KR20040032121A - 세정 시스템, 초음파 세정 장치, 진공 건조 장치, 세정장치, 세정조, 건조조 및 생산 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 워크를 가공, 조립하는 과정에 있어서 이들 워크를 세정조, 건조조를 거쳐 자동 세정하는 세정 시스템, 초음파 세정 장치, 진공 건조 장치, 세정 장치, 세정조, 건조조 및 생산 시스템에 관한 것으로, 예를 들면 전조의 더러운 것을 다음 조에 반입하지 않고, 충분한 풍속·풍량의 하강기류를 얻고, 세정 시간을 단축화하고, 또한, 워크의 세정 얼룩을 억제하도록 하기 위한 것으로, 워크(2)를 소정의 위치로 반송하는 반송 장치(21)와 이 반송 장치(21)를 중심으로 한 주위에 방사상으로 배치된 복수의 워크 처리부(23)와, 반송 장치(21)를 구동하는 구동부와, 워크(2)를 공급하는 워크 공급부(25)와, 워크(2)를 배출하는 워크 배출부(26)를 가진다. 반송 장치(21)의 워크(2)를 파지하여 재치하거나 또는 흡착하는 등으로 반송하는 반송 아암(22)은 워크 처리부(23)의 수보다 많이 하는 것이 바람직하다.

Description

세정 시스템, 초음파 세정 장치, 진공 건조 장치, 세정 장치, 세정조, 건조조 및 생산 시스템{WASHING SYSTEM, ULTRASONIC WASHER, VACUUM DRYER, WASHING DEVICE, WASHING TANK, DRYING TANK, AND PRODUCTION SYSTEM}

기계 부품 등의 워크를 가공, 조립 등을 하는 과정에서 자동 세정하기 위한 장치로서 예를 들면 세정조와 건조조가 둘레 형상으로 배치된 이른바 로터리식의 세정 장치 등, 아암으로 보호 유지된 워크를 세정조로부터 건조조로 이동시켜 세정·건조를 행하도록 한 세정 장치가 이용되고 있다. 이러한 세정 장치, 세정조 및 건조조, 더욱이, 이러한 세정 장치에 의하여 구성되는 세정 시스템의 배경 기술은 이하와 같다.

(세정 시스템에 대하여)

종래의 워크 세정 시스템(101)에서는 예를 들면 도 47에 도시한 바와 같이, 피세정 워크가 트레이, 바구니 등의 캐리어(103)에 재치되고, 상기 캐리어(103)가 반송 아암(104)에 의하여 순차적으로, 청정도가 높은 세정조(105)에 이송되는 것으로 세정이 행하여진다. 캐리어(103)에 재치되는 피세정 워크는 복수이며, 통상은 복수의 워크가 한 번에 일괄적으로 세정되는 이른바 배치처리가 행하여진다. 각 조(105)에는 세정액이 채워져 있고, 소량의 세정액이 공급 수단(106)에 의하여 각 조(105)에 상시 공급되고 있다. 상기 세정 시스템(101)에는 세정조(105)의 상부에 마련된 기류 발생 장치(107)로부터 크린 에어의 하강기류를 분출하는 것, 또는 도 48에 도시한 바와 같이 에어 하강기류를 일으키게 하는 것 같은 구성을 갖지 않은 것이 있다.

또한, 도 49에 도시한 세정 시스템(101)과 같이, 로보트로 이루어지는 캐리어(103)에 의하여 워크(102)를 반송하고, 각 조(105)마다 마련된 상하 기구(108)에 의하여 워크(102)를 세정액에 담그는 것이 있다.

그렇지만, 이들 종래의 세정 시스템(101)에서는 이하와 같은 문제가 있다. 즉, (1) 세정조(105)의 상공을 워크(102)나 캐리어(103)가 이동하는 구조로 되어 있고, 이들 워크(102)나 캐리어(103)가 부착된 세정액이 완전하게 불식되지 않은 상태인 채로 다음의 세정조(105)로 이동하여 침지(浸漬)되면 전(前) 세정조(105)에서의 더러운 것을 그 후의 세정조(105)에까지 가져가게 되어 버린다고 하는 문제, (2) 크린 에어의 하강기류가 기류 발생 장치(107)로부터 세정조(105)를 향하여 분출되고 있는 경우, 세정조(105)상에 하강기류가 떨어지게 되기 때문에, 워크 위치에 있어서 하강기류가 충분한 풍속, 풍량을 얻을 수 없다고 하는 문제, (3) 반송 아암(104)의 수가 적고 반송 속도에 한계가 있고, 세정 시간이 단시간이 되었을 경우에 대응할 수 없다는 문제, 또한, (4) 캐리어(103)에 재치되는 피세정 워크가 복수이고, 더욱이 랜덤에 재치되기 때문에, 세정 후의 워크의 세정 상태가 워크마다 불균일한 세정 얼룩이 발생한다고 하는 문제가 있다.

(초음파 세정 장치에 대하여)

세정조내의 워크에 초음파를 조사하여 더러운 것을 제거하도록 한 초음파 세정 장치가 이용되고 있다. 여기서 행하여지는 초음파 세정은 초음파가 액체중을 소밀파로서 전하여지면 액체가 팽창과 압축을 반복하여 캐비테이션과 계면 교반 현상을 발생시키므로, 이 때의 기계적 교반현상을 이용하여 더러운 것을 제거한다고하는 것이다. 이 경우, 초음파에 의하여 액중에 생기는 강한 가속도와 캐비테이션에 수반되는 국소적인 충격압에 의하여, 단순한 교반에서는 잘 떨어지지 않는 더러운 것을 신속하게 제거할 수 있다.

그렇지만, 자동 세정 장치로서 이용되고 있는 초음파 세정 장치는 세정 작업을 배치처리로 행하고 있기 때문에, 각 워크에 대한 초음파의 작용 방법이 일관 되지 않고, 더러운 것을 효과적으로 제거할 수 없는 경우가 있다.

(진공 건조 장치에 대하여)

기계 부품 등의 워크를 가공, 조립 등을 하는 과정에서 자동 세정하기 위한 장치로서, 아암으로 보호 유지한 피세정물인 워크를 세정조로부터 건조조로 이동시켜 세정·건조를 행하도록 한 세정 장치가 이용되고 있다. 또한, 세정조와 건조조가 둘레 형상으로 배치된 이른바 로터리식의 세정 장치도 이용되고 있다.

이러한 세정 장치에는 세정 후의 워크를 보다 완전하게 건조시키기 위하여 진공 건조 장치가 구비된 것이 있다. 진공 건조 장치는 진공 건조조내를 진공 흡인하는 것에 의하여 액체의 비점을 내려 워크에 부착되어 있는 세정액 등이 완전하게 증발하기 쉬워지도록 하는 것으로, 예를 들면 진공 건조조내를 진공 흡인하여 대기압의 80/760정도(10kPa 정도)로 하는 것에 의하여, 워크에 부착된 세정용 순수한 물의 조내에 있어서의 비점을 50℃정도로까지 내려 건조하기 쉬운 환경을 형성한다.

그렇지만, 이러한 진공 건조 장치에 있어서는 워크를 진공 건조조내로 옮겨 넣기 위한 장치 외에, 진공 건조조에 뚜껑을 하기 위한 장치 등도 필요하게 되는것에서 복수의 장치를 갖추게 되고, 장치의 소형화와 저비용화를 도모하는데 있어서 불리하다. 또한, 이러한 진공 건조 장치에서는 조내에 워크를 옮겨 넣은 후에 뚜껑을 닫지 않으면 안되고, 또한 워크를 꺼내려면 우선 뚜껑을 제거해야 하기 때문에, 작업시간의 단축을 도모하는데 있어서 불리하다.

또한, 예를 들면 진공 건조조에 뚜껑을 하는 등의 경우에 발생한 티끌과 먼지(塵埃)가 워크 위에 낙하해 버려, 최종 건조 과정까지 진행되면서 워크가 오염되어 버리는 것과 같은 사태가 될 우려도 있다.

더욱이 상술한 바와 같은 진공 건조 장치에서는 조내의 진공도를 유지하기 위한 뚜껑 부재를 진공 건조조에 수평으로 꽉 눌러 밀착시킬 필요가 있지만, 항상 뚜껑 부재가 수평이 되도록 보호 유지하는 것은 곤란하고, 장치에 따라서는 뚜껑 부재가 아주 조금 기울어져 있는 것 같은 경우도 있다. 이와 같은 장치에 있어서 높은 밀착도를 유지하려면 뚜껑 부재를 강하게 꽉 누르는 방법을 취할 수 있지만, 꽉 누르는 힘이 한쪽으로 치우쳐 버리기 때문에 바람직한 방법이라는 할 수 없고, 강하게 밀착시킬 수 없으면 높은 진공도를 얻는 일도 곤란하다.

(세정 장치에 대하여)

기계 부품 등의 워크를 가공, 조립 등을 하는 과정에서 자동 세정하기 위한 장치로서 아암으로 보호 유지한 워크를 세정조로부터 건조조로 이동시켜 세정·건조하도록 한 세정 장치가 이용되고 있다. 또한, 세정된 워크의 청정도를 유지할 수 있도록, 세정·건조 작업 에리어에 청정 공기를 공급하여 에리어내의 크린도를 유지하도록 한 세정 장치도 이용되고 있다.

그렇지만, 청정 장치에 있어서 세정·건조 작업 에리어의 모두를 깨끗하게 유지하려고 하면 대형 청정 공기 공급 장치가 필요해 지고 장치 전체의 대형화를 초래한다. 또한, 이러한 작업 에리어의 모두를 깨끗하게 유지하는 것은 효율면에서 뒤떨어진다.

(세정 장치, 세정조 및 건조조에 대하여)

기계 부품 등의 워크를 가공, 조립 등을 하는 과정에서 자동 세정하기 위한 장치로서 아암으로 보호 유지한 워크를 세정조로부터 건조조로 이동시켜 세정·건조하도록 한 세정 장치가 이용되고 있다. 또한, 세정조와 건조조를 둘레 형상으로 배치한 이른바 로터리식의 세정 장치도 이용되고 있다.

그렇지만, 이러한 세정 장치에 있어서는 세정조나 건조조가 미리 소정 위치에 고정 배치되어 있는 것에서 세정·건조 작업의 공정을 변경할 수 없고, 워크의 크기나 형상 등의 특징에 유연하게 대응한 세정·건조의 공정을 구축하기 어렵다고 하는 문제가 있다.

또한, 이러한 세정 장치에 있어서는 세정조의 바닥에 배수용의 드레인 관로를 마련할 필요가 있기 때문에 부품수의 감소나 장치의 소형화를 도모하는데 있어서 불리한 경우가 있다.

그래서, 본 발명은 전조(前槽)의 더러운 것을 후조(後槽)에 반입하지 않고, 충분한 풍속·풍량의 하강기류를 얻을 수 있고, 세정 시간의 단축화가 가능한 세정 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 워크의 세정 얼룩을 억제하는 것이 가능한 세정 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 워크의 더러운 것을 효과적으로 제거할 수 있는 초음파 세정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 소형화와 저비용화, 더욱이 작업시간의 단축화를 도모할 수 있는 진공 건조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 더욱이 본 발명은, 뚜껑 부재와 진공 건조조와의 밀착도를 유지하기 쉬운 진공 건조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 세정·건조 작업 에리어내에 크린 에리어를 효율 좋게 형성할 수 있고, 소형화하기 쉬운 세정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 세정·건조의 공정을 변경하기 쉽고, 또한, 부품 수의 감소와 장치의 소형화를 실현할 수 있는 세정 장치, 세정조 및 건조조를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 세정 시스템, 초음파 세정 장치, 진공 건조 장치, 세정 장치, 세정조, 건조조 및 생산 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세 하게는, 본 발명은 워크를 가공, 조립하는 과정에 있어서 이들 워크를 세정조, 건조조를 거쳐 자동 세정하는 장치의 구조 등의 개량에 관한 것이다.

(기술 용어)

본 명세서에 있어서 「오븐」이란 워크를 가열하거나 또는 가열 후에 냉각하여 소망하는 처리(이들을 총칭하여 가열 등이라고 한다) 예를 들면, 접착 봉지를 위한 열처리 등을 행하기 위한 노나 가마, 또는 이것에 준하는 기능을 가지는 장치를 말한다.

본 명세서에 있어서 「1개 흘려 보내기」란, 워크를 1 개씩 워크 처리부 등에 투입하여 1개씩 배출하고 흘리는 방법으로, 예를 들면 1개의 세정 공정에는 워크를 1개만 흘린다고 하는 것처럼 하나의 공정에 대하여 워크 1개로 하는 것을 말한다.

본 명세서에 있어서 「인덱스 동작」이란, 회전하여 정지하고 또 회전하는장치의 둘레 방향 위치를 산출하여 위치 결정된 위치에서 정확하게 정지시키도록 한 간헐 회전 동작을 말한다.

도 1은 본 발명을 적용한 생산 시스템의 평면도이며,

도 2는 반송관에 의해 연결된 워크 작업 섹션의 내부 구조의 일례를 도시한평면도이며,

도 3은 반송관에 의하여 연결된 워크 작업 섹션의 내부 구조의 일례를 도시한 정면에서 본 단면도이며,

도 4는 측벽과 커버가 부착된 반송관을 도시한 평면도이며,

도 5는 측벽과 커버가 제거된 반송관의 구조를 도시한 평면도이며,

도 6은 워크 재치대가 제거되어 리니어 모터만이 도시된 반송관의 평면도이며,

도 7A는 커버가 부착된 반송관의 구조를 도시한 평면도이며,

도 7B는 커버가 부착된의 반송관의 구조를 도시한 정면도이며,

도 7C는 커버가 부착된의 반송관의 구조를 도시한 우측면도이며,

도 8은 3대의 기계 장치에 걸치도록 마련된 반송관을 도시한 정면도이며,

도 9는 생산 시스템의 다른 형태를 도시한 평면도이며,

도 10은 청정 하강기류 발생 장치를 갖춘 세정 시스템의 구조예를 도시한 도면이며,

도 11A는 세정 시스템의 내부 구조를 도시한 횡단면도이며,

도 11B는 세정 시스템의 내부 구조를 도시한 종단면도이며,

도 12는 워크 처리부의 삽입 구멍 및 이 삽입 구멍으로부터 워크를 삽입한 계단식 형상의 반송 아암을 도시한 부분 단면도이며,

도 13은 반송 경로가 형성된 격벽의 일형상예를 도시한 부분 단면도이며,

도 14는 유수 분출 장치를 구비하여 세정용 유체로서 초음파 유수를 중첩 시키도록 한 세정 시스템의 부분 단면도이며,

도 15는 리니어 모터를 이용한 분출 각도 변경 기구에 의해 유수 분출 장치의 방향을 변화시키도록 한 세정 시스템의 부분 단면도이며,

도 16은 워크 세정 장치를 상하 이동시키는 리니어 모터 등의 상하 기구나 회전 모터 등의 회전 기구를 구비한 세정 시스템의 부분 단면도이며,

도 17은 워크 처리부에 청정 온풍 분출 기구가 마련된 세정 시스템의 부분 단면도이며,

도 18은 반송 아암의 워크에 대한 파지위치를 변경하는 수단이 마련된 세정 시스템의 부분 단면도이며,

도 19는 워크 처리부를 개별적으로 제거 가능한 구조로 한 세정 시스템의 사시도이며,

도 20은 워크를 세세하게 진동 또는 미동시키도록 한 반송 장치의 반송 아암의 평면도이며,

도 21은 워크 처리부의 조내의 세정용 액체에 워크를 담그어 세정하는 방식의 세정 시스템의 일례를 도시한 평면도이며,

도 22는 반송 아암을 상승시킨 상태에 있어서의 반송 장치의 개략도이며,

도 23은 반송 아암을 하강시킨 상태에 있어서의 반송 장치의 개략도이며,

도 24는 초음파 세정을 행하는 워크 처리부의 평면도이며,

도 25는 초음파 세정을 행하는 워크 처리부의 정면도이며,

도 26은 온풍 건조를 행하는 워크 처리부의 평면도이며,

도 27은 온풍 건조를 행하는 워크 처리부의 정면도이며,

도 28은 진공 건조를 행하는 워크 처리부의 평면도이며,

도 29는 진공 건조를 행하는 워크 처리부의 정면도이며,

도 30은 본 발명의 일실시 형태를 도시한 세정 장치의 개략 평면도이며,

도 31은 세정용 아암과 아암 지지축 및 로터리식 세정조의 구조의 일례를 도시한 사시도이며,

도 32는 초음파 세정 장치의 사시도이며,

도 33은 주파수 40 kHz의 초음파의 모델도이며,

도 34는 주파수 100kHz의 초음파의 모델도이며,

도 35는 본 발명의 일실시 형태를 도시한 진공 건조 장치의 사시도이며,

도 36은 구획 부재에 의하여 나누어진 크린 에리어를 알기 쉽게 도시한 평면도이며,

도 37은 이중구조로 된 구획 부재의 형상예를 도시한 종단면도이며,

도 38은 이중구조로 된 구획 부재의 형상예를 도시한 횡단면도이며,

도 39는 구획 부재의 형상예와 청정 공기 공급 장치의 설치예를 도시한 사시도이며,

도 40은 일반 환경 에리어측에서 본 노치의 형상예를 도시한 도면이며,

도 41은 세정용 아암의 선단 구조의 일례를 도시한 부분 정면도이며,

도 42는 십자형의 워크 보호 유지 치구와 워크 재치대의 형상예를 도시한 사시도이며,

도 43은 십자형의 워크 보호 유지 치구와 워크 재치대의 형상예를 도시한 평면도이며,

도 44는 가늘고 긴 직사각형의 워크 보호 유지 치구와 워크 재치대의 형상예를 도시한 평면도이며,

도 45는 상단 측에 배수부와 배수 바이프가 마련된 세정조를 도시한 사시도이며,

도 46은 3개의 세정조를 단이 다르게 배치한 예 및 조내 세정수의 대류 모습을 도시한 도면이며,

도 47은 종래의 워크 세정 시스템을 도시한 사시도이며,

도 48은 종래의 워크 세정 시스템을 도시한 정면에서 본 개략도이며,

도 49는 종래의 다른 형태의 워크 세정 시스템을 도시한 평면도이다.

