KR20190000865U - 기판세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 세정챔버의 내부에서 분사되는 세정액의 상승기류에 의해 기판의 떨리거나 휘어지는 현상을 방지함으로써 기판의 원활한 이송을 가능하게 하여 공정 불량을 방지할 수 있도록 하는 기판세정장치에 관한 것이다.
본 고안은 기판이 세정되는 공간을 형성하는 세정챔버; 상기 세정챔버의 내부 공간에 배치되고, 상기 기판을 이송시키기 위한 복수개의 슬림형 롤러가 관통 설치된 반송샤프트; 및 상기 세정챔버의 내부 공간에 배치되어 상기 기판을 향해 세정액을 분사시키기 위한 세정모듈;을 포함하고, 상기 슬림형 롤러의 폭은 상기 반송샤프트의 직경보다 작게 형성된 것을 특징으로 하는 기판세정장치를 제공한다.

Description

기판세정장치{SUBSTRATE CLEANING APPARATUS}
본 고안은 기판세정장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 세정챔버의 내부에서 분사되는 세정액의 상승기류에 의해 기판의 떨리거나 휘어지는 현상을 방지함으로써 기판의 원활한 이송을 가능하게 하여 공정 불량을 방지할 수 있도록 하는 기판세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이, 포토 마스크 및 LCD 모니터 등에 사용되는 글래스 기판(이하, 「기판」이라고 한다.)은 감광제 도포, 노광, 현상, 부식, 박리, 세정 및 건조 등의 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 공정들에 있어서 상기 세정공정은 기판에 묻어 있는 이물질 등을 제거하는 공정이다.
한편, 기판은 미세한 먼지(파티클)에 무척 민감하게 반응하는데, 미세한 먼지 하나가 작게는 부품, 크게는 장치의 특성을 좌우하게 된다. 상기와 같은 이유로 인해 평판 디스플레이 제조 공정에서는 파티클을 최소화하는데 주력하고 있으며, 공정 진행 상황에 따라 세정작업을 반복하여 실시하고 있다. 보통 기판은 유리재질이므로 손상되거나 파손되기 쉽다. 특히, 그 표면은 먼지 등과 같은 이물질에 의해 손상되어 스크래치가 발생하기 쉽다.
따라서, 기판의 표면에 부착되어 있는 이물질 등을 제거하는 세정공정은 제품의 품질을 결정하는데 매우 중요한 공정이라 할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판세정장치의 일부 구성을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 종래 기술에 따른 광폭 롤러에 분사되는 세정액의 기류를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 기판세정장치는 기판(S)이 세정되는 공간을 형성하는 세정챔버(미도시)와, 기판(S)을 이송시키기 위한 광폭 롤러(21)가 설치된 반송샤프트(23)와, 세정챔버의 상부에 구비되어 기판(S)을 향하여 세정액을 분사하는 분사노즐(30)을 포함하여 구성된다.
이때, 기판(S)을 안정적으로 이송하기 위해 반송샤프트(23)의 직경보다 큰 폭을 가지도록 형성된 광폭 롤러(21)가 사용된다.
도 2를 참조하면, 종래의 기판세정장치는 세정공정이 시작되면, 분사노즐(30)은 세정액을 기판(S)을 향하는 방향으로 고압 분사하게 되고, 분사된 세정액은 광폭 롤러(21)에 부딪히게 되어 기판(S) 측으로 상향 이동되는 상승기류를 형성하게 된다.
이와 같이 세정챔버의 내부에서 상승기류가 발생하게 되면, 세정챔버의 내부로 유입되는 기판(S)의 선단부와 세정챔버의 외부로 배출되는 기판(S)의 후단부는 상승기류에 의해 기판(S)이 떨리거나 휘어지게 되는 현상이 발생하게 된다.
즉, 기류의 영향에 의해 기판(S)이 떨리거나 휘게 되면, 기판(S)과 광폭 롤러(21)들 간의 충격으로 인해 기판(S)이 손상된다. 이에 따라 기판(S) 처리의 공정 불량을 초래하게 되는 문제가 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2016-0083414호(고안의 명칭 : 액처리 모듈, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 방법, 2016. 07. 12. 공개)
본 고안의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 하부에 슬림형 롤러를 배치하고, 슬림형 롤러 하부에 세정액 흡입유닛을 구비함으로써, 슬림형 롤러 측으로 분사되는 세정액에 대한 상승기류를 제거하여 기판이 떨리거나 휘어지게 되는 현상을 방지할 수 있도록 하는 기판세정장치를 제공하는데 있다.
