KR19980066508A - PDP(Plasma Display Panel)용 박리장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 PDP(Plasma Display Panel)의 표시전극과 격벽 형성시 전면기판 상의 잔존 포토레지스트(photoresist)와 배면기판 상의 잔존 드라이 필름(dry film)을 모두 제거할 수 있는 PDP용 박리장치 및 그 방법에 관한 것으로서, PDP의 표시전극과 격벽 제조시 전면기판 상의 잔존 포토레지스트 제거를 위한 박리조와, 배면기판 상의 잔존 드라이 필름 제거를 위한 박리조 및 중화조와, 나머지 공용 공정(순수 샤워, 순수 린스, 건조)을 위한 장비와, 상기 박리조 내부에 장착된 순수 분사 노즐과, 상기 박리조와 중화조의 기판 입·출구 및 순수 샤워부의 기판 입구에 각각 장착된 에어 커튼을 구비하여 잔존 포토레지스트 박리공정과 잔존 드라이 필름 박리공정을 함께 수행할 수 있기 때문에 전체 PDP 제조라인을 크게 줄일 수 있어 비용 절감 및 설치 공간 감소를 가능하게 하는 효과가 있다.

Description

PDP(Plasma Display Panel)용 박리장치 및 그 방법
본 발명은 PDP(Plasma Display Panel)용 박리장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 PDP의 표시전극과 격벽 형성시 전면기판 상의 잔존 포토레지스트(photoresist)와 배면기판 상의 잔존 드라이 필름(dry film)을 모두 제거할 수 있는 PDP용 박리장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 PDP는 각 방전 셀의 내부에서 일어나는 기체 방전 현상을 이용하여 화상을 표시하는 발광형 소자의 일종으로서, 제조공정이 간단하고, 화면의 대형화가 용이하며, 응답속도가 빨라 대형 화면을 가지는 직시형 화상 표시장치 특히, HDTV(High Definition TeleVision) 시대를 지향한 화상 표시장치의 표시소자로 각광받고 있다.
일반적인 PDP 중 하나는 도 1에 도시된 바와 같이 화상의 표시면인 전면기판(1)과, 상기 전면기판(1)과 소정 거리를 사이에 두고 평행하게 위치한 배면기판(2)과, 상기 전면기판(1)과 배면기판(2) 사이에 스트라이프형으로 배열 형성되어 방전공간을 형성하는 복수개의 격벽(3)과, 상기 전면기판(1) 중 배면기판(2)과의 대향면에 상기 격벽(3)과 직교하도록 스트라이프형으로 배열 형성되어 상기 격벽(3)과 함께 전체 화면을 매트릭스 형태의 복수개 셀로 구분하는 복수개의 표시전극(4)과, 상기 각 격벽(3) 사이의 배면기판(2) 위에 상기 격벽(3)과 평행하게 형성되어 상기 복수개의 표시전극(4)과 함께 방전을 일으키는 복수개의 어드레스전극(5)과, 상기 방전공간 내부의 배면기판(2)과 격벽(3)과 어드레스전극(5) 위에 각각 형성되어 각 셀의 방전시 자외선에 의해 여기되어 가시광을 방출하는 복수개의 형광체층(6)이 구비되어 있고, 상기 각 방전공간 내부에는 방전가스가 주입되어 있다.
상기와 같이 구성된 PDP는 전면기판(1) 상에 표시전극(4)이 형성되고, 배면기판(2) 상에 격벽(3)과 어드레스전극(5)과 형광체층(6)이 각각 형성되면 상기 전면기판(1)과 배면기판(2)을 조립한 다음 그 내부에 방전가스를 채워 테두리를 밀봉함으로써 제조된다.
상기와 같은 제조과정 중 전면기판(1) 상에 표시전극(4)이 형성되는 과정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 전면기판(1) 위에 표시전극 재료(4a)를 0.1∼3.0㎛ 두께로 코팅하고(Ⅰ), 상기 표시전극 재료(4a) 위에 포토레지스트(11)를 0.8∼3.0㎛ 두께로 코팅한다(Ⅱ).
상기에서 포토레지스트(11)의 코팅이 완료되면 마스크(12)를 이용하여 상기 포토레지스트(11) 위에 광(13)을 선택적으로 조사한다(Ⅲ - 노광공정). 이 때, 상기 포토레지스트(11) 중 광(13)이 조사된 부분과 조사되지 않은 부분의 화학적 조성이 달라지게 된다.
그 후, 현상액 공급 노즐(14)을 이용하여 포토레지스트(11) 위에 현상액(14a)을 공급하면 상기 포토레지스트(11) 중 바로 전의 노광공정(Ⅲ)에서 광(13)이 조사된 부분만 남아 있게 되고 나머지 부분은 현상액(14a)에 의해 제거된다(Ⅳ - 현상공정).
상기에서 포토레지스트(11)의 부분적 제거가 완료되면 에칭액 공급 노즐(15)을 이용하여 부분적으로 포토레지스트(11)가 남아 있는 표시전극 재료(4a) 위에 에칭액(15a)을 공급한다. 이 때, 상기 표시전극 재료(4a) 중 잔존 포토레지스트(11) 아래에 있는 부분은 에칭액(15a)으로부터 보호되어 남아 있게 되고 나머지 부분은 상기 에칭액(15a)에 의해 제거된다(Ⅴ - 에칭공정).
그 후, 상기 전면기판(1) 상의 잔존 포토레지스트(11)를 박리시키면(Ⅵ - 박리공정) PDP의 표시전극 형상(4a)이 완성된다(Ⅶ).
아울러, 상기와 같은 제조과정 중 배면기판(2) 상에 격벽(3)이 형성되는 과정을 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 배면기판(2) 위에 격벽 재료(3a)를 100∼200㎛ 두께로 코팅하고(Ⅰ), 상기 격벽 재료(3a) 위에 드라이 필름(21)을 15∼100㎛ 두께로 코팅한다(Ⅱ).
