KR100817980B1

KR100817980B1 - 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR100817980B1
Application number: KR1020060083495A
Authority: KR
Inventors: 사토시 야마모토; 다카오 마츠모토
Original assignee: 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
Priority date: 2005-10-14
Filing date: 2006-08-31
Publication date: 2008-03-31
Also published as: CN1947871A; JP4668088B2; CN1947871B; TWI303849B; JP2007134665A; KR20070041320A; TW200715389A

Abstract

기판 처리 장치는, 기판(B)에 자외선을 조사하는 자외선 조사부와, 자외선 조사부에 인접하게 배치되어, 기판(B)에 액(液) 처리를 실시하기 위한 복수의 액 처리 툴이 서로 인접하게 배치되어 이루어지는 세정 기구와, 자외선 조사부로부터 세정 기구의 브러시 처리부, 이류체(二流體) 공급부, 린스부에 걸쳐 기판을 이동시키는 이동 경로를 갖는 기판 반송 기구와, 자외선 조사부와 세정 기구의 사이에서의 이동 경로를 포함하는 공간을, 자외선 조사부측과 세정 기구측으로 칸막이하는 에어 커튼을 형성하는 에어 커튼 형성 노즐과, 서로 인접된 브러시 처리부, 이류체 공급부, 린스부의 각 사이의 적어도 하나에서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간을, 기판 이동 방향(A)의 상류측과 하류측으로 칸막이하는 액 커튼을 형성하는 액 커튼 형성 노즐을 구비하여, 비용을 저감하면서 시일(seal) 효과를 더욱 높인다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE TREATING APPARATUS}

도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 일 실시형태를 개념적으로 도시한 측면도이다.

도 2는 에어 커튼 형성 노즐을 개략적으로 도시한 측면도이다.

도 3은 에어 커튼 형성 노즐의 다른 예를 모식적으로 도시한 도면이며, 제1 노즐과 제2 노즐이 나란히 설치된 상태를 도시하고 있다.

도 4는 에어 커튼 형성 노즐의 다른 예를 모식적으로 도시한 도면이며, 제1 노즐에 대해 제2 노즐이 오프셋된 상태를 도시하고 있다.

도 5는 에어 커튼 형성 노즐의 다른 예를 모식적으로 도시한 도면이다.

도 6은 커튼 형성 노즐을 개략적으로 도시한 측면도이다.

본 발명은, 반도체 기판이나 액정 유리 기판 등의 박판형 기판(이하, "기판"이라고 칭한다)에 대해, 미리 정해진 일련의 처리를 연속적으로 행하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

종래, 플라즈마 디스플레이 등의 디스플레이면에 부설되는 유리 기판을 세정 하는 장치가 특허 문헌 1에 제안되어 있다. 이 세정 장치는, 엑시머 자외선 조사 처리부, 브러시 처리부, 고유속 샤워 처리부, 에어 나이프 처리부가 기판 반송 방향으로 배치되어, 반송 수단에 의해 반송되는 기판에 대해 각 처리가 순차적으로 행해지도록 되어 있다. 이들 각 처리부의 사이는 에어 커튼으로 칸막이되어 있다. 이 세정 장치는, 각 처리부 사이를 칸막이하는 에어 커튼을 형성함으로써, 각 처리부 사이에서 발생할 우려가 있는 상호 간섭을 배제(시일(seal))하는 것이 가능하기 때문에, 각 처리부를 근접하게 배치할 수 있어, 장치의 설치 면적을 작게 할 수 있다.

(특허 문헌 1) 일본 특개 2002-172369호 공보

그러나, 상기 특허 문헌1에 기재된 세정 장치처럼, 상기 각 처리부 사이를 에어 커튼으로 칸막이하는 구성을 채용하는 경우, 에어 커튼의 형성을 위해서 대량의 에어를 공급하지 않으면 안되어 대용량 배기 설비가 필요하게 되어, 설비 비용 및 운전 비용이 비싸진다는 문제가 있다. 또, 기판 표면을 물리적인 힘을 이용하여 웨트(wet) 세정하는 툴은, 고 성능화할수록 기판 표면에 작용하는 에너지가 많아져, 처리시에 발생하는 미스트 발생량이 증가한다. 따라서, 이렇게 고성능의 웨트 세정 툴을 사용하는 경우에는, 종래의 에어 커튼에 의해 얻어지는 시일 성능보다도 더욱 높은 시일 성능이 요구된다.

본 발명의 목적은, 상기의 문제를 해결한 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일면에 의하면, 기판 처리 장치는, 기판에 드라이 처리를 실시하는 드라이 처리부와, 상기 드라이 처리부에 인접하게 배치되어, 상기 기판에 액(液) 처리를 실시하기 위한 복수의 액 처리 툴이 서로 인접하게 배치되어 이루어지는 액 처리부와, 상기 드라이 처리부로부터 상기 액 처리부의 각 액 처리 툴에 걸쳐 상기 기판을 상대 이동시키는 이동 경로를 갖는 이동 수단과, 상기 드라이 처리부와 상기 액 처리부의 사이에서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간을, 상기 드라이 처리부측과 상기 액 처리부측으로 칸막이하는 에어 커튼을 형성하는 제1 커튼 형성 수단과, 상기 액 처리부 내의 서로 인접된 액 처리 툴 사이의 적어도 하나에서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간을, 기판 이동 방향 상류측과 하류측으로 칸막이하는 액 커튼을 형성하는 제2 커튼 형성 수단을 구비하고 있다.

이하, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 관해 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 일 실시형태를 개념적으로 도시한 측면도이다. 기판 처리 장치(1)는, 장치 본체(10) 내에, 자외선 조사부(11)와, 브러시 처리부(12), 이류체(二流體) 공급부(13) 및 린스부(14)로 이루어지는 세정 기구(120)와, 기체 스프레이부(15)를 구비하고 있다. 이들 자외선 조사부(11), 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)는, 이 순서로 기판 반송 방향(A)으로 나란히 배치되어 있다.

