JP6498892B2 - 洗浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、被洗浄物の回転と空気の吸引により、被洗浄物を水切り乾燥する洗浄装置に関する。

加工部品等の洗浄装置は、洗浄装置のケーシング内に、被洗浄物を回転台に載せて、周囲に配された複数のノズルから洗浄液や空気を噴射して被洗浄物を洗浄するものである。また、乾燥機能を備える洗浄装置では、これにエアノズルが追加され、コンプレッサーを通じて噴射されるエアブローと被洗浄物の回転により、被洗浄物の乾燥を行うものが一般的である。

その他、例えば次のような洗浄装置がある。特許文献１の洗浄装置は、カプセル型の洗浄室と、洗浄室の一方に設けたノズルと、他方に設けた吸引部と、洗浄室内に設けた回転自在のワーク支持台とを備え、洗浄室において、ノズルより噴射される洗浄液、洗浄水、又は空気を旋回するとともに、吸引部に誘導可能とする構成としたカプセル型の洗浄装置である（特許文献１の第１図参照）。

また、加工部品用の洗浄装置ではないが、基板用の洗浄装置として次のものがある。特許文献２の基板用の洗浄装置は、カップと、基板を保持する回転テーブルと、これを回転させる駆動軸と、回転テーブルの回転によって発生する空気流を排出する排出管と、空気流を整流して排気管へ導く整流体と、空気流を導入する導入口が開口形成された複数の風洞部とを具備する（特許文献２の第１図参照）。

また、特許文献３の洗浄装置は、これも基板用の洗浄装置であって、上カップと、下カップと、基板を保持する回転テーブルと、下カップの底壁に排気ダクトを円周方向に１８０°の位置関係となるように２箇所設け、上カップの上端部にフィルタ付き吸気装置を具備する洗浄装置である（特許文献３の第１図参照）。

特開２０１２−７６０２５号公報 特開平１１−２８３９０２号公報 特開２００３−１６３１４７号公報

従来のエアブローを具備した洗浄装置や特許文献１の洗浄装置は、エアブローにより洗浄室内に空気を送るため、コンプレッサーなどを必須の構成とし、装置コストや運転コストがかかる。また、エアブローは圧縮空気を用いるので、ドレン水などの処理が必須となり手間がかかる。また、特許文献１の洗浄装置は、洗浄室がカプセル型であるので、洗浄する部品が大きくなると装置全体も大きくなるし、カプセル内が高湿になるおそれがある。

また、特許文献２及び特許文献３の洗浄装置は、基板用の洗浄装置であるので、部品洗浄用の洗浄装置と異なり、基板に水分が付着しない構成とすることを主たる目的としている。そのため、水分やミストが基板の裏側に付着しないよう、空気の排出口が底部の外縁に設けられていて、基板の下面に空気が行きづらく、乾燥が十分に行えないおそれがある。

本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、被洗浄物の回転と空気によって、被洗浄物を効果的に水切り乾燥する洗浄装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために本発明に係る洗浄装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、筒状の洗浄室と、前記洗浄室内に配され、被洗浄物を保持する回転台と、前記回転台を回転させる回転機構と、前記回転台と前記回転機構との間に配される回転軸と、前記洗浄室内に空気を送る吸気口と、空気を排出する排気口と、前記排気口に接続されるブロアと、複数のノズルと、洗浄液を排出する排水口と、を備える。この構成によれば、被洗浄物の回転と空気によって、被洗浄物が効果的に水切り乾燥される。

好ましくは、この洗浄装置は、前記洗浄室が、底部と、上方が覆われた有底筒状の筒部と、を備え、前記底部は、前記回転台よりも下に配され、中央が開口して当該開口と前記回転軸との間に所定の隙間を有し、周縁から当該開口に向けて傾斜しており、前記吸気口は、前記筒部の上方に配され、前記排気口は、前記底部よりも下に配され、前記洗浄室内の空気が、前記底部の開口を通過して、前記排気口より排気される。

