KR100251158B1 - 플라즈마 디스플레이 패널 제조용 박리장치 및 박리방법 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널 제조용 박리장치 및 박리방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(이하, PDP라 부름) 제조용 박리장치 및 박리방법에 관한 것으로서, 특히 기판 상에 전극 및 격벽을 형성시키기 위하여 상기 전극 및 격벽 위에 코팅된 감광물질을 제거하는 PDP 제조용 박리장치 및 박리방법에 있어서, 상기 기판을 향해 일정 시간동안 박리액을 분사하여 상기 감광물질을 제거한 후 상기 기판이 일정한 경사각을 갖도록 상기 기판의 일측을 일정 높이로 상승시키는 동작을 수행하는 박리조와, 상기 기판을 향해 순수를 분사하여 기판 상에 잔존하는 박리액을 제거하는 동작을 수행하는 샤워조와, 상기 기판을 향해 압축공기를 분사하여 기판 상에 존재하는 수분을 강제로 밀어내는 방식으로 기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조가 순차적으로 배치되어 구성된 PDP 제조용 박리장치와 이 장치를 이용하여 박리작업을 진행하는 PDP 제조용 박리방법을 제공함으로써 상기 기판 상에 존재하는 감광물질의 잔존 슬러지가 제거되어 제품의 수율이 향상되도록 한 것이다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 제조용 박리장치 및 박리방법
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(이하, PDP라 부름) 제조용 박리장치 및 박리방법에 관한 것으로서, 특히 기판 상에 전극 및 격벽을 형성시키기 위한 감광물질의 박리공정에서 상기 기판을 경사지게 이송함으로써 감광물질의 잔존 슬러지를 제거하고 격벽의 손상방지 및 건조효율을 증가시키는 PDP 제조용 박리장치 및 박리방법에 관한 것이다.
일반적으로 PDP는 각 방전 셀의 내부에서 일어나는 기체 방전 현상을 이용하여 화상을 표시하는 발광형 소자의 일종으로서, 제조공정이 간단하고, 화면의 대형화가 용이하며, 응답속도가 빨라 대형 화면을 가지는 직시형 화상 표시장치, 특히 HDTV(High Definition TeleVision) 시대를 지향한 화상 표시장치의 표시소자로 각광받고 있다.
일반적인 PDP 중 하나는 도 1에 도시된 바와 같이 화상의 표시면인 상판(1)과, 상기 상판(1)과 소정 거리를 사이에 두고 평행하게 위치한 하판(2)과, 상기 상판(1)과 하판(2) 사이에 스트라이프형으로 배열 형성되어 방전공간을 형성하는 복수개의 격벽(3)과, 상기 상판(1) 중 하판(2)과의 대향면에 상기 격벽(3)과 직교하도록 스트라이프형으로 배열 형성되어 상기 격벽(3)과 함께 전체 화면을 매트릭스 형태의 복수개 셀로 구분하는 복수개의 표시전극(4)과, 상기 각 격벽(3) 사이의 하판(2) 위에 상기 격벽(3)과 평행하게 형성되어 상기 복수개의 표시전극(4)과 함께 방전을 일으키는 복수개의 어드레스전극(5)과, 상기 방전공간 내부의 하판(2)과 격벽(3)과 어드레스전극(5) 위에 각각 형성되어 각 셀의 방전시 자외선에 의해 여기되어 가시광을 방출하는 복수개의 형광체층(6)이 구비되어 있고, 상기 각 방전공간 내부에는 방전가스가 주입되어 있다.
상기와 같이 구성된 PDP는 상판(1) 상에 표시전극(4)이 형성되고, 하판(2) 상에 격벽(3)과 어드레스전극(5)과 형광체층(6)이 각각 형성되면 상기 상판(1)과 하판(2)을 조립한 다음 그 내부에 방전가스를 채워 테두리를 밀봉함으로써 제조된다.
상기와 같은 제조과정 중 상판(1) 상에 표시전극(4)이 형성되는 과정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상판(1) 위에 표시전극 재료(4a)를 0.1∼3.0㎛ 두께로 코팅하고(Ⅰ), 상기 표시전극 재료(4a) 위에 포토레지스트(11)를 0.8∼3.0㎛ 두께로 코팅한다(Ⅱ).
상기에서 포토레지스트(11)의 코팅이 완료되면 마스크(12)를 이용하여 상기 포토레지스트(11) 위에 광(13)을 선택적으로 조사한다(Ⅲ - 노광공정). 이 때, 상기 포토레지스트(11) 중 광(13)이 조사된 부분과 조사되지 않은 부분의 화학적 조성이 달라지게 된다.
그 후, 현상액 공급노즐(14)을 이용하여 포토레지스트(11) 위에 현상액(14a)을 공급하면 상기 포토레지스트(11) 중 바로 전의 노광공정(Ⅲ)에서 광(13)이 조사된 부분만 남아 있게 되고 나머지 부분은 현상액(14a)에 의해 제거된다(Ⅳ - 현상공정).