기판 반송 기구(이동 수단)(16)는, 기판을 반송하기 위한 복수의 반송 롤러(기판 반송로)로 이루어지고, 자외선 조사부(11), 브러시 처리부(12), 이류체 공급 부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)의 각 부 내를 통과해 배치되어 있다. 기판 반송 기구(16)의 각 반송 롤러는, 기판(B)의 폭방향(도 1의 기판 반송 방향(A)에 교차하는 방향)으로 연장되는 회전축과, 이 회전축에 부착된 복수의 굴림대로 구성되어 있다. 상기 기판 반송 기구(16)의 반송 롤러는 도시 생략한 모터 등의 구동원에 의해 회전 구동된다. 기판(B)은, 기판 반송 방향(A)으로 나란히 설치되어 있는 복수의 반송 롤러 상에서 차례차례로 수도(受渡) 반송되어, 자외선 조사부(11)로부터 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)까지 차례로 반송되어 가도록 되어 있다.

자외선 조사부(11), 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)의 각각의 기판 반송 방향 상류단의 벽부에는, 기판 통과구가 되는 개구가 형성되어 있다. 기판(B)은, 기판 통과구 부근의 반송 롤러가 회전 구동됨으로써, 기판 반송 방향 상류측의 처리부로부터 하류측의 처리부로 상기 각 개구를 통과하면서 차례차례로 반송된다. 또한, 상기 개구에는, 이것을 개폐하는 셔터가 설치되어 있는 형태로 해도 된다.

또, 기판 반송 기구(16)는, 상하 1쌍으로 설치된 반송 롤러에 의해 기판(B)을 상하로부터 끼움 지지하여 반송하는 기구와, 기판(B)의 이면만을 반송 롤러로 지지하여 기판(B)을 반송하는 기구가, 각 처리부의 처리 내용에 따라 구분하여 사용되고 있다.

자외선 조사부(드라이 처리부의 일례)(11)는, 자외선 램프(111)로부터 방사되는 자외선을 상기 기판 반송로 상의 기판(B)에 조사하여 상기 기판(B)에 부착되 어 있는 유기물을 분해 제거(드라이 처리의 일례)하는 것이다.

세정 기구(액 처리부의 일례)(120)는, 자외선 조사부(11)로부터 반송되어 온 기판(B)에 대해 세정 처리(액 처리의 일례)를 실시하는 것이다. 상술한 바와 같이, 세정 기구(120)는, 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13) 및 린스부(14)(이들은 웨트 세정 툴의 일례)로 이루어진다.

브러시 처리부(12)는, 상기 기판 반송로 상의 기판(B)의 양 주면에 맞닿는 위치에 배치되어, 도시 생략한 구동원으로 요동되어 기판(B)의 양 주면을 세정하는 복수의 요동 브러시(121)와, 이들 요동 브러시(121)에 의한 기판(B)의 세정 전후에 걸쳐, 기판(B)의 양 주면에 순수(純水)로 이루어지는 세정액을 공급하는 상하 1쌍의 세정액 공급 노즐(122)을 구비하고 있다. 브러시 처리부(12)에 도입된 기판(B)은, 각 세정액 공급 노즐(122)로부터의 세정액의 공급을 받으면서, 요동하는 상하 1쌍의 요동 브러시(121) 사이를 통과함으로써 양 주면이 세정되어, 비교적 큰 파티클이 제거된다. 또한, 세정액은 순수에 한정되지 않으며, 약액 등이어도 된다.

이류체 공급부(13)는, 상기 기판 반송로 상의 기판(B)의 양 주면측에 이류체 노즐(131)을 구비하여 이루어진다. 이류체 노즐(131)은, 순수로 이루어지는 액체에 압력을 가하여 분무형으로 기판에 분사함으로써 액류체와 기류체의 이류체를 형성하여, 이들에 의해 기판(B)의 주면을 세정하는 것이다. 이류체 공급부(13)는, 마무리 세정 처리를 실시하는 것이며, 이류체 노즐(131)로부터의 이류체의 분사에 의해, 앞의 세정 처리에서 제거할 수 없었던 비교적 작은 파티클을 기판(B)으로부터 제거한다.

린스부(14)는, 상기 기판 반송로 상의 기판(B)의 양 주면측에 린스액 공급 노즐(141)을 구비하여 이루어진다. 린스액 공급 노즐(141)은 이류체 공급부(13)를 통과한 후의 기판(B)의 양 주면에 대해 순수로 이루어지는 린스액을 공급하는 것이다. 이 린스액 공급 노즐(141)로부터 공급되는 린스액에 의해 기판(B)의 주면 상에 잔존하는 더러움 및 세정액을 씻어내도록 되어 있다. 또한, 린스액은 순수에 한정되지 않으며, 약액 등이어도 된다.

기체 스프레이부(15)는, 세정 기구(120)에 의한 세정 처리 후에 기판(B)의 주면 상에 잔류하고 있는 린스액을 제거하여 건조하는 처리를 실시하는 것이다. 기체 스프레이부(15)는, 상기 기판 반송로를 사이에 끼고 상하로 대향한 1쌍의 에어 나이프(151)를 갖고 있다. 이러한 1쌍의 에어 나이프(151)는, 기판 폭방향(기판 반송방향에 교차하는 방향)으로 연장되는 가는 슬릿을 갖고, 이 슬릿으로부터 기판(B)의 양 주면(표리면)에 커튼형으로 기체가 고압으로 내뿜어짐으로써, 기판(B)의 양 주면에 잔류한 린스액이 제거된다. 이에 의해 기판(B)에 대한 건조 처리가 완료한다.

자외선 조사부(11)와 세정 기구(120)의 사이에는, 이 부분의 공간을 기판(B)의 반송방향 상류측과 하류측으로 칸막이하는 에어 커튼을 형성하는 에어 커튼 형성 노즐(제1 커튼 형성 수단의 일례)(21)이, 기판 반송로 상의 기판(B)의 양 주면에 대한 위치에 설치되어 있다. 이 에어 커튼 형성 노즐(21)은, 기판(B)의 폭방향에 걸쳐 설치되어, 동 폭방향으로 연장되는 공기 분사 슬릿을 갖고 있다. 에어 커튼 형성 노즐(21)은, 공기 분사 슬릿으로부터, 기판(B)의 주면에 대해 커튼형으로 공기류를 분사함으로써, 에어 커튼 형성 노즐(21)로부터 기판(B)의 주면에 걸쳐 에어 커튼을 형성한다. 이 에어 커튼에 의해, 자외선 조사부(11)와 세정 기구(120)의 사이에서의, 기판 반송로를 포함하는 공간이, 기판 반송 방향 상류측과 하류측(자외선 조사부(11)측과 세정 기구(120)측)으로 칸막이된다. 즉, 에어 커튼 형성 노즐(21)은, 에어 커튼에 의해, 자외선 조사부(11)와 세정 기구(120) 사이에서의 기류의 왕래를 차단하여, 세정 기구(120)에서 발생한 미스트 등이 자외선 조사부(11)에 침입하는 것을 방지한다.

