KR200452969Y1 - 대면적 기판의 건조장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 대면적 기판의 건조장치에 관한 것으로, 배스의 내측에서 이송되는 기판에 건조공기를 분사하여 기판을 건조시키는 에어나이프와, 상기 배스에 설치되어 배스내의 공기를 외부로 배출하는 배기부와, 상기 에어나이프의 인접한 전단에서 상기 건조공기의 분사에 따라 발생되는미스트를 포집하여 상기 배기부와 인접한 위치로 이동시켜 외부로 배출될 수 있도록 하는 포집부를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 고안은 발생되는 미스트를 수집하고, 와류의 형성을 방지하며, 그 수집된 미스트를 정의된 경로를 통해 외부로 배출함으로써, 기판에 미스트가 재부착되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

기판, 건조, 에어나이프

Description

대면적 기판의 건조장치{Dryer for large-area substrate}

본 고안은 대면적 기판의 건조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 미스트의 기판 재부착을 방지할 수 있는 대면적 기판의 건조장치에 관한 것이다.

일반적으로 대면적 기판의 건조장치는 건조공기를 분사하는 에어나이프를 이송되는 기판의 상면과 하면측에 각각 다단으로 설치하고, 그 건조공기의 분사로 발생되는 미스트들을 외부로 배기하는 구조를 가지고 있다.

종래에는 그 배기구조에 특별한 것이 없고 배스의 상단 및 하단측에 마련된 배기팬을 사용하여 일괄 배기하였으며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 건조장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 대면적 기판의 건조장치의 구성도이다.

도 1을 참조하면 종래 대면적 기판의 건조장치는 이송되는 기판(S)의 상부와 하부측에 각각 위치하여 기판(S)에 건조공기를 분사하는 상부에어나이프(1) 및 하부에어나이프(2)와, 상기 건조장치가 마련된 건조실을 정의하는 배스(3)에 마련된 배기부(4)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 대면적 기판 건조장치의 구성과 문제점을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 기판(S)이 이송되는 상태에서 상부에어나이프(1)와 하부에어나이프(2)에서는 건조공기를 분사한다. 이와 같은 고압의 건조공기를 분사하면 기판(S) 표면의 세정수나 세정약액을 기판(S)의 이송방향 반대측으로 이동하면서 기판(S)이 건조된다.

이때, 상기 고압의 건조공기 분사에 의해 액체 입자가 기류와 함께 기판(S)으로부터 분리되어 미스트 상태로 배스(3)의 내부에 존재하게 된다. 이와 같은 미스트는 배스(3)에 마련된 배기부(4)를 통해 외부로 배기된다. 그러나 배기부(4)에 의해 완전히 미스트를 제거하기는 용이하지 않으며, 미스트가 기판(S)에 재부착되는 경우가 발생할 수 있다.

즉, 상기 배스(3)의 내부에는 고압의 건조공기 분사에 의한 와류가 형성되고, 그 와류에 미스트가 상기 상부에어나이프(1)와 하부에어나이프(2)를 지난 기판(S)에 재부착되는 경우가 발생할 수 있다.

상기와 같이 미스트가 기판(S)에 재부착되면, 이는 기판(S)에 물얼룩을 남기게 되어, 그 물얼룩이 결함으로 작용하여 공정불량을 유발할 수 있다.

이와 같이 종래에는 배스(3)의 내부에 발생된 미스트가 자유롭게 이동이 가능한 구조를 가지고 있으며, 따라서 미스트가 기판(S)에 재부착되는 것을 완전히 차단할 수 없는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 고안이 해결하고자 하는 과제는, 에어나이프의 건조공기 분사에 의해 발생되는 미스트의 이동경로를 제한하여 기판에 재부착되는 것을 방지할 수 있는 대면적 기판의 건조장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 고안은, 배스의 내측에서 이송되는 기판에 건조공기를 분사하여 기판을 건조시키는 에어나이프와, 상기 배스에 설치되어 배스내의 공기를 외부로 배출하는 배기부와, 상기 에어나이프의 인접한 전단에서 상기 건조공기의 분사에 따라 발생되는미스트를 포집하여 상기 배기부와 인접한 위치로 이동시켜 외부로 배출될 수 있도록 하는 포집부를 포함한다.

상기와 같이 구성되는 본 고안은 발생되는 미스트를 수집하고, 와류의 형성을 방지하며, 그 수집된 미스트를 정의된 경로를 통해 외부로 배출함으로써, 기판에 미스트가 재부착되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

이하, 상기와 같은 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 고안 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.

도 2를 참조하면 본 고안 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예는, 이송되는 기판(S)의 상부와 하부에 각각 건조공기를 분사하는 상부에어나이프(10) 및 하부에어나이프(20)와, 상기 상부에어나이프(10)와 하부에어나이프(20)의 전단에서 그 상부에어나이프(10)와 하부에어나이프(20)에 인접한 위치에서 분사된 건조공기에 의해 발생하는 미스트를 유입시켜 배스(30)에 마련된 배기부(40)까지 전달하는 미스트포집부(50)를 포함하여 구성된다.