상술한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 본 고안의 일 실시예에 따른 기판세정장치는 기판이 세정되는 공간을 형성하는 세정챔버; 상기 세정챔버의 내부 공간에 배치되고, 상기 기판을 이송시키기 위한 복수개의 슬림형 롤러가 관통 설치된 반송샤프트; 및 상기 세정챔버의 내부 공간에 배치되어 상기 기판을 향해 세정액을 분사시키기 위한 세정모듈;을 포함하고, 상기 슬림형 롤러의 폭은 상기 반송샤프트의 직경보다 작게 형성된 것을 특징으로 한다.
본 고안의 일 실시예에 따른 기판세정장치는 상기 슬림형 롤러의 하부에 배치되어, 상기 세정모듈로부터 분사되는 상기 세정액을 흡입하여 상기 세정액의 상승기류를 제거하기 위한 세정액 흡입유닛을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 세정액 흡입유닛은, 상기 슬림형 롤러의 하부 영역 중 적어도 일부가 수용되는 흡입챔버; 상기 흡입챔버의 내부 공간과 연통되도록 설치되는 흡입 연결구; 및 상기 흡입 연결구와 연결되어 상기 슬림형 롤러 주변의 세정액을 흡입하기 위해 흡입력을 제공하는 흡입구동원;을 포함할 수 있다.
또한, 상기 세정액 흡입유닛은, 상기 기판이 상기 슬림형 롤러에 진입되기 전에는 흡인력을 높이고, 상기 기판이 상기 슬림형 롤러에 진입된 이후에는 상기 흡인력을 낮추거나 멈출 수 있도록 상기 흡입구동원을 제어하기 위한 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 고안의 다른 실시예에 따른 슬림형 롤러는, 복수개의 단위 롤러; 상기 반송샤프트에 관통된 상태로 설치되고, 일단은 상기 단위 롤러의 일측면에 연결되고 타단은 이웃하는 단위 롤러의 일측면에 연결되어 상기 단위 롤러와 상기 이웃하는 단위 롤러를 연결시키기 위한 연결부재; 및 상기 이웃하는 단위 롤러 사이에 오목하게 형성되어, 상기 단위 롤러들 측으로 분사되는 상기 세정액의 일부를 유입시켜 상기 기판 측으로 비상되는 것을 방지하는 비상 방지홈부;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 단위 롤러들은 상기 반송샤프트와 함께 일체로 회전되는 것을 특징으로 한다.
본 고안에 따른 기판세정장치는 기판의 하부에 슬림형 롤러를 배치하고, 슬림형 롤러의 하부에 세정액 흡입유닛을 구비함으로써, 세정액의 상승기류를 제거할 수 있어, 세정액의 기류에 의한 영향으로 기판이 떨리거나 휘어지는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이에 따라, 기판의 원활한 이송을 가능하게 하여 공정 불량을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 고안은 세정력 흡입유닛에 제어부가 구비된 것에 의해, 세정액 흡입유닛을 선택적으로 제어할 수 있어 세정액 흡입수단을 구동하기 위한 구동전력을 최대한 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 고안은 단위 롤러들 사이에 비상 방지홈부가 형성된 것에 의해 단위 롤러 측으로 분사되는 세정액이 기판 측으로 비상되는 것을 방지함에 따라, 세정액의 기류에 의한 영향으로 기판이 떨리거나 휘어지는 현상을 더욱 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판세정장치의 일부 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 종래 기술에 따른 광폭 롤러에 분사되는 세정액의 기류를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 기판세정장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 샤프트 구동부의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 슬림형 롤러에 분사되는 세정액의 기류를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 기판세정장치의 일부 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 7은 본 고안의 다른 실시예에 따른 슬림형 롤러의 구조를 나타낸 도면이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 고안의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 기판세정장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 샤프트 구동부의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 슬림형 롤러에 분사되는 세정액의 기류를 나타낸 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 기판세정장치는 세정챔버(100)와, 이송유닛(200) 및 세정모듈(300)을 포함할 수 있다.