브러시 처리부(12) 및 이류체 공급부(13)의 사이에는, 이 부분의 공간을 기판(B)의 반송 방향 상류측과 하류측으로 칸막이하는 액 커튼을 형성하는 액 커튼 형성 노즐(제2 커튼 형성 수단)(22)이 설치되어 있다. 이 액 커튼 형성 노즐(22)은, 기판(B)의 폭방향에 걸쳐 설치되어, 동 폭방향으로 연장되는 액 토출 슬릿을 갖고 있다. 액 커튼 형성 노즐(22)은, 기판 반송로 상의 기판(B)의 주면에 대해 커튼형으로, 순수로 이루어지는 세정액을 분사함으로써, 액 커튼 형성 노즐(22)로부터 기판(B)의 주면에 걸쳐 액 커튼을 형성한다. 또한, 액 커튼을 형성하는 세정액은 순수에 한정되지 않고, 다른 세정액이어도 된다. 또, 액 커튼을 형성하는 액은, 액 커튼 형성 노즐(22)의 배치 위치의 아주 가까운 하류측에 배치되어 있는 처리부에서 사용되는 액과 동종인 것이 바람직하다. 이 액 커튼에 의해, 브러시 처리부(12)와 이류체 공급부(13)의 사이로서, 기판 반송 기구(16)에 의한 기판(B)의 반송 경로를 포함하는 공간이, 기판 반송 방향 상류측과 하류측으로 칸막이된다. 액 커튼 형성 노즐(22)은, (1) 액 커튼에 의해, 브러시 처리부(12)와 이류체 공급 부(13) 사이에서의 기류의 왕래를 차단하여, 한쪽의 처리부에서 발생한 미스트 등이 다른쪽의 처리부에 침입하는 것을 방지한다. 또, 액 커튼 형성 노즐(22)은, (2) 기판의 주면 상을 흐르는 액을 액 커튼으로 차단하여, 상기 주면 상의 액이 액 커튼의 상류측 또는 하류측의 처리부에 유출하는 것을 방지하여, 인접하는 각 처리부의 액끼리의 간섭에 의해 세정 효과에 악영향을 주는 것을 방지한다.

동일하게, 이류체 공급부(13)와 린스부(14)의 사이, 린스부(14)와 기체 스프레이부(15)의 사이에도, 린스액을 토출하여 액 커튼을 형성하는 액 커튼 형성 노즐(22)이 설치되어 있다. 이 이류체 공급부(13)와 린스부(14)의 사이에 배치된 액 커튼 형성 노즐(22)도, 상기 (1), (2)에 나타낸 작용을 행한다.

상기한 바와 같이, 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)의 각각의 사이의 위치에, 액 커튼 형성 노즐(22)을 배치하여 액 커튼을 형성함으로써, 에어 커튼에 의한 경우보다도 높은 미스트 차단성을 확보함으로써, 상기 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)로서, 기판(B)의 주면에 작용하는 에너지가 높고 미스트 발생량이 많은 고성능 툴을 사용하는 것이 가능해진다. 또, 액 커튼의 형성을 위해서 사용한 세정액 또는 린스액은, 도시 생략한 배액(排液) 회수 탱크에 의해 회수하여 재이용하는 것이 가능하므로, 상기 위치에 에어 커튼 형성부를 설치하여 에어 커튼에 의해 미스트를 차단하는 구성을 채용하는 경우와 비교해 운전 비용을 저감할 수 있다.

상기 각 액 커튼 형성 노즐(22)은, 기판(B)의 유효부 영역을 포함하는 주면측에 설치되어 있다. 기판(B)의 유효부 영역을 포함하는 주면이란, TFT(Thin Film Transistor) 등의 소자나 칼라 필터의 필터 엘리먼트 등이 형성되는 유효부 영역을 포함하는 주면을 말하며, 도 1에 도시한 본 실시형태에서는, 기판(B)의 상면이 기판(B)의 유효부 영역을 포함하는 주면이다.

또한, 브러시 처리부(12)와 이류체 공급부(13)의 사이에 배치된 액 커튼 형성 노즐(22)이 특허청구범위에서 말하는 제1 액 커튼 형성 수단의 일례이며, 린스부(14)와 기체 스프레이부(15)의 사이에 배치된 액 커튼 형성 노즐(22)이 특허청구범위에서 말하는 제2 액 커튼 형성 수단의 일례이다.

또, 도 1에 도시한 바와 같이, 자외선 조사부(11), 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)는, 기판 반송 기구(16)에 의해 반송되는 1장의 기판(B)에 대해 각 부의 처리를 동시에 실행할 수 있는 치수를 갖고, 서로 근접시켜 배치되어 있다. 이러한 근접 배치는, 상기 에어 커튼 형성 노즐(21)에 의해 형성되는 에어 커튼, 및 각 액 커튼 형성 노즐(22)에 의해 형성되는 액 커튼에 의해, 각 처리부끼리가 서로 간섭하지 않는 상태가 됨으로써 실현 가능해지는 것이다.

