JP2015217352A - 洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被洗浄物を効果的に洗浄する洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被洗浄物Wを洗浄領域内で洗浄する洗浄装置1であって、被洗浄物Wを水平方向に回転させる基台5と、被洗浄物Wをチルト回転させる回転機構4と、被洗浄物Wを支持する支持台3と、被洗浄物Wを覆い、上下方向に揺動する可動チャンバー2と、可動チャンバー2に配され、洗浄領域に流体を噴射する低圧洗浄ノズル6と、高圧洗浄ノズル7と、可動チャンバー2に配され、洗浄領域に液体を供給する供給口9と、を備え、支持台3の周縁と可動チャンバー2の内壁とが当接していない洗浄装置。
【選択図】図1
【解決手段】被洗浄物Wを洗浄領域内で洗浄する洗浄装置1であって、被洗浄物Wを水平方向に回転させる基台5と、被洗浄物Wをチルト回転させる回転機構4と、被洗浄物Wを支持する支持台3と、被洗浄物Wを覆い、上下方向に揺動する可動チャンバー2と、可動チャンバー2に配され、洗浄領域に流体を噴射する低圧洗浄ノズル6と、高圧洗浄ノズル7と、可動チャンバー2に配され、洗浄領域に液体を供給する供給口9と、を備え、支持台3の周縁と可動チャンバー2の内壁とが当接していない洗浄装置。
【選択図】図1
Description
本発明は、被洗浄物を洗浄する洗浄装置に関し、特に複雑な内部構造を有する被洗浄物に適した洗浄装置に関する。
従来、孔が回路状に形成されているなど複雑な内部構造の被洗浄物を洗浄する場合、内部の残留異物を確実に除去するために、孔の入口に向けて洗浄ノズルの位置や角度を調整して洗浄を行っていた(例えば、特許文献1参照)。
また、被洗浄物を載せる基台の上に筒体を被せ、多数の洗浄ノズル部材を筒体の内部で回転させながら洗浄液を噴射する洗浄装置もある(例えば、特許文献2参照)。
また、被洗浄物を傾斜させて複数の面から洗浄する洗浄装置もある(例えば、特許文献3参照)。この洗浄装置は、ワークWを支持するテ−ブル30が駆動用モータ30eを支点として水平軸を中心に垂直方向に90度傾斜し、これによりワ−クWの洗浄面を多関節形ロボットの正面に向け、多関節形ロボットに設けられた洗浄ノズルがワ−クの各面を洗浄する。
構造が複雑な被洗浄物の場合、従来の洗浄装置においては、洗浄ノズルが30本以上必要になることがある。また、特許文献1の洗浄装置のように、自由にノズルの位置を変えて洗浄する場合、被洗浄物の形状(孔の位置)に応じて、多数の洗浄ノズルの1本1本について位置と角度を調整しなければならない。被洗浄物の構造が異なれば、それぞれの被洗浄物ごとに、この作業を行うことになる。したがって、洗浄ノズルの位置や角度の調整は、作業者の熟練が必要であるばかりでなく、非効率的で、しかも一定の洗浄効果があげられないという課題があった。
また、特許文献2の洗浄装置では、筒体内部で回転する洗浄ノズル部材に配置された多数の洗浄ノズルは、位置や角度の調整が不要であるが、1つの洗浄ノズルから噴射される洗浄液は、何回転しても被洗浄物上の同一線上にしか当たらない。したがって、被洗浄物の構造によっては、必要な箇所に洗浄液が十分に噴射されない可能性がある。一方で、それを避けるために洗浄ノズルの本数を増やせば、洗浄液の圧力が低下するか、圧力を維持するために大型ポンプが導入されることになり、設備コストや運転コストの高騰を招きかねない。
また、特許文献3の洗浄装置では、テーブルの端部を中心にワークが回転するため、ワークの姿勢制御がワーク中心より大きく偏心する必要があり、大きなスペースを必要とする。さらに、ワークを姿勢制御して各表面を洗浄する場合、洗浄ノズルの移動距離も大きくなり(第6図(a)のS1参照)、装置全体がより大きくなる。また、洗浄ノズルの移動距離が大きいと洗浄にも時間を要し非効率的である。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、さまざまな内部構造の被洗浄物を効果的に洗浄する洗浄装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために本発明に係る洗浄装置は、被洗浄物を洗浄領域内で洗浄する洗浄装置であって、前記被洗浄物を水平方向に回転させる基台と、前記被洗浄物をチルト回転させる回転機構と、前記被洗浄物を支持する支持台と、前記被洗浄物を覆い、洗浄領域の上面及び側面を形成し、上下方向に揺動する可動チャンバーと、前記可動チャンバーに配され、前記洗浄領域に流体を噴射する第1洗浄ノズルと、前記可動チャンバーに配され、前記洗浄領域に液体を供給する供給口と、を備え、前記支持台の周縁と前記可動チャンバーの内壁とが当接していない。
ここで、洗浄領域とは、被洗浄物が洗浄される空間をいう。洗浄領域の上面及び側面を形成する可動チャンバーとは、例えば下方が開放した有底筒状のものをいう。流体とは、被洗浄物を洗浄する洗浄流体をいい、例えば水等の液体や空気等の気体、もしくはこれらの混合流体などをいう。また、前記支持台の周縁と前記可動チャンバーの内壁とが当接していないとは、これらの間に間隔があけられていて、この間から洗浄流体が下方に送られて、排出される。
この構成によれば、被洗浄物が水平方向に回転し、可動チャンバーが上下方向に揺動し、ノズルから噴射された洗浄流体が被洗浄物に対して波状の噴射パターンを描く(例えば、図9参照)。これにより、主として被洗浄物の側面が洗浄される。
また、被洗浄物の水平回転が2周目に入ったときに、噴射パターンを1周目のものと重ならないよう基台の回転速度や可動チャンバーの揺動の振幅の設定を調整すれば、1周目に洗浄流体が当たらなかった部分にも洗浄流体が当たる。これにより、比較的少数のノズルで効率的な洗浄が行える。また、基台の回転速度、可動チャンバーの揺動の振幅や速度といった数値で噴射パターンを決められるので、再現性があり、熟練者でなくとも安定して高精度の洗浄効果を得られる。
さらに、この洗浄装置は、被洗浄物をチルト回転する回転機構を備えているので、被洗浄物の側面を洗浄した後に、被洗浄物を90度傾斜させて洗浄を行えば、被洗浄物の上下面も確実に洗浄できる。これにより、被洗浄物の全体を洗浄できる。したがって、被洗浄物の側面及び上下面に孔がある内部が複雑な回路状に形成されている被洗浄物に対しても、効果的な洗浄ができる。
