KR20120015068A - 에어 나이프 장치 - Google Patents

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KR20120015068A
KR20120015068A KR1020100077303A KR20100077303A KR20120015068A KR 20120015068 A KR20120015068 A KR 20120015068A KR 1020100077303 A KR1020100077303 A KR 1020100077303A KR 20100077303 A KR20100077303 A KR 20100077303A KR 20120015068 A KR20120015068 A KR 20120015068A
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조만석
신용철
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(주) 에스엠씨
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Abstract

이송되는 기판의 상면으로 건조공기를 분사하여 건조하기 위한 상부 에어나이프와, 상부 에어나이프와 일정 유격 유지하여 이격되게 설치되며 기판의 하면으로 건조공기를 분사하여 건조시키는 하부 에어나이프와, 상부 에어나이프를 하부 에어나이프에 대한 위치를 조정하여 유격을 조정하기 위한 유격 조절부를 포함하고, 상부 및 하부 에어나이프 각각에는 유격을 통과하는 기판으로 건조공기를 분사하는 복수의 에어노즐이 기판의 이송방향으로 복수 열 형성되며, 복수 열의 에어노즐들은 상기 기판 이송방향에 대해 일정 각도의 사선 방향으로 배치되도록 형성된 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치가 개시된다.

Description

에어 나이프 장치{AN AIR KNIFE APPARATUS FOR DRYING A SUBSTRATE}
본 발명은 에어 나이프 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 표면을 보다 효과적으로 건조시킬 수 있는 에어 나이프 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(FPD;flat pannel display) 기판 등의 다양한 제조공정을 거쳐 제조되는데, 이처럼 다양한 제조공정을 거치다 보면 기판 표면이 제조공정 중에 발생되는 파티클 및 오염물질에 의해 오염되므로 기판 표면의 파티클 및 오염물질을 제거하기 위하여 일부 제조공정의 전/후로는 세정공정이 수행된다.
즉, 세정공정은 기판 표면의 청정화를 위한 공정으로 일 예로 약액처리공정과 린스공정과 건조공정으로 이루어지고, 특히 건조공정은 약액처리공정과 린스공정을 거쳐 기판 표면에 잔류된 세정액을 제거하기 위한 공정이다.
일반적으로 건조공정은 기판 표면에 잔류된 세정액을 제거하기 위하여 기판 표면에 건조공기를 가압분사하여 세정액을 건조시키는 과정을 거치는데, 이를 위하여 건조공기를 공급받아 단부에 형성된 슬릿으로 가압분사하는 에어나이프를 포함하는 기판 건조장치가 사용된다.
상기 에어나이프는 약액처리공정과 린스공정을 마치고 이송되는 기판의 상측과 하측에 기판의 폭방향(기판 이송방향에 교차하는 방향)으로 각각 설치되고, 슬릿(slit)을 통해 기판의 상면과 하면에 각각 건조 공기를 분사하여 기판의 표면을 건조시키게 된다.
그런데 에어나이프는 기판과의 간격에 따라서 기판의 건조기능에 매우 민감하므로, 기판의 종류에 따라서 에어나이프와 기판과의 간격을 조절하는 것이 매우 중요하다.
