TW201945122A - 防止污染物質飛散及再附著的基板拋光裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明係有關於基板拋光裝置，更具體地說，係有關於一種能夠防止拋光水或拋光粉殘留或附著到基板的基板拋光裝置。本發明的基板拋光裝置包括：桌臺，用於放置基板；拋光輪，拋光基板的上部棱角和下部棱角；輪罩，圍住所述拋光輪，正面形成開口部而使得基板接觸所述拋光輪；氣動裝置，排出所述輪罩內部的氣體；以及水幕噴嘴(water curtain nozzle)，設置於所述開口部的上部或下部。

Description

防止污染物質飛散及再附著的基板拋光裝置
本發明係有關於基板拋光裝置，更具體地說，係有關於能夠防止拋光粉附著到基板的基板拋光裝置。
通常，需要將LCD或OLED等平板顯示器面板或者LCD顯示器所具有的導光板(Light Guiding Plate)等切割成所需大小來使用。
以下將原板、玻璃基板、導光板及面板等加工對象統稱為基板。
需要對被切割的基板的棱角進行拋光的過程，而圖1及圖2示出現有的基板拋光裝置。
圖1及圖2是現有的多輪式基板拋光裝置。如圖所示，具有相對設置的兩個上部輪20a，20b和一個下部輪30，在所述兩個上部輪20a，20b之間的空間，以一部分重疊地設置下部輪30，能夠同時拋光基板S的上部和下部的棱角。
另外，當拋光基板S的棱角時，會產生拋光粉。這樣產生的拋光粉會附著到基板的表面而污染基板。並且，拋光過程中噴射的拋光水會殘留在基板上而污染基板。
因此，根據現有技術，在拋光基板的棱角後，為了去除拋光粉和殘留的拋光水，清洗及乾燥過程是必需的。
本發明的目的在於提供一種能夠防止基板拋光中產生的拋光粉附著到基板的基板拋光裝置。
本發明的另一目的在於提供一種能夠防止拋光水殘留在基板上的基板拋光裝置。
用於解決如上所述的技術問題的本發明的基板拋光裝置包括：桌臺，用於放置基板；拋光輪，拋光基板的上部棱角和下部棱角；輪罩，圍住所述拋光輪，正面形成開口部而使得基板接觸所述拋光輪；氣動裝置，排出所述輪罩內部的氣體；以及水幕噴嘴(water curtain nozzle)，設置於所述開口部的上部或下部。
並且，較佳地，包括設置於所述開口部的上部或下部的氣幕噴嘴(air curtain nozzle)。
並且，較佳地，在所述輪罩的進入部側壁或排出部側壁具有從上部或下部向基板噴水的水幕噴嘴或噴射空氣的氣幕噴嘴中的其中一個或多個。
並且，較佳地，在所述輪罩的排出部側壁還具有氣刀(air knife)。
本發明的另一基板拋光裝置包括：桌臺，用於放置基板；拋光輪，拋光基板的側面；輪罩，圍住所述拋光輪，正面形成開口部而使得基板接觸所述拋光輪；氣動裝置，排出所述輪罩內部的氣體；以及水幕噴嘴(water curtain nozzle)，設置於所述開口部的上部或下部。
並且，較佳地，包括設置於所述開口部的上部或下部的氣幕噴嘴(air curtain nozzle)。
並且，較佳地，所述水幕噴嘴及氣幕噴嘴形成在所述輪罩的側壁厚度。
並且，較佳地，所述氣幕噴嘴比所述水幕噴嘴更靠近外側而形成。
20a‧‧‧上部輪
20b‧‧‧上部輪
30‧‧‧下部輪
100‧‧‧第一實施例
110‧‧‧拋光輪
120‧‧‧輪罩
121‧‧‧開口部
122‧‧‧狹縫
123‧‧‧側壁
130‧‧‧水幕噴嘴
130a‧‧‧水幕噴嘴
130b‧‧‧水幕噴嘴
131‧‧‧噴射孔
140‧‧‧水幕噴嘴
141‧‧‧噴射孔
142‧‧‧噴射孔
150‧‧‧水幕噴嘴
151‧‧‧噴射孔
152‧‧‧噴射孔
160‧‧‧氣刀
170‧‧‧氣動裝置
200‧‧‧第二實施例
210‧‧‧拋光輪
220‧‧‧輪罩
221‧‧‧開口部
222a‧‧‧氣幕噴嘴
222b‧‧‧氣幕噴嘴
223a‧‧‧水幕噴嘴
223b‧‧‧水幕噴嘴
230‧‧‧氣動裝置
S‧‧‧基板
T‧‧‧桌臺
圖1及圖2示出現有基板拋光裝置。
