FR2810908A1 - Module de nettoyage multifonctions d'un appareil de fabrication pour ecran plat et appareil de nettoyage utilisant celui-ci - Google Patents
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Abstract
Module de nettoyage multifonctions d'un appareil de fabrication pour écran plat et appareil de nettoyage utilisant celui-ci.L'invention concerne un module de multifonctions de pour écran plat, comprenant :- plusieurs rideaux d'air (1);- un dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer (2);- une brosse (3);- un dispositif à douche ultrarapide (4); et- une lame d'air (5) de type V, dans lequel les rideaux d'air, le dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer, la brosse, le dispositif à douche ultrarapide et la lame d'air sont disposés en continu sur un plan et les couche de verre sont insérées en continu dans ceux-ci.
Description
Module de nettoyage multifonctions d'un appareil de fabrication pour écran
plat et appareil de nettoyage
utilisant celui-ci.
ARRIERE PLAN DE L'INVENTION
DOMAINE DE L'INVENTION
La présente invention concerne un appareil de fabrication pour écran plat et plus particulièrement un module de nettoyage multifonctions, dont les éléments sont intégrés, réduisant ainsi l'aire d'installation et un appareil de nettoyage utilisant ce module multifonctions.
DESCRIPTION DE L'ART CONNEXE
La figure la est un diagramme en bloc montrant un appareil de nettoyage traditionnel et la figure lb un
diagramme schématique de sa structure.
Si l'on se réfère aux figure la et lb, l'appareil de nettoyage traditionnel comprend une partie transport ayant une section chargement et une section déchargement, une partie nettoyage ayant une section traitement de 1'03, une section brossage, une section jet, et une section douche à l'eau déminéralisée, et
une partie séchage.
La section chargement de la partie transport amène une couche de verre (non illustrée) dans l'appareil de nettoyage et la section déchargement de la partie transport évacue la couche de verre de l'appareil de
nettoyage.
La partie nettoyage élimine les polluants et les
impuretés déposées sur la couche de verre.
La partie séchage sèche l'agent nettoyant, comme l'eau déminéralisée, resté sur la couche de verre après
le processus de nettoyage.
Dans le processus ci-dessus, la couche de verre
est déplacée par un palier inférieur.
Dans l'appareil de nettoyage conventionnel, il est cependant difficile de faire progresser continuellement les procédés de fabrication incluant le nettoyage associé à un autre procédé de fabrication, excepté le procédé de nettoyage, car l'aire d'installation est trop importante et diminue l'efficacité de la fabrication.
RÉSUMÉ DE L'INVENTION
Par conséquent, la présente invention est destinée à proposer un appareil de nettoyage pour écran qui évite essentiellement un ou plusieurs problèmes dus aux
limitations et aux inconvénients de l'art connexe.
Un objet de la présente invention est de proposer un module de nettoyage multifonctions, dont les éléments sont intégrés, réduisant ainsi l'aire d'installation et dégageant effectivement un espace
dans la fabrication.
Un autre objet de la présente invention est d'augmenter le rendement de l'écran plat en utilisant
le module de nettoyage multifonctions.
Encore un autre objet de la présente invention est de proposer de nouveaux éléments pour un module de
nettoyage multifonctions.
Pour réaliser ces objets et selon le but de
l'invention, comme réalisé et largement décrit ci-
après, l'invention comprend plusieurs rideaux d'air, un dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer, une brosse, un dispositif à douche ultrarapide et une lame d'air, lesquels étant disposés en continu sur un plan et les couches de verre étant insérées en continu dans ceux-ci. En outre, l'appareil de nettoyage selon la présente invention comprend une partie motrice possédant des sections chargement et déchargement ainsi
que le module de nettoyage multifonctions.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
La présente invention va être mieux comprise grâce
à la description détaillée ci-après et les dessins ci-
joints qui sont fournis à titre d'illustration seulement et ne sont donc pas limitatifs de la présente invention, dans lesquels: La figure la est un diagramme en bloc montrant un appareil de nettoyage traditionnel faisant partie d'un appareil de fabrication pour écran plat et la figure lb
est un diagramme de sa structure schématique.
La figure 3 est une vue en perspective schématique montrant le module de nettoyage multifonctions selon la
présente invention.
La figure 3a est une vue schématique montrant un dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer du module de nettoyage multifonctions selon la présente invention, la figure 3a est une vue en coupe de la figure 3a et la figure 3c est une vue de côté de la
figure 3b.
La figure 4a est un dessin montrant un dispositif à douche utltrarapide faisant partie de l'appareil de nettoyage multifonctions selon la présente invention et la figure 4b est une vue partielle agrandie de la
figure 4a.
La figure 5a est un dessin montrant un autre mode de réalisation du dispositif à douche ultrarapide et la figure 5b est une vue partielle agrandie de la figure a. La figure 6 est une vue de référence destinée à
expliquer les figure 5a et 5b.
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La figure 7 est un dessin montrant encore un autre
mode de réalisation du dispositif à douche ultrarapide.