다음에, 에어 커튼 형성 노즐(21)을 설명한다. 도 2는, 에어 커튼 형성 노즐(21)을 개략적으로 도시한 측면도이다. 에어 커튼 형성 노즐(21)은, 자외선 조사부(11)와 세정 기구(120)를 칸막이하는 측벽(125)에, 부착판(125a)을 통해 부착되어 있다. 부착판(125a)은, 그 하단부가 기판 반송 방향(A)을 향해 소정 각도로 경사되어 있다. 그 때문에, 에어 커튼 형성 노즐(21)의 선단부에 설치되어 있는 공기 분사 슬릿(21a)은, 기판 반송 방향(A)으로 상기 소정 각도로 향해져 있다. 에어 커튼 형성 노즐(21)은, 상술한 바와 같이 세정 기구(120)에서 발생한 미스트의 자외선 조사부(11)로의 침입을 방지하는 것이므로, 에어 나이프만큼의 고압력에서의 에어 분사 성능은 필요하지 않다. 또, 기판(B)의 이면측에도, 하단부가 기판 반송 방향(A)을 향해 소정 각도로 경사된 부착판(125a)에 에어 커튼 형성 노즐(21)이 부착되어 있다. 또한, 도 2에서는, 에어 커튼 형성 노즐(21)에 에어 커튼 형성용의 에어를 공급하는 에어 배관의 도시는 생략하고 있다.

기판(B)의 양 주면측에 배치된 각 에어 커튼 형성 노즐(21)이, 기판 반송 방향(A)을 향해 에어를 분사하여 동일 방향을 향하는 에어 커튼을 형성함으로써, 에어 커튼 자체가 발생시키는 기류는, 기판 반송 방향(A)의 하류측에 있는 세정 기구(120)를 향하므로, 에어 커튼의 기류에 의해 운반되는 미스트 등이 자외선 조사부(11)에 침입하는 것은 확실히 방지된다.

도 3은 에어 커튼 형성 노즐(21)의 다른 실시형태를 도시하고 있다. 이 도면에 도시한 에어 커튼 형성 노즐(21)은, 선단 단부가 기판 반송 방향(A)으로 소정의 각도로 향해진 부착판(125a)의 상하 양측에, 서로 평행한 공기 분사 슬릿(21a)을 구비한 2개의 노즐(제1 커튼 형성 수단의 일례)(211, 212)이 설치된 구성으로 되어 있다.

이들 노즐(211, 212) 중 상류측(본 실시형태에서는 부착판(125a)의 하측)에 위치하는 노즐(211)(제1 노즐(211)이라고 한다)은 부착판(125a)에 대해 고정되어 있다. 이에 대해 하류측(부착판(125a)의 상측)에 위치하는 노즐(212)(제2 노즐(212)이라고 한다)은, 상기 기판 반송로에 대해 접근한 위치와 이간된 위치의 사이 에서 이동 가능(접리(接離) 가능)하게 구성되어 있다. 즉 노즐(212)은 공지의 수단에 의해 부착판(125a)에 대해 슬라이드 가능하게 부착되어 있다. 구체적으로는, 노즐(212)은 에어의 분사 방향(공기 분사 슬릿(21a)에 대해 직교하는 방향)으로 노즐(211)에 대해 평행이동 가능하게 설치되어 있고, 이에 의해 동 도면에 도시한 바와 같이 양 노즐(211, 212)의 노즐 선단이 나란한 위치에 대해, 도 4에 실선으로 나타낸 바와 같이 노즐(212)이 노즐(211)보다도 돌출한 위치와 동 도면 중의 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 노즐(212)이 노즐(211)보다도 후퇴한 위치에 걸쳐 노즐(212)의 배치를 변경(오프셋)할 수 있도록 구성되어 있다.

노즐(212)은, 부착판(125a)에 형성되는 플랫한 안내면을 따라 슬라이드 가능하게 지지되어 있고, 도시는 생략하는데, 공지의 방법, 예를 들면 부착판(125a)에 볼트로 고정되어 있다. 즉, 부착판(125a)의 볼트 삽입통과구멍을 슬라이드 방향으로 장공(長孔)으로 함으로써, 노즐(212)과 부착판(125a)을 사이에 끼고 삽입통과된 볼트를 너트로 조임으로써, 이 장공의 범위 내에서 상기 슬라이드 방향의 임의의 위치에 노즐(212)을 고정할 수 있도록 되어 있다.

이러한 에어 커튼 형성 노즐(21)의 구성에 의하면, 노즐(211, 212)로부터 에어가 분사되어 2중의 에어 커튼이 형성됨으로써 시일성이 향상하여, 자외선 조사부(11)로의 미스트 등의 침입이 보다 확실히 방지된다. 특히, 노즐(212)을 노즐(211)에 대해 오프셋함으로써, 기판(B)에 작용하는 에어압 등을 미묘하게 변화시키는 것이 가능해져, 따라서 기판(B)의 반송 속도 등의 처리 조건에 따른 보다 최적의 에어 커튼을 형성할 수 있어, 그 결과 미스트 등의 자외선 조사부(11)로의 침입 을 보다 확실히 방지할 수 있게 된다.

또한, 도 3, 도 4에 도시한 에어 커튼 형성 노즐(21)에서는, 노즐(212)이 슬라이드 가능하게 구성되어 있는데, 반대로 부착판(125a)에 대해 노즐(211) 쪽을 슬라이드 가능하게 설치한 구성으로 해도 된다. 또, 도 5에 도시한 바와 같이, 부착판(125a)에 대해 양쪽의 노즐(211, 212)을 각각 개별적으로 슬라이드 가능하게 설치한 구성으로 해도 된다. 이렇게 양쪽의 노즐(211, 212)을 슬라이드 가능하게 한 구성에 의하면, 기판(B)에 대한 에어압 등의 조절의 자유도가 향상하기 때문에, 기판(B)의 처리 조건에 따라 보다 시일성이 높은 에어 커튼을 형성할 수 있게 된다는 장점이 있다.

다음에, 본 발명의 다른 실시형태를 설명한다. 도 6은, 커튼 형성 노즐을 개략적으로 도시한 측면도이다. 상술한 기판 처리 장치(1)에서는, 자외선 조사부(11)와 세정 기구(120) 사이의 위치에는, 에어 커튼을 형성하는 에어 커튼 형성 노즐(21)이 설치되어 있었으나, 도 6에 도시한 실시형태에서는, 이것 대신에 에어 커튼 및 액 커튼의 양쪽을 형성하는 커튼 형성부(제1 커튼 형성 수단의 일례)(23)를 상기 위치에 설치하도록 해도 된다.

