DE10130999A1 - Multifunktions-Reinigungsmodul einer Herstellungseinrichtung für Flachbildschirme und Reinigungsgerät mit Verwendung desselben - Google Patents

Multifunktions-Reinigungsmodul einer Herstellungseinrichtung für Flachbildschirme und Reinigungsgerät mit Verwendung desselben

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DE10130999A1
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Jeong Jin Kim
Jum Lyul Han
Byeong Hoo Park
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

Das Multifunktions-Reinigungsmodul weist eine Mehrzahl von Luftvorhängen, eine Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvorrichtung, eine Bürste, eine Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung und eine Luftbürste auf, die ununterbrochen auf einer Ebene angeordnet sind, wobei die Glassubstrate ununterbrochen in sie eingeführt werden. DOLLAR A Das Reinigungsgerät zur Verwendung des Multifunktions-Reinigungsmoduls weist ein Antriebsteil mit Lade- und Entladeabschnitten sowie das Multifunktions-Reinigungsmodul auf.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG Anwendungsbereich der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Herstellungs­ einrichtung für einen Flachbildschirm, und insbesonde­ re ein Multifunktions-Reinigungsmodul, dessen Elemente integriert sind und somit einen Anlagenbereich mini­ mieren, und ein Reinigungsgerät mit Verwendung des Multifunktions-Reinigungsmoduls.
Beschreibung des Standes der Technik
Fig. 1a ist ein Blockdiagramm, das ein herkömmliches Reinigungsgerät einer Herstellungseinrichtung für ei­ nen Flachbildschirm darstellt und Fig. 1b ist ein schematisches Anordnungsdiagramm.
Unter Bezugnahme auf Fig. 1a und Fig. 1b weist das herkömmliche Reinigungsgerät ein Transportteil mit ei­ nem Ladeabschnitt und einem Entladeabschnitt, ein Rei­ nigungsteil mit einem O3-Behandlungsabschnitt, einen Bürstenabschnitt, einen Düsenabschnitt und einen Duschabschnitt mit entionisiertem Wasser und einen Trocknungsabschnitt auf.
Der Ladeabschnitt des Transportteils bringt ein Glas­ substrat (nicht dargestellt) in das Reinigungsgerät hinein, und der Entladeabschnitt des Transportteils bringt das Glassubstrat aus dem Reinigungsgerät her­ aus.
Das Reinigungsteil entfernt auf dem Glassubstrat vor­ handene Schadstoffe und Unreinheiten.
Das Trocknungsteil trocknet einen Reiniger, wie bei­ spielsweise nach dem Reinigungsvorgang auf dem Glas­ substrat verbliebendes entionisiertes Wasser.
Bei den oben erwähnten Vorgängen wird das Glassubstrat durch eine Unterlage bewegt.
Bei dem herkömmlichen Reinigungsgerät ist jedoch eine ununterbrochene Fortsetzung der Herstellungsvorgänge mit Reinigung in Verbindung mit einem weiteren Her­ stellungsvorgang mit Ausnahme des Reinigungsvorgangs schwierig, weil der Anlagenbereich zu groß ist, wo­ durch eine Fabrikations-Endausbeute verringert wird.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Dementsprechend betrifft die vorliegende Erfindung ein Multifunktions-Reinigungsmodul, bei dem im wesentli­ chen eines oder mehrere Probleme aufgrund der Begren­ zungen und Nachteile des Standes der Technik vermieden werden.
Die Aufgabe der Vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Multifunktions-Reinigungsmodul bereitzustellen, dessen Elemente integriert sind und somit einen Anla­ genbereich minimieren und bei der Fabrikation einen Raum effektiv nutzen.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung be­ steht darin, eine Ausbeute des Flachbildschirms durch Verwendung des Multifunktions-Reinigungsmoduls zu er­ höhen.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung be­ steht darin, neue Elemente des Multifunktions-Reini­ gungsmoduls bereitzustellen.
Um die Aufgabe zu lösen und in Übereinstimmung mit dem Zweck der Erfindung, wie in diesem Dokument ausgeführt und allgemein beschrieben wird, weist die Erfindung ein Multifunktions-Reinigungsmodul mit einer Mehrzahl von Luftvorhängen, eine Exzimer-Ultraviolettlicht-Aus­ strahlungsvorrichtung, eine Bürste, eine Hochgeschwin­ digkeits-Abduschvorrichtung und eine Luftbürste auf, die ununterbrochen auf einer Ebene angeordnet sind, wobei die Glassubstrate ununterbrochen in sie einge­ führt werden.
Darüber hinaus weist das Reinigungsgerät gemäß der vorliegenden Erfindung ein Antriebsteil mit Lade- und Entladeabschnitten sowie das Multifunktions-Reini­ gungsmodul auf.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Die vorliegende Erfindung wird anhand der nachfolgend gegebenen detaillierten Beschreibung und anhand der dazugehörigen Zeichnungen, die nur der Veranschauli­ chung dienen sollen und somit die vorliegende Erfin­ dung nicht begrenzen, verständlicher, wobei
Fig. 1a ein Blockdiagramm ist, das ein herkömmliches Reinigungsgerät einer Herstellungseinrich­ tung für den Flachbildschirm darstellt,
Fig. 1b ein schematisches Anordnungsdiagramm ist.
