JPH1068093A - 金属薄板のエッチング装置および剥膜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄槽に設けられた飛散防止カバーの内面に
付着したエッチング液の結晶化物を適宜除去して、飛散
防止カバー内面への結晶の付着が原因となって起こる様
々な問題点を解消できるエッチング装置を提供する。 【解決手段】 洗浄槽３６の飛散防止カバー４４内に、
塩酸供給源に流路接続された塩酸供給管２６を配設し、
塩酸供給管に、飛散防止カバーの内面に対し塩酸を噴射
する複数の噴射口３４を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、カラーブラウン
管用のシャドウマスク、トリニトロン（登録商標）管用
のアパーチャグリル、半導体装置用のリードフレームな
どを、フォトエッチング法を用いて製造する場合におい
て、主面に所定のパターン画像を有するレジスト膜が形
成された長尺の金属薄板をエッチング処理する金属薄板
のエッチング装置、並びに、エッチング処理後の金属薄
板の主面からレジスト膜を剥離する金属薄板の剥膜装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】シャドウマスクなどを製造する際に使用
される金属薄板のエッチング装置は一般に、例えば特開
平８−７４０７２号公報などに開示されているように、
主面に所定のパターン画像を有するレジスト膜が形成さ
れた長尺の金属薄板を、その長手方向に搬送させなが
ら、金属薄板の主面へスプレイノズルからエッチング液
を吹き付け、金属薄板の主面の、レジスト膜で被覆され
ていない露出部分をエッチングするエッチングチャンバ
と、このエッチングチャンバに隣接して設けられ、エッ
チングチャンバから搬出されてきて長手方向に搬送され
る金属薄板の主面へ噴射ノズルから洗浄液、例えば水を
吹き付けて、金属薄板の主面に付着したエッチング液を
除去する洗浄槽とを備えている。

【０００３】また、特公昭５７−２６３４５号公報など
には、エッチングを２回に分けて段階的に行う方法が開
示されている。この方法では、両主面にそれぞれ所定の
パターン画像を有するレジスト膜が形成された長尺の金
属薄板の一方の主面又は両主面へスプレイノズルからエ
ッチング液を吹き付けて１回目のエッチングを行い、金
属薄板に貫通孔が形成される前の段階で一旦エッチング
を中止して、金属薄板の一方の主面又は両主面に多数の
凹窩部を形成し、その後に、金属薄板の一方の主面又は
両主面へ噴射ノズルから洗浄液、例えば水を吹き付け
て、金属薄板の一方の主面又は両主面に付着したエッチ
ング液を除去し、乾燥させる。次に、金属薄板の、多数
の凹窩部が形成された一方の主面の全面にＵＶ樹脂など
の耐エッチング剤を塗布し、金属薄板の一方の主面に耐
エッチング性被膜を形成する。そして、金属薄板の、耐
エッチング性被膜で被覆されていない他方の主面へスプ
レイノズルからエッチング液を吹き付けて２回目のエッ
チングを行い、金属薄板に、一方の主面に形成された多
数の凹窩部に連通する多数の透孔を形成し、その後に、
金属薄板の他方の主面へ噴射ノズルから洗浄液、例えば
水を吹き付けて、金属薄板の他方の主面に付着したエッ
チング液を除去するようにする。

【０００４】また、特開平５−９７５５号公報には、エ
ッチングを２回に分けて行う上記方法において、１回目
のエッチングの後に、金属薄板の一方の主面又は両主面
を洗浄する際に、金属薄板の一方の主面へ高圧の水を吹
き付けることにより、金属薄板の主面に付着したエッチ
ング液を除去するとともに、金属薄板の一方の主面に形
成された多数の凹窩部の周縁より凹窩部の中心方向へ張
り出したレジスト膜の張り出し部分（庇部）をレジスト
膜から除去するようにする方法が開示されている。

【０００５】また、エッチング処理の終了後には、エッ
チングによって多数の透孔が形成された金属薄板の主面
からレジスト膜を剥離する剥膜処理が行われるが、特開
平８−７４０７２号公報には、長尺の金属薄板を長手方
向に搬送しながら、金属薄板の主面へ噴射ノズルから剥
膜液、例えば水を高圧で吹き付けて、金属薄板の主面か
らレジスト膜を剥離する金属薄板の剥膜装置が開示され
ている。

