KR101664161B1 - 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치 - Google Patents

습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치에 대한 것으로서, 상세하게는 습식 세정 챔버 내부에 기판 건조 장치를 설치함으로써, 기판 공정 레이 아웃의 공간을 절약할 수 있고, 기판에 남아 있는 세정액 성분을 세정 챔버 내에서 신속하게 제거할 수 있는 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치에 관한 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 습식 세정조 챔버 내에 설치되며 기판으로 공기가 분사되도록 안내하는 에어 나이프 모듈과; 상기 에어 나이프 모듈과 일체로 형성되거나 상기 에어 나이프 모듈에 결합되며 램프가 설치되는 램프 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 세정챔버 내부 설치용 기판 건조 장치를 제공한다.

Description

습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치{ A substrate drying appartus installed in a wet cleaning chamber}
본 발명은 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치에 대한 것으로서, 상세하게는 습식 세정 챔버 내부에 기판 건조 장치를 설치함으로써, 기판 공정 레이 아웃의 공간을 절약할 수 있고, 기판에 남아 있는 세정액 성분을 세정 챔버 내에서 신속하게 제거할 수 있는 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치에 관한 것이다.
일반적으로, FDP의 보편적인 형태인 LCD나 OLED 디스플레이 장치에 상용되는 기판은 빛이 투과될 수 있도록 제작된 글래스 패널(glass panel)이 적용된다.
기판에 감광제가 코팅되고 패턴공정이 수행되면 글래스 패널에 대해 습식세정(wet clean) 과정을 수행하게된다.
여기서, 습식세정이 수행된 글래스 패널에는 물방울 등의 수분이 표면에 잔류하게 되며, 이 수분은 에어 나이프(air knife), 즉 디스플레이 글래스 패널의 건조장치를 이용하여 건조시키게 된다.
이 때, 세정 과정은 습식 세정 챔버에서 이루어지고, 습식 세정이 완료된 기판은 습식 세정 챔버에서 나와서 에어 나이프 및 적외선 램프를 거친다.
이 과정을 통해서 습식 세정이 완료된 기판의 잔류 수분이 제거된다.
이러한 구조는 한국 공개 특허 10-2009-0011605에 개시되어 있다.
이러한 구조에서는 습식 세정 챔버와, 에어 나이프가 동작하는 챔버와, 적외선 램프가 동작하는 챔버가 각각 구획되고 구분되어 있다.
그리고, 에어 나이프와 램프는 각각 별도의 이격된 구성요소로 되어 있는 것이 보통이었다.
그런데 습식 세정 챔버에서 세정이 완료되고, 에어 나이프로 이동할 때의 거리 및 에어 나이프에서 램프까지 이동하는 거리가 어느 정도 있고, 그에 따라서 각 구성요소간을 이동하는 시간이 소요되었다.
이러한 경우, 기판에 남아 있는 미세 수분이 그 이송 과정에서 자연 건조되어 기판 표면을 얼룩지게 함으로써 기판 불량을 야기시킨다는 문제점이 존재하였다.
또한, 최근 기판의 박막화 경향에 의하여 에어 나이프에서 블로잉하는 공기의 압력이 높으면 기판이 휘어지거나 파손되는 문제점이 있어서, 공기를 전보다 저압으로 분사하는데 이러한 경우 비교적 큰 직경의 물방울은 제거될 수 있으나, 미세한 직경의 물방울 성분은 잘 제거되지 않고, 오히려 금방 자연건조되어 얼룩을 형성한다는 문제점이 있었다.
그리고, 습식 세정을 위한 챔버 이외에도 에어 나이프와 램프 설치를 위한 별도의 후속 공간이 필요하기 때문에 공정의 레이 아웃의 길이를 줄이는데 한계가 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해서 마련된 것으로서, 습식 세정 챔버 내에 에어 나이프 및 램프로 구성되는 건조장치를 두어서 수분을 보다 효과적을 제거할 수 있는 습식 세정 내부 설치용 기판 건조 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 습식 세정 챔버 내에 에어 나이프 및 램프로 구성되는 건조장치를 두어서 공정 레이 아웃의 크기를 줄일 수 있는데 기여할 수 있는 목적을 갖는다.
또한, 본 발명은 에어 나이프 하우징과, 램프 하우징이 일체로 마련되거나 결합되어 그 사이를 최소화 함으로써 미세 수분의 자연건조를 방지하여 얼룩에 의한 기판 불량을 방지하는데 또 다른 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 식 세정조 챔버 내에 설치되며 기판으로 공기가 분사되도록 안내하는 에어 나이프 모듈과; 상기 에어 나이프 모듈과 일체로 형성되거나 상기 에어 나이프 모듈에 결합되며 램프가 설치되는 램프 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 세정챔버 내부 설치용 기판 건조 장치를 제공한다.