이 실시형태에서는, 커튼 형성부(23)는, 선단 단부가 기판 반송 방향(A)의 하류측에 소정의 각도로 향해진 부착판(125a)에 부착된, 상술한 액 커튼 형성 노즐(22)과 동등한 성능을 갖는 액 커튼 형성 노즐(액 커튼 형성부)(231)과, 상술한 에어 커튼 형성 노즐(21)과 동등한 성능을 갖는 에어 커튼 형성 노즐(에어 커튼 형성부)(232)을 갖는다. 액 커튼 형성 노즐(231)은, 에어 커튼 형성 노즐(232)보다도 기판 반송 방향(A)에서 하류측, 즉 세정 기구(120)측에 설치되고, 에어 커튼 형성 노즐(232)은, 액 커튼 형성 노즐(231)과 자외선 조사부(11)의 사이에 배치된다.

본 실시형태의 구성에서는, 액 커튼 형성 노즐(231)이 형성하는 액 커튼에 의해, (1) 세정 기구(120)가 발생시키는 미스트를 높은 시일성으로 차단함과 더불어, (2) 에어 커튼 형성부(232)가 형성하는 에어 커튼에 의해, 세정 기구(120)로부터의 미스트를 더욱 확실히 차단하고, 또한 액 커튼 형성 노즐(231)이 형성한 액 커튼의 물방울 등이 자외선 조사부(11)에 침입하는 것을 방지한다. 이에 의해, 자외선 조사부(11)에 물방울 등이 침입하는 것을 방지하면서, 세정 기구(120)로부터의 미스트를 더욱 높은 시일성을 갖고 차단할 수 있다. 또, 세정 기구(120)의 기판 반송 방향(A)에서의 상류에서, 기판(B)에 대해 세정액을 공급하여 액 커튼을 형성하기 때문에, 세정 기구(120)에 의한 세정 전에, 그 사전 준비로서의 세정액을 기판(B)에 공급해 둘 수 있어, 세정 처리의 효율을 높일 수 있다.

또, 기판(B)이 커튼 형성부(23)에 접어든 상태에서, 기판(B)의 반송이 어떠한 사정에 의해 정지한 경우에는, 도시 생략한 제어부가, 에어 커튼 형성 노즐(232)로부터의 공기 분사량을 증대시키는 제어를 행하도록 해도 된다. 예를 들면, 에어 커튼 형성 노즐(232)에 공기를 공급하는 공급로를 2개 설치해 두고, 각 공급로에 각각 설치되는 밸브를, 기판(B)이 정상적으로 반송되고 있는 경우는 어느 1개의 공급로의 밸브를 열어 상기 공급로로부터 공기를 공급하고, 기판(B)이 정지한 경우에는, 2개의 공급로의 양쪽의 밸브를 열어 2개의 공급로로부터 공기를 공급하여, 에어 커튼 형성 노즐(232)에 공급하는 공기량을 늘리도록 한다.

기판(B)이 커튼 형성부(23)에 접어든 상태에서 반송 정지하면, 기판(B)의 주면 상에 존재하는 액이 기판(B)과 함께 하류측으로 반송되지 않게 되므로, 정지 상태의 기판(B)의 주면 상을, 액이 상류측을 향해 이동하는 사태가 발생할 수 있다. 특히, 기판(B)을, 기판 반송 방향에 직교하는 방향으로 기판(B)을 기울인 자세로 반송하고 있는 경우는, 기판(B)의 주면 상의 액이, 하측이 되는 기판(B) 측단부로 흘러, 상기 측단부를 통해 자외선 조사부(11)측에 진입하기 쉬워지는 것을 생각할 수 있다. 이러한 경우에, 에어 커튼 형성 노즐(232)로부터의 공기 분사량을 증대시켜, 커튼의 상류측과 하류측의 차단성을 향상시킴으로써, 기판(B)의 주면 상의 액이 상류측의 자외선 조사부(11)에 진입하는 것을 확실히 방지한다.

상기 기판(B)이 반송 정지된 것으로 해서, 에어 커튼 형성 노즐(232)로부터의 공기 분사량을 증대시키는 타이밍은, (1) 기판(B)이 세정 기구(120)에 진입한 뒤의 경과 시간, 또는 기판(B)이 세정 기구(120)에 진입하고 나서 세정 기구(120)로부터 반출되기까지의 시간이, 도시 생략한 타이머에 의한 카운트로 미리 정해진 시간에 달했을 때, 혹은

(2) 기판 반송 방향에서의 자외선 조사부(11)와 세정 기구(120)의 사이, 즉 커튼 형성부(23)의 근방에 기판 검출 센서(광 센서 등)을 설치하고, 이 센서에 의해 기판(B)의 존재가 검출되어 있는 상태가, 미리 설정한 시간 계속되었을 때로 하면 된다.

또한, 도시는 생략하고 있지만, 도 6에 도시한 상기 커튼 형성부(23)에 대해서도, 도 3, 도 4, 도 5에 도시한 에어 커튼 형성 노즐(21)과 동일하게, 액 커튼 형성 노즐(231) 및 에어 커튼 형성 노즐(232) 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 부착판(125a)에 대해 슬라이드 가능한 구성으로 해도 된다. 이 구성에 의하면, 액 커튼 형성 노즐(231) 또는 에어 커튼 형성 노즐(232)과 기판(B)의 갭 조정을 개별적으로 행하는 것이 가능해지므로, 기판(B)의 처리 조건에 따른 보다 시일성이 높은 커튼을 형성하는 것이 가능해진다.

그런데, 본 발명은 상기 실시형태의 구성에 한정되지 않고 여러가지 변형이 가능하다. 예를 들면, 상기 각 실시형태에서는, 기판 반송 기구(16)에 의한 기판(B)의 반송 자세를 특별히 한정하지 않는데, 기판(B)의 반송 자세는 수평 자세여도, 경사 자세(예를 들면, 기판 반송 방향에 직교하는 방향으로 기판(B)을 기울인 자세 등이다. 단, 상기 경사 자세에 한정한다는 취지는 아니다)여도 무방하다.

또, 상기 실시형태에서는, 에어 커튼 형성 노즐(21) 및 커튼 형성부(23)가, 기판 반송 방향(A)의 하류측을 향하는 커튼을 형성하는 것으로 하고 있으나, 본 발명은 상기 구성에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 기판(B)의 주면에 대해 다른 각도(수직에 가까운 각도 등)로 커튼이 형성되도록 해도 된다.