Fig. 2 eine schematische perspektivische Ansicht ist, die ein Multifunktions-Reinigungsmodul gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt.
Fig. 3a eine schematische Ansicht ist, die eine Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvor­ richtung des Multifunktions-Reinigungsmoduls gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt,
Fig. 3b eine Schnittansicht von Fig. 3a ist,
Fig. 3c eine Seitenansicht von Fig. 3b ist.
Fig. 4a eine Zeichnung ist, die eine Hochgeschwin­ digkeits-Abduschvorrichtung des Multifunkti­ ons-Reinigungsmoduls gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt,
Fig. 4b eine teilweise vergrößerte Ansicht von Fig. 4a ist.
Fig. 5a eine Zeichnung ist, die eine weitere Ausfüh­ rung der Hochgeschwindigkeits-Abduschvor­ richtung darstellt,
Fig. 5b eine teilweise vergrößerte Ansicht von Fig. 5a ist.
Fig. 6 eine Vergleichsansicht zur Erklärung von Fig. 5a und 5b ist.
Fig. 7 eine Zeichnung ist, die eine weitere Ausfüh­ rung der Hochgeschwindigkeits-Abduschvor­ richtung darstellt.
Fig. 8 eine Zeichnung ist, die eine weitere Ausfüh­ rung der Hochgeschwindigkeits-Abduschvor­ richtung darstellt.
Fig. 9a und 9b Zeichnungen sind, die die V-förmige Luftbürste des Multifunktions-Reinigungsmo­ duls gemäß der vorliegenden Erfindung dar­ stellen.
Fig. 10 eine Zeichnung ist, die ein Prinzip des An­ triebsteils des Multifunktions-Reinigungsmo­ duls gemäß der vorliegenden Erfindung er­ klärt.
Fig. 11 eine Zeichnung zur Erklärung eines weiteren Prinzips eines Antriebsteils ist.
Fig. 12a eine Draufsicht ist, die eine Ausführung des Antriebsteils des Multifunktions-Reinigungs­ moduls gemäß der vorliegenden Erfindung dar­ stellt,
Fig. 12b eine Seitenansicht von Fig. 12a ist.
Fig. 13a eine Draufsicht ist, die eine weitere Aus­ führung des Antriebsteils darstellt,
Fig. 13b eine Seitenansicht von Fig. 13a ist.
Fig. 14 eine schematische Seitenansicht des Reini­ gungsgerätes gemäß einer Ausführung der vor­ liegenden Erfindung ist.
Fig. 15 eine schematische Seitenansicht des Reini­ gungsgerätes gemäß einer weiteren Ausführung der vorliegenden Erfindung ist.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Nachfolgend wird das Multifunktions-Reinigungsmodul und ein Reinigungsgerät der vorliegenden Erfindung mit Verwendung desselben durch Beschreibung der dazugehö­ rigen Zeichnungen detailliert beschrieben.
Fig. 2 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die das Multifunktions-Reinigungsmodul gemäß der vor­ liegenden Erfindung darstellt.
Das Multifunktions-Reinigungsmodul gemäß der vorlie­ genden Erfindung weist eine Mehrzahl von Luftvorhängen 1, eine Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvor­ richtung 2, eine Bürste 3, eine Hochgeschwindigkeits- Abduschvorrichtung 4 und eine Luftbürste 5 auf, die ununterbrochen auf einer Ebene angeordnet sind, wobei die Glassubstrate ununterbrochen in sie eingeführt werden.
Die Mehrzahl von Luftvorhängen 1 ist so angeordnet, daß eine möglicherweise zwischen ihnen erzeugte Kolli­ sion ausgeschlossen ist.
Andererseits sind bei dem erfindungsgemäßen Multifunk­ tions-Reinigungsmodul alle Elemente einschließlich der Luftbürste im Vergleich zu dem herkömmlichen Reini­ gungsmodul verbessert, wobei bei einem Glassubstrat verschiedene Reinigungsfunktionen gleichzeitig ange­ wandt werden.
Unter Bezugnahme auf Fig. 2 weist das erfindungsgemäße Multifunktions-Reinigungsmodul die folgende Zusammen­ setzung auf: Luftvorhang - Exzimer-Ultraviolettlicht- Ausstrahlungsvorrichtung - Bürste - Hochgeschwindig­ keits-Abduschvorrichtung - Luftvorhang - Luftbürste - Luftvorhang. Weiterhin ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, verschiedene Zusammensetzungen ent­ sprechend den nachfolgenden Funktionen und Gegenstän­ den bereitzustellen.
