KR101387395B1 - 소형패널 양면 건식세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 소형패널 양면 건식세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소형패널의 이물질을 제거할 수 있도록 상기 소형패널을 지지하는 지지클램프가 구비되고 상기 소형패널을 지지한 지지클램프의 유동 시 상기 소형패널의 상측과 하측에서 동시에 건식 세정을 할 수 있는 소형패널 양면 건식세정장치에 관한 것으로서, 본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출해낸 것으로서 세정하려는 소형패널을 안착플레이트에 안착하여 위치시키는 소형패널인입부와, 상기 소형패널인입부의 소형패널을 지지플레이트로 지지하여 유동하는 이송클램프와, 상기 이송클램프가 유동하며 세정 홈을 관통하며 소형패널의 상, 하측을 동시에 세정시키는 세정부와, 상기 세정부의 세정 홈을 관통한 이송클램프가 세정 완료된 소형패널을 안착플레이트에 안착하여 위치시키는 소형패널인출부로 구성된 소형패널 양면 건식세정장치에 주안점을 두어, 소형패널에 대한 상, 하측을 동시에 세정할 수 있도록 상기 소형패널의 측면을 지지하는 이송클램프가 구비되어 있으며, 상기 소형패널을 지지하는 이송클램프에 한 쌍으로 구성되는 지지플레이트에 홈을 형성하여 소형패널의 지지 시 상면과 하면에 접촉되지 않아 소형패널의 세정에 대해 불량률을 최소화되어 불량률로 인해 발생되는 재료비를 절감할 수 있고, 그로 인해 제품에 대한 품질 향상과 작업시간 단축 및 생산성을 향상시킬 수 있는 소형패널 양면 건식세정장치에 관한 것이다.

Description

소형패널 양면 건식세정장치{Small panel sided dry-cleaning device}
본 발명은 소형패널 양면 건식세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소형패널의 이물질을 제거할 수 있도록 상기 소형패널을 지지하는 지지클램프가 구비되고 상기 소형패널을 지지한 지지클램프의 유동 시 상기 소형패널의 상측과 하측에서 동시에 건식 세정을 할 수 있는 소형패널 양면 건식세정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 많은 공정을 거쳐 제조되는데, 이러한 공정을 거치면서 반도체 기판 예컨대, 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)나 글래스 기판(glass panel), PDP나 LCD등과 같은 대형 평판 디스플레이 및 소형의 기판 또는 패널에도 소자 표면이 불순물로 오염되기 때문에 이 불순물을 제거하기 위한 세정(cleaning)공정이 필수적이다.
반도체 기판의 세정 방법은 크게 습식화학 방법, 건식방법, 증기(vapor phase)방법 등으로 구분된다. 전통적인 웨이퍼 세정방법은 대부분 과산화수소용액을 사용한 화학적 습식방법이었으나 많은 화학물질의 소모와 사용된 이들 물질의 폐기, 발전되는 제조공정과 비호환성 등으로 인하여 점차 건식이나 기상 방법으로 변화되는 추세이다.
기판 표면에 존재하는 불순물들은 필름, 개별입자 혹은 입자덩어리, 흡착된 가스 등으로 이루어져 있으며, 이들은 원자, 이온, 분자 등과 같은 물질 특성을 갖고 있다. 분자형태의 불순물들은 주로 윤활유, 감광제, 용제 찌꺼기 등으로부터 발생된 응결된 유기물질 가스들과 DI 워터(Deionized water)나 플라스틱 용기로부터 생겨난 유기화합물, 금속산화물이나 수산화물등으로 이루어진다. 이온 불순물 들은 대부분 Na, F, Cl 이온등과 같은 것을 물리적으로 흡착하던지 화학적으로 결합한 무기화합물로부터 생겨나고, 원자 불순물은 금이나 구리를 포함하고 있는 HF용액으로부터 반도체 표면에 화학적으로나 전기적으로 이들 금속이 부착되어 생겨난다.