상기 세정챔버(100)는 내부에 세정액을 사용하여 기판(S)을 처리하는 공간을 제공한다.
도시되지는 않았지만, 상기 세정챔버(100)의 일측에는 기판(S)의 출입이 이루어지는 출입구가 형성되고, 타측에는 기판(S)이 배출이 이루어지는 배출구가 형성될 수 있다.
상기 세정챔버(100)의 하부에는 세정챔버(100) 내부에 설치되는 구성품들을 지지하기 위한 베이스 플레이트(110)가 설치될 수 있다. 이때, 도시되지는 않았지만, 상기 베이스 플레이트(110)에는 세정공정을 마친 세정액과 이에 포함된 이물질을 상기 세정챔버(100) 외부로 부출하기 위한 배기구가 설치될 수 있다.
상기 베이스 플레이트(110)의 상면에는 후술하는 반송샤프트(230) 및 세정액 흡입유닛(500)을 설치하기 위한 한쌍의 설치 프레임(120)이 설치될 수 있다.
상기 이송유닛(200)은 상기 세정챔버(100) 내부에서 기판(S)을 이송시킨다.
이러한 상기 이송유닛(200)은 상기 기판(S)을 이송시키기 위한 복수개의 슬림형 롤러(210)가 관통 설치된 복수개의 반송샤프트(230) 및 상기 복수의 반송샤프트(230)를 회전시키는 샤프트 구동부(250)를 포함할 수 있다.
상기 슬림형 롤러(210)들이 설치된 반송샤프트(230)는 상기 기판(S)이 이송되는 방향을 따라 소정 간격으로 이격된 위치에 복수로 배치되어 기판(S)을 지지하며 회전된다. 이때, 상기 반송샤프트(230)의 양단부는 한쌍의 설치 프레임(120)에 회전 가능하도록 설치될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 이송유닛(200)의 샤프트 구동부(250)는 모터(251)와, 제1 기어(252)와, 회전축(253)과, 제2 기어(254)와, 제3 기어(255) 및 제4 기어(256)를 포함할 수 있다.
즉, 상기 세정챔버(100)의 일측에는 모터(251)가 설치될 수 있으며, 상기 모터(251)의 구동축의 단부에는 제1 기어(252)가 설치될 수 있다.
또한, 상기 설치 프레임(120)의 측면에는 상기 반송샤프트(230)의 배열방향, 즉 반송샤프트(230)가 회전함에 따라 이동하는 기판(S)의 진행방향을 따라 회전축(253)이 설치될 수 있다.
상기 회전축(253)에는 상기 제2 기어(254)가 설치되어, 상기 모터(251)의 구동축 단부에 설치된 상기 제1 기어(252)와 맞물리게 설치될 수 있다.
또한, 상기 반송샤프트(230)에 대응하는 위치의 회전축(253)에는 복수개의 제3 기어(255)가 설치될 수 있으며, 상기 반송샤프트(230)의 단부에는 각각의 제3 기어(255)와 맞물리는 제4 기어(256)가 설치될 수 있다.
이때, 서로 맞물리는 상기 제1 기어(252) 및 제2 기어(254)는 상기 모터(251)의 구동력을 상기 회전축(253)에 전달하고 상기 제3 기어(255) 및 제4 기어(256)는 상기 회전축(253)의 회전력을 상기 반송샤프트(230)에 전달한다.
결과적으로, 상기 모터(251)가 구동함에 따라 상기 모터(251)의 구동축이 회전하면, 상기 구동축의 회전력이 상기 제1 기어(252) 및 제2 기어(254)를 통해 상기 회전축(253)에 전달되며, 상기 회전축(253)의 회전력은 상기 제3 기어(255) 및 제4 기어(256)를 통해 상기 반송샤프트(230)에 전달되어, 상기 반송샤프트(230)에 설치된 슬림형 롤러(210)에 놓인 기판(S)이 이송되는 것이다.
이때, 상기 제1 기어(252) 및 상기 제2 기어(254)는 두 회전축이 서로 수직한 헬리컬기어(helical gear)로서, 2개의 원통상에 나선형상의 나사산을 형성하여 상기 회전축(253)에 회전력을 전달한다. 또한, 상기 제3 기어(255) 및 상기 제4 기어(256) 역시 두 회전축이 서로 수직한 헬리컬기어로 이루어질 수 있다.