  • 1. Luftvorhang - Bürste - Hochgeschwindigkeits-Ab­ duschvorrichtung - Luftvorhang - Luftbürste - Luftvorhang - Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrah­ lungsvorrichtung - Luftvorhang
  • 2. Luftvorhang - Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrah­ lungsvorrichtung - Luftvorhang - Bürste - Hochge­ schwindigkeits-Abduschvorrichtung - Luftvorhang - Luftbürste - Luftvorhang - Exzimer-Ultraviolett­ licht-Ausstrahlungsvorrichtung - Luftvorhang
  • 3. Luftvorhang - Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrah­ lungsvorrichtung - Luftvorhang - Hochgeschwindig­ keits-Abduschvorrichtung - Luftvorhang - Luftbür­ ste - Luftvorhang
  • 4. Luftvorhang - Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrich­ tung - Luftvorhang - Luftbürste - Luftvorhang - Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvorrichtung - Luftvorhang
  • 5. Luftvorhang - Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrah­ lungsvorrichtung - Luftvorhang - Hochgeschwindig­ keits-Abduschvorrichtung - Luftvorhang - Luftbür­ ste - Luftvorhang - Exzimer-Ultraviolettlicht-Aus­ strahlungsvorrichtung - Luftvorhang
Bei einem weiteren Aspekt gemäß der vorliegenden Er­ findung kann außer bei den obigen Zusammensetzungen 1) bis 5) eine andere Zusammensetzung verwendet werden, die spezifische Funktionen ausführt.
Beispielsweise kann die Hochgeschwindigkeits-Abdusch­ vorrichtung als Ätzvorrichtung oder als Entwicklungs­ vorrichtung verwendet werden. Bei dem oben erwähnten Aspekt stößt die Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrich­ tung entionisiertes Wasser aus. Bei Verwendung als Ätz- oder Entwicklungsvorrichtung stößt die Hochge­ schwindigkeits-Abduschvorrichtung ein Ätzmittel oder einen Entwickler aus.
Nachfolgend werden Elemente des Multifunktions-Reini­ gungsmoduls gemäß der vorliegenden Erfindung durch Be­ schreibung der dazugehörigen Zeichnungen detailliert beschrieben.
Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvorrichtung
Fig. 3a ist eine schematische Ansicht, die eine Exzi­ mer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvorrichtung des Multifunktions-Reinigungsmoduls gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt.
Unter Bezugnahme auf Fig. 3a weist die Exzimer- Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvorrichtung 2 ein Lam­ pengehäuse 113, ein zylinderförmiges Quarzrohr 115 und eine Ultraviolettlichtlampe 117 in dem zylinderförmi­ gen Quarzrohr 115 auf.
Die Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvorrichtung 2 ist dafür vorgesehen, einen Ausfluß von durch die Ultraviolettlichtlampe 117 erzeugtem O3-Gas zu unter­ drücken und eine konstante Konzentration von O3, vor­ zugsweise 50-500 ppm, aufrecht zu erhalten, und zwar als ein Zuflußloch → ein Luft oder N2-Gas ausstoßen­ des Loch → ein Ausflußloch → das Lampengehäuse → das Ausflußloch → das Luft oder N2-Gas ausstoßende Loch → das Ausflußloch.
In der Zeichnung stellt eine Markierung 116 ein N2-Gas ausstoßendes Loch dar, ein Pfeil A stellt eine Luft­ ausstoßrichtung dar, und ein Pfeil O stellt eine Luft­ ausflußrichtung dar. Andererseits stellt ein Pfeil un­ ter dem Glassubstrat 10 eine Ausflußrichtung einer an­ steigenden Flüssigkeit dar.
Fig. 3b ist eine Schnittansicht von Fig. 3a, und Fig. 3c ist eine Seitenansicht.
Unter Bezugnahme auf Fig. 3a und Fig. 3b weist das zy­ linderförmige Quarzrohr 115 die bereitgestellte Ultra­ violettlichtlampe 117 und eine Reflexionsfolie 115a auf. Durch diese Zusammensetzung wird ein Licht von der Ultraviolettlichtlampe 117 auf das Glassubstrat 10 konzentriert, wodurch eine Lichtausbeute erhöht wird. Zu diesem Zeitpunkt kann die Reflexionsfolie 115a durch Ablage eines Materials hergestellt werden, das ein Lichtreflexionsmerkmal aufweist.
Das durch das N2-Gas ausstoßende Loch austretende N2- Gas hält in einem Raum zwischen dem zylinderförmigen Quarzrohr 115 und der Ultraviolettlichtlampe 117 eine N2-Gasatmosphäre aufrecht und minimiert dadurch einen Verlust an Ultraviolettlicht durch Sauerstoff.
Die Ultraviolettlichtlampe 117 weist eine Mehrzahl von Außenelektroden 117a, eine Innenelektrode 117b und ei­ ne elektrische Lichtquelle 117c auf.
In der Zeichnung sind die Außenelektroden 117a überall außer in einem Bereich S vorhanden, wodurch die Licht­ ausbeute erhöht wird.