ここで、所定の隙間とは、空気が通過し、空気の流れが滞らない程の隙間である。すなわち、開口を形成する底部の周縁部と回転軸とが近接しないよう構成することが好ましい。

この構成によれば、ブロアによって洗浄室内の高湿の空気が排出され、洗浄室の上方から流入した空気が洗浄室内を通過して下方より排出される過程で、被洗浄物が乾燥される。洗浄室からの空気の流れは、底部の中央にある開口と回転軸との隙間を通ることになるので、この時、空気が被洗浄物の下面を通過して、被洗浄物全体を効率よく乾燥する。また、被洗浄物が回転することで、被洗浄物の周りに空気の渦ができ、相乗的に被洗浄物が水切り乾燥される。

好ましくは、この洗浄装置は、前記被洗浄物が治具を介して前記回転台に保持され、前記被洗浄物と前記回転台との間に空間が形成され、前記回転台に、上下に貫通する切り欠きが設けられている。

ここで、治具とは、例えば被洗浄物の隅角や側面を保持する柱状の治具や板状の治具、フレーム状の治具、若しくは被洗浄物を下面より保持する柱状の治具などが考えられ、被洗浄物が回転台と接することなく、間に空間が形成されるものであればよい。この構成によれば、被洗浄物と回転台との間に空間が設けられ、かつ、回転台に切り欠きが設けられているので、この空間を空気が通過して、被洗浄物の下面を効率よく乾燥できる。

好ましくは、この洗浄装置は、前記排水口が開閉可能なゲートを有する。この構成によれば、被洗浄物を空気で乾燥させる時に排水口のゲートを閉めることで、排水口からの空気の漏れを防ぐことができ、洗浄室内の空気の流速を早くして、乾燥度を高めることが可能となる。

好ましくは、この洗浄装置は、前記筒部は、前記回転軸と平行に分割されて、固定された第１筒部と、上下に可動する第２筒部とを有する。

この構成によれば、第２筒部が上下して、被洗浄物の洗浄室への着脱が容易となる。また、筒部を上下に分割せず、回転軸と平行に分割することで、上下に分割した場合に比べて、上下動のストロークを短くでき、洗浄装置全体のコンパクト化に寄与する。

また、この洗浄装置は、前記複数のノズルは、第１ノズル群と、第２ノズル群と、を備え、前記第１ノズル群は、前記第１筒部に取り付けられ、前記第２ノズル群は、前記底部に取り付けられている。この構成によれば、第１ノズル群が、被洗浄物の上面及び側面を上方より洗浄し、第２ノズル群が、被洗浄物の下面及び側面を下方より洗浄する。この時、回転台に切り欠きが設けられているため、被洗浄物の下面を効率よく洗浄することができる。また、第１ノズル群と第２ノズル群が、いずれも固定された第１筒部と底部に取り付けられているので、取り付けや配線がしやすい。

好ましくは、この洗浄装置は、前記第１ノズル群と、前記第２ノズル群とが、前記被洗浄物を介し略対向して配されている。この構成によれば、被洗浄物が回転するので、被洗浄物全体を効率よく洗浄することができる。

また、この洗浄装置は、前記複数のノズルは、第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、を備え、前記第１ノズル群及び前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群は、前記第１筒部に取り付けられている。

ここで、例えば、第１ノズル群が筒部の側面上方に取り付けられ被洗浄物の上面を狙い、第２ノズル群が側面中央に取り付けられ被洗浄物の側面を狙い、第３ノズル群が側面下方に取り付けられ被洗浄物の下面を狙う構成とする。このようにすれば、これらノズル群により、被洗浄物の全体をムラなく洗浄できる。また、これらノズル群が、いずれも固定された第１筒部に取り付けられているので、取り付けや配線がしやすい。

好ましくは、この洗浄装置は、前記排気口と前記ブロアとは、ダクトを介して接続され、前記排気口と前記ブロアとの間に、空気と液体を分離する気液分離フィルタを更に備える。この構成によれば、排気口から出る空気に含まれるミストや、排気口から液体が排出された場合に、気液分離フィルタによって空気と液体とに分離できる。

また、この洗浄装置は、前記ブロアと前記吸気口とが接続され、前記ブロアより排出された空気が前記洗浄室内に循環されてもよい。この構成によれば、ブロアより排出された空気を再利用することができ、コンプレッサーを必須とせず、空気を用いた被洗浄物の乾燥が可能となり、省エネに寄与する。