さらに、この洗浄装置は、洗浄領域内に液体を供給する供給口を備えているので、洗浄領域内に水等の液体を供給して浸漬洗浄が行える。被洗浄物を浸漬することで、被洗浄物の表面の孔から内部に液体が流入するので、複雑な内部構造を有する被洗浄物の洗浄に適している。したがって、この洗浄装置は、給水口から液体を供給して行う浸漬洗浄と、液体を供給しない気中洗浄と、を行うことができる。
また、洗浄領域内に供給した液体は、支持台の周縁と可動チャンバーの内壁との間隔から排出できる。なお、別途排出口を設けてもよい。また、排出口は、可動チャンバーの側面上部に設けてもよく、このようにすれば、浸漬洗浄を行う場合に、液中の表面に浮いた軽い残留異物を上部の排水口からオーバーフローする液体とともに除去できる。一方、底に沈むような重い残留異物は、支持台の周縁と可動チャンバーの内壁との間隔から除去できる。これにより、被洗浄物への残留異物の再付着を防止でき、効果的な洗浄を行える。
好ましくは、この洗浄装置は、前記可動チャンバーの前記第1洗浄ノズルと別の位置に配され、洗浄領域内に流体を噴射する第2洗浄ノズルを、更に備える。より好ましくは、この洗浄装置は、前記第1ノズルが液体と気体とを噴射する低圧の2流体ノズルであり、前記第2ノズルが、液体と気体とを噴射する高圧の2流体ノズルである。
この構成によれば、複数のまたは複数種の洗浄ノズルにより、被洗浄物や汚れに対して多様な設定ができる。また、低圧の洗浄ノズルと高圧の洗浄ノズルを用いることで、低圧の洗浄流体で被洗浄物の表面全体を洗浄し、高圧の洗浄流体で被洗浄物の孔を狙って洗浄するなど、洗浄の精度を高められる。
また、洗浄ノズルに2流体ノズルを用いて、液体と気体の双方を噴射する。2流体ノズルとは、2つの流体を噴射可能なノズルをいい、例えば噴射口を同心円状に構成して洗浄ノズルの中心部から洗浄液体を、その周囲からエアを噴射するノズルである。2流体ノズルは、特に液中で洗浄流体を噴射する浸漬洗浄に効果的である。洗浄液体のみを液中に噴射する場合と比較し、洗浄液体の周囲にエアの相ができるので、より確実に被洗浄物まで、例えば孔の奥まで、洗浄流体が届き洗浄効果が高まる。
好ましくは、この洗浄装置は、前記第1洗浄ノズルを複数備え、複数の第1洗浄ノズルは、平面視において対向し、かつ、上下方向に所定の間隔をあけて配置され、平面視において対向する第1洗浄ノズル同士が上下方向にずらされている。より好ましくは、この洗浄装置は、前記第2洗浄ノズルを複数備え、複数の第2洗浄ノズルは、平面視において対向し、対向する第2洗浄ノズル同士が上下方向にずらされている。
ここで、平面視において対向とは、複数の第1洗浄ノズルが基台を中心に180度の間隔をあけて配置されていることをいう。また、対向する複数の第1洗浄ノズルを複数組配置する時は、例えば2組であれば90度の間隔をあけたり、3組であれば60度の間隔をあければよい。この構成によれば、被洗浄物の両側から効率的に洗浄流体を噴射することができ、また洗浄ノズルの細かな設定ができ、効率的な洗浄ができる。
また、平面視において対向する第1洗浄ノズル同士が上下方向にずらされているとは、対向する第1洗浄ノズル同士の噴射口が高さ方向に重ならないよう上下方向にずらして配置することをいう。これにより、例えば被洗浄物に貫通孔がある場合などに、対向して噴射される洗浄流体が衝突することを防止する。
好ましくは、この洗浄装置は、洗浄領域内に空気を噴射するエアノズルと、前記第1洗浄ノズルと前記エアノズルとが配置された第1ノズル群と、を備える。より好ましくは、この洗浄装置は、前記第2洗浄ノズルと前記エアノズルとが配置された第2ノズル群、を更に備える。
この構成によれば、被洗浄物に空気等の気体をブローして、水切り乾燥を行う。また、洗浄ノズルとエアノズルとを配置してノズル群を形成することで、省スペース化が図れる。また、ノズル群をユニット化することで、洗浄装置の製造や修理の際に効率がよい。また、洗浄ノズルがエアを噴射する2流体ノズルの場合、洗浄ノズルとエアノズルへのエア供給ポンプを共用することができる。
好ましくは、この洗浄装置は、前記可動チャンバーに配される超音波素子を更に備える。この構成によれば、浸漬洗浄において、超音波洗浄ができ、多様な被洗浄物に対して洗浄を効率的に行える。これにより、1台の洗浄装置で、気中洗浄、浸漬洗浄、低圧洗浄流体による洗浄、高圧洗浄流体による洗浄、超音波洗浄ができる。
好ましくは、この洗浄装置は、前記基台の水平方向の回転速度が、平面視において、前記基台の中心と所定の第1洗浄ノズル又は第2洗浄ノズルの噴射口とを結ぶ線上における、前記基台の中心から前記被洗浄物の端部までの距離に応じて変化する。
この構成によれば、被洗浄物の外形状によって回転速度を変化させることができ、被洗浄物の各部分をムラなく洗浄することができ、洗浄精度が向上する。
より好ましくは、この洗浄装置は、前記基台の水平方向の周速度が、前記端部において一定である。
この構成によれば、基台の中心と所定の第1洗浄ノズル又は第2洗浄ノズルの噴射口とを結ぶ線上において被洗浄物の端部における周速度が一定であるので、被洗浄物の各端部において洗浄流体が走査する時間が略一定となる。これにより、被洗浄物をムラなく洗浄できる。
すなわち、例えば被洗浄物が平面視で長方形の場合、水平方向の回転速度が一定であると、長方形の短辺や長辺や四隅のポイントで、洗浄流体が走査する速度がそれぞれ変わり、被洗浄物の洗浄部位によって微妙に洗浄精度が変わる。
これを上記のように回転速度を変化させ、被洗浄物の各端部における周速度を一定とすれば、長方形の短辺や長辺や四隅のポイントで洗浄流体が走査する速度が一定となり、被洗浄物の洗浄部位における洗浄ムラを抑え、被洗精度が向上される。
好ましくは、この洗浄装置は、洗浄領域内に気体を噴射する噴射口を、更に備える。
この構成によれば、被洗浄物に空気等の気体をブローして、水切り乾燥を行える。
より好ましくは、この洗浄装置は、洗浄領域内の気体を吸引して排気する排気口を、更に備える。
この構成によれば、洗浄領域内の気体を吸引して排気して、洗浄領域内の湿度を下げるとともに、大容量の気体が洗浄領域内を走ることで、水切り乾燥性を高める。
好ましくは、この洗浄装置は、前記可動チャンバーの下方に、中央が開口した環状部を、更に備える。