【０００６】上記した金属薄板のエッチング装置の洗浄
槽には、噴射ノズルから噴射された洗浄液や金属薄板の
表面で跳ね返った洗浄液、さらに、特開平５−９７５５
号公報に開示されたような装置ではレジスト膜から除去
された庇部の滓などが周囲へ飛散するのを防止するため
に、槽全体を覆うように飛散防止カバーが設けられてい
る。また、特開平８−７４０７２号公報に開示されてた
ような金属薄板の剥膜装置にも、噴射ノズルから噴射さ
れた剥膜液や金属薄板の表面で跳ね返った剥膜液、金属
薄板の主面から剥離したレジスト片などが周囲へ飛散す
るのを防止するために、飛散防止カバーが設けられてい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した金
属薄板のエッチング装置の洗浄槽では、金属薄板の主面
へ洗浄液を吹き付けて、金属薄板の主面に付着したエッ
チング液を除去したときに、その除去されたエッチング
液の一部が飛散防止カバーの内面に付着する。そして、
この飛散防止カバーの内面に付着したエッチング液は、
乾燥して塩化鉄などの結晶となり、その結晶が飛散防止
カバーの内面に付着した状態となる。

【０００８】飛散防止カバーの内面に付着した結晶がカ
バーの内面から剥がれて金属薄板上に落下すると、それ
以降に配置されたローラと金属薄板とが接触する際に金
属薄板にペコと呼ばれる不良（金属薄板の凹凸）が発生
する。また、飛散防止カバーの内面に付着した結晶がロ
ーラ上に落下してローラの周囲に付着すると、金属薄板
にペコ不良が発生したり、ローラの回転不良の原因とな
ったりする。また、結晶の付着による飛散防止カバーの
汚れにより、洗浄槽内の噴射ノズルなどの点検がやり辛
くなる。さらに、飛散防止カバーの内面に結晶が多量に
付着して、それがカバー内面から一度に剥がれると、洗
浄槽の排水に支障を来たすことがある。

【０００９】また、エッチングを２回に分けて行うエッ
チング装置では、上記した問題点のほか、飛散防止カバ
ーの内面に付着した結晶が金属薄板上に落下して、１回
目のエッチングで金属薄板の一方の主面に形成された凹
窩部に結晶が入り込んだりすると、酸の洗浄効果が低下
して、後に行われる耐エッチング性被膜の形成工程にお
いてＵＶ樹脂の硬化不良などの原因になったりするとい
った問題点がある。さらにまた、特開平５−９７５５号
公報に開示されたように、１回目のエッチングの後に金
属薄板の一方の主面へ高圧の水を吹き付けて、金属薄板
の主面に付着したエッチング液の除去と共に金属薄板の
一方の主面に形成されたレジスト膜の庇部の除去を行う
エッチング装置では、上記したように、飛散防止カバー
の内面に付着した結晶がローラ上に落下してローラの周
囲に付着すると、金属薄板を裏側から支持するローラ周
面に凹凸が出来るため、そのローラに支持された部分の
金属薄板に対し高圧の水を吹き付けてレジスト膜の庇部
を除去しようとしたときに、庇部の除去を均一に行えな
くなる、といった問題点もある。

【００１０】また、特開平８−７４０７２号公報に開示
されたように、金属薄板の主面へ水などの剥膜液を高圧
で吹き付けて、金属薄板の主面からレジスト膜を剥離す
る剥膜装置では、金属薄板の主面に僅かに残存している
エッチング液が、剥膜液と共に飛び散って飛散防止カバ
ーの内面に付着し、乾燥して結晶となり、その結晶が飛
散防止カバーの内面に付着する、といったことが起こ
る。このため、このような剥膜装置においても、上記し
たエッチング装置の洗浄槽における場合と同様の問題点
を生じる可能性がある。