또한, 기판은 한쪽 방향으로 이동하게 되고, 이동되는 기판에 건조공기를 분사하게 되므로, 건조공기의 분사각도 등에 따라서 기판의 건조효율에 큰 차이점을 가질 수 있으며, 건조공기를 분사하는 슬릿의 구조, 위치, 배치 등에 따라서 건조효율이 크게 달라질 수 있으므로, 이러한 구성들을 감안하여 건조 효율을 높일 수 있는 에어나이프 장치의 개발이 절실한 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 창안된 것으로서, 건조효율을 높일 수 있도록 구조가 개선된 에어나이프 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 에어나이프 장치는, 이송되는 기판의 상면으로 건조공기를 분사하여 건조하기 위한 상부 에어나이프와; 상기 상부 에어나이프와 일정 유격 유지하여 이격되게 설치되며, 상기 기판의 하면으로 건조공기를 분사하여 건조시키는 하부 에어나이프와; 상기 상부 에어나이프를 상기 하부 에어나이프에 대한 위치를 조정하여 상기 유격을 조정하기 위한 유격 조절부;를 포함하고, 상기 상부 및 하부 에어나이프 각각에는 상기 유격을 통과하는 기판으로 건조공기를 분사하는 복수의 에어노즐이 상기 기판의 이송방향으로 복수 열 형성되며, 상기 복수 열의 에어노즐들은 상기 기판 이송방향에 대해 일정 각도의 사선 방향으로 배치되도록 형성된 것을 특징으로 한다. 이러한 구성의 에어나이프 장치에 의하면, 기판의 상면 및 하면을 동시에 건조시키되, 전체면에 걸쳐 건조공기를 분사시킬 수 있게 되어, 기판의 건조효율을 높이고 생산되는 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.
여기서, 상기 상부 에어나이프는, 상부에 건조공기가 유입되는 에어유입관을 가지며, 하부에는 상기 에어유입관으로 유입된 건조공기를 배출시키는 에어배출구를 가지는 상부 에어나이프 본체와; 상기 상부 에어나이프 본체의 하부에 결합되며, 상기 에어배출구에서 배출되는 건조공기를 상기 기판의 상면으로 분사하기 위한 상기 에어노즐이 형성된 상부 에어노즐 부재;를 포함하고, 상기 하부 에어나이프는, 하부에 건조공기가 유입되는 에어유입관을 가지며, 상부에는 상기 에어유입관으로 유입된 건조공기를 배출시키는 에어배출구가 형성되는 하부 에어나이프 본체와; 상기 하부 에어나이프 본체의 상부에 결합되어 상기 상부 에어노즐 부재와 마주하며, 상기 에어배출구로 배출되는 건조공기를 상기 기판의 하면으로 분사하기 위한 상기 에어노즐이 형성된 하부 에어노즐 부재;를 포함하는 것이 바람직하다. 이러한 구성의 상부 및 하부 에어나이프의 구성에 의하면, 기판의 양면(상면, 하면)을 동시에 효과적으로 건조시킬 수 있다.
또한, 상기 상부 및 하부 에어노즐 부재에 형성된 복수의 에어노즐들 중에서 상기 기판의 이송방향을 기준으로 첫 번째 위치한 에어노즐은 상기 기판 이송방향에 대해 사선 방향으로 건조공기를 분사하도록 형성되며, 나머지 에어노즐들은 상기 기판 이송방향에 직교하는 방향으로 건조공기를 분사하도록 형성된 것이 좋다. 이와 같은 에어노즐의 구성으로 인하여, 기판의 전체 면적에 대해 건조공기를 빠짐없이 분사할 수 있게 됨으로써, 기판의 상부 및 하부 전체면을 완전하게 건조시킬 수 있어, 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.
또한, 상기 상부 및 하부 에어노즐 부재 각각은, 상기 기판을 상기 유격으로 안정되게 진입하고, 통과하여 이동되도록 가이드 하는 가이드부를 가지며, 상기 상부 및 하부 에어노즐 부재 각각에 설치되는 가이드부들은 서로 상하 마주하여 대칭되며, 외부에서 상기 유격 쪽으로 갈수록 서로 간의 간격이 좁아지도록 형성된 것이 좋다. 이러한 구성에 의해서 기판이 에어나이프 장치에 충돌하지 않고 건조 공기가 분사되는 상부 및 하부 에어나이프 사이로 안정하게 통과할 수 있다.