이와 같은 불순물들을 세정하기 위한 기술로서 RCA법은 암모니아과산화수소 용액, 불산 수용액 및 염산과산화수소용액을 조합시킨 습식 세정법이고, 종래 건식 세정법은 자외선(UV) 조사에 의해 생성된 염소 라디칼에 의해 기판 표면의 오염금속을 금속염화물로 증발 제거하는 방식이다. 즉, 종래의 세정기술은 주로 습식세정을 이용하는 방법으로 다량의 수용액과 유해성 용액을 사용하여 피처리물의 표면을 처리하는 방식이나 UV-O 3 세정 같은 자외선(Ultra-Violet)으로 오존을 활성화시키는 방법이나 진공에서 산소 플라즈마를 이용하는 방법 등이 있다.
그런데 이러한 종래의 세정 방법 중 습식방법은 환경오염 물질의 배출 및 장치의 거대화, 유지비의 상승 등으로 인한 문제점이 있고, UV/O 3 를 이용하는 방법은 처리에 소요되는 시간이 오래 걸리고, 자외선(UV) 램프의 수명이 짧고 가격 또한 비싸므로 장비 유지비가 많이 소요되는 문제가 있다. 또한 플라즈마를 이용하는 진공 플라즈마 처리기술과 상압 유전장벽 방전처리기술 등의 건식기술은 습식기술 또는 UV/O 3 기술에 비해 상대적으로 우위를 갖고 있으나 진공 플라즈마를 이용하는 기술은 처리 가능한 크기에 제약이 있으며 고가의 장비가 요구되고, 대기압 플라즈마 기술은 높은 전압을 사용하여 반응기체를 방전 분해하는 특성상 균일한 플라즈마가 생기지 않고 국부적으로 방전전류가 집중되는 스트리머(streamer)나 아크(arc) 등의 이상 방전 형상이 발생하여 인체에 유해한 오존이 다량 발생하게 되고, 반응성도 떨어지는 문제점이 있다. 특히, PDP나 LCD 등의 각종 글라스 패널이나 건축 자재용 투명 폴리머 등의 대형 평판을 세정하는 경우에는 이러한 국부적인 이상 방전 현상이나 오존(O 3 )의 발생은 효과적인 건식세정을 저해하는 큰 문제점이라 할 수 있다.
이에 대해 종래 개발되어진 장치들을 살펴보면,
등록번호 특0186043호는 ‘세정용 브러시를 가지는 기판세정장치 및 기판 세정방법’에 관한 것으로서, 기판의 양면을 브러시 세정하기 위한 상하 브러시부재를 가지는 브러시 세정수단과, 상기 상하브러시부재의 각각을 회전시키는 수단과, 상기 상하 브러시부재의 각각에 세정액을 공급하는 수단과, 벨트구동되는 한 쌍의 유지아암을 가지고, 기판을 상기 상하 브러시부재의 사이로 반송하며, 상기 유지아암에 의하여 기판을 유지하여 상기 상하 브러시부재 사이의 위치에서 기판을 반송방향으로 왕복이동시키는 반송수단과, 상기 반송수단의 동작을 제어하는 수단을 가지는 기판세정장치를 나타내고 있다.
등록번호 10-0551207호는 ‘기판반송장치 및 기판반송방법’에 관한 것으로서,
처리부에 또는 처리부로부터 기판을 반입 및 반출하는 기판반송장치에 있어서,
상기 기판을 보지하는 아암과, 상기 처리부에 상기 기판을 반입 및 반출하는 상기의 아암을 구동하는 아암구동기구와, 상기 기판을 흡착하기 위해 상기 아암에 설치된 제 1흡착패드와, 상기 기판을 흡착하기 위해 상기 제 1흡착패드와 인접한 위치에 상기 아암에 설치된 제 2흡착패드와, 상기 제 1흡착패드와 제 2흡착패드 중의 하나에 흡착되는 상기 기판의 형태를 조정하기 위해 상기 기판의 가장 낮은 면과 접촉되도록, 상기 아암의 제 1흡착패드와 제 2흡착패드 사이에 설치된 돌기부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치와, 기판을 보지하는 아암과, 상기 기판을 선택적으로 흡착하기 위해 상기 아암에 설치된 제 1흡착패드 및 제 2흡착패드와, 상기 아암의 제 1흡착패드 및 제 2흡착패드의 사이에 설치된 돌기부재를 포함하는 기판반송장치를 이용하여 기판을 반송하는 기판반송방법에 있어서, 흡착작용을 하는 제 1흡착패드와 세정처리가 안된 기판이 상기 제 1흡착패드에 의해 흡착되도록 하기 위해 상기 세정처리가 안된 기판의 가장 낮은 면과 접촉된 돌기부재로 상기 세정처리가 안된 기판을 보지하면서 처리부에 반입하는 과정과, 흡착작용을 하는 제 2흡착패드와 세정처리된 기판을 상기 제 2흡착패드에 의해 흡착되도록 하기 위해 상기 세정처리된 기판의 가장 낮은 면과 접촉된 돌기부재로 상기 세정처리된 기판을 보지하면서 처리부로부터 반출하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법을 나타내고 있다.