【００１１】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、飛散防止カバーの内面に付着したエ
ッチング液の結晶化物を適宜除去して、飛散防止カバー
内面への結晶の付着が原因となって起こる上記した様々
な問題点を解消することができる金属薄板のエッチング
装置並びに金属薄板の剥膜装置を提供することを目的と
する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】請求項１に係る発明
は、主面に所定のパターン画像を有するレジスト膜が形
成され長手方向に搬送される長尺の金属薄板の主面へエ
ッチング液を供給し、金属薄板の主面の、レジスト膜で
被覆されていない露出部分をエッチングして、金属薄板
に多数の透孔を形成するエッチングチャンバと、飛散防
止カバーを有し、前記エッチングチャンバから搬出され
飛散防止カバー内へ搬入されて長手方向に搬送される前
記金属薄板の主面へ洗浄液を吹き付けて、金属薄板の主
面に付着したエッチング液を除去する洗浄槽とを備えた
エッチング装置において、また、請求項２および請求項
３に係る各発明は、両主面にそれぞれ所定のパターン画
像を有するレジスト膜が形成され長手方向に搬送される
長尺の金属薄板の一方の主面又は両主面へエッチング液
を供給し、金属薄板の主面の、レジスト膜で被覆されて
いない露出部分をエッチングして、金属薄板の一方の主
面又は両主面に多数の凹窩部を形成する第１エッチング
チャンバと、飛散防止カバーを有し、前記第１エッチン
グチャンバから搬出され飛散防止カバー内へ搬入されて
長手方向に搬送される前記金属薄板の一方の主面又は両
主面へ洗浄液を吹き付けて、金属薄板の一方の主面又は
両主面に付着したエッチング液を除去する第１洗浄槽
と、この第１洗浄槽から搬送されてくる前記金属薄板
の、多数の凹窩部が形成された一方の主面に耐エッチン
グ性被膜を形成する被膜形成手段と、一方の主面が前記
耐エッチング性被膜で被覆され長手方向に搬送される前
記金属薄板の他方の主面へエッチング液を供給し、金属
薄板の他方の主面の、レジスト膜で被覆されていない露
出部分をエッチングして、金属薄板に、一方の主面に形
成された多数の凹窩部にそれぞれ連通する多数の透孔を
形成する第２エッチングチャンバと、飛散防止カバーを
有し、前記第２エッチングチャンバから搬出され飛散防
止カバー内へ搬入されて長手方向に搬送される前記金属
薄板の他方の主面へ洗浄液を吹き付けて、金属薄板の他
方の主面に付着したエッチング液を除去する第２洗浄槽
とを備えたエッチング装置において、請求項１に係る発
明では前記洗浄槽の前記飛散防止カバー内に、請求項２
に係る発明では前記第１洗浄槽の前記飛散防止カバー内
に、また、請求項３に係る発明では前記第２洗浄槽の前
記飛散防止カバー内に、それぞれ、酸性液供給源に流路
接続された酸性液供給管を配設し、その酸性液供給管
に、飛散防止カバーの内面に対し酸性液を噴射する複数
の噴射口を設けたことを特徴とする。

【００１３】請求項４に係る発明は、請求項２又は請求
項３記載のエッチング装置において、上記第１洗浄槽に
おいて金属薄板の一方の主面へ吹き付けられる洗浄液を
高圧の洗浄液として、金属薄板の一方の主面に形成され
た多数の凹窩部の周縁より凹窩部の中心方向へ張り出し
たレジスト膜の張り出し部分がそれぞれ除去されるよう
にしたことを特徴とする。

【００１４】請求項５に係る発明は、飛散防止カバーを
有し、主面に所定のパターン画像を有するレジスト膜が
形成されエッチングによって多数の透孔が形成された長
尺の金属薄板を、前記飛散防止カバー内において長手方
向に搬送しながら、金属薄板の主面へ剥膜液を吹き付け
て、金属薄板の主面から前記レジスト膜を剥離する剥膜
装置において、前記飛散防止カバー内に、酸性液供給源
に流路接続された酸性液供給管を配設し、その酸性液供
給管に、飛散防止カバーの内面に対し酸性液を噴射する
複数の噴射口を設けたことを特徴とする。

【００１５】請求項１ないし請求項３に係る各発明の金
属薄板のエッチング装置においては、洗浄槽内で金属薄
板の主面へ洗浄液を吹き付けて、金属薄板の主面に付着
したエッチング液を除去したときに、その除去されたエ
ッチング液の一部が飛散防止カバーの内面に付着し、そ
のエッチング液が乾燥して結晶が飛散防止カバーの内面
に付着しても、適宜、酸性液供給管の複数の噴射口から
飛散防止カバーの内面に対し酸性液を噴射させることに
より、飛散防止カバーの内面に付着した結晶は、酸性液
によって溶解され、飛散防止カバーの内面から洗い流さ
れる。

【００１６】請求項４に係る発明のエッチング装置で
は、エッチングを２回に分けて行う場合において、１回
目のエッチングの後に第１洗浄槽において金属薄板の一
方の主面へ高圧の洗浄液を吹き付けて、金属薄板の主面
に付着したエッチング液を除去するとともに、金属薄板
の一方の主面に形成された多数の凹窩部の周縁より凹窩
部の中心方向へ張り出したレジスト膜の庇部を除去した
ときに、除去されたエッチング液の一部が飛散防止カバ
ーの内面に付着し、そのエッチング液が乾燥して結晶が
飛散防止カバーの内面に付着することになるが、上記し
たように、適宜、酸性液供給管の噴射口から飛散防止カ
バーの内面に対し酸性液を噴射させることにより、飛散
防止カバーの内面から結晶が洗い流される。

【００１７】請求項５に係る発明の金属薄板の剥膜装置
においては、金属薄板の主面へ剥膜液を吹き付けて、金
属薄板の主面からレジスト膜を剥離させたときに、金属
薄板の主面に残存していたエッチング液が剥膜液と共に
飛び散って飛散防止カバーの内面に付着し、そのエッチ
ング液が乾燥して結晶が飛散防止カバーの内面に付着し
ても、適宜、酸性液供給管の複数の噴射口から飛散防止
カバーの内面に対し酸性液を噴射させることにより、飛
散防止カバーの内面に付着した結晶は、酸性液によって
溶解され、飛散防止カバーの内面から洗い流される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の最良の実施形態
について図面を参照しながら説明する。