상기에서 드라이 필름(21)의 코팅이 완료되면 마스크(22)를 이용하여 상기 드라이 필름(21) 위에 광(23)을 선택적으로 조사한다. 이 때, 상기 드라이 필름(21) 중 광(23)이 조사된 부분과 조사되지 않은 부분의 화학적 조성이 달라지게 된다(Ⅲ - 노광공정).
그 후, 현상액 공급 노즐(24)을 이용하여 드라이 필름(21) 위에 현상액(24a)을 공급하면 상기 드라이 필름(21) 중 바로 전의 노광공정(Ⅲ)에서 광(23)이 조사된 부분만 남아 있게 되고 나머지 부분은 제거된다. 여기서, 상기 드라이 필름(21)의 두께는 매우 두꺼워 현상액(24a)에 녹지 않으므로 상기 현상액(24a)을 이용하여 상기 드라이 필름(21)과 격벽 재료(3a)간의 표면 접착력을 저하시킨 다음 불필요한 드라이 필름(21)을 벗겨내어야 한다(Ⅳ - 현상공정).
상기에서 드라이 필름(21)의 부분적 제거가 완료되면 연마재 분사 노즐(25)을 이용하여 부분적으로 드라이 필름(21)이 남아 있는 격벽 재료(3a) 위에 연마재(25a)를 분사한다. 이 때, 상기 격벽 재료(3a) 중 잔존 드라이 필름(21)의 아래에 있는 부분은 연마재(25a)로부터 보호되어 남아 있게 되고 나머지 부분은 상기 연마재(25a)에 의해 제거된다(Ⅴ - 샌드블라스트(sandblast)공정).
그 후, 상기 배면기판(2) 상의 잔존 드라이 필름(21)을 박리시키면(Ⅵ - 박리공정) PDP의 격벽 형상(3a)이 완성된다(Ⅶ).
한편, 상기에서 전면기판(1) 상의 잔존 포토레지스트(11)와 배면기판(2) 상의 잔존 드라이 필름(21)은 도 4와 도 6에 도시된 장치에 의해 도 5와 도 7에 도시된 과정을 거쳐 각각 박리된다.
즉, 종래 기술에 의한 잔존 포토레지스트 박리장치는 도 4에 도시된 바와 같이 전면기판(1)이 로딩(loading)되면 전체 라인을 따라 이송시키는 롤러(roller, 31)와,
상기 롤러(31)를 따라 이송된 상기 전면기판(1)측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 잔존 포토레지스트를 제거하는 박리조(32)와,
상기 롤러(31)를 따라 상기 박리조(32)를 거쳐 이송된 전면기판(1)측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시키는 순수 샤워부(33)와,
상기 롤러(31)를 따라 상기 순수 샤워부(33)를 거쳐 이송된 전면기판(1)측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판(1)상의 포토레지스트 제거용 박리액을 완전히 제거하는 순수 린스부(34)와,
상기 롤러(31)를 따라 상기 순수 린스부(34)를 거쳐 이송된 전면기판(1)측으로 에어를 분사하여 상기 전면기판(1)의 표면을 건조시키는 건조부(35)로 구성된다.
상기 박리조(32)는 포토레지스트 제거용 박리액에 영향을 받지 않는 스테인레스(stainless)로 구성된다.
상기에서 박리조(32) 내부에는 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하는 포토레지스트 제거용 박리액 분사 노즐(32a)이 장착되어 있고, 순수 샤워부(33)와 순수 린스부(34) 내부에는 제 1, 2 순수 분사 노즐(33a, 34a)이 각각 장착되어 있으며, 건조부(35) 내부에는 에어를 분사하는 에어 나이프(air knife, 35a)가 장착되어 있다.
또한, 상기 롤러(31) 상의 기판 로딩측과 박리조(32) 사이 및 상기 박리조(32)와 순수 샤워부(33) 사이에는 상기 박리조(32) 내부에서 전면 기판(1)측으로 분사되는 포토레지스트 제거용 박리액이 상기 기판 로딩측이나 순수 샤워부(33)측으로 넘어가는 것을 방지하기 위한 제 1, 2 여유공간(neutral, 36, 37)이 각각 확보되어 있다.
상기와 같이 구성된 잔존 포토레지스트 박리장치를 이용한 잔존 포토레지스트 박리과정을 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 잔존 포토레지스트가 박리되어야 할 전면기판(1)이 롤러(31) 상에 로딩되면 상기 롤러(31)는 로딩된 전면기판(1)을 제 1 여유공간(36)을 거쳐 박리조(32)측으로 이송시킨다.
상기에서 전면기판(1)이 박리조(32) 내부로 이송되면 상기 박리조(32) 내부에 장착된 포토레지스트 제거용 박리액 분사 노즐(32a)이 상기 전면기판(1)측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 잔존 포토레지스트를 제거한다. 여기서, 상기 포토레지스트 제거용 박리액은 사용된 포토레지스트의 종류에 따라 NMP(Normal-Methyl-2Pyrolidone)에 여러 가지 화학물질(amine, di propylene glycol 등)을 적당히 혼합하여 사용한다.
그 후, 상기 전면기판(1)은 롤러(31)를 따라 제 2 여유공간(37)을 거쳐 순수 샤워부(33)로 이송된다.
상기에서 전면기판(1)이 순수 샤워부(33) 내부로 이송되면 상기 순수 샤워부(33) 내부에 장착된 제 1 순수 분사 노즐(33a)이 전면기판(1)측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시킨다.
그 후, 상기 전면기판(1)이 롤러(31)를 따라 순수 샤워부(33)에서 순수 린스부(34)로 이송되면 상기 순수 린스부(34) 내부에 장착된 제 2 순수 분사 노즐(34a)이 전면기판(1)측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액을 완전히 제거한다.