상기에서 포토레지스트(11)의 부분적 제거가 완료되면 에칭액 공급노즐(15)을 이용하여 부분적으로 포토레지스트(11)가 남아 있는 표시전극 재료(4a) 위에 에칭액(15a)을 공급한다. 이 때, 상기 표시전극 재료(4a) 중 잔존 포토레지스트(11) 아래에 있는 부분은 에칭액(15a)으로부터 보호되어 남아 있게 되고 나머지 부분은 상기 에칭액(15a)에 의해 제거된다(Ⅴ - 에칭공정).
그 후, 상기 상판(1) 상의 잔존 포토레지스트(11)를 박리시키면(Ⅵ - 박리공정) PDP의 표시전극 형상(4a)이 완성된다(Ⅶ).
아울러, 상기와 같은 제조과정 중 하판(2) 상에 격벽(3)이 형성되는 과정을 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 하판(2) 위에 격벽 재료(3a)를 100∼200㎛ 두께로 코팅하고(Ⅰ), 상기 격벽 재료(3a) 위에 드라이 필름(21)을 15∼100㎛ 두께로 코팅한다(Ⅱ).
상기에서 드라이 필름(21)의 코팅이 완료되면 마스크(22)를 이용하여 상기 드라이 필름(21) 위에 광(23)을 선택적으로 조사한다. 이 때, 상기 드라이 필름(21) 중 광(23)이 조사된 부분과 조사되지 않은 부분의 화학적 조성이 달라지게 된다(Ⅲ - 노광공정).
그 후, 현상액 공급노즐(24)을 이용하여 드라이 필름(21) 위에 현상액(24a)을 공급하면 상기 드라이 필름(21) 중 바로 전의 노광공정(Ⅲ)에서 광(23)이 조사된 부분만 남아 있게 되고 나머지 부분은 제거된다. 여기서, 상기 드라이 필름(21)의 두께는 매우 두꺼워 현상액(24a)에 녹지 않으므로 상기 현상액(24a)을 이용하여 상기 드라이 필름(21)과 격벽 재료(3a)간의 표면 접착력을 저하시킨 다음 불필요한 드라이 필름(21)을 벗겨내야 한다(Ⅳ - 현상공정).
상기에서 드라이 필름(21)의 부분적 제거가 완료되면 연마재 분사노즐(25)을 이용하여 부분적으로 드라이 필름(21)이 남아 있는 격벽 재료(3a) 위에 연마재(25a)를 분사한다. 이 때, 상기 격벽 재료(3a) 중 잔존 드라이 필름(21)의 아래에 있는 부분은 연마재(25a)로부터 보호되어 남아 있게 되고 나머지 부분은 상기 연마재(25a)에 의해 제거된다(Ⅴ - 샌드블라스트(Sandblast)공정).
그 후, 상기 하판(2) 상의 잔존 드라이 필름(21)을 박리시키면(Ⅵ - 박리공정) PDP의 격벽 형상(3a)이 완성된다(Ⅶ).
한편, 상기에서 상판(1) 상의 잔존 포토레지스트(11)와 하판(2) 상의 잔존 드라이 필름(21)은 도 4와 도 5에 도시된 장치에 의해서 각각 박리된다.
즉, 종래 기술에 의한 잔존 포토레지스트 박리장치는 도 4에 도시된 바와 같이 상판(1) 측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 상판(1) 상의 잔존 포토레지스트를 제거하는 동작을 수행하는 박리조(32)와, 상기 박리조(32)를 거쳐 이송된 상판(1) 측으로 순수를 분사하여 상기 상판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시키는 동작을 수행하는 샤워조(33)와, 상기 샤워조(33)를 거쳐 이송된 상판(1) 측으로 순수를 분사하여 상기 상판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액을 완전히 제거하는 동작을 수행하는 린스조(34)와, 상기 린스조(34)를 거쳐 이송된 상판(1) 측으로 압축공기를 분사하여 상기 상판(1)의 표면을 건조시키는 건조조(35)가 순차적으로 배치되어 구성된다.
여기서, 상기 박리조(32)는 포토레지스트 제거용 박리액에 영향을 받지 않는 스테인레스(stainless)로 구성된다.
또한, 상기 박리조(32) 내부에는 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하는 박리액 분사노즐(32a)이 장착되어 있고, 상기 샤워조(33)와 린스조(34) 내부에는 순수를 분사하는 제 1 및 제 2 순수 분사노즐(33a, 34a)이 각각 장착되어 있으며, 상기 건조조(35) 내부에는 압축공기를 분사하는 에어나이프(Air knife, 35a)가 장착되어 있다.
또한, 상기 박리조(32)의 앞뒤에는 박리조(32) 내부에서 상판(1) 측으로 분사된 포토레지스트 제거용 박리액이 시스템의 외부나 상기 샤워조(33)로 유출되는 것을 방지하기 위한 여유공간으로서의 제 1 및 제 2 대기조(neutral, 36, 37)가 각각 확보되어 있다.
