KR20070050789A - 기판 건조 장치 - Google Patents

기판 건조 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20070050789A
KR20070050789A KR1020060071021A KR20060071021A KR20070050789A KR 20070050789 A KR20070050789 A KR 20070050789A KR 1020060071021 A KR1020060071021 A KR 1020060071021A KR 20060071021 A KR20060071021 A KR 20060071021A KR 20070050789 A KR20070050789 A KR 20070050789A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
chamber
spray nozzle
air spray
air
Prior art date
Application number
KR1020060071021A
Other languages
English (en)
Inventor
서행균
Original Assignee
주식회사 대우일렉트로닉스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 대우일렉트로닉스 filed Critical 주식회사 대우일렉트로닉스
Priority to KR1020060071021A priority Critical patent/KR20070050789A/ko
Publication of KR20070050789A publication Critical patent/KR20070050789A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G15/00—Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors 
    • B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B17/00—Machines or apparatus for drying materials in loose, plastic, or fluidised form, e.g. granules, staple fibres, with progressive movement
    • F26B17/12—Machines or apparatus for drying materials in loose, plastic, or fluidised form, e.g. granules, staple fibres, with progressive movement with movement performed solely by gravity, i.e. the material moving through a substantially vertical drying enclosure, e.g. shaft
    • F26B17/14—Machines or apparatus for drying materials in loose, plastic, or fluidised form, e.g. granules, staple fibres, with progressive movement with movement performed solely by gravity, i.e. the material moving through a substantially vertical drying enclosure, e.g. shaft the materials moving through a counter-current of gas
    • F26B17/1433—Machines or apparatus for drying materials in loose, plastic, or fluidised form, e.g. granules, staple fibres, with progressive movement with movement performed solely by gravity, i.e. the material moving through a substantially vertical drying enclosure, e.g. shaft the materials moving through a counter-current of gas the drying enclosure, e.g. shaft, having internal members or bodies for guiding, mixing or agitating the material, e.g. imposing a zig-zag movement onto the material
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/004—Nozzle assemblies; Air knives; Air distributors; Blow boxes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

세정공정을 거쳐 건조되는 기판에서 떨어져 나간 액체가 건조 장치의 챔버 내벽에 붙어 있다가 세정 및 건조공정을 거쳐 외부로 배출되는 기판에 재낙하하는 것을 방지할 수 있는 기판 건조 장치가 제공된다. 본 발명에 따른 기판 건조 장치는 챔버; 챔버 내부에 설치되는 기판 이송부; 챔버의 일측에 위치하는 기판 도입구; 기판 이송부를 중심으로 상측과 하측에 각각 설치되며 기판이 기판 이송부에 로딩시엔 기판 양면 방향으로 에어가 분사되고, 기판이 기판 이송부에서 언로딩시엔 챔버의 내벽 방향으로 에어가 분사되도록 에어분사각의 조절이 가능한 에어분사노즐; 및 에어분사노즐의 끝단에 연결되어 에어분사노즐이 회전할 수 있도록 해주는 스텝모터를 포함한다.
에어분사노즐, 기판, 센서, 재낙하

