KR101090384B1 - 유체분사장비의 흄차단장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유체분사장비의 흄차단장치에 관한 것으로, 이송되는 기판에 유체를 분사하여 처리하는 유체분사장비와, 상기 유체분사장비의 전단에서 분사된 유체의 비산을 방지하는 차단판과, 상기 차단판과 상기 유체분사장비의 사이에 기류차단용 유체를 분사하여 상기 유체분사장비와 상기 차단판 사이에서 회전기류가 생성되는 것을 차단하는 기류차단부를 포함한다. 본 발명은 유체의 분사압력의 영향으로 발생하는 기류가 차단판과 유체분사장비 사이에서 회전기류를 형성하는 것을, 다른 방향의 기류를 생성하여 차단함으로써, 흄이 회전기류에 의해 유체분사장비의 후단의 기판에 재부착되는 것을 방지하여, 흄에 의한 기판의 결함발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

유체분사장비의 흄차단장치{Fume cutoff for fluid injector}

본 발명은 유체분사장비의 흄차단장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유체분사장비에서 발생되는 흄이 처리된 기판에 재부착되는 것을 방지할 수 있는 유체분사장비의 흄차단장치에 관한 것이다.

일반적으로 대면적의 유리 기판을 사용하는 평판 디스플레이의 제조공정에서는 세정수, 세정약액 등을 기판에 분사하여 기판을 세정하는 방법을 사용하고 있으며, 건조를 위하여 정화된 건조 공기(CDA, Clean Dry Air)를 분사하고 있다.

이와 같은 유체의 분사를 통해 대부분의 처리공정이 진행되며, 이때 소정압력의 유체 분사에 따른 기류의 형성으로 흄(fume)이 발생하게 되며, 이 흄은 처리된 기판에 재흡착되는 경우 물얼룩 등의 새로운 결함을 만들어 내는 것으로 알려져 있다.

종래에는 이러한 흄의 재흡착 또는 재부착을 방지하기 위하여, 차단판을 사용하였으나 기류의 형성과 흄의 재흡착을 완전히 차단할 수 없는 문제점이 있었다.

도 1은 종래 유체분사장비의 흄차단장치의 구성도이다.

도 1을 참조하면 종래 유체분사장비의 흄차단장치는, 유체분사장비(1)의 상부에 고정되는 고정판(2)과, 상기 고정판(2)의 끝단에서 상기 유체분사장비(1)의 전단으로 절곡되어 기류를 차단하는 차단판(3)으로 구성된다.

이와 같은 구성은 상기 차단판(3)의 하부 끝단이 이송되는 기판(S)에 인접하도록 위치시켜 유체분사장비(1)에서 분사되는 유체가 그 차단판(3)의 외부로 비산되는 것을 방지할 수 있는 것이다. 이때 고정판(2)도 유체의 비산을 방지하는 역할을 한다.

그러나 도 1에 도시한 기류(f)에서 알 수 있듯이 상기 유체분사장비(1)에서 분사된 유체의 압력에 의하여 시계방향의 기류가 유체분사장비(1)와 차단판(3)의 사이에 발생하게 되며, 이 기류를 따라 회전하는 흄이 상기 유체분사장비(1)와 차단판(3) 사이의 공간과 고정판(2)과 유체분사장비(1) 사이의 공간을 통해 상기 유체분사장비(1)를 통과하여 처리가 완료된 기판(S)의 표면에 재부착된다.

앞서 설명한 바와 같이 이러한 흄의 재부착은 물얼룩의 발생 등 다른 결함의 요인이 된다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 유체분사장비와 차단판 사이에서 회전하는 기류의 형성을 방지할 수 있는 흄차단장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 유체분사장비의 흄차단장치는, 이송되는 기판에 유체를 분사하여 처리하는 유체분사장비와, 상기 유체분사장비의 전단에서 분사된 유체의 비산을 방지하는 차단판과, 상기 차단판과 상기 유체분사장비의 사이에 기류차단용 유체를 분사하여 상기 유체분사장비와 상기 차단판 사이에서 회전기류가 생성되는 것을 차단하는 기류차단부를 포함한다.