상기와 같은 일련의 처리조들을 지나는 동안 상기 상판(1)은 구동 롤러(31)의 회전에 의해 동작되는 컨베이어를 통해 로딩부(loader)에서 언로딩부(unloader)까지 정지하지 않고 계속 이동된다.
상기와 같이 구성된 잔존 포토레지스트 박리장치를 이용한 잔존 포토레지스트의 박리과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 잔존 포토레지스트가 박리되어야 할 상판(1)이 구동 롤러(31) 상에 로딩되면 상기 구동 롤러(31)는 로딩된 상판(1)을 상기 제 1 대기조(36)를 거쳐 박리조(32) 측으로 이송시킨다.
상기에서 상판(1)이 박리조(32) 내부로 이송되면 상기 박리조(32) 내부에 장착된 박리액 분사노즐(32a)이 상기 상판(1) 측으로 포토레지스트 제거용 박리액을 분사하여 상기 상판(1) 상의 잔존 포토레지스트를 제거한다. 이때, 상기 포토레지스트 제거용 박리액은 사용된 포토레지스트의 종류에 따라 NMP(Normal-Methyl-2Pyrolidone)에 여러 가지 화학물질(amine, di propylene glycol 등)을 적당히 혼합하여 사용한다.
그 후, 상기 상판(1)은 구동 롤러(31)를 따라 제 2 대기조(37)를 거쳐 샤워조(33)로 이송된다.
상기에서 상판(1)이 샤워조(33) 내부로 이송되면 상기 샤워조(33) 내부에 장착된 제 1 순수 분사노즐(33a)이 상판(1) 측으로 순수를 분사하여 상기 상판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액을 희석시킨다.
그 후, 상기 상판(1)이 구동 롤러(31)를 따라 샤워조(33)에서 린스조(34)로 이송되면 상기 린스조(34) 내부에 장착된 제 2 순수 분사노즐(34a)이 상판(1) 측으로 순수를 분사하여 상기 상판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액을 완전히 제거한다.
상기에서 상판(1) 상의 포토레지스트 제거용 박리액 제거가 완료되어 상기 상판(1)이 구동 롤러(31)를 따라 건조조(35)로 이송되면 상기 건조조(35) 내부에 장착된 에어나이프(35a)가 상판(1) 측으로 압축공기를 분사하여 상기 상판(1)의 표면에 남아 있는 순수를 강제로 밀어냄으로써 그 표면을 건조시킨다.
그 후, 상기 상판(1)이 구동 롤러(31)를 따라 건조조(35)로부터 배출되면 작업자가 상기 구동 롤러(31)로부터 상기 상판(1)을 취출한다. 따라서, 상기 상판(1) 상에는 표시전극의 형상만 남아 있게 된다.
또한, 종래 기술에 의한 잔존 드라이 필름 박리장치는 도 5에 도시된 바와 같이 하판(2) 측으로 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하여 상기 하판(2) 상의 잔존 드라이 필름을 제거하는 동작을 수행하는 박리조(42)와, 상기 박리조(42)를 거쳐 이송된 하판(2) 측으로 순수를 분사하여 상기 하판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 희석시키는 동작을 수행하는 제 1 샤워조(43)와, 상기 제 1 샤워조(43)를 거쳐 이송된 하판(2) 측으로 중화액을 분사하여 상기 하판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시키는 동작을 수행하는 중화조(44)와, 상기 중화조(44)를 거쳐 이송된 하판(2) 측으로 순수를 분사하여 상기 하판(2) 상의 중화액을 희석시키는 동작을 수행하는 제 2 샤워조(45)와, 상기 제 2 샤워조(45)를 거쳐 이송된 하판(2) 측으로 순수를 분사하여 상기 하판(2) 상의 중화액을 완전히 제거하는 동작을 수행하는 린스조(46)와, 상기 린스조(46)를 거쳐 이송된 하판(2) 측으로 압축공기를 분사하여 상기 하판(2)의 표면을 건조시키는 건조조(47)가 순차적으로 배치되어 구성된다.
여기서, 상기 박리조(42)는 드라이 필름 제거용 박리액에 영향을 받지 않는 PVC(PolyVinyl Chloride)로 구성되고, 그 내부에는 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하는 박리액 분사노즐(42a)이 장착되어 있다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 샤워조(43, 45)와 린스조(46) 내부에는 순수를 분사하는 제 1, 2, 3 순수 분사노즐(43a, 45a, 46a)이 각각 장착되어 있고, 상기 중화조(44) 내부에는 중화액을 분사하는 중화액 분사노즐(44a)이 장착되어 있으며, 상기 건조조(47) 내부에는 압축공기를 분사하는 에어나이프(47a)가 장착되어 있다.
