KR100710886B1 - 평판 디스플레이의 일체형 세정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이의 제조장치에서 대형 글라스를 세정하는 평판 디스플레이 세정장치에 있어서, 반송롤러를 통해 이송한 글라스에 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사 램프와, 상기 자외선에서 발생하는 오존을 차단하기 위한 N₂를 공급하는 N₂ 공급부를 형성하여 자외선에 의한 산소의 분해와 분해된 산소이온의 산화력을 이용하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하는 엑시머 자외선 조사 유닛과, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 일측에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛을 통해 유기물을 제거한 글라스에 D.I water(Deionized Water)를 공급하는 D.I water(Deionized Water) 젯과, 상기 D.I water(Deionized Water)를 공급한 글라스에 진동 발진을 이용하여 글라스 표면에 부착된 파티클을 분리하는 메가소닉 유닛과, 상기 메가소닉 유닛을 통해 분리된 파티클을 D.I water(Deionized Water) 또는 직수에 의한 고유속 샤워에 의해 상기 글라스에서 제거하는 샤워 유닛과, 상기 D.I water(Deionized Water) 젯과 샤워 유닛에서 공급된 D.I water(Deionized Water) 또는 직수와 샤워 유닛을 통해 제거된 파티클을 강제 흡입하여 배기하는 석션 유닛과, 상기 파티클을 제거한 글라스에 잔존하는 D.I water(Deionized Water)를 고압의 CDA(Clean dry air)를 분사하여 건조 제거하는 에어 나이프 유닛과, 상기 에어 나이프 유닛을 통해 D.I water(Deionized Water)를 제거한 글라스에 열풍 젯을 통해 뜨거운 바람을 공급하고, 상기 글라스상의 물기를 건조시키는 IR(infra red) 드라이 히터 유닛의 기능성 세정유닛으로 이루어져 상기 기능성 세정유닛이 하나의 바디에 일체형으로 형성하는 것을 특징으로 한다.

기능성 세정유닛, 평판 디스플레이, 글라스, D.I water(Deionized Water)

Description

평판 디스플레이의 일체형 세정장치{One body type cleaning apparatus for flat panel display}

도1은 종래의 세정장치를 나타내는 도면.

도2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 사시도.

도3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 단면도.

도4는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 엑시머 자외선 조사 유닛의 구성도.

도5는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 제조장치의 일체형 세정장치의 석션 유닛의 구성도.

도6은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 에어 나이프 유닛의 구성도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호 **

100 : 엑시머 자외선 조사 유닛 101 : 자외선 조사 램프

102 : N₂ 공급부 103 : 램프 증폭기

110 : 제1에어 커튼 120 : 제2에어 커튼

130 : N₂ 배기구 140, 410 : 이온 나이저

200 : 메가소닉 유닛 210 : D.I water(Deionized Water) 젯

220 : 석션 유닛 230 : 유체 탱크

300 : 샤워 유닛 400 : 에어 나이프 유닛

500 : IR(infra red) 드라이 히터 유닛
510 : 열풍 젯

520 : 열풍 배출구

본 발명은 평판 디스플레이의 대형 글라스를 세정하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 반송롤러를 통해 이송한 글라스에 엑시머 자외선 조사 유닛과, 메가소닉 유닛과, 샤워 유닛과, 에어 나이프 유닛과, IR(infra red) 드라이 히터 유닛의 기능성 세정유닛을 미세공간 집적기술을 활용하여 하나의 바디에 일체형으로 구성한 평판 디스플레이의 일체형 세정장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)란 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하기 위해 개발된 차세대 표시장치로서, LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel)를 비롯하여 다양한 디스플레이가 출시되어 있다.

상기 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)는 미세한 먼지(파티클)에 무척 민감하게 반응하는 것으로, 상기 미세한 먼지 단 하나가 작게는 부품, 크게는 장치의 특성을 좌우하게 된다. 상기와 같은 이유로 해서 평판 디스플레이 제조공정에서는 파티클을 최소화시키는데 주력하고 있으며, 공정 진행 상황에 따라 세정장치에 의해 작업을 반복하여 실시하고 있는 것이 보통이다.