한편, 본 고안에 사용되는 기어가 상기와 같은 헬리컬기어에만 한정되는 것은 아니다. 본 고안에서 기어가 사용되는 이유는 서로 수직으로 배치된 축 사이에 회전력을 전달하여 상기 모터(251)의 구동력에 의해 반송샤프트(230)를 회전시키기 위한 것이다.
따라서, 서로 수직하는 축 사이에 회전력을 전달할 수만 있다면 어떠한 기어라도 사용할 수 있을 것이다. 예를 들어, 베벨기어(bevel gear)나 웜기어(worm gear) 역시 모터(251)의 구동력을 반송샤프트(230)에 전달하는 전달수단으로 훌륭하게 적용될 수 있을 것이다. 또한, 기어 이외에 벨트나 체인과 같은 각종의 동력전달장치를 사용할 수도 있을 것이다.
상기 세정모듈(300)은 상기 세정챔버(100)의 내부 공간에 배치되어 상기 기판(S)을 향해 세정액을 분사시켜 상기 기판(S) 표면상에 잔류하는 이물질을 제거한다.
이때, 상기 세정모듈(300)은 상기 기판(S)의 상부면으로 세정액을 분사하기 위한 제1 분사노즐(310) 및 상기 기판(S)의 하부면으로 세정액을 분사하기 위한 제2 분사노즐(330)을 포함할 수 있다.
상기 제1 분사노즐(310)은 상기 기판(S)의 상부를 가로지르는 바(bar) 형상으로 형성되어, 상기 슬림형 롤러(210)들에 의해 일 방향으로 이송되는 상기 기판(S)의 상면에 세정액을 분사하여 상기 기판(S)의 상면에 묻은 이물질을 제거하게 된다. 이때, 상기 제1 분사노즐(310)은 상기 세정액을 토출시키기 위한 복수개의 제1 분사구(311)가 구비될 수 있다.
상기 제2 분사노즐(330)은 상기 세정챔버(100)의 내부에 설치되되, 상기 기판(S)의 하부측에 설치되어 상기 기판(S)의 하부측으로 세정액을 분사하여 기판(S)의 하부에 묻어 있는 이물질을 제거한다. 이때, 상기 제2 분사노즐(330)은 상기 세정액을 토출시키기 위한 복수개의 제2 분사구(331)가 구비될 수 있다.
상기 제2 분사노즐(330)의 구조는 상기 제1 분사노즐(310)의 구조와 동일하여 자세한 설명은 생략하기로 한다.
본 고안의 일 실시예에 따른 상기 슬림형 롤러(210)의 폭(도6의 W)은 상기 반송샤프트(230)의 직경(도6의 D1)보다 작게 형성되는 것이 바람직하며, 상기 슬림형 롤러(210)의 폭(W)은 상기 반송샤프트(230)의 반지름(도6의 D2)보다 작게 형성되는 것이 더욱 바람직하다.
즉, 본 고안의 일 실시예에 따른 상기 슬림형 롤러(210)의 폭(W)을 상기 반송샤프트(230)의 반지름(D2)보다 작게 형성함에 따라, 상기 제1 분사노즐(310)로부터 분사되는 세정액과 상기 슬림형 롤러(210)와 접촉되는 접촉 면적이 작아지게 됨으로써, 도 5에 도시된 바와 같이, 세정액이 상기 슬림형 롤러(210)와 부딪혀 상향 이동되는 상승기류의 비중이 작어지게 된다.
이에 따라, 분사되는 세정액의 상승기류에 의한 영향으로 기판(S)이 떨리거나 휘어지는 현상을 방지할 수 있게 된다.
한편, 상기 슬림형 롤러(210)와 이웃하는 슬림형 롤러(210) 사이에는 비상 방지부(400)가 형성될 수 있다.
상기 비상 방지부(400)는 분사되는 세정액의 일부가 유입될 수 있다.
즉, 상기 비상 방지부(400)로 유입된 상기 일부의 세정액은 상기 슬림형 롤러(210)와 이웃하는 슬림형 롤러(210)의 양 측면에 부딪히게 되어 상기 기판(S) 측으로 비상되는 것을 방지할 수 있어, 세정액의 기류에 의한 영향으로 상기 기판(S)이 떨리거나 휘어지는 현상을 더욱 방지할 수 있게 된다.