또한, 상기 박리조(42)의 앞뒤에는 박리조(42) 내부에서 하판(2) 측으로 분사된 드라이 필름 제거용 박리액이 시스템의 외부나 상기 제 1 샤워조(43) 측으로 유출되는 것을 방지함과 동시에 상기 제 1 샤워조(43)의 순수가 박리조(42) 내부로 유입되는 것을 방지하기 위한 여유공간으로서의 제 1 및 제 2 대기조(48, 49)가 각각 확보되어 있다.
또한, 상기 중화조(44)의 앞뒤에는 중화조(44) 내부에서 하판(2) 측으로 분사된 중화액이 상기 제 1 샤워조(43)나 제 2 샤워조(45) 측으로 유출되는 것을 방지함과 동시에 상기 제 1 샤워조(43)와 제 2 샤워조(45)의 순수가 중화조(44) 내부로 유입되는 것을 방지하기 위한 여유공간으로서의 제 3 및 제 4 대기조(50, 51)가 각각 확보되어 있다.
상기와 같은 일련의 처리조들을 지나는 동안 상기 하판(2)은 구동 롤러(41)의 회전에 의해 동작되는 컨베이어를 통해 로딩부에서 언로딩부까지 정지하지 않고 계속 이동된다.
상기와 같이 구성된 잔존 드라이 필름 박리장치를 이용한 잔존 드라이 필름의 박리과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 잔존 드라이 필름이 박리되어야 할 하판(2)이 구동 롤러(41) 상에 로딩되면 상기 구동 롤러(41)는 로딩된 하판(2)을 제 1 대기조(48)를 거쳐 박리조(42) 측으로 이송시킨다.
상기에서 하판(2)이 박리조(42) 내부로 이송되면 상기 박리조(42) 내부에 장착된 박리액 분사노즐(42a)이 하판(2) 측으로 드라이 필름 제거용 박리액을 분사하여 상기 하판(2) 상의 잔존 드라이 필름을 제거한다. 여기서, 상기 드라이 필름 제거용 박리액은 주로 수산화나트륨(NaOH)을 순수와 혼합하여 사용한다.
그 후, 상기 하판(2)은 구동 롤러(41)를 따라 제 2 대기조(49)를 거쳐 제 1 샤워조(43)로 이송된다.
상기에서 하판(2)이 제 1 샤워조(43) 내부로 이송되면 상기 제 1 샤워조(43) 내부에 장착된 제 1 순수 분사노즐(43a)이 하판(2) 측으로 순수를 분사하여 상기 하판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 희석시킨다.
그 후, 상기 하판(2)이 구동 롤러(41)를 따라 제 3 대기조(50)를 거쳐 중화조(44)로 이송되면 상기 중화조(44) 내부에 장착된 중화액 분사노즐(44a)이 하판(2) 측으로 중화액을 분사하여 상기 하판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액을 중화시켜 중성으로 바꾸어 준다. 이 때, 상기 중화액은 주로 황산이나 염산을 순수와 혼합하여 사용한다.
상기에서 하판(2) 상의 드라이 필름 제거용 박리액 중화가 완료되어 상기 하판(2)이 구동 롤러(41)를 따라 제 4 대기조(51)를 거쳐 제 2 샤워조(45)로 이송되면 상기 제 2 샤워조(45) 내부에 장착된 제 2 순수 분사노즐(45a)이 하판(2) 측으로 순수를 분사하여 상기 하판(2) 상의 중화액을 최대한 희석시킨다.
그 후, 상기 하판(2)이 구동 롤러(41)를 따라 제 2 샤워조(45)에서 린스조(46)로 이송되면 상기 린스조(46) 내부에 장착된 제 3 순수 분사노즐(46a)이 하판(2) 측으로 순수를 분사하여 상기 하판(2) 상의 중화액을 완전히 제거한다.
상기에서 하판(2) 상의 중화액 제거가 완료되어 상기 하판(2)이 구동 롤러(41)를 따라 건조조(47)로 이송되면 상기 건조조(47) 내부에 장착된 에어나이프(47a)가 하판(2) 측으로 압축공기를 분사하여 상기 하판(2)의 표면에 남아 있는 순수를 강제로 밀어냄으로써 그 표면을 건조시킨다.
그 후, 상기 하판(2)이 구동 롤러(41)를 따라 건조조(47)로부터 배출되면 작업자가 상기 구동 롤러(41)로부터 상기 하판(2)을 취출한다. 따라서, 상기 하판(2) 상에는 격벽의 형상만 남아 있게 된다.
상기와 같이 종래에는 기판(1, 2) 상의 포토레지스트 및 드라이 필름이 박리될 때 상기 포토 레지스트 및 드라이 필름이 박리액에 완전하게 용해되지 않은 채로 제거되므로 많은 량의 슬러지가 발생하여 상기 기판(1, 2)을 운반하는 이송장비를 오염시키고, 이러한 장비의 오염으로 인하여 상기 기판(1, 2)이 오염되어 제품의 수율이 저하되는 문제점이 있다.