상기와 같은 평판 디스플레이 세정장치는 도 1에 도시된 바와 같이 세정 기능별 장치가 각각 구성되어 롤러를 통해 이송하는 글라스를 자외선 조자장치에 의해 유기세정을 하고, 상기 자외선 조사장치에 의해 유기 세정된 글라스에 브러쉬, 고유속 샤워기 등의 Wet 세정장치에 의해 Wet 세정을 실시하며, 상기 유기 세정과 Wet 세정을 마친 글라스를 건조 장치에 의해 건조하여 상기 글라스를 세정하였다.

그러나 상기와 같은 종래의 세정장치는 각각의 세정장치가 별도의 바디에 의해 구성되어 상기 세정장치의 설치 면적이 크고, 상기 설치 면적이 큼에 따라 다른 공정과 연계하여 연속공정이 어려워 Fab의 효율이 저하시키는 원인이 되는 문제점이 있었다.

또한, 각각의 세정장치가 별도의 바디로 형성되어 상기 바디와 바디사이에 D.I water(Deionized Water)의 미스트(mist)가 칩입하여 정체됨으로 파티클의 원인이 되고, 박테리아의 생성의 원인이 되어 글라스의 불량을 초래하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 평판 디스플레이의 세정장치를 하나의 바디에 엑시머 자외선 조사 유닛, 메가소닉 유닛, 샤워 유닛, 에어 나이프 유닛, IR(infra red) 드라이 히터 유닛의 기능성 세정유닛을 일체형으로 형성하여 미세공간에 대한 집적기술의 활용을 통해 상기 세정장치의 설치 면적을 최소화하고, 제조 Fab 내의 공간활용을 효율적으로 운영할 수 있으며, 연속적으로 글라스를 세정할 수 있는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 하나의 바디에 기능성 세정유닛을 일체형으로 형성하여 종래의 상기 기능성 세정유닛을 각각의 바디에 형성할 시 발생하는 D.I water(Deionized Water)의 미스트(mist)의 침입으로 인한 파티클 생성과 박테리아의 생성을 방지할 수 있는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.

본 발명은 평판 디스플레이의 대형 글라스를 세정하는 평판 디스플레이 제조장치의 세정장치에 있어서,

반송롤러를 통해 이송한 글라스에 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사 램프 와 상기 자외선에서 발생하는 오존을 차단하기 위한 N₂를 공급하는 N₂ 공급부를 형성하여 자외선에 의한 산소의 분해와 분해된 산소이온의 산화력을 이용하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하는 엑시머 자외선 조사 유닛과;

상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 일측에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛을 통해 유기물을 제거한 글라스에 D.I water(Deionized Water)를 공급하는 D.I water(Deionized Water) 젯과;

상기 D.I water(Deionized Water)를 공급한 글라스에 진동 발진을 이용하여 글라스 표면에 부착된 파티클을 분리하는 메가소닉 유닛과;

상기 메가소닉 유닛을 통해 분리된 파티클을 D.I water(Deionized Water) 또는 직수에 의한 고유속 샤워에 의해 상기 글라스에서 제거하는 샤워 유닛과;

상기 D.I water(Deionized Water) 젯과 샤워 유닛에서 공급된 D.I water(Deionized Water) 또는 직수와 샤워 유닛을 통해 제거된 파티클을 강제 흡입하여 배기하는 석션 유닛과;

상기 파티클을 제거한 글라스에 잔존하는 D.I water(Deionized Water)를 고압의 CDA(Clean dry air)를 분사하여 건조 제거하는 에어 나이프 유닛과;

상기 에어 나이프 유닛을 통해 D.I water(Deionized Water)를 제거한 글라스에 열풍 젯을 통해 뜨거운 바람을 공급하고, 상기 글라스상의 물기를 건조시키는 IR(infra red) 드라이 히터 유닛;의 기능성 세정유닛으로 이루어져 상기 기능성 세정유닛이 하나의 바디에 일체형으로 형성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛과 D.I water(Deionized Water) 젯 사이에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 N₂ 공급부에서 공급된 N₂가 유출되는 것을 방지하는 제1에어 커튼과, 상기 D.I water(Deionized Water) 젯에서 공급하는 D.I water(Deionized Water)가 상기 엑시머 자외선 조사 유닛에 유입되는 것을 방지하기 위한 제2에어 커튼을 형성하는 것을 특징으로 한다.