에어 나이프 모듈은 압축 공기가 이동하는 공기 유로가 형성된 에어 나이프 하우징을 포함하고, 램프 모듈은 램프가 설치되는 램프 하우징을 포함하되, 상기 에어 나이프 모듈 및 상기 램프 모듈으로 이루어지는 건조 어셈블리는 복수개로 마련되고 상기 습식 세정조 챔버 내에 마련되는 기판 이송부의 상부와 하부에 각각 설치되어 기판의 양면을 동시에 건조할 수 있는 것을 특징으로 한다.
상기 램프는 적어도 하나 이상으로 마련되며, 상기 에어 나이프 모듈의 토출구의 후방에 배치되되, 상기 에어 나이프 모듈에서 토출된 공기를 통과한 기판이 즉시 램프에서 조사되는 광이나 열에 노출될 수 있도록 상기 램프와 상기 에어나이프 모듈의 토출구가 인접하게 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 에어 나이프 모듈 및 상기 램프 모듈으로 이루어지는 어셈블리는 상기 습식 세정 챔버의 출구부에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 에어 나이프 모듈의 전방 또는 후방에 배치되어 공기를 공급하는 공기 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 에어 나이프 모듈은 제1 에어 나이프 모듈 및 이와 이격되는 제2 에어 나이프 모듈을 포함하고, 상기 제1에어 나이프 모듈과 상기 제2 에어 나이프 모듈 사이에 상기 램프 모듈이 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 에어 나이프 모듈은 수직 방향에 대해서 후 방향으로 소정 각도 눕혀져 경사지게 배치되는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 의하여 에어 나이프 모듈과 램프 모듈을 일체화 하여 습식 세정 챔버에 장착함으로써, 습식 세정 챔버 외부에 별도의 건조 장치를 설치할 필요성이 사라져 공간의 효율성을 제고할 수 있다.
에어 나이프 모듈과 램프 모듈을 연결되게 배치하고, 그 거리를 최소화 함으로써 에어 나이프 모듈에 의한 건조와 램프 모듈에 의한 건조가 연속적으로 이루어져 건조의 효율성을 제고하고, 미세 수분이 자연건조될 가능성을 미리 차단하여 기판의 불량 문제를 해결할 수 있다.
한편, 에어 나이프 모듈과 램프 모듈로 구성되는 건조 어셈블리를 이송부의 상부와 하부에 배치하여, 기판의 양면을 동시에 건조할 수 있다는 장점이 있다.
그리고, 습식 세정 챔버의 출구 근처에 건조 어셈블리를 배치하여, 건조되지 마자 습식 세정 챔버 외부로 반출되도록 하고, 후속 공정이 바로 이어지도록 할 수 있다.
한편, 공기 공급부를 에어 나이프 하우징의 전방이나 후방에 배치할 수 있음으로써 설치의 자유도를 확보할 수 있다는 장점도 있다.
또한, 에어 나이프를 두 개를 두고, 그 사이에 램프 모듈을 둠으로써, 기판 건조를 더 완벽하게 할 수도 있다.
도1은 본 발명의 측 단면도이다.
도2(a) 내지 (c)는 본 발명의 다양한 실시예를 도시한 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
또한, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 이외의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 실시예들을 첨부 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도1에서 도시한 바와 같이, 습식 세정 챔버(10)와, 습식 세정 챔버(10) 내부에 마련되며 습식 세정 챔버 출구부(11)에 인접하는 건조 장치(100)와, 기판(G)을 이송시키는 컨베이어 방식의 이송부(200)가 마련된다.
건조 장치(100)는 고압의 공기를 분사하여 기판 표면에 잔류하는 세정액 성분을 강제로 제거하는 에어 나이프 모듈(110)의 외관을 형성하는 에어 나이프 하우징(111)과, 에어 나이프 모듈(110)과 일체로 마련되거나 볼팅 결합 또는 용접 결합되는 램프 모듈(120)을 포함한다.
램프 모듈(120)은 램프 하우징(121)과, 램프 하우징(121)에 장착되는 램프(122)를 포함한다.
램프 하우징(121)에는 램프 장착홈(123)이 설치되고, 램프 장착홈(123)에는 근적외선 또는 적외선을 발산하는 램프(122)가 복수개로 마련되어 전후 방향으로 일렬 배치된다.
램프 하우징(121) 전방에는 에어 나이프 하우징(111)이 마련된다.
