JP2005230723A

JP2005230723A - 基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽

Info

Publication number: JP2005230723A
Application number: JP2004044596A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Shinozuka; 保志篠塚; Takashi Ishigami; 敬志石神; Tatsuo Kataoka; 辰雄片岡
Original assignee: SPC Electronics Corp
Current assignee: SPC Electronics Corp
Priority date: 2004-02-20
Filing date: 2004-02-20
Publication date: 2005-09-02

Abstract

【課題】処理槽内でガラス基板が割れて底面に落ちたガラス破片を安全で且つ容易に短時間で取出せる基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽を提供する。
【解決手段】搬送ローラ１１、２１でガラス基板１を搬送しながら洗浄及び乾燥する基板処理装置であって、ガラス基板１を搬入して表面に洗浄液を噴射して洗浄するノズル１２を有してこの底面に洗浄液を排出する排出管１３を備えた洗浄槽１０と、この洗浄槽１０から洗浄後のガラス基板１を搬入して表面に付着した洗浄液を乾燥させる乾燥手段２２を有して底面に吸気用の吸気管２３を備えた乾燥槽２０とを備え、排出管１３及び吸気管２３に各々側部から横切って抜き差しする少なくとも一部底面をアミ状に形成した籠部材１４、２４を有し、この籠部材１４、２４が洗浄槽１０及び乾燥槽２０から排出されるガラス基板１の割れたガラス破片を収集して容易に取り出せるように設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽に係り、より詳細には、例えば、ＬＣＤ、ＰＤＰ、ＬＴＰＳ−ＴＦＴなどのＦＰＤ（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）用のガラス基板を搬送ローラにより搬入して洗浄及び乾燥する基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽に関する。

従来、基板処理装置は、例えば、ＬＣＤ、ＰＤＰ、ＬＴＰＳ−ＴＦＴなどのＦＰＤ用のガラス基板を、枚葉式に搬送ローラで処理槽内に搬送して順次洗浄及び乾燥する構造がよく知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特開２００３−２８２５２５号公報

前者の装置による例を、図５を参照して説明する。図５は、従来の基板処理装置の一実施形態を示す構成図である。図５に示すように、従来の基板処理装置は、ＦＰＤ用のガラス基板１を収納して洗浄及び乾燥する処理槽３と、この処理槽３内に回転自在に複数配列してガラス基板１を搬送する搬送ローラ３１、４１とを備えている。そして、処理槽３は、洗浄槽３０と乾燥槽４０とに各々仕切られており、この各槽の底面３０ａ、４０ａを傾斜する傾斜面に形成している。そして、この処理槽３は、洗浄槽３０の底面３０ａにガラス基板１を処理した洗浄液を排出する排出管３３を接続するとともに、他方の乾燥槽４０の底面４０ａに吸気用の吸気管４３を接続している。

ここで、洗浄槽３０は、搬送ローラ３１により槽内に搬送されたガラス基板１の表裏両面に洗浄液、例えば、純水を吹付けるノズル３２をそれぞれ複数設けて槽内での洗浄を可能にしている。一方、乾燥槽４０は、乾燥手段４２としてエアーナイフ４２ａと排気ダクト４２ｂとをガラス基板１の表裏面に近接させて設けており、このエアーナイフ４２ａで洗浄後の基板表面に付着した洗浄液を排気ダクト４２ｂに向かって吹き飛ばすとともに、この吹き飛ばした洗浄液を排気ダクト４２ｂが吸引して槽外に排出する。

ところで、洗浄槽３０は、処理後の洗浄液を排出管３３の終端でポンプ（図示せす）を介して循環させて濾過することで再利用している。また、乾燥槽４０は、洗浄槽３０と同様に、吸気管４３の終端に吸気用のポンプ（図示せず）を接続して吸気している。従って、各槽内でガラス基板１が割れてしまった場合、そのガラス破片が排出管３３または吸気管４３に入り込み、特に、ポンプに悪影響を与える可能性がある。そこで、従来の基板処理装置では、図５に示したように、槽内の底面に接続した排出管３３及び吸気管４３の入口にＳＵＳ製の金アミ３４、４４を各々設けることにより、ガラス基板１の割れたガラス破片が入り込むことを防止していた。