この構成によれば、被洗浄物を浸漬洗浄する際に、洗浄領域からの浸漬液の過度な流出を抑えられる。
好ましくは、この洗浄装置は、前記可動チャンバーの側面を囲う、固定チャンバーを更に備える。
この構成によれば、可動チャンバーと固定チャンバーにより、洗浄領域を形成する。
また、この洗浄装置は、前記可動チャンバーが周方向に分割された第1部材と第2部材とを有し、前記第1部材に前記第1洗浄ノズルが配されていて、前記第2部材が上下方向に昇降する構成としてもよい。
この構成によれば、第2部材が上下方向に昇降するので、第2部材が洗浄領域内に被洗浄物を取り付け・取り外しする時の扉として使用される。一方、第2部材を扉として使用する場合、上下の昇降距離が比較的大きくなるため、配線、取り回し、故障等の観点から、洗浄ノズルは第1部材側に取り付けることが望ましい。
好ましくは、この洗浄装置は、前記回転機構は、前記基台に取り付けられた外枠と、前記基台と前記支持台の間に配されるリンク機構と、を備え、前記リンク機構は、前記基台または前記外枠に回転可能に一端がジョイントされ、他端が前記支持台に回転可能にジョイントされたリンクと、前記基台または前記外枠に回転可能に一端がジョイントされ、他端が前記リンクに回転可能にジョイントされた伸縮装置と、前記外枠に設けられたスライドレールと、前記支持台に設けられ、前記スライドレールを摺動する摺動部材と、を有する。
この構成によれば、伸縮装置が伸びる方向にスライドしてリンクを押すことによって、リンクが基台とのジョイント部を支点として起き上がり、それと同時に支持台も起き上がる。それと同時に、支持台が、リンクと支持台とのジョイント部を支点に回転しつつ、支持台に設けられた摺動部材がスライドレールを摺動して、通常時基台と平行に配置された支持台が回転して基台と垂直な状態まで傾斜した状態となる。
このとき、支持台が起き上がると同時に傾斜しつつ回転するため、被洗浄物は被洗浄物の略中心を回転中心として回転し、被洗浄物の姿勢が90度傾斜する。逆に、伸縮装置が縮む方向にスライドすると、被洗浄物は被洗浄物の略中心を回転中心として回転し、被洗浄物の姿勢が90度傾斜した状態から通常状態に戻る。これにより、被洗浄物の略中心を回転中心として姿勢制御されるので、被洗浄物の姿勢制御を省スペースで行うことができる。また、被洗浄物の各面を洗浄する際、洗浄ノズルの移動距離(ストローク)を抑えることができ、洗浄効率が向上する。
また、この洗浄装置は、前記支持台の周縁部に弾性部材が設けられていてもよい。この構成によれば、支持台の周縁と可動チャンバーの内壁との間隔が広くても、ゴムシール等の弾性部材により間隔を小さくすることができ、そこからの洗浄液体の流出を少なくすることができる。したがって、被洗浄物をより速やかに液体中に浸漬させることができ、液中洗浄が効率的に行える。なお、支持台の周縁の弾性部材とチャンバーの内壁とを当接させる構成としてもよく、その場合、ゴムシールの外縁に一定の間隔で切り込みを入れて、ゴムシールの外縁とチャンバーの内壁との摩擦によるゴムシールの破損を緩和することができる。
以上のように、本発明に係る洗浄装置によれば、被洗浄物の側面から上下面まで、全体を安定して洗浄できる。また、複雑な構造の被洗浄物であっても、洗浄ノズルの位置や角度の厳密な調整なしに効率的・効果的に洗浄できる。また、1台の洗浄装置で、気中洗浄と浸漬洗浄ができる。
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明するが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。特に、下記実施形態の洗浄ノズルの本数や配置、回転速度、各種寸法は一例であり、本発明は下記に限定されない。
<1.洗浄装置の構造>
図1に示すように、洗浄装置1は、被洗浄物Wを上方から覆う可動チャンバー2と、被洗浄物Wを支持する支持台3と、被洗浄物Wをチルト回転させる回転機構4と、基台5と、可動チャンバー2の側面に配された低圧洗浄ノズル6、高圧洗浄ノズル7、超音波素子8と、可動チャンバー2の上面に配された供給口9と、可動チャンバー2の側面上方に配された排出口10と、架台11と、を備える。
図1に示すように、洗浄装置1は、被洗浄物Wを上方から覆う可動チャンバー2と、被洗浄物Wを支持する支持台3と、被洗浄物Wをチルト回転させる回転機構4と、基台5と、可動チャンバー2の側面に配された低圧洗浄ノズル6、高圧洗浄ノズル7、超音波素子8と、可動チャンバー2の上面に配された供給口9と、可動チャンバー2の側面上方に配された排出口10と、架台11と、を備える。
図示しないが、洗浄ポンプを可動チャンバー2の外側に設け、可動チャンバー2への洗浄流体の給水を行っている。また、可動チャンバー2からの排水は、フィルター(図示せず)で濾過して残留異物を除去したのち洗浄ポンプに戻し、循環させている。さらに、可動チャンバー2の外側に、エア供給ポンプ(図示せず)を設け、低圧洗浄ノズル6及び高圧洗浄ノズル7へのエアの供給を行っている。
[1−1.チャンバー]
図2、図3、図4に示すように、可動チャンバー2は、八角形板状の上面部21と、その下方に延びる断面八角形の筒状側面部22とを有する。八角形の1辺から中心を通り対向する辺までの寸法が620mm、高さが620mmである。側面部22の下方には、側面部22から延在し、中央が大きく円形に開口した環状部23が設けられている。
図2、図3、図4に示すように、可動チャンバー2は、八角形板状の上面部21と、その下方に延びる断面八角形の筒状側面部22とを有する。八角形の1辺から中心を通り対向する辺までの寸法が620mm、高さが620mmである。側面部22の下方には、側面部22から延在し、中央が大きく円形に開口した環状部23が設けられている。
また、可動チャンバー2の下方には、断面八角形の筒状の固定チャンバー24が架台11に固定されている。固定チャンバー24は、八角形の1辺から中心を通り対向する辺までの寸法が650mmで、高さが250mmである。固定チャンバー24は、可動チャンバー2の周囲を囲うように、可動チャンバー2と上下方向に80mm重なっている。