또한, 상기 유격 조절부는, 상기 상부 에어나이프 본체에 설치되는 상부 플랜지를 관통하도록 나사 결합되어 상기 하부 에어나이프 본체에 설치되는 하부 플랜지에 접촉되어 지지되는 간격 조절용 볼트를 포함하며, 상기 간격 조절용 볼트의 회전방향에 따라서 상기 하부 플랜지에 대해 상기 상부 플랜지를 접근 및 이격되게 조정하여 상기 유격을 조절할 수 있는 것이 좋다. 이러한 간격 조절용 볼트를 포함하는 유격 조절부를 구성함으로써 기판의 종류에 따라서 상부 및 하부 에어나이프의 간격을 용이하게조절하여 기판 건조공정을 효과적으로 수행할 수 있다.
본 발명의 에어나이프 장치에 따르면, 상부 및 하부 에어노즐 부재 각각에 가이드부를 구비함으로써, 기판이 에어나이프 장치에 충돌하지 않고 유격으로 안정되게 진입하여 통과하도록 가이드 할 수 있게 된다.
또한, 간격 조절용 볼트를 이용하여 상부 에어나이프를 하부 에어나이프에 대해서 상대적으로 접근 및 이격되도록 조정할 수 있는 구성을 가짐으로써, 기판의 종류 즉, 기판의 두께에 따라서 유격을 조절하여 기판의 두께에 상관없이 노즐과 기판과의 간격을 일정하게 하여 기판을 효과적으로 건조시킬 수 있다.
또한, 상부 및 하부 에어노즐 부재 각각에 형성된 에어노즐들이 서로 대칭되는 동일한 패턴을 가지며, 기판 이송방향으로 동일선상에 위치되지 않고 사선으로 배치되도록 형성됨으로써, 기판의 상면 및 하면 각각의 전체면에 대해 균일하게 건조공기를 분사하여 완전하게 건조시킬 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 에어나이프 장치를 나타내 보인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 에어나이프 장치의 좌측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 에어나이프 장치의 상부 에어나이프를 발췌하여 보인 저면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 상부 에어나이프 본체를 발췌하여 보인 정면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 상부 에어나이프 본체의 저면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 상부 에어노즐 부재를 발췌하여 보인 저면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 상부 에어노즐 부재의 정면도이다.
도 8은 도 1에 도시된 상부 및 하부 에어노즐 부재를 발췌하여 보인 단면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 상부 및 하부 에어노즐 부재에 형성된 에어노즐을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 도 1에 도시된 하부 에어나이프 본체를 발췌하여 보인 정면도이다.
도 11은 도 10에 도시된 하부 에어나이프 본체의 평면도이다.
도 12는 도 1에 도시된 하부 에어노즐 부재를 발췌하여 보인 평면도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 에어나이프 장치를 자세히 설명하기로 한다.
도 1, 도 2, 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 에어나이프 장치(10)는, 상부 에어나이프(20)와, 하부 에어나이프(30) 및 상부 및 하부 에어나이프(20,30) 간의 유격(G)을 조절하기 위한 유격 조절부를 구비한다.
여기서 본 발명의 에어나이프 장치(10)의 주변에는 기판(1)을 이송시키기 위한 한 쌍의 진입롤러(41)와, 한 쌍의 배출롤러(43)가 각각 설치된다. 상기 진입롤러(41)에 의해 건조될 기판이 상부 및 하부 에어나이프(20,30) 사이로 진입하도록 이송된다 그리고, 상부 및 하부 에어나이프(20,30) 사이를 통과하면서 건조된 기판(1)은 한 쌍의 배출롤러(43)에 의해 인출되어 다음 공정단계로 이송될 수 있다.
상기 상부 에어나이프(20)와 하부 에어나이프(30)는 서로 상하에서 서로 대칭되게 설치되어 마주하도록 배치되며, 그들(20,30) 사이로 기판(1)이 통과할 수 있는 일정 유격(G)이 유지되도록 설치된다.