이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 세정 시스템은 워크를 주고 받아 세정 또는 건조하기 위한 작업 위치로 반송하는 반송 장치와, 상기 반송 장치를 중심으로 한 주위에 방사상으로 배치된 복수의 워크 처리부와 반송 장치를 구동하는 구동부와, 워크를 공급하는 워크 공급부와 워크를 배출하는 워크 배출부를 가지고, 반송 장치는 워크를 개별적으로 파지하여 재치하고, 또는 흡착하여 워크를 반송하는 반송 아암을 가지는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 세정 시스템에 의하면, 반송 아암이 워크를 개별적으로 반송하기 위하여 워크의 1개 흘려 보내기가 가능해지고, 프로세스의 변경 추가도 용이한 것으로부터 비 배치처리를 행할 수 있다. 또한, 상기 세정 시스템은 소 로트 생산되는 워크, 즉 배치처리와 같이 예를 들면 1OO개 단위로 다수 다량 생산되는 생산 방법에 대하여 1 내지 10개 단위 정도로 소수 소량 생산되는 워크를 세정하는 것 같은 경우, 또는 소품의 워크를 세정하는 것 같은 경우에 적합한 것에서, 염가로 소형의 시스템을 구축할 수 있다. 더욱이, 전조의 더러운 것이 다음 조(次槽)에 반입되는 것에 의하여 세정액이 오염되어 버리는 문제나, 하강기류가 충분한 풍속 풍량을 얻을 수 없다는 세정 환경의 문제를 개선하는 것이 가능해진다. 또한, 반송 아암이 워크를 파지하여 재치하고, 또는 흡착하는 등으로 워크를 반송하기 때문에, 세정시의 워크의 보호 유지 자세를 일정하게 유지할 수 있고, 세정 후의 워크 세정 상태의 불균일을 해소하고, 세정 얼룩을 억제할 수 있다.

이러한 세정 시스템에 있어서 반송 아암은, 워크 처리부의 수이상인 것이 바람직하다. 반송 아암이 워크 처리부의 수보다 많은 것에 의하여 충분한 반송 속도를 확보할 수 있고, 세정 시간의 단축화가 가능해진다.

또한, 워크 처리부는 워크의 세정조 또는 건조조를 포함하는 것이 바람직하다. 이 경우, 세정조 또는 건조조인 워크 처리부에 의하여 워크를 세정하거나 건조시킬 수 있다.

또한, 세정 시스템은 워크 처리부를 구비한 시스템 전체에 청정 하강기류를 흘리고, 세정 후 워크 배출부 근방에 하강기류가 시스템 하부까지 직선적으로 하강 가능한 부위가 마련된 것인 것이 바람직하다. 이것에 의하여, 시스템내에서 발생한 티끌과 먼지를 워크에 재부착시키지 않고 시스템의 하부로 배출할 수 있고, 워크의 청정도를 유지하는 것이 가능해진다.

또한, 세정 시스템은 세정 후의 워크가 반송되는 반송부를 가지고, 상기 반송부에 있어서 하강기류가 직선적으로 하강 가능하도록 시스템 최하부까지 직선적인 기류 유로가 확보되어 있는 것인 것이 바람직하다. 이러한 경우, 반송부를 통과하는 워크에 하강기류가 작용하므로, 워크를 다음의 워크 처리부로 반송할 때, 전의 워크 처리부에서의 더러운 것이 다음의 워크 처리부에 유입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 워크 처리부상에 하강기류가 떨어지는 일이 없기 때문에 워크 위치에 있어서 충분한 풍속, 풍량의 청정 하강기류를 얻을 수 있다.

또한, 세정 시스템에 있어서 반송 장치는 반송 아암을 신축시키는 것에 의하여 워크 처리부에 워크를 수평 방향으로 삽입하는 것인 것이 바람직하다. 이 경우, 워크 상부에 티끌과 먼지의 발생원이 되는 반송 아암이 없는 것에서, 워크의 청정도를 확보할 수 있다.

또한, 세정 시스템에 있어서 반송 아암은 개별적으로 또는 전 아암이 동시에 미소하게 신축이 가능한 것이 바람직하다. 이 세정 시스템은 미소 신축이 가능한 것에서 반송 아암의 가동 범위내에서 워크를 임의의 위치로 이동시킬 수 있다. 또한, 이 세정 시스템에 의하면, 반송 속도를 빨리하고 세정 시간을 단축할 수 있다.

또한, 세정 시스템의 반송 장치는 반송 아암을 상하 이동시키는 기구를 가지는 것인 것이 바람직하다. 이 세정 시스템에 의하면, 워크를 워크 처리부내의 임의의 높이로 이동시킬 수 있다.

또한, 워크 처리부는 개별적으로 떼어내는 것이 가능한 구조로 되고, 반송 장치측의 내벽은 수동으로 청정 가능한 구조로 되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 개별적으로 떼어낸 워크 처리부를 세부까지 클리닝 하기 쉽다.

또한, 세정 시스템은 워크 처리부내에서 구동부를 선회, 신축의 미소 동작을 시키고, 워크 세정 장치 또는 세정액 분류(噴流)에 대하여 얼룩없이 세정을 행할 수 있도록 마련되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 미소 동작이 더해지는 것에 의하여 워크를 보다 효과적으로 세정하는 것이 가능해진다.

또한, 세정 시스템은 워크 처리부에 적어도 1개의 조(槽)가 마련되고 상기 조에 워크를 세정하기 위한 세정액을 보호 유지함과 함께, 조의 외부에 마련된 초음파 진동자에 의하여 세정액에 초음파를 부여하는 기구를 가지는 것이 바람직하다. 이 세정 시스템에 의하면, 워크 처리부의 조(槽) 세정액중에 워크를 담그어, 초음파 세정을 행하는 것에 의하여 워크의 더러운 것을 보다 효과적으로 제거할 수 있다.

또한, 세정 시스템은 워크 처리부에 에어 노즐이 배치되고, 상기 에어 노즐로부터의 에어에 의하여 워크의 탈수 및 건조를 행하는 것인 것이 바람직하다. 이 세정 시스템에 의하면, 에어 노즐로부터의 에어에 의하여 워크의 탈수 및 건조를 단시간에 행할 수 있다.

또한, 세정 시스템은 상술한 워크 처리부와는 별개로 워크를 가온하기 위한 히터와 워크 처리부의 감압을 행하기 위한 감압 기구를 갖춘 워크 처리부를 가지는 것이 바람직하다. 이 세정 시스템에 의하면, 워크 처리부내를 감압하여 비점을 내린 상태에서 워크를 가온할 수 있으므로 워크에 부착되어 있는 수분을 완전하게 증발시키기 쉽다.

또한, 본건 발명자는 초음파 세정 장치에 관하여 상술한 목적을 달성하기 위하여 여러 가지를 검토하였다. 초음파 세정 장치로 이용되는 초음파는 일반적으로 가청 주파수보다 높은 대략 10kHz 이상의 탄성파이며, 주파수가 높을수록 지향성이 예리하다. 또한, 초음파는 공기중에서의 감쇠는 크지만 수중에서는 잘 전달되는 성질을 가지고, 또한, 주파수가 높아서 음파장이 짧고, 강한 에너지를 취급할 수 있다는 등의 특징이 있다. 또한, 파장이 짧은 것은 음파를 빔 형상으로 하거나 좁은 부분에 집중시키거나 짧은 펄스를 만들거나 하는 것이 용이한 것도 의미하고 있다. 본건 발명자는 이들 초음파의 특징에 주목하여 여러 가지 검토와 실험을 거듭하고, 그 결과, 어느 조건하에 있어서 초음파가 조사된 세정조내의 워크가 액중에서 회전하는 것을 알게되기에 이르렀다.

여기서, 세정조에 조사된 초음파는 워크에 직접 조사되는 것 외에 조의 내벽에서 반사되고 나서 조사되는 것도 있는 등 조내에 있어서의 분포가 반드시 한결같게 되는 것은 아닌 것으로부터, 세정조내에 일정 레벨로 초음파를 계속 조사하고 있는 경우에서도, 세정조내에 있어서의 워크의 위치를 변화시키는 것으로, 아래에서 또는 주위에서 조사되는 초음파의 비율이 변화하는 등 조사의 모양이 변화한다. 그래서, 워크를 조내에서 이동시키는 것에 의하여 워크에 조사되는 초음파의 편향을 없게 하고, 복합적인 초음파의 형태에 의하여 세부 또는 세정용 아암과의 접촉지역 등의 더러운 것을 효과적으로 제거하는 것이 가능해진다.

또한, 이와 같이 워크를 조내에서 이동시켜 초음파의 접촉 상태를 변화시키는 것에 의하여, 또는 워크에 조사되는 초음파의 주파수를 적당하게 변화시키는 것에 의하여, 이 워크를 세정액중에서 회전시킬 수 있다. 이 경우, 워크에 대한 세정액의 상대 유속이 증가하고, 세부나 세정용 아암과의 접촉지역에 세정액이 흘러들어가게 되는 등의 작용에 의하여 세정 효과가 촉진되고, 더러운 것이 효과적으로 제거된다.

더욱이, 이와 같이 조내에서 워크를 회전시키는 경우, 워크의 깊이 및 초음파 주파수를 변화시키는 것으로 워크의 회전 방향과 회전 속도를 제어할 수 있고, 이것에 의해 세정 효과를 더욱 촉진시키는 것이 가능해진다.

본 발명은 이러한 지견에 근거한 것으로, 세정조내의 워크에 초음파를 조사하여 더러운 것을 제거하는 초음파 세정 장치에 있어서, 워크가 재치된 세정용 아암을 세정조내에서 이동시켜 세정조내에서의 위치를 변화시키는 것에 의하여 워크를 회전시키는 것을 특징으로 하는 것이다. 이 초음파 세정 장치에 의하면, 워크를 조내에서 이동시켜 회전시키고, 세정액의 상대 유속이 늘어나도록 하여, 세부나 세정용 아암과의 접촉지역에 세정액이 흘러들어 가도록 하는 등의 작용에 의해 세정 효과를 촉진시키고 더러운 것을 효과적으로 제거할 수 있다.

또한, 본 발명은 세정조내의 워크에 초음파를 조사하여 더러운 것을 제거하는 초음파 세정 장치에 있어서, 워크가 재치된 세정용 아암을 세정조내로 이동시켜, 초음파의 주파수를 변화시키는 것에 의하여 워크를 회전시키는 것을 특징으로 하는 것이다. 이 초음파 세정 장치에 의하면, 워크가 재치된 세정용 아암을 세정조내에 이동시켜, 초음파의 주파수를 변화시키는 것에 의하여 워크를 회전시키고, 세정액의 상대 유속이 늘어나도록 하고, 세부나 세정용 아암과의 접촉지역에 세정액이 흘러들어 가도록 하는 등의 작용에 의해 세정 효과를 촉진시켜 더러운 것을효과적으로 제거할 수 있다.

더욱이 본 발명은, 세정조내의 워크에 초음파를 조사하여 더러운 것을 제거하는 초음파 세정 장치에 있어서, 세정조내에 있어서 워크의 깊이 및 초음파 주파수를 변화시키는 것에 의하여 워크의 회전 방향과 회전 속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 것이다. 이 초음파 세정 장치에 의하면, 워크의 회전 방향과 회전 속도를 제어하는 것에 의하여 세정 효과를 더욱 촉진시킬 수 있다.

또한, 본건 발명자는 여러 가지를 검토하여, 진공 건조 장치에 관하여 상술한 목적을 달성할 수 있는 발명을 하기에 이르렀다. 본 발명은 세정 후의 워크를 진공 건조조내에 이동시키고 밀폐 상태에서 진공 흡인하여 건조시키는 진공 건조 장치에 있어서, 워크를 보호 유지하여 진공 건조조에 출입하는 워크 보호 유지 장치의 해당 워크 보호 유지 위치보다 윗쪽에 진공 건조조의 뚜껑 부재가 마련되고, 워크가 진공 건조조에 삽입되는 것과 동시에 진공 건조조의 뚜껑이 닫히는 구조로 되어 있는 것이다. 이 진공 건조 장치에 의하면, 진공 건조조의 뚜껑이 워크 보호 유지 장치의 도중에 마련되어 있는 것에서, 워크를 진공 건조조내에 삽입하여 소정의 깊이까지 옮겨 넣는 것과 동시에 진공 건조조에 뚜껑을 할 수 있다. 이 때문에, 워크를 옮겨 넣은 후에 다시 뚜껑을 할 필요가 없고, 작업시간의 단축화를 도모할 수 있다. 또한, 뚜껑 부재를 붙이거나 제거하거나 하기 위한 장치를 별도로 마련할 필요가 없는 것에서 소형화와 저비용화를 도모할 수 있다.

진공 건조 장치는 진공 건조조를 경동(傾動) 가능하게 지지하는 지지 장치가 마련되고, 뚜껑 부재가 꽉 눌려졌을 때 진공 건조조가 이 뚜껑 부재에 밀착하도록추종 가능하게 되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 경동 가능하게 지지된 진공 건조조 자신이 뚜껑 부재의 기울기에 추종하여 선회 운동하도록 하고 그 기울기를 바꾸어 기울기 차이를 흡수한다. 따라서, 뚜껑 부재를 밀착시키기 전의 시점에서 뚜껑 부재와 진공 건조조가 평행으로 되어 있지 않아도, 뚜껑 부재를 진공 건조조에 꽉 누르는 것에 의하여 진공 건조조를 경동시키고 뚜껑 부재의 기울기에 맞도록 자동 수정시킬 수 있다. 이 경우, 뚜껑 부재를 가볍게 누르는 것만으로 높은 밀착도를 확보할 수 있는 것에서 뚜껑 부재를 진공 건조조에 강하게 누를 필요가 없고, 워크 보호 유지 장치에 큰 부담을 주지 않아도 된다.