また、可動チャンバー2の上面部21の中央には、エアシリンダ25が垂直に設けられている。エアシリンダ25は、空気圧により昇降可能なロッドが内蔵されている。ロッドの先端が、上面部21の中央に固定されている。これにより、可動チャンバー2は、ロッドから吊下げられた状態となり、空気圧によって50mmのストロークで上下方向に揺動する。
なお、エアシリンダ25は、電動シリンダやロボットシリンダ等を用いてもよい。また、可動チャンバー2の形状は、断面八角形の筒状に限らず、円筒形でもよい。また、固定チャンバー24の形状も、断面八角形の筒状に限らず、円筒形でもよい。
[1−2.回転機構]
図5A、図5Bに示すように、回転機構4は、被洗浄物Wをチルト回転させる機構である。回転機構4は、支持台3と基台5の間に配されている。支持台3は、円盤状で被洗浄物Wを保持する。支持台3の直径は、可動チャンバー2に内接する円の直径よりも小さく、支持台3の周縁と可動チャンバー2との間に間隔が形成される。本実施形態において、支持台3は、中央が大きく開口した矩形枠状であり、開口から被洗浄物Wの下面が露出する。なお、支持台3は矩形枠状に限られず、被洗浄物Wの下面が露出すればよく、例えば2本のレール状や、十字のレール状などでもよい。
図5A、図5Bに示すように、回転機構4は、被洗浄物Wをチルト回転させる機構である。回転機構4は、支持台3と基台5の間に配されている。支持台3は、円盤状で被洗浄物Wを保持する。支持台3の直径は、可動チャンバー2に内接する円の直径よりも小さく、支持台3の周縁と可動チャンバー2との間に間隔が形成される。本実施形態において、支持台3は、中央が大きく開口した矩形枠状であり、開口から被洗浄物Wの下面が露出する。なお、支持台3は矩形枠状に限られず、被洗浄物Wの下面が露出すればよく、例えば2本のレール状や、十字のレール状などでもよい。
回転機構4は、2組の第1ブラケット41、第2ブラケット42、リンク43、エアシリンダ44と、これらの両側に外枠45と、を備える。外枠45には、ガイドレール46が設けられている。第1ブラケット41、第2ブラケット42、外枠45は、基台5に固定されている。
リンク43は、一端が第1ブラケット41にピン47aで回転可能に接続されていて、他端が支持台3にピン47bで回転可能に接続されている。エアシリンダ44は、一端が第2ブラケット42にピン47cで回転可能に接続されていて、他端がリンク43にピン47dで回転可能に接続されている。
エアシリンダ44は、空気圧によって伸縮するロッド44aを有し、ロッド44aが伸縮してリンク43を押し引きする。これにより、リンク43がピン47aを中心に回転する。支持台3の下方の両側には、それぞれ摺動部材31が取り付けられている。摺動部材31は、それぞれスライドレール46を摺動する。また、本実施形態においては摺動抵抗を小さくするため、摺動部材31の先端には回転自在のローラを用いる。
図6に回転機構4の動作を示す。図5A、図6に示すように、回転機構4の通常時、エアシリンダ44のロッド44aは縮んだ状態であり、支持台3は水平になっている。そして、ロッド44aが伸びることで、リンク43がピン47aを中心に回転して支持台3を押し上げる。この時、支持台3の摺動部材31がスライドレール46を摺動し、支持台3が立ち上がり、最終的に支持台3が水平方向から略90度回転した状態となる。そして、支持台3と共に被洗浄装置Wが略90度回転する。これにより、被洗浄物Wの上面及び下面が可動チャンバー2の内壁と平行になり、洗浄ノズルによって上面及び下面が確実に洗浄される。
[1−3.洗浄ノズル]
図7A、図7B、図7Cに示すように、可動チャンバー2の側面部22には、20個の低圧洗浄ノズル6と、8個の高圧洗浄ノズル7、1個の超音波素子8と、が固定されている。低圧洗浄ノズル6は、5個を1組とする低圧洗浄ノズル群6A、6B、6C、6Dが、周方向に90度の間隔をあけて取り付けられている。これにより、低圧洗浄ノズル群6Aと6C、及び、6Bと6Dが、それぞれ平面視において対向配置される。
図7A、図7B、図7Cに示すように、可動チャンバー2の側面部22には、20個の低圧洗浄ノズル6と、8個の高圧洗浄ノズル7、1個の超音波素子8と、が固定されている。低圧洗浄ノズル6は、5個を1組とする低圧洗浄ノズル群6A、6B、6C、6Dが、周方向に90度の間隔をあけて取り付けられている。これにより、低圧洗浄ノズル群6Aと6C、及び、6Bと6Dが、それぞれ平面視において対向配置される。
また、これら低圧洗浄ノズル群6A、6B、6C、6Dは、5個ずつの低圧洗浄ノズル6が上下方向に40mmの間隔をあけて配置されている。そして、対向する低圧洗浄ノズル群6Aと6Cは、上下方向に20mmずらして配置されている。同様に、低圧洗浄ノズル群6Bと6Dも、上下方向に20mmずらして配置されている。これにより、平面視で対向する低圧洗浄ノズル6は、それぞれ噴射口が上下方向にずれることとなる。
図8A、図8Bに示すように、これら低圧洗浄ノズル群6A−6Dには、複数の低圧洗浄ノズル6の列の隣に、複数のエアノズル13が、低圧洗浄ノズル6とずらして配置されている。エアノズル13は、被洗浄物Wを水切り乾燥する時に、被洗浄物Wに向けてエアブローを行うためのものである。
これら低圧洗浄ノズル6が、可動チャンバー2と共に上下方向に揺動し、かつ、基台5と共に被洗浄物Wが回転することで、被洗浄物Wの側面がムラなく洗浄される(図9に示す被洗浄物Wの側面全周を開いた噴射パターン参照)。
図7A、図7B、図7Dに示すように、高圧洗浄ノズル7は、5個を1組とする高圧洗浄ノズル群7Aと、3個を1組とする高圧洗浄ノズル群7Bが、周方向に180度の間隔をあけて取り付けられている。これにより、高圧洗浄ノズル群7Aと7Bが平面視において対向配置される。
図8C、図8Dに示すように、高圧洗浄ノズル群7Aは5個の高圧洗浄ノズル7が、上下方向に40mmの間隔をあけて配置され、高圧洗浄ノズル群7Bは3個の高圧洗浄ノズル7が、上下方向に40mmの間隔をあけて配置されている。そして、対向する高圧洗浄ノズル群7Aと7Bは、高圧洗浄ノズル7の噴射口が、それぞれ上下方向に20mmずれるように配置されている。また、高圧洗浄ノズル群7A、7Bにも、複数の高圧洗浄ノズル7の列の隣に、複数のエアノズル13が、高圧洗浄ノズル7とずらして配置されている。