【００１９】最初に、図３は、両主面にそれぞれ所定の
パターン画像を有するレジスト膜が形成された金属薄板
を、その両主面から同時にエッチングして、１回のエッ
チングにより金属薄板に貫通した多数の透孔を形成する
金属薄板のエッチング装置の概略構成を示す模式図であ
る。このエッチング装置は、エッチングチャンバ１２と
洗浄槽１４とを備えている。両主面にそれぞれ所定のパ
ターン画像を有するレジスト膜が形成された長尺の金属
薄板１０は、その長手方向に連続して搬送され、エッチ
ングチャンバ１２内に通された後、洗浄槽１４内に通さ
れる。

【００２０】エッチングチャンバ１２には、金属薄板１
０の搬送路を挾んでその上下に、それぞれ複数のスプレ
イノズル１６、１６が列設されている。このエッチング
チャンバ１２内を金属薄板１０が通過する間に、スプレ
イノズル１６から金属薄板１０の両主面に対し、例えば
塩化第二鉄水溶液などのエッチング液がそれぞれ噴射さ
れ、金属薄板の両主面の、レジスト膜で被覆されていな
い露出部分がそれぞれエッチングされ、金属薄板に貫通
した多数の透孔が形成される。

【００２１】洗浄槽１４は、槽下部に洗浄液、例えば水
１８を貯留する貯水部を有し、槽底部にドレンバルブ１
９が介設されたドレン管１７が連通接続され、槽内部に
複数本の搬送ローラ２０が配設されており、そのうちの
１本の搬送ローラ２０は、貯水部の水１８中に浸漬させ
られた状態で設けられている。また、洗浄槽１４の内部
には、金属薄板１０の搬送路を挾んでその両側に、それ
ぞれ複数の水噴射ノズル２２が列設されている。さら
に、洗浄槽１４には、搬送ローラ２０および水噴射ノズ
ル２２の周囲を完全に取り囲むように飛散防止カバー２
４が設けられている。そして、この洗浄槽１４の内部に
は、酸性液、例えば塩酸の供給管２６が配設されてお
り、塩酸供給管２６は、開閉弁３０およびポンプ３２が
介設された配管２８を通して塩酸供給源に流路接続され
ている。塩酸供給管２６には、飛散防止カバー２４の内
面に対し塩酸を噴射する複数の噴射口３４が設けられて
いる。なお、酸性液としては、塩酸のほか、硝酸、硫
酸、蓚酸などが用いられる。

【００２２】エッチングチャンバ１２から搬出された金
属薄板１０は、洗浄槽１４内へ搬入されて洗浄槽１４内
を通過する間に、水噴射ノズル２２から両主面へそれぞ
れ水が吹き付けられるとともに、水貯留部の水１８中に
浸漬させられる。これにより、金属薄板１０の両主面に
付着したエッチング液が除去される。この際、水噴射ノ
ズル２２から金属薄板１０の主面に対し水が吹き付けら
れることにより、金属薄板１０の主面から水と共にエッ
チング液が飛び散り、そのエッチング液の一部が飛散防
止カバー２４の内面に付着する。そして、飛散防止カバ
ー２４の内面に付着したエッチング液は、乾燥して塩化
鉄などの結晶となり、エッチング処理を繰り返し行って
いる間に、飛散防止カバー２４の内面に次第に結晶が堆
積してくる。そこで、この装置では、適宜、例えば、週
末や週始めなどに、洗浄槽１４内に金属薄板が無い状態
で、かつ、ドレンバルブ１９を開いてドレン管１７を通
し貯水部の水１８を排出させた状態で、開閉弁３０を開
きポンプ３２を作動させて、塩酸供給源から配管２８を
通し塩酸供給管２６へ塩酸を供給し、塩酸供給管２６の
複数の噴射口３４から飛散防止カバー２４の内面に対し
塩酸を噴射させる。これにより、飛散防止カバー２４の
内面に付着した結晶が塩酸によって溶解させられ、飛散
防止カバー２４の内面から洗い流されて除去される。