먼저, 상부 에어나이프(20)를 설명하기로 한다. 상부 에어나이프(20)는 상부 에어나이프 본체(21)와, 상부 에어나이프 본체(21)의 하부에 결합되는 상부 에어노즐 부재(23)를 구비한다.
상부 에어나이프 본체(21)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 중앙의 상부에 에어유입관(21a)이 설치된다. 상기 에어유입관(21a)을 통해 유입된 건조공기가 상부 에어나이프 본체(21)의 하부 전체적으로 배출될 수 있도록 하는 에어배출구들(21b)이 상부 에어나이프 본체(21)의 하면으로 노출되도록 형성된다. 상기 에어배출구(21b)는 에어유입관(21a)과 연결되며, 상부 에어나이프 본체(21)의 일단에서 타단으로 일정한 간격으로 복수 형성될 수 있다. 상기 에어배출구(21b)는 슬릿 구조로 형성될 수 있으며, 각각의 에어배출구(21b)는 상부 에어나이프 본체(21)의 내부에서 서로 연통 가능한 구조를 가질 수 있다.
또한, 상부 에어나이프 본체(21)에는 다수의 체결공(21c)이 일정 간격으로 형성되어, 상기 상부 에어노즐 부재(23)와 나사 등에 의해 체결될 수 있다.
또한, 상부 에어나이프 본체(21)의 양단 각각에는 상기 유격 조절부로서의 간격 조절용 볼트(50)가 나사 결합되는 나사공(22a)이 형성된 상부 플랜지(22)가 설치된다. 상기 상부 플랜지(22)는 상부 에어나이프 본체(21)의 양단에 일체로 형성 될 수도 있고, 용접 등의 방법에 의해 결합 될 수도 있고, 또한 미도시된 볼트 등의 체결부재에 의해 결합 될 수도 있다.
상기 상부 에어노즐 부재(23)는 상부 에어나이프 본체(21)의 하부에 결합 된다. 상부 에어노즐 부재(23)는 도 6, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상부 에어나이프 본체(21)의 길이에 대응되는 길이를 가지는 몸체(23a)와, 몸체(23a)의 양측 테두리에 형성된 가이드부(23b) 및 몸체(23a)에 형성되는 다수의 에어노즐(a,b,c)을 구비한다.
상기 몸체(23a)는 통과하는 기판(1)의 폭(기판 이송방향(A)에 교차하는 방향으로의 폭)보다 더 긴 길이로 형성되며, 소정 두께를 가지는 판 형상을 가질 수 있다. 상기 몸체(23a)의 양측 즉, 기판의 이송방향(A)을 기준으로 하여 전방 및 후방 측 각각에는 상기 가이드부(23b)가 형성되며, 상기 가이드부(23b)는 이송되는 기판(1)의 상면(1a)과 마주하는 면 즉, 가이드부(23b)의 하면이 상기 에어노즐(a,b,c) 쪽으로 하향 경사지게 형성된다. 따라서 건조를 위해 에어노즐(a,b,c) 쪽으로 진입하는 기판(1)이 몸체(23)에 충돌하지 않고 상부 및 하부 에어나이프(20,30) 사이의 유격(G)으로 자연스럽게 진입하여 통과할 수 있게 된다.
또한, 몸체(23a)에는 상부 에어나이프 본체(21)에 형성된 다수의 체결공(21c) 각각에 대응되는 체결홈(23c)이 복수 형성된다.
한편, 상기 에어노즐(a,b,c)은 기판 이송방향(A)으로 순서대로 배치되며, 그 중에서 첫 번째 에어노즐(a)은 나머지 에어노즐(b,c)과 나란하지 않고 사선 방향으로 형성된다. 즉, 첫 번째 에어노즐(a)은 상부에서 하부로 갈수록 나머지 에어노즐(b,c)과의 간격이 멀어지도록 하향 경사지게 형성됨으로써, 분사되는 건조공기가 기판의 상면에 충돌한 뒤 기판 이송방향(A)의 반대 방향으로 반사되어 나갈 수 있게 된다. 따라서 첫 번째 에어노즐(a)에서 분사되는 건조공기에 의해서 비교적 입자가 큰 파티클이나 많은 양의 액체는 기판(1)의 후방 즉, 기판 이송방향(A)의 반대 방향으로 밀려서 제거됨으로써 기판 이송방향(A)으로 큰 파티클이나 많은 양의 액이 이동되지 못하도록 근본적으로 방지할 수 있게 된다.