また、高圧洗浄ノズル群7Aは、低圧洗浄ノズル群6Aから低圧洗浄ノズル群6B側に、周方向に45度の間隔をあけて配置されている。また、超音波素子8は、低圧洗浄ノズル群6Aから低圧洗浄ノズル群6D側に、周方向に45度の間隔をあけて配置されている。なお、低圧洗浄ノズル6、高圧洗浄ノズル7、超音波素子8の配置は、上記以外の配置にしてもよいし、その個数を変更してもよい。
なお、被洗浄物が内部に回路を有し、表面に複数の孔があるような複雑な構造の場合は、各高圧洗浄ノズル7をその孔を狙うように高さ位置や角度を設定することが望ましい(図9B参照)。
次に、洗浄ノズルの構造について説明する。低圧洗浄ノズル6、高圧洗浄ノズル7は、いずれも2流体ノズルである。低圧洗浄ノズル6と高圧洗浄ノズル7は、その構造と噴射する洗浄流体は同じであり、噴射する洗浄流体の圧力が異なる。したがって、低圧洗浄ノズル6を主として説明する。
図10に示すように、低圧洗浄ノズル6は、洗浄領域内で被洗浄物Wに向けて洗浄流体を噴射して、被洗浄物Wに対する切り粉や切削油の除去・洗浄作業に供される。低圧洗浄ノズル6は、洗浄流体を噴射する内外二重のノズルを同軸に配設してなる。すなわち、低圧洗浄ノズル6は、中央に形成された内流路61と、該内流路61を囲む断面円環状の外流路62とを有する二重ノズルである。
そして、各流路61・62の先端にある噴射口から加圧液体や加圧気体を被洗浄物Wに向けて噴射する。各流路61・62への洗浄流体の送給は、供給管63・63の途中に設けられた電磁弁64・64で制御される。本実施形態においては、内流路61の噴射口から加圧液体が噴射され、外流路62の噴射口から加圧気体が噴射される。なお、電磁弁64・64を制御することにより、内流路61から加圧液体のみを噴射させたり、外流路62から加圧気体のみを噴射させたりすることもできる。
内流路61の噴出口は、外流路62の噴出口よりも前方へ突出されている。また、各流路61・62の噴出口は、前後方向において径寸法が均一なストレート状に形成されている。以上のようなノズル形態を採用することにより、各流路61・62から噴射される洗浄流体に、前方向への直進性を与え、これにより外流路62から噴射された加圧気体が、内流路61の軸心方向に向かうことを阻止する。
また、外流路62から噴射された加圧気体を、内流路61の筒壁の外面に沿わせることによっても、該加圧気体に前方向への直進性が更に与えられる。これらにより、外流路62から噴射された加圧気体と、内流路61から噴射された加圧液体とが、低圧洗浄ノズル6からの噴射直後に混じり合うことを抑える。なお、各流路61・62の各噴射口から噴射された洗浄流体がある程度広がることはあるが、従来の洗浄ノズルと比較して、これら加圧液体と加圧気体との直進性が向上し、被洗浄物Wを効率的に洗浄できる。
高圧洗浄ノズル7も、低圧洗浄ノズル6と同様の構造であり、従来の洗浄ノズルと比較して直進性が高い。なお、高圧洗浄ノズル7は低圧洗浄ノズル6に比べて加圧液体及び加圧気体の加圧度が高い。
また、低圧洗浄ノズル6と高圧洗浄ノズル7とに上記構造の2流体ノズルを用いることは、特に被洗浄物Wを液中で洗浄する浸漬洗浄において有効である。
[1−4.基台]
図2、図3に示すように、基台5は、円盤状で、その下面中央に回転軸51が固定されていて、図示しないサーボモータにより回転軸51が回転し、基台5が水平方向に回転する。これにより、基台5の上の回転機構4、支持台3が水平方向に回転して、被洗浄装置Wが水平方向に回転する。
図2、図3に示すように、基台5は、円盤状で、その下面中央に回転軸51が固定されていて、図示しないサーボモータにより回転軸51が回転し、基台5が水平方向に回転する。これにより、基台5の上の回転機構4、支持台3が水平方向に回転して、被洗浄装置Wが水平方向に回転する。
また、本実施形態における水平方向の回転速度は一定でなく、被洗浄物Wの形状に合わせて変化させている。本実施形態における被洗浄物Wの形状は直方体形状であり、この時の回転速度は、被洗浄物Wの平面視における長方形の中心から、外形線上の各点までの距離に応じて変化させている。
[1−4.供給口及び排出口]
図2、図3に示すように、供給口9は、被洗浄物Wの浸漬洗浄を行うための浸漬液を洗浄領域内に供給するものである。供給口9は、可動チャンバー2の上面部21に2カ所設けられている。各供給口9には、供給路91が接続されていて、供給ポンプから浸漬液が送給される。
図2、図3に示すように、供給口9は、被洗浄物Wの浸漬洗浄を行うための浸漬液を洗浄領域内に供給するものである。供給口9は、可動チャンバー2の上面部21に2カ所設けられている。各供給口9には、供給路91が接続されていて、供給ポンプから浸漬液が送給される。
排出口10は、可動チャンバー2の側面部22の上方に2カ所設けられていて、浸漬洗浄を行う際に、浸漬液や洗浄流体を洗浄領域からオーバーフローさせると共に、重量の軽い残留異物を洗浄領域の外部へ排出する。なお、重量の重い残留異物については、支持台3と可動チャンバー2との間隔から、浸漬液や洗浄流体と共に下方へ送られ、固定チャンバー24に設けられた排出口12より外部に排出される。
なお、供給口9への浸漬液の供給は、供給ポンプよりなされるが、洗浄ノズルに洗浄流体を供給する供給ポンプと共用にしてもよい。また、洗浄流体とは別途、浸漬液用の供給ポンプを用いてもよい。なお、本実施形態においては、洗浄流体と浸漬液に同じ液体を用いており、排出口12から排出された残留異物を含む洗浄流体、浸漬液は、フィルターで残留異物を除去したのち、供給ポンプに戻し、循環させている。
<2.洗浄工程>
次に、洗浄装置1が被洗浄装置Wを洗浄する工程について、図11のフローチャートに基づいて説明する。本実施形態では、洗浄装置1を使用して、浸漬洗浄(超音波洗浄・低圧2流体洗浄・高圧2流体洗浄)、気中洗浄(高圧洗浄・低圧洗浄)、水切り乾燥(エアブロー・ブロアー吸引乾燥)を行う。なお、一例として、被洗浄物Wの形状が平面視長方形の直方体形状の場合について説明する。
次に、洗浄装置1が被洗浄装置Wを洗浄する工程について、図11のフローチャートに基づいて説明する。本実施形態では、洗浄装置1を使用して、浸漬洗浄(超音波洗浄・低圧2流体洗浄・高圧2流体洗浄)、気中洗浄(高圧洗浄・低圧洗浄)、水切り乾燥(エアブロー・ブロアー吸引乾燥)を行う。なお、一例として、被洗浄物Wの形状が平面視長方形の直方体形状の場合について説明する。
[2−0.洗浄装置の準備]