상기 엑시머 자외선 조사 유닛과 D.I water(Deionized Water) 젯 사이와, 상기 에어 나이프 유닛과 열풍 젯 사이에 상기 글라스가 이동 시 상기 글라스의 표면에 정전기 발생을 방지하는 이온 나이저를 형성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛은 N₂ 공급부를 통해 공급된 N₂를 배기하기 위한 N₂ 배기구와, 상기 열풍 젯과 IR(infra red) 드라이 히터 유닛을 통해 발생하는 열풍을 배기하기 위한 열풍 배기구를 형성하는 것을 특징으로 한다.

상기 기능성 세정유닛은 PLC(Programmable Logic Controller)에 의해 제어하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 사시도이고, 도3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 단면도이다.

상기 도2와 도3에 도시된 바와 같이 본 발명은 평판 디스플레이의 일체형 세 정장치에 대한 것으로 각각의 기능성 세정유닛을 하나의 바디에 일체형으로 형성한 것이다.

상기 세정장치는 반송롤러를 통해 이송한 글라스에 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사 램프(101)와, 상기 자외선에서 발생하는 오존을 차단하기 위한 N₂를 공급하는 N₂ 공급부(102)를 형성하여 자외선에 의한 산소의 분해와 분해된 산소이온의 산화력을 이용하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하는 엑시머 자외선 조사 유닛(100)을 형성하고, 상기 N₂ 공급부(102)를 통해 공급된 N₂를 배기하기 위한 N₂ 배기구(130)를 형성한다. 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)의 일측에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)을 통해 유기물질을 제거한 글라스에 D.I water(Deionized Water)를 공급하는 D.I water(Deionized Water) 젯(210)을 형성한다. 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)과 D.I water(Deionized Water) 젯(210) 사이에 제1에어 커튼(110)과 제2에어 커튼(120)을 형성하여 상기 제1에어 커튼(110)에 의해 엑시머 자외선 유닛(100)의 N₂ 공급부(102)에서 공급되는 N₂가 유출되는 것을 방지하고, 상기 제2에어 커튼(120)에 의해 D.I water(Deionized Water) 젯(210)에서 공급하는 D.I water(Deionized Water)가 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)에 유입되는 것을 방지하도록 하며, 상기 제1에어 커튼(110)과 제2에어 커튼(120) 사이에 이온 나이저(140)를 형성하여 상기 글라스의 이동 시 상기 글라스의 표면에 정전기 발생을 방지하도록 한다.

상기 D.I water(Deionized Water) 젯(210)에 의해 D.I water(Deionized Water)를 공급한 글라스에 진동 발진을 이용하여 글라스 표면에 부착된 파티클을 분리하는 메가소닉 유닛(200)과, 상기 메가소닉 유닛(200)을 통해 분리된 파티클을 D.I water(Deionized Water) 또는 직수에 의한 고유속 샤워에 의해 상기 글라스에서 제거하는 샤워 유닛(300)과 상기 D.I water(Deionized Water) 젯(210)과 샤워 유닛(300)에서 공급된 D.I water(Deionized Water) 또는 직수와 샤워 유닛을 통해 제거된 파티클을 강제 흡입하여 배기하는 석션 유닛(220)과, 상기 파티클을 제거한 글라스에 잔존하는 D.I water(Deionized Water)를 고압의 CDA(Clean dry air)를 분사하여 건조 제거하는 에어 나이프 유닛(400)과, 상기 에어 나이프 유닛(400)을 통해 D.I water(Deionized Water)를 제거한 글라스에 열풍 젯(510)을 통해 뜨거운 바람을 공급하고, 상기 에어 나이프 유닛(400)과 열풍 젯(510)의 사이에 이온 나이저(410)를 형성하여 상기 글라스에 정전기가 발생하는 것을 방지한다.