상기와 같이 종래 다양한 장치들을 포함하여 세정장치들이 다수 개발되어 사용되고 있지만, 대형의 글라스 패널은 이송레일 또는 컨베이어 등으로 유동하며 유동하는 공정 중 세정공정을 거치게 되어 세정할 수 있는 반면, 최근에는 패널이 소형화되어 휴대폰과 같이 소형패널이 적용되는 부분이 많이 개발된 가운데 소형패널은 대형패널과 같이 이송레일 또는 컨베이어 등으로 유동시키며 세정공정을 거칠 수 없도록 되어 있어 소형패널의 세정에서는 소형패널을 지지하는 클램프 등이 구비되어 상기 클램프의 유동으로 소형패널을 지지하는 수밖에 없는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출해낸 것으로서 세정하려는 소형패널을 안착플레이트에 안착하여 위치시키는 소형패널인입부와, 상기 소형패널인입부의 소형패널을 지지플레이트로 지지하여 유동하는 이송클램프와, 상기 이송클램프가 유동하며 세정 홈을 관통하며 소형패널의 상, 하측을 동시에 세정시키는 세정부와, 상기 세정부의 세정 홈을 관통한 이송클램프가 세정 완료된 소형패널을 안착플레이트에 안착하여 위치시키는 소형패널인출부로 구성된 소형패널 양면 건식세정장치에 주안점을 두고 그 기술적 과제로서 완성해낸 것이다.
상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 소형패널이 이송되는 세정 홈을 중심으로 상측과 하측에서 동시에 에어를 발생시키는 세정부와, 상기 세정부의 일 측에 구비되되 세정하려는 소형패널이 안착되며 안착된 소형패널이 이탈되지 않도록 돌기가 형성되며 실린더의 작동으로 상하 유동하는 안착플레이트가 구비된 소형패널인입부와, 상기 세정부의 타 측에 구비되되 세정 완료된 소형패널이 안착되며 안착된 소형패널이 이탈되지 않도록 돌기가 형성되며 실린더의 작동으로 상하 유동하는 안착플레이트가 구비된 소형패널인출부 및 상기 소형패널의 측면이 지지되도록 일 측면에 홈이 형성된 지지플레이트가 홈을 중심으로 상호 대칭을 이루며 한 쌍으로 구비된 이송클램프로 구성되는 소형패널 양면 건식세정장치를 제공함으로서 그 과제를 해결하고자 한다.
본 발명에 따른 소형패널 양면 건식세정장치에 의하면, 소형패널에 대한 상, 하측을 동시에 세정할 수 있도록 상기 소형패널의 측면을 지지하는 이송클램프가 구비되어 있으며, 상기 소형패널을 지지하는 이송클램프에 한 쌍으로 구성되는 지지플레이트에 홈을 형성하여 소형패널의 지지 시 상면과 하면에 접촉되지 않아 소형패널의 세정에 대해 불량률을 최소화되어 불량률로 인해 발생되는 재료비를 절감할 수 있고, 그로 인해 제품에 대한 품질 향상과 작업시간 단축 및 생산성을 향상시킬 수 있는 발명이라 하겠다.