도 3 및 도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 기판세정장치의 일부 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다. 이때, 도 6a는 본 고안의 일 실시예에 따른 기판세정장치의 일부 구성을 나타낸 것이고, 도 6b는 도 6a의 A의 부분의 측면을 나타낸 상태에서 세정액 흡입유닛에 의해 세정액이 흡입되면서, 상기 슬림형 롤로 주변의 상승기류가 제거되는 상태를 나타낸 것이다.
도 6을 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 상기 기판(S)세정장치는 세정액 흡입유닛(500)을 더 포함할 수 있다.
상기 세정액 흡입유닛(500)은 상기 슬림형 롤러(210)의 하부에 배치되어, 상기 세정모듈(300)로부터 분사되는 상기 세정액을 흡입하여 상기 세정액의 상승기류를 제거할 수 있다. 이러한 상기 세정액 흡입유닛(500)은 흡입챔버(510)와, 흡입연결구(530) 및 흡입구동원(550)을 포함할 수 있다.
상기 흡입챔버(510)는 상기 슬림형 롤러(210)의 하부 영역 중 적어도 일부가 수용되도록 설치되어 상기 제1 분사노즐(310)에 의해 분사되는 세정액을 수용할 수 있다.
상기 흡입연결구(530)는 상기 흡입챔버(510)의 내부 공간과 연통되도록 설되어 상기 흡입챔버(510)로 유입된 세정액을 외부로 배출시킬 수 있다.
상기 흡입구동원(550)은 상기 흡입연결구(530)와 연결되어 상기 슬림형 롤러(210) 주변의 세정액을 흡입시키기 위한 흡입력을 제공할 수 있다. 이때, 상기 흡입구동원(550)은 흡입펌프 및 흡입팬 등이 사용될 수 있다.
즉, 상기 제1 분사노즐(310)에 의해 분사되는 세정액이 상기 슬림형 롤러(210)들 측으로 분사되면, 상기 분사된 세정액의 일부는 상기 흡입챔버(510)의 내부에 수용되고, 일부는 상기 슬림형 롤러(210)와 부딪히면서 상기 흡입챔버(510) 내부에서 비산되는 현상을 발생하게 된다.
이때, 상기 흡입구동원(550)을 작동시키게 되면 상기 흡입챔버(510)에 수용된 세정액 및 비산된 세정액은 상기 흡입연결구(530)를 통해 외부로 배출시킬 수 있다.
이에 따라, 상기 슬림형 롤러(210) 주변의 세정액에 대한 기류는 종래와 다르게, 하강기류가 발생하게 되어 상기 세정액의 기류에 의해 기판(S)이 떨리거나 휘어지는 현상을 방지할 수 있게 된다.
한편, 도시되지는 않았지만, 상기 세정액 흡입유닛(500)은 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 제어부는 상기 기판(S)이 상기 슬림형 롤러(210)에 진입되기 전에는 상기 세정액 흡입유닛(500)의 흡인력을 높이고, 상기 기판(s)이 상기 슬림형 롤러(210)에 진입된 이후에는 상기 흡인력을 낮추거나 멈출 수 있도록 상기 흡입구동원(550)을 제어할 수 있다.
더욱 구체적으로, 상기 제어부는 상기 기판(S)이 상기 슬림형 롤러(210)에 진입되기 전에는 상기 흡입구동원(550)을 제어하여 상기 슬림형 롤러(210) 주변의 상기 세정액을 흡입하기 위한 흡인력을 높여 상기 슬림형 롤러(210) 주변의 상기 세정액을 완벽히 흡입할 수 있도록 한다.
그러나, 상기 기판(S)이 상기 슬림형 롤러(210)로 진입되어 세정이 이루어지게 되면, 상기 슬림형 롤러의 주변에는 소량의 세정액만 존재하기 때문에 상기 세정액 흡입유닛(500)의 흡인력을 높게 할 필요가 없다. 이때, 상기 제어부를 통해 상기 흡입구동원(550)을 제어하여 흡인력을 낮추거나 멈추게 한다.
즉, 상기 제어부에 의해 상기 세정액 흡입유닛(500)을 선택적으로 제어할 수 있어 상기 세정액 흡입수단(500)을 구동하기 위한 구동전력을 낮출 수 있는 이점이 있다.