상기 열풍 젯(510)을 통해 뜨거운 바람을 공급받은 글라스는 IR(infra red) 드라이 히터 유닛(500)에 의해 상기 기판상의 물기를 건조시키고, 상기 IR(infra red) 드라이 히터 유닛과 열풍 젯(510)을 통해 공급된 열풍은 열풍 배기구(520)에 의해 배출한다.

또한, 상기 기능성 세정유닛(엑시머 자외선 조사 유닛(100), 메가소닉 유닛(200), 샤워 유닛(300), 석션 유닛(220), 에어 나이프 유닛(400), IR(infra red) 드라이 히터 유닛(500))의 하단에는 상기 기능성 세정유닛에 사용된 D.I water(Deionized Water)와 직수를 저장하기 위한 유체 탱크(230)를 형성한다.

또한, 상기 기능성 세정유닛(엑시머 자외선 조사 유닛(100), 메가소닉 유닛(200), 샤워 유닛(300), 석션 유닛(220), 에어 나이프 유닛(400), IR(infra red) 드라이 히터 유닛(500))은 PLC(Programmable Logic Controller) 제어를 통해 제어하도록 구성한다.

상기 기능성 세정유닛의 기능을 상세한 도면을 통해 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도4는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 엑시머 자외선 조사 유닛의 구성도이고, 도5는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 석션 유닛 구성도이며, 도6은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 에어 나이프 유닛의 구성도이다.

상기 도4에 도시된 바와 같이 엑시머 자외선 조사 유닛(100)은 반송롤러를 통해 이송된 글라스에 2mm 내지 7mm의 상단에 자외선 조사 램프(101)를 형성하여 상기 자외선 조사 램프(101)를 통해 자외선을 조사시켜 산소의 분해와 분해된 산화이온의 산화력에 의해 상기 글라스 표면에 부착된 유기물을 제거한다. 상기 자외선 조사 램프(101)는 상기 자외선 조사 램프(101)의 상단에 형성된 램프 증폭기(103)에 의해 상기 자외선 조사 램프(101)의 밝기를 조절하며, 상기 자외선 조사 램프(101)에 의해 조사되는 자외선은 대기중에 산소와 직접 작용하여 산소 원자를 생성하고, 상기 생성된 산소로부터 오존(O₃)을 생성하게 되며, 상기 오존(O₃)에 의 해 상기 글라스의 유기물을 세정하게 된다. 그러나 상기 오존(O₃)은 자외선 조사 램프(101)의 전원단자와 접촉하여 상기 자외선 조사 램프(101)의 수명을 단축시킬 수 있어 N₂ 공급부(102)에서 N₂를 공급하여 상기 N₂의 흐름을 통해 상기 오존(O₃)이 자외선 조사 램프(101)의 전원단자에 접촉되는 것을 방지하고, 상기 공급된 N₂는 상기 자외선 조사 램프(101)의 양측에 형성된 N₂ 배기구(140)를 통해 배출하도록 한다.

상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)의 일측에는 제1에어 커튼(110)을 형성하여 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)에서 공급되는 N₂가 다른 기능성 세정유닛에 유출되는 것을 방지하고, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)을 통해 유기물을 제거한 글라스는 반송롤러에 의해 이송하게 되며, 상기 이송한 글라스는 D.I water(Deionized Water) 젯(210)에 의해 D.I water(Deionized Water)를 공급받는다. 상기 제1에어 커튼(110)의 일측에는 상기 D.I water(Deionized Water) 젯(210)을 통해 공급된 D.I water(Deionized Water)가 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)에 유출되는 것을 방지하기 위해 제2에어 커튼(120)을 형성하고, 상기 제1에어 커튼(110)과 제2에어 커튼(120)의 사이에는 이온 나이저(140)를 형성하여 상기 글라스에 정전기가 발생하는 것을 방지한다.

