
- 前記溶剤噴射ノズルより溶剤を噴射させながら前記処理液吐出ノズルと前記溶剤噴射ノズルとの間で前記吐出口の配列方向と平行な方向に相対移動を行わせる請求項1〜5のいずれか一項に記載の塗布装置。
- 前記ノズル保持体が、前記処理液吐出ノズルの吐出口付近に前記吐出口よりも高い位置から溶剤の蒸気を供給するための第1の溶剤溜め部を有する請求項1〜6のいずれか一項に記載の塗布装置。
- 前記ノズル保持体が、前記処理液吐出ノズルの吐出口付近に前記吐出口よりも低い位置から溶剤の蒸気を供給するための第2の溶剤溜め部を有する請求項1〜7のいずれか一項に記載の塗布装置。
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JP2013243284A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Sokudo Co Ltd | 現像処理装置 |
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