Nachfolgend wird der Ultraviolettlicht-Ausstrahlungs­ vorgang durch Beschreibung der dazugehörigen Zeichnun­ gen detailliert beschrieben.
Zunächst wird das Glassubstrat 10 durch eine Trans­ portvorrichtung (nicht dargestellt) in das Gerät ein­ geführt und durch ein später erwähntes Düsenventil in einem Schwebezustand gehalten. Zu diesem Zeitpunkt wird ein Spalt zwischen dem Glassubstrat 10 und dem Lampengehäuse 113 ordnungsgemäß aufrecht erhalten, in­ dem eine Intensität der ansteigenden Flüssigkeit von dem Düsenventil gesteuert wird.
Zweitens wird Luft in das Lampengehäuse 113 eingelei­ tet und N2-Gas wird durch das N2-Gas ausstoßende Loch in das zylinderförmige Quarzrohr 115 eingeleitet. Da­ nach wird die elektrische Lichtquelle 117c eingeschal­ tet und dann ein elektrisches Feld zwischen den Au­ ßenelektroden 117a und der Innenelektrode 117b er­ zeugt, wodurch ein Ultraviolettlicht erzeugt wird. Zur Erhöhung der Strahlungsausbeute beträgt zu diesem Zeitpunkt eine Frequenz der elektrischen Lichtquelle 117c vorzugsweise 20 KHz-200 KHz, was einem metastabi­ len Zustand von Innengasen der elektrischen Lichtquel­ le 117c, wie beispielsweise Xe, Kr oder Rn ähnlich ist.
Ein Teil des von der Ultraviolettlichtlampe 117 er­ zeugten Ultraviolettlichtes wird durch das zylinder­ förmige Quarzrohr 115 auf die Oberfläche des Glas­ substrates 10 abgestrahlt, und die anderen Teile des Ultraviolettlichtes werden durch die Reflexionsfolie 115a reflektiert, und dann wird Ultraviolettlicht auf die Oberfläche des Glassubstrates 10 abgestrahlt.
Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung
Fig. 4a ist eine Zeichnung, die eine Hochgeschwindig­ keits-Abduschvorrichtung des Multifunktions-Reini­ gungsmoduls gemäß der vorliegenden Erfindung dar­ stellt, und Fig. 4b ist eine teilweise vergrößerte An­ sicht von Fig. 4a.
Unter Bezugnahme auf Fig. 4a und 4b wird zunächst ein Reiniger über ein Zuflußloch 30 mit einem kleinen Be­ reich, in dem eine Menge eines Reinigers mit Qs und ein Druck mit Ps bezeichnet ist, zugeführt. Danach wird eine Geschwindigkeit von aus dem Zuflußloch 30 in einen Wassertank 40 ausgeflossenem Reiniger von hoher Geschwindigkeit in niedrige Geschwindigkeit verändert. Weiterhin wird der Fluß des Reinigers durch eine Loch­ platte 50 in eine Laminarströmung verändert und auf der Oberfläche des Glassubstrates (nicht dargestellt) verteilt.
Fig. 5a ist eine Zeichnung, die eine weitere Ausfüh­ rung der Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung dar­ stellt, Fig. 5b ist eine teilweise vergrößerte Ansicht von Fig. 5a, und Fig. 6 ist eine Vergleichsansicht zur Erklärung von Fig. 5a und 5b.
Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen wird die durch die Lochplatte 50 erzeugte Laminarströmung durch eine Verbindungsvorrichtung 60 abgespalten, wodurch ein Wirbel erzeugt wird. Eine Beseitigung dieses Wirbels wird durch die Größe der Verbindungsvorrichtung 60 und eine Distanz b zwischen den benachbarten Verbindungs­ vorrichtungen gesteuert. Zur Vermeidung des Wirbels beträgt bei dieser Ausführung die Distanz b das 3-5­ fache der Größe a.
In den Zeichnungen bezeichnet Pm einen Druck unter der Lochplatte 50, h ist ein Spalt zwischen benachbarten Düsen, Fm ist eine auf den Spalt h wirkende Kraft. Zum Ausgleich einer elastischen Veränderung eines Spaltes zwischen benachbarten Düsen ist eine Verbindungsvor­ richtung 70 vorgesehen.
Fig. 7 ist eine Zeichnung, die noch eine weitere Aus­ führung der Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung darstellt.
Bei dieser Ausführung wird der obere und untere Teil des Glassubstrates 10 gleichzeitig durch Geschwindig­ keitsenergie und durch Kollisionsenergie gereinigt.
Fig. 8 ist eine Zeichnung, die noch eine weitere Aus­ führung der Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung darstellt.
Bei dieser Ausführung ist die Hochgeschwindigkeits- Abduschvorrichtung ununterbrochen auf einer Ebene auf der oberen und der unteren Seite entsprechend Fig. 7 vorgesehen.
Die Zusammensetzung von Fig. 7 und Fig. 8 basiert auf Fig. 4 bis Fig. 6, weshalb die Beschreibung eines je­ den Elementes ausgelassen wird.