에어 나이프 하우징(111)은 수직 방향으로 배치되는 것이 아니라, 수직 상태에서 후방향으로 약간 경사지게 배치된다.
이는 토출되는 공기가 기판에 대해서 경사지게 토출되는 한편, 기판에서 제거된 수분 성분이 포함된 공기를 전방으로 보냄으로써, 그 수분 성분을 포함한 공기가 램프(122) 방향으로 이동하지 못하도록 하기 위함이다.
상술한 바와 같이 에어 나이프 하우징(111)과 램프 하우징(121)은 서로 이격되어 있지 않고 붙어 있기 때문에, 에어 나이프 하우징 토출구(111a)와 램프(122) 간의 거리는 종전에 비해서 현저하게 가깝게 형성된다.
에어 나이프 모듈(110)에서 토출된 공기에 의하여 비교적 큰 덩어리의 수분이 제거되면, 기판(G)에 미세 수분이 잔류하는데, 이 미세 수분이 자연 건조되어 기판(G)에 얼룩이 형성되기 전에 즉각적으로 램프(122)의 열과 빛에 의하여 미세 수분을 제거하기 위해서 그러한 것이다.
에어 나이프 하우징(111)의 전방에는 공기 공급부(130)가 마련된다. 공기 공급부(130)는 외부의 압축기(미도시)와 연결되어 고압의 공기를 에어 나이프 하우징(111)으로 안내하는 역할을 한다.
공기 공급부(130)에는 공기 안내 호스(140)가 연결될 수 있다.
한편, 에어 나이프 하우징(111)에는 공기가 이동하는 공기 유로(112)가 형성되고, 그 끝단부에는 토출구(111a)가 형성된다.
토출구(111a)가 형성된 에어 나이프 하우징(111)의 단부는 첨두형상으로 되어서 공기의 분사 효과를 극대화 하는 한편, 기판(G)으로 분사된 공기의 유동흐름에 방해되는 것을 최소화한다.
에어 나이프 하우징(111) 및 램프 하우징(121)이 일체화 또는 결합화 되어 하나의 모듈화된 건조 어셈블리(101)는 이송부(200)의 상부 뿐만 아니라 하부에도 같이 설치될 수 있다.
이는 기판(G)의 양면을 동시에 건조하기 위함이다.
따라서, 이송부(200) 상부에 위치한 건조 어셈블리(101)의 에어 나이프 모듈(110)에서 나오는 공기와 이송부(200) 하부에 위치한 건조 어셈블리(101)의 에어 나이프 모듈(110)에서 나오는 공기에 의하여 기판 표면의 큰 직경의 세정액 물방울 성분이 동시에 제거된다.
그리고, 큰 직경의 세정액 물방울 성분이 제거된 기판(G)이 에어 나이프 모듈(110)을 통과하자마자 이송부(200) 상부 및 하부에 위치한 건조 어셈블리(101)의 램프(122)에서 방출되는 열과 빛에 노출된다.
이로써 미세 수분이 자연 건조될 시간적 여유를 주지 않고 열과 빛에 의하여 증발된다.
따라서, 기존에서 건조장치의 문제점, 즉, 에어 나이프에서 램프로 이동하는 사이에 미세 수분이 자연 건조되어 얼룩을 남기는 문제점을 해결할 수 있다.
한편, 습식 세정 챔버(10) 내부에는 건조 어셈블리(101)를 수용하는 별도의 수용 챔버(102)가 마련될 수 있다.
수용 챔버(102)는 건조 어셈블리(101)에 의하여 건조되는 영역과 습식 세정 챔버 내부 공간을 구획하여, 수용 챔버(102) 외부에 있는 수분 성분이 건조되는 영역으로 침투하는 것을 방지한다.
수용 챔버(102)는 건조 어셈블리(101)와 이격되어 그 전면과 상하면, 측면을 둘러싸고 있으며, 다만 전면에는 이송부(200)와 기판(G)이 통과하는 진입구(103)가 형성된다.
에어 나이프 모듈(110)에서 나오는 고압의 공기가 기판에 맞고 앞으로 이동하기 때문에, 이 공기층은 진입구(103)에 대한 일종의 에어 커튼 역할을 하여 외부 수분 성분이 건조 영역으로 침투하는 것을 방지할 수 있다.
도2(a) 내지 도2(c)는 다른 본 발명의 다른 실시예들을 도시하고 있다.
도2(a)에서는 램프 하우징(211)의 높이를 에어 나이프 하우징(121)의 높이 보다 작게 하는 한편, 공기 공급부(130)를 에어 나이프 하우징(121)의 전방에 연결하였다.