Description

기판 건조 장치{Apparatus for drying the substrate}
도 1은 종래의 세정공정을 마친 기판에 대한 건조 장치를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장치를 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
200: 챔버 210: 기판 이송부
215: 기판 220: 기판 도입구
230: 에어분사노즐 235: 스텝모터
240: 감지센서 240: 센서
본 발명은 기판 건조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 세정공정 후 에어(air)에 의해 건조하는 공정에 있어서 에어분사노즐을 통과한 기판이 건 조 챔버 외부로 빠져 나가는 과정에 챔버의 벽면에 고여있는 물기의 재낙하에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있는 기판 건조 장치에 관한 것이다.
오엘이디(OLED), TFT-LCD, PDP 등과 같은 디스플레이 소자는 통상 하나의 대형 유리기판에 수개 내지는 수십개 이상의 패널을 형성하는 방식에 의해 제조되는데, 따라서 이때 사용되는 유리기판은 통상 가로와 세로가 모두 수미터 이상이 되는 대형 면적을 가지고 있다.
통상적으로 유리기판에 발광부, 전극부 등과 같은 소자들을 형성하는 공정에 앞서 유리기판을 유기용매, 초순수(DI water)와 같은 여러 단계를 거치면서 세정해 주고 건조시켜 주는 공정을 반복하는 것은 필수적이다.
도 1은 종래의 세정공정을 마친 기판에 대한 건조 장치를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이 종래의 기판 건조 장치(10)는 외부로부터의 다른 오염을 방지하고 건조 장치에 필요한 부재들의 케이싱 역할을 하는 챔버(100), 상기 챔버(100)의 내부에 설치되며, 챔버(100) 내부로 도입된 기판을 외부로 까지 이송시켜주는 기판 이송부(110), 기판 도입공(120), 및 기판의 양면 방향으로 향해있고, 고압의 클린 에어를 뿜어줌으로서 기판의 표면에 존재하는 액체를 강제적으로 날려줌으로써 제거해주는 에어분사노즐(130)을 포함한다.
상기 도 1에서 나타낸 기판 건조 장치(10) 내부에서의 기판 건조 공정은 연속공정으로서 하나의 기판이 건조되면, 곧 바로 다른 기판이 들어와서 건조되는 공정이 반복된다.
그런데, 기판에 대한 건조가 계속되게 되면 탈착(detach)된 액체가 챔버(100)의 내부 벽면에 계속해서 축적되게 되고, 이러한 축적이 계속되면 물방울 형태로 발전하게 되고, 이러한 불방울이 계속 커지게 되면 아래로 재낙하(redrop)하게 된다.
이러한 탈착된 액체의 재낙하는 에어분사노즐을 지나 건조가 완료된 기판의 표면에 떨어질 수도 있으며, 종종 이러한 현상은 실제공정에서도 빈번히 발생하여 후에 평판 디스플레이 완성품을 제조시 화면에 얼룩(spot)이 져서 보이게 되거나, 미세멍(MURA)으로 보이기도 하는 등의 문제점을 낳을 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 세정공정을 거쳐 건조되는 기판에서 떨어져 나간 액체가 건조 장치의 챔버 내벽에 붙어 있다가 세정 및 건조공정을 거쳐 외부로 배출되는 기판에 재낙하하는 것을 방지할 수 있는 기판 건조 장치를 제공하는데에 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장 치는 챔버; 챔버 내부에 설치되는 기판 이송부; 챔버의 일측에 위치하는 기판 도입구; 기판 이송부를 중심으로 상측과 하측에 각각 설치되며 기판이 기판 이송부에 로딩시엔 기판 양면 방향으로 에어가 분사되고, 기판이 기판 이송부에서 언로딩시엔 챔버의 내벽 방향으로 에어가 분사되도록 에어분사각의 조절이 가능한 에어분사노즐; 및 에어분사노즐의 끝단에 연결되어 에어분사노즐을 회전시키는 스텝모터를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 첨부 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
또한, 도면에서 발명을 구성하는 구성요소들의 크기는 명세서의 명확성을 위하여 과장되어 기술된 것이며, 어떤 구성요소가 다른 구성요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소와 접하여 설치될 수도 있고, 그 소정의 이격거리를 두고 설치될 수도 있으며, 이격거리를 두고 설치되는 경우엔 상기 어떤 구성요소를 상기 다른 구성요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제3의 수단에 대한 설명이 생략될 수도 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장치를 나타내는 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장치(20)는 챔버(200), 기판 이송부(210), 에어분사노즐(230), 및 스텝모터(235)를 포함한다.
챔버(200)는 기판(215)의 건조가 일어나는 공간으로 그 일측면에는 기판(215)이 챔버(200) 내부로 들어오는 기판 도입구(220)가 형성되어 있다.
기판 도입구(220)에는 챔버(200) 내부로 기판(215)이 유입되는지 여부를 감지할 수 있는 감지센서(250)가 부착되어 있다.
챔버(200)의 하부에는 기판(215)에서 탈착된 액체성분을 챔버 외부로 배출시키기 위한 배출구가 형성되어 있다.
기판이송부(210)는 챔버(200)의 내부에 설치되며, 롤러(roller) 또는 컨베이어 벨트(conveyer belt) 방식으로 되어 있다.
에어분사노즐(230)은 기판이 이송되는 방향을 향하도록 챔버(200)의 상부 및 하부에 하나씩 각각 배치된다.
에어분사노즐(230)에서는 강한 압력의 건조 에어가 분사되며, 이 고압력의 건조 에어를 이용하여 기판의 표면에 묻은 액체를 물리적으로 탈착시켜 주게 된다.
다만, 에어분사노즐(230)은 에어가 분사되는 방향이 고정된 것이 아니라 기판(215)이 챔버(200) 내부에 로딩(loading) 되었는지 여부에 따라 에어가 분사되는 방향이 변하게 된다.
즉, 챔버(200) 내부에 기판(215)이 로딩되어 있는 경우엔 에어분사노즐(230) 은 기판(215)의 방향으로 향하도록 하며, 기판(215)이 건조공정이 완료되어 챔버(200) 외부로 배출된 경우엔 에어분사노즐(230)은 챔버(200)의 내벽을 향하도록 한다.
이는 기판(200) 건조 공정 중 탈착되는 액체가 챔버(200)의 내벽에 축적되는 것을 방지하기 위함이다.
기판(215)이 챔버(200) 내부에 로딩되어 있는지 여부는 상기에서 설명한 기판 도입구(220)에 형성된 감지센서(250)에서 체크하게 된다.
에어분사노즐(230)은 일정한 각도를 가지고 챔버(200)의 내벽방향과 기판 방향으로 스위핑 되면서 운영된다. 즉, 첫번째 단계는 기판(215)이 챔버(200) 내부에 로딩되어 있는 경우 기판(215)을 향해 에어를 분사해주는 단계와, 두번째 단계는 챔버(200) 내부에 기판(215)이 로딩되어 있지 않은 경우 챔버(200)의 내벽을 향해 에어가 분사되도록 해주는 단계로 운용된다.
이와 같이 에어분사노즐(230)이 일정한 각도를 가지면서 스위핑 동작을 해주기 위해서는 동력원이 필요하다. 이때 에어분사노즐(230)이 일정한 각도를 가지고 스위핑 가능하도록 운영해주는 동력원이 스텝모터(step motor; 235)이다.
즉, 스텝 모터(235)는 에어분사노즐(230)의 일단에 연결되어 기판이 챔버(200) 내부에 로딩되어 있는 경우엔 에어분사노즐을 기판 방향을 향하도록 하고, 기판이 챔버(200) 내부에 로딩되어 있지 않은 경우엔 에어분사노즐(230)을 챔버(200)의 내벽 방향을 향하도록 해주게 된다.
상기한 바와 같이 에어분사노즐(230)은 스텝모터(235)에 의해 작동되는데, 기판(215)과 챔버(200) 내벽의 보다 정확한 면을 향해 에어가 분사되도록 해주기 위해 에어분사노즐(230)의 이동반경의 끝부분에는 에어분사노즐(230)의 이동을 멈추게 해주기 위한 한계점센서(limit sensor; 240)를 추가적으로 설치할 수도 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장치에 의하면 기판이 챔버 내부에 장착된 경우엔 에어분사노즐이 기판면을 향해 분사되도록 하고, 기판이 챔버 내부에 장착되지 않은 경우엔 에어분사노즐이 챔버 벽면을 향하도록 해줌으로써, 기판 건조 공정 이외에는 챔버 내부 벽면의 물기를 제거해줄 수 있어 기판 내부 벽면 물기의 재낙하에 의한 기판의 오염을 방지할 수 있게 된다.