しかしながら、従来の基板処理装置では、処理槽３内の底面３０ａ、４０ａに落ちたガラス破片を作業者が槽上部から身を乗り出してひとつひとつ手を伸ばして全て取り出すため、作業が非常に難しく時間と労力がかかるとともに、処理するガラス基板１のサイズが大きくなると取り出すことも困難になるという不具合があった。
また、従来の基板処理装置では、処理槽３内の底面３０ａ、４０ａに落ちたガラス破片は洗浄液などで濡れており、底面３０ａ、４０ａの傾斜している平面に貼り付いてしまい、作業者が槽上部から取り出すことが困難であり、この取出し時にガラスの破片で怪我をする可能性もあるという不具合があった。

本発明はこのような課題を解決し、処理槽内でガラス基板が割れて底面に落ちたガラス破片を安全で且つ容易に短時間で取出すことができる基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並び乾燥槽を提供することを目的とする。

本発明は上述の課題を解決するために、搬送ローラでガラス基板を搬送しながら洗浄及び乾燥する基板処理装置であって、ガラス基板を搬入して表面に洗浄液を噴射して洗浄するノズルを有してこの底面にガラス基板を洗浄した洗浄液を排出する排出管を備えた洗浄槽と、この洗浄槽から洗浄後のガラス基板を搬入して表面に付着した洗浄液を乾燥させる乾燥手段を有してこの底面に吸気用の吸気管を備えた乾燥槽とを備え、排出管及び吸気管に各々側部から横切って抜き差しする少なくとも一部底面をアミ状に形成した籠部材を有し、この籠部材が洗浄槽及び乾燥槽から排出されるガラス基板の割れたガラス破片を収集して容易に取り出せるように設ける。

ここで、洗浄槽及び乾燥槽の各底面は、平坦な平面または排出管及び吸気管に向かって下方に傾斜する傾斜面に形成することが好ましい。また、平面または傾斜面には、表面が波状の凹凸を有した凹凸面を形成することが好ましい。また、洗浄槽は、排出管の終端に接続して排出した洗浄液を収容するタンクと、このタンク内の洗浄液を循環させて濾過して再利用するポンプとを備えることが好ましい。また、籠部材は、ガラス破片を収集するように凹状に形成され、この収集したガラス破片により凹状内のアミ状底面が塞がれないように中心部を上方に突出させた突出部を設ける。また、籠部材は、アミ状部分をＳＵＳ製からなる金アミにより形成することが好ましい。

また、上述の課題を解決するために、遮蔽した空間内に搬送ローラでガラス基板を搬送しながら洗浄する基板処理装置に用いる洗浄槽は、遮蔽空間内にガラス基板を搬入して表面に洗浄液を噴射して洗浄するノズルと、このノズル下方の遮蔽した内部底面にガラス基板を洗浄した洗浄液を排出する排出管とを備え、この排出管に側部から横切って抜き差しする少なくとも一部底面をアミ状に形成した籠部材を有し、この籠部材が排出管に排出した洗浄液を透過してガラス基板の割れたガラス破片を収集して容易に取り出せるように設ける。

ここで、遮蔽空間内の底面は、平坦な平面または排出管に向かって下方に傾斜する傾斜面に形成することが好ましい。また、平面または傾斜面には、表面が波状の凹凸を有した凹凸面を形成することが好ましい。また、排出管には、終端に接続して排出した洗浄液を収容するタンクと、このタンク内の洗浄液を循環させて濾過して再利用するポンプとを備えることが好ましい。また、籠部材は、ガラス破片を収集するように凹状に形成され、この収集したガラス破片により凹状内のアミ状底面が塞がれないように中心部を上方に突出させた突出部を設けることが好ましい。また、籠部材は、アミ状部分をＳＵＳ製からなる金アミにより形成することが好ましい。

さらに、上述の課題を解決するために、遮蔽した空間内に搬送ローラでガラス基板を搬送しながら乾燥する基板処理装置に用いる乾燥槽は、遮蔽空間内にガラス基板を搬入して洗浄後の表面に付着した洗浄液を乾燥させる乾燥手段と、この乾燥手段下方の遮蔽した内部底面に吸気用の吸気管とを備え、この吸気管に側部から横切って抜き差しする少なくとも一部底面をアミ状に形成した籠部材を有し、この籠部材が吸気管に排出したガラス基板の割れたガラス破片を収集して容易に取り出せるように設ける。