도 1은 본 발명인 소형패널 양면 건식세정장치를 나타내는 정면도
도 2는 본 발명인 소형패널 양면 건식세정장치를 나타내는 좌측면도
도 3은 본 발명인 소형패널 양면 건식세정장치를 나타내는 우측면도
도 4는 본 발명인 소형패널 양면 건식세정장치를 나타내는 평면도
도 5는 도 4의 A-A를 나타내는 정면도
도 6은 본 발명의 구성 중 지지플레이트의 확대를 나타내는 평면도
도 7은 도 6의 B에 대한 실시 예를 나타내는 단면도
도 8은 본 발명의 구성 중 이송클램프와 이격장치의 작동을 나타내는 평면도
이에 본 발명인 소형패널 양면 건식세정장치의 구성을 도 1 내지 도 8을 참고로 설명하면, 소형패널(600)이 이송되는 세정 홈(110)을 중심으로 상측과 하측에서 동시에 에어를 발생시키는 세정부(100)와, 상기 세정부(100)의 일 측에 구비되되 세정하려는 소형패널(600)이 안착되며 안착된 소형패널(600)이 이탈되지 않도록 돌기(211)가 형성되며 실린더(220)의 작동으로 상하 유동하는 안착플레이트(210)가 구비된 소형패널인입부(200)와, 상기 세정부(100)의 타 측에 구비되되 세정 완료된 소형패널(600)이 안착되며 안착된 소형패널(600)이 이탈되지 않도록 돌기(311)가 형성되며 실린더(320)의 작동으로 상하 유동하는 안착플레이트(310)가 구비된 소형패널인출부(300) 및 상기 소형패널(600)의 측면이 지지되도록 일 측면에 V자 형상의 홈(430)이 형성된 지지플레이트(410)가 홈(430)을 중심으로 상호 대칭을 이루며 한 쌍으로 구비된 이송클램프(400)로 구성된 소형패널 양면 건식세정장치(10)이다.
상기한 소형패널 양면 건식세정장치(10)의 구성에 대해 도 1 내지 도 8을 참고로 보다 상세히 설명하면,
우선, 세정부(100)에 대해 도 1 내지 도 5를 참고로 상세히 설명하면,
세정부(100)는 상기 소형패널(600)을 지지한 이송클램프(400)가 이송할 수 있도록 세정 홈(110)이 형성되어 있으며, 상기 세정 홈(110)의 상, 하측에는 동시에 에어를 발생시킬 수 있는 인입, 인출구가 형성된 세정장치가 구성되어 있다.
상기 세정 홈(110)은 소형패널(600)을 지지한 이송클램프(400)가 이송될 수 있도록 일정간격 이격되어 있으며, 상기한 세정 홈(100)의 간격은 일정 간격 이상 이격되지 않도록 한다.
이는 상기한 이송클램프(400)가 이송 시 세정 홈(110)이 일정간격 이상 이격되면, 상기 세정 홈(110)의 상, 하측에 구성된 세정장치의 작동 시 소형패널(600)에 대한 완연한 세정이 되지 않게 되고, 세정 홈(110)이 일정간격 이하 이격되면, 세정장치의 작동으로 인해 이송클램프(400)의 유동 시 상기 세정장치의 압력으로 인해 상측 또는 하측에 접착될 수 있는 문제점을 미연에 방지하기 위한 것이다.
상기 세정부(100)에 구성된 세정장치는 일반적으로 건식세정장치에 사용되는 것으로서, 본 발명에서는 간략 설명한다.
소형패널인입부(200)에 대해 도 1, 2, 4, 5를 참고로 상세히 설명하면,
소형패널인입부(200)는 상기 세정부(100)의 일 측에 구비되되 세정하려는 소형패널(600)이 안착되는 안착플레이트(210)가 구비된다.
상기 안착플레이트(210)에는 소형패널(600)의 안착 시 상기 소형패널(600)이 이탈되지 않도록 외측 일부분에 돌기(211)가 형성되어 있으며, 상기한 안착플레이트(210)는 실린더(220)의 작동으로 인해 상하 유동한다.