以上のように、本発明に係る洗浄装置によれば、被洗浄物の回転と空気によって、被洗浄物を効果的に水切り乾燥できる。

本発明の一実施形態に係る洗浄装置の概略構成を示す図である。 図１における洗浄室付近の図である。 図１における洗浄室付近を上面から見た図である。 ノズルの配置を示す説明図１である。 ノズルの配置を示す説明図２である。 同洗浄装置の変形例の概略構成を示す図である。 本発明の一実施形態に係る洗浄装置の模式図１である。 本発明の一実施形態に係る洗浄装置の模式図２である。 本発明の一実施形態に係る洗浄装置の概略構成を示す図である。 ノズルの配置を示す説明図１である。 ノズルの配置を示す説明図２である（矢視図Ａ）。 ノズルの配置を示す説明図２である（矢視図Ｂ）。 ノズルの配置を示す説明図２である（矢視図Ｃ）。

以下、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明するが、本発明は下記実施形態に限定されるものではない。特に、下記実施形態のノズルの本数や配置、各部材の形状等は一例であり、本発明は下記に限定されない。

＜第１実施形態＞
（１．洗浄装置の構造）
図１は、本発明の一実施形態に係る洗浄装置の概略構成を示す図である。図１に示すように、洗浄装置１は、フレーム２に、制御盤３、ベッセルフィルタ４、洗浄液のポンプ５、オイルスキマー６、洗浄液のヒータ７、洗浄液のタンク８、操作パネル９、洗浄室１０が取り付けられている。

図２は、洗浄室付近の拡大図である。図３は、洗浄室付近を上面から見た図である。図２、図３に示すように、洗浄室１０は、下方の底部１１と、上方が覆われた有底筒状の筒部１２と、を備える。底部１１は、平面視が円形で、中央に円形の開口１１ａを有し、周縁から開口１１ａに向けて下向きに傾斜している。筒部１２は、円筒形の側面部１２ａと、上方に円錐状の天井部１２ｂとを備え、下方が開口している。

また、筒部１２は、円周方向に縦に分割され、第１筒部１２Ａと第２筒部１２Ｂとを備える。第２筒部１２Ｂは、シリンダ１３によって上下に移動する。被洗浄物Ｗを洗浄室に着脱する時は第２筒部１２Ｂを上にあげ、被洗浄物Ｗを洗浄又は水切り乾燥する時は第２筒部１２Ｂを下におろす。なお、第２筒部１２Ｂには樹脂性の透明部分を有し、そこから洗浄室内の様子が見える。

また、第１筒部１２Ａは固定されており、第１筒部１２Ａの上方には吸気口１４が設けられている。吸気口１４には、吸気ダクト１５を介して吸気フィルタ１６が接続されていて、外気を取り込む。

また、第１筒部１２Ａには、複数のノズル１７が所定の間隔をあけて取り付けられている（図４参照）。一例として本実施形態の複数のノズル１７は、洗浄液を噴射するノズルを用いているが、洗浄液と空気を噴射する２流体ノズルを用いてもよい。また、空気を噴射するエアノズルを追加してもよい。本実施形態において、これら複数のノズル１７を合わせて第１ノズル群１７Ａと称する。

また、底部１１には、複数のノズル１８が所定の間隔をあけて取り付けられている（図５参照）。一例として本実施形態の複数のノズル１８は、洗浄液を噴射するノズルを用いているが、洗浄液と空気を噴射する２流体ノズルを用いてもよい。また、空気を噴射するエアノズルを追加してもよい。本実施形態において、これら複数のノズル１８を合わせて第２ノズル群１８Ａと称する。

また、第１ノズル群１７Ａと第２ノズル群１８Ａとは、被洗浄物Ｗを介し略対向するように配置されている（図２、図３参照）。これにより、洗浄液が被洗浄物Ｗの斜め上方と斜め下方から噴射されるので、被洗浄物Ｗが回転すれば、被洗浄物Ｗの全体が効率よく洗浄される。

一方、洗浄室１０の下方には、基台１９と、基台１９と底部１１の周縁とが固定された、筒部１２と略同径の円筒状の側壁２０と、が設けられている。側壁２０には、空気を排出する排気口２１と、洗浄液等の液体を排出する排水口２２とが取り付けられている。排水口２２は排気口２１よりも下方に設けられており、排水口２２には開閉ゲート２３が設けられている。排水口２２からの排水は、図示しない異物を除去するフィルタを通り、タンク８に貯留される。