【００２３】なお、エッチングを２回に分けて行うエッ
チング装置において、両主面にそれぞれ所定のパターン
画像を有するレジストが形成された金属薄板の両主面へ
スプレイノズルからエッチング液を吹き付けて１回目の
エッチングを行い、金属薄板の両主面にそれぞれ多数の
凹窩部を形成し、その後に、金属薄板の両主面へ噴射ノ
ズルから洗浄液を吹き付けて、金属薄板の両主面に付着
したエッチング液を除去する場合にも、図３に示した装
置構成をそのまま使用することができる。この場合に
は、エッチングチャンバ１２が第１エッチングチャンバ
となり、洗浄槽１４が第１洗浄槽となる。また、片面に
所定のパターン画像を有するレジスト膜が形成された金
属薄板を片面側からエッチングして、１回のエッチング
により金属薄板に貫通した多数の透孔を形成するエッチ
ング装置や、両主面にそれぞれ所定のパターン画像を有
するレジスト膜が形成された金属薄板のエッチングを２
回に分けて行い、１回目のエッチングでは、金属薄板の
一方の主面へエッチング液を吹き付けて、金属薄板の一
方の主面に多数の凹窩部を形成するエッチング装置につ
いて、この発明を適用する場合には、図３に示した装置
構成において、スプレイノズル１６や水噴射ノズル２２
を金属薄板１０の片側だけに設けた構成とすればよい。

【００２４】次に、図１は、両主面にそれぞれ所定のパ
ターン画像を有するレジスト膜が形成された金属薄板の
エッチングを２回に分けて行うエッチング装置におい
て、１回目のエッチングの後に金属薄板の一方の主面へ
高圧の洗浄液、例えば水を吹き付けて、金属薄板の主面
に付着したエッチング液の除去と同時に、金属薄板の一
方の主面に形成された多数の凹窩部の周縁より凹窩部の
中心方向へ張り出したレジスト膜の庇部を除去するよう
にした第１洗浄槽の概略構成を示す模式図である。

【００２５】図１に示した第１洗浄槽３６は、内部にバ
ックアップローラ３８および搬送ローラ４０が配設さ
れ、バックアップローラ３８の周面に対向するように高
圧スプレイノズル４２が配設されている。高圧スプレイ
ノズル４２は、図示しない高圧ポンプに流路接続されて
いて、高圧の水が供給されるようになっている。また、
第１洗浄槽３６には、バックアップローラ３８、搬送ロ
ーラ４０および高圧スプレイノズル４２の周囲を完全に
取り囲むように飛散防止カバー４４が設けられている。
さらに、第１洗浄槽３６の内部には、図３に示した洗浄
槽１４と同様に、複数の噴射口３４が設けられた塩酸供
給管２６が配設されており、塩酸供給管２６は、開閉弁
３０およびポンプ３２が介設された配管２８を通して塩
酸供給源に流路接続されている。塩酸供給管２６の複数
の噴射口３４は、図２に示すように、飛散防止カバー４
４の天井部内面および周壁部内面に対向するほか、ロー
ラ（図２には図示せず）の周面の方向へ向くように設け
ることができる。また、第１洗浄槽３６には、洗浄液、
例えば洗浄水４８を貯留した水洗槽４６が併設されてお
り、第１洗浄槽３６から搬出された金属薄板１０が搬送
ローラ５０により水洗槽４６内の洗浄水４８中に浸漬さ
せられて搬送されるようになっている。

【００２６】図示しない第１エッチングチャンバから搬
出された金属薄板１０は、この第１洗浄槽３６内へ搬入
され、裏側をバックアップローラ３８に支持されて搬送
される際に、スプレイノズル４２から水が高圧で金属薄
板１０の一方の主面へ吹き付けられる。これにより、金
属薄板１０の主面に付着したエッチング液が除去され、
それと同時に、金属薄板１０の一方の主面に形成された
多数の凹窩部の周縁より凹窩部の中心方向へ張り出した
レジスト膜の庇部が除去される。この際、金属薄板１０
の主面から除去されたエッチング液の一部は、飛散防止
カバー４４の内面に付着する。そして、飛散防止カバー
４４の内面に付着したエッチング液は、乾燥して塩化鉄
などの結晶となり、飛散防止カバー４４の内面に次第に
結晶が堆積する。飛散防止カバー４４の内面に堆積した
結晶は、図３に示した洗浄槽１４と同様に、適宜、第１
洗浄槽３６内に金属薄板が無い状態で、開閉弁３０を開
きポンプ３２を作動させて、塩酸供給管２６の複数の噴
射口３４から飛散防止カバー４４の内面に対し塩酸を噴
射させることにより、塩酸で溶解させられて飛散防止カ
バー４４の内面から洗い流される。

【００２７】次に、図４は、金属薄板のエッチングを２
回に分けて行うエッチング装置の一部を示し、２回目の
エッチングを行う第２エッチングチャンバおよび２回目
のエッチングの後の洗浄を行う第２洗浄槽の概略構成を
示す模式図である。