또한, 종래의 PDP 제조용 박리장치는 상기 기판(1, 2)이 수평 반송방식으로 이송되기 때문에 샤워공정에서 상기 기판(1, 2) 위의 표시전극 및 격벽이 순수의 분사압력으로 인하여 무너지는 등 파손이 우려되는 문제점이 있다.
또한, 종래의 PDP 제조용 박리장치는 기판(1, 2)의 수평 반송방식으로 인해 건조공정에서 많은 량의 압축공기(5m³/min)가 상기 표시전극 및 격벽에 수직방향으로 분사되기 때문에 수분을 흡수한 표시전극 및 격벽이 무너지는 등 파손의 우려가 있는 문제점이 있다.
또한, 종래의 PDP 제조용 박리장치는 장비의 길이가 길기 때문에 장비의 점유공간이 크고 장비에 대한 투자비가 많이 들어가는 문제점도 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 박리공정부터는 기판을 경사지게 이송함으로써 감광물질의 잔존 슬러지를 제거함과 동시에 격벽의 손상방지 및 건조효율을 증가시켜 제품의 수율이 향상되도록 하는 PDP용 박리장치 및 박리방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널(이하, PDP라 부름)의 구조를 나타내는 구성도,
도 2는 도 1에 도시된 PDP의 표시전극 형성과정을 나타내는 도면,
도 3은 도 1에 도시된 PDP의 격벽 형성과정을 나타내는 도면,
도 4는 종래 기술에 의한 포토 레지스트용 박리장치의 개략적인 구성도,
도 5는 종래 기술에 의한 드라이 필름용 박리장치의 개략적인 구성도,
도 6은 본 발명에 의한 PDP 제조용 박리장치의 개략적인 구성도,
도 7은 본 발명에 따른 기판 이동부의 구조가 도시된 구성도,
도 8은 본 발명에 따른 건조조의 개략적인 구성도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20 : 기판 120 : 대기조
130 : 박리조 140 : 샤워조
150 : 건조조 230 : 기판 이동부
310 : 구동 롤러 320 : 가이드 롤러
330 : 연결축 340 : 구동 모터
360 : 지지대 370 : 경사 롤러
380 : 수직 이동축 390 : 구동 실린더
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제 1 특징에 따르면, 기판 상에 전극 및 격벽을 형성시키기 위하여 상기 전극 및 격벽 위에 코팅된 감광물질을 제거하는 PDP 제조용 박리장치에 있어서, 상기 기판을 향해 일정 시간동안 박리액을 분사하여 상기 감광물질을 제거한 후 상기 기판이 일정한 경사각을 갖도록 상기 기판의 일측을 일정 높이로 상승시켜 상기 기판 상에 존재하는 감광물질의 슬러지를 제거하는 동작을 수행하는 박리조와, 상기 기판을 향해 순수를 분사하여 기판 상에 잔존하는 박리액을 제거하는 동작을 수행하는 샤워조와, 상기 기판을 향해 압축공기를 분사하여 기판 상에 존재하는 수분을 강제로 밀어내는 방식으로 기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조가 순차적으로 배치되어 구성된 PDP 제조용 박리장치가 제공된다.
또한, 본 발명의 제 2 특징에 따르면, 상기 박리조는 그 앞에 박리조 내부의 박리액이 시스템 외부로 유출되는 것을 방지하는 동작을 수행하는 대기조가 설치된다.
또한, 본 발명의 제 3 특징에 따르면, 상기 박리조에는 상기 기판이 일정한 경사각을 갖도록 상기 기판의 일측을 상승시킨 후 다음 공정으로 상기 기판을 이송시키는 기판 이동부가 설치된다.
또한, 본 발명의 제 4 특징에 따르면, 상기 기판 이동부는 기판의 일측변에 위치되도록 설치된 복수개의 구동 롤러와, 상기 기판의 타측변에 상기 구동 롤러와 대응되게 위치되도록 설치된 복수개의 가이드 롤러와, 상기 구동 롤러와 가이드 롤러를 연결하고 상기 기판을 지지하는 연결축과, 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 상기 연결축을 회전시키는 동력 공급수단과, 상기 연결축을 지지하는 지지대와, 상기 지지대가 일정한 각도로 경사지도록 상기 지지대의 일측을 일정한 높이로 상승시키는 지지대 이동수단으로 구성된다.
또한, 본 발명의 제 5 특징에 따르면, 상기 지지대 이동수단은 상기 지지대의 일측에 장착되어 상기 지지대의 경사각을 조정하는 경사 롤러와, 상기 경사 롤러에 일단이 연결되어 상하 이동하는 수직 이동축과, 상기 수직 이동축을 상하 이동시키는 구동 실린더로 구성된다.
또한, 본 발명의 제 6 특징에 따르면, 상기 샤워조 및 건조조에는 상기 박리조를 통해 일정한 각도로 경사진 기판이 그 경사각을 계속 유지한 상태로 상기 샤워조와 건조조를 거칠 수 있도록 상기 기판을 이송시키는 이송수단이 설치된다.