また、排気口２１は、排気ダクト２４とサイクロンフィルタ２５を介して、ブロア２６と接続されている。ブロア２６によって洗浄室内の空気を吸引排気する。

また、サイクロンフィルタ２５は、気液分離フィルタであり、排気口２１から排出される空気に含まれるミストや、排気口２１から液体が排出された場合に、空気と液体とに分離する。サイクロンフィルタ２５の排気口とブロア２６とが接続され、サイクロンフィルタ２５の排水口からの排水はタンク８に貯留される。

また、ブロア２６からの排気は、そのまま外部に排出してもよいし、吸気ダクト１５を介してブロア２６と吸気口１４とを接続して、洗浄室内に循環してもよい（図６参照）。

一方、基台１９の中央に円形の開口が形成されていて、この開口に回転軸２７が挿通されている。回転軸２７は、下方が回転軸２７を回転させるモータ２８に接続され、上方が底部１１の開口１１ａを挿通し、洗浄室内の回転台２９に接続されている。モータ２８の回転により、回転台２９が回転する。

また、回転台２９は、略円形のテーブルで、上下に貫通する４つの切り欠き２９ａが形成されている。切り欠き２９ａにより、ノズル１８から洗浄液を噴射した時に、被洗浄物Ｗの下面に洗浄液をあてることができる。

また、回転台２９の上面には、４本の柱状の治具３０が立設されている。４本の治具３０は、周方向に間隔をあけて配されており、被洗浄物Ｗを保持する。治具３０は、柱状の直方体形状であって、一部が切り欠かれて段が付いている。段が付いていることにより、治具３０で被洗浄物Ｗを保持した時に、被洗浄物Ｗと回転台２９との間に空間が形成される。この空間により、洗浄液が被洗浄物Ｗの下面にあたるし、空気が通過して被洗浄物Ｗを効率よく乾燥する。

なお、治具３０の形状は一例であり、例えば回転台２９の中心から立設する１本の柱状としてもよく、被洗浄物Ｗと回転台２９との間に空間が形成されれば、その他の形状でもよい。

（２．洗浄・乾燥工程について）
次に、洗浄装置１を用いた被洗浄物Ｗの洗浄・乾燥工程について説明する。なお、一例として、被洗浄物Ｗが直方体形状の場合について説明する。

（２−１．洗浄工程）
被洗浄物Ｗを洗浄装置１にセットする。第２筒部１２Ｂを上方に移動させて、洗浄室内を露出した状態で、被洗浄物Ｗを回転台２９の治具３０に取り付ける。そして、第２筒部１２Ｂを下方に移動させて、洗浄室を閉める。

モータ２８を作動して回転台２９を回転させ、ノズル１７及びノズル１８から洗浄液を噴射させる。これにより、被洗浄装置Ｗが回転台２９とともに回転しながら、洗浄液により全体が洗浄される。なお、この時、排水口２２の開閉ゲート２３は開けておく。噴射された洗浄液は、底部１１の開口１１ａを通過して、排水口２２より排水される。図７に洗浄液の流れを示す。

所定時間、被洗浄物Ｗを洗浄したら、ノズル１７及びノズル１８の噴射をやめ、回転台２９の回転を止める。

（２−２．乾燥工程）
洗浄液の排水が終わったのを確認して、開閉ゲート２３を閉じる。これは、洗浄室内を通過する空気の速度を高めるためである。次に、再度モータ２８を作動して回転台２９を高速回転させ、ブロア２６を作動させる。そうすると、洗浄後の洗浄室内の高湿の空気が、排気口２１、排気ダクト２４、サイクロンフィルタ２５を通過して、ブロア２６より排気される。なお、サイクロンフィルタ２５において、水分がタンク８へ排出される。

そして、洗浄室内の空気がなくなると、外気が、吸気フィルタ１６、吸気ダクト１５を通り、吸気口１４から洗浄室内に連続的に流入する。この空気は、洗浄室１０の上方から下方に向けて流れる過程で、被洗浄物Ｗを乾燥させ、底部１１の開口１１ａを通過して、排気口２１より排気される。