도2(b)에서는 램프 하우징(211)의 높이를 에어 나이프 하우징(111)의 높이 보다 작게 하는 한편, 공기 공급부(130)를 에어 나이프 하우징(111)의 후방에 연결하였다.
도2(a)나 도2(b)는 램프 하우징(211)의 크기의 컴팩트화를 도모하면서, 습식 세정 챔버(10) 내부의 공간의 특성이나 기타 구성요소의 배치 특성에 따라서 공기 공급부(130)의 위치를 자유롭게 선택할 수 있도록 하기 위하여 마련하였다.
도2(c)에서는 하나의 건조 어셈블리에 두 개의 에어 나이프 모듈이 마련되는 것을 도시하였다.
즉, 에어 나이프 모듈(110)을 제1에어 나이프 모듈(1110)과, 제2 에어 나이프 모듈(2110)으로 마련하고, 제1 에어 나이프 모듈(1110)과 제2 에어 나이프 모듈 (2110)사이에 램프 모듈(120)을 설치한 것이다.
램프 하우징(121)은 제1 에어 나이프 하우징(1111) 후방과 제2 에어 나이프 하우징(2111)의 전방에 일체로 마련되거나, 용접 또는 볼팅 결합이 되어 한 몸체가 되는 것이 바람직하다.
그리고, 그러한 건조 어셈블리가 이송부(200)의 상부와 하부에 각각 배치될 수 있다.
제1에어 나이프 모듈(1110)과 제2에어 나이프 모듈(2110)을 구분하여 둔 이유는 건조 상태를 보다 완벽하게 기하기 위함이다.
즉, 제1 에어 나이프 모듈(1110)에서는 비교적 큰 크기의 세정액 물방울을 제거하고, 램프 모듈(120)와 제2 에어 나이프 모듈(2110)에서는 미세 수분을 제거하되, 램프 모듈(120)에서 건조된 상태를 압축 공기를 이용하여 한번 더 마무리 짓기 위함이다.
이를 위해서, 제1에어 나이프 모듈(1110)에서는 상온의 압축공기를 분사하고, 제2 에어 나이프 모듈(2110)에서는 가열된 압축 공기를 분사할 수 있다.
또한, 제1 에어 나이프 모듈(1110)에서 분사되는 공기의 압력과, 제2 에어 나이프 모듈(2110)에서 분사되는 공기의 압력을 달라지게 할 수 있다.
즉, 제1 에어 나이프 모듈(1110)의 공기 압력을 높게 하여 우선 큰 크기의 세정액 물방울을 날리고, 제2 에어 나이프 모듈(2110)에서는 제1 에어 나이프 모듈(1110)보다 낮은 압력의 공기를 방출하여 미세 수분을 제거할 수 있는 것이다.
다만 상황에 따라서 압력 차이가 그 반대도 가능할 것이다.
또는 제1 에어 나이프 하우징(1111)의 토출구(1111a)의 직경과, 제2 에어 나이프 하우징(2111)의 토출구(2111a)의 직경을 다르게 하는 것도 가능하다.
즉, 제1에어 나이프 하우징(1111)의 토출구(1111a)의 직경을 크게하고, 제2 에어 나이프 하우징(2111)의 토출구(1111a)의 직경을 상대적으로 작게 하는 것도 가능하다.
한편 도1 내지 도2에서 에어 나이프 모듈(110)에서 분사되는 공기의 압력은 종래보다 낮아질 수 있다.
기판의 두께가 점점 얇아지면서 종래 기술에 의한 건조 장치에서 사용되는 공기 분사압이 박막 기판에 적용되면, 기판에 변형이나 크랙이 발생할 수 있다.
본 발명에서는 에어 나이프 모듈(110)에서 분사되는 압력을 줄여서, 박막 기판의 변형이나 크랙을 방지하되, 분사압 저하로 인한 건조 기능 저하 문제를 에어 나이프 모듈(110)와 하나의 몸체로 형성한 램프 모듈(120)의 열과 광을 이용하여 보완할 수 있다.
한편, 도1 내지 도2에서 나타나는 에어 나이프 하우징(111)의 토출구는 수많은 구멍이 상호 이격되게 뚫린 타공 형태로 될 수 있거나, 또는 에어 나이프 하우징(112)의 좌우 방향을 따라 일자형으로 되는 슬릿 형태로 될 수 있다.
이하에서는 도1을 이용하여 본 발명의 동작에 대해서 설명하겠다.