ここで、遮蔽空間内の底面は、平坦な平面または吸気管に向かって下方に傾斜する傾斜面に形成することが好ましい。また、平面または傾斜面には、表面が波状の凹凸を有した凹凸面を形成することが好ましい。また、吸気管には、終端に接続して遮蔽空間内の空気を吸気する吸気用のポンプを接続することが好ましい。また、籠部材は、ガラス破片を収集するように凹状に形成され、この収集したガラス破片により凹状内のアミ状底面が塞がれないように中心部を上方に突出させた突出部を設けることが好ましい。また、籠部材は、アミ状部分をＳＵＳ製からなる金アミにより形成することが好ましい。

以上詳細に説明したように本発明による基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽によれば、槽内の底面に割れて落ちたガラス基板のガラス破片を排出管（又は吸気管）内に落とすことで籠部材により容易に取出すことができるため、作業者が槽上部から取出す必要がなくメンテナンス時間を短縮でき、処理するガラス基板のサイズに関係なく容易に取出すことが可能になる。
また、本発明による基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽によれば、上述したように槽底面に落ちたガラス破片を排出管（又は吸気管）内の籠部材に集めて容易に取出せるため、この取出し時に作業者がガラスの破片で怪我をすることなく安全に取出すことができる。

次に、添付図面を参照して本発明による基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明による基板処理装置の一実施形態を示した構成図である。また、図２は、図１に示した基板処理装置の外観を示す外観図である。また、図３は、図１に示した籠部材１４を抜差しする取付け構造を示す図である。また、図４は、図３に示した籠部材１４の構造を示す図である。

図１に示すように、本発明による基板処理装置の一実施形態及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽は、図５に示した従来技術と同様に、ＦＰＤ用のガラス基板１を収納して洗浄及び乾燥する処理槽２と、この処理槽２内に回転自在に複数配列してガラス基板１を搬送する搬送ローラ１１、２１とを備えている。そして、処理槽２は、搬送ローラ１１、２１で搬入したガラス基板１を遮蔽した空間内に収納してノズル１２から洗浄液を噴射させて洗浄する洗浄槽１０と、この洗浄後のガラス基板１を更なる遮蔽した空間内に搬入して表面に付着した洗浄液を乾燥手段２２により乾燥させる乾燥槽２０とを各々仕切って一体に連設している。また、処理槽２は、槽内の各底面１０ａ、２０ａを傾斜する傾斜面に形成しており、洗浄槽１０の底面１０ａにはガラス基板１を処理した洗浄液を排出する排出管１３を、他方の乾燥槽２０の底面２０ａには吸気用の吸気管２３を各々接続している。即ち、洗浄槽１０及び乾燥槽２０の各底面１０ａ、２０ａは、排出管１３及び吸気管２３に向かって下方に傾斜して洗浄液等の排出物を集めて容易に排出できる傾斜面に形成している。この際、洗浄槽１０及び乾燥槽２０の各底面１０ａ、２０ａは、傾斜させることに限定するものではなく、例えば、平坦な平面でも良い。

ここで、本発明による基板処理装置に用いる洗浄槽１０は、図５に示した従来技術とは異なり、排出管１３の終端に接続して排出した洗浄液を収容するタンク１５と、洗浄槽１０とタンク１５とを連結する排出管１３に抜き差しする籠部材１４とを備えている。この籠部材１４は、図２に示すように、排出管１３に側部から横切って抜き差しするように取付けられている。この際、排出管１３には、図３に示すように、籠部材１４を側部で抜差しするための開口穴１３ａが設けられており、この開口穴１３ａに籠部材１４を挿入した後にパッキン１６及びフタ１７を装着して封止している。また、籠部材１４は、図４に示すように、上部が開口して側面及び底面を有した箱状に設けられ、この一部底面をＳＵＳ製からなる金アミによりアミ状に形成し、洗浄槽１０から排出される洗浄液を透過してガラス基板１の割れたガラス破片のみを収集できるように設けられている。この際、籠部材１４は、一部底面をアミ状に形成することに限定されるものではなく、例えば、側面及び底面の全てをアミ状に形成することも可能である。