図８を参照して、この空気の流れを具体的に説明する。洗浄室１０の上方の吸気口１４から流入した空気は、一部が被洗浄物Ｗの上面にあたり分流し、一部が被洗浄物Ｗの周りを流れる。この時、被洗浄物Ｗは回転台２９とともに高速回転するので、被洗浄物Ｗの周りには周方向の流れができる。これにより、被洗浄物Ｗの側面に高速で流れる空気が多量にあたり、乾燥が促進される。

また、被洗浄物Ｗの下に回転台２９との間の空間があるので、この空間に空気が入り込み、被洗浄物Ｗの下面も乾燥される。

そして、被洗浄物Ｗ及び回転台２９の周囲を通過した空気は、底部１１にあたり、かつ、開口１１ａに向けて底部１１の斜面に沿って中央に流れていく。この時、回転台２９の下方には空気の渦ができるので、これにより被洗浄物Ｗの下面の乾燥が更に促進される。

そして、開口１１ａから洗浄室１０の下方に出て行く。この時、空気は、開口１１ａと回転軸２７との隙間を通るので流速が早く、開口１１ａを有する底部１１を設けない場合に比べて、洗浄室内を流れる空気の流速も早くなる。これにより、被洗浄物Ｗの乾燥度が高くなる。

開口１１ａを出た空気は、排気口２１、排気ダクト２４、サイクロンフィルタ２５を通過して、ブロア２６より排気される。

所定時間、被洗浄物Ｗを水切り乾燥したら、ブロア２６と回転台２９の回転を止める。そして、第２筒部１２Ｂを上方に移動させて、洗浄室内を露出して、被洗浄物Ｗを取り外す。以上により、被洗浄物Ｗの洗浄・乾燥が完了する。

（２−３．変形例）
また、複数のノズル１７及びノズル１８に、空気を噴射するエアノズルを追加した洗浄装置を用いる場合、乾燥工程において、エアノズルから空気を噴射して、被洗浄物Ｗの乾燥を促進する。

また、図６に示す吸気ダクト１５を介してブロア２６と吸気口１４とが接続された構成の洗浄装置４０を用いる場合、乾燥工程において、ブロア２６より排気した空気を洗浄室内に循環させて、この空気を乾燥に再利用する。

（３．本実施形態の効果）
以上の構造を有する洗浄装置１によれば、１台の洗浄装置で、被洗浄物Ｗの洗浄及び乾燥ができる。また、洗浄液を噴射する複数のノズル１７と複数のノズル１８とを、被洗浄物Ｗを斜め上方と斜め下方から狙うように、被洗浄物Ｗに対して略対向するように配置し、かつ、被洗浄物Ｗを水平回転させながら洗浄するので、被洗浄物Ｗの全体を効率よく洗浄できる。

また、ブロア２６によって洗浄室内に外気を取り込み、かつ、回転台２９を回転して被洗浄物Ｗが回転されるので、被洗浄物Ｗの周りに空気流ができて、被洗浄物Ｗの上面及び側面が効率よく水切り乾燥される。また、被洗浄物Ｗが治具３０を介して回転台２９に保持されるので、被洗浄物Ｗと回転台２９の間に空間が形成され、被洗浄物Ｗの下方の空間に空気が流入して、被洗浄物Ｗの下面が乾燥される。これらによって、被洗浄物Ｗの全体が効率よく水切り乾燥される。

また、洗浄室１０の底部１１の中央に開口１１ａが設けられているので、洗浄室内の空気が被洗浄物Ｗの側面周りから下方の中央に導かれ、被洗浄物Ｗの下面に空気の渦流ができ、また回転台２９に切り欠き２９ａが形成されているので、空気によって被洗浄物Ｗの下面を乾燥する。

また、底部１１の開口１１ａと回転軸２７との間に、これらが近接せず、空気が通過でき流れが滞らない隙間が形成されているので、ここを通過する空気の流速が早く、洗浄室内の空気の流速も早くなり、被洗浄物Ｗの乾燥度が向上する。また、排水口２２に開閉ゲート２３が設けられているので、乾燥工程において開閉ゲート２３を閉めることによって、洗浄室内の密閉度があがり空気の流速が早くなり、被洗浄物Ｗの乾燥度が向上する。