상기 미스트포집부(50)는 상기 상부에어나이프(10)와 하부에어나이프(20) 각각의 지지대(11,21)에 고정되어 기판(S)과 평행하게 위치하는 차단판(51)과, 상기 차단판(51)으로부터 기판(S)측으로 소정거리 이격되어 위치하여 상기 차단판(51)과의 사이에서 미스트의 이동경로부(52)를 제공함과 아울러 그 끝단이 절곡되어 그 이동경로부(52)를 통해 이동하는 미스트가 상기 배기부(40)에 인접한 위치까지 위치함과 아울러 상기 기판(S)과 평행한 부분에서 다수의 포집구(53)를 구비하는 포집판(54)과, 상기 포집구(53)를 통해 미스트의 유입이 용이하도록 그 포집구(53)의 외측에 경사지게 마련된 포집경사판(55)을 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 고안 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저 기판(S)이 이송되면, 상기 상부에어나이프(10)와 하부에어나이프(20)는 건조공기를 분사한다.

상기 건조공기의 분사에 따라 기판(S)은 건조되며, 그 분사압력에 의해 미스트가 발생된다. 상기 미스트는 대부분 건조공기의 분사각도에 의해 정해지는 반사각도로 기판(S)에서 분리되어 발생되며, 와류의 형성이 없는 부분에서는 그 반사각도로 진행하게 된다.

이와 같은 미스트를 포집하기 위하여 상기 포집경사판(55)은 상기 상부 및 하부에어나이프(10,20)의 분사각도인 입사각에 대응하는 반사각도와 동일한 각도로 설치되어 있으며, 미스트는 그 포집경사판(55)에 의해 상기 포집구(53)로 유입된다.

상기 포집구(53)의 수는 적어도 3개 이상이 됨이 바람직하다. 포집구(53)의 수가 하나 또는 둘 일때에는 상부 및 하부에어나이프(10,20)에서 분사되는 건조공기의 분사압력에 의해 와류가 발생될 수 있으며, 그 와류에 의해 미스트가 상기 상부 및 하부에어나이프(10,20)의 분사노즐부분에 부착될 수 있기 때문이다.

상기 포집구(53)로 포집된 미스트들은 상기 포집판(54)과 차단판(51)이 이루는 공간부인 이동경로부(52)를 통해 이동하게 된다. 이때의 미스트의 이동은 상기 건조공기의 분사와 상기 배기부(40)의 배기압력의 작용에 의한 것이며, 그 포집 판(54)의 절곡된 부분과 상기 차단판(51)이 이루는 배출구(56)에서 미스트가 배출되어 배기부(40)를 통해 외부로 배기된다.

상기 배출구(56)의 면적은 상기 이동경로부(52)의 면적에 비해 더 적은 것이 바람직하며, 이는 상기 배기부(40)의 배기 압력에 의해 미스트를 더 잘 배출할 수 있다.

상기와 같은 미스트의 이동과정에서 상기 차단판(51)은 미스트가 상부 및 하부에어나이프(10,20)의 후단측으로 이동하는 것을 완전히 차단하게 된다.

이와 같이 본 고안은 기판(S)에서 발생된 미스트를 포집하여 차단판(51)과 포집판(54)이 이루는 경로를 통해서만 그 미스트를 이동시키고, 이동경로부(52)의 끝단인 배출구(56)가 배스(30)에 마련된 배기부(40)에 인접하여 위치하도록 구성하여, 미스트가 배스(30)의 내부에서 자유롭게 이동하는 것을 방지함으로써, 미스트가 기판에 재부착되는 것을 방지할 수 있게 된다.

도 1은 종래 대면적 기판 건조장치의 구성도이다.

도 2는 본 고안 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10:상부에어나이프 20:하부에어나이프

30:배스 40:배기부

50:포집부 51:차단판

52:이동경로부 53:포집구

54:포집판 55:포집경사판

56:배출구

Claims (4)

1. 배스의 내측에서 이송되는 기판에 건조공기를 분사하여 기판을 건조시키는 에어나이프;

   상기 배스에 설치되어 배스내의 공기를 외부로 배출하는 배기부; 및

   상기 에어나이프를 지지하는 지지대에 고정되어 기판과 평행하게 위치하는 차단판과,

   상기 차단판으로부터 기판측으로 소정거리 이격되어 위치하여 상기 차단판과의 사이에서 미스트의 이동경로를 제공함과 아울러 그 끝단이 절곡되어 상기 이동경로부의 끝단에 상기 배기부와 인접한 위치에 배출구를 제공하고, 상기 기판과 평행한 부분에서 다수의 포집구를 구비하는 포집판을 구비하여,

   상기 에어나이프의 인접한 전단에서 상기 건조공기의 분사에 따라 발생되는 미스트를 포집하여 상기 배기부와 인접한 위치로 이동시켜 외부로 배출될 수 있도록 하는 포집부를 포함하는 대면적 기판의 건조장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 다수의 포집구에는 미스트의 유입이 용이하도록 그 포집구의 외측에 경사지게 마련된 포집경사판을 더 포함하는 대면적 기판의 건조장치.
4. 제3항에 있어서,

   상기 포집경사판의 경사각도는 상기 건조공기의 분사각도인 입사각도에 반대되는 반사각도와 동일한 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 건조장치.

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