상기에서 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액 제거가 완료되어 상기 전면기판(1)이 롤러(31)를 따라 건조부(35)로 이송되면 상기 건조부(35) 내부에 장착된 에어 나이프(35a)가 전면기판(1)측으로 에어를 분사하여 상기 전면기판(1)의 표면에 남아 있는 순수를 강제로 밀어냄으로써 그 표면을 건조시킨다.
그 후, 상기 전면기판(1)이 롤러(31)를 따라 건조부(35)로부터 배출되면 작업자가 상기 롤러(31)로부터 상기 전면기판(1)을 취출한다. 따라서, 상기 전면기판(1) 상에는 표시전극의 형상만 남아 있게 된다.
또한, 종래 기술에 의한 잔존 드라이 필름 박리장치는 도 6에 도시된 바와 같이 배면기판(2)이 로딩되면 전체 라인을 따라 이송시키는 롤러(41)와,
상기 롤러(41)를 따라 이송된 상기 배면기판(2)측으로 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 잔존 드라이 필름을 제거하는 박리조(42)와,
상기 롤러(41)를 따라 상기 박리조(42)를 거쳐 이송된 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 희석시키는 제 1 순수 샤워부(43)와,
상기 롤러(41)를 따라 상기 제 1 순수 샤워부(43)를 거쳐 이송된 배면기판(2)측으로 중화액을 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시키는 중화조(44)와,
상기 롤러(41)를 따라 상기 중화조(44)를 거쳐 이송된 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 중화액을 희석시키는 제 2 순수 샤워부(45)와,
상기 롤러(41)를 따라 상기 제 2 순수 샤워부(45)를 거쳐 이송된 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 중화액을 완전히 제거하는 순수 린스부(46)와,
상기 롤러(41)를 따라 상기 순수 린스부(46)를 거쳐 이송된 배면기판(2)측으로 에어를 분사하여 상기 배면기판(2)의 표면을 건조시키는 건조부(47)로 구성된다.
상기 박리조(42)는 드라이 필름 제거용 박리액에 영향을 받지 않는 PVC(PolyVinyl Chloride)로 구성된다.
상기에서 박리조(42) 내부에는 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하는 드라이 필름 제거용 박리액 분사 노즐(42a)이 장착되어 있고, 제 1, 2 순수 샤워부(43, 45) 및 순수 린스부(46) 내부에는 순수를 분사하는 제 1, 2, 3 순수 분사 노즐(43a, 45a, 46a)이 각각 장착되어 있고, 중화조(44) 내부에는 중화액을 분사하는 중화액 분사 노즐(44a)이 장착되어 있으며, 건조부(47) 내부에는 에어를 분사하는 에어 나이프(47a)가 장착되어 있다.
또한, 상기 롤러(41) 상의 기판 로딩측과 박리조(42) 사이 및 상기 박리조(42)와 제 1 순수 샤워부(43) 사이에는 상기 박리조(42) 내부에서 배면기판(2)측으로 분사되는 드라이 필름 제거용 박리액이 상기 기판 로딩측이나 제 1 순수 샤워부(43)측으로 넘어가는 것을 방지하기 위한 제 1, 2 여유공간(48, 49)이 각각 확보되어 있고,
상기 제 1 순수 샤워부(43)와 중화조(44) 사이 및 상기 중화조(44)와 제 2 순수 샤워부(45) 사이에는 상기 중화조(44) 내부에서 배면기판(2)측으로 분사되는 중화액이 상기 제 1 순수 샤워부(43)나 제 2 순수 샤워부(45)측으로 넘어가는 것을 방지하기 위한 제 3, 4 여유공간(50, 51)이 각각 확보되어 있다.
상기와 같이 구성된 잔존 드라이 필름 박리장치를 이용한 잔존 드라이 필름 박리과정을 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 잔존 드라이 필름이 박리되어야 할 배면기판(2)이 롤러(41) 상에 로딩되면 상기 롤러(41)는 로딩된 배면기판(2)을 제 1 여유공간(48)을 거쳐 박리조(42)측으로 이송시킨다.
상기에서 배면기판(2)이 박리조(42) 내부로 이송되면 상기 박리조(42) 내부에 장착된 드라이 필름 제거용 박리액 분사 노즐(42a)이 배면기판(2)측으로 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 잔존 드라이 필름을 제거한다. 여기서, 상기 드라이 필름 제거용 박리액은 주로 수산화나트륨(NaOH)을 순수와 혼합하여 사용한다.
그 후, 상기 배면기판(2)은 롤러(41)를 따라 제 2 여유공간(49)을 거쳐 제 1 순수 샤워부(43)로 이송된다.
상기에서 배면기판(2)이 제 1 순수 샤워부(43) 내부로 이송되면 상기 제 1 순수 샤워부(43) 내부에 장착된 제 1 순수 분사 노즐(43a)이 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 희석시킨다.
그 후, 상기 배면기판(2)이 롤러(41)를 따라 제 3 여유공간(50)을 거쳐 중화조(44)로 이송되면 상기 중화조(44) 내부에 장착된 중화액 분사 노즐(44a)이 배면기판(2)측으로 중화액을 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시켜 중성으로 바꾸어 준다. 이 때, 상기 중화액은 주로 황산이나 염산을 순수와 혼합하여 사용한다.
상기에서 배면기판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액 중화가 완료되어 상기 배면기판(2)이 롤러(41)를 따라 제 4 여유공간(51)을 거쳐 제 2 순수 샤워부(45)로 이송되면 상기 제 2 순수 샤워부(45) 내부에 장착된 제 2 순수 분사 노즐(45a)이 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 중화액을 최대한 희석시킨다.
그 후, 상기 배면기판(2)이 롤러(41)를 따라 제 2 순수 샤워부(45)에서 순수 린스부(46)로 이송되면 상기 순수 린스부(46) 내부에 장착된 제 3 순수 분사 노즐(46a)이 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 중화액을 완전히 제거한다.