또한, 진공 건조 장치는 워크 보호 유지 장치로부터 해당 워크를 받아 교체 적재하는 워크 재치대가 진공 건조조내에 마련되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 경우, 예를 들면 워크와 워크 보호 유지 장치와의 접촉지역이나 그 주변에 헹굼수가 부착되어 있는 것과 같은 경우에도 이들 헹굼수를 남김없이 증발시키기 쉬워진다.

또한, 진공 건조 장치는 워크 재치대를 가열하는 히터를 갖추고 있는 것이 바람직하다. 이 진공 건조 장치에 의하면, 워크 보호 유지 장치로부터 워크 재치대로 교체 적재된 워크를 가열하는 것에 의하여 표면에 부착되어 있는 헹굼수 등을 증발시켜 건조시킬 수 있다.

또한, 본건 발명자는 세정 장치에 관하여 상술한 목적을 달성하기 위하여 여러 가지를 검토하였다. 세정 장치에 있어서는 세정조나 건조조는 물튀김 방지 등을 위해서 서로 이웃하는 각 조가 각각 나누어지고 있는 것이 일반적이지만, 조외의 에리어는 어떤 나누어짐도 존재하지 않고 전영역이 깨끗하게 유지되는 것 같은 구조로 되어 있다. 그런데, 세정·건조 후의 워크를 깨끗하게 유지한다고 하는 관점에서 보면 세정·건조 작업 에리어의 모두가 께끗하게 되어 있을 필요는 없고, 적어도 어떤 공정 이후의 에리어가 깨끗하게 되어 있으면 충분하다는 것이 지견되었다.

본 발명은 이러한 지견에 근거하는 것이며, 워크를 반입하는 반입 장치와 워크를 세정하는 세정조와 세정 후에 워크를 건조시키는 건조조와 워크를 건조조로부터 꺼내어 반출하는 반출 장치와, 반입 장치에 의해 반입된 워크를 보호 유지하여 세정조 및 건조조내로 이동시키는 세정용 아암을 갖추어 이루어지는 세정 장치에 있어서, 반입측 에리어와 반출측 에리어와의 사이에 나눔 부재가 설치되는 것에 의하여 나누어진 반출측의 에리어내의 크린도가 유지되도록 한 것이다.

세정·건조 후의 워크의 크린도를 유지하는 경우, 세정전의 에리어는 반드시 청결하게 되어 있을 필요는 없고, 적어도 어느 정도 세정 공정(또는 건조 공정) 이후의 에리어가 청결하게 되어 있으면 충분하다. 그래서 본 발명에 있어서는 구획 부재에 의해 반출측의 소정의 에리어를 반입측으로부터 나누고, 반출측에 국소적인 크린 에리어를 형성하도록 하여, 어느 공정 이후의 워크가 깨끗하게 유지되도록 하고 있다.

이 세정 장치에 의하면, 구획 부재에 의해 나누어진 크린 에리어내의 크린도를 유지하는 것에 의하여 세정·건조 후의 워크를 청결한 채로 반출할 수 있다. 이 경우, 국소적 에리어내만 청결하다면 충분하고, 세정·건조 작업 에리어의 모두를 깨끗하게 유지할 필요가 없기 때문에 청결한 환경을 형성할 때의 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 청정 공기 공급 장치가 대형의 것이 아니어도 되는 것으로부터 장치 전체의 소형화를 달성하기 쉬워진다.

또한, 이 세정 장치에 있어서는 구획 부재에 세정용 아암이 통과 가능한 노치가 마련되어 있는 것이 바람직하다. 예를 들면 각 조가 둘레 형상으로 배치된 로터리식의 세정 장치에 있어서 구획 부재에 의하여 각 조를 크린 에리어측과 그렇지 않은 에리어(이하, 「일반환경 에리어」라고 한다)측으로 나눈 것 같은 경우, 각 조간에 워크를 이동시키기 위한 세정용 아암은 양 에리어간을 왕래할 필요가 생기지만, 이 세정 장치에 의하면, 세정용 아암은 노치를 통과하여 양에리어간을 왕래하는 것이 가능하다. 또한, 크린 에리어에 공급된 청정 공기를 이 노치를 통해 일반 환경 에리어 측에 배기하는 것으로, 크린 에리어내에 티끌과 먼지 등이 비집고 들어가는 것을 방지할 수 있다.

또한, 청정 장치는 필터를 통과한 청정 공기를 공급하는 청정 공기 공급 장치가 반출측의 크린 에리어의 상부에 마련되고, 이 크린 에리어가 반입측 에리어보다 정압인 상태를 유지하는 것에 의하여 크린 에리어내의 크린도를 보호 유지하는 것이 바람직하다. 이 경우, 티끌과 먼지가 크린 에리어내에 침입하는 것을 막기 쉬워진다.

더욱이 본건 발명자는 여러 가지를 검토하여, 세정조 및 세정 장치에 관하여 상술한 목적을 달성할 수 있는 발명을 하기에 이르렀다. 본 발명은 워크를 침수시켜 세정하는 세정조에 있어서, 세정수를 배출하는 배수부와 배수 파이프가 상단 측에 마련되어 있다는 것이다. 이 세정조에 의하면, 세정조 중에서 오버플로우 한 세정수를 배수부와 배수 파이프를 통해 인접한 다른 세정조에 배수하는 것이 가능해진다. 이 경우, 세정조를 소형화하는 것에 의하여 조중의 세정수가 보다 대류하기 쉬워져 조의 바닥 더러운 것 등이 잘 모이지 않는다. 따라서 조의 바닥에 드레인 관로를 마련할 필요가 없고, 부품수의 감소와 장치의 소형화를 실현할 수 있다.

또한, 세정조는 복수개를 단이 다르게 배치되고, 상위 세정조의 배수 파이프가 하위 세정조내에 삽입되고, 상위 세정조의 세정수가 배수 파이프를 통하여 하위 세정조로 흘러 들어가는 구조로 되어 있는 것이 바람직하다. 이 세정조에 의하면, 각 세정조내에서 오버플로우 한 세정수를 배수 파이프를 통하여 차례차례 하위 세정조로 인도하고 그 조에서의 세정에 이용할 수 있다. 또한, 하위조로부터 상위조로 워크를 이동시키는 것으로, 점점 세정수의 청정도를 높여 가는 것 같은 세정을 행할 수 있다.

또한, 세정조는 워크를 조내에서 재치하는 재치대를 가지는 것이 바람직하다. 이러한 경우, 세정조의 내부에 반송된 워크를 조내에서 워크 보호 유지 아암으로부터 이 재치대로 교체 적재할 수 있다. 이 때문에, 워크와 워크 보호 유지 치구와의 접촉지역이나 그 주변에 부착하고 있는 더러운 것을 남김없이 떨어뜨리기 쉽다.

또한, 본 발명의 세정 장치는 청구 범위 제 26항 기재의 세정조와 세정 후의 워크를 건조시키는 건조조와 워크를 반입하는 반입 장치와 워크를 배출하는 배출 장치와 반입된 워크를 보호 유지하여 세정조 및 건조조내를 이동시켜 배출 장치로이동시키는 세정용 아암을 구비하여 이루어지는 것이다. 이 세정 장치에 의하면, 반입된 워크를 세정용 아암에 의하여 세정조로부터 건조조로 반송하고, 세정·건조 공정을 거친 후에 세정조로부터 반출할 수 있다.

더욱이 본 발명은, 세정 후의 워크를 건조시키는 건조조에 있어서, 워크를 조내에서 재치하는 재치대를 가지는 것을 특징으로 하고 있다. 이러한 경우, 건조조의 내부에 반송된 워크를 조내에서 워크 보호 유지 아암으로부터 재치대로 교체 적재할 수 있다. 이 때문에, 워크와 워크 보호 유지 치구와의 접촉지역이나 그 주변에 부착하고 있는 헹굼수를 남김없이 증발시키기 쉽다.

더욱이 본 발명과 관련된 생산 시스템은 워크에 대하여 작업을 행하는 워크 작업 섹션을 가지는 복수의 기계 장치와 워크 작업 섹션을 청정 분위기로 유지하는 장치와 워크의 위치를 그 워크 작업 섹션내에서 이동시키는 반송 장치와, 상기 반송 장치를 구동하는 워크 작업 섹션의 외측에 마련된 작업 구동장치와 각 기계 장치의 워크 작업 섹션을 서로 연결하여 워크를 한쪽의 기계 장치로부터 다른 쪽의 기계 장치에 반송하기 위한 반송로를 구비하고, 기계 장치의 하나가 청구의 범위 제 1항에 기재된 세정 시스템인 것을 특징으로 하고 있다. 이 경우, 제조 공정상의 체류 워크를 줄이는 등 , 배치처리 특유의 문제점을 해소한 생산 시스템의 구축이 가능해진다.　

이하, 본 발명의 구성을 도면에 도시한 최선의 실시 형태에 근거하여 상세하게 설명한다.

도 1 내지 도 8에 본 발명을 적용한 생산 시스템(1)을 도시한다. 생산 시스템(1)은 워크(2)에 대하여 가공, 조립, 가열, 세정 등의 작업을 행하는 워크 작업 섹션(4)(도 1에 부호 4a 내지 4p로 도시하고 있다)을 가지는 복수의 기계 장치(3)(도 1에 부호 3a 내지 3g로 도시하고 있다)와 워크 작업 섹션(4)을 청정 분위기로 유지하는 장치(5)(이하 「청정 장치(5)」라고 한다)와 워크(2)를 워크 작업섹션(4)내에서 이동시키는 반송 장치(8)와 상기 반송 장치(8)를 구동하는 워크 작업 섹션(4)의 외측에 마련한 작업 구동장치(6)와 각 기계 장치(3)의 워크 작업 섹션(4)을 서로 연결하여 워크(2)를 한쪽의 기계 장치(3)로부터 다른 쪽의 기계 장치(3)로 반송하는 반송로(7)를 구비하는 것이다. 또한 도 1에 있어서는 본 실시 형태에 있어서 생산 시스템(1)의 크기의 개략을 나타내기 위하여 비교 대상으로서 A4용지(크기 297m×210m)를 함께 기재하고 있다.

이하에서는 동압 베어링 모터를 생산하는 생산 시스템(1)의 실시 형태를 설명한다. 본 실시 형태의 생산 시스템(1)은 도 1과 같이 부호 3a 내지 3g를 괄호 쓰기로 아울러 도시한 복수의 기계 장치(3)를 구비한다. 이들 기계 장치(3a 내지 3g)는 도 3에 도시한 바와 같이 청정 장치(5)로 이루어지는 청정 하강기류 발생 영역, 작업 영역(9), 기구 영역(1O)의 3개의 영역으로 구획되고, 복수의 반송로(도 1에 있어서는 부호 7a 내지 7g를 괄호 쓰기로 아울러 도시하고 있다)에 의하여 바깥 공기와 차단된 상태로 연결되어 있다. 워크(2)의 일례인 동압 베어링 모터 또는 이것을 구성하는 부품은 반송로(7a 내지 7g)를 적절하게 통과하여 각 기계 장치(3a 내지 3g)간을 반송된다.

각 기계 장치(3a 내지 3g)는 모터축 공급 섹션(4a) 등 각각 독립적으로 그 내부가 청정 분위기 상태로 보호 유지되고 서로 기능이 다른 단수 내지 복수의 워크 작업 섹션(4), 환언하면 워크(2)인 동압 베어링 모터의 가공·조립을 흐름 작업적으로 행하는 각 작업 부문을 가지고 있다. 또한, 도 1에 있어서는 각 워크 작업 섹션(4)에 부호 4a 내지 4p를 괄호 쓰기를 부가하여 다른 섹션인 것을 나타내고 있다. 예를 들면 본 실시 형태의 경우, 기계 장치(3a)는 모터축 공급 섹션(4a), 플레이트 공급 섹션(4b), 축압입 섹션(4c) 및 히터 섹션(4d)을 가지고, 기계 장치(3b)는 수직도 검사 섹션(4e)를 가지고, 기계 장치(3c)는 통세정 섹션(4f)을 가지고, 기계 장치(3e)는 통내경 계측 섹션(4k)을 가지고, 기계 장치(3f)는 바닥 접착 봉지 섹션(4m), 저소최섹션(4n) 및 히트 섹션(4o)를 가지고, 기계 장치(3g)는 가열 섹션(4p)을 가지고 있다. 또한, 기계 장치(3a)에서 기계 장치(3d)에 이를 때까지의 사이에, 축 지름 계측 섹션(4g), 축조 축경 마다 스톡 섹션(4h), 대응 축조선택 섹션(4i) 및 축삽입 섹션(4j)이 마련되어 있다. 이 경우, 기본적으로는 워크(2)를 보내는 종방향으로 각 워크 작업 섹션(4)을 배치하고 있지만, 필요에 따라 횡방향으로 추가의 작업 영역을 마련하여도 무관하다. 기계 장치(3c)는 이후의 설명에서 서술하는 바와 같이 세정 시스템을 형성하고 있다.

청정 장치(5)는 청정 하강기류 발생 영역에 있어서 작업 영역(9)내에 청정 공기를 송출하고, 워크 작업 섹션(4)내의 분위기를 청정 상태로 유지하는 장치이다. 예를 들면 본 실시 형태의 생산 시스템(1)의 경우, 청정 장치(5)는 도 3에 도시한 바와 같이 공기를 불어 내는 블로어(5a) 및 불어 내어진 공기를 청정화하는 필터(5b)에 의하여 구성되고, 작업 영역(9)에 청정 공기의 하강기류를 송출하는 것으로 작업 영역(9)이 외부나 기구 영역(10)에 대하여 항상 양압상태(즉 정압이 되는 상태)가 되도록 관리되고 있다. 또한, 적정한 청정 가공 기류를 발생시키기 때문에, 블로어(5a)의 토출압이나 토출량을 가변으로서 조정하기 위한 도시하지 않은 제어 수단이 병설되어 있다.

작업 영역(9)은 예를 들면 4면의 측벽(11)을 가지고, 그 상부에 청정 장치(5)가 장착된 양압상태의 작업 공간이고, 청정 분위기가 유지된 이 공간내에서 동압 베어링 모터의 가공·조립이 행하여진다. 작업 영역(9)은 워크(2)의 가공·조립을 행하는데 필요한 크기의 범위내에서 소형화를 도모할 수 있다.

한편, 기구 영역(10)은 배기 수단(14)을 가지고, 작업 영역(9)보다 부압이고, 또한 바깥 공기보다 양압이 되도록 컨트롤 되고 있다. 바깥 공기 이상의 양압을 얻을 수 있는 경우, 배기 수단(14)을 그 동안 정지시키면 그 만큼 소비 전력을 삭감할 수 있으므로 바람직하다. 기구 영역(10)은 4면의 측벽(11)의 적어도 1면에 마련된 도어를 가지고 있다. 또한, 특히 도시하고 있지 않지만, 기구 영역(1O)의 상부에서 먼지가 일으날 가능성이 높은 곳은 부압원을 튜브로 유도하여, 흡인을 행하도록 하고 있다.

이들 작업 영역(9)과 기구 영역(10)과의 사이의 격벽(12)은 기구 영역(10)측으로부터 작업 영역(9)측으로의 공기의 침입이 없도록 하기 위하여, 작업 영역(9)이 기구 영역(10)보다 양압이 되는 부분에 가동의 상태로 마련되어 있다. 또한, 그 외의 부분은 그레이팅(Grating), 펀칭 메탈 등의 벽에 의하여 작업 영역(9), 기구 영역(10)이 격리되어 있다. 이들 격벽(12)에는 구멍이 뚫어지고, 이들 구멍에 작업 구동장치(6), 반송로(7) 또는 반송 장치(8)를 직접 또는 간접적으로 부착하는 것이 가능해지고 있다. 또한, 이 격벽(12) 또는 측벽(11)의 구멍에는 바깥 공기와 차단하면서 작업할 수 있도록 한 장갑(15)을 마련하는 것으로, 수동으로 워크(2)를 움직이는 등 유지·보전 작업을 행할 수 있도록 한 기능을 비치할 수 있게 되어 있다. 더욱이 격벽(12)에는 반송 장치(8)의 축부(8b)의 이동 경로를 따라 슬릿(13)이 마련되어 있다.