이때 상기 안착플레이트(210)의 유동은 실린더(220)로 한정하지 않으며, 상기한 안착플레이트(210)는 세정하려는 소형패널(600)이 안착플레이트(210)에 인입될 때의 소형패널(600) 위치에 따라 회전할 수도 있다.
상기 소형패널인입부(200)의 안착플레이트(210)가 상승하여 하기 하는 이송클램프(400)가 소형패널(600)을 지지한 후 유동할 수 있도록 상기 안착플레이트(210)는 상기 이송클램프(400)가 위치된 부분까지 상승하며, 하강 시 상기 이송클램프(400)에 닿지 않을 위치로 하강한다.
또한, 상기 안착플레이트(210)에는 상기 소형패널(600)의 안착 시 이탈을 방지하는 돌기(211)가 형성되어 있다. 상기한 돌기(211)는 소형패널(600)의 양 측면을 지지하는 것으로서, 그 형상에 대해서는 한정하지 않는다.
소형패널인출부(300)에 대해 도 1, 3, 4, 5를 참고로 상세히 설명하면,
소형패널인출부(300)는 상기 세정부(100)의 타 측에 구비되되 세정하려는 소형패널(600)이 안착되는 안착플레이트(310)가 구비된다.
상기 안착플레이트(310)에는 소형패널(600)의 안착 시 상기 소형패널(600)이 이탈되지 않도록 외측 일부분에 돌기(311)가 형성되어 있으며, 상기한 안착플레이트(310)는 실린더(320)의 작동으로 인해 상하 유동한다.
이때 상기 안착플레이트(310)의 유동은 실린더(320)로 한정하지 않으며, 상기한 안착플레이트(310)는 세정하려는 소형패널(600)이 안착플레이트(310)에 인입될 때의 소형패널(600) 위치 또는 이후 공정에 따라 회전할 수도 있다.
상기 소형패널인출부(300)의 안착플레이트(310)가 상승하여 하기 하는 이송클램프(400)가 소형패널(600)을 지지한 후 유동할 수 있도록 상기 안착플레이트(310)는 상기 이송클램프(400)가 위치된 부분까지 상승하며, 하강 시 상기 이송클램프(400)에 닿지 않을 위치로 하강한다.
또한, 상기 안착플레이트(310)에는 상기 소형패널(600)의 안착 시 이탈을 방지하는 돌기(311)가 형성되어 있다. 상기한 돌기(311)는 소형패널(600)의 양 측면을 지지하는 것으로서, 그 형상에 대해서는 한정하지 않는다.
이송클램프(400)에 대해 도 1 내지 도 8을 참고로 상세히 설명하면,
이송클램프(400)는 상기 소형패널(600)의 양측면을 지지하여 상기 소형패널인입부(200)에서 세정부(100)의 세정 홈(110)을 관통하여 소형패널인출부(300)로 유동한 후 이를 왕복운동한다.
상기 이송클램프(400)는 한 쌍의 지지플레이트(410, 410a)가 구성되어 있으며, 상기 지지플레이트(410)의 일 측에는 상기 소형패널(600)의 측면을 지지 시 이탈되지 않도록 홈(430)이 형성되어 있다.
이에 상기 지지플레이트(410)와 한 쌍을 이루는 지지플레이트(410a)는 상기 홈(430)을 중심으로 상호 대칭을 이루며 구성되며, 이때 상기 지지플레이트(410, 410a)에 형성된 홈(430, 430a)은 상호 대응하게 된다.
상기에서 상호 대응되는 홈(430, 430a)에 지지되는 소형패널(600)은 상기 홈(430, 430a)의 형상이 V자 형상으로 이루어져 있어 V자 형상의 경사면에 소형패널(600)의 모서리부분이 지지되어 상기 소형패널(600)이 이송클램프(400)의 지지플레이트(410)에 지지 시 이물질이 접촉되지 않는다. 여기서 상기 홈(430, 430a)의 V자 형상은 한정하지 않으며, 사용에 따라 U자 형상 또는 상기 소형패널(600)의 모서리부분이 지지되지 않는 형상에 의해 사용할 수 있도록 하였다.