상기 D.I water(Deionized Water) 젯(210)을 통해 D.I water(Deionized Water)를 공급받은 글라스는 메가소닉 유닛(200)에 의해 진동 발진을 이용하여 상기 글라스 표면에 부착된 파티클을 떨어뜨리고, 상기 떨어진 파티클은 샤워 유닛(300)에 의해 D.I water(Deionized Water) 또는 직수를 고유속 샤워로 분사하여 상기 글라스에서 떨어진 파티클을 제거한다. 상기 제거된 파티클과 D.I water(Deionized Water) 젯(210)에서 공급한 D.I water(Deionized Water)와 상기 샤워 유닛(300)에서 공급한 D.I water(Deionized Water) 또는 직수는 배출구를 통해 배출되어 유체 탱크(230)에 저장되며, 상기 배출구를 통해 배출되지 못한 파티클과 D.I water(Deionized Water) 또는 직수는 석션 유닛(220)에 의해 강제 흡입되어 배출한다.

도5에 도시된 바와 같이 상기 글라스에 공급된 D.I water(Deionized Water) 또는 직수, 파티클, 상기 제1, 2에어커튼(110, 120)을 통해 공급된 에어의 유체는 압력에너지를 보유하고 있으며, 상기 압력에너지는 배출구를 통해 배출이 일정부분 이루어진다. 그러나 상기 유체가 보유한 압력은 주변 기능성 세정유닛의 기능에 악영향을 미칠 가능성이 있으므로 상기 석션 유닛(220)을 통해 강제 흡입하여 배출한다. 상기 석션 유닛(220)은 진공 발생기(221)를 통해 상기 유체를 강제 흡입하며, 상기 흡입된 유체는 에어와 D.I water(Deionized Water) 또는 직수가 동시에 석션될 수 있으므로 기액분리 박스(222)에서 기체와 액체를 분리하여 상기 기체는 메인 배기를 통해 배기되며, 상기 액체는 유체 탱크(230)로 배출된다.

상기와 같이 글라스의 유기물과 파티클을 제거한 글라스는 도6에 도시된 바와 같이 에어 나이프 유닛(400)에 의해 상기 글라스에 잔존하는 D.I water(Deionized Water)를 건조 제거한다. 상기 D.I water(Deionized Water)는 장방형 노즐을 통한 CDA(Clean Dry Air)의 분사에 의하여 제거되며, 상기 에어 나이프 유닛(400)은 글라스상에 잔존하는 D.I water(Deionized Water)를 제거하기 위해 상기 글라스의 이송방향과 반대방향에서 노즐을 일정각 유지하고, 경사로 배치하여 상기 CDA(Clean Dry Air)의 속도 에너지로 인해 D.I water(Deionized Water)를 건조 제거한다. 상기 노즐은 글라스와 2mm 내지 5mm의 공간을 형성하며, 45°까지 각도 조절이 가능하도록 구성한다.

상기 에어 나이프 유닛(400)을 통해 상기 글라스상에 잔존하는 D.I water(Deionized Water)를 제거한 글라스는 이온 나이저(410)를 통해 상기 글라스에 정전기가 발생하는 것을 방지하고, 열풍 젯(510)을 통해 뜨거운 열기를 공급하며, IR(infra red) 드라이 히터 유닛(500)에 의해 상기 글라스의 물기를 건조하도록 한다. 또한, 상기 열풍 젯(510)과 IR(infra red) 드라이 히터 유닛을 통해 발생하는 열을 열풍 배기구(520)를 통해 배출하도록 구성한다.

상기와 같은 각각의 기능성 세정유닛은 하나의 바디에 일체형으로 형성되어 상기 세정장치의 설치면적을 최소화할 수 있고, 제조 Fab 내의 공간활용을 효율적으로 운영할 수 있으며, 연속적으로 글라스를 세정할 수 있다.