V-förmige Luftbürste
Fig. 9a und 9b sind Zeichnungen, die die V-förmige Luftbürste des Multifunktions-Reinigungsmoduls gemäß der vorliegenden Erfindung darstellen.
Unter Bezugnahme auf Fig. 9a und 9b weist die V- förmige Luftbürste gemäß der vorliegenden Erfindung eine obere und untere Luftbürste 5a, 5b, sowie Zufluß- und Ausflußlöcher (nicht dargestellt) auf.
In Fig. 9a wird der Reiniger auf einem Mittelabschnitt des Glassubstrates 10 entfernt, wobei jedoch in Fig. 9b der Reiniger auf Seitenabschnitten des Glassubstra­ tes 10 entfernt wird.
Bei dieser Ausführung bewegt sich das Glassubstrat 10 in einen Zustand, in dem die V-förmige Luftbürste 5 gestoppt wird, wobei es aber möglich ist, die V- förmige Luftbürste 5 in einen Zustand zu bewegen, in dem das Glassubstrat 10 gestoppt wird.
Antriebsteil
Fig. 10 ist eine Zeichnung, die ein Prinzip des An­ triebsteils des Multifunktions-Reinigungsmoduls gemäß der vorliegenden Erfindung erklärt.
Unter Bezugnahme auf Fig. 10 weist ein Düsenventil des Antriebsteils einen Wassertank 250 und eine Lochplatte 260 auf.
Zunächst fließt die ansteigende Flüssigkeit mit dem Druck P2 und Menge Q2 in den Wassertank 250, wobei zu diesem Zeitpunkt die Menge Q2 und die Menge Q4 in dem Wassertank 250 gleich ist und ein Druck in dem Wasser­ tank 250 verringert wird.
Zweitens erhöht sich, wenn es sich bei den potentiel­ len Energien ohne Berücksichtigung des Energieverlu­ stes um dieselben handelt, ein Druck P4 in dem Wasser­ tank 250 aufgrund der Veränderung einer Geschwindig­ keitsenergie in eine Druckenergie auf der Grundlage der Bernoullischen Gleichung schnell.
Andererseits ist die ansteigende Flüssigkeit in dem Wassertank 250 einem gleichförmigen Druck ausgesetzt, da der Durchmesser der Lochplatte 260 klein ist, wobei durch die Lochplatte 260 ein gleichförmiger Druck P6 auf dem Düsenventil und unter dem Glassubstrat 10 an­ liegt.
Ein gleichförmiger Spalt h wird ununterbrochen zwi­ schen dem Düsenventil und dem Glassubstrat 10 durch eine gleichförmige Verteilungstarierung W auf dem Glassubstrat 10 und durch den gleichförmigen Spritz­ druck P6 aufrecht erhalten, wodurch das Glassubstrat 10 mit dem Düsenventil nicht in Berührung gebracht wird.
Eine Markierung A stellt eine Bewegungsrichtung des Glassubstrates 10 dar.
Fig. 11 ist eine Zeichnung zur Erklärung eines weite­ ren Prinzips eines Antriebsteils.
In diesem Fall ist ein Paar von Düsenventilen an obe­ ren und unteren Abschnitten des Glassubstrates 10 vor­ gesehen, da der Schwerkraftmittelpunkt durch den Druck und das Eigengewicht des Reinigers jederzeit ins Un­ gleichgewicht kommen kann. Dementsprechend sind obere und untere Düsenventile weniger als 1 mm von Oberflä­ chen des Glassubstrates 10 entfernt vorgesehen, wo­ durch ein Druck P1 durch das obere Düsenventil und ein Druck P2 durch das untere Düsenventil gleich wird.
In der Zeichnung stellen die Markierungen 250a und 250b Wassertanks dar, und die Markierungen 260a und 260b stellen Lochplatten dar.
Fig. 12a ist eine Draufsicht, die eine Ausführung des Antriebsteils des Multifunktions-Reinigungsmoduls ge­ mäß der vorliegenden Erfindung darstellt, und Fig. 12b ist eine Seitenansicht von Fig. 12a.
Unter Bezugnahme auf Fig. 12a und 12b weist das An­ triebsteil eine Antriebsrolle 210, einen Glastrans­ portkarren 270, einen Transportdraht 280 und ein Dü­ senventil 290 auf.
Der Glastransportkarren 270 ist über einen Stromtrans­ portdraht (nicht dargestellt) mit der Antriebsrolle 210 verbunden. Das Glassubstrat 10 wird durch das Dü­ senventil 290 in der Schwebe gehalten, wobei das Glas­ substrat 10 dann auf dem Glastransportkarren 270 posi­ tioniert wird.
Fig. 13a ist eine Draufsicht, die eine weitere Ausfüh­ rung des Antriebsteils darstellt, und Fig. 13b ist ei­ ne Seitenansicht von Fig. 13a.
Bei dieser Ausführung handelt es sich bei allen Ele­ menten mit Ausnahme des in Fig. 12a und 12b beschrie­ benen Glastransportkarrens 270 um dieselben Elemente wie bei den vorangegangenen.