또한, 상기 지지플레이트(410, 410a)의 마주하는 내측에는 상기 소형패널인입부(200)와 소형패널인출부(300)의 안착플레이트(210, 310)에 형성된 돌기(211, 311)가 관통할 수 있도록 도피 홈(420)이 형성되어 있다.
상기 도피 홈(420)은 상호 대칭을 이루며 마주하는 지지플레이트(410, 410a)의 내측에 각각 형성되어 있으며, 이는 상기 소형패널인입부(200)와 소형패널인출부(300)의 안착플레이트(210, 310)에 형성된 돌기(211, 311)가 관통할 수 있도록 형성된 것이다.
상기한 도피 홈(420)은 상기 안착플레이트(210, 310)의 상승 또는 하강 시 상기 안착플레이트(210, 310)에 형성된 돌기(211, 311)가 관통할 수 있도록 상기 돌기(211, 311)보다 같거나 크게 형성되어 있으며, 그 형상에 대해서는 일반적으로 사용하는 홈이므로 이에 한정하지 않겠다.
상기 설명한 소형패널 양면 건식세정장치(10)에는 도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이 이송클램프(400)에 한 쌍으로 구비되어 상호 대칭을 이루는 지지플레이트(410, 410a)를 일정 간격 이격시키는 이격장치(500)가 구성된다.
상기한 이격장치(500)는 본 발명에서는 상기 상호 대칭을 이루는 지지플레이트(410, 410a)의 일 측 사이로 인입되는 돌출부재(510)가 구비되며, 상기한 돌출부재(510)는 상기 지지플레이트(410, 410a)의 일 측 사이로 인입, 인출될 수 있다.
상기한 돌출부재(510)가 상기 지지플레이트(410, 410a)의 일 측 사이로 인입 시 상기 돌출부재(510)의 인입으로 인해 상기 지지플레이트(410, 410a)가 외측 방향으로 일정 간격 이격되게 되며, 이때, 상기한 소형패널(600)을 안착한 안착플레이트(210, 310)가 상승 또는 하강한다.
상기 돌출부재(510)의 인출은 상기 지지플레이트(410, 410a)의 홈(430, 430a)에 소형패널(600)을 지지하거나 이탈시킬 때 한다.
상기한 이격장치(500)는 본 발명에 대한 설명과 같이 별도의 이격장치(500)를 구비할 수도 있지만, 또는 상기 이송클램프(400)의 지지플레이트(410, 410a)에 직접 또는 간접적으로 연결하여 상기 지지플레이트(410, 410a)를 외측방향 또는 내측방향으로 유동시키면서 상기 소형패널(600)을 지지하거나 이탈할 수 있도록 하는 것으로서 본 발명에 적용된 이격장치(500)에 대해 한정하지는 않는다.
이에 대해 본 발명이 적용된 소형패널 양면 건식세정장치의 실시 예를 도 1 내지 도 8을 참고로 설명하면,
우선, 이전 공정을 거쳐 이송되어진 소형패널(600)이 소형패널인입부(200)의 안착플레이트(210)에 위치되어 상기 안착플레이트(210)에 안착된다.
이때, 상기 안착플레이트(210)에 안착된 소형패널(600)이 이탈되지 않도록 상기 안착플레이트(210)의 외측에 형성된 돌기(211)가 상기 소형패널(600)의 외측면을 지지한다.
상기에서 소형패널(600)이 소형패널인입부(200)의 안착플레이트(210)에 안착되면, 상기 소형패널인입부(200)에 구성된 실린더(220)의 작동으로 안착플레이트(210)가 상승된다. 이때, 상기 안착플레이트(210)는 회전 가능하며 이는 소형패널(600)의 안착 후 상기 소형패널(600)이 이송클램프(400)의 지지플레이트(410, 410a)에 지지될 수 있도록 소형패널(600)을 회전시킨다. 여기서 상기한 안착플레이트(210)의 회전은 이전 공정을 거쳐 이송되어진 소형패널(600)의 방향에 따라 회전될 수도 있거나 또는 이송된 방향에 따라 회전을 적용할 수 있다.