【００２８】第２エッチングチャンバ５２は、金属薄板
１０の搬送路の下側のみに複数のスプレイノズル５４が
配設されている。この第２エッチングチャンバ５２で
は、１回目のエッチングにより一方の主面又は両主面に
多数の凹窩部が形成され被膜形成手段により一方の主面
にＵＶ樹脂などの耐エッチング性被膜が形成された金属
薄板１０が搬送される間に、金属薄板１０の他方の主面
に対しスプレイノズル５４からエッチング液が噴射さ
れ、金属薄板１０の他方の主面がエッチングされて、金
属薄板１０に、一方の主面に形成された多数の凹窩部に
それぞれ連通する多数の透孔が形成される。

【００２９】第２洗浄槽５６は、槽下部に洗浄液、例え
ば水５８を貯留する水貯留部を有し、槽底部にドレンバ
ルブ５９が介設されたドレン管５７が連通接続され、槽
内部に複数本の搬送ローラ６０が配設されており、その
うちの１本の搬送ローラ６０は、水貯留部の水５８中に
浸漬させられた状態で設けられている。また、第２洗浄
槽５６の内部には、金属薄板１０の片側（他方の主面
側）に複数の水噴射ノズル６２が列設されている。さら
に、第２洗浄槽５６には、搬送ローラ６０および水噴射
ノズル６２の周囲を完全に取り囲むように飛散防止カバ
ー６４が設けられている。そして、第２洗浄槽５６の内
部には、図３に示した洗浄槽１４と同様に、複数の噴射
口３４が設けられた塩酸供給管２６が配設され、塩酸供
給管２６は、開閉弁３０およびポンプ３２が介設された
配管２８を通して塩酸供給源に流路接続されている。

【００３０】第２エッチングチャンバ５２から搬出され
てこの第２洗浄槽５６内へ搬入されてきた金属薄板１０
が、その他方の主面への水噴射ノズル６２からの水の吹
付けによって洗浄される際に、金属薄板１０の他方の主
面から除去されたエッチング液の一部が飛散防止カバー
６４の内面に付着し、それが乾燥して、飛散防止カバー
６４の内面に結晶が付着し堆積することになる。この結
晶は、図３に示した洗浄槽１４と同様に、適宜、第２洗
浄槽５６内に金属薄板１０が無い状態で、かつ、ドレン
バルブ５９を開いてドレン管５７を通し貯水部の水５８
を排出させた状態で、塩酸供給管２６の複数の噴射口３
４から飛散防止カバー６４の内面に対し塩酸を噴射させ
ることにより、塩酸で溶解させられて飛散防止カバー６
４の内面から洗い流される。

【００３１】図５は、エッチング装置の後段側に設置さ
れる金属薄板の剥膜装置の概略構成を示す模式図であ
る。この剥膜装置は、下底部に排液部６８が設けられた
剥膜槽６６を有し、剥膜槽６６の外部および内部に複数
本の搬送ローラ７０が配設され、また、槽内部に２本の
バックアップローラ７２が配設されている。そして、長
尺の金属薄板１０は、複数本の搬送ローラ７０および２
本のバックアップローラ７２に順次掛け回されて、剥膜
槽６６内へ搬入され、剥膜槽６６内を搬送されて、剥膜
槽６６内から搬出されるようになっている。また、剥膜
槽６６の内部には、各バックアップローラ７２の周面に
対向するように高圧噴射ノズル７４がそれぞれ配設され
ている。各高圧噴射ノズル７４は、図示しない高圧ポン
プにそれぞれ流路接続されていて、高圧の剥膜液、例え
ば水が供給されるようになっている。さらに、剥膜槽６
６には、搬送ローラ７０、バックアップローラ７２およ
び高圧噴射ノズル７４の周囲を完全に取り囲むように飛
散防止カバー７６が設けられている。そして、剥膜槽６
６の内部には、図３に示した洗浄槽１４と同様に、複数
の噴射口３４が設けられた塩酸供給管２６が配設されて
おり、塩酸供給管２６は、開閉弁３０およびポンプ３２
が介設された配管２８を通して塩酸供給源に流路接続さ
れている。

【００３２】エッチング処理が終了した金属薄板１０
は、この剥膜装置の剥膜槽６６内へ搬入され、各バック
アップローラ７２に支持されて搬送される際に、高圧噴
射ノズル７４から水が高圧で金属薄板１０のそれぞれの
主面へ吹き付けられる。これにより、金属薄板１０の両
主面からそれぞれレジスト膜が剥離される。この際、金
属薄板１０の各主面に僅かに残存しているエッチング液
が、水と共に飛び散って飛散防止カバー７６の内面に付
着し、それが乾燥して結晶となり、その結晶が飛散防止
カバー７６の内面に付着し堆積する。この結晶は、図３
に示した洗浄槽１４と同様に、適宜、剥膜槽７６内に金
属薄板１０が無い状態で、塩酸供給管２６の複数の噴射
口３４から飛散防止カバー７６の内面に対し塩酸を噴射
させることにより、塩酸で溶解させられて飛散防止カバ
ー７６の内面から洗い流される。