Claims (3)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내부에 설치되는 기판 이송부;
    상기 챔버의 일측에 위치하는 기판 도입구;
    상기 기판 이송부를 중심으로 상측과 하측에 각각 설치되며 기판이 상기 기판 이송부에 로딩시엔 상기 기판 양면 방향으로 에어가 분사되고, 상기 기판이 상기 기판 이송부에서 언로딩시엔 상기 챔버의 내벽 방향으로 에어가 분사되도록 에어분사각의 조절이 가능한 에어분사노즐; 및
    상기 에어분사노즐의 끝단에 연결되어 상기 에어분사노즐이 회전할 수 있도록 해주는 스텝모터를 포함하는 기판 건조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어분사노즐이 투스텝으로 움직이는 반경의 끝점에는 한계점 센서가 부착되어 상기 에어분사노즐의 이동반경을 벗어나지 않도록 해주는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 도입구에는 기판의 도입여부를 확인해주는 센서가 부착되어, 상기 센서에서 발생하는 기판도입 여부에 대한 신호에 의해 상기 에어분사노즐의 각을 조절해주는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
KR1020060071021A 2006-07-27 2006-07-27 기판 건조 장치 KR20070050789A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060071021A KR20070050789A (ko) 2006-07-27 2006-07-27 기판 건조 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060071021A KR20070050789A (ko) 2006-07-27 2006-07-27 기판 건조 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070050789A true KR20070050789A (ko) 2007-05-16