도1에서 도시한 바와 같이, 습식 세정이 완료된 기판(G)은 그 표면에 세정액 성분이 묻어 있는 상태에서 이송부(200)에 의하여 수용 챔버 내부로 이동한다.
기판(G)이 수용 챔버(102)로 이동하기 전에, 에어 나이프 모듈(101)에는 고압의 공기가 공급되어 토출구(111a)에서 분사되는 한편, 램프 하우징(121)의 램프가 on 되어 램프(122)로부터 고온의 열과 빛이 방출된다.
기판(G)이 수용 챔버(102)의 진입구(103)로 진입하면, 우선 에어 나이프 모듈(110)에서 나오는 공기에 의하여 비교적 큰 크기의 세정액 성분이 기판 표면으로부터 제거되고, 전방 방향으로 날아간다.
에어 나이프 모듈(110)을 거친 기판(G)은 바로 램프(122)의 조사 영역에 진입한다.
에어 나이프 모듈(110)을 거친 기판의 표면에는 가시적인 큰 직경의 세정액 성분은 제거되었으나, 미세한 수분은 제거되지 않았는데, 램프(122)의 조사 영역에 바로 노출되기 때문에 자연 건조가 되기도 전에 기판 표면으로부터 제거될 수 있다.
한편, 도2(c)와 같은 경우, 램프(122)의 조사 영역을 거친 기판이 한번 더 에어 나이프 모듈을 거쳐서 건조될 수 있다.
이렇게 건조된 기판(G)은 습식 세정 챔버(10)에서 반출되어 후속 공정을 위한 챔버(20)로 이동할 수 있다.
이상과 같이 본 발명을 도면에 도시한 실시예를 참고하여 설명하였으나, 이는 발명을 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 발명의 상세한 설명으로부터 다양한 변형 또는 균등한 실시예가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 권리범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 결정되어야 한다.
10: 습식 세정 챔버 11: 출구
100: 건조장치 101: 건조 어셈블리
102: 수용 챔버 110: 에어 나이프 모듈
111: 에어 나이프 하우징 111a: 토출구
120: 램프 모듈 121: 램프 하우징
122: 램프 130: 공기 공급부
200: 이송부

Claims (7)

  1. 습식 세정조 챔버 내에 설치되며 기판으로 공기가 분사되도록 안내하는 에어 나이프 모듈과;
    상기 에어 나이프 모듈과 일체로 형성되거나 상기 에어 나이프 모듈에 결합되며 근적외선을 발산하는 램프가 설치되는 램프 모듈과
    상기 에어 나이프 모듈과 램프 모듈을 수용하며, 상기 습식 세정조 챔버 내에 구현되어 상기 에어 나이프 모듈 및 램프 모듈에 의하여 수분이 건조되는 영역을 정의하는 수용 챔버를 포함하며,
    에어 나이프 모듈은 압축 공기가 이동하는 공기 유로가 형성된 에어 나이프 하우징을 포함하고, 램프 모듈은 램프가 설치되는 램프 하우징을 포함하되,
    상기 에어 나이프 모듈 및 상기 램프 모듈으로 이루어지는 건조 어셈블리는 복수개로 마련되고 상기 습식 세정조 챔버 내에 마련되는 기판 이송부의 상부와 하부에 각각 설치되어 기판의 양면을 동시에 건조할 수 있으며,
    수용 챔버는 건조 어셈블리와 이격되어 그 전면과 상하면, 측면을 둘러싸고 있으며, 수용 챔버의 전면에는 기판이 통과하는 진입구가 형성되고
    상기 에어 나이프 모듈 및 상기 램프 모듈으로 이루어지는 어셈블리 및 상기 수용 챔버는 상기 습식 세정 챔버의 출구부에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 램프는 복수개로 마련되며, 상기 에어 나이프 모듈의 토출구의 후방에 일렬로 배치되되,
    상기 에어 나이프 모듈에서 토출된 공기를 통과한 기판이 즉시 램프에서 조사되는 광이나 열에 노출될 수 있도록 상기 램프와 상기 에어나이프 모듈의 토출구가 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 에어 나이프 모듈의 전방 또는 후방에 배치되어 공기를 공급하는 공기 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 에어 나이프 모듈은 제1 에어 나이프 모듈 및 이와 이격되는 제2 에어 나이프 모듈을 포함하고,
    상기 제1에어 나이프 모듈과 상기 제2 에어 나이프 모듈 사이에 상기 램프 모듈이 설치되는 것을 특징으로 하는 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 에어 나이프 모듈은 수직 방향에 대해서 후 방향으로 소정 각도 눕혀져 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 습식 세정 챔버 내부 설치용 기판 건조 장치.


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