＜第２実施形態＞
次に、上記第１実施形態の洗浄装置と異なる構成の第２実施形態の洗浄装置について説明する。なお、第１実施形態と同一の構成又は相当する構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。第２実施形態の洗浄装置１００と第１実施形態の洗浄装置１との主な構成の違いは、洗浄装置の筒部の形状、ノズルの配置、吸気口の配置、サイクロンフィルタの有無である。

図９は、第２実施形態に係る洗浄装置１００の概略構成を示す図である。図１０は、洗浄装置１００のノズル配置を示す説明図である。図１１Ａ−Ｃは、洗浄装置１００のノズル配置を示す矢視図であり、図１０における矢視記号に対応する。

図９に示すように、洗浄装置１００は洗浄室１１０を備える。洗浄室１００は、下方の底部１１１と、上方が覆われた有底筒状の筒部１１２と、を備える。底部１１１は、平面視が円形で、中央に円形の開口１１１ａを有し、周縁から開口１１１ａに向けて下向きに傾斜している。筒部１１２は、円筒形の側面部と、上方に平板状の天井部とを備え、下方が開口している。

また、筒部１１２は、円周方向に縦に分割され、第１筒部１１２Ａと第２筒部１１２Ｂとを備える。ここで、第１筒部１１２Ａにおける側面部を側面部１１２Ａａとし、天井部を天井部１１２Ａｂとする。第２筒部１１２Ｂにおける側面部を側面部１１２Ｂａとし、天井部を天井部１１２Ｂｂとする。

第２筒部１１２Ｂは、シリンダ１３によって上下に移動する。また、第１筒部１１２Ａは固定されており、第１筒部１１２Ａの上方の天井部１１２Ａｂには吸気口１４が設けられている。吸気口１４には、吸気ダクト１５を介して吸気フィルタ１６が接続されていて、外気を取り込む。

また、第１筒部１１２Ａの側面部１１２Ａａには、中方に複数のノズル１１７が取り付けられ、下方と上方に複数のノズル１１８が取り付けられている（図９、図１０参照）。本実施形態において、複数のノズル１１７を合わせて第１ノズル群１１７Ａ、下方の複数のノズル１１８を合わせて第２ノズル群１１８Ａ、上方の複数のノズル１１８を合わせて第３ノズル群１１８Ｂと称する。

ノズル群１１７Ａの各ノズル１１７の噴射口は、径方向の中心に向かうよう配置されている（図９、図１１Ｂ参照）。下方のノズル群１１８Ａの各ノズル１１８は、径方向の略中心に向かって横に伸び、先端の噴射口が回転台２９の略中心に向かうよう下方に傾斜している（図９、図１１Ａ参照）。また、上方のノズル群１１８Ｂの各ノズル１１８は、径方向の略中心に向かって伸び、先端の噴射口が回転台２９の略中心に向かうよう上方に傾斜している（図９、図１１Ｃ参照）。

ノズル群１１７Ａの各ノズル１１７が被洗浄物Ｗの側面を洗浄し、ノズル群１１８Ａの各ノズル１１８が被洗浄物Ｗの下面を洗浄し、ノズル群１１８Ｂの各ノズル１１８が被洗浄物の上面を洗浄する。これにより、被洗浄物Ｗが回転すれば、被洗浄物Ｗの全体が効率よく洗浄される。

一方、洗浄室１１０の下方には、基台１９と、基台１９と底部１１１の周縁とが固定された、筒部１１２と略同径の円筒状の側壁２０と、が設けられている。側壁２０には、空気を排出する排気口２１と、洗浄液等の液体を排出する排水口２２とが取り付けられている。また、排気口２１は、排気ダクト２４を介してブロア２６と接続されている。ブロア２６によって洗浄室内の空気を吸引排気する。

これにより、ブロア２６によって、洗浄室内の上方から外気を取り込んで下方の排気口２１より空気を排出し、かつ、回転台２９を回転して被洗浄物Ｗが回転されるので被洗浄物Ｗの周りに空気流ができて、被洗浄物Ｗの上面及び側面が効率よく水切り乾燥される。