그리고 나머지 에어노즐(b,c)은 기판 이송방향(A)에 대해 직교하는 방향으로 형성되어 건조공기를 기판의 상면으로 분사하도록 형성된다. 따라서 상기 에어노즐(b,c)에서 나오는 강력한 건조공기에 의해서 기판(1)의 상면(1a)이 완전하게 건조될 수 있게 된다.
또한, 상기와 같은 구성의 에어노즐들(a,b,c)은 도 9에 도시된 바와 같이, 기판 이송방향(A)에 대해 나란하게 배치되지 않고 사선 방향으로 배치되는 것이 바람직하다. 이와 같이 1개 단위의 에어노즐들(a,b,c)을 몸체(23a)의 길이 방향(기판 이송방향에 직교하는 방향)으로 일정 간격으로 형성시킬 경우, 통과되는 기판(1)의 상면(1a) 전체면적에 대해서 건조공기를 분사시킬 수 있게 된다. 즉, 1개 단위 에어노즐들(a,b,c)이 기판 이송방향(A)과 나란하게 일직선상에 배치될 경우, 이웃한 1개 단위 에어노즐들과의 간격을 통과하는 부분은 건조공기가 공급되지 않을 수 있으나, 본 발명의 실시예와 같이 에어노즐들(a,b,c)을 기판 이송방향(A)에 대해 사선방향으로 배치되도록 형성시킴으로써, 통과하는 기판(1) 상면(1a)의 전체면적에 대해 건조공기를 분사하여 건조효율을 극대화시킬 수 있게 된다.
상기와 같은 구성의 상부 에어노즐 부재(23)는 합성 수지 재질, 예를 들어 PVC 등의 재질로 형성될 수 있으며, 따라서 에어노즐들(a,b,c)은 드릴 가공 등의 방법에 의해 형성될 수 있다.
또한, 상부 에어노즐 부재(23)의 상면 즉, 상부 에어나이프 본체(21)에 접합하여 결합되는 결합면에는 소정 깊이로 인입 형성된 연통홈(23d)이 형성된다. 상기 연통홈(23d)은 상부 에어노즐 부재(23)에 형성된 에어노즐들(a,b,c) 각각에 연통되게 형성된다. 그리고 상기 연통홈(23d)은 상부 에어나이프 본체(21)에 형성된 복수의 에어배출구(21b) 각각을 통해 공급되는 건조공기를 다수의 에어노즐들(a,b,c) 각각으로 동일한 압력으로 공급될 수 있도록 하는 공간 예컨대, 건조공기 공급챔버의 역할을 하게 된다.
상기 하부 에어나이프(30)는 상부 에어나이프(20)와 대칭되는 구조로서 서로 마주하도록 상부 에어나이프(20)의 하부에 설치된다. 이러한 하부 에어나이프(30)는 하부 에어나이프 본체(31)와, 하부 에어나이프 본체(31)의 상부에 결합되어 상부 에어노즐 부재(23)와 마주하는 하부 에어노즐 부재(33)를 구비한다.
상기 하부 에어나이프 본체(31)는 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 중앙의 하부에 에어유입관(31a)이 형성된다. 상기 에어유입관(31a)을 통해서 유입된 건조공기가 하부 에어나이프 본체(31)의 상부 전체적으로 배출될 수 있도록 하는 에어배출구들(31b)이 하부 에어나이프 본체(31)의 상면으로 노출되도록 형성된다. 상기 에어배출구들(31b)은 에어유입관(31a)과 전체적으로 연통되며, 하부 에어나이프 본체(31)의 일단에서 타단으로 일정한 간격으로 복수 형성될 수 있다. 또한, 상기 에어배출구들(31b)은 슬릿 구조로 형성될 수 있다.