La figure 8 est un dessin montrant encore un autre
mode de réalisation du dispositif à douche ultrarapide.
Les figures 9a et 9b sont des dessins montrant la lame d'air de type V du module de nettoyage
multifonctions selon la présente invention.
La figure 10 est un dessin destiné à expliquer le principe de la partie motrice du module de nettoyage
multifonctions selon la présente invention.
La figure 11 est un dessin destiné à expliquer un
autre principe de la partie conduite.
La figure 12a est une vue plane montrant un mode de réalisation de la partie motrice du module de nettoyage multifonctions selon la présente invention et
la figure 12b est une vue de côté de la figure 12a.
La figure 13a est une vue plane montrant un autre mode de réalisation de la partie motrice et la figure
13b est une vue de côté de la figure 13a.
La figure 14 est une vue schématique de côté de l'appareil de nettoyage selon un mode de réalisation de
la présente invention.
La figure 15 est une vue schématique de l'appareil de nettoyage selon un autre mode de réalisation de la
présente invention.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE L'INVENTION
Le module de nettoyage multifonctions et un appareil de nettoyage utilisant celui-ci selon la présente invention sont expliqués ci-après en détails à
l'aide des dessins.
La figure 2 est une vue en perspective schématique montrant le module de nettoyage multifonctions selon la
présente invention.
Le module de nettoyage multifonctions selon la présente invention comprend plusieurs rideaux d'air 1, un dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer 2, une brosse 3, un dispositif à douche ultrarapide 4 et une lame d'air 5, lesquels étant disposés en continu sur un plan et les couches de verre étant insérées en
continu dans ceux-ci.
La multitude de rideaux d'air est prévue pour exclure toute interférence pouvant être générée entre
ceux-ci.
D'autre part, dans le module de nettoyage multifonctions de l'invention, chaque élément incluant la lame d'air est amélioré par rapport au module de nettoyage traditionnel et les différentes fonctions sont appliquées à une seule couche de verre au même moment. Si l'on se réfère à la figure 2, le module de nettoyage multifonctions selon la présente invention
présente la structure suivante: rideau d'air -
dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer -
brosse - dispositif à douche ultrarapide - rideau d'air - lame d'air rideau d'air. En outre, selon la présente invention, il est possible de proposer différentes structures correspondant aux fonctions et objets comme suit: Rideau d'air - brosse - dispositif à douche ultrarapide rideau d'air - lame d'air - rideau d'air
- dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer -
rideau d'air Rideau d'air - dispositif d'irradiation aux
ultraviolets eximer - rideau d'air - brosse -
dispositif à douche ultrarapide - rideau d'air - lame d'air - rideau d'air - dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer - rideau d'air Rideau d'air - dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer - rideau d'air dispositif à douche ultrarapide - rideau d'air - lame d'air - rideau d'air Rideau d'air - dispositif à douche ultrarapide - rideau d'air - lame d'air - rideau d'air - dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer - rideau d'air Rideau d'air - dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer rideau d'air - dispositif à douche ultrarapide - rideau d'air - lame d'air - rideau d'air - dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer - rideau d'air Dans un autre aspect selon la présente invention, une autre structure exécutant des fonctions spécifiques peut être appliquée, excepté pour les structures 1) et ). Par exemple, le dispositif à douche ultrarapide peut être utilisé comme dispositif de décapage ou dispositif de développement, à savoir, dans l'aspect ci-dessus, le dispositif à douche ultrarapide projette de l'eau déminéralisée. En cas d'utilisation comme dispositifs de décapage ou de développement, le dispositif à douche ultrarapide projette un décapant ou
un révélateur.
Les éléments faisant partie du module de nettoyage multifonctions selon la présente invention sont
expliqués ci-après en détails à l'aide des dessins.
DISPOSITIF D'IRRADIATION AUX ULTRAVIOLETS EXIMER
La figure 3a est une vue schématique montrant un dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer faisant partie du module de nettoyage multifonctions
selon la présente invention.
Si l'on se réfère à la figure 3a, le dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer 2 comprend un logement pour ampoule 113, un tube à quartz de type cylindrique 115 et une ampoule à rayons ultraviolets
117 dans le tube à quartz de type cylindrique 115.
Le dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer 2 est destiné à réprimer une sortie de gaz 03 générée par l'ampoule à lumière ultraviolette 117 et à maintenir la concentration en 03 constante, de préférence entre 50 et 500 ppm, de structure orifice
d'entrée - orifice de coulée d'air ou de gaz N -
orifice de sortie - logement pour lampe - orifice de sortie - orifice de coulée d'air ou de gaz N2 - orifice
de sortie.
Sur le dessin, la marque 116 représente un orifice de coulée de gaz N2, la flèche A représente la direction de la coulée d'air et la flèche O représente la direction de sortie d'air. D'autre part, la flèche située sous la couche de verre 10 représente la
direction de sortie du fluide montant.
La figure 3b est une vue en coupe de la figure 3a
et la figure 3c est une vue de côté.
Si l'on se réfère aux figure