반송 장치(8)는 워크 작업 섹션(4)의 외측으로부터 워크(2)의 이동·반송을 행하도록 설치되는 로보트 등의 장치로 이루어지고, 적어도 도구나 핸드 등의 작업단(8a)이 작업 영역(9)에 들어가도록 설치되고, 이 작업단(8a)과, 반송 장치(8)의 구동원이 되는 작업 구동장치(6)가 축부(8b)에 의하여 접속된 구조로 되어 있다. 이 반송 장치(8)는 워크 작업 섹션(4)의 외측으로부터 워크(2)에 가까워지고, 파지하는 등으로 워크(2)를 워크 작업 섹션(4)내에서 워크(2)를 그 워크 작업 섹션(4)내로 또는 워크 작업 섹션(4)과 반송로(7) 사이로 이동시킨다. 작업단(8a)으로서는 워크(2)를 파지하는 것 외에, 걸거나 밀어 내거나 하는 등의 기능을 가지고 워크(2)를 이동시킬 수 있는 모든 장치를 채용할 수 있다.

도 4 내지 도 8에 반송로(7)의 일례를 도시한다. 반송로(7)은 그 단부가 작업 영역(9)과 기구 영역(10) 사이의 일부에 삽입되고, 상류측의 기계 장치(3) 및 하류측의 기계 장치(3)를 연결하는 커버(16)가 부착된 관이며(이하 「반송관(7)」이라고 한다), 커버(16)를 제거한 상태를 도시한 도 5와 같이 커버(16)의 내측에는 워크 재치대(17)가 마련되어 있다. 또한, 상기 워크 재치대(17)의 아래 쪽에는 도 6에 도시한 바와 같이 리니어 모터의 고정자(18)와 이동자(19)가 마련되어 있다. 이동자(19)는 도 7A 내지 도 7C에 도시한 바와 같이 워크 재치대(17)를 지지하고 있고, 고정자(18)에 따라 직선 이동한다. 부호 20은 리니어 모터에 전원 공급 등을 하는 와이어이다. 또한, 반송관(7)의 커버(16)가 없는 부분은 기계 장치(3)의내부에 대하여 개구한 창(20a)이 되어 있고, 반송 장치(8)가 상기 창(20a)을 통해서 워크(2)를 꺼낼 수 있게 되어 있다. 더욱이 도 8에, 한가운데의 기계 장치(3)를 관통하여 3대의 기계 장치(3)에 걸치도록 마련된 반송관(7)을 도시한다. 이 반송관(7)에는 각 기계 장치(3)에 대응하여 창(20a)이 복수 마련되어 있다. 또한, 도 8에 있어서만 기계 장치(3)의 내측을 사선으로 도시하고 있다. 이 반송관(7)은 관내가 청정 분위기로 보호 유지되고, 생산 도중의 워크(2)를 상류측 기계 장치(3)로부터 하류측 기계 장치(3)로 크린도를 유지한 채로 반송 할 수 있는 것이 가장 바람직하다. 이 경우, 이 반송관(7)으로서는 작업 영역(9)을 바깥 공기로부터 차단 할 수 있는 기밀관이 매우 적합하지만, 예를 들면 슬릿이 마련되는 등으로 완전한 기밀이 실현되지 않는 경우라도, 작업 영역(9)을 양압으로 하는 것으로 이 슬릿으로부터 공기가 빠져 나오도록 하여 먼지와 티끌의 침입을 막는 것이 가능해진다. 또한, 반송관(7)의 이음새는 규격화·표준화 된 것인 것이 착탈을 용이하게 할 수 있는 점에서 바람직하다. 본 실시 형태의 생산 시스템(1)에서는 상술한 반송관(7)과 반송 장치(8)에 의하여 각 워크 작업 섹션(4)에 워크(2)를 공급하고 더욱이 배출하기 위한 공급 배출 기구를 구성하고 있다.

이상의 생산 시스템(1)에 의하여 동압 베어링 모터를 생산하는 경우, 우선 동압 베어링 모터를 구성하는 각 유니트 예를 들면 모터축이나 플레이트 등을 워크 작업 섹션(4)의 측벽(11)에 마련된 공급구에서 공급한다. 모터 케이스가 되는 통 모양의 워크(2)의 통세정은 예를 들면 세정용의 유수에 초음파가 중첩된 초음파 유수, 또는 브러쉬를 사용한 스크러브 세정 등에 의하여, 적절하게 분출의 방향을 바꾸어 행한다. 또한, 통세정 섹션(4f)에 있어서 챔버는 착탈 가능하게 되는 것에 의하여 챔버 자체의 교체가 가능하게 되어 있지만, 이 챔버의 설치수를 몇개로 하는가는 자유롭다. 또한, 축압입의 후에는 모터축 지름을 측정하여, 지름마다 분류해 스톡한다. 그리고, 통의 내경을 계측하여 이것에 맞는 내경의 축을 선택하고, 통에 삽입한다. 더욱이 플레이트를 코킹, 오일이 새지 않도록 접착제를 도포하고, 조립 후, 가열에 의하여 접착제를 녹여 접착 봉지한다. 이 경우, 본 실시 형태와 같이 오븐으로 가열하는 것에 의하여 한 번에 복수의 워크(모터 부품)를 가열하는 것이 가능해진다. 또한, 오븐안에는 항상 적어도 일품이 들어 있도록 하고, 타이머로 시간을 알려, 가열된 워크(2)가 오븐으로부터 옮겨지면 다음의 워크(2)를 오븐의 말미에 나란히 서게 하는 것으로 효율 향상을 도모할 수 있다.

계속하여, 본 발명에 관련된 세정 시스템에 대하여 설명한다(도 11A 내지 도 20 참조). 본 실시 형태의 생산 시스템에 있어서 세정 시스템은 워크(2)를 세정하기 위하여 기계 장치(3c)(이하, 이 기계 장치(3c)를 「세정 시스템(3c)」이라고 표시한다)에 의하여 형성된 시스템으로, 통세정 섹션(4f)을 구성한다.

세정 시스템(3c)은 워크(2)를 소정의 위치에 반송하는 반송 장치(21)와 이 반송 장치(21)를 중심으로서 주위에 방사상으로 배치된 복수의 워크 처리부(23)와 반송 장치(21)를 구동하는 구동부(24)와 워크(2)를 공급하는 워크 공급부(25)와 워크(2)를 배출하는 워크 배출부(26)를 가지고 있다. 워크(2)를 파지하여 재치하고, 또는 흡착하는 등으로 세정시의 워크(2)의 보호 유지 자세를 일정하게 유지하면서, 또는 워크 보호 유지시의 세정 면적을 가능한 한 크게 하면서 반송하는 반송아암(22)은 워크 처리부(23)의 수보다 많다. 본 실시 형태에서는 일예로서 반송 핸드(22a)에 의하여 1개의 워크(2)를 파지하는 반송 아암(22)을 나타내고 있다. 또한 반송 아암(22)에는 1개의 워크(2)를 파지하는 반송 핸드(22a)를 복수 마련하여도 좋다.

워크 처리부(23)는 워크(2)의 세정조 또는 건조조이다. 워크 처리부(23)는 반송 장치(21)를 중심으로 둘레 방향으로 등간격이 되도록 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 구동부(24)는 워크 처리부(23)의 배치 각도에 따른 등 각도의 순차 이송 동작을 행하는 것이 가능해진다.

또한, 워크 처리부(23)의 적어도 1개는 세정 시스템(3c)의 외부로부터 워크(2)가 공급될 수 있는 구조를 가지고, 적어도 다른 1개는 세정된 후의 워크(2)를 세정 시스템(3c)의 외부로 배출할 수 있는 구조를 가지고 있다. 예를 들면 본 실시 형태의 경우는 도 11A에 도시한 바와 같이, 최초의 세정을 행하는 워크 처리부(23)에 워크 공급부(25)로서 워크(2)를 반입 할 수 있는 구멍이 마련되고, 마지막 세정을 행하는 워크 처리부(23)에 워크 배출부(26)로서 세정 후의 워크(2)를 반출 할 수 있는 구멍이 마련되어 있다. 또한, 각 워크 처리부(23)는 반송 장치(21)에 의하여 보호 유지된 워크(2)를 출납하기 위한 삽입 구멍(23x)을 가지고, 더욱이 도 18에 도시한 바와 같이, 반송 아암(22)의 워크(2)에 대한 파지위치를 변경하는 장치가 설치되어 있다. 예를 들면, 파지하고 있던 워크(2)를 워크 재치대(17)에 일단 두고, 상하 이동시키는 기구(39)에 의하여 반송 아암(22)을 이동시키고 나서 재차 워크(2)를 파지하는 것에 의하여 워크 파지위치를 변경할 수 있고, 이러한 장치에 의하여 파지위치를 변경하는 장치가 구성된다. 워크 처리부(23)의 측면에는 예를 들면 세정 브러쉬 등 세정 등에 이용되는 부품의 설치용의 구멍이 마련되어 있다. 반송 아암(22)을 상하 이동시키는 기구(39)는 예를 들면 모터 등의 액츄에이터나 캠 등을 조합하여 구성할 수 있다.

부가하여, 워크 처리부(23)는 뚜껑 부품 등 상부의 부품이 윗방향 또는 옆방향으로 제거 가능한 구조로 되고, 내벽이 손으로 청정할 수 있게 되어 있는 것이 바람직하다. 본 실시 형태의 워크 처리부(23)는 도 19에 도시한 바와 같이 개별적으로 제거 가능한 구조로 되어 있고, 제거한 상태로 워크 처리부(23)의 내벽을 손으로 청정할 수 있게 되어 있다.

또한, 세정 시스템(3c)은 시스템 전체에 청정 하강기류가 흐르고, 또한, 워크 배출부(26)의 근방에 있어서 세정 시스템(3c)의 하부까지 직선적으로 하강하는 하강기류가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 본 실시 형태의 경우, 도 10, 도 11B에 도시한 바와 같이, 세정 시스템(3c)의 내부이고, 팬이나 필터 등으로 이루어지는 청정 하강기류 발생 장치(30)가 세정 시스템(3c)내에 하강기류를 일으키도록 마련되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 세정 시스템(3c)은 세정 후의 워크(2)가 반송되는 반송부(28) 및 반송 경로(27)를 가지고, 반송부(28)에 있어서 하강기류가 직선적으로 하강 가능하도록 시스템 최하부까지 직선적인 기류 유로가 확보되어 있다. 따라서, 워크(2)(또는 반송 아암(22))가 이동했을 경우에, 전단층에서의 워크 처리부(23)에 있어서의 더러운 것이 다음의 워크 처리부(23)로 반입되는 것이 방지되고 있다.

구동부(24)는 반송 장치(21)를 구동하는 부재이며, 예를 들면 본 실시 형태의 구동부(24)는 도 11A, 도 11B에 도시한 바와 같이 반송 장치(21)를 회전 동작 시키는 인덱스 액츄에이터(24a)와, 인덱스 동작하는 회전부(24b)와, 반송 아암(22)을 신축 동작시키는 아암 신축 액츄에이터(24c)를 가지고 있다. 여기서, 구동부(24)는 워크(2)등의 크기에 대하여 충분히 미소한 각도의 동작이 가능한 것이 미묘한 위치 조정도 가능해 진다는 점에서 바람직하다.

반송 장치(21)는 반송 아암(22)을 신축시키는 것에 의하여 워크 처리부(23)에 워크(2)를 수평 방향으로 삽입할 수 있고(도 11A 참조), 더욱이 반송 아암(22)을 상하 이동시키는 기구(39)에 의해 워크(2)를 상하 이동시킬 수 있다. 이 경우, 반송 아암(22)은 개별적으로 또는 전 아암 동시에 미소 신축이 가능하게 되어 있기 때문에, 가동 범위내에 있어서 반송 아암(22)에서 보호 유지하는 워크(2)를 어느 위치에도 수평 이동시킬 수 있고, 더욱이 각 위치로 상하 이동시킬 수도 있다.

본 실시 형태에서는 상술과 같은 반송 장치(21)에 의하여 워크(2)를 워크 공급부(25)로부터 반입하여, 소망하는 워크 처리부(23)로 이동시켜, 워크 배출부(26)로부터 반출하지만, 이러한 동작을 상대적으로 행하게 하도록 하여도 무관하다. 즉, 워크 처리부(23) 전체가 방사상으로 수평 이동하는 기구를 마련하도록 하면 워크(2)를 수평 이동시키지 않고 워크 처리부(23)측에 상대 이동시킬 수 있고, 워크 처리부(23)를 상하 이동시키는 기구를 마련하도록 하면 반송 아암(22)을 상하 이동시키지 않아도 된다.

반송 아암(22)은 도 12에 도시한 바와 같이 계단식 형상의 기초부(22b)를 가진다. 이러한 형상의 기초부(22b)는 워크 처리부(23)의 삽입 구멍(23x)의 클리어런스를 좁히고, 반송 장치(21)측에의 세정액의 비산을 방지하는 것을 가능하게 한다. 예를 들면 본 실시 형태의 경우, 반송 아암(22)과 삽입 구멍(23x)의 지름 방향 클리어런스(Cl, C2), 축방향 클리어런스(C3)는 도 12에 도시하는 바와 같이 되어 있고, 반송 아암(22)의 움직임을 방해하지 않을 정도로 이러한 값을 좁히는 것으로 세정액의 비산을 더욱이 방지할 수 있다.

또한, 반송 아암(22)은 워크(2)와 함께 세정되도록 하면 이 반송 아암(22)의 워크 근접 부위의 청정도를 확보할 수 있어 바람직하다. 이 경우, 특히 자세하게 도시하고 있지 않지만, 워크 공급부(25)로부터 워크 배출부(26)에 이르기까지 적어도 1개의 조를 마련하여 상기 조를 반송 아암(22)의 세정에 이용하도록 하여도 무관하다.

워크 처리부(23)와 반송 장치(21)간의 실제로 워크(2)가 반송되는 반송부(28)에는 워크 처리부(23)를 단위마다 나누는 격벽(29)이 마련되어 있다. 또한, 이 격벽(29)에는 예를 들면 도 13에 도시한 바와 같이 반송 아암(22)과 워크(2)만을 통과할 수 있는 것과 같은 협소한 틈새를 구비한 반송 경로(27)가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 반송 아암(22)과 워크(2)가 통과할 때의 틈새를 좁게 했을 경우, 워크 공급부(25)로부터 청정도가 다른 오염 바깥 공기가 돌아서 혼입하는 것을 방지하고, 더욱이 인접하는 워크 처리부(23)가 다른 세정액무가 서로 섞이는 것을 방지할 수 있고, 더욱이 워크 공급부(25)로부터 워크 배출부(26)를 향하여 서서히 내압을 높여 나가는 것이나 하강기류의 정류를 행하는 것이 가능해진다.

또한, 세정 시스템(3c)은 워크 처리부(23)의 상부에서 세정용 유체가 흘러 떨어지는 구조로 되어 있다. 이 구조는 구체적으로는 예를 들면 도 14에 도시한 바와 같이 초음파를 발생하여 유수에 중첩시키는 유수 분출 장치(31)를 구비하고, 초음파가 중첩된 초음파 유수를 세정용 유체로서 분출하는 것이다. 워크 처리부(23)의 하부에는 호스 등으로 이루어지는 세정용 유체 배출 기구(33)와 팬 (38a) 또는 슬릿(38b)을 갖춘 청정 공기 배기구멍(38)이 마련되어 있다. 세정용 유체는 워크(2)의 유무에 따라 분출된다. 세정용 유체의 분출 방향은 적절하게 변화시킬 수 있으면 세정용 유체를 맞대는 각도나 세정 부위를 자유롭게 바꿀 수 있어 바람직하다. 도 15에 도시한 세정 시스템(3c)은 리니어 모터를 이용한 분출 각도 변경 기구(32)를 이용하여 유수 분출 장치(31)의 방향을 변화시키도록 하고 있다. 또한, 도 16에 도시한 바와 같이, 워크 처리부(23)의 내부에 마련한 세정 브러쉬 등의 워크 세정 장치(34)를 상하 이동시키는 리니어 모터 등의 상하 기구(36)나 회전 모터 등의 회전 기구(37)를 마련하도록 하여도 좋다. 또한, 여기에서는 초음파 유수를 예시했지만 이 외에도 건조용 치환 액체나 건조용 온풍 등이 세정 시스템(3c)에 적용 가능한 세정용 유체로서 포함된다. 도 17에, 청정 온풍 분출 기구(35)가 마련된 워크 처리부(23)를 예시한다.