Fig. 14 ist eine schematische Seitenansicht eines Rei­ nigungsgerätes gemäß einer Ausführung der vorliegenden Erfindung.
Unter Bezugnahme auf Fig. 14 weist das Reinigungsgerät ein Antriebsteil 340, das das Laden und Entladen des Glassubstrates 10 ausführt, ein Multifunktions-Reini­ gungsmodul 300 mit einer Mehrzahl von Luftvorhängen, eine Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvorrich­ tung, eine Bürste, eine Hochgeschwindigkeits-Abdusch­ vorrichtung und eine Luftbürste auf, die ununterbro­ chen auf einer Ebene angeordnet sind, wobei die Glas­ substrate ununterbrochen in sie eingeführt werden, ei­ ne Trägerplatte 320 zum Sammeln eines Reinigers 350, wie beispielsweise entionisiertes Wasser, und einen Wassertank 330 auf.
In der Zeichnung stellt eine Markierung A eine Bewe­ gungsrichtung des Glassubstrates 10, und eine Markie­ rung B eine Bewegungsrichtung des Multifunktions- Reinigungsmoduls 300 dar.
Fig. 15 ist eine schematische Seitenansicht des Reini­ gungsgerätes gemäß einer weiteren Ausführung der vor­ liegenden Erfindung.
Bei dieser Ausführung stimmen alle Elemente, mit Aus­ nahme der Befestigung des Multifunktions-Reinigungsmo­ duls 300, mit denjenigen der vorangegangenen überein.
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann durch die Ver­ wendung des Multifunktions-Reinigungsmoduls, dessen Elemente integriert sind, ein Anlagenbereich mini­ miert, und bei der Fabrikation (FAB) ein Raum effektiv genutzt werden.
Darüber hinaus ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, eine Ausbeute des Flachbildschirms wie bei­ spielsweise einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung durch Verwendung des Multifunktions-Reinigungsmoduls zu erhöhen.
Es wird weiterhin von Fachleuten auf diesem Fachgebiet verstanden, daß es sich bei der vorangegangenen Be­ schreibung um eine bevorzugte Ausführung der offenbar­ ten Vorrichtung handelt, und daß verschiedene Verände­ rungen und Abänderungen der Erfindung vorgenommen wer­ den können, ohne von deren Geist und Umfang abzuwei­ chen.

Claims (10)

1. Multifunktions-Reinigungsmodul für einen Flach­ bildschirm, das folgendes aufweist:
Eine Mehrzahl von Luftvorhängen (1);
eine Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvor­ richtung (2);
eine Bürste (3);
eine Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung (4); und
eine V-förmige Luftbürste (5),
dadurch gekennzeichnet, daß die Luftvorhänge (1), die Exzimer-Ultraviolett­ licht-Ausstrahlungsvorrichtung (2), die Bürste (3), die Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung (4) und die Luftbürste (5) ununterbrochen auf ei­ ner Ebene angeordnet sind und Glassubstrate (10) ununterbrochen in sie eingeführt werden.
2. Multifunktions-Reinigungsmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvor­ richtung (2) ein Lampengehäuse (113), ein zylin­ derförmiges Quarzrohr (115) und eine Ultraviolett­ lichtlampe (117) in dem zylinderförmigen Quarzrohr (115) aufweist.
3. Multifunktions-Reinigungsmodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ultraviolettlichtlampe (117) eine Mehrzahl von Außenelektroden (117a), eine Innenelektrode (117b) und eine elektrische Lichtquelle (117c) aufweist.
4. Multifunktions-Reinigungsmodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Reflexionsfolie (115a) in dem zylinderförmi­ gen Quarzrohr (115) vorgesehen ist, um das von der Ultraviolettlichtlampe (117) erzeugte Ultravio­ lettlicht zu reflektieren.
5. Multifunktions-Reinigungsmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung (4) einen Wassertank (40, 250), in den ein Reiniger fließt, und eine Lochplatte (50, 260) zur Verände­ rung des Reinigers in eine Laminarströmung auf­ weist, die den Reiniger auf der Oberfläche des Glassubstrates (10) verteilt.
6. Multifunktions-Reinigungsmodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung (4) auf oberen und unteren Abschnitten des Glas­ substrates (10) vorgesehen ist.
7. Multifunktions-Reinigungsmodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung (4) ein Ätzmittel oder einen Entwickler ausstößt.
8. Multifunktions-Reinigungsmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die V-förmige Luftbürste (5) eine obere und untere Luftbürste (5a, 5b) für das Glassubstrat (10), so­ wie Zufluß- und Ausflußlöcher für Luft aufweist.