지금부터는 본 고안의 일 실시예에 따른 상기 기판세정장치의 작용을 설명하기로 한다.
상기 기판(S)의 세정을 위해 상기 세정챔버(100)로 상기 기판(S)이 유입되면, 상기 세정챔버(100) 내부에 설치된 상기 제1 분사노즐(310) 및 제2 분사노즐(330)로부터 상기 세정액이 분사된다.
상기 기판(S)이 상기 제1 분사노즐(310) 측으로 이송되기 전에는 상기 제1 분사노즐(310)에 의해 분사되는 세정액의 상기 슬림형 롤러(210)들 측으로 분사된다.
이때, 상기 슬림형 롤러(210)들 측으로 분사된 상기 세정액은 상기 슬림형 롤러(210)들과 부딪히면서 상기 세정액 흡입유닛(500)의 상기 흡입챔버(510)에 수용되는 것과 동시에 상기 흡입챔버(510) 내부 즉, 상기 슬림형 롤러(210)들 주변에서 비산된다.
이때, 상기 흡입구동원(550)을 작동시켜 흡입챔버(510) 내부에 수용된 세정액 및 상기 슬림형 롤러(210)들 주면에서 비산된 세정액을 흡입시켜 흡입연결구(530)를 통해 외부로 배출시킨다.
이에 따라, 상기 슬림형 롤러(210)들 주변으로 분사된 세정액은 외부로 배출되면서 상기 슬림형 롤러(210)들 주변에는 하강기류가 발생하게 된다.
결과적으로 상기 기판(S)의 선단부는 상기 세정액의 기류에 의한 영향을 받지 않게 됨에 따라, 상기 기판(S)이 떨리거나 휘어지는 현상을 방지하게 되어 할 수 있기 때문에 상기 기판(S)의 손상을 줄일 수 있게 된다.
이와 동일하게, 상기 기판의 세정이 완료된 상태에서 상기 기판이 배출되는 과정에서도 상기 기판(S)의 후단부는 상기 세정액의 기류에 의한 영향을 받지 않게 되어 상기 기판(S)이 떨리거나 휘어지는 현상을 방지할 수 있다.
이상 상술한 바와 같은, 본 고안의 따른 상기 기판세정장치는 상기 기판의 하부에 슬림형 롤러(210)를 배치하고, 상기 슬림형 롤러(210)의 하부에 세정액 흡입유닛(500)을 구비함으로써, 세정액의 상승기류를 제거할 수 있어, 세정액의 기류에 의한 영향으로 상기 기판(S)이 떨리거나 휘어지는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다. 이에 따라, 상기 기판(S)의 원활한 이송을 가능하게 하여 공정 불량을 최소화할 수 있다.
도 7은 본 고안의 다른 실시예에 따른 슬림형 롤러(600)의 구조를 나타낸 도면이다.
지금부터는 본 고안의 다른 실시예에 따른 슬림형 롤러(600)에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 7을 참조하면, 본 고안의 다른 실시예에 따른 슬림형 롤러(600)는 복수개의 단위 롤러(610)와, 연결부재(630) 및 비상 방지홈부(650)를 포함할 수 있다.
본 고안의 일 실시예에서의 상기 슬림형 롤러(210)는 각각의 상기 슬림형 롤러(210)를 제작하여 반송샤프트(230)에 결합시킨 구조를 제시하였으나, 본 고안의 다른 실시예에 따른 상기 슬림형 롤러(600)는 후술하는 연결부재(630)에 의해 연결된 상기 단위 롤러(610)들을 제작하여 상기 단위 롤러(610)들을 상기 반송샤프트(230)에 결합시킨 구조를 제시한다.
즉, 본 고안의 실시예에 따른 슬림형 롤러(210)는 상기 복수개의 단위 롤러(610)가 상기 연결부재(630)에 의해 연결되도록 형성될 수 있다.
이때, 상기 연결부재(630)의 일단은 상기 단위 롤러(610)의 일측면에 연결되고 타단은 이웃하는 단위 롤러(610)의 일측면에 연결되어 상기 단위 롤러(610)와 상기 이웃하는 단위 롤러(610)를 연결시킬 수 있다.