또, 상기 실시형태에서는, 자외선 조사부(11), 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)는, 기판 반송 기구(16)에 의해 반송되는 1장의 기판(B)에 대해 각 부의 처리를 동시에 실행할 수 있는 위치에 근접시켜 배치되어 있는데, 본 발명은 상기 구성에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 1장의 기판에 대해, 자외선 조사부(11), 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)에 의한 각 처리가 서로 다른 타이밍으로 행해 지도록 하는 것도 가능하다.

또, 상기 실시형태에서는, 기판 반송 기구(16)에 의해 기판(B)을, 자외선 조사부(11), 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)의 각 처리부에 대해 이동시키도록 하고 있는데, 이 대신에, 자외선 조사부(11), 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)를 이동시키는 반송 기구를 설치하고, 이러한 기구에 의해, 기판(B)에 대해, 자외선 조사부(11), 브러시 처리부(12), 이류체 공급부(13), 린스부(14) 및 기체 스프레이부(15)가 이동하는 구성을 채용해도 된다.

또, 상기 실시형태에서는, 액 커튼 형성 노즐(22)이, 이류체 공급부(13) 및 린스부(14)의 사이에 설치되어 있는데, 이 이류체 공급부(13) 및 린스부(14)의 사이에 설치되는 액 커튼 형성 노즐(22)은 설치를 생략하는 것도 가능하다.

또, 상기 실시형태에서는, 드라이 처리부를, 자외선 조사부(11)를 예로 해서 설명하고 있는데, 드라이 처리부는 자외선 조사부(11)에 한정되는 것은 아니며, 상압(常壓) 상태에서 플라즈마화한 가스를 공급하는 플라즈마 처리부나, 오존 가스 공급부 등이어도 본 발명의 적용이 가능하다.

또, 상기 실시형태에서는, 세정 기구(120)에 구비되는 처리부로서, 이류체 공급부(13)를 채용하고 있는데, 이것을 초음파 세정 처리부나, 고압 수류(고압 제트) 처리부 등으로 한 경우라도, 본 발명의 적용이 가능하다. 상기 실시형태에서 나타낸 바와 같이, 액 커튼 형성 노즐(22)에 의한 액 커튼에 의해, 이들 처리부와, 인접하는 다른 처리부를 차단하도록 하면, 이들 처리부가 발생시키는 다량의 미스 트를 효과적으로 차단하여 인접하는 처리부로의 미스트의 침입을 확실히 방지할 수 있다.

또, 도 3, 도 4, 도 5에 도시한 에어 커튼 형성 노즐(21)에서는, 노즐(211, 212)을 상대적으로 평행 이동시키도록 구성되어 있는데, 반드시 평행 이동일 필요는 없다. 단, 실시형태처럼 평행 이동시키는 구성에 의하면, 구조적으로 간단하고, 또 에어의 분사 방향 및 위치를 일정하게 유지한 채로 노즐(211, 212)의 배치를 변경할 수 있으므로, 간단한 구성으로, 에어 커튼의 상태를 양호하게 유지하면서 노즐(212) 등과 기판(B)의 갭 조정을 행할 수 있다는 이점이 있다.

또, 도 3, 도 4, 도 5에 도시한 에어 커튼 형성 노즐(21)은, 1쌍의 노즐(211, 212)을 갖는 구성으로 되어 있는데, 물론 필요에 따라 3개 이상의 노즐을 나란히 설치해 보다 다중의 에어 커튼을 형성하도록 해도 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 기판에 드라이 처리를 실시하는 드라이 처리부와, 상기 드라이 처리부에 인접하게 배치되어, 상기 기판에 액 처리를 실시하기 위한 복수의 액 처리 툴이 서로 인접하게 배치되어 이루어지는 액 처리부와, 상기 드라이 처리부로부터 상기 액 처리부의 각 액 처리 툴에 걸쳐 상기 기판을 상대 이동시키는 이동 경로를 갖는 이동 수단과, 상기 드라이 처리부와 상기 액 처리부의 사이에서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간을, 상기 드라이 처리부측과 상기 액처리부측으로 칸막이하는 에어 커튼을 형성하는 제1 커튼 형성 수단과, 상기 액 처리부 내의 서로 인접된 액 처리 툴 사이의 적어도 하나에서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간을, 기판 이동 방향 상류측과 하류측으로 칸막이하는 액 커튼을 형성하는 제2 커튼 형성 수단을 구비한 것으로 하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 커튼 형성 수단에 의해 형성되는 에어 커튼으로 드라이 처리부와 액 처리부의 사이가 칸막이되고, 또한 액 처리부 내에 배치된 각 액 처리 툴 사이의 적어도 하나에서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간이 제2 커튼 형성 수단에 의해 형성되는 액 커튼으로 칸막이됨으로써, 드라이 처리부에 근접하는 개소에서 에어 커튼으로 칸막이되어, 드라이 처리부로의 물방울 침입이 확실히 방지되고, 또한 웨트 세정 툴이 사용되어 높은 시일 효과가 요구되는 개소에서는 액 커튼으로 높은 시일 효과가 확보된다. 에어 커튼의 형성은, 드라이 처리부의 근접 개소만으로 해서, 에어 커튼 형성용의 설비 및 에어 사용량을 비교적 적게 할 수 있어, 커튼 형성을 위한 비용 저감과, 시일 효과의 향상을 양립시킬 수 있다.

또, 상기 에어 커튼은, 상기 액 처리부측을 향해 경사되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 에어 커튼이 발생하는 기류나 액류는 액 처리부측을 향하게 되어, 미스트나 먼지 등의 드라이 처리부로의 침입이 확실히 방지된다.

또, 상기 제1 커튼 형성 수단은, 상기 이동 경로 상에 있는 상기 기판의 양 주면측에 각각 설치되어 있는 것이 바람직하다. 드라이 처리(예를 들면, 자외선 조사 등)를 행하고 있는 작업 영역에, 액 처리부에서 발생한 미스트가 침입하면 처리 불량을 발생시키는데, 이 구성에 의하면, 드라이 처리부에 근접하는 개소에서는, 기판의 유효부 영역을 포함하는 주면인지 여부에 관계없이, 제1 커튼 형성 수단에 의해 드라이 처리부와 액 처리부의 사이에 에어 커튼이 형성되기 때문에, 드 라이 처리에서의 처리 불량의 발생이 확실히 방지된다.