상기에서 배면기판(2)상의 중화액 제거가 완료되어 상기 배면기판(2)이 롤러(41)를 따라 건조부(47)로 이송되면 상기 건조부(47) 내부에 장착된 에어 나이프(47a)가 배면기판(2)측으로 에어를 분사하여 상기 배면기판(2)의 표면에 남아 있는 순수를 강제로 밀어냄으로써 그 표면을 건조시킨다.
그 후, 상기 배면기판(2)이 롤러(41)를 따라 건조부(47)로부터 배출되면 작업자가 상기 롤러(41)로부터 상기 배면기판(2)을 취출한다. 따라서, 상기 배면기판(2) 상에는 격벽의 형상만 남아 있게 된다.
상기와 같이 종래에는 PDP의 제조시 전면기판 상의 잔존 포토레지스트를 제거하기 위한 잔존 포토레지스트 박리장치와 배면기판 상의 잔존 드라이 필름을 제거하기 위한 잔존 드라이 필름 박리장치가 각각 구성되어 있기 때문에 PDP의 제조라인이 길어 많은 설치공간을 필요로 하고, 장치의 구성에 많은 비용이 드는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, PDP의 표시전극 및 격벽 제조시 잔존 포토레지스트 박리공정과 잔존 드라이 필름 박리공정을 모두 수행할 수 있는 PDP용 박리장치 및 그 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 일반적인 PDP(Plasma Display Panel)의 구조를 나타내는 분리 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 PDP의 표시전극 형성과정을 나타내는 도면,
도 3은 도 1에 도시된 PDP의 격벽 형성과정을 나타내는 도면,
도 4는 종래 기술에 의한 잔존 포토레지스트 박리장치의 간략화된 구성을 나타내는 도면,
도 5는 도 4의 장치를 이용한 잔존 포토레지스트 박리과정을 나타내는 도면,
도 6은 종래 기술에 의한 잔존 드라이 필름 박리장치의 간략화된 구성을 나타내는 도면,
도 7은 도 6의 장치를 이용한 잔존 드라이 필름 박리과정을 나타내는 도면,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 PDP용 박리장치의 간략화된 구성을 나타내는 도면,
도 9a는 도 8에 도시된 에어 커튼의 단면도,
도 9b는 도 9에 도시된 에어 커튼의 사시도,
도 10은 도 8에 도시된 A 부분의 확대도,
도 11은 도 8의 장치를 이용한 잔존 포토레지스트 및 잔존 드라이 필름 박리과정을 나타내는 도면.
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1: 전면기판 2: 배면기판
101: 롤러(roller) 102: 제 1 박리조
103: 제 2 박리조 104: 중화조
105: 순수 샤워부 106: 순수 린스부
107: 건조부 108: 여유공간(neutral)
111 내지 117: 제 1 내지 7 에어 커튼(air curtain)
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 PDP용 박리장치는 전면기판 또는 배면기판이 로딩(loading)되면 전체 라인을 따라 이송시키는 기판 이송부와,
상기 기판 이송부를 따라 이송된 상기 전면기판측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 전면기판 상의 잔존 포토레지스트(photoresist)를 제거한 후 순수를 분사하여 상기 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시키는 제 1 박리조와,
상기 기판 이송부를 따라 이송된 상기 배면기판측으로 드라이 필름(dry film) 제거용 박리액을 분사하여 상기 배면기판 상의 잔존 드라이 필름을 제거한 후 순수를 분사하여 상기 드라이 필름 제거용 박리액을 희석시키는 제 2 박리조와,
상기 기판 이송부를 따라 상기 제 2 박리조를 거쳐 이송된 배면기판측으로 중화액을 분사하여 상기 배면기판 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시키는 중화조와,
상기 기판 이송부를 따라 상기 제 1 박리조를 거쳐 이송된 전면기판이나 상기 중화조를 거쳐 이송된 배면기판측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판 상의 중화액을 희석시키는 순수 샤워부와,
상기 기판 이송부를 따라 상기 순수 샤워부를 거쳐 이송된 전면기판이나 배면기판측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판 상의 중화액을 제거하는 순수 린스부와,
상기 기판 이송부를 따라 상기 순수 린스부를 거쳐 이송된 전면기판이나 배면기판측으로 에어(air)를 분사하여 상기 전면기판이나 배면기판의 표면을 건조시키는 건조부로 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면 상기 기판 이송부 상의 기판 로딩측과 제 1 박리조 사이에는 상기 제 1 박리조 내부에서 상기 전면기판측으로 분사되는 포토레지스트 제거용 박리액 및 순수가 상기 기판 로딩측으로 넘어가는 것을 방지하기 위한 여유공간이 확보되어 있다.