또한, 세정 시스템(3c)은 워크 공급부(25)로부터 워크 배출부(26)까지의 순차 이송 동작을 적어도 2 주회 행한다. 이 경우, 예를 들면 1 주회째와 2 주회째 이후로 워크 처리부(23)의 세정·건조기능의 설정을 변환할 수 있는 기능을 가지는것이 바람직하다. 이것에 의하여, 1 주회째와 2 주회째 이후로 다른 워크(2)의 상태에 따라 최적의 세정을 행하는 것이 가능해진다.

더욱이 세정 시스템(3c)은 구동부(24)를 선회, 신축의 미소 동작을 시키는 것으로 도 20에 도시한 바와 같이 워크 처리부(23)내에서 워크(2)를 진동 또는 미동시켜, 세정액 분류, 워크 세정 장치(34)에 대하여 얼룩없이 세정을 행할 수 있도록 하고 있다. 이것에 의하여, 예를 들면 워크(2)에 초음파 유수가 널리 퍼지지 않는 경우 등에 있어서, 워크(2)를 세세하게 진동 또는 미동시키는 것으로 세정 효과를 향상시킨다.

또한 상술한 실시 형태는 본 발명의 매우 적합한 실시의 일례이지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변형 실시 가능하다. 예를 들면, 세정 뿐만 아니라 케미컬 프로세스에 동등의 기구를 이용하여, 워크 처리부(23)의 기능만을 바꿔 넣는다, 즉 「세정」, 「건조」등의 기능과 「화학 처리」, 「도금 전착도장」, 「에칭」 등의 기능을 교체 투입하는 것으로 크린 환경에서의 복합 프로세스에 대응할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는 생산 시스템(1)의 일례를 도 1에 나타냈지만 시스템 형태는 특별히 한정될 것은 없고, 기계 장치(3)나 반송관(7)의 자유로운 배치와 편성에 의하여 예를 들면 도 9에 도시한 것 같은 생산 시스템(1)을 구축하여도 괜찮고, 더욱이 다른 형태로 하여도 물론 무관하다.

본 실시 형태의 세정 시스템(3c)은 유수 분출 장치(31)을 갖추고, 워크 처리부(23)의 상부로부터 워크(2)에 세정용 유체를 내뿜는다고 하는 이른바 샤워 방식이라고도 할 수 있는 것이었지만, 세정시의 워크(2)의 보호 유지 자세를 일정하게 유지하고, 워크(2)를 세정하는 경우, 세정의 방식은 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 워크 처리부(23)의 조내에 세정액, 헹굼 물 등의 세정용 액체를 보호 유지하고, 이 안에 워크(2)를 담그어(가라앉혀) 세정 하는 것이어도 좋다. 도 21 내지 도 23에 이러한 세정을 행하는 세정 시스템(3c)의 일례를 도시하고 설명한다.

도 21 내지 도 23에 도시한 세정 시스템(3c)은 워크(2)를 반입하는 반입 장치(41)와 워크(2)를 세정하는 세정조로서의 워크 처리부(23a 내지 23d)와, 세정 후에 워크(2)를 건조시키는 건조조로서의 워크 처리부(23e 내지 23g)와, 워크(2)를 워크 처리부(23g)로부터 꺼내어 반출하는 반출 장치(42)와 반입 장치(41)에 의하여 반입된 워크(2)를 보호 유지하여 워크 처리부(23a 내지 23d) 및 워크 처리부(23e 내지 23f)내에 이동시키는 반송 장치(21)를 갖추고 있다(도 21 참조). 도시한 바와 같이, 여기에서는 6개의 워크 처리부(23a 내지 23f)가 둘레 형상으로 등간격 배치된 로터리식 세정조(43)로 되고, 그 중심에 배치된 반송 장치(21)가 워크(2)를 보호 유지하여 각 워크 처리부(23a 내지 23f)에 순차적으로 반송하도록 마련되어 있다. 6개의 조를 어떠한 조로 할지는 워크(2)의 종별 등에 의하여 바뀌지만, 예를 들면 여기에 나타낸 실시 형태의 경우는 1번째의 워크 처리부(23a)를 세정조(이하 「세정조(23a)」라고도 한다), 2번째에서 4번째까지의 워크 처리부(23b 내지 23d)를 헹굼을 행하는 세정조(이하 「세정조(23b)」, 「세정조(23c)」, 「세정조 (23d)」라고도 한다), 5번째와 6번째의 워크 처리부(23e 내지 23f)를 탈수를 행하는 에어 건조조(이하 「건조조(23e)」, 「건조조(23f)」라고도 한다)로 하고 있다.또한, 로터리식 세정조(43)의 근방에 최종 건조조로서 진공 건조조인 워크 처리부(23g)(이하 「건조조(23g)」라고도 한다)를 마련하고 있다. 또한, 본 실시 형태에서는 로터리식 세정조(43)과는 별도로 진공 건조조(23g)를 마련하고 있지만, 워크(2)의 종별 등에 따라서는 진공 건조조를 로터리식 세정조(43)에 마련하여도 좋다.

세정조(23a)는 예를 들면 초음파를 이용하여 세정을 실시하는 조이며, 조내의 물 및 수계 세제에 담그어진 워크(2)에 부착된 더러운 것을 제거한다. 물 및 수계 세제의 대신으로서 준수계 세제, 비수계 세제 등이 세제로서 이용되는 경우도 있다.

세정조(23b)는 세정조(23a)로 세정된 워크(2)를 초음파를 이용하여 대강의 헹굼을 하는 조이다. 본 실시 형태의 경우, 도시하는 바와 같이 이들 2개의 세정조(23a, 23b)와 다른 조(23c 내지 23f)의 사이를 통과하도록 구획 부재(55)를 마련하고, 세정조(23a, 23b)와 다른 조(23c 내지 23f)를 나누고 있다. 또한, 세정조(23c)는 초음파로 2차 행굼을 행하는 조, 세정조(23d)는 초음파로 3차 행굼(최종 마무리 행굼)을 행하는 조이다. 건조조(23e, 23f)는 행굼 후의 워크(2)에 대하여 에어를 불어 넣어 건조시키는 조이다. 더욱이 건조조(23g)는 조내를 진공 흡인하여 워크(2)의 최조 건조를 행하는 조이다.

반입장치(41)는 로타리식 세정조(43)의 바로 앞까지 반송된 워크(2)를 반송 장치(21)로 주고 받는 장치이고, 예를 들면 선회 가능하고 또한 직선 이동 가능한 아암으로 워크(2)를 보호 유지하여 이동시키는 워크 반입 로보트에 의하여 구성되어 있다. 반출장치(42)는 건조를 종료한 워크(2)를 받아 반출측의 반송 장치에 적재하는 장치이고, 예를 들면 반입장치(41)와 마찬가지로 선회 가능하고 또한 이동 가능한 아암으로 워크(2)를 보호 유지 이동시키는 워크 반입 로보트로 이루어진다.

반송장치(21)는 반입된 워크(2)를 보호 유지하여 세정조(23a 내지 23d) 및 건조조(23e 내지 23f)내를 순차적으로 이동시키는 것으로, 예를 들면 여기에서는 도 21에 도시한 바와 같이 6개의 반송 아암(22)이 아암 지지축(44)에 둘레 형상으로 등간격 배치되어 있다. 아암 지지축(44)은 각조(23a 내지 23f)의 중심 위치에서 승강 가능한 축이며(도 22, 도 23 참조), 6개의 세정 아암(22)을 각조(23a 내지 23f)내에서 동시에 올리거나 내려 워크(2)의 출입을 행한다. 아암 지지축(44)의 승강은 승강장치(45)에 의하여 행하여진다. 워크(2)는 세정 아암(22)의 워크 재치부인 반송 핸드(22a)에 재치되고, 세정시의 워크(2)의 보호 유지 자세가 일정하게 유지된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 반송 핸드(22a)에 1개의 워크(2)가 재치되지만, 세정시의 워크(2)의 보호 유지 자세가 일정하게 유지된다면 2개이상의 워크(2)가 재치되어도 좋다. 또한, 아암 지지축(44)의 상단에 마련된 회전장치(54)가 반송 아암(22)을 회전시킨다. 더욱이, 본 실시 형태에서는 워크(2)를 재치하였을 때에 세정 면적이 가능한 한 크게 되도록 재치되어 있다.

승강 장치(45)는 그 승강 속도의 제어가 가능하게 되어 있다. 따라서, 워크 처리부(23)에 보호 유지되는 세정용 액체에 워크(2)가 침지될때에 승강 장치(45)의 승강 속도를 낯추는 것에 의하여, 워크(2)의 세정용 액체에의 침지시에 있어서도, 반송 핸드(22a)에 워크(2)를 안정된 상태로 보호 유지할 수 있다.

또한, 초음파세정을 행하는 경우에는, 초음파가 강한 위치에서 승강 장치(45)의 승강속도를 낮추는 것에 의하여, 또는 승강 장치(45)를 일시적으로 멈추는 것에 의하여 더욱 효과적인 세정이 가능하게 된다.

워크(2)의 세정을 행하는 워크 처리부(23)로서는 예를 들면 초음파 세정을 행하는 세정조가 이용되는 것이 바람직하다. 도 24, 도 25에 도시한 워크 처리부(23)는 배수구(46)가 부착된 세정조의 하부에 압전 소자 등에 의하여 구성된 초음파 진동자(47)를 구비하고, 이 초음파 진동자(47)에 의하여 세정조내의 세정액 또는 헹굼수에 초음파 에너지를 부여하는 것으로, 이 액중에 넣은 워크(2)를 초음파에 의하여 발생하는 캐비테이션 등의 파워에 의하여 세정할 수 있다.

또한, 워크(2)의 세정을 행하는 워크 처리부(23)로서는 예를 들면 온풍 건조를 행하는 건조조를 이용하는 것이 바람직하다. 도 26, 도 27에 도시한 워크 처리부(23)는 온풍 발생기(48)와 조내에 위치 조정 가능한 에어 노즐(49)을 구비하고, 온풍 발생기(48)로부터의 에어를 워크(2)에 내뿜는 것에 의하여 워크(2)에 부착된 액체를 날려 버리고, 또한 온풍에 의하여 워크(2)를 가온하여 건조하기 쉽게 하도록 마련되어 있다.

에어 노즐(49)은 예를 들면 도시하지 않은 스텐레스제의 튜브의 선단에 테프론제의 가소제 튜브를 부착하는 구성으로 되어 있기 때문에, 튜브를 자재로 굽히는 것에 의하여 건조 에어를 맞히는 위치의 변경이 용이하다. 본 실시 형태와 같이, 반송 핸드(22a)에 워크(2)가 1개씩 보호 유지되는 구성에 있어서는 헹굼액이 남기 쉬운 부분에 집중적으로 건조 에어를 맞히는 것이 가능해지고, 워크(2)를 확실하게건조시킬 수 있다.

더욱이 워크(2)의 세정을 행하는 워크 처리부(23)로서는 예를 들면 진공 건조조가 이용되는 것도 바람직하다. 도 28, 도 29에 도시한 워크 처리부(23)는 조내에서의 워크(2)를 가습하기 위한 히터(50)와 예를 들면 조내의 공기를 진공 흡인 하는 진공 펌프(51) 및 워크 처리부(23)를 밀폐하는 뚜껑(52)으로 이루어지는 감압 기구(53)를 갖춘 것으로, 건조조내를 진공으로 하는 또는 감압하는 것에 의하여, 워크(2)에 부착한 물의 증발 온도를 내려 완전 건조시키기 쉽게 한다.

계속하여, 도 30 내지 도 34에, 본 발명과 관련된 초음파 세정 장치의 일실시 형태를 도시한다. 이 초음파 세정 장치(59)는 세정조내에 있어서 피세정물인 워크(2)에 초음파를 조사하여 더러운 것을 제거하는 장치이며, 세정·건조 작업을 행하는 세정 장치(이하, 실시 형태의 설명중에 있어서 「세정 시스템」이라고 불리고, 부호 3c로 나타낸다)에 있어서 워크(2)의 더러운 것을 제거하는 세정 작업을 맡는 장치로서 이용된다.

본 실시 형태에 있어서의 세정 시스템(3c)은 워크(2)를 반입하는 반입 장치 (41)와 워크(2)를 세정하는 세정조(23a 내지 23d)와, 세정 후에 워크(2)를 건조시키는 건조조(23e 내지 23g)와, 워크(2)를 건조조(23g)로부터 꺼내어 반출하는 반출 장치(42)와 반입 장치(41)에 의해 반입된 워크(2)를 보호 유지하여 세정조(23a 내지 23d) 및 건조조(23e 내지 23f)내로 이동시키는 반송 아암(22)을 구비하여 이루어지는 장치이며, 워크(2)를 개별적으로 세정할 수 있도록 구성되어 있다(도 30 참조). 또한, 본 실시 형태에서는 반입 장치(41)와 반출 장치(12)와의 사이에 구획부재(55)를 설치하고, 이것에 의해 나누어진 반출측의 에리어(본 명세서에서는 이 에리어를 「크린 에리어」라고 하고, 도 30중에 있어서 부호CA로 나타낸다)내의 크린도를 유지하도록 하고 있다. 크린 에리어가 아닌 쪽의 에리어(일반 환경 에리어)는 부호 GA로 나타내고 있다.

또한, 본 실시 형태의 세정 시스템(3c)은 6개의 조가 도 30에 도시한 바와 같이 둘레 형상으로 등간격 배치된 로터리식 세정조(43)를 갖춘 장치로, 그 중심에 배치된 반송 아암(22)이 워크(2)를 보호 유지하여 각 조(23a 내지 23f)에 순차적으로 반송하도록 설치되어 있다. 6개의 조를 어떠한 조로 할지는 워크(2)의 종별이나 세정제로서 유기용매를 이용할지 어떨지 등에 의하여 바뀌지만, 예를 들면 본 실시 형태의 경우는 1번째의 조를 세정조(23a), 2번째에서 4번째까지의 조를 헹굼을 행하는 세정조(23b 내지 23d), 5번째와 6번째의 조를 탈수를 행하는 에어 건조조(23e 내지 23f)로 하고 있다. 또한, 로터리식 세정조(43)의 근방에 최종 건조조로서의 진공 건조조(23g)를 마련하고 있다.

반입 장치(41)는 로터리식 세정조(43)의 바로 앞까지 반송된 워크(2)를 반송 아암(22)에 주고 받는 장치로, 예를 들면 선회 가능하고 또한, 직선 이동 가능한 아암으로 워크(2)를 보호 유지하여 이동시키는 워크 반입 로보트에 의하여 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는 워크(2)를 워크 반송 팔레트(61)에 의하여 워크 반입구(63)로부터 일반 환경 에리어내로 옮겨 들이고, 반입 장치(41)로 이 워크(2)를 세정조(23a)측에 이동시키도록 하고 있다. 본 명세서에서는 자세하게는 설명하지 않지만, 워크 반송 팔레트(61)는 반송 레일(62)상을 스스로 달려 워크(2)를 반송하는 대차이며, 워크 반입구(63)로부터 일반 환경 에리어내에 들어간다.