또한, 하부 에어나이프 본체(31)에는 다수의 체결공(31c)이 일정 간격으로 형성되어, 하부 에어노즐 부재(33)와 나사 등에 의해 체결될 수 있다.
또한, 하부 에어나이프 본체(31)의 양단 각각에는 상기 간격조절용 볼트(50)의 끝단이 접촉되어 지지되는 하부 플랜지(34)가 설치된다. 상기 하부 플랜지(34)는 는 상부 플랜지(22) 각각에 마주하여 대응되는 위치에 설치되며, 하부 에어나이프 본체(31)에 일체로 형성되거나, 용접 또는 나사체결 등의 방법에 의해 결합 될 수 있다. 이러한 하부 플랜지(34)는 상부 플랜지(22)에 나사 결합되는 간격 조절용 볼트(50)의 끝단 즉, 하단을 지지함으로써 간격 조절용 볼트(50)의 나사 조임 정도에 따라서 상부 및 하부 에어나이프(20,30) 간의 유격(G)을 조절할 수 있게 된다.
상기 하부 에어노즐 부재(33)는 하부 에어나이프 본체(31)의 상부에 결합 된다. 하부 에어노즐 부재(33)는 도 8, 도 9 및 도 12에 도시된 바와 같이, 하부 에어나이프 본체(31)의 길이에 대응되는 길이를 가지는 몸체(33a)와, 몸체(33a)의 양측 테두리에 형성된 가이드부(33b) 및, 몸체(33a)에 형성되는 다수의 에어노즐(a1,b1,c1)을 구비한다.
상기 몸체(33a)는 상부 에어노즐 부재(23)와 대응되는 구성 즉, 대응되는 길이 및 폭을 가지며 동일한 구조를 가진다. 따라서 몸체(33a)의 양측 즉, 기판 이송방향(A)을 기준으로 하여 전방 및 후방 측 각각에는 가이드부(33b)가 형성된다. 가이드부(33b)는 이송되는 기판(1)의 하면(1b)과 마주하는 면 즉, 가이드부(33b)의 상면이 에어노즐(a1,b1,c1) 쪽으로 상향 경사지게 형성된다. 따라서 건조를 위해 에어노즐(a1,b1,c1) 쪽으로 진입하는 기판(1)이 몸체(33a)에 충돌하지 않고 상부 및 하부 에어나이프(20,30) 사이의 유격(G)으로 자연스럽게 진입되어 통과할 수 있게 된다.
또한, 몸체(33a)에는 하부 에어나이프 본체(31)에 형성된 다수의 체결공(31c)에 대응되는 체결홈(33c)이 복수 형성된다.
한편, 상기 에어노즐(a1,b1,c1)은 기판 이송방향(A)으로 순서대로 배치되며, 그 중에서 첫 번째 에어노즐(a1)은 하부에서 상부로 갈수록 나머지 에어노즐(b1,c1)과의 간격이 멀어지도록 나란하지 않고 사선방향으로 경사지게 형성된다. 상기 나머지 에어노즐들(b1,c1)은 기판 이송방향(A)과 직교하는 방향으로 형성된다. 이러한 구성에 의하면, 첫 번째 에어노즐(a1)에서 분사되는 건조공기는 기판(1)의 하면(1b)과 충돌한 뒤 기판 이송방향(A)의 반대 방향으로 반사되어 나갈 수 있게 된다. 따라서 첫 번째 에어노즐(a1)에서 분사되는 건조공기에 의해서 기판(1)의 하면(1b)에 잔류하는 비교적 입자가 큰 파티클이나 많은 양의 액체(세액)는 기판(1)의 후방 즉, 기판 이송방향(A)의 반대방향으로 밀려서 제거됨으로써 기판 이송방향(A)의 큰 파티클이나 많은 양의 액이 이동되지 못하도록 근본적으로 방지할 수 있게 된다.