9. Multifunktions-Reinigungsmodul nach Anspruch 1, das weiterhin folgendes aufweist:
Eine Antriebsrolle (210);
einen Glastransportkarren (270);
einen Transportdraht (280) zum Transportieren des Glastransportkarrens (270); und
ein Düsenventil (290) mit einem Wassertank (250) und einer Lochplatte (260)
10. Reinigungsgerät für einen Flachbildschirm, das folgendes aufweist:
Ein Antriebsteil (340), das das Laden und Entladen eines Glassubstrates (10) ausführt;
ein Multifunktions-Reinigungsmodul (300) mit einer Mehrzahl von Luftvorhängen (1), eine Exzimer-Ul­ traviolettlicht-Ausstrahlungsvorrichtung (2), eine Bürste (3), eine Hochgeschwindigkeits-Abduschvor­ richtung (4) und eine Luftbürste (5), die ununter­ brochen auf einer Ebene angeordnet sind, wobei die Glassubstrate (10) ununterbrochen in sie einge­ führt werden;
eine Trägerplatte (320) zum Sammeln eines Reini­ gers (350); und
einen Wassertank (330).
DE10130999A 2000-06-29 2001-06-27 Multifunktions-Reinigungsmodul einer Herstellungseinrichtung für Flachbildschirme und Reinigungsgerät mit Verwendung desselben Withdrawn DE10130999A1 (de)

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US (1) US6564421B2 (de)
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015011229A1 (de) * 2015-08-27 2017-03-02 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat
DE102015011177A1 (de) * 2015-08-27 2017-03-02 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat
DE102015011228A1 (de) 2015-08-27 2017-03-02 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI251506B (en) * 2000-11-01 2006-03-21 Shinetsu Eng Co Ltd Excimer UV photo reactor
US7209771B2 (en) * 2000-12-22 2007-04-24 Terahop Networks, Inc. Battery powered wireless transceiver having LPRF component and second wake up receiver
US7209468B2 (en) * 2000-12-22 2007-04-24 Terahop Networks, Inc. Forming communication cluster of wireless AD HOC network based on common designation
US7200132B2 (en) * 2000-12-22 2007-04-03 Terahop Networks, Inc. Forming ad hoc RSI networks among transceivers sharing common designation
US7133704B2 (en) * 2000-12-22 2006-11-07 Terahop Networks, Inc. Manufacture of LPRF device wake up using wireless tag
US7221668B2 (en) * 2000-12-22 2007-05-22 Terahop Networks, Inc. Communications within population of wireless transceivers based on common designation
US7522568B2 (en) * 2000-12-22 2009-04-21 Terahop Networks, Inc. Propagating ad hoc wireless networks based on common designation and routine
US7430437B2 (en) * 2000-12-22 2008-09-30 Terahop Networks, Inc. Transmitting sensor-acquired data using step-power filtering
US7155264B2 (en) * 2000-12-22 2006-12-26 Terahop Networks, Inc. Systems and methods having LPRF device wake up using wireless tag
KR100672632B1 (ko) * 2001-11-06 2007-02-09 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자의 약액교환방법 및 그 장치
JP2004174308A (ja) * 2002-11-25 2004-06-24 Kawaju Plant Kk 板材の洗浄設備
KR100935401B1 (ko) * 2003-03-06 2010-01-06 엘지디스플레이 주식회사 자외선을 이용하는 기판세정장치 및 이의 구동방법
EP1614001B1 (de) * 2003-04-11 2009-11-25 Nikon Corporation Reinigungsverfahren für optik in immersionslithographie
TW201806001A (zh) 2003-05-23 2018-02-16 尼康股份有限公司 曝光裝置及元件製造方法
US20050000509A1 (en) * 2003-05-27 2005-01-06 Caddy Corporation Exhaust hood with UVC light assembly
KR101033122B1 (ko) * 2004-06-29 2011-05-11 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 제조를 위한 기판세정장치
JP4497407B2 (ja) * 2004-07-21 2010-07-07 東京エレクトロン株式会社 洗浄処理方法及びその装置
US8795769B2 (en) * 2005-08-02 2014-08-05 New Way Machine Components, Inc. Method and a device for depositing a film of material or otherwise processing or inspecting, a substrate as it passes through a vacuum environment guided by a plurality of opposing and balanced air bearing lands and sealed by differentially pumped groves and sealing lands in a non-contact manner
JP4668088B2 (ja) * 2005-10-14 2011-04-13 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP4984886B2 (ja) * 2006-12-27 2012-07-25 凸版印刷株式会社 カラーフィルタ用基板の洗浄装置及び洗浄方法
US20090178298A1 (en) 2008-01-15 2009-07-16 Anatoli Anatolyevich Abramov Device for fluid removal after laser scoring
KR101341013B1 (ko) * 2008-09-04 2013-12-13 엘지디스플레이 주식회사 세정 장치