반출 장치(42)는 건조를 끝낸 워크(2)를 받아 반출측의 워크 반송 팔레트(61)에 싣는 장치이며, 예를 들면 반입 장치(41)와 마찬가지로, 선회 가능하고 또한, 직선 이동 가능한 아암으로 워크(2)를 보호 유지하여 이동시키는 워크 반입 로보트로 이루어진다. 또한, 워크 반송 팔레트(61)는 반입측의 장치와 마찬가지로, 반송 레일(62)상을 스스로 달려 워크(2)를 반송하는 대차로 이루어지고, 워크 반출로(64)를 통과하여 세정 시스템(3c)의 외부에 워크(2)를 옮긴다. 본 실시 형태에서는 이 반출 장치(42)에 의하여 건조조(23f)로부터 워크(2)를 받아, 진공 건조조(23g)에 출납하여 최종 건조시킨 후에 해당 워크(2)를 워크 반송 팔레트(61)에 재치하도록 하고 있다.

반송 아암(22)은 반입된 워크(2)를 개별적으로 보호 유지하여 세정조(23a 내지 23d) 및 건조조(23e 내지 23f)내를 순차적으로 이동시키기 위한 아암으로, 본 실시 형태의 경우는 도 31에 도시한 바와 같이 크랭크 형상의 6개의 반송 아암(22)이 아암 지지축(44)에 둘레 형상으로 등간격 배치되어 있다. 아암 지지축(44)은 조(23a 내지 23f)의 중심 위치에서 회전 가능하고 또한 승강 가능한 축으로, 6개의 반송 아암(22)을 각 조(23a 내지 23f)내에서 동시에 오르내리고, 회전하여 다음 조로 이동시킨다. 각 반송 아암(22)의 선단부는 예를 들면 워크(2)를 직접 재치하여 이동시킬 수 있는 것 같은 형상이어도 무관하지만 본 실시 형태에서는 워크(2)의 저면을 지탱하기 위한 워크 보호 유지 치구(도시 생략)가 장착되는 양다리 형상의 지지편(65)으로 하고 있다. 또한, 각 반송 아암(22)은 개별적으로 아암지지축(44)에 장착되는 구조이어도 상관없지만, 본 실시 형태에서는 각 반송 아암(22)을 2개 1조의 유니트로 하여, 부착 나사(66)에 의하여 아암 지지축(44)에 착탈 가능하게 장착되도록 하고 있다(도 31 참조). 이 경우, 예를 들면 다품종 소량생산과 관련된 제품의 워크(2)를 세정하는 경우에 유니트를 적절하게 교환하고, 또는 제거하는 등의 대응이 가능하다. 각 유니트는 아암 지지축(44)상의 위치 결정 핀(67)에 의하여 위치 결정되어 있다.

또한, 초음파 세정이 행하여지는 세정조(23a)(예를 들면 본 실시 형태의 경우는 세정조(23a 내지 23d)의 모든 것이 해당하지만 도 32에서는 세정조(23a)에 대하여만 도시한다)는 워크(2)에 초음파를 조사하여 더러운 것을 제거하는 초음파 세정 장치(59)를 갖추고 있다. 이 초음파 세정 장치(59)는 도 32에 도시한 바와 같이 세정조(23a)의 저면에 초음파 진동자(47)를 갖춘 것으로, 조내의 워크(2)를 향하여 초음파를 조사하도록 마련되어 있다. 예를 들면 본 실시 형태의 초음파 진동자(47)는 볼트체결 또는 접착 등에 의하여 세정조(23a)의 저면에 고정된 압전 소자에 의하여 구성되어 있다. 압전 소자로서는 예를 들면 BLT(볼트 체결 란쥬반)로 이루어지는 진동자(볼트 체결 란쥬반형 진동자)가 이용된다. 볼트 체결 란쥬반형 진동자는 예를 들면 구멍이 뚫린 압전 세라믹스를 2장, 금속 블록으로 끼우고, 볼트나 너트 등으로 단단히 조인 것 등이다. 이 초음파 진동자(47)는 초음파 발진기(68)에 의하여 구동되어 세정조(23a)에 초음파에 의한 캐비테이션을 발생시킨다(도 32 참조).

초음파 세정이 행하여지는 세정조(23a)는 일반적으로는 스텐레스재에 의하여형성되고, 대형이면 용접에 의하여 제작되고, 소형이면 주걱 체결 가공(스피닝 가공) 등에 의하여 제작된다. 더욱이 본 실시 형태의 세정조(23a)는 세정조 표면으로부터의 오염(예를 들면 금속가루, 이온)을 최소한으로 하기 위하여 전해 연마에 의하여 처리되어 있다. 다른 세정조(23b 내지 23d)에 대하여도 마찬가지이다.

초음파 세정 장치(59)에 있어서의 초음파는 주파수가 낮을수록 강력한 더러운 것의 세정에 적절하고, 주파수가 높을수록 정밀한 더러운 것에 적합하다. 주파수의 범위는 예를 들면 20 내지 100kHz 정도로 된다. 본 실시 형태의 초음파 세정 장치(59)에 있어서는 세정조(23a 내지 23c)의 각각에 대하여는 40kHz의 초음파를 사용하고, 세정조(23d)에 대하여는 100kHz의 초음파를 사용하고 있다(도 33, 도 34 참조). 단, 여기에 나타낸 수치는 일례에 지나지 않고 워크(2)의 종별 등에 따라 적절하게 변경할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 반송 아암(22)의 보호 유지구 부분은 예를 들면 원통 형상의 워크(2)의 주위면에 닿지 않도록 해당 워크(2)와 근소하면서도 클리어런스를 가지도록 형성되어 있다(도 32 참조). 이와 같이 형성된 반송 아암(22)은 세정조(23a)의 세정액내에 담그어진 워크(2)가 초음파를 받아 회전하는 것을 방해하지 않는다. 더욱이 이 반송 아암(22)은 보호 유지한 워크(2)를 세정조(23a)의 내부에서 오르내려 워크 위치(도 32에서는 부호 A에 의하여 조의 바닥으로부터의 거리를 나타내고 있다)를 바꾸는 것에 의하여(도 32 참조), 아래로부터 또는 주위로부터 조사되는 초음파의 비율을 변화시키고, 또는 워크(2)에 초음파의 배 부분을 조사하거나 또는 마디의 부분을 조사하는 등과 같이 워크(2)에 닿는위치에 있어서 초음파의 모양을 변화시키는 등, 조사 모양을 변화시킬 수 있다. 이상에 의하여, 본 실시 형태의 초음파 세정 장치(59)에 의하면 반송 아암(22)을 세정조(23a)내에서 이동시키고 세정조(23a)내에서의 위치를 변화시키는 것에 의하여 워크(2)를 회전시킬 수 있다. 더욱이 적절한 워크 위치(깊이)를 변화시키는 것에 의하여 워크(2)의 회전 방향, 속도를 제어할 수 있고, 예를 들면 워크(2)에 대한 세정액의 상대 유속을 업 시키는 것에 의하여 세정 효과를 촉진시킬 수 있다. 또한, 이러한 반송 아암(22)의 동작에 더하여, 초음파 진동자(47)가 발하는 초음파의 주파수를 변화시키는 것에 의하여 워크(2)의 회전 방향, 속도를 더욱 제어할 수 있다. 즉, 초음파 진동자(47)측에서 공진점을 변화시키는 것으로 동일 조내에 있어서 복수의 주파수로 변화시키는 것을 가능하게 하고, 워크(2)의 회전 방향 등을 제어할 수 있도록 하고 있다. 또한, 도 32의 부호 H는 세정액의 깊이를 나타내고 있다.

이상과 같이, 초음파가 조사되고 있는 조내의 워크(2)는 워크 위치(높이) 또는 수평 위치 또는 조사되는 초음파의 주파수에 따라 회전 방향이 시계회전 또는 반시계회전으로 바뀌어 그 회전 속도도 미묘하게 변화하지만, 본 실시 형태의 초음파 세정 장치(59)에 의하면, 세정조(23a)(23b 내지 23d) 내에 있어서의 워크(2)의 깊이 및 초음파 주파수를 적절하게 변화시키는 것으로 워크(2)의 회전 방향과 회전 속도를 제어할 수 있다. 이 때문에, 보다 높은 세정 효과를 얻을 수 있다. 또한, 워크(2)에 조사되는 초음파의 주파수에 대하여 말하면, 주파수가 높으면 높을수록 워크 회전수가 늦어지지만 정역전을 변경하는 타이밍이 빨라지고, 반대로 주파수가낮으면 낮을수록 워크 회전수는 빨라지지만 정역전 변경 타이밍은 늦어지므로, 이 성질을 이용하여 워크(2)의 회전 방향 및 회전 속도를 새로 바꾸도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 회전 방향 및 회전 속도는 워크(2)의 크기·형태에 의해서도 변화하는 것은 말할 필요도 없다.

또한, 로터리식 세정조(43)를 구성하는 각 조 즉 세정조(23a 내지 23d) 및 건조조(23e 내지 23f)의 각각은 로터리식 세정조(43)에 대하여 착탈 가능한 조로 되어 있다. 따라서 본 실시 형태에 있어서의 각 조(23a 내지 23f)는 각각 로터리식 세정조(43)로부터 제거한 상태로 세부까지 클리닝하기 쉬운 구조로 되어 있다. 각 조(23a 내지 23f)는 도시하지 않은 위치 결정 핀 등에 의하여 로터리식 세정조( 43)의 소정 위치에 재현성 좋게 위치 결정되고, 예를 들면 베이스판(69)상에 고정된 1조 근처 3개의 부착부재(70) 및 부착부재(70)에 나사 삽입되는 3개의 나사로 이루어지는 설치도구(71)에 의하여 이 소정 위치에서 고정된다(도 31 참조). 부착부재(70)는 예를 들면 각 조(23a 내지 23f)의 부착구멍을 관철하는 연직의 육각 지주로 이루어진다. 이와 같이 각 조(23a 내지 23f)가 착탈 가능한 경우, 예를 들면 건조조(23e) 대신에 다른 세정조를 마련하여 세정 내용을 변경하는 것이 가능해진다. 또는 세정조(또는 건조조) 중의 일조를 제거하여 공 스페이스로 하고, 거기에 워크(2)를 척(chuck)하여 반전시키는 유니트를 짜 넣고 세정 과정의 도중에 워크(2)의 방향을 바꾸도록 할 수도 있다.

또한, 상술한 실시 형태는 본 발명의 매우 적합한 실시의 일례이지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지로 변형 실시 가능하다. 예를 들면 본 실시 형태에서는 세정조(23a)(23b 내지 23d) 내에 있어서의 워크(2)의 회전 방향과 회전 속도를 제어할 뿐이지만 이것에 물리적인 세정 수단을 조합하여 복합적인 세정을 실시할 수도 있다. 예를 들면, 특별히 도시하지 않았지만, 조내의 워크(2)의 측면에 가벼운 저항으로 접하는 브러쉬 등을 설치하는 것으로 조내에서 회전하는 워크(2) 측면의 물리적 세정을 자동적으로 행하도록 할 수 있다.

계속하여, 본 발명과 관련된 진공 건조 장치의 일실시 형태를 도 35에 도시한다. 이 진공 건조 장치(72)는 세정 시스템(3c)에 있어서의 최종 건조 작업을 하는 장치로서 마련되어 있는 것으로, 세정 후의 워크(2)를 진공 건조조(23g)내로 이동시키고 밀폐 상태로 진공 흡인하여 건조시킨다.

반출 장치(42)는 그 하단 측에 워크 보호 유지 장치(73)를 구비하고, 건조를 끝낸 워크(2)를 받아 반출측의 워크 반송 팔레트(61)에 적재하는 장치이다. 본 실시 형태에서는 반출 장치(42)의 워크 보호 유지 장치(73)의 해당 워크 보호 유지 위치보다 윗쪽에 진공 건조조(23g)의 뚜껑 부재(74)를 마련하여 워크(2)를 진공 건조조(23g)에 삽입하는 것과 동시에 진공 건조조(23g)의 뚜껑이 닫히는 구조로 하고 있다. 이 뚜껑 부재(74)는 진공 건조조(23g)에 맞춘 형상 예를 들면, 도 35에 도시한 바와 같은 원판 형상으로, 워크(2)를 조내의 소정 높이(깊이)까지 내리는 것과 동시에 진공 건조조(23g)의 윗쪽 모서리에 밀착하여 진공 건조조(23g)를 밀폐하도록 설치되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 뚜껑 부재(74)는 반출 장치(42)의 워크 보호 유지 장치(73)에 고정되어 일체화하고 있고, 이 워크 보호 유지 장치(73)에 대하여 상대적으로 승강하거나 경동하거나 하지 않는다. 뚜껑 부재(74)의 저면 또는 진공 건조조(23g)의 상면에는 이 뚜껑 부재(74)와 진공 건조조(23g)와의 밀폐 상태를 유지하기 위하여, 예를 들면 고무제의 0링 등으로 이루어지는 실링 부재(75)가 마련되어 있다.

또한, 본 실시 형태의 진공 건조조(23g)는 조 자체가 경동 가능해지도록 그 하부를 지지 장치(76)에 의해 지지를 받고 있다. 따라서 이 진공 건조조(23g)는 그 상면에 상술한 뚜껑 부재(74)가 꽉 눌려졌을 경우에 뚜껑 부재(74)의 기울기에 추종하고, 이 뚜껑 부재(74)와 평행이 되도록 뚜껑 부재(74)의 저면에 맞추어 흡사 선회 운동을 하도록 경동한다. 이 때문에, 본 실시 형태의 진공 건조 장치(72)에 의하면 진공 건조조(23g)에 뚜껑 부재(74)를 꽉 누를 때, 강하게 꽉 누를 필요가 없다.

본 실시 형태의 지지 장치(76)는 진공 건조조(23g)를 지지하는 가동 지지대(77), 이 가동 지지대(77)를 승강 가능하게 지지하는 4개(또는 3개)의 지축(78), 이들 지축(78)과 가동 지지대(77)의 사이에 마련된 보르브슈가이드(79), 가동 지지대(77)의 상면이 당접하도록 지축(78)의 상단에 마련된 스토퍼(80), 가동 지지대(77)를 윗쪽으로 부세하는 압축 용수철(81)등에 의하여 구성되어 있다. 가동 지지대(77)는 예를 들면 3개의 지주(82)를 개재하여 진공 건조조(23g)의 저부를 지지하는 원판형의 지지대이며, 보르브슈가이드(79)를 개재하여 각 지축(78)에 승강 가능하고 또한 경동 가능하게 지지되고 있다. 각 지축(78)은 연직 방향으로 연장하는 축으로 기대(83)상에 고정되어 있다. 보르브슈가이드(79)는 각 지축(78)과가동 지지대(77)와의 사이에 설치되고 베어링으로서 기능하는 가이드이고, 연직의 지축(78)에 대하여 가동 지지대(77)가 승강하는 것을 허용하고, 더욱이, 본 실시 형태의 경우는 가이드길이의 짧은 것이 채용되는 것에 의하여 가동 지지대(77)가 경동하는 것도 허용하고 있다.

또한, 각 지축(78)의 주위에 마련된 압축 용수철(81)이 보르브슈가이드(79)를 개재하여 가동 지지대(77)를 윗쪽으로 부세하고 있다. 가동 지지대(77)의 윗쪽 스트로크단은 지축(78)의 상단 스토퍼(80)에 당접하는 위치이다. 또한, 스토퍼(80)는 예를 들면 나사 기구에 의하여 축방향 위치의 조절이 가능하게 되어 있고, 이것에 의해 가동 지지대(77)의 윗쪽 스트로크단의 위치 조절을 할 수 있게 되어 있다. 또한, 도 35중의 부호 L는 가동 높이, 부호 1(도중에서는 필기체로 표시)은 보노레브슈가이드 길이를 각각 도시하고 있다. 각 높이의 일례를 나타내면 예를 들면 1=17mm, L=110mm이지만 물론 적절하게 변경할 수 있다.