또한, 본 발명의 제 7 특징에 따르면, 상기 이송수단은 기판의 일측변에 위치되도록 설치된 복수개의 구동 롤러와, 상기 기판의 타측변에 상기 구동 롤러와 대응되게 위치되도록 설치된 복수개의 가이드 롤러와, 상기 구동 롤러와 가이드 롤러를 연결하고 상기 기판을 지지하는 연결축과, 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 상기 연결축을 회전시키는 동력 공급수단으로 구성된다.
또한, 본 발명의 제 8 특징에 따르면, 상기 샤워조는 기판이 이송되면 상기 기판 상에 형성된 전극 및 격벽의 방향과 동일한 방향으로 순수를 분사하도록 구성된다.
또한, 본 발명의 제 9 특징에 따르면, 상기 건조조는 기판이 이송되면 상기 기판 상에 형성된 전극 및 격벽의 방향과 동일한 방향으로 압축공기를 분사하도록 구성된다.
또한, 본 발명의 제 10 특징에 따르면, 기판 상에 전극 및 격벽을 형성시키기 위하여 상기 전극 및 격벽 위에 코팅된 감광물질을 제거하는 PDP 제조용 박리방법에 있어서, 상기 기판을 향해 일정 시간동안 박리액을 분사하여 상기 감광물질을 박리시킨 후 상기 기판이 일정한 경사각을 갖도록 기판의 일측을 상승시켜 상기 기판 상에 존재하는 감광물질의 슬러지를 제거하는 박리공정과, 상기 박리조로부터 이송되어 일정한 경사각을 가진 기판을 향해 순수를 분사하여 기판 상에 잔존하는 박리액을 제거하는 샤워공정과, 상기 샤워공정으로부터 이송되어 일정한 경사각을 가진 기판을 향해 압축공기를 분사하여 상기 기판 상에 존재하는 수분을 강제로 밀어내는 방식으로 건조시키는 건조공정으로 이루어진 PDP 제조용 박리방법이 제공된다.
또한, 본 발명의 제 11 특징에 따르면, 상기 샤워공정은 기판이 이송되면 상기 기판 상에 형성된 전극 및 격벽의 방향과 동일한 방향으로 순수를 분사한다.
또한, 본 발명의 제 12 특징에 따르면, 상기 건조공정은 기판이 이송되면 상기 기판 상에 형성된 전극 및 격벽의 방향과 동일한 방향으로 압축공기를 분사한다.
이하, 본 발명의 실시 예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 6은 본 발명에 의한 PDP 제조용 박리장치의 개략적인 구성도, 도 7은 본 발명에 따른 기판 이동부의 구조가 도시된 구성도, 도 8은 본 발명에 따른 건조조의 개략적인 구성도이다.
본 발명에 의한 PDP 제조용 박리장치는 도 6에 도시된 바와 같이 기판(20) 측으로 박리액 분사노즐(220)을 통해 일정 시간동안 박리액을 분사하여 잔존 감광물질을 제거한 후 상기 기판(20)이 일정한 경사각을 갖도록 기판(20)의 일측을 상승시켜 상기 기판(20) 상에 존재하는 감광물질의 슬러지를 제거하는 동작을 수행하는 박리조(130)와, 상기 기판(20) 측으로 순수노즐(250)을 통해 순수를 분사하여 기판(20) 상에 잔존하는 박리액을 제거하는 동작을 수행하는 샤워조(140)와, 상기 기판(20) 측으로 에어나이프(260)를 통해 압축공기를 분사하여 기판(20) 상에 존재하는 순수를 강제로 밀어내는 방식으로 상기 기판(20)을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조(150)가 순차적으로 배치되어 구성된다.
상기에서, 박리조(130)는 그 앞에 박리조(130) 내부의 박리액이 시스템 외부로 유출되는 것을 방지하기 위한 여유공간으로서의 대기조(120)가 설치되어 있고, 그 내부에는 상기 기판(20)이 일정한 경사각을 갖도록 상기 기판(20)의 일측을 상승시킨 후 다음 공정으로 상기 기판(20)을 이송시키는 기판 이동부(230)가 설치되어 있다.
여기서, 상기 기판 이동부(230)는 도 7에 도시된 바와 같이 기판(20)의 일측변에 위치되도록 설치된 복수개의 구동 롤러(310)와, 상기 기판(20)의 타측변에 상기 구동 롤러(310)와 대응되게 위치되도록 설치된 복수개의 가이드 롤러(320)와, 상기 구동 롤러(310)와 가이드 롤러(320)를 연결하고 상기 기판(20)을 지지하는 연결축(330)과, 상기 기판(20)을 이송시킬 수 있도록 상기 연결축(330)을 회전시키는 구동 모터(340)와, 상기 연결축(330)에 설치되어 상기 기판(20)의 이송을 돕는 다수의 중간 롤러(350)와, 상기 연결축(330)을 지지하는 지지대(360)와, 상기 지지대(360)의 일측에 장착되어 상기 지지대(360)의 경사각을 조정하는 경사 롤러(370)와, 상기 경사 롤러(370)에 일단이 연결되어 상하 이동하는 수직 이동축(380)과, 상기 수직 이동축(380)을 상하 이동시키는 구동 실린더(390)로 구성된다.