또, 상기 제1 커튼 형성 수단은, 상기 에어 커튼을 각각 형성하는 복수의 에어 커튼 형성부로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 드라이 처리부와 액 처리부의 사이가 복수의 에어 커튼으로 칸막이됨으로써, 보다 높은 시일성이 달성 가능해진다.

또, 상기 복수의 에어 커튼 형성부 중 적어도 하나는, 상기 이동 경로에 대해 접리 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 필요에 따라 에어 커튼 형성부와 기판의 갭이 변경 가능해져, 그 결과 시일 성능이 조절 가능해진다.

또, 상기 에어 커튼 형성부는 서로 평행한 에어 커튼을 형성하는 것이며, 상기 접리 가능하게 된 상기 에어 커튼 형성부는, 다른 상기 에어 커튼 형성부에 대해 평행 이동하는 것임이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 간단한 구성으로 기판에 대해 에어 커튼 형성부가 상기 이동 경로에 대해 접리 가능하게 되어, 바람직한 에어 커튼이 형성 가능해진다.

또, 상기 제1 커튼 형성 수단은, 상기 드라이 처리부와 상기 액 처리부의 사이에서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간을, 상기 드라이 처리부측과 상기 액 처리부측으로 칸막이하는 액 커튼을, 상기 에어 커튼보다도 상기 액 처리부측에 형성하는 액 커튼 형성부를 갖는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 드라이 처리부와 액 처리부의 사이에, 액 커튼 형성부가 더 설치된다. 이 액 커튼 형성부에서 형성되는 액 커튼에 의해 상기 드라이 처리부와 상기 액 처리부의 사이가 높은 시 일성으로 칸막이된다. 에어 커튼 형성부보다도 액 처리부측에 액 커튼 형성부에 의한 액 커튼이 형성됨으로써, 액 커튼의 물방울이 드라이 처리부에 침입하는 것이 방지된다. 게다가, 액 처리부의 전단계에서 액 커튼이 형성되므로, 액 처리의 사전 준비로서의 액을 기판에 공급하는 역할을 갖게 하여 액 처리의 효율을 높일 수 있어, 액 처리 전에 액을 공급하는 별개의 기구를 설치할 필요를 없애는 것이 가능해진다.

또, 상기 복수의 에어 커튼 형성부 및 상기 액 커튼 형성부 중 적어도 하나는 상기 이동 경로에 대해 접리 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에서는, 필요에 따라 상기 복수의 에어 커튼 형성부 및 상기 액 커튼 형성부의 적어도 하나와 기판의 갭이 변경 가능해져, 그 결과 시일 성능이 조절 가능해진다.

또, 상기 복수의 에어 커튼 형성부 및 상기 액 커튼 형성부는 서로 평행한 에어 커튼 및 액 커튼을 형성하는 것이며, 상기 접리 가능하게 된 상기 에어 커튼 형성부 또는 상기 액 커튼 형성부는, 다른 커튼 형성부에 대해 평행 이동하는 것임이 바람직하다. 이 구성에서는, 간단한 구성으로 기판에 대해 상기 접리 가능하게 된 상기 에어 커튼 형성부 또는 상기 액 커튼 형성부가 다른 커튼 형성부에 대해 평행 이동되어 상기 이동 경로에 대해 접리 가능하게 된다. 이에 의해 바람직한 커튼이 형성 가능해진다.

또, 상기 드라이 처리부 및 상기 액 처리부는, 상기 이동 경로 상에 있는 1장의 기판에 대해 동시에 처리가 가능해지는 치수를 갖는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 드라이 처리부 및 액 처리부에 의한 각 처리가 1장의 기판에 대해 동 시에 실행되게 되므로, 각 처리를 단시간에 종료할 수 있음과 더불어, 상기 기판 처리 장치의 설치 면적을 작게 할 수 있다.

또, 상기 제2 커튼 형성 수단은, 상기 이동 경로 상에 있는 상기 기판의 유효부 영역을 포함하는 주면측에만 설치되어 있는 것이 바람직하다. 기판의 유효부 영역을 포함하는 주면이란, TFT(Thin Film Transistor) 등의 소자나 칼라 필터의 필터 엘리먼트 등이 형성되는 유효부 영역을 포함하는 주면을 말하는데, 세정시의 미스트의 부착으로 처리 불량이 발생하는 것은 상기 유효부 영역 부분이기 때문에, 이 구성에서는, 상기 유효부 영역을 포함하는 주면에 대해서는 액 커튼 형성 수단을 설치하여 미스트 부착에 의한 처리 불량 발생을 확실히 방지하면서, 미스트 부착에 의한 불량이 문제시되지 않는 유효부 영역을 포함하지 않는 주면에는 액 커튼 형성 수단을 설치하지 않도록 해서 설비 비용의 저감을 도모한다.

또, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 기판에 자외선을 조사하는 자외선 조사부와, 상기 기판에 브러시 처리를 실시하는 브러시 처리부와, 상기 기판에 기체와 액체를 포함하는 이류체를 공급하는 이류체 공급부와, 상기 기판의 주면을 헹구는 린스부와, 상기 기판의 주면에 대해 기체를 내뿜는 기체 스프레이부가 차례로 배치되고, 상기 자외선 조사부, 상기 브러시 처리부, 상기 이류체 공급부, 상기 린스부 및 상기 기체 스프레이부에 대해 기판을 상대 이동시키는 이동 수단과, 상기 자외선 조사부와 상기 브러시 처리부의 사이에 에어 커튼을 형성하는 커튼 형성 수단을 구비함과 더불어, 상기 브러시 처리부와 상기 이류체 공급부의 사이에 액 커튼을 형성하는 제1 액 커튼 형성 수단과, 상기 린스부와 기체 스프레이부의 사이에 액 커튼을 형성하는 제2 액 커튼 형성 수단을 적어도 구비하고, 상기 이동 수단에 의해 이동되는 1장의 기판에 대해, 상기 자외선 조사부, 상기 브러시 처리부, 상기 이류체 공급부, 상기 린스부 및 상기 기체 스프레이부에 의한 각 처리를 동시에 실행하는 기판 처리 장치이다.