또한, 상기 소형패널(600)을 지지하고 있는 안착플레이트(210)의 돌기(211)는 이송클램프(400)에 형성된 도피 홈(420)으로 인입하게 된다.
상기에서 안착플레이트(210)가 상승하여 소형패널(600)이 방향을 잡게 되면, 이송클램프(400)가 상기 소형패널(600)을 지지하는데, 이때, 상기 이송클램프(400)의 일 측에 구성된 이격장치(500)가 외측방향으로 유동하여 상기 이격장치(500)의 돌출부재(510)가 이송클램프(400)에 한 쌍으로 구비된 지지플레이트(410)가 내측방향으로 이격되어 상기 소형패널(600)의 측면을 지지하게 된다.
상기 이송클램프(400)에 한 쌍으로 구비된 지지플레이트(410, 410a)가 소형패널(600)을 지지 시 소형패널(600)의 모서리부분이 상기 지지플레이트(410, 410a)에 형성된 홈(430, 430a)에 지지되어 상기 소형패널(600)의 상면 또는 하면에 접촉되지 않도록 하였다.
상기에서 이송클램프(400)에 소형패널(600)이 지지되면, 상기 이송클램프(400)가 유동하여 세정부(100)의 세정 홈(110)을 관통하여 상기 세정부(100)의 타 측에 구비된 소형패널인출부(300)에까지 유동한다.
상기 세정부(100)의 세정 홈(110)을 관통하는 이송클램프(400)는 세정 홈(100)을 거치면서 상기 세정 홈(100)의 상측과 하측에 각각 구비된 세정장치를 이용하여 상기 이송클램프(400)에 지지된 소형패널(600)을 상, 하측에서 동시에 세정한다.
또한, 세정 완료된 이송클램프(400)는 소형패널인출부(300)로 유동하는데, 유동한 이송클램프(400)는 소형패널인출부(300)의 안착플레이트(310) 상측에 위치된다.
상기에서 소형패널인출부(300)의 상측에 이송클램프(400)가 위치되면, 상기 소형패널인출부(300)의 안착플레이트(310)가 실린더(320)의 작동으로 상승하여 이송클램프(400)에 지지된 소형패널(600)을 지지한다.
상기에서 안착플레이트(310)가 상승하여 소형패널(600)을 지지 시 돌기(311)가 소형패널(600)의 이탈을 방지한다.
상기에서 안착플레이트(310)가 소형패널(600)을 지지하면, 소형패널 양면 건식세정장치(10)의 일 측에 구비된 이격장치(500)가 돌출부재(510)를 이송클램프(400)에 한 쌍으로 구비된 지지플레이트(410, 410a) 사이로 일정 간격 인입되어 상기 지지플레이트(410, 410a)가 외측방향으로 일정 간격 이격되고, 이때 상기 지지플레이트(410, 410a)에서 이탈된 소형패널(600)은 안착플레이트(310)가 하강하여 소형패널(600)을 지지플레이트(410, 410a)에서 완전히 이탈시킨다.
상기에서 소형패널인출부(300)의 안착플레이트(310)에 소형패널(600)이 안착되면, 세정 완료된 소형패널(600)은 다음 공정으로 이송된다.
이때, 상기 이송클램프(400)는 한 쌍으로 구비된 지지플레이트(410, 410a)가 일정 간격 이격된 상태로 상기 이송클램프(400)와 이격장치(500)가 동시에 소형패널인입부(200)가 구비된 방향으로 유동한다.
상기 이송클램프(400)가 소형패널인입부(200)의 안착플레이트(210) 상측에 도달하면, 다음 번 세정하려는 소형패널(600)을 안착한 안착플레이트(210)가 상승하게 되고, 상승 완료되면, 상기 이격장치(500)의 돌출부재(510)가 외측방향으로 유동하고, 그로 인해 이송클램프(400)에 한 쌍으로 구비된 지지플레이트(410, 410a)가 내측방향으로 이격되며 상기 소형패널(600)을 지지하여 상기와 같은 방법으로 상기 소형패널(600)을 세정한다.