被洗浄物Wを洗浄する準備として、基台5の回転速度(角速度ω)を設定する。本実施形態における基台5の回転速度は、平面視における基台5の中心から高圧洗浄ノズル群7Aの高圧洗浄ノズル群7の先端を結ぶ線上を基準として、基台5の中心Xから被洗浄物Wの外形端点(図12AのY)までの距離に応じて変化させる。
被洗浄物Wを洗浄する準備として、基台5の回転速度(角速度ω)を設定する。本実施形態における基台5の回転速度は、平面視における基台5の中心から高圧洗浄ノズル群7Aの高圧洗浄ノズル群7の先端を結ぶ線上を基準として、基台5の中心Xから被洗浄物Wの外形端点(図12AのY)までの距離に応じて変化させる。
具体的には、XからYまでの距離をrとすると、周速度vは、v=ωrπ/180で表される。本実施形態では、vが一定となるように角速度ωを変化させる(回転速度設定1)。一例として本実施形態の回転速度設定1の角速度ωの変化を図13に示す。これにより、周速度vが一定となるので、被洗浄物Wの側面各部において、高圧洗浄ノズル7からの洗浄流体の走査時間が一定となり、側面全周がムラなく洗浄される。
またこの時、併せて被洗浄物Wを90度チルト回転させた状態における角速度をあらかじめ設定しておくとよい。すなわち、基台5の回転速度を、平面視における基台5の中心から高圧洗浄ノズル群7Aの高圧洗浄ノズル群7の先端を結ぶ線上を基準として、基台5の中心Xから被洗浄物Wの外形端点(図12BのZ)までの距離に応じて変化させる。基台5の中心XからZまでの距離をr’として、周速度v’が一定となるように角速度ω’を変化させる(回転速度設定2)。これにより、周速度v’が一定となるので、被洗浄物Wの上面及び下面の各部において、高圧洗浄ノズル7からの洗浄流体の走査時間が一定となり、上面及び下面がムラなく洗浄される。
また、各低圧洗浄ノズル6と各高圧洗浄ノズル7の角度を、被洗浄物Wが水平方向の状態で、側面が洗浄流体により効率よく洗浄されるように設定する(ノズル位置設定1)。なお、被洗浄物Wの内部構造に通路がある場合は、表面の孔をピンポイントで狙うように、高圧洗浄ノズル7を調整することが望ましい。
またこの時、併せて被洗浄物Wを90度チルト回転させた状態における各低圧洗浄ノズル6と各高圧洗浄ノズル7の角度をあらかじめ設定しておくとよい。すなわち、被洗浄物Wが垂直方向の状態で、上面及び下面が洗浄流体により効率よく洗浄されるように設定する(ノズル位置設定2)。
[2−1.被洗浄物のセット]
被洗浄物Wを洗浄装置1にセットする。可動チャンバー2を上方に移動させて支持台3を露出した状態で、被洗浄物Wを支持台3に設置する。そして、可動チャンバー2を下方に移動させて、被洗浄物Wが可動チャンバー2に覆われた状態にする。
被洗浄物Wを洗浄装置1にセットする。可動チャンバー2を上方に移動させて支持台3を露出した状態で、被洗浄物Wを支持台3に設置する。そして、可動チャンバー2を下方に移動させて、被洗浄物Wが可動チャンバー2に覆われた状態にする。
[2−2.浸漬洗浄(超音波洗浄)]
次に、排出口12を閉じた状態で、供給口9を開けて可動チャンバー2内に浸漬液を注入する。なお、洗浄中は、供給口9を開けて浸漬液の供給を継続し、かつ、排出口12は開けた状態で行う。排出口10も開けておく。被洗浄物Wの洗浄異物を、排出口10及び排出口12から外部に排出するためである。被洗浄物Wと、全ての低圧洗浄ノズル6及び高圧洗浄ノズル7が浸漬液に浸かった状態で、基台5を水平方向に回転させ、可動チャンバー2を上下揺動させる。この状態で、超音波素子8を作動させ超音波による洗浄を、所定時間T1行う。
次に、排出口12を閉じた状態で、供給口9を開けて可動チャンバー2内に浸漬液を注入する。なお、洗浄中は、供給口9を開けて浸漬液の供給を継続し、かつ、排出口12は開けた状態で行う。排出口10も開けておく。被洗浄物Wの洗浄異物を、排出口10及び排出口12から外部に排出するためである。被洗浄物Wと、全ての低圧洗浄ノズル6及び高圧洗浄ノズル7が浸漬液に浸かった状態で、基台5を水平方向に回転させ、可動チャンバー2を上下揺動させる。この状態で、超音波素子8を作動させ超音波による洗浄を、所定時間T1行う。
そして、回転機構4を作動して、支持台3を90度チルト回転させる。これに伴い、被洗浄装置Wも90度回転して、被洗浄物Wの上面及び下面が洗浄流体により洗浄される。これを所定時間T2行う。
[2−3.浸漬洗浄(低圧2流体洗浄)]
前記工程後、超音波素子8の動作をやめ、低圧洗浄ノズル6による低圧2流体洗浄を所定時間T3行う。続き、回転機構4を作動して支持台3を90度チルト回転させて水平状態に戻し、低圧洗浄ノズル6による低圧2流体洗浄を所定時間T4行う。なお、この間、超音波素子8は作動させたままでもよい。
前記工程後、超音波素子8の動作をやめ、低圧洗浄ノズル6による低圧2流体洗浄を所定時間T3行う。続き、回転機構4を作動して支持台3を90度チルト回転させて水平状態に戻し、低圧洗浄ノズル6による低圧2流体洗浄を所定時間T4行う。なお、この間、超音波素子8は作動させたままでもよい。
[2−4.浸漬洗浄(高圧2流体洗浄)]
前記工程後、低圧洗浄ノズル6の作動をやめ、基台5を水平方向に回転させながら、高圧洗浄ノズル7による高圧2流体洗浄を所定時間T5行う(回転速度設定1、ノズル位置設定1)。続き、各設定を変更し、回転機構4を作動して支持台3を90度チルト回転させて垂直状態にして、基台5を水平方向に回転させながら、高圧洗浄ノズル7による高圧2流体洗浄を所定時間T6行う(回転速度設定2、ノズル位置設定2)。なお、この間、低圧流体ノズル6は作動させたままでもよい。
前記工程後、低圧洗浄ノズル6の作動をやめ、基台5を水平方向に回転させながら、高圧洗浄ノズル7による高圧2流体洗浄を所定時間T5行う(回転速度設定1、ノズル位置設定1)。続き、各設定を変更し、回転機構4を作動して支持台3を90度チルト回転させて垂直状態にして、基台5を水平方向に回転させながら、高圧洗浄ノズル7による高圧2流体洗浄を所定時間T6行う(回転速度設定2、ノズル位置設定2)。なお、この間、低圧流体ノズル6は作動させたままでもよい。
[2−5.気中洗浄(高圧1流体洗浄)]