상기 연결부재(630)는 상기 각 단위 롤러와 함께 상기 반송샤프트(230)에 관통된 상태로 결합되고, 상기 단위 롤러(610)들은 상기 반송샤프트(230)와 함께 일체로 회전될 수 있다.
상기 비상 방지홈부(650)는 상기 이웃하는 단위 롤러(610) 사이에 오목하게 형성되어, 상기 단위 롤러(610)들 측으로 분사되는 상기 세정액의 일부를 유입시켜 상기 기판(S) 측으로 비상되는 것을 방지한다.
즉, 상기 비상 방지홈부(650)로 유입된 상기 일부의 세정액은 상기 단위 롤러(610)와 이웃하는 단위 롤러(610)의 양 측면에 부딪히게 되어 상기 기판(S) 측으로 비상되는 것을 방지할 수 있어, 비상되는 세정액에 의한 영향으로 상기 기판(S)이 떨리거나 휘어지는 현상을 방지할 수 있게 된다.
이상 상술한 바와 같은, 본 고안의 다른 실시예에 따른 상기 기판세정장치는 상기 단위 롤러(610)들 사이에 상기 비상 방지홈부(650)가 형성된 것에 의해 상기 단위 롤러(610)들 측으로 분사되는 상기 세정액이 상기 기판(S) 측으로 비상되는 것을 방지함에 따라, 세정액의 기류에 의한 영향으로 상기 기판(S)이 떨리거나 휘어지는 현상을 더욱 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100: 세정챔버 110: 베이스 플레이트
120: 설치 프레임 200: 이송유닛
210: 슬림형 롤러 230: 반송 샤프트
250: 샤프트 구동부 251: 모터
252: 제1 기어 253: 회전축
254: 제2 기어 255: 제3 기어
256: 제4 기어 300: 세정모듈
310: 제1 분사노즐 311: 제1 분사구
330: 제2 분사노즐 331: 제2 분사구
400: 비상 방지부 500: 세정액 흡입유닛
510: 흡입챔버 530: 흡입연결구
550: 흡입구동원 600: 슬림형 롤러
610: 단위 롤러 630: 연결부재
650: 비상 방지홈부

Claims (6)

  1. 기판이 세정되는 공간을 형성하는 세정챔버;
    상기 세정챔버의 내부 공간에 배치되고, 상기 기판을 이송시키기 위한 복수개의 슬림형 롤러가 관통 설치된 반송샤프트; 및
    상기 세정챔버의 내부 공간에 배치되어 상기 기판을 향해 세정액을 분사시키기 위한 세정모듈;을 포함하고,
    상기 슬림형 롤러의 폭은 상기 반송샤프트의 직경보다 작게 형성된 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 슬림형 롤러의 하부에 배치되어, 상기 세정모듈로부터 분사되는 상기 세정액을 흡입하여 상기 세정액의 상승기류를 제거하기 위한 세정액 흡입유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 세정액 흡입유닛은,
    상기 슬림형 롤러의 하부 영역 중 적어도 일부가 수용되는 흡입챔버;
    상기 흡입챔버의 내부 공간과 연통되도록 설치되는 흡입 연결구; 및
    상기 흡입 연결구와 연결되어 상기 슬림형 롤러 주변의 세정액을 흡입하기 위해 흡입력을 제공하는 흡입구동원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 세정액 흡입유닛은,
    상기 기판이 상기 슬림형 롤러에 진입되기 전에는 흡인력을 높이고, 상기 기판이 상기 슬림형 롤러에 진입된 이후에는 상기 흡인력을 낮추거나 멈출 수 있도록 상기 흡입구동원을 제어하기 위한 제어부를 더 포함하는 기판세정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 슬림형 롤러는,
    복수개의 단위 롤러;
    상기 반송샤프트에 관통된 상태로 설치되고, 일단은 상기 단위 롤러의 일측면에 연결되고 타단은 이웃하는 단위 롤러의 일측면에 연결되어 상기 단위 롤러와 상기 이웃하는 단위 롤러를 연결시키기 위한 연결부재; 및
    상기 이웃하는 단위 롤러 사이에 오목하게 형성되어, 상기 단위 롤러들 측으로 분사되는 상기 세정액의 일부를 유입시켜 상기 기판 측으로 비상되는 것을 방지하는 비상 방지홈부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 단위 롤러들은 상기 반송샤프트와 함께 일체로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
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