圖3至圖8示出本發明的第一實施例。
圖9至圖13示出本發明的第二實施例。
圖14示出基板拋光後的狀態圖。
下面參照附圖更具體地說明本發明的實施例的構成及作用。
參照圖3，本發明的第一實施例100包括：放置基板的桌臺T、同時拋光放置在所述桌臺T上的基板S的上下棱角的拋光輪110、輪罩120。
所述輪罩120是圍住所述拋光輪110而防止拋光所述基板時產生的拋光粉或拋光水的飛散的構件。
所述拋光輪110是與圖1的拋光輪20a，20b，30類似的多輪式。即，包括相對隔開設置的兩個上部輪，以一部分重疊地設置在兩個上部輪之間的空間的一個下部輪。
並且，具有使得所述上部輪和下部輪旋轉的主軸，橫向設置所述主軸的旋轉軸(參照圖1，圖7)。
參照圖4及圖5，圍住所述拋光輪110的輪罩120的正面形成開口部121。所述基板藉由所述開口部121進入該輪罩10的內部空間，從而接觸拋光輪110。為了所述基板的上下棱角被所述拋光輪拋光並使基板移動，在所述輪罩的兩個側面形成圖開口部(參照圖7的'123a')。
形成在所述輪罩120正面的開口部121的上部和下部具有水幕噴嘴130，130a，130b。
所述水幕噴嘴130以一排形成有多個噴射孔131，以向附著到輪罩120的一面以水幕形態噴水，所述噴射孔131被固定為在所述開口部121的上部和下部以既定距離隔開而位於狹縫122中。因此，藉由所述水幕噴嘴130，130a，130b的噴射孔131噴射的水藉由所述狹縫122朝基板的上部和下部噴射而形成水幕。如上述，可以防止藉由噴射孔131噴射的水拋光基板的上部棱角和下部棱角時產生的拋光粉飛散而附著到基板。並且，藉由噴射孔131噴射的水能夠起到冷卻拋光時產生的熱並使得拋光順暢的拋光水的作用。
本實施例中僅示出形成噴水的噴射孔130a的水幕噴嘴 130，但與此不同地，也可以在噴水的噴射孔131的上部或下部形成噴射空氣的噴氣孔(附圖未示出)。更具體地說，在噴水的噴射孔130a的上部或下部，以一排形成噴射空氣的噴氣孔。
水幕噴嘴130除了噴水之外，還以氣幕形態噴射空氣，從而能夠在所述輪罩120中形成的開口部121的上部和下部同時形成水幕和氣幕，由此確切地防止拋光時產生的拋光粉飛散而附著到基板。
並且，所述輪罩120的排出側(以基板移動方向而言時後側)具有氣刀160。其能夠噴射高壓空氣來去除殘留在基板上的拋光水或水幕的水滴。
以所述開口部121為基準，分別在上部和下部設置所述氣刀160，從而能夠從所述基板的上部和下部噴射高壓空氣。
參照圖6及圖7，本發明的第一實施例100中，輪罩120的兩側壁，即進入部側壁和排出部側壁123分別具有水幕噴嘴140，150。
所述水幕噴嘴140，150上形成用於向基板方向噴水的噴射孔141，151。本實施例中，雖然被供應水的噴射孔141，151形成為一排，但更較佳地，也可以與被供應氣體的噴射孔142，152一同排成兩排。
因此，輪罩120的正面和兩側壁分別具有水幕噴嘴130，140，150，三面形成水幕或氣幕，從而有效防止拋光粉飛散。
參照圖8，本發明的第一實施例100中，具有用於排出所述輪罩120內部的氣體以及拋光水而形成吸入壓力的氣動裝置170。
所述氣動裝置170吸入，排出所述輪罩120的內部空氣而形成真空氣氛，此時，由所述氣動裝置170排出的拋光水經過排水箱(附圖未示出)藉由排水道排出，拋光粉和吸入的空氣被一同排出。
圖9及圖10示出本發明的第二實施例200。第一實施例是多輪式，第二實施例是槽輪式拋光裝置。
參照圖9及圖10，本發明的第二實施例200具有水準放置基板S的桌臺T和拋光所述基板S的側面的圓筒形的拋光輪210。所述拋光輪210藉由主軸以水準方向旋轉，因此拋光輪210的旋轉軸是垂直的。
尤其，為了防止所述拋光輪210的拋光作業時產生的拋光粉 飛散，具有圍住拋光輪210的輪罩220。
參照圖11，所述輪罩220形成為整體上與拋光輪210相似的圓筒形態，一側形成開口部221，基板藉由所述開口部221進入輪罩220的內部而能夠接觸拋光輪210。