또한, 본원 명세서 중에서, 어떠한 기능을 달성하는 수단으로서 기재되어 있는 것은, 그들 기능을 달성하는 명세서에 기재된 구성에 한정되지 않고, 그들 기능을 달성하는 유닛, 부분 등의 구성도 포함하는 것이다.

이 구성에서는, 자외선 조사부와 브러시 처리부의 사이를 에어 커튼으로 칸막이하고, 적어도 브러시 처리부와 이류체 공급부의 사이, 및 린스부와 기체 스프레이부의 사이를 액 커튼으로 칸막이함으로써, 드라이 처리가 행해지는 자외선 조사부에 근접하는 개소에서는 에어 커튼에 의해, 자외선 조사부로의 물방울 침입을 확실히 방지하고, 웨트 세정 툴이 사용되어 높은 시일 효과가 요구되는 개소에서는 액 커튼으로 높은 시일 효과를 확보한다. 또, 에어 커튼의 형성은, 자외선 조사부의 근접 개소만으로 해서, 에어 커튼 형성용의 설비 및 에어 사용량을 비교적 적게 했으므로, 에어 커튼 형성에 필요한 비용을 저감할 수 있다. 또, 자외선 조사부, 브러시 처리부, 이류체 공급부, 린스부 및 기체 스프레이부에 의한 각 처리를 1장의 기판에 대해 동시에 실행 가능한 위치에 이들 각 처리부를 배치하므로, 각 처리를 단시간에 종료할 수 있음과 더불어, 상기 기판 처리 장치의 설치 면적을 작게 할 수 있다.

Claims

기판에 드라이 처리를 실시하는 드라이 처리부와,

상기 드라이 처리부에 인접하게 배치되어, 상기 기판에 액(液) 처리를 실시하기 위한 복수의 액 처리 툴이 서로 인접하게 배치되어 이루어지는 액 처리부와,

상기 드라이 처리부로부터 상기 액 처리부의 각 액 처리 툴에 걸쳐 상기 기판을 상대 이동시키는 이동 경로를 갖는 이동 수단과,

상기 드라이 처리부와 상기 액 처리부의 사이에서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간을, 상기 드라이 처리부측과 상기 액 처리부측으로 칸막이하는 에어 커튼을 형성하는 제1 커튼 형성 수단과,

상기 액 처리부 내의 서로 인접된 액 처리 툴 사이의 적어도 하나에서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간을, 기판 이동 방향 상류측과 하류측으로 칸막이하는 액 커튼을 형성하는 제2 커튼 형성 수단을 구비한 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 에어 커튼은 상기 액 처리부측을 향해 경사되어 있는 것인, 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 제1 커튼 형성 수단은 상기 이동 경로 상에 있는 상기 기판의 양 주면 측에 각각 설치되어 있는, 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 제1 커튼 형성 수단은 상기 에어 커튼을 각각 형성하는 복수의 에어 커튼 형성부로 이루어지는, 기판 처리 장치.
청구항 4에 있어서,

상기 복수의 에어 커튼 형성부 중 적어도 하나는 상기 이동 경로에 대해 접리(接離) 가능하게 구성되어 있는, 기판 처리 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 에어 커튼 형성부는 서로 평행한 에어 커튼을 형성하는 것이며, 상기 접리 가능하게 된 상기 에어 커튼 형성부는 다른 상기 에어 커튼 형성부에 대해 평행 이동하는, 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 제1 커튼 형성 수단은, 상기 드라이 처리부와 상기 액 처리부의 사이에 서의 상기 이동 경로를 포함하는 공간을 상기 드라이 처리부측과 상기 액 처리부측으로 칸막이하는 액 커튼을, 상기 에어 커튼보다도 상기 액 처리부측에 형성하는 액 커튼 형성부를 갖는 기판 처리 장치.
청구항 7에 있어서,

상기 복수의 에어 커튼 형성부 및 상기 액 커튼 형성부 중 적어도 하나는 상기 이동 경로에 대해 접리 가능하게 구성되어 있는, 기판 처리 장치.
청구항 8에 있어서,

상기 복수의 에어 커튼 형성부 및 상기 액 커튼 형성부는 서로 평행한 에어 커튼 및 액 커튼을 형성하는 것이며, 상기 접리 가능하게 된 상기 에어 커튼 형성부 또는 상기 액 커튼 형성부는 다른 커튼 형성부에 대해 평행 이동하는, 기판 처리 장치.
청구항 1 내지 8 중 어느 한 항에 있어서,

상기 드라이 처리부 및 상기 액 처리부는, 상기 이동 수단에 의해 이동되는 1장의 기판에 대해 그 이동 방향에서의 서로 다른 개소에서 동시에 처리가 가능해지도록 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 제2 커튼 형성 수단은 상기 이동 경로 상에 있는 상기 기판의 유효부 영역을 포함하는 주면측에만 설치되어 있는, 기판 처리 장치.
기판에 자외선을 조사하는 자외선 조사부와,

상기 기판에 브러시 처리를 실시하는 브러시 처리부와,

상기 기판에 기체와 액체를 포함하는 이류체(二流體)를 공급하는 이류체 공급부와,

상기 기판의 주면을 헹구는 린스부와,

상기 기판의 주면에 대해 기체를 내뿜는 기체 스프레이부가 차례로 배치되고,

상기 자외선 조사부, 상기 브러시 처리부, 상기 이류체 공급부, 상기 린스부 및 상기 기체 스프레이부에 대해 기판을 상대 이동시키는 이동 수단과,

상기 자외선 조사부와 상기 브러시 처리부의 사이에 에어 커튼을 형성하는 커튼 형성 수단을 구비함과 더불어,

상기 브러시 처리부와 상기 이류체 공급부의 사이에 액 커튼을 형성하는 제1액 커튼 형성 수단과,

상기 린스부와 기체 스프레이부의 사이에 액 커튼을 형성하는 제2 액 커튼 형성 수단을 적어도 구비하고,

상기 이동 수단에 의해 이동되는 1장의 기판에 대해, 그 이동 방향에서의 서로 다른 개소에서, 상기 자외선 조사부, 상기 브러시 처리부, 상기 이류체 공급부, 상기 린스부 및 상기 기체 스프레이부에 의한 각 처리를 동시에 실행하는 기판 처리 장치.