그리고 나머지 에어노즐(b1,c1)은 기판 이송방향(A)에 대해 직교하는 방향으로 형성되어 건조 공기를 기판(1)의 하면(1b)에 대해 직교하도록 분사한다. 따라서 에어노즐(b,c)에서 강하게 분사되는 건조공기에 의해서 기판(1)의 하면(1b)이 완전하게 건조될 수 있게 된다.
또한, 상기와 같은 구성의 에어노즐들(a1,b1,c1)은 도 9에 도시된 바와 같이, 기판 이송방향(A)에 대해 나란하게 배치되지 않고 사선 방향으로 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 하부 에어노즐 부재(33)에 형성된 에어노즐들(a1,b1,c1)은 상부 에어노즐 부재(23)에 형성된 에어노즐들(a,b,c)과 서로 상하 대칭이 되는 형상 및 위치로 배치되게 형성된다.
이와 같이 하부 에어노즐 부재(33)에 형성된 에어노즐들(a1,b1,c1)은 상부 에어노즐 부재(23)에 형성된 에어노즐(a,b,c)와 동일한 패턴으로 형성됨으로써, 앞서 에어노즐(a,b,c)의 형성된 패턴에 의해 얻어지는 작용효과를 동일하게 얻을 수 있게 된다. 따라서 기판(1)이 상부 및 하부 에어나이프(20,30)를 통과할 때, 기판(1)의 하면(1b) 전체면적에 대해서 건조공기를 균일하게 분사하여 완전하게 건조시킬 수 있게 된다.
또한, 상기 하부 에어노즐 부재(33)의 하면, 즉, 하부 에어나이프 본체(31)에 접합 되어 결합되는 결합면에는 소정 깊이로 연통홈(33d)이 인입 형성된다. 상기 연통홈(33d)은 에어노즐들(a1,b1,c1) 전체와 연통 될 수 있도록 형성된다. 따라서 하부 에어나이프 본체(31)에 형성된 에어배출구(31b)를 통해 공급되는 건조공기는 연통홈(33b) 전체에서 일정한 압력을 유지하면서 전체 에어노즐들(a1,b1,c1)로 균일한 압력으로 건조공기를 공급할 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 하부 에어노즐 부재(33)는 상부 에어노즐 부재(23)와 상하로 서로 대칭되는 형상을 가지며, 서로 대칭되게 배치된다. 따라서 상부 및 하부 에어노즐 부재(23,33) 사이를 통과하는 기판(1)의 상면(1a)과 하면(1b) 각각을 동시에 완전하게 건조시킬 수 있게 된다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 에어나이프 장치(10)는, 상부 및 하부 에어노즐 부재(23,33) 각각에 가이드부(23b,33b)를 구비함으로써, 기판(1)이 에어나이프 장치(10)에 충돌하지 않고 상기 유격(G)으로 안정되게 진입하여 통과하도록 가이드 할 수 있게 된다.
또한, 앞서 설명한 바와 같이 간격 조절용 볼트(50)를 이용하여 상부 에어나이프(20)를 하부 에어나이프(30)에 대해서 상대적으로 접근 및 이격되도록 조정할 수 있는 구성을 가짐으로써, 기판(1)의 종류 즉, 기판(1)의 두께에 따라서 상기 유격(G)을 조절하여 기판(1)의 두께에 상관없이 노즐과 기판과의 간격을 일정하게 하여 기판을 효과적으로 건조시킬 수 있다.