또한, 상기 제 1 박리조 내부에는 상기 포토레지스트 제거용 분사액이나 순수가 상기 전면기판측으로 분사될 때 상기 전면기판의 양측단부에 각각 에어를 분사하여 상기 포토레지스트 제거용 분사액이나 순수가 상기 제 1 박리조 외부로 유출되는 것을 방지하는 에어 커튼(air curtain)이 각각 장착되고,
상기 제 2 박리조 내부에는 상기 드라이 필름 제거용 분사액이나 순수가 상기 배면기판측으로 분사될 때 상기 배면기판의 양측단부에 각각 에어를 분사하여 상기 드라이 필름 제거용 분사액이나 순수가 상기 제 2 박리조 외부로 유출되는 것을 방지하는 에어 커튼이 각각 장착되고,
상기 중화조 내부에는 상기 중화액이 상기 배면기판측으로 분사될 때 상기 배면기판의 양측단부에 각각 에어를 분사하여 상기 중화액이 상기 중화조 외부로 유출되는 것을 방지하는 에어 커튼이 각각 장착되며,
상기 순수 샤워부 내부에는 상기 순수가 상기 전면기판이나 배면기판측으로 분사될 때 상기 전면기판이나 배면기판의 상기 중화조측 일단부에 에어를 분사하여 상기 순수가 상기 중화조측으로 유출되는 것을 방지하는 에어 커튼이 장착되는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 제 1 박리조 내부에는 상기 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하는 포토레지스트 제거용 박리액 분사 노즐과, 상기 순수를 분사하는 순수 분사 노즐이 각각 장착되고;
상기 제 2 박리조 내부에는 상기 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하는 드라이 필름 제거용 박리액 분사 노즐과, 상기 순수를 분사하는 순수 분사 노즐이 각각 장착되는 것이 바람직하다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 PDP용 박리방법은 전면기판이 이송되면 상기 전면기판측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 전면기판 상의 잔존 포토레지스트를 제거한 다음 순수를 분사하여 상기 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시키고, 배면기판이 이송되면 처리 없이 배출하는 제 1 박리공정과;
상기 제 1 박리공정을 거친 배면기판이 이송되면 상기 배면기판측으로 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하여 상기 배면기판 상의 잔존 드라이 필름을 제거한 다음 순수를 분사하여 상기 드라이 필름 제거용 박리액을 희석시키고, 전면기판이 이송되면 처리 없이 배출하는 제 2 박리공정과;
상기 제 2 박리공정을 거친 배면기판이 이송되면 상기 배면기판측으로 중화액을 분사하여 상기 배면기판 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시키고, 전면기판이 이송되면 처리 없이 배출하는 중화공정과;
상기 중화공정을 거친 전면기판이나 배면기판이 이송되면 상기 전면기판이나 배면기판측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판 상의 중화액을 희석시키는 순수 샤워공정과;
상기 순수 샤워공정을 거친 전면기판이나 배면기판이 이송되면 상기 전면기판이나 배면기판측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판 상의 중화액을 제거하는 순수 린스공정과;
상기 순수 린스공정을 거친 상기 전면기판이나 배면기판이 이송되면 상기 전면기판이나 배면기판측으로 에어를 분사하여 상기 전면기판이나 상기 배면기판의 표면을 건조시키는 건조공정으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 의한 PDP용 박리장치 및 그 방법의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 PDP 제조시의 잔존 포토레지스트와 잔존 드라이 필름 박리장치는 도 8에 도시된 바와 같이 전면기판(1) 또는 배면기판(2)이 로딩되면 전체 라인을 따라 이송시키는 롤러(101)와,
상기 롤러(101)를 따라 이송된 상기 전면기판(1)측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 잔존 포토레지스트를 제거한 후 순수를 분사하여 상기 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시키는 제 1 박리조(102)와,
상기 롤러(101)를 따라 이송된 상기 배면기판(2)측으로 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 잔존 드라이 필름을 제거한 후 순수를 분사하여 상기 드라이 필름 제거용 박리액을 희석시키는 제 2 박리조(103)와,
상기 롤러(101)를 따라 상기 제 2 박리조(103)를 거쳐 이송된 배면기판(2)측으로 중화액을 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시키는 중화조(104)와,
상기 롤러(101)를 따라 상기 제 1 박리조(102)를 거쳐 이송된 전면기판(1)이나 상기 중화조(104)를 거쳐 이송된 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판(2) 상의 중화액을 희석시키는 순수 샤워부(105)와,
상기 롤러(101)를 따라 상기 순수 샤워부(105)를 거쳐 이송된 전면기판(1)이나 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판(1)상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판(2) 상의 중화액을 제거하는 순수 린스부(106)와,
상기 롤러(101)를 따라 상기 순수 린스부(106)를 거쳐 이송된 전면기판(1)이나 배면기판(2)측으로 에어를 분사하여 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)의 표면을 건조시키는 건조부(107)로 구성된다.
상기 롤러(101) 상의 기판 로딩측과 제 1 박리조(102) 사이에는 상기 제 1 박리조(102) 내부에서 상기 전면기판(1)측으로 분사되는 포토레지스트 제거용 박리액 및 순수가 상기 기판 로딩측으로 넘어가는 것을 방지하기 위한 여유공간(neutral, 108)이 확보되어 있다.
또한, 상기 제 1 박리조(102) 내부에는 포토레지스트 제거용 분사액이나 순수가 전면기판(1)측으로 분사될 때 상기 전면기판(1)의 양측단부에 각각 에어를 분사하여 상기 포토레지스트 제거용 분사액이나 순수가 상기 제 1 박리조(102) 외부로 유출되는 것을 방지하는 제 1, 2 에어 커튼(air curtain, 111, 112)이 각각 장착되어 있고,
상기 제 2 박리조(103) 내부에는 드라이 필름 제거용 분사액이나 순수가 배면기판(2)측으로 분사될 때 상기 배면기판(2)의 양측단부에 각각 에어를 분사하여 상기 드라이 필름 제거용 분사액이나 순수가 상기 제 2 박리조(103) 외부로 유출되는 것을 방지하는 제 3, 4 에어 커튼(113, 114)이 각각 장착되어 있고,
상기 중화조(104) 내부에는 중화액이 배면기판(2)측으로 분사될 때 상기 배면기판(2)의 양측단부에 각각 에어를 분사하여 상기 중화액이 상기 중화조(104) 외부로 유출되는 것을 방지하는 제 5, 6 에어 커튼(115, 116)이 각각 장착되어 있으며,
상기 순수 샤워부(105) 내부에는 순수가 전면기판(1)이나 배면기판(2)측으로 분사될 때 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)의 상기 중화조(104)측 일단부에 에어를 분사하여 상기 순수가 상기 중화조(104)측으로 유출되는 것을 방지하는 제 7 에어 커튼(117)이 장착되어 있다.