또한, 상기 샤워조(140) 및 건조조(150)에는 상기 박리조(130)를 통해 일정한 각도로 경사진 기판(20)이 그 경사각을 계속 유지한 상태로 상기 샤워조(140)와 건조조(150)를 거칠 수 있도록 상기 기판(20)을 이송시키는 이송수단이 설치되어 있다.
여기서, 상기 이송수단은 기판(20)의 일측변에 위치되도록 설치된 복수개의 구동 롤러(310)와, 상기 기판(20)의 타측변에 상기 구동 롤러(310)와 대응되게 위치되도록 설치된 복수개의 가이드 롤러(320)와, 상기 구동 롤러(310)와 가이드 롤러(320)를 연결하고 상기 기판(20)을 지지하는 연결축(330)과, 상기 기판(20)을 이송시킬 수 있도록 상기 연결축을 회전시키는 구동 모터(340)로 구성된다.
또한, 상기 샤워조(140)와 건조조(150)의 내부에 장착된 순수노즐(250)과 에어나이프(260)는 순수 및 압축공기의 분사방향을 전환할 수 있도록 구성되어, 이송된 기판(20) 위에 형성된 전극 및 격벽의 방향과 동일한 방향으로 순수 및 압축공기를 분사할 수 있다.
상기와 같은 일련의 처리조들을 지나는 동안 상기 기판(20)은 구동 롤러(310) 및 가이드 롤러(320)의 회전을 통해 로딩부(110)에서 언로딩부(160)까지 정지하지 않고 계속 이동된다.
상기와 같이 구성된 PDP 제조용 박리장치를 이용한 잔존 감광물질의 박리공정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 기판(20)이 구동 롤러(310)를 따라 박리조(130) 내부로 이송되면 상기 기판(20)을 향해 약 90초 내지 120초 동안 박리액을 분사하여 기판(20) 상의 잔존 감광물질을 제거한다. 이때, 상기 박리액을 분사하는 시간은 제품의 특성마다 약간의 차이가 있으므로 모든 경우에 동일하지는 않다. 이후, 박리가 완료되면 상기 기판 이동부(230)를 이용하여 상기 기판(20)이 약 70。의 각도로 경사지도록 상기 기판(20)의 일측을 상승시켜 상기 기판(20) 상에 존재하는 감광물질의 슬러지가 상기 기판(20) 아래로 떨어지게 한다. 이후부터 상기 기판(20)은 구동 롤러(310)와 가이드 롤러(320)에 의해서 일정한 경사각을 유지한 채 시스템이 끝날 때까지 계속 진행하게 된다.
이후, 상기 박리조(130)를 지난 기판(20)이 샤워조(140) 내부로 이송되면 상기 기판(20) 측으로 순수노즐(250)을 통해 순수를 분사하여 기판(20) 상의 박리액을 모두 제거한다. 이때, 상기 기판(20)은 일정한 경사각을 가지고 진행되고 상기 순수노즐(250)은 기판(20) 상의 전극 및 격벽과 동일한 방향으로 순수를 분사하므로, 고압의 분사압을 사용하지 않더라도 기판(20) 상에 잔존하는 박리액 및 순수가 모두 하단으로 떨어지게 된다.
이후, 상기 샤워조(140)를 지난 기판(20)이 건조조(150)로 이송되면 상기 기판(20) 측으로 에어나이프(260)를 통해 압축공기를 분사하여 기판(20) 상에 존재하는 수분을 밀어내면서 건조를 진행한다. 이때, 도 8에 나타난 바와 같이 상기 기판(20)은 일정한 경사각을 가지고 진행되고 상기 에어나이프(260)는 기판(20) 상의 전극 및 격벽(30)의 방향과 동일한 방향으로 압축공기를 분사하므로, 고압의 분사압을 사용하지 않더라도 기판(20) 상에 잔존하는 순수가 모두 하단으로 떨어지게 된다.
상기와 같이 구성되고 작용하는 본 발명에 의한 PDP 제조용 박리장치 및 박리방법은 기판(20)을 경사진 상태로 이송시킴으로써 전극 재료나 격벽 재료 위에 코팅되어 있는 감광물질을 박리할 때 발생하는 감광물질의 슬러지를 용이하게 제거할 수 있고, 샤워조(140)와 건조조(150)에서 순수 및 압축공기를 분사할 때 고압의 분사압을 이용하지 않아도 그 기능을 충분히 수행할 수 있게 되어 상기 기판(20)에 형성된 전극 및 격벽(3)의 손상이 방지되는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 샤워조(140)와 건조조(150)에서 기판(20) 상의 전극 및 격벽(3)의 방향과 동일한 방향으로 순수 및 압축공기를 분사하여 세정 및 건조시킴으로써 세정효율 및 건조효율이 향상됨과 동시에 제품의 수율이 향상되는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 상기와 같이 세정효율을 높임으로써 린스공정이 삭제되어 시스템의 길이가 단축되고, 그에 따라 시간과 경비가 절감되며, 부품 및 재료비의 감소로 인한 장비의 투자금액이 절감되는 효과가 있다.