본 발명 유체분사장비의 흄차단장치는, 유체의 분사압력의 영향으로 발생하는 기류가 차단판과 유체분사장비 사이에서 회전기류를 형성하는 것을, 다른 방향의 기류를 생성하여 차단함으로써, 흄이 회전기류에 의해 유체분사장비의 후단의 기판에 재부착되는 것을 방지하여, 흄에 의한 기판의 결함발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래 유체분사장비의 흄차단장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체분사장비의 흄차단장치의 구성도이다.
도 3은 도 2의 기류차단부에서 분사되는 기류와 회전기류의 관계를 나타낸 모식도이다.

이하, 본 발명 유체분사장비의 흄차단장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체분사장비의 흄차단장치의 구성도이다.

도 2를 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체분사장비의 흄차단장치는, 이송축(10)들에 의해 이송되는 기판(S)에 유체를 분사하여 처리하는 유체분사장비(20)와, 상기 유체분사장비(20)의 상부에 고정되는 고정판(30)과, 상기 고정판(30)의 끝단에서 하향 절곡되어 그 하단부가 상기 유체분사장비(20)의 전단에서 상기 기판(S)에 인접하는 위치까지 연장되는 차단판(40)과, 상기 차단판(40)의 상기 유체분사장비(20)측 면에 마련되어 외부에서 공급되는 유체를 분사하여 회전기류가 생성되는 것을 차단하는 기류차단부(50)와, 상기 고정판(30)의 저면에 위치하여 상기 고정판(30)과 상기 유체분사장비(20) 사이의 공간을 줄이는 차단블록(60)을 포함하다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체분사장비의 흄차단장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 유체분사장비(20)는 세정수, 세정약액, 건조공기 등의 유체를 분사하여 상호 평행하게 배치되어 동기에 맞춰 일방향으로 회전하는 이송축(10)들에 의해 이송되는 기판(S)을 처리한다.

상기 유체분사장비(20)의 상부에는 상기 이송축(10)들의 배열과 평행한 방향으로 고정판(30)이 고정되어 있으며, 이 고정판(30)은 상기 유체분사장비(20)의 상면보다 더 높게 위치한다.

상기 유체분사장비(20)의 전단, 즉 기판(S)이 유체분사장비(20) 측으로 진입하는 측으로, 상기 고정판(30)에서 하향으로 차단판(40)이 마련되어 있으며, 그 차단판(40)의 끝단은 유체분사장비(20)에서 분사되는 유체의 비산을 방지하기 위해 최대한 기판(S)의 상면에 가깝게 위치한다.

이와 같은 구성에서는 앞서 종래기술에서 설명한 바와 같이 상기 유체분사장비(20)에서 분사되는 유체의 압력에 의하여 그 유체분사장비(20)와 차단판(40)의 사이에서 시계방향으로 회전하는 회전기류가 발생할 수 있다.

이러한 회전기류의 발생을 방지하기 위하여, 상기 차단판(40)과 고정판(30)의 내각을 이루는 차단판(40)의 일면, 즉 상기 유체분사장비(20)을 향하는 차단판(40)의 일면에 기류차단부(50)가 마련된다.

상기 기류차단부(50)는 유체공급포트(51)를 통해 외부의 유체를 공급받아 일시 저장하는 저장부(52)와, 상기 저장부(52)에 저장된 유체를 상기 차단판(40)과 유체분사장비(20)의 사이로 분사하는 다수의 노즐(53)을 포함하여 구성된다.

상기 기류차단부(50)에서 분사하는 유체의 바람직한 예로는 정화된 건조공기를 사용할 수 있으나, 세정수 등 현재 기판(S)을 처리하는 공정에 부합하는 다른 유체를 분사할 수 있다.