아울러, 상기 제 1 박리조(102) 내부에는 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하는 포토레지스트 제거용 박리액 분사 노즐(102a)과, 순수를 분사하는 제 1 순수 분사 노즐(102b)이 각각 장착되어 있고;
상기 제 2 박리조(103) 내부에는 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하는 드라이 필름 제거용 박리액 분사 노즐(103a)과, 순수를 분사하는 제 2 순수 분사 노즐(103b)이 각각 장착되어 있고;
상기 중화조(104) 내부에는 중화액을 분사하는 중화액 분사 노즐(104a)이 장착되어 있고;
상기 순수 샤워부(105)와 순수 린스부(106) 내부에는 순수를 분사하는 제 3, 4 순수 분사 노즐(105a, 106a)이 각각 장착되어 있으며;
상기 건조부(107) 내부에는 에어를 분사하는 에어 나이프(107a)가 장착되어 있다.
상기에서 제 1 박리조(102)는 종래 기술과 같이 포토레지스트 제거용 박리액에 영향을 받지 않는 스테인레스로 구성되고, 제 2 박리조(103) 역시 드라이 필름 제거용 박리액에 영향을 받지 않는 PVC로 구성된다.
상기에서 제 1 내지 7 에어 커튼(111 내지 117)은 모두 동일한 형상으로 형성되어 있다. 이에 도 9a, 9b 및 도 10에 도시된 중화조(104) 내부의 제 6 에어 커튼(116)을 참조하여 그 형상 및 작동을 설명하기로 한다.
상기 제 6 에어 커튼(116)은 도 9a, 9b에 도시된 바와 같이 에어가 공급되는 에어 공급관(116a)이 형성되어 있고, 그 반대측에 상기 에어 공급관(116a)측으로 공급된 에어의 출구가 되는 슬릿(116b)이 형성되어 있으며, 도 10에 도시된 바와 같이 중화액 분사 노즐(104a)이 배면기판(2)측으로 중화액을 분사할 때 제 6 에어 커튼(116, 116')의 에어 공급관(116a, 116a')측으로 공급된 에어가 슬릿(116b, 116b')을 통과하여 배면기판(2)의 일측 단부로 분사되면 상기 중화액이 순수 샤워부(105)측으로 유출되는 것을 방지하는 일종의 차단막이 형성된다.
따라서, 상기 중화조(104)와 순수 샤워부(105) 사이에 종래 기술과 같이 별도의 여유공간이 확보될 필요가 없다. 아울러, 상기 롤러(101) 상의 기판 로딩측과 제 1 박리조(102) 사이에 확보된 여유공간(108)도 제 1 에어 커튼(111)으로 인해 최소한(보통 200∼300mm 정도)으로 가져갈 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 의한 PDP용 박리장치를 이용한 잔존 포토레지스트 및 잔존 드라이 필름 박리과정을 도 11을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 잔존 포토레지스트가 박리되어야 할 전면기판(1)이나 잔존 드라이 필름이 박리되어야 할 배면기판(2)이 롤러(101) 상에 로딩되면 상기 롤러(101)는 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)을 여유공간(108)을 거쳐 제 1 박리조(102)로 이송시킨다.
상기에서 전면기판(1)이 제 1 박리조(102) 내부로 이송되면 상기 제 1 박리조(102) 내부에 장착된 포토레지스트 제거용 박리액 분사 노즐(102a)이 상기 전면기판(1)측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 잔존 포토레지스트를 제거하고, 상기 잔존 포토레지스트의 제거가 완료되면 상기 포토레지스트 제거용 박리액 분사 노즐(102a)과 함께 장착된 제 1 순수 분사 노즐(102b)이 상기 전면기판(1)측으로 순수를 분사하여 바로 전에 분사된 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시킨다. 반면, 상기 배면기판(2)이 제 1 박리조(102) 내부로 이송되면 박리액이나 순수 처리 없이 롤러(101)에 의해 외부로 배출된다.
아울러, 상기 제 1 박리조(102) 내부에서 전면기판(1)측으로 포토레지스트 제거용 박리액과 순수가 분사될 때 상기 포토레지스트 제거용 박리액이나 순수가 롤러(101) 상의 기판 로딩측이나 제 2 박리조(103)측으로 유출되는 것을 차단하기 위하여 제 1, 2 에어 커튼(111, 112)은 슬릿을 통해 상기 전면기판(1)의 양측단부에 0.1∼2.0Kg/cm2정도의 압력으로 에어를 분사하여 차단막을 형성시킨다(제 1 박리공정).
상기와 같이 제 1 박리공정에서 전면기판(1)측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사한 다음 순수를 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액을 최대한 희석시키면 상기 전면기판(1)이 이후 순수 샤워부(105)측으로 이송되기 위하여 제 2 박리조(103)와 중화조(104) 내부를 통과할 때 상기 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액이 제 2 박리조(103, PVC로 구성됨)에 미치는 영향을 최소화할 수 있다.
한편, 상기 배면기판(2)이 여유공간(108)과 제 1 박리조(102)를 거쳐 제 2 박리조(103) 내부로 이송되면 상기 제 2 박리조(103) 내부에 장착된 드라이 필름 제거용 박리액 분사 노즐(103a)이 상기 배면기판(2)측으로 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 잔존 드라이 필름을 제거하고, 상기 잔존 드라이 필름의 제거가 완료되면 상기 드라이 필름 제거용 박리액 분사 노즐(103a)과 함께 장착된 제 2 순수 분사 노즐(103b)이 상기 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 바로 전에 분사된 드라이 필름 제거용 박리액(103a)을 최대한 희석시킨다. 반면, 상기 제 2 박리조(103) 내부에 전면기판(1)이 이송되면 박리액과 순수 처리 없이 롤러(101)에 의해 외부로 배출된다.
아울러, 상기 제 1 박리공정과 마찬가지로 상기 제 2 박리조(103) 내부에서 배면기판(2)측으로 드라이 필름 제거용 박리액과 순수가 분사될 때 상기 드라이 필름 제거용 박리액이나 순수가 제 1 박리조(102)나 중화조(104)측으로 유출되는 것을 차단하기 위하여 제 3, 4 에어 커튼(113, 114)은 슬릿을 통해 상기 배면기판(2)의 양측단부에 에어를 분사하여 차단막을 형성시킨다(제 2 박리공정).