【００３３】

【発明の効果】請求項１ないし請求項３に係る各発明の
金属薄板のエッチング装置を使用すると、洗浄槽に設け
られた飛散防止カバーの内面にエッチング液が付着しそ
れが乾燥して結晶となっても、その結晶を飛散防止カバ
ーの内面から適宜除去することができるので、飛散防止
カバーの内面への結晶の付着に起因して様々な問題が発
生するのを未然に防止することができる。

【００３４】請求項４に係る発明のエッチング装置で
は、１回目のエッチングの後に第１洗浄槽において行わ
れる金属薄板の洗浄の際に、金属薄板の一方の主面へ高
圧の洗浄液が吹き付けられることにより、金属薄板の主
面に付着したエッチング液が除去されてその一部が飛散
防止カバーの内面に付着し、それが乾燥して飛散防止カ
バーの内面に結晶が付着することになるが、その結晶が
飛散防止カバーの内面から適宜除去される。

【００３５】請求項５に係る発明の金属薄板の剥膜装置
を使用すると、金属薄板の主面へ剥膜液を吹き付けて金
属薄板の主面からレジスト膜を剥離させるときに、金属
薄板の主面に残存していたエッチング液が除去されてそ
の一部が飛散防止カバーの内面に付着し、そのエッチン
グ液が乾燥して結晶が飛散防止カバーの内面に付着して
も、その結晶を飛散防止カバーの内面から適宜除去する
ことができるので、飛散防止カバーの内面への結晶の付
着に起因した様々な問題の発生を未然に防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項４に係る発明の１実施形態を示し、金属
薄板のエッチング装置の一部を構成する第１洗浄槽の概
略構成を示す模式図である。

【図２】図１に示した第１洗浄槽の内部に配設された塩
酸供給管の構成の１例を示す部分斜視図である。

【図３】請求項１に係る発明の１実施形態を示し、金属
薄板のエッチング装置の概略構成を示す模式図である。

【図４】請求項３に係る発明の１実施形態を示し、金属
薄板のエッチング装置の一部を構成する第２エッチング
チャンバおよび第２洗浄槽の概略構成を示す模式図であ
る。

【図５】請求項５に係る発明の１実施形態を示し、金属
薄板の剥膜装置の概略構成を示す模式図である。

【符号の説明】

１０ 金属薄板 １２ エッチングチャンバ １４ 洗浄槽 １６、５４ スプレイノズル ２０、４０、５０、６０、７０ 搬送ローラ ２２、６２ 水噴射ノズル ２４、４４、６４、７６ 飛散防止カバー ２６ 塩酸供給管 ３４ 塩酸供給管の噴射口 ３６ 第１洗浄槽 ３８、７２ バックアップローラ ４２ 高圧スプレイノズル ４６ 水洗槽 ５２ 第２エッチングチャンバ ５６ 第２洗浄槽 ６６ 剥膜槽 ７４ 高圧噴射ノズル