또한, 상부 및 하부 에어노즐 부재(23,33) 각각에 형성된 에어노즐(a,b,c)(a1,b1,c1)이 서로 대칭되는 동일한 패턴을 가지며, 기판 이송방향(A)으로 동일선상에 위치되지 않고 사선으로 배치되도록 형성됨으로써, 기판(1)의 상면(1a) 및 하면(1b) 각각의 전체면에 대해 균일하게 건조공기를 분사하여 완전하게 건조시킬 수 있게 된다.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
10..에어나이프 장치 20..상부 에어나이프
21..상부 에어나이프 본체 23..상부 에어노즐 부재
30..하부 에어나이프 31..하부 에어나이프 본체
33..하부 에어노즐 부재 50..간격 조절용 볼트

Claims (5)

  1. 이송되는 기판의 상면으로 건조공기를 분사하여 건조하기 위한 상부 에어나이프와;
    상기 상부 에어나이프와 일정 유격 유지하여 이격되게 설치되며, 상기 기판의 하면으로 건조공기를 분사하여 건조시키는 하부 에어나이프와;
    상기 상부 에어나이프를 상기 하부 에어나이프에 대한 위치를 조정하여 상기 유격을 조정하기 위한 유격 조절부;를 포함하고,
    상기 상부 및 하부 에어나이프 각각에는 상기 유격을 통과하는 기판으로 건조공기를 분사하는 복수의 에어노즐이 상기 기판의 이송방향으로 복수 열 형성되며, 상기 복수 열의 에어노즐들은 상기 기판 이송방향에 대해 일정 각도의 사선 방향으로 배치되도록 형성된 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부 에어나이프는,
    상부에 건조공기가 유입되는 에어유입관을 가지며, 하부에는 상기 에어유입관으로 유입된 건조공기를 배출시키는 에어배출구를 가지는 상부 에어나이프 본체와;
    상기 상부 에어나이프 본체의 하부에 결합되며, 상기 에어배출구에서 배출되는 건조공기를 상기 기판의 상면으로 분사하기 위한 상기 에어노즐이 형성된 상부 에어노즐 부재;를 포함하고,
    상기 하부 에어나이프는,
    하부에 건조공기가 유입되는 에어유입관을 가지며, 상부에는 상기 에어유입관으로 유입된 건조공기를 배출시키는 에어배출구가 형성되는 하부 에어나이프 본체와;
    상기 하부 에어나이프 본체의 상부에 결합되어 상기 상부 에어노즐 부재와 마주하며, 상기 에어배출구로 배출되는 건조공기를 상기 기판의 하면으로 분사하기 위한 상기 에어노즐이 형성된 하부 에어노즐 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 상부 및 하부 에어노즐 부재에 형성된 복수의 에어노즐들 중에서 상기 기판의 이송방향을 기준으로 첫 번째 위치한 에어노즐은 상기 기판 이송방향에 대해 사선 방향으로 건조공기를 분사하도록 형성되며,
    나머지 에어노즐들은 상기 기판 이송방향에 직교하는 방향으로 건조공기를 분사하도록 형성된 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 상부 및 하부 에어노즐 부재 각각은,
    상기 기판을 상기 유격으로 안정되게 진입하고, 통과하여 이동되도록 가이드 하는 가이드부를 가지며,
    상기 상부 및 하부 에어노즐 부재 각각에 설치되는 가이드부들은 서로 상하 마주하여 대칭되며, 외부에서 상기 유격 쪽으로 갈수록 서로 간의 간격이 좁아지도록 형성된 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유격 조절부는,
    상기 상부 에어나이프 본체에 설치되는 상부 플랜지를 관통하도록 나사 결합되어 상기 하부 에어나이프 본체에 설치되는 하부 플랜지에 접촉되어 지지되는 간격 조절용 볼트를 포함하며,
    상기 간격 조절용 볼트의 회전방향에 따라서 상기 하부 플랜지에 대해 상기 상부 플랜지를 접근 및 이격되게 조정하여 상기 유격을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.
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KR20160080375A (ko) * 2014-12-29 2016-07-08 김영환 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛

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