상기와 같이 제 2 박리공정에서 배면기판(2)측으로 드라이 필름 제거용 박리액을 분사한 다음 순수를 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 최대한 희석시키면 상기 배면기판(2)이 이후 중화조(104) 내부로 이송되어 처리될 때 상기 배면기판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액이 중화조(104)의 중화액을 오염시키는 것을 최소화할 수 있고, 종래 기술의 제 1 순수 샤워부를 없앨 수 있어 라인의 길이를 줄일 수 있다.
그 후, 상기 배면기판(2)이 롤러(101)를 따라 제 2 박리조(103)에서 중화조(104) 내부로 이송되면 상기 중화조(104) 내부에 장착된 중화액 분사 노즐(104a)이 배면기판(2)측으로 중화액을 분사하여 상기 배면기판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시켜 중성으로 바꾸어 준다. 반면, 상기 중화조(104) 내부로 전면기판(1)이 이송되면 중화액 처리 없이 롤러(101)에 의해 외부로 배출된다.
아울러, 상기 제 1, 2 박리공정과 마찬가지로 상기 중화조(104) 내부에서 배면기판(2)측으로 중화액이 분사될 때 상기 중화액이 제 2 박리조(103)나 순수 샤워부(105)측으로 유출되는 것을 차단하기 위하여 제 5, 6 에어 커튼(115, 116)은 슬릿을 통해 상기 배면기판(2)의 양측단부에 에어를 분사하여 차단막을 형성시킨다(중화공정).
한편, 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)이 롤러(101)를 따라 중화조(104)를 거쳐 순수 샤워부(105) 내부로 이송되면 상기 순수 샤워부(105) 내부에 장착된 제 3 순수 분사 노즐(105a)은 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 배면기판(2) 상의 중화액을 희석시킨다.
이 때, 상기 제 1, 2 박리공정 및 중화공정과 마찬가지로 상기 순수 샤워부(105) 내부에서 전면기판(1)이나 배면기판(2)측으로 순수가 분사될 때 상기 순수가 중화조(104)측으로 유출되는 것을 차단하기 위하여 제 7 에어 커튼(117)은 슬릿을 통해 전면기판(1)이나 배면기판(2)의 일측단부에 에어를 분사하여 차단막을 형성시킨다(순수 샤워공정).
그 후, 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)이 롤러(101)를 따라 순수 샤워부(105)에서 순수 린스부(106)로 이송되면 상기 순수 린스부(106) 내부에 장착된 제 4 순수 분사 노즐(106a)이 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 배면기판(2) 상의 중화액을 완전히 제거한다(순수 린스공정).
상기에서 전면기판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 배면기판(2) 상의 중화액 제거가 완료되어 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)이 롤러(101)를 따라 건조부(107) 내부로 이송되면 상기 건조부(107) 내부에 장착된 에어 나이프(107a)가 전면기판(1)이나 배면기판(2)측으로 에어를 분사하여 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)의 표면에 남아 있는 순수를 강제로 밀어냄으로써 그 표면을 건조시킨다(건조공정).
그 후, 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)이 롤러(101)를 따라 건조부(107)로부터 배출되면 작업자가 상기 롤러(101)로부터 상기 전면기판(1)이나 배면기판(2)을 취출한다. 따라서, 상기 전면기판(1) 상에는 표시전극의 형상만 남아 있게 되고, 상기 배면기판(2) 상에는 격벽의 형상만 남아 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 PDP의 표시전극과 격벽 제조시 전면기판 상의 잔존 포토레지스트 제거를 위한 박리조와, 배면기판 상의 잔존 드라이 필름 제거를 위한 박리조 및 중화조와, 나머지 공용 공정(순수 샤워, 순수 린스, 건조)을 위한 장비를 함께 구비하여 잔존 포토레지스트 박리공정과 잔존 드라이 필름 박리공정을 함께 수행할 수 있기 때문에 전체 PDP 제조라인을 크게 줄일 수 있어 비용 절감 및 설치 공간 감소를 가능하게 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 박리조 내부에 박리액 분사 노즐과 함께 순수 분사 노즐이 장착되어 있어 박리공정시 전면기판이나 배면기판 상의 박리액이 자체적으로 희석되기 때문에 PDP의 표시전극 및 격벽 제조라인 상의 순수 샤워공정을 줄일 수 있어 설치 공간 감소를 가능하게 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 박리조와 중화조의 기판 입·출구 및 순수 샤워부의 기판 입구에 별도의 여유공간 대신 에어 커튼이 각각 장착되어 있어 각각의 내부에서 분사되는 박리액, 중화액 및 순수가 외부로 유출되는 것을 방지하기 때문에 PDP의 표시전극 및 격벽 제조라인 상의 여유공간을 크게 줄일 수 있어 역시 설치 공간 감소를 가능하게 하는 효과가 있다.