前記工程後、供給口9からの浸漬液の供給をやめて洗浄領域内の浸漬液を排出する。なお、排出口12は開けたままにしておく。洗浄流体を排出するためである。また、高圧洗浄ノズル7及び低圧洗浄ノズル6の加圧気体の噴射をとめて、加圧液体のみの単相流体の噴射に切り替える。これは必須でないが、加圧気体との2流体の噴射は、気中洗浄の場合、浸漬洗浄に比べて効果がうすい。
前記工程後、供給口9からの浸漬液の供給をやめて洗浄領域内の浸漬液を排出する。なお、排出口12は開けたままにしておく。洗浄流体を排出するためである。また、高圧洗浄ノズル7及び低圧洗浄ノズル6の加圧気体の噴射をとめて、加圧液体のみの単相流体の噴射に切り替える。これは必須でないが、加圧気体との2流体の噴射は、気中洗浄の場合、浸漬洗浄に比べて効果がうすい。
そして、被洗浄物Wが気中に露出した状態で、高圧洗浄ノズル7による高圧1流体洗浄を所定時間T7行う(回転速度設定2、ノズル位置設定2)。続き、各設定を変更し、回転機構4を作動して支持台3を90度チルト回転させて水平状態に戻し、高圧洗浄ノズル7による高圧1流体洗浄を所定時間T8行う(回転速度設定1、ノズル位置設定1)。
[2−6.気中洗浄(低圧1流体洗浄)]
前記工程後、低圧洗浄ノズル6による低圧1流体洗浄を所定時間T9行う。続き、回転機構4を作動して支持台3を90度チルト回転させて垂直状態にし、低圧洗浄ノズル6による低圧1流体洗浄を所定時間T10行う。
前記工程後、低圧洗浄ノズル6による低圧1流体洗浄を所定時間T9行う。続き、回転機構4を作動して支持台3を90度チルト回転させて垂直状態にし、低圧洗浄ノズル6による低圧1流体洗浄を所定時間T10行う。
[2−7.水切り乾燥]
前記工程後、低圧洗浄ノズル6をとめる。なお、基台5の水平方向の回転は継続しておく。また、可能チャンバー2の揺動を継続してもよい。そして、エアノズルを作動させてエアブローを開始し、洗浄領域内に空気を噴射する。また、吸引排出口14を開け、ブロアーを作動させて、洗浄領域内の空気を吸引、排気する。
前記工程後、低圧洗浄ノズル6をとめる。なお、基台5の水平方向の回転は継続しておく。また、可能チャンバー2の揺動を継続してもよい。そして、エアノズルを作動させてエアブローを開始し、洗浄領域内に空気を噴射する。また、吸引排出口14を開け、ブロアーを作動させて、洗浄領域内の空気を吸引、排気する。
これにより、エアブローによる被洗浄物Wの水切り乾燥が行われる。併せて、ブロアーによる洗浄領域内の空気の吸引、排気によって、洗浄領域内の湿度が下がり、空気の流れもできることで、被洗浄物Wの水切り乾燥を更に促進する。
この水切り乾燥を所定時間T11行う。この間も、基台5の水平方向の回転と、回転機構4を動作させて支持台3のチルト回転は行う。これにより、被洗浄物Wの水切り乾燥が全体にムラなく行えるようにし、乾燥度を向上するためである。
可動チャンバー2を上方に移動させて、被洗浄物Wを取り出す。これで被洗浄物Wの洗浄が終了する。
[2−8.変形例]
以上が洗浄装置1を用いた洗浄工程の一例である。上記洗浄工程の変形例として、例えば図14に示すように、被洗浄物Wを水平状態にしたまま、浸漬洗浄(超音波洗浄)、浸漬洗浄(低圧2流体洗浄)、浸漬洗浄(高圧2流体洗浄)、気中洗浄(低圧1流体洗浄)、気中洗浄(高圧1流体洗浄)を行い、その後被洗浄物Wを垂直状態にして、浸漬洗浄(超音波洗浄)、浸漬洗浄(低圧2流体洗浄)、浸漬洗浄(高圧2流体洗浄)、気中洗浄(低圧1流体洗浄)、気中洗浄(高圧1流体洗浄)を行った後、水切り乾燥を行う洗浄工程としてもよい。
以上が洗浄装置1を用いた洗浄工程の一例である。上記洗浄工程の変形例として、例えば図14に示すように、被洗浄物Wを水平状態にしたまま、浸漬洗浄(超音波洗浄)、浸漬洗浄(低圧2流体洗浄)、浸漬洗浄(高圧2流体洗浄)、気中洗浄(低圧1流体洗浄)、気中洗浄(高圧1流体洗浄)を行い、その後被洗浄物Wを垂直状態にして、浸漬洗浄(超音波洗浄)、浸漬洗浄(低圧2流体洗浄)、浸漬洗浄(高圧2流体洗浄)、気中洗浄(低圧1流体洗浄)、気中洗浄(高圧1流体洗浄)を行った後、水切り乾燥を行う洗浄工程としてもよい。
また、被洗浄物が比較的シンプルな構造である場合などは、浸漬洗浄または気中洗浄のいずれかとしてもよいし、超音波洗浄や高圧洗浄ノズルを使用しない洗浄工程とすることもできる。
<3.本実施形態の効果>
以上の構造を有する洗浄装置1によれば、1台の洗浄装置で、気中洗浄、浸漬洗浄、低圧洗浄流体による洗浄、高圧洗浄流体による洗浄、超音波洗浄、水切り乾燥など、多数の洗浄が可能であり、多種多様な被洗浄物に対応できる。また、可動チャンバー2が上下に揺動し、基台5が水平方向に回転するので、被洗浄物Wをムラなく洗浄でき、従来に比べて洗浄精度が向上できる。
以上の構造を有する洗浄装置1によれば、1台の洗浄装置で、気中洗浄、浸漬洗浄、低圧洗浄流体による洗浄、高圧洗浄流体による洗浄、超音波洗浄、水切り乾燥など、多数の洗浄が可能であり、多種多様な被洗浄物に対応できる。また、可動チャンバー2が上下に揺動し、基台5が水平方向に回転するので、被洗浄物Wをムラなく洗浄でき、従来に比べて洗浄精度が向上できる。
また、回転機構4により被洗浄物Wがチルト回転するので、被洗浄物Wの側面のみならず上面や下面まで、全体をムラなく洗浄でき、洗浄精度が更に向上する。また、基台5の水平方向の回転速度が、被洗浄物Wの形状に応じて変化させ、周速度を所定位置を基準に略一定としているので、洗浄流体の走査時間が略一定となり、被洗浄物W全体をムラなく洗浄できる。
また、低圧洗浄ノズル6及び高圧洗浄ノズル7に2流体ノズルを用いているので、液中においても洗浄流体の直進性が向上し、浸漬洗浄における洗浄精度を向上できる。また、対向する低圧洗浄ノズル6同士、高圧洗浄ノズル7同士の噴射口が、それぞれ高さ方向にずらして配置されているので、洗浄流体の対向衝突が防止でき、洗浄精度が向上する。
また、洗浄領域内で被洗浄物に気体をブローするエアノズル13を備えるので、被洗浄物Wの水切り乾燥ができる。加えて、洗浄領域内の気体を吸引、排出する排出口14を備えているので、洗浄領域内の湿度を下げると共に、大容量の気体が洗浄領域内を走ることで、水切り乾燥性が向上する。
これらの構造により、本実施形態の洗浄装置1は、複雑な構造の被洗浄物であっても、被洗浄物の側面から上下面まで、全体を安定して洗浄できる。
<4.その他の実施形態>