이상과 같은 구성의 지지 장치(76)는 도 35에 도시한 바와 같이 진공 건조조(23g)가 부유하고 있는 것 같은 가동의 구조를 이루고, 통상시는 압축 용수철(81), 스토퍼(80)의 작용에 의해 이 진공 건조조(23g)를 평행한 상태가 되도록 위치 결정하고 있다. 또한, 진공 건조조(23g)의 상면에 뚜껑 부재(74)를 꽉 눌러진 경우는 이 뚜껑 부재(74)의 기울기에 추종하여 뚜껑 부재(74)의 기울기에 일치할 때까지 경동 동작한다. 따라서, 뚜껑 부재(74)를 진공 건조조(23g)의 상면에 가볍게 누르는 것만으로 이 뚜껑 부재(74)와 진공 건조조(23g)와의 기울기를 일치시키고, 양자를 밀착시켜 진공도를 유지할 수 있다. 또한, 뚜껑 부재(74)와 진공건조조(23g)가 당초부터 완전하게 평행하면 진공 건조조(23g)는 전혀 경동 동작하지 않는 것은 말할 필요도 없다.

또한, 반출 장치(42)의 하단에 장착되는 워크 보호 유지 장치(73)는 착탈 가능한 것이 바람직하다. 이러한 경우, 워크(2)의 형상 등에 따라 워크 보호 유지 장치(73)를 적절하게 변경하고, 워크(2)를 보다 안정된 상태로 보호 유지하거나 워크(2)와의 접촉 영역을 가능한 한 좁게하여 세정과 건조가 효율 좋게 행하여지도록 하거나 할 수 있다. 예를 들면 본 실시 형태에서는 상기 워크 보호 유지 장치(73)의 치구를 도 35에 도시한 것 같은 십자형으로 하고, 워크(2) 저면의 중심부 부근을 지지하도록 하고 있다. 또한, 워크 보호 유지 장치(73)의 아암 부분은 워크(2)와 간섭하지 않는 것 같은 형상 예를 들어 후방에 퇴피한 채널 형상으로 되어 있다(도 35 참조). 워크 보호 유지 장치(73)의 보호 유지면에는 워크(2)의 외주 형상(예를 들면 워크(2)가 원통형이면 원형)에 맞춘 오목부(91)를 마련하도록 하여도 좋다.

또한, 진공 건조조(23g)의 조내에는 워크 보호 유지 장치(73)으로부터 워크(2)를 받아 교체 적재하는 워크 재치대(90)가 마련되어 있다. 상기 워크 재치대(90)는 워크 보호 유지 장치(73)와 서로 간섭하지 않는 형상, 예를 들면 상술한 것 같은 십자형의 워크 보호 유지 장치(73)에 대해서는 도 35에 도시한 바와 같이 대향하는 좌우 한 쌍의 평면시 채널 형상의 대이며, 그 사이를 워크 보호 유지 장치(73)가 빠져나가 승강할 수 있는 것 같은 형상으로 되어 있다. 따라서, 본 실시 형태의 진공 건조 장치(72)에 의하면 워크 보호 유지 장치(73)에서 보호 유지하는워크(2)를 조내에서 상기 워크 재치대(90)로 교체 적재할 수 있다. 이와 같이 조내에서 워크(2)를 워크 재치대(90)으로 교체 적재하였을 경우, 상기 워크(2)와 워크 보호 유지 장치(73)의 접촉지역이나 그 주변에 부착하고 있는 헹굼수를 남김없이 증발시키기 쉬워진다.

더욱이 본 실시 형태에서는 진공 건조조(23g)에 상기 워크 재치대(90)를 가열하기 위하여 히터(84)가 설치되어 있다. 이것에 의해, 본 실시 형태의 진공 건조 장치(72)에 의하면, 워크 보호 유지 장치(73)로부터 워크 재치대(90)로 교체 적재된 워크(2)를 상기 워크 재치대(90)로부터의 열에 의해 가열하고 더욱 증발을 행하기 쉬운 상황으로 할 수 있다. 이 경우, 워크 재치대(90)가 금속제 재료 등 전열성이 뛰어난 재료에 의하여 형성되어 있는 것은 말할 필요도 없다. 또한, 본 실시 형태에서는 도 35에 도시한 바와 같이 치구(90a)와 이것을 지지하는 지지대(90b)에 의해 워크 재치대(90)가 형성되어 있다. 또한, 지지대(90)에 대해 치구(90a)를 착탈 가능하게 하는 것에 의해 워크(2) 및 워크 보호 유지 장치(73)의 형상·크기 등에 의하여 치구(90a)를 적절하게 변경할 수 있도록 하고 있다. 히터(84)의 하부에는 지주(82)로부터 하부가 가열되는 것을 막는 단열판(85)이 설치되어 있다. 또한, 특별히 도시하고 있지 않지만 본 실시 형태에서는 이러한 형상의 워크 재치대(90)를 세정조(23a 내지 23d) 또는 건조조(23e 내지 23f)의 내부에도 마련하여 워크 보호 유지 치구상의 워크(2)를 이들 워크 재치대(90)로 교체 적하도록 하고 있다.

이상과 같은 구성의 진공 건조 장치(72)에 의하면, 워크(2)를 진공건조조(23g)내에 삽입하는 것과 동시에 뚜껑 부재(74)로 진공 건조조(23g)에 뚜껑을 하여 밀폐된 공간을 형성할 수 있다. 이 때문에, 진공 건조조(23g)에 뚜껑을하기 위한 장치 등을 별도 마련할 필요가 없기 때문에 장치의 소형화와 저비용화에 유리하다. 또한, 조내에의 워크(2)의 진입·퇴출시에 뚜껑 부재(74)를 닫거나 또는 제거하는 수고가 불필요해져, 이 만큼 작업에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.

더욱이 이 진공 건조 장치(72)의 경우, 진공 건조조(23g)에 뚜껑 부재(74)를 누르면 진공 건조조(23g)가 경동하여 뚜껑 부재(74)의 기울기에 자동적으로 추종한다. 따라서, 뚜껑 부재(74)와 진공 건조조(23g)가 엄밀하게 평행이 되지 않은 경우에도 자동적으로 조정을 행하여 뚜껑 부재(74)를 진공 건조조(23g)에 밀착시킬 수 있다. 또한, 이와 같이 평행도가 확보된 상태로 진공 흡인하면 뚜껑 부재(74)가 더욱 진공 건조조(23g)로 당겨져 밀착도를 높일 수 있으므로 조내의 진공도가 유지된다.

부가하면, 본 실시 형태의 경우는 진공 건조조(23g)를 경동 가능하게 하기 위한 장치(즉 보르브슈가이드(79), 스토퍼(80), 압축 용수철(81) 등으로 이루어지는 장치)를 진공 건조조(23g)의 하부에 마련하고 있으므로, 진공 건조조(23g)가 경동할 때에 티끌과 먼지가 발생했다고 하여도 이들 티끌과 먼지가 조내에 침입할 우려가 지극히 적다. 더욱이 뚜껑 부재(74)는 반출 장치(42)의 아암에 고정되고 있으므로 이 부분이 움직여 티끌과 먼지가 발생하는것 같은 일도 없다. 이 때문에, 진공 건조조(23g)의 크린 환경을 유지하고, 이 진공 건조조(23g)에 워크(2)를 진입시키고 또는 여기로부터 퇴출시킬 때의 워크(2)에 티끌과 먼지가 부착하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상술한 실시 형태는 본 발명의 매우 적합한 실시의 일례이지만 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지로 변형 실시 가능하다. 예를 들면 본 실시 형태에서는 진공 건조조(23g)를 경동 가능하게 하고, 반출 장치(42)에 고정한 뚜껑 부재(74)를 이 진공 건조조(23g)의 상면을 누르는 구조로 하였지만, 이것과는 반대로 뚜껑 부재(74)가 가동의 구조라 하여도 상술한 진공 건조 장치(72)와 같은 효과를 얻는 것이 가능하다. 즉, 진공 건조조(23g)를 고정하여 경동할 수 없게함과 함께 뚜껑 부재(74)를 반출 장치(42)에 경동 가능한 상태로 부착하고, 뚜껑 부재(74)가 진공 건조조(23g)의 기울기에 추종하도록 하여도 본 실시 형태의 경우와 마찬가지로 양자를 밀착시키는 것이 가능하다. 다만, 뚜껑 부재(74)의 가동 부분을 완전하게 덮도록 하고, 뚜껑 부재(74)가 기울었을 때에 생기는 일이 있는 티끌과 먼지가 워크(2)상에 낙하하는 것을 방지하는 구조로 하는 것이 바람직하다.

또한, 본 실시 형태에서는 진공 건조조(23g)( 및 이것을 지지하는 가동 지지대(77))를 윗쪽으로 부세하고 수평으로 위치 결정하기 위한 수단으로서 지축(78)의 주위에 마련한 압축 용수철(81)을 예시하였지만 특별히 이것에 한정될 일은 없고, 예를 들면 자석의 반발력을 이용하여 부세하는 등도 무관하다. 이와 같이 자석을 이용했을 경우 조내에 발생하는 일이 있는 티끌과 먼지가 이 자석에 흡인되어 붙는 일도 생각할 수 있지만, 흡인되어 붙은 티끌과 먼지를 정기적으로 제거하는 등의메인트넌스를 행하면 불리한 점은 해소되고 부세 수단으로서 아무런 문제가 없게 된다.

마찬가지로, 본 실시 형태에서는 지축(78)에 대하여 가동 지지대(77)를 승강 가능하게 하고 또한 경동 가능하게 하는데 매우 적합한 베어링 수단으로서 보르브슈가이드(79)를 예시하였지만, 이것도 매우 적합한 일례에 지나지 않고 이것과 동등한 작용을 하는 다른 베어링 등의 수단을 채용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

계속하여, 본 발명과 관련된 세정 장치의 일실시 형태를 도 36 내지 도 40에 도시한다. 본 실시 형태에서는 반입 장치(41)와 반출 장치(42)와의 사이에 구획 부재(55)를 설치하고, 이것에 의하여 나누어진 반출측의 에리어(CA)내의 크린도를 유지하도록 하고 있다.　즉, 본 실시 형태의 경우, 도시한 바와 같이 2개의 세정조(23a, 23b)와 다른 조(23c 내지 23f)의 사이를 통과하도록 구획 부재(55)를 마련하여, 세정조(23a, 23b)와 다른 조(23c 내지 23f)를 나누고 있다. 구획 부재(55)는 예를 들면 반입 장치(41)와 반출 장치(42)와의 사이에 마련된 구획판으로 이루어지고, 적어도 크린도가 유지되어야 할 반출측의 소정 에리어를 반입측의 에리어(일반 환경 에리어)로 나누어 국소적인 크린 에리어를 형성한다. 본 실시 형태의 경우, 세정조(23c) 이후의 공정을 크린 환경으로 하도록, 조(23a, 23b)측과 조(23c 내지 23g)을 구획 부재(55)에 의해 나누고, 반출 측에 국소적 크린 에리어를 마련하고 있다(도 36 참조). 다만, 이 나누는 방법은 일례이며, 예를 들면 건조조(23d) 등 이후를 크린 에리어라고 하여도 좋고, 어느 영역을 크린 에리어로 할지에 의하여 구획 위치를 적절하게 변경할 수 있다. 또한, 도 36 등에 도시하는 바와 같이, 구획 부재(55)는 아암 지지축(44)을 피하면서 세정조(23b)와 세정조 (23c)의 사이 및 세정조(23a)와 건조조(23f) 사이를 통과하도록 도중에서 적절하게 절곡된 형상으로 되어 있다.

구획 부재(55)에 의하여 나누어진 크린 에리어의 상부에는 필터(도시 생략)를 통과한 청정 공기를 공급하는 청정 공기 공급 장치(86)가 설치되어 있다(도 39 참조). 청정 공기 공급 장치(86)는 예를 들면 HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터를 통과한 청정 공기를 크린 에리어를 향하여 다운 플로우시키는 팬 모터 유니트로 이루어진다.

또한 구획 부재(55)에는 회전하고 승강하는 반송 아암(22)이 통과 가능한 노치(87)가 마련되어 있다. 즉, 조(23a, 23b)와 조(23c 내지 23g)를 구획 부재(55)로 나눈 본 실시 형태의 세정 시스템(3c)에 있어서는 세정조(23b)로부터 세정조(23c)로 이동하는 반송 아암(22), 및 건조조(23f)로부터 세정조(23a)로 되돌아오는 반송 아암(22)이 구획 부재(55)를 통과할 수 있도록 노치(87)가 설치되어 있다. 이 노치(87)의 형상이나 크기는 특별히 한정되는 것은 아니지만 크린 에리어내의 크린도를 유지하는 관점에서 보면 노치 면적이 작은 것이 바람직하다. 이러한 경우, 크린 에리어측으로부터 일반 환경 에리어측으로의 연통 영역의 면적이 억제 당하는 것에 의하여 흘러드는 공기량이 억제되고, 이것에 의하여 크린 에리어내를 정압(양압)으로 유지하기 쉬워지는 것으로부터 티끌과 먼지 등이 크린 에리어내에 침입하는 것을 막기 쉬워진다. 본 실시 형태에서는 도 40에 도시한 바와 같이, 회전했을 때의 반송 아암(22)이 통과 가능한 좌우 대칭의 크랭크 형상의 노치(87a)와, 세정조(23a, 23b)내에 워크(2)를 강하시킬 때의 반송 아암(22)이 통과 가능한 세로홈 형상의 노치(87b)로 노치(87)를 구성하고 있다.

또한, 구획 부재(55)를 부분적으로 이중구조로 하는 것에 의하여 에어 커텐이 형성되도록 하는 것도 바람직하다. 예를 들면 본 실시 형태의 경우, 도 37, 도 38에 도시한 바와 같이 구획 부재(55)의 세정조(23a)와 건조조(23f) 사이에 설치되는 부분이 별도 유로를 형성하는 이중구조로 되어 있고, 이 이중구조 부분(55a)을 흘러 내린 하강 청정 공기가 노치(87)의 개구지역에 있어서 에어 커텐을 형성하도록 하고 있다. 이러한 구획 부재(55)에 의하면, 예를 들면 건조조(23f)상에서 온풍의 상승 기류가 생겼을 경우에 있어서, 노치(87)를 물리적으로 막지 않아도 오염 공기가 크린 에리어내로 이동하는 것을 차단할 수 있다. 이 경우, 이중구조 부분 (55a)은 상부의 공기 취입구보다 하부의 공기 송풍구가 좁아지는 것 같은 앞쪽이 가늘은 형상으로 되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 경우, 흐름이 빠른 에어 커텐을 형성하여 오염 공기를 보다 효과적으로 차단하는 것이 가능해진다. 또한, 여기에서는 세정조(23a)와 건조조(23f)와의 사이를 이중구조로 하고 있지만, 이것과 아울러 세정조(23c)와 세정조(23d)와의 사이를 이중구조로 하는 것도 바람직하다. 이 경우에 있어서, 예를 들면 세정조(23c)를 건조조로서 사용한 경우에는 워크(2)에 건조 에어를 내뿜을 때의 일반 환경 에리어로부터의 오염 공기의 인입을 방지할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 세정 시스템(3c)에 의하면, 구획 부재(55)가 세정·건조 작업 에리어를 일반 환경 에리어와 크린 에리어러 나누고, 크린 에리어내에 티끌과 먼지 등이 들어가는 것을 방지하는 방호벽으로서 기능한다. 이 때문에, 국소적인 크린 에리어내를 깨끗하게 하고 세정·건조 후의 워크(2)를 깨끗하게 유지할 수 있다. 또한, 반송 아암(22)이 통과하는 부분만 노치(87)가 마련되어 있는 것에서, 이 노치(87)를 통하여 배기하고 크린 에리어를 정압으로 유지할 수 있다.

또한, 상술한 실시 형태는 본 발명의 매우 적합한 실시의 일례이지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지로 변형 실시 가능하다. 예를 들면 본 실시 형태에서는 로터리식 세정조(43)를 구비한 세정 시스템(3c)에 구획 부재(55)를 마련한 형태에 대하여 나타내었지만 이것은 일례에 지나지 않고, 본 발명의 적용이 가능한 세정 시스템(3c)은 이러한 로터리식 세정 장치에 한정되지 않는다.

계속하여, 본 발명과 관련된 세정 장치의 다른 실시 형태를 도 41 내지 도 46에 도시한다.