상기 기류차단부(50)는 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 차단판(40)의 일면이 저장부(52)의 일면이 되도록 3개의 면을 더 부가하여 저장부(52)를 형성할 수 있으며, 이와 다른 예로 그 차단판(40)의 일면과는 무관하게 박스형의 부재를 이용하여 별도로 제작할 수 있다.

상기 유체공급포트(51)는 도면에서와 같이 고정판(30)에 설치되어 외부의 유체를 저장부(52)에 공급하는 것으로 도시하였으나, 차단판(40)을 통해 저장부(52)에 연결될 수 있으며, 측면부를 통해 직접 저장부(52)에 유체를 공급할 수 있도록 구성될 수 있다.

이와 같이 유체공급포트(51)를 통해 공급된 유체는 저장부(52)에 일시저장된 후, 노즐(53)을 통해 분사된다. 이때 노즐(53)을 통해 분사되는 유체의 분사각도는 앞서 설명한 회전기류의 생성을 가속화하지 않는 범위에서 조절될 수 있다.

도 3은 상기 기류차단부(50)에서 분사되는 기류와 회전기류의 관계를 나타낸 모식도이다.

도 3을 참조하면 상기 기류차단부(50)에서 분사되는 유체(F1)의 분사각도(θ1)는 회전기류(F2)의 접선의 각도(θ2)를 제외한 각도로 분사되어야 한다.

상기 분사각도(θ1)가 접선 각도(θ2)와 일치하게 되면, 기류차단부(50)에서 분사되는 유체(F1)의 압력이 가산되어 회전기류(F2)의 생성이 더 잘 이루어질 수 있기 때문이다.

이러한 유체(F1)는 상기 접선 각도(θ2) 이외의 분사각도(θ1)로 분사되어 그 유량 및 압력에 의하여 회전기류의 생성을 차단할 수 있게 된다.

더욱 바람직하게는 회전기류(F2)의 접선방향의 역방향이 되도록 유체(F1)를 분사하여 회전기류(F2)의 발생을 완전히 차단할 수 있게 된다.

이처럼 회전기류의 생성을 외부의 유체를 사용하여 차단함과 아울러 차단블록(60)을 상기 고정판(30)의 저면에 마련하여, 상기 유체분사장비(20)와의 사이 공간을 줄임으로써, 흄이 유체분사장비(20)의 후단부에 위치하는 처리된 기판(S)에 부착되는 것을 더욱 방지할 수 있게 된다.

전술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.

10:이송축 20:유체분사장비
30:고정판 40:차단판
50:기류차단부 51:유체공급포트
52:저장부 53:분사노즐
60:차단블록

Claims (4)

1. 이송되는 기판에 유체를 분사하여 처리하는 유체분사장비;
   상기 유체분사장비의 전단에서 분사된 유체의 비산을 방지하는 차단판; 및
   상기 차단판과 상기 유체분사장비의 사이에 기류차단용 유체를 분사하여 상기 유체분사장비와 상기 차단판 사이에서 회전기류가 생성되는 것을 차단하는 기류차단부를 포함하는 유체분사장비의 흄차단장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 기류차단부는,
   유체공급포트를 통해 외부의 기류차단용 유체를 공급받아 일시 저장하는 저장부; 및
   상기 저장부에 저장된 유체를 상기 유체분사장비와 상기 차단판 사이로 분사하는 분사노즐을 포함하는 유체분사장비의 흄차단장치.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 분사노즐은,
   상기 유체분사장치와 상기 차단판 사이에서 생성되는 회전기류의 접선각도가 아닌 각으로 상기 기류차단용 유체를 분사하는 것을 특징으로 하는 유체분사장비의 흄차단장치.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 분사노즐은,
   상기 유체분사장치와 상기 차단판 사이에서 생성되는 회전기류의 접선방향의 역방향으로 상기 기류차단용 유체를 분사하는 것을 특징으로 하는 유체분사장비의 흄차단장치.

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