以上のとおり、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。例えば、各洗浄ノズル6、7の本数は上記実施形態に限られない。また、可動チャンバー2や固定チャンバー25の形状は、断面八角形の筒状に限られず、例えば円筒状でもよい。したがって、そのようなものも本発明の範囲内に含まれる。
以上のとおり、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。例えば、各洗浄ノズル6、7の本数は上記実施形態に限られない。また、可動チャンバー2や固定チャンバー25の形状は、断面八角形の筒状に限られず、例えば円筒状でもよい。したがって、そのようなものも本発明の範囲内に含まれる。
1 洗浄装置
2 可動チャンバー
21 上面部
22 側面部
23 環状部
24 固定チャンバー
25 エアシリンダ
3 支持台
31 摺動部材
4 回転機構
41 第1ブラケット
42 第2ブラケット
43 リンク
44 エアシリンダ
44a ロッド
45 外枠
46 スライドレール
47 ピン
5 基台
51 回転軸
6 低圧洗浄ノズル
61 内流路
62 外流路
63 供給管
64 電磁弁
6A−6D 低圧洗浄ノズル群
7 高圧洗浄ノズル
7A、7B 高圧洗浄ノズル群
8 超音波素子
9 供給口
91 供給路
10 排出口
11 架台
12 排出口
13 エアノズル
14 吸引排出口
W 被洗浄物
2 可動チャンバー
21 上面部
22 側面部
23 環状部
24 固定チャンバー
25 エアシリンダ
3 支持台
31 摺動部材
4 回転機構
41 第1ブラケット
42 第2ブラケット
43 リンク
44 エアシリンダ
44a ロッド
45 外枠
46 スライドレール
47 ピン
5 基台
51 回転軸
6 低圧洗浄ノズル
61 内流路
62 外流路
63 供給管
64 電磁弁
6A−6D 低圧洗浄ノズル群
7 高圧洗浄ノズル
7A、7B 高圧洗浄ノズル群
8 超音波素子
9 供給口
91 供給路
10 排出口
11 架台
12 排出口
13 エアノズル
14 吸引排出口
W 被洗浄物
Claims (14)
- 被洗浄物を洗浄領域内で洗浄する洗浄装置であって、
前記被洗浄物を水平方向に回転させる基台と、
前記被洗浄物をチルト回転させる回転機構と、
前記被洗浄物を支持する支持台と、
前記被洗浄物を覆い、洗浄領域の上面及び側面を形成し、上下方向に揺動する可動チャンバーと、
前記可動チャンバーに配され、前記洗浄領域に流体を噴射する第1洗浄ノズルと、
前記可動チャンバーに配され、前記洗浄領域に液体を供給する供給口と、を備え、
前記支持台の周縁と前記可動チャンバーの内壁とが当接していない、
洗浄装置。 - 前記可動チャンバーの前記第1洗浄ノズルと別の位置に配され、洗浄領域内に流体を噴射する第2洗浄ノズルを、更に備える、
請求項1に記載の洗浄装置。 - 前記第1洗浄ノズルが、液体と気体とを噴射する低圧の2流体ノズルであり、
前記第2洗浄ノズルが、液体と気体とを噴射する高圧の2流体ノズルである、
請求項2に記載の洗浄装置。 - 前記第1洗浄ノズルを複数備え、
複数の第1洗浄ノズルは、平面視において対向し、かつ、上下方向に所定の間隔をあけて配置され、平面視において対向する第1洗浄ノズル同士が上下方向にずらされている、
請求項2又は請求項3に記載の洗浄装置。 - 前記第2洗浄ノズルを複数備え、
複数の第2洗浄ノズルは、平面視において対向し、対向する第2洗浄ノズル同士が上下方向にずらされている、
請求項4に記載の洗浄装置。 - 洗浄領域内に空気を噴射するエアノズルと、
前記第1洗浄ノズルと前記エアノズルとが配置された第1ノズル群と、を備える、
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の洗浄装置。 - 前記第2洗浄ノズルと前記エアノズルとが配置された第2ノズル群、を更に備える、
請求項2乃至請求項5のいずれか一項を引用する請求項6に記載の洗浄装置。 - 前記可動チャンバーに配される超音波素子を更に備える、
請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の洗浄装置。 - 前記基台の水平方向の回転速度が、
平面視において、前記基台の中心と所定の第1洗浄ノズル又は第2洗浄ノズルの噴射口とを結ぶ線上における、前記基台の中心から前記被洗浄物の端部までの距離に応じて変化する、
請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の洗浄装置。 - 前記基台の水平方向の周速度が、前記端部において一定である、
請求項9に記載の洗浄装置。 - 洗浄領域内の気体を吸引して排気する排気口を、更に備える、
請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の洗浄装置。 - 前記可動チャンバーの下方に、中央が開口した環状部を、更に備える、
請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の洗浄装置。 - 前記可動チャンバーの側面を囲う固定チャンバーを、更に備える、
請求項1乃至請求項12のいずれか一項に記載の洗浄装置。 - 前記回転機構は、
前記基台に取り付けられた外枠と、
前記基台と前記支持台の間に配されるリンク機構と、を備え、
前記リンク機構は、
前記基台または前記外枠に回転可能に一端がジョイントされ、他端が前記支持台に回転可能にジョイントされたリンクと、
前記基台または前記外枠に回転可能に一端がジョイントされ、他端が前記リンクに回転可能にジョイントされた伸縮装置と、
前記外枠に設けられたスライドレールと、
前記支持台に設けられ、前記スライドレールを摺動する摺動部材と、を有する、
請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の洗浄装置。
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- 2014-05-19 JP JP2014103412A patent/JP2015217352A/ja active Pending
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