Family

ID=38274233

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060071021A KR20070050789A (ko) 2006-07-27 2006-07-27 기판 건조 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20070050789A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101387395B1 (ko) * 2013-03-28 2014-04-24 씨티에스(주) 소형패널 양면 건식세정장치
KR20150137548A (ko) * 2014-05-30 2015-12-09 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101387395B1 (ko) * 2013-03-28 2014-04-24 씨티에스(주) 소형패널 양면 건식세정장치
KR20150137548A (ko) * 2014-05-30 2015-12-09 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4507202B2 (ja) コーティング装備及びその運用方法
US20150136185A1 (en) Apparatus of cleaning substrate
KR20120138203A (ko) 기판 세정 장치
KR20060040559A (ko) 평판램프 제조용 성형유리기판 세정 장치 및 방법
CN101219427A (zh) 基板处理装置
KR20070050789A (ko) 기판 건조 장치
CN102962229A (zh) 一种涂布喷嘴清洗装置
KR100938639B1 (ko) 건조 장치
KR100578558B1 (ko) 슬릿노즐 세정 장치 및 슬릿노즐 처리 장치
KR101147653B1 (ko) 기판 처리 장치
KR200452969Y1 (ko) 대면적 기판의 건조장치
KR100684048B1 (ko) 유체분사장치
KR200495902Y1 (ko) 기판세정장치
KR200287977Y1 (ko) 피디피용 스크린마스크 세정장치
US20240001401A1 (en) Apparatus for preventing blockage of floating stage, substrate processing apparatus and substrate processing method
KR101075483B1 (ko) 기판 세정장치 및 방법
KR100931475B1 (ko) 파티클 제거 장치
KR101315256B1 (ko) 유리 기판 균일 건조용 에어나이프 분사장치
KR100725038B1 (ko) 기판 처리 장치
KR20080047746A (ko) 기판 처리 장치
KR20100103247A (ko) 평판 디스플레이용 에어 나이프 건조장치
KR101872953B1 (ko) 분사 장치
KR20230143579A (ko) 기판 세정 시스템
KR20190004451A (ko) 펄스신호를 이용하는 유체 분사 장치
KR20160088525A (ko) 분사 유닛 및 이를 이용한 기판 세정 장치

Legal Events

Date Code Title Description
G15R Request for early opening
WITN Withdrawal due to no request for examination