參照圖12及圖13，形成在所述輪罩220的開口部221的上部和下部分別形成水幕噴嘴223a，223b和氣幕噴嘴222a，222b。即，所述水幕噴嘴223a，223b和氣幕噴嘴222a，222b形成在所述輪罩220的側壁的厚度面上。並且，水和空氣的流路也形成在輪罩220側壁的厚度面上。
所述水幕噴嘴223a，223b向基板噴水而形成水幕，當拋光基板時供給拋光水，並防止拋光時產生的拋光粉飛散。
所述氣幕噴嘴222a，222b向基板噴射空氣而形成氣幕，防止拋光基板時產生的拋光粉飛散。
另外，在輪罩220的開口部221，向內側形成水幕噴嘴223a，223b，所述水幕噴嘴223a，223b的外側形成氣幕噴嘴222a，222b。
並且，第二實施例中，也連接排出輪罩220內部的氣體並排出拋光水的氣動裝置230而吸入並排出所述輪罩220的內部空氣，形成真空氣氛，此時，由所述氣動裝置230排出的拋光水經過排水箱(附圖未示出)藉由排水道排出，拋光粉和吸入的空氣被一同排出。
圖14示出基板被拋光後的圖，(a)是第一實施例中以氣動裝置170和氣刀160不工作的狀態實施拋光的樣態。由此可知，基板表面分佈著大量的拋光水。
(b)是第一實施例中以氣動裝置170工作而氣刀160不工作的狀態實施拋光的樣態。此時，相比(a)，基板上殘留的拋光水和再附著的拋光粉明顯減少。具體來說，在基板的末端50mm以內區域中，間歇性地分佈著3mm以下的水滴。並且，拋光時，用肉眼沒有看到輪罩內部形成的雲霧形態的水滴。
(c)是第一實施例中以氣動裝置170和氣刀160都工作的狀態實施拋光的樣態。可見已改善到無法用肉眼確認基板上殘留的拋光水和再附著的拋光粉的程度。
可解釋為藉由氣動裝置170吸入並排出殘留在內部的雲霧形態的水和拋光時飛散的拋光粉並在基板排出時用氣刀160噴射空氣的結果。
本發明的有益效果在於：
根據本發明，能夠防止基板拋光中產生的拋光粉附著到基板。
並且，能夠防止拋光水殘留在基板上。

Claims (8)

  1. 一種基板拋光裝置，其包括：桌臺，用於放置基板；拋光輪，拋光基板的上部棱角和下部棱角；輪罩，圍住所述拋光輪，正面形成開口部而使得基板接觸所述拋光輪；氣動裝置，排出所述輪罩內部的氣體；以及水幕噴嘴，設置於所述開口部的上部或下部。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之基板拋光裝置，其中所述基板拋光裝置還包括設置於所述開口部的上部或下部的氣幕噴嘴。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之基板拋光裝置，其中在所述輪罩的進入部側壁或排出部側壁具有從上部或下部向基板噴水的水幕噴嘴或噴射空氣的氣幕噴嘴中的其中一個或多個。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之基板拋光裝置，其中在所述輪罩的排出部側壁還具有氣刀。
  5. 一種基板拋光裝置，其包括：桌臺，用於放置基板；拋光輪，拋光基板的側面；輪罩，圍住所述拋光輪，正面形成開口部而使得基板接觸所述拋光輪；氣動裝置，排出所述輪罩內部的氣體；以及水幕噴嘴，設置於所述開口部的上部或下部。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之基板拋光裝置，其中所述基板拋光裝置還包括設置於所述開口部的上部或下部的氣幕噴嘴。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之基板拋光裝置，其中所述水幕噴嘴及氣幕噴嘴形成在所述輪罩的側壁厚度。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之基板拋光裝置，其中所述氣幕噴嘴比所述水幕噴嘴更靠近外側而形成。
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