상기한 설명과 같이 본 발명은 소형패널(600)에 대한 상, 하측을 동시에 세정할 수 있도록 상기 소형패널(600)의 측면을 지지하는 이송클램프(400)가 구비되어 있으며, 상기 소형패널(600)을 지지하는 이송클램프(400)에 한 쌍으로 구성되는 지지플레이트(410, 410a)에 홈(430, 430a)을 형성하여 소형패널(600)의 지지 시 상면과 하면에 접촉되지 않아 소형패널(600)의 세정에 대해 불량률을 최소화되어 불량률로 인해 발생되는 재료비를 절감할 수 있고, 그로 인해 제품에 대한 품질 향상과 작업시간 단축 및 생산성을 향상시킬 수 있는 발명이라 하겠다.
상기한 설명과 같이 본 발명은 소형패널(600)에 대한 상, 하측을 동시에 세정할 수 있도록 상기 소형패널(600)의 측면을 지지하는 이송클램프(400)가 구비되어 있으며, 상기 소형패널(600)을 지지하는 이송클램프(400)에 한 쌍으로 구성되는 지지플레이트(410)에 홈(430)을 형성하여 소형패널(600)의 지지 시 상면과 하면에 접촉되지 않아 소형패널(600)의 세정에 대해 불량률을 최소화되어 불량률로 인해 발생되는 재료비를 절감할 수 있고, 그로 인해 제품에 대한 품질 향상과 작업시간 단축 및 생산성을 향상시킬 수 있는 소형패널 양면 건식세정장치(10)라 하겠다.
10 : 소형패널 양면 건식세정장치
100 : 세정부 110 : 세정 홈
200 : 소형패널인입부
210 : 안착플레이트 211 : 돌기 220 : 실린더
300 : 소형패널인출부
310 : 안착플레이트 311 : 돌기 320 : 실린더
400 : 이송클램프
410 : 지지플레이트 420 : 도피 홈 430 : 홈
500 : 이격장치 510 : 돌출부재
600 : 소형패널

Claims (4)

  1. 소형패널이 이송되는 세정홈을 중심으로 상, 하측에서 동시에 에어를 발생시키는 세정부와, 상기 소형패널을 인입하는 소형패널인입부 및 상기 소형패널의 측면이 지지되도록 홈이 형성된 이송클램프로 구성된 건식세정장치에 있어서,
    상기 소형패널인입부는 상기 세정부(100)의 일 측에 구비되되 세정하려는 소형패널(600)이 안착되고 안착된 소형패널(600)이 이탈되지 않도록 돌기(211)가 형성되며 실린더(220)의 작동으로 상하 유동하는 안착플레이트(210)가 구성되고,
    상기 세정부(100)의 타 측에 구비되되 세정 완료된 소형패널(600)이 안착되며 안착된 소형패널(600)이 이탈되지 않도록 돌기(311)가 형성되며 실린더(320)의 작동으로 상하 유동하는 안착플레이트(310)가 구비된 소형패널인출부(300)가 구성되며,
    상기 소형패널(600)의 측면이 지지되도록 일 측면에 V자 형상의 홈(430)이 형성된 지지플레이트(410)가 홈(430)을 중심으로 상호 대칭을 이루며 한 쌍으로 구비된 이송클램프(400)로 구성되되,
    상기 소형패널인입부(200)와 소형패널인출부(300)의 안착플레이트(210, 310)에는 상기 소형패널(600)을 안착시켜 이탈을 방지하는 돌기(211, 311)가 형성되고,
    상기 지지플레이트(410, 410a)의 홈(430, 430a)이 형성된 내측 일부분에는 상기 소형패널인입부(200)와 소형패널인출부(300)의 안착플레이트(210, 310)에 형성된 돌기(211, 311)가 관통할 수 있도록 도피 홈(420)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 소형패널 양면 건식세정장치
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 건식세정장치(10)에는 이송클램프(400)에 한 쌍으로 구비된 지지플레이트(410)를 일정 간격 이격시키는 이격장치(500)가 구성되는 것을 특징으로 하는 소형패널 양면 건식세정장치
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