また、籠部材１４は、図４に示したように、前述した側面及び底面を備えてガラス破片を収集し易いように凹状に形成ており、この収集したガラス破片により凹状内のアミ状底面が塞がれないように中心部を上方にコ字状に突出させた突出部１４ａを設けている。この際、突出部１４ａは、コ字状に突出することに限定されるものではなく、例えば、鋭利状、円弧状、波状などの形状に突出させることも可能である。そして、洗浄槽１０内では、図１に示した搬送ローラ１１上でガラス基板１が割れた場合、ガラス破片が槽内の底面１０ａに落下して傾斜した斜面に沿って籠部材１４内に収集され、その後、排出管１３の側部から籠部材１４を引出すことで容易にガラス破片を取出すことができる。ここで、洗浄槽１０内の傾斜した底面１０ａには、図１に示したように、表面が波状の凹凸を有した凹凸面１０ｂを形成している。これにより洗浄槽１０内の底面１０ａに落ちて残留する濡れたガラス破片は、波状の凹凸を有した凹凸面１０ｂにより表面に貼り付くことを防止でき、作業者が槽上部から籠部材１４内まで容易に且つ安全に集めることが可能になる。

一方、本発明による基板処理装置に用いる乾燥槽２０は、図１に示したように、ガラス基板１を洗浄後に搬入して表面に付着した洗浄液を乾燥するために洗浄槽１０に連設しており、図５に示した従来技術のようにエアーナイフ、排気ダクトなどの乾燥手段２２を備えて槽内に搬入するガラス基板１の表裏面に近接させて設けている。また、乾燥槽２０は、洗浄槽１０と同様に、槽内で傾斜した底面２０ａに濡れたガラス破片が貼り付かないように波状の凹凸を有した凹凸面２０ｂを形成している。そして、この底面２０ａが傾斜する下端には、槽内で発生するミストまたは水滴などを吸引する吸気用の吸気管２３を有しており、この吸気管２３に新たな籠部材２４を取付けて抜差し可能に取付けている。この籠部材２４は、図３及び４に示した洗浄槽１０に用いる籠部材１４と同じ構成要素であり、重複する説明は省略する。このように本実施の形態では、処理槽２を形成する洗浄槽１０及び乾燥槽２０に各々籠部材１４、２４を設けることで、ガラス基板１が割れた場合でも槽内からガラス破片を容易に取出すことが可能になる。

次に、このように形成された本発明による基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽の一実施形態を用いて洗浄及び乾燥する動作を詳細に説明する。本実施の形態は、まず、図１に示した洗浄槽１０の側部からガラス基板１を搬入して槽内で搬送ローラ１１が搬送する間にノズル１２から洗浄液を噴射して洗浄する。ここで、槽内でガラス基板１が割れてしまった場合、搬送ローラ１１上に残る大きなガラス破片が搬送されて搬出口に引っ掛からないように、一旦、ラインを止めてガラス破片の除去作業を行う。

この際、本実施の形態では、従来技術のように槽上部から作業者が割れたガラス破片をひとつひとつ除去するのではなく、搬送ローラ１１上に残った大きなガラス破片を意図的に小さく割って槽底面まで落としてしまう。そして、洗浄槽１０内では、凹凸面１０ａの上部に落下したガラスの破片を、作業者が槽上部から排出管１３の近傍まで移動させて管内に全て落とすことで、このガラス破片が排出管１３を横切る籠部材１４内に集められ、この籠部材１３を排出管１３から引出すことによりガラス破片をまとめて取出すことができる。以後、再び搬送ロ―ラ１１を駆動してガラス基板１を洗浄槽１０内に搬送し、順次、枚様式に洗浄する。

一方、乾燥槽２０では、洗浄槽１０から洗浄後のガラス基板１を搬入して乾燥しており、この際にガラス基板１が割れた場合、上述した洗浄槽１０と同様に、ラインを止めて搬送ローラ２１上に残った大きなガラス破片を意図的割って籠部材２４内に収集する。その後、搬送ロ―ラ２１を再び駆動して洗浄槽１０から洗浄後のガラス基板１を順次、枚様式に搬送し、乾燥手段２２により乾燥することで処理槽２での洗浄乾燥工程を完了する。