Claims (13)

  1. 전면기판 또는 배면기판이 로딩(loading)되면 전체 라인을 따라 이송시키는 기판 이송부와,
    상기 기판 이송부를 따라 이송된 상기 전면기판측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 전면기판 상의 잔존 포토레지스트(photoresist)를 제거한 후 순수를 분사하여 상기 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시키는 제 1 박리조와,
    상기 기판 이송부를 따라 이송된 상기 배면기판측으로 드라이 필름(dry film) 제거용 박리액을 분사하여 상기 배면기판 상의 잔존 드라이 필름을 제거한 후 순수를 분사하여 상기 드라이 필름 제거용 박리액을 희석시키는 제 2 박리조와,
    상기 기판 이송부를 따라 상기 제 2 박리조를 거쳐 이송된 배면기판측으로 중화액을 분사하여 상기 배면기판 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시키는 중화조와,
    상기 기판 이송부를 따라 상기 제 1 박리조를 거쳐 이송된 전면기판이나 상기 중화조를 거쳐 이송된 배면기판측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판 상의 중화액을 희석시키는 순수 샤워부와,
    상기 기판 이송부를 따라 상기 순수 샤워부를 거쳐 이송된 전면기판이나 배면기판측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판 상의 중화액을 제거하는 순수 린스부와,
    상기 기판 이송부를 따라 상기 순수 린스부를 거쳐 이송된 전면기판이나 배면기판측으로 에어(air)를 분사하여 상기 전면기판이나 배면기판의 표면을 건조시키는 건조부로 구성된 것을 특징으로 하는 PDP(Plasma Display Panel)용 박리장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 이송부 상의 기판 로딩측과 제 1 박리조 사이에는 상기 제 1 박리조 내부에서 상기 전면기판측으로 분사되는 포토레지스트 제거용 박리액 및 순수가 상기 기판 로딩측으로 넘어가는 것을 방지하기 위한 여유공간이 확보된 것을 특징으로 하는 PDP용 박리장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 박리조 내부에는 상기 포토레지스트 제거용 분사액이나 순수가 상기 전면기판측으로 분사될 때 상기 전면기판의 양측단부에 각각 에어를 분사하여 상기 포토레지스트 제거용 분사액이나 순수가 상기 제 1 박리조 외부로 유출되는 것을 방지하는 에어 커튼(air curtain)이 각각 장착된 것을 특징으로 하는 PDP용 박리장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 박리조 내부에는 상기 드라이 필름 제거용 분사액이나 순수가 상기 배면기판측으로 분사될 때 상기 배면기판의 양측단부에 각각 에어를 분사하여 상기 드라이 필름 제거용 분사액이나 순수가 상기 제 2 박리조 외부로 유출되는 것을 방지하는 에어 커튼이 각각 장착된 것을 특징으로 하는 PDP용 박리장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 중화조 내부에는 상기 중화액이 상기 배면기판측으로 분사될 때 상기 배면기판의 양측단부에 각각 에어를 분사하여 상기 중화액이 상기 중화조 외부로 유출되는 것을 방지하는 에어 커튼이 각각 장착된 것을 특징으로 하는 PDP용 박리장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 순수 샤워부 내부에는 상기 순수가 상기 전면기판이나 배면기판측으로 분사될 때 상기 전면기판이나 배면기판의 상기 중화조측 일단부에 에어를 분사하여 상기 순수가 상기 중화조측으로 유출되는 것을 방지하는 에어 커튼이 장착된 것을 특징으로 하는 PDP용 박리장치.
  7. 제 1 항, 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 박리조 내부에는 상기 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하는 포토레지스트 제거용 박리액 분사 노즐과, 상기 순수를 분사하는 순수 분사 노즐이 각각 장착된 것을 특징으로 하는 PDP용 박리장치.
  8. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 박리조 내부에는 상기 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하는 드라이 필름 제거용 박리액 분사 노즐과, 상기 순수를 분사하는 순수 분사 노즐이 각각 장착된 것을 특징으로 하는 PDP용 박리장치.
  9. 전면기판이 이송되면 상기 전면기판측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 전면기판 상의 잔존 포토레지스트를 제거한 다음 순수를 분사하여 상기 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시키고, 배면기판이 이송되면 처리 없이 배출하는 제 1 박리공정과;
    상기 제 1 박리공정을 거친 배면기판이 이송되면 상기 배면기판측으로 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하여 상기 배면기판 상의 잔존 드라이 필름을 제거한 다음 순수를 분사하여 상기 드라이 필름 제거용 박리액을 희석시키고, 전면기판이 이송되면 처리 없이 배출하는 제 2 박리공정과;
    상기 제 2 박리공정을 거친 배면기판이 이송되면 상기 배면기판측으로 중화액을 분사하여 상기 배면기판 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시키고, 전면기판이 이송되면 처리 없이 배출하는 중화공정과;
    상기 중화공정을 거친 전면기판이나 배면기판이 이송되면 상기 전면기판이나 배면기판측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판 상의 중화액을 희석시키는 순수 샤워공정과;
    상기 순수 샤워공정을 거친 전면기판이나 배면기판이 이송되면 상기 전면기판이나 배면기판측으로 순수를 분사하여 상기 전면기판 상의 포토레지스트 제거용 박리액이나 상기 배면기판 상의 중화액을 제거하는 순수 린스공정과;
    상기 순수 린스공정을 거친 상기 전면기판이나 배면기판이 이송되면 상기 전면기판이나 배면기판측으로 에어를 분사하여 상기 전면기판이나 상기 배면기판의 표면을 건조시키는 건조공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 PDP용 박리방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 박리공정은 상기 전면기판측으로 포토레지스트 제거용 박리액이나 순수가 분사될 때 상기 전면기판의 양측단부에 에어를 분사하여 상기 포토레지스트 제거용 박리액이나 순수의 유출을 차단하는 것을 특징으로 하는 PDP용 박리방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 2 박리공정은 상기 배면기판측으로 드라이 필름 제거용 박리액이나 순수가 분사될 때 상기 배면기판의 양측단부에 에어를 분사하여 상기 드라이 필름 제거용 박리액이나 순수의 유출을 차단하는 것을 특징으로 하는 PDP용 박리방법.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 중화공정은 상기 배면기판측으로 중화액이 분사될 때 상기 배면기판의 양측단부에 에어를 분사하여 상기 중화액의 유출을 차단하는 것을 특징으로 하는 PDP용 박리방법.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 순수 샤워공정은 상기 전면기판이나 배면기판측으로 순수가 분사될 때 상기 전면기판이나 배면기판의 일측단부에 에어를 분사하여 상기 순수의 유출을 차단하는 것을 특징으로 하는 PDP용 박리방법.
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