KR101296659B1 (ko) 2008-11-14 2013-08-14 엘지디스플레이 주식회사 세정 장치
KR101229775B1 (ko) * 2008-12-26 2013-02-06 엘지디스플레이 주식회사 기판 세정장치
CN101697091B (zh) * 2009-09-08 2011-10-05 上海明兴开城超音波科技有限公司 一种笔记本电脑外壳连续通过式清洗机
DE102009058962B4 (de) * 2009-11-03 2012-12-27 Suss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Substraten
US20120216840A1 (en) * 2009-11-03 2012-08-30 Arakawa Chemical Industries, Ltd. Electronic component cleaning device and cleaning method
KR20120053319A (ko) * 2010-11-17 2012-05-25 삼성모바일디스플레이주식회사 기판 세정 시스템 및 세정 방법
KR101791197B1 (ko) * 2011-05-27 2017-10-31 엘지디스플레이 주식회사 건식 세정 장치
CN103008296A (zh) * 2011-09-22 2013-04-03 吉富新能源科技(上海)有限公司 一种光伏玻璃透明导电膜镀膜前清洗制程方法
CN103406302B (zh) * 2013-08-23 2015-08-12 深圳市华星光电技术有限公司 基于紫外线的清洗方法及清洗装置
CN103586244B (zh) * 2013-11-15 2015-06-10 苏州晶洲装备科技有限公司 用于ogs二次强化工艺的玻璃基片一体化清洗设备
CN105170576B (zh) * 2015-05-11 2017-11-14 柏弥兰金属化研究股份有限公司 卷对卷聚酰亚胺膜的清洗方法及其系统
US11358172B2 (en) * 2015-09-24 2022-06-14 Suss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Method for treating substrates with an aqueous liquid medium exposed to UV-radiation
WO2017058764A1 (en) * 2015-10-01 2017-04-06 Buchanan Walter Riley Plasma reactor for liquid and gas
US11452982B2 (en) 2015-10-01 2022-09-27 Milton Roy, Llc Reactor for liquid and gas and method of use
US10882021B2 (en) 2015-10-01 2021-01-05 Ion Inject Technology Llc Plasma reactor for liquid and gas and method of use
US10187968B2 (en) 2015-10-08 2019-01-22 Ion Inject Technology Llc Quasi-resonant plasma voltage generator
US10046300B2 (en) 2015-12-09 2018-08-14 Ion Inject Technology Llc Membrane plasma reactor
CN105921458B (zh) * 2016-06-14 2019-01-18 苏州泰拓精密清洗设备有限公司 一种模块化清洗机
DE102017203351B4 (de) * 2017-03-01 2021-08-05 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat
CN108993960A (zh) * 2017-06-07 2018-12-14 丁保粮 一种气液喷淋清洗机
KR102516339B1 (ko) 2018-04-06 2023-03-31 삼성전자주식회사 광 조사기용 덮개 구조물과 이를 구비하는 광 조사장치 및 이를 이용한 다이 접착 방법
CN108828847A (zh) * 2018-05-25 2018-11-16 句容骏升显示技术有限公司 一种液晶显示器灌晶方法
CN111111323B (zh) * 2019-12-30 2021-10-08 上海电机学院 一种过滤网自动清洁仪器
CN112570328B (zh) * 2020-12-22 2022-12-06 深圳盛显科技有限公司 一种液晶电视显示屏组装用节能清洁装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB191323454A (en) * 1913-01-31 1914-11-16 Elbert Le Roy Couch Improvements in Apparatus for Electrolytically Cleaning Articles.
US4454621A (en) * 1982-01-15 1984-06-19 Static Inc. Sheet and web cleaner
FR2653683A1 (fr) * 1989-10-27 1991-05-03 Osl Technologies Machine de rincage modulaire.
US6391117B2 (en) * 1992-02-07 2002-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Method of washing substrate with UV radiation and ultrasonic cleaning
JP2727481B2 (ja) * 1992-02-07 1998-03-11 キヤノン株式会社 液晶素子用ガラス基板の洗浄方法
US5564159A (en) * 1994-05-26 1996-10-15 The John Treiber Company Closed-loop multistage system for cleaning printed circuit boards
US5741247A (en) * 1995-08-31 1998-04-21 Biolase Technology, Inc. Atomized fluid particles for electromagnetically induced cutting
US6272886B1 (en) * 1996-10-23 2001-08-14 3M Innovative Properties Company Incremental method of producing multiple UV-induced gratings on a single optical fiber
US6272768B1 (en) * 1999-11-12 2001-08-14 Michael J. Danese Apparatus for treating an object using ultra-violet light

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015011229A1 (de) * 2015-08-27 2017-03-02 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat
DE102015011177A1 (de) * 2015-08-27 2017-03-02 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat
DE102015011228A1 (de) 2015-08-27 2017-03-02 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat
DE102015011228B4 (de) * 2015-08-27 2017-06-14 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat
DE102015011177B4 (de) * 2015-08-27 2017-09-14 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat
RU2680059C1 (ru) * 2015-08-27 2019-02-14 Зюсс Микротек Фотомаск Эквипмент Гмбх Унд Ко.Кг Устройство для нанесения жидкой среды, подвергаемой ультрафиолетовому облучению, на подложку
DE102015011229B4 (de) * 2015-08-27 2020-07-23 Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat

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