또한, 하나의 바디에 기능성 세정 유닛(엑시머 자외선 조사 유닛(100), 메가소닉 유닛(200), 석션 유닛(220), 샤워 유닛(300), 에어 나이프 유닛(400), IR(infra red) 드라이 히터 유닛(500))을 일체형으로 형성하여 종래의 상기 기능성 세정유닛을 각각의 바디에 형성할 시 발생하는 D.I water(Deionized Water)의 미스트(mist)의 침입으로 인한 파티클 생성과 박테리아의 생성을 방지할 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

본 발명은 하나의 바디에 엑시머 자외선 조사 유닛, 메가소닉 유닛, 샤워 유닛, 에어 나이프 유닛, IR(infra red) 드라이 히터 유닛의 기능성 세정유닛을 일체형으로 형성하여 미세공간에 대한 집적기술의 활용을 통해 상기 세정장치의 설치 면적을 최소화하고, 제조 Fab 내의 공간활용을 효율적으로 운영할 수 있으며, 연속적으로 글라스를 세정할 수 있는 효과가 있다.

또한, 하나의 바디에 기능성 세정유닛을 일체형으로 형성하여 종래의 상기 기능성 세정유닛의 각각에 바디를 형성할 시 발생하는 D.I water(Deionized Water)의 미스트(mist)의 침입으로 인한 파티클 생성과 박테리아의 생성을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 평판 디스플레이의 대형 글라스를 세정하는 평판 디스플레이 제조장치의 세정장치에 있어서,

   반송롤러를 통해 이송한 글라스에 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사 램프와 상기 자외선에서 발생하는 오존을 차단하기 위한 N₂를 공급하는 N₂ 공급부를 형성하여 자외선에 의한 산소의 분해와 분해된 산소이온의 산화력을 이용하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하는 엑시머 자외선 조사 유닛과;

   상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 일측에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛을 통해 유기물을 제거한 글라스에 D.I water(Deionized Water)를 공급하는 D.I water(Deionized Water) 젯과;

   상기 D.I water(Deionized Water)를 공급한 글라스에 진동 발진을 이용하여 글라스 표면에 부착된 파티클을 분리하는 메가소닉 유닛과;

   상기 메가소닉 유닛을 통해 분리된 파티클을 D.I water(Deionized Water) 또는 직수에 의한 고유속 샤워에 의해 상기 글라스에서 제거하는 샤워 유닛과;

   상기 D.I water(Deionized Water) 젯과 샤워 유닛에서 공급된 D.I water(Deionized Water) 또는 직수와 샤워 유닛을 통해 제거된 파티클을 강제 흡입하여 배기하는 석션 유닛과;

   상기 파티클을 제거한 글라스에 잔존하는 D.I water(Deionized Water)를 고압의 CDA(Clean dry air)를 분사하여 건조 제거하는 에어 나이프 유닛과;

   상기 에어 나이프 유닛을 통해 D.I water(Deionized Water)를 제거한 글라스에 열풍 젯을 통해 뜨거운 바람을 공급하고, 상기 글라스상의 물기를 건조시키는 IR(infra red) 드라이 히터 유닛;의 기능성 세정유닛으로 이루어져 상기 기능성 세정유닛이 하나의 바디에 일체형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 엑시머 자외선 조사 유닛과 D.I water(Deionized Water) 젯 사이에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 N₂ 공급부에서 공급된 N₂가 유출되는 것을 방지하는 제1에어 커튼과, 상기 D.I water(Deionized Water) 젯에서 공급하는 D.I water(Deionized Water)가 상기 엑시머 자외선 조사 유닛에 유입되는 것을 방지하기 위한 제2에어 커튼을 형성하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 엑시머 자외선 조사 유닛과 D.I water(Deionized Water) 젯 사이와, 상기 에어 나이프 유닛과 열풍 젯 사이에 상기 글라스가 이동 시 상기 글라스의 표면에 정전기 발생을 방지하는 이온 나이저를 형성하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 엑시머 자외선 조사 유닛은 N₂ 공급부를 통해 공급된 N₂를 배출하기 위한 N₂ 배기구와, 상기 열풍 젯과 IR(infra red) 드라이 히터 유닛을 통해 발생하는 열풍을 배출하기 위한 열풍 배기구를 형성하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 기능성 세정유닛은 PLC(Programmable Logic Controller)에 의해 제어하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.

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