Claims (12)

  1. 기판 상에 전극 및 격벽을 형성시키기 위하여 상기 전극 및 격벽 위에 코팅된 감광물질을 제거하는 PDP 제조용 박리장치에 있어서,
    상기 기판을 향해 일정 시간동안 박리액을 분사하여 상기 감광물질을 제거한 후 상기 기판이 일정한 경사각을 갖도록 상기 기판의 일측을 일정 높이로 상승시켜 상기 기판 상에 존재하는 감광물질의 슬러지를 제거하는 동작을 수행하는 박리조와, 상기 기판을 향해 순수를 분사하여 기판 상에 잔존하는 박리액을 제거하는 동작을 수행하는 샤워조와, 상기 기판을 향해 압축공기를 분사하여 기판 상에 존재하는 수분을 강제로 밀어내는 방식으로 기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조가 순차적으로 배치되어 구성된 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 박리조는 그 앞에 박리조 내부의 박리액이 시스템 외부로 유출되는 것을 방지하는 동작을 수행하는 대기조가 설치된 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 박리조에는 상기 기판이 일정한 경사각을 갖도록 상기 기판의 일측을 상승시킨 후 다음 공정으로 상기 기판을 이송시키는 기판 이동부가 설치된 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 기판 이동부는 기판의 일측변에 위치되도록 설치된 복수개의 구동 롤러와, 상기 기판의 타측변에 상기 구동 롤러와 대응되게 위치되도록 설치된 복수개의 가이드 롤러와, 상기 구동 롤러와 가이드 롤러를 연결하고 상기 기판을 지지하는 연결축과, 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 상기 연결축을 회전시키는 동력 공급수단과, 상기 연결축을 지지하는 지지대와, 상기 지지대가 일정한 각도로 경사지도록 상기 지지대의 일측을 일정한 높이로 상승시키는 지지대 이동수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 지지대 이동수단은 상기 지지대의 일측에 장착되어 상기 지지대의 경사각을 조정하는 경사 롤러와, 상기 경사 롤러에 일단이 연결되어 상하 이동하는 수직 이동축과, 상기 수직 이동축을 상하 이동시키는 구동 실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 샤워조 및 건조조에는 상기 박리조를 통해 일정한 각도로 경사진 기판이 그 경사각을 계속 유지한 상태로 상기 샤워조와 건조조를 거칠 수 있도록 상기 기판을 이송시키는 이송수단이 설치된 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 이송수단은 기판의 일측변에 위치되도록 설치된 복수개의 구동 롤러와, 상기 기판의 타측변에 상기 구동 롤러와 대응되게 위치되도록 설치된 복수개의 가이드 롤러와, 상기 구동 롤러와 가이드 롤러를 연결하고 상기 기판을 지지하는 연결축과, 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 상기 연결축을 회전시키는 동력 공급수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 샤워조는 기판이 이송되면 상기 기판 상에 형성된 전극 및 격벽의 방향과 동일한 방향으로 순수를 분사하도록 구성된 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리장치.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 건조조는 기판이 이송되면 상기 기판 상에 형성된 전극 및 격벽의 방향과 동일한 방향으로 압축공기를 분사하도록 구성된 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리장치.
  10. 기판 상에 전극 및 격벽을 형성시키기 위하여 상기 전극 및 격벽 위에 코팅된 감광물질을 제거하는 PDP 제조용 박리방법에 있어서,
    상기 기판을 향해 일정 시간동안 박리액을 분사하여 상기 감광물질을 박리시킨 후 상기 기판이 일정한 경사각을 갖도록 기판의 일측을 상승시켜 상기 기판 상에 존재하는 감광물질의 슬러지를 제거하는 박리공정과, 상기 박리조로부터 이송되어 일정한 경사각을 가진 기판을 향해 순수를 분사하여 기판 상에 잔존하는 박리액을 제거하는 샤워공정과, 상기 샤워공정으로부터 이송되어 일정한 경사각을 가진 기판을 향해 압축공기를 분사하여 상기 기판 상에 존재하는 수분을 강제로 밀어내는 방식으로 건조시키는 건조공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 샤워공정은 기판이 이송되면 상기 기판 상에 형성된 전극 및 격벽의 방향과 동일한 방향으로 순수를 분사하는 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 건조공정은 기판이 이송되면 상기 기판 상에 형성된 전극 및 격벽의 방향과 동일한 방향으로 압축공기를 분사하는 것을 특징으로 하는 PDP 제조용 박리방법.
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