＜その他の実施形態＞
以上のとおり、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。例えば、洗浄室は円筒形に限られず、各筒状でもよい。また、ノズルは、洗浄液を噴射するノズルに限られず、洗浄液と空気を噴射する２流体ノズルでもよい。また、空気を噴射するエアノズルを追加してもよい。したがって、そのようなものも本発明の範囲内に含まれる。

１ 洗浄装置
２ フレーム
３ 制御盤
４ ベッセルフィルタ
５ ポンプ
６ オイルスキマー
７ ヒータ
８ タンク
９ 操作パネル
１０ 洗浄室
１１ 底部
１１ａ 開口
１２ 筒部
１２ａ 側面部
１２ｂ 天井部
１２Ａ 第１筒部
１２Ｂ 第２筒部
１３ シリンダ
１４ 吸気口
１５ 吸気ダクト
１６ 吸気フィルタ
１７ ノズル
１７Ａ 第１ノズル群
１８ ノズル
１８Ａ 第２ノズル群
１９ 基台
２０ 側壁
２１ 排気口
２２ 排水口
２３ 開閉ゲート
２４ 排気ダクト
２５ サイクロンフィルタ
２６ ブロア
２７ 回転軸
２８ モータ
２９ 回転台
２９ａ 切り欠き
３０ 治具
４０ 洗浄装置
１００ 洗浄装置
１１０ 洗浄室
１１１ 底部
１１１ａ 開口
１１２ 筒部
１１２Ａ 第１筒部
１１２Ａａ 側面部
１１２Ａｂ 天井部
１１２Ｂ 第２筒部
１１２Ｂａ 側面部
１１２Ｂｂ 天井部
１１７ ノズル
１１７Ａ 第１ノズル群
１１８ ノズル
１１８Ａ 第２ノズル群
１１８Ｂ 第３ノズル群
Ｗ 被洗浄物

Claims (9)

1. 被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
   筒状の洗浄室と、前記洗浄室内に配され被洗浄物を保持する回転台と、前記回転台を回転させる回転機構と、前記回転台と前記回転機構との間に配される回転軸と、前記洗浄室内に空気を送る吸気口と、空気を排出する排気口と、前記排気口に接続されるブロアと、複数のノズルと、洗浄液を排出する排水口と、を備え、
   前記洗浄室は、底部と、上方が覆われた有底筒状の筒部と、を有し、
   前記底部は、前記回転台よりも下に配され、中央が開口して当該開口と前記回転軸との間に所定の隙間を有し、周縁から当該開口に向けて傾斜しており、
   前記吸気口は前記筒部の上方に配され、前記排気口は前記底部よりも下に配され、前記洗浄室内の空気が前記底部の開口を通過して前記排気口より排気される、
   洗浄装置。
2. 前記被洗浄物は、治具を介して前記回転台に保持され、
   前記被洗浄物と前記回転台との間に空間が形成され、
   前記回転台に、上下に貫通する切り欠きが設けられている、
   請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記排水口は、開閉可能なゲートを有する、
   請求項１又は２に記載の洗浄装置。
4. 前記筒部は、前記回転軸と平行に分割されて、固定された第１筒部と、上下に可動する第２筒部とを有する、
   請求項１乃至３のいずれか１項に記載の洗浄装置。
5. 前記複数のノズルは、第１ノズル群と、第２ノズル群と、を備え、
   前記第１ノズル群は、前記第１筒部に取り付けられ、
   前記第２ノズル群は、前記底部に取り付けられている、
   請求項４に記載の洗浄装置。
6. 前記第１ノズル群と、前記第２ノズル群とが、前記被洗浄物を介し略対向して配されている、
   請求項５に記載の洗浄装置。
7. 前記複数のノズルは、第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、を備え、
   前記第１ノズル群及び前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群は、前記第１筒部に取り付けられている、
   請求項４に記載の洗浄装置。
8. 前記排気口と前記ブロアとは、ダクトを介して接続され、
   前記排気口と前記ブロアとの間に、空気と液体を分離する気液分離フィルタを更に備える、
   請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の洗浄装置。
9. 前記ブロアと前記吸気口とが接続され、
   前記ブロアより排出された空気が前記洗浄室内に循環される、
   請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の洗浄装置。
   

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