이 세정 시스템(3c)의 반송 아암(22)은 반입된 워크(2)를 보호 유지하고 세정조(23a 내지 23d) 및 건조조(23e 내지 23f)내를 순차적으로 이동시키기 위한 아암이다. 각 반송 아암(22)의 선단부는 예를 들면 워크(2)를 직접 적재하여 이동시킬 수 있는 것과 같은 형상이어도 괜찮지만 본 실시 형태에서는 워크(2)의 저면을 지탱하기 위한 워크 보호 유지 치구(88)가 장착된 양다리 형상의 지지편(65)으로 하고 있다.

또한, 반송 아암(22)의 선단에 장착되는 워크 보호 유지 치구(88)는 착탈 가능한 것이 바람직하다. 이러한 경우, 워크(2)의 형상에 따라 워크 보호 유지 치구(88)를 적절하게 변경하고, 워크(2)를 보다 안정된 상태로 보호 유지하거나 워크(2)와의 접촉 영역을 가능한 한 좁게하여 세정과 건조가 효율적으로 행하여지도록 하거나 할 수 있다. 예를 들면 본 실시 형태에서는 반송 아암(22)의 하단에 평행한 양다리 형상의 지지편(65)을 마련하고(도 31 참조), 이 지지편(65)에 좌우 한 쌍의 워크 보호 유지 치구(88)를 나사(89)로 고정하도록 하고 있다(도 41 참조). 상기 워크 보호 유지 치구(88)는 내측에 돌출한 지지발톱(88b)에 의하여 워크(2)의 저면중 외주쪽의 부분을 지지하여 들어 올리도록 형성되어 있다. 또한, 도 41에 도시한 바와 같이 워크 보호 유지 치구(88)의 윗쪽 모서리에 외측에의 반환부(88a)를 마련하고 이 반환부(88a)를 지지편(65) 윗쪽 모서리에 거는 것으로 단일 나사(89)로 워크 보호 유지 치구(88)를 지지편(65)으로 고정하는 것이 가능해진다.

도 41에서 도시한 좌우 한 쌍의 워크 보호 유지 치구(88)는 지지발톱(88b)으로 워크(2)의 외주 쪽을 지지하는 것이었지만 지지 위치는 특별히 이것에 한정되지 않고, 워크(2)의 저면의 중심부 부근을 지지하는 형상, 예를 들면 도 42나 도 43에 도시한 바와 같은 십자형, 또는 도 44에 도시한 바와 같은 가늘고 긴 직사각형 등의 형상으로 하여도 좋다. 이 경우, 워크 보호 유지 치구(88)의 아암 부분 (88c)은 워크(2)와 간섭하지 않는 것 같은 형상, 예를 들어 측면시 채널 형상으로 되어 있다(도 42 참조). 도 43 등에 도시한 바와 같이, 워크 보호 유지 치구(88)의 보호 유지면에는 워크(2)의 외주 형상(예를 들면 워크(2)가 원통형이면 원형)에 맞춘오목부(91)가 마련되어 있다.

또한, 상술의 워크 보호 유지 치구(88)와 워크(2)가 일차적으로 스톡되는 워크 재치대(90)는 서로 간섭하지 않는 형상으로 형성되어 있다. 예를 들면 도 42 및 도 43에서는 워크 보호 유지 치구(88)는 십자형이며, 워크 재치대(90)는 대향하는 좌우 한 쌍의 평면시 채널 형상이며, 워크 재치대(90)의 사이를 워크 보호 유지 치구(88)가 승강할 수 있게 되어 있다. 따라서, 도 42에 도시한 바와 같이 워크 재치대(90)에 스톡되어 있는 워크(2)를 워크 보호 유지 치구(88)에 의하여 아래 쪽에서 지지하여 들어 올리는 것과 같이하여 이동시킬 수 있다. 워크 재치대(90)는 예를 들면 도 42에 도시한 것 같은 워크 투입 치구(92)로 이용되지만, 본 실시 형태에서는 이러한 형상의 워크 재치대(90)를 세정조(23a 내지 23d) 또는 건조조(23e 내지 23g)의 내부에도 마련하여 워크 보호 유지 치구(88)상의 워크(2)를 상기 워크 재치대(90)에 교체하여 적재하도록 하고 있다. 예를 들면 건조조(23e)내에서 워크(2)를 워크 보호 유지 치구(88)로부터 워크 재치대(90)로 교체 적재하는 것에 의하여, 상기 워크(2)와 워크 보호 유지 치구(88)와의 접촉지역이나 그 주변에 부착하고 있는 헹굼수를 남김없이 증발시키기 쉬워진다. 또한, 건조조(23e 내지 23g)내에서 부착수를 남김없이 증발시키거나, 또는 세정조(23a 내지 23d)내에서 더러운 것을 충분히 제거하는 관점에서는 워크 재치대(90)와 워크(2)와의 접촉 영역을 가능한 한 작게 하여 워크 표면의 노출도를 크게 하고 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 각 조(23a 내지 23g)는 특히 소형의 워크(예를 들면 동압 베어링 모터에 사용되는 소형 부품 등)의 세정을 실시하기 위하여 소형화되고, 세정 시스템(3c) 전체의 소형화를 도모하는데 유리한 구조로 되어 있다. 더욱이 이들 조(23a 내지 23g)중 헹굼을 행하는 세정조(23b 내지 23d)는 오버플로우한 세정수를 외측으로 배수하기 위하여 그 상단측에 배수부(93)와 배수 파이프(94)가 설치되어 있다(도 45 참조). 배수부(93)는 세정조(23b 내지 23d)의 상단 부분으로부터 외주 측을 향하여 돌출한 돌출부이고, 이 돌출 저면에 연직 하향의 배수 파이프(94)가 장착되어 있다. 도 46에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에서는 이러한 세정조(23b 내지 23d)를 최종 마무리 헹굼을 행하는 세정조(23d)로부터 세정조(23c), 세정조(23b)로 세정수가 흐르도록 세정조(23d)를 상위측으로 하여 단이 다르게 배치하고 있다. 또한, 청정도가 높은 순수한 물을 세정조(23d)에 공급하는 급수 파이프(95)가 이 세정조(23d)의 상위 측에 마련되는 것과 동시에, 세정조(23d)의 배수 파이프(94)가 세정조(23c)내에 삽입되고, 세정조(23c)의 배수 파이프(94)가 세정조(23b)내에 삽입되고, 상위측의 세정조(23d)측으로부터 오버플로우 한 세정수가 하위측의 세정조(23c), 세정조(23b)로 순차적으로 흘러드는 구성으로 되어 있다. 이 경우, 세정조(23a)에서 세정한 워크(2)를 세정조(23b)→세정조(23c)→세정조(23d)의 순서로 헹굼 세탁함으로써 순수한 물의 청정도가 단계적으로 높아지는(보다 청정하게 된다) 것으로부터 가장 청정한 순수한 물로 최종 헹굼 세탁할 수 있을 뿐만아니라, 헹굼 세탁 후의 세정수를 그 하위의 세정조(23c, 23b)에서 이용할 수 있다.

더욱이 본 실시 형태의 세정 시스템(3c)에 있어서는 세정조(23b 내지 23d)를 포함한 각 조(23a 내지 23g)를 소형조로 하고 있는 것으로부터, 세정조(23b 내지23d)중의 세정수는 대류하여 오버플로우 한다. 즉, 도 46에 도시한 것처럼 세정조(23d), 세정조(23c), 세정조(23b)는 이 순서로 수위가 내리도록 단계적으로 배치됨과 함께, 급수 파이프(95) 및 배수 파이프(94)는 세정수를 조의 바닥을 향하여 유도하도록 마련되어 있는 것에서, 세정수는 위치 에너지를 연동 에너지로 바꾸어 조내를 대류하도록 흐른다. 이 때문에 조의 바닥에 더러운 것 등이 잘 모이지 않는다. 따라서, 조의 바닥에 드레인 관로를 마련할 필요가 없다.

또한, 상술한 실시 형태는 본 발명의 매우 적합한 실시의 일례이지만 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변형 실시 가능하다.

본 발명은 세정 시스템, 초음파 세정 장치, 진공 건조 장치, 세정 장치, 세정조, 건조조 및 생산 시스템에 관한 것으로, 본 발명은 워크를 가공, 조립하는 과정에 있어서 이들 워크를 세정조, 건조조를 거쳐 자동 세정하는 장치의 구조 등의 개량적용할 수 있다.

Claims (29)

1. 워크를 주고 받아 세정 또는 건조하기 위한 작업 위치에 반송하는 반송 장치와 이 반송 장치를 중심으로 한 주위에 방사상으로 배치된 복수의 워크 처리부와, 상기 반송 장치를 구동하는 구동부와, 상기 워크를 공급하는 워크 공급부와, 상기 워크를 배출하는 워크 배출부를 가지고, 상기 반송 장치는 상기 워크를 개별적으로 파지하여 재치하거나 또는 흡착하여 상기 워크를 반송하는 반송 아암을 가지는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 반송 아암은 상기 워크 처리부의 개수 이상인 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 워크 처리부는 상기 워크의 세정조 또는 건조조를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 워크 처리부를 구비한 시스템 전체에 청정 하강기류를 흘려, 세정 후 상기 워크 배출부 근방에 하강기류가 시스템 하부까지 직선적으로 하강 가능한 부위가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
5. 제 1 항에 있어서,

   세정 후의 상기 워크가 반송되는 반송부를 가지고, 상기 반송부에 있어서의 하강기류가 직선적으로 하강 가능한 것과 같이 시스템 최하부까지 직선적인 기류 유로가 확보되고 있는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 반송 장치는 상기 반송 아암을 신축시키는 것에 의하여 상기 워크 처리부에 상기 워크를 수평 방향으로 삽입하는 것인 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 반송 아암은 개별적으로 또는 전 아암 동시에 미소 신축이 가능한 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 반송 장치는 상기 반송 아암을 상하 이동시키는 기구를 가지는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 워크 처리부는 개별적으로 제거 가능한 구조로 되어 있고, 상기 반송 장치 측의 내벽은 수동에 의해 청정 가능한 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
10. 제 1 항에 있어서,

    상기 워크 처리부내에서 상기 구동부를 선회, 신축의 미소 동작을 시켜, 워크 세정 장치 또는 세정액 분류에 대하여 얼룩이 없게 세정을 행할 수 있도록 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
11. 제 1 항에 있어서,

    상기 워크 처리부에 적어도 1개의 조가 마련되고, 상기 조에 상기 워크를 세정하기 위한 세정액을 보호 유지함과 함께, 상기 조의 외부에 마련된 초음파 진동자에 의하여 상기 세정액에 초음파를 부여하는 기구를 가지는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
12. 제 1 항에 있어서,

    상기 워크 처리부에 에어 노즐이 배치되고, 상기 에어 노즐로부터의 에어에 의하여 상기 워크의 탈수 및 건조를 행하는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
13. 제 1 항에 있어서,

    상기 워크 처리부와는 별개로 상기 워크를 가온하기 위한 히터와 상기 워크 처리부의 감압을 행하기 위한 감압 기구를 갖춘 워크 처리부를 가지는 것을 특징으로 하는 세정 시스템.
14. 세정조내의 워크에 초음파를 조사하여 더러운 것을 제거하는 초음파 세정 장치에 있어서, 상기 워크가 재치된 세정용 아암을 상기 세정조내에서 이동시키고 상기 세정조내에서의 위치를 변화시키는 것에 의하여 상기 워크를 회전시키는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치.
15. 세정조내의 워크에 초음파를 조사하여 더러운 것을 제거하는 초음파 세정 장치에 있어서, 상기 워크가 재치된 세정용 아암을 상기 세정조내로 이동시켜, 상기 초음파의 주파수를 변화시키는 것에 의하여 상기 워크를 회전시키는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치.
16. 세정조내의 워크에 초음파를 조사하여 더러운 것을 제거하는 초음파 세정 장치에 있어서, 상기 세정조내에 있어서 상기 워크의 깊이 및 초음파 주파수를 변화시키는 것에 의하여 상기 워크의 회전 방향과 회전 속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치.
17. 세정 후의 워크를 진공 건조조내로 이동시키고 밀폐 상태로 진공 흡인 하여건조시키는 진공 건조 장치에 있어서, 상기 워크를 보호 유지하고 상기 진공 건조조에 출납하는 워크 보호 유지 장치의 해당 워크 보호 유지 위치보다 윗쪽에 상기 진공 건조조의 뚜껑 부재가 마련되고, 상기 워크가 상기 진공 건조조에 삽입되는 것과 동시에 상기 진공 건조조의 뚜껑이 닫히는 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
18. 제 17 항에 있어서,

    상기 진공 건조조를 경동 가능하게 지지하는 지지 장치가 마련되고, 상기 뚜껑 부재가 눌려졌을 때 상기 진공 건조조가 이 뚜껑 부재에 밀착하도록 추종 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
19. 제 17 항에 있어서,

    상기 워크 보호 유지 장치로부터 해당 워크를 받아 교체 적재하는 워크 재치대가 상기 진공 건조조내에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
20. 제 19 항에 있어서,

    상기 워크 재치대를 가열하는 히터를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
21. 워크를 반입하는 반입 장치와, 상기 워크를 세정하는 세정조와 세정 후에 상기 워크를 건조시키는 건조조와, 상기 워크를 상기 건조조로부터 꺼내어 반출하는 반출 장치와, 상기 반입 장치에 의해 반입된 상기 워크를 보호 유지하여 상기 세정조 및 건조조내로 이동시키는 세정용 아암을 구비하여 이루어지는 세정 장치에 있어서, 반입측 에리어와 반출측 에리어와의 사이에 구획 부재가 마련되고 이것에 의하여 나누어진 반출측의 에리어내의 청정도가 유지되도록 한 것을 특징으로 하는 세정 장치.
22. 제 21 항에 있어서,

    상기 구획 부재에 상기 세정용 아암이 통과 가능한 노치가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
23. 제 21 항에 있어서,

    필터를 통과한 청정 공기를 공급하는 청정 공기 공급 장치가 반출측의 크린 에리어의 상부에 마련되고, 이 크린 에리어가 반입측 에리어보다 정압인 상태를 유지하는 것에 의하여 상기 크린 에리어내의 크린도를 보호 유지하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
24. 워크를 침수시켜 세정하는 세정조에 있어서, 세정수를 배출하는 배수부와 배수 바이프가 상단 측에 마련된 것을 특징으로 하는 세정조.
25. 제 24 항에 있어서,

    상기 세정조가 복수개 단이 다르게 배치되고, 상위 세정조의 배수 파이프가 하위 세정조내에 삽입되고, 상기 상위 세정조의 세정수가 상기 배수 바이프를 통하여 상기 하위 세정조에 흘러드는 구조로 된 것을 특징으로 하는 세정조.
26. 제 24 항에 있어서,

    상기 세정조는 상기 워크를 조내에서 재치하는 재치대를 가지는 것을 특징으로 하는 세정조.
27. 청구 범위 제 26 항 기재의 세정조와 세정 후의 상기 워크를 건조시키는 건조조와, 상기 워크를 반입하는 반입 장치와, 상기 워크를 배출하는 배출 장치와, 반입된 상기 워크를 보호 유지하고 상기 세정조 및 건조조내를 이동시켜 상기 배출 장치로 이동시키는 세정용 아암을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
28. 세정 후의 워크를 건조시키는 건조조에 있어서, 상기 워크를 조내에서 재치하는 재치대를 가지는 것을 특징으로 하는 건조조.
29. 제 1 항에 있어서,

    워크에 대하여 작업을 행하는 워크 작업 섹션을 가지는 복수의 기계 장치와,상기 워크 작업 섹션을 청정 분위기로 유지하는 장치와, 상기 워크의 위치를 그 워크 작업 섹션내에서 이동시키는 반송 장치와, 상기 반송 장치를 구동하는 상기 워크 작업 섹션의 외측에 마련된 작업 구동장치와, 상기 각 기계 장치의 상기 워크 작업 섹션을 서로 연결하여 상기 워크를 한쪽의 기계 장치로부터 다른 쪽의 기계 장치에 반송하는 반송관을 구비하고, 상기 기계 장치의 하나가 세정 시스템인 것을 특징으로 하는 생산 시스템.