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主面に所定のパターン画像を有するレジ
   スト膜が形成され長手方向に搬送される長尺の金属薄板
   の主面へエッチング液を供給し、金属薄板の主面の、レ
   ジスト膜で被覆されていない露出部分をエッチングし
   て、金属薄板に多数の透孔を形成するエッチングチャン
   バと、 飛散防止カバーを有し、前記エッチングチャンバから搬
   出され飛散防止カバー内へ搬入されて長手方向に搬送さ
   れる前記金属薄板の主面へ洗浄液を吹き付けて、金属薄
   板の主面に付着したエッチング液を除去する洗浄槽とを
   備えた金属薄板のエッチング装置において、 前記洗浄槽の前記飛散防止カバー内に、酸性液供給源に
   流路接続された酸性液供給管を配設し、その酸性液供給
   管に、飛散防止カバーの内面に対し酸性液を噴射する複
   数の噴射口を設けたことを特徴とする金属薄板のエッチ
   ング装置。
2. 【請求項２】 両主面にそれぞれ所定のパターン画像を
   有するレジスト膜が形成され長手方向に搬送される長尺
   の金属薄板の一方の主面又は両主面へエッチング液を供
   給し、金属薄板の主面の、レジスト膜で被覆されていな
   い露出部分をエッチングして、金属薄板の一方の主面又
   は両主面に多数の凹窩部を形成する第１エッチングチャ
   ンバと、 飛散防止カバーを有し、前記第１エッチングチャンバか
   ら搬出され飛散防止カバー内へ搬入されて長手方向に搬
   送される前記金属薄板の一方の主面又は両主面へ洗浄液
   を吹き付けて、金属薄板の一方の主面又は両主面に付着
   したエッチング液を除去する第１洗浄槽と、 この第１洗浄槽から搬送されてくる前記金属薄板の、多
   数の凹窩部が形成された一方の主面に耐エッチング性被
   膜を形成する被膜形成手段と、 一方の主面が前記耐エッチング性被膜で被覆され長手方
   向に搬送される前記金属薄板の他方の主面へエッチング
   液を供給し、金属薄板の他方の主面の、レジスト膜で被
   覆されていない露出部分をエッチングして、金属薄板
   に、一方の主面に形成された多数の凹窩部にそれぞれ連
   通する多数の透孔を形成する第２エッチングチャンバ
   と、 飛散防止カバーを有し、前記第２エッチングチャンバか
   ら搬出され飛散防止カバー内へ搬入されて長手方向に搬
   送される前記金属薄板の他方の主面へ洗浄液を吹き付け
   て、金属薄板の他方の主面に付着したエッチング液を除
   去する第２洗浄槽とを備えた金属薄板のエッチング装置
   において、 前記第１洗浄槽の前記飛散防止カバー内に、酸性液供給
   源に流路接続された酸性液供給管を配設し、その酸性液
   供給管に、飛散防止カバーの内面に対し酸性液を噴射す
   る複数の噴射口を設けたことを特徴とする金属薄板のエ
   ッチング装置。
3. 【請求項３】 両主面にそれぞれ所定のパターン画像を
   有するレジスト膜が形成され長手方向に搬送される長尺
   の金属薄板の一方の主面又は両主面へエッチング液を供
   給し、金属薄板の主面の、レジスト膜で被覆されていな
   い露出部分をエッチングして、金属薄板の一方の主面又
   は両主面に多数の凹窩部を形成する第１エッチングチャ
   ンバと、 飛散防止カバーを有し、前記第１エッチングチャンバか
   ら搬出され飛散防止カバー内へ搬入されて長手方向に搬
   送される前記金属薄板の一方の主面又は両主面へ洗浄液
   を吹き付けて、金属薄板の一方の主面又は両主面に付着
   したエッチング液を除去する第１洗浄槽と、 この第１洗浄槽から搬送されてくる前記金属薄板の、多
   数の凹窩部が形成された一方の主面に耐エッチング性被
   膜を形成する被膜形成手段と、 一方の主面が前記耐エッチング性被膜で被覆され長手方
   向に搬送される前記金属薄板の他方の主面へエッチング
   液を供給し、金属薄板の他方の主面の、レジスト膜で被
   覆されていない露出部分をエッチングして、金属薄板
   に、一方の主面に形成された多数の凹窩部にそれぞれ連
   通する多数の透孔を形成する第２エッチングチャンバ
   と、 飛散防止カバーを有し、前記第２エッチングチャンバか
   ら搬出され飛散防止カバー内へ搬入されて長手方向に搬
   送される前記金属薄板の他方の主面へ洗浄液を吹き付け
   て、金属薄板の他方の主面に付着したエッチング液を除
   去する第２洗浄槽とを備えた金属薄板のエッチング装置
   において、 前記第２洗浄槽の前記飛散防止カバー内に、酸性液供給
   源に流路接続された酸性液供給管を配設し、その酸性液
   供給管に、飛散防止カバーの内面に対し酸性液を噴射す
   る複数の噴射口を設けたことを特徴とする金属薄板のエ
   ッチング装置。
4. 【請求項４】 第１洗浄槽において金属薄板の一方の主
   面へ吹き付けられる洗浄液を高圧の洗浄液として、金属
   薄板の一方の主面に形成された多数の凹窩部の周縁より
   凹窩部の中心方向へ張り出したレジスト膜の張り出し部
   分がそれぞれ除去されるようにした請求項２又は請求項
   ３記載の金属薄板のエッチング装置。
5. 【請求項５】 飛散防止カバーを有し、主面に所定のパ
   ターン画像を有するレジスト膜が形成されエッチングに
   よって多数の透孔が形成された長尺の金属薄板を、前記
   飛散防止カバー内において長手方向に搬送しながら、金
   属薄板の主面へ剥膜液を吹き付けて、金属薄板の主面か
   ら前記レジスト膜を剥離する金属薄板の剥膜装置におい
   て、 前記飛散防止カバー内に、酸性液供給源に流路接続され
   た酸性液供給管を配設し、その酸性液供給管に、飛散防
   止カバーの内面に対し酸性液を噴射する複数の噴射口を
   設けたことを特徴とする金属薄板の剥膜装置。