このように、本発明による基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽の一実施形態によると、洗浄槽１０及び乾燥槽２０内の底面１０ａ、２０ａに割れて落ちたガラス基板１のガラス破片を排出管１３または吸気管２３内に集めて落とすことで籠部材１４、２４により容易に取出すことができるため、作業者が槽上部から取出す必要がなくメンテナンス時間を短縮でき、処理するガラス基板１のサイズに関係なく容易に取出すことが可能になる。

また、本発明による基板処理装置の一実施形態及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽の一実施形態によると、上述したように洗浄槽１０と乾燥槽２０との底面１０ａ、２０ａに落ちたガラス破片を籠部材１４、２４に集めて容易に取出せるため、この取出し時に作業者がガラスの破片で怪我をすることなく安全に取出すことができる。また、洗浄槽１０及び乾燥槽２０の底面１０ａ、２０ａには、波状の凹凸を有した凹凸面１０ｂ、２０ｂを形成しているため、この凹凸面１０ｂ、２０ｂにガラス破片が貼り付くことを防止でき、より効果的に作業者が怪我することなく安全に取出すことができる。

以上、本発明による基板処理装置及びそれに用いる洗浄槽並びに乾燥槽の実施形態を詳細に説明したが、本発明は前述した実施の形態に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、洗浄槽と乾燥槽との排出管及び吸気管に各々籠部材を設けた実施例を詳細に説明したが、これに限定されるものではなく、ガラス基板が最初に搬入される洗浄槽に籠部材を設け、他方の乾燥槽には従来技術と同様の金アミを設けることで、部品を削減してコストを低減することも可能である。

本発明による基板処理装置の一実施形態を示した構成図。図１に示した基板処理装置の外観を示す外観図。図１に示した籠部材を抜差しする取付け構造を示す図。図３に示した籠部材の構造を示す図。従来の基板処理装置の一実施形態を示す構成図。

符号の説明

１ガラス基板
２処理槽
１０洗浄槽
１０ａ底面
１０ｂ凹凸面
１１搬送ローラ
１２ノズル
１３排出管
１４籠部材
１５タンク
２０乾燥槽
２０ａ底面
２０ｂ凹凸面
２１搬送ローラ
２２乾燥手段
２３吸気管
２４籠部材

Claims

搬送ローラでガラス基板を搬送しながら洗浄及び乾燥する基板処理装置において、
前記ガラス基板を搬入して表面に洗浄液を噴射して洗浄するノズルを有し、この底面に前記ガラス基板を洗浄した洗浄液を排出する排出管を備えた洗浄槽と、
前記洗浄槽から洗浄後の前記ガラス基板を搬入して表面に付着した洗浄液を乾燥させる乾燥手段を有し、この底面に吸気用の吸気管を備えた乾燥槽とを備え、
前記排出管及び吸気管に各々側部から横切って抜き差しする少なくとも一部底面をアミ状に形成した籠部材を有し、この籠部材が前記洗浄槽及び乾燥槽から排出される前記ガラス基板の割れたガラス破片を収集して容易に取り出せるように設けたことを特徴とする基板処理装置。
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記洗浄槽及び乾燥槽の各底面は、平坦な平面または前記排出管及び前記吸気管に向かって下方に傾斜する傾斜面に形成したことを特徴する基板処理装置。
請求項２に記載の基板処理装置において、
前記平面または傾斜面には、表面が波状の凹凸を有した凹凸面を形成することを特徴とする基板処理装置。
請求項１乃至３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記洗浄槽は、前記排出管の終端に接続して排出した洗浄液を収容するタンクと、このタンク内の洗浄液を循環させて濾過して再利用するポンプとを備えたことを特徴とする基板処理装置。
請求項１乃至４のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記籠部材は、前記ガラス破片を収集するように凹状（籠状）に形成され、この収集したガラス破片により前記凹状内のアミ状底面が塞がれないように中心部を上方に突出させた突出部を設けたことを特徴とする基板処理装置。
請求項１乃至５のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記籠部材は、前記アミ状部分をＳＵＳ製からなる金アミにより形成することを特徴とする基板処理装置。
遮蔽した空間内に搬送ローラでガラス基板を搬送しながら洗浄する基板処理装置に用いる洗浄槽おいて、
前記遮蔽空間内にガラス基板を搬入して表面に洗浄液を噴射して洗浄するノズルと、
前記ノズル下方の遮蔽した内部底面に前記ガラス基板を洗浄した洗浄液を排出する排出管とを備え、
前記排出管に側部から横切って抜き差しする少なくとも一部底面をアミ状に形成した籠部材を有し、この籠部材が前記排出管に排出した前記洗浄液を透過して前記ガラス基板の割れたガラス破片を収集して容易に取り出せるように設けたことを特徴とする基板処理装置に用いる洗浄槽。
請求項７に記載の基板処理装置に用いる洗浄槽において、
前記遮蔽空間内の底面は、平坦な平面または前記排出管に向かって下方に傾斜する傾斜面に形成したことを特徴する基板処理装置に用いる洗浄槽。
請求項８に記載の基板処理装置に用いる洗浄槽において、
前記平面または傾斜面には、表面が波状の凹凸を有した凹凸面を形成することを特徴とする基板処理装置に用いる洗浄槽。
請求項７乃至９のいずれかに記載の基板処理装置に用いる洗浄槽において、
前記排出管には、終端に接続して排出した洗浄液を収容するタンクと、このタンク内の洗浄液を循環させて濾過して再利用するポンプとを備えたことを特徴とする基板処理装置に用いる洗浄槽。
請求項７乃至１０のいずれかに記載の基板処理装置に用いる洗浄槽において、
前記籠部材は、前記ガラス破片を収集するように凹状（籠状）に形成され、この収集したガラス破片により前記凹状内のアミ状底面が塞がれないように中心部を上方に突出させた突出部を設けたことを特徴とする基板処理装置に用いる洗浄槽。
請求項７乃至１１のいずれかに記載の基板処理装置に用いる洗浄槽において、
前記籠部材は、前記アミ状部分をＳＵＳ製からなる金アミにより形成することを特徴とする基板処理装置に用いる洗浄槽。
遮蔽した空間内に搬送ローラでガラス基板を搬送しながら乾燥する基板処理装置に用いる乾燥槽おいて、
前記遮蔽空間内にガラス基板を搬入して洗浄後の表面に付着した洗浄液を乾燥させる乾燥手段と、
前記乾燥手段下方の遮蔽した内部底面に吸気用の吸気管とを備え、
前記吸気管に側部から横切って抜き差しする少なくとも一部底面をアミ状に形成した籠部材を有し、この籠部材が前記吸気管に排出した前記ガラス基板の割れたガラス破片を収集して容易に取り出せるように設けたことを特徴とする基板処理装置に用いる乾燥槽。
請求項１３に記載の基板処理装置に用いる乾燥槽において、
前記遮蔽空間内の底面は、平坦な平面または前記吸気管に向かって下方に傾斜する傾斜面に形成したことを特徴する基板処理装置に用いる乾燥槽。
請求項１４に記載の基板処理装置に用いる乾燥槽において、
前記平面または傾斜面には、表面が波状の凹凸を有した凹凸面を形成することを特徴とする基板処理装置に用いる乾燥槽。
請求項１３乃至１５のいずれかに記載の基板処理装置に用いる乾燥槽において、
前記吸気管には、終端に接続して前記遮蔽空間内の空気を吸気する吸気用のポンプを接続していることを特徴とする基板処理装置に用いる乾燥槽。
請求項１３乃至１６のいずれかに記載の基板処理装置に用いる洗浄槽において、
前記籠部材は、前記ガラス破片を収集するように凹状（籠状）に形成され、この収集したガラス破片により前記凹状内のアミ状底面が塞がれないように中心部を上方に突出させた突出部を設けたことを特徴とする基板処理装置に用いる洗浄槽。
請求項１３乃至１７のいずれかに記載の基板処理装置に用いる洗浄槽において、
前記籠部材は、前記アミ状部分をＳＵＳ製からなる金アミにより形成することを特徴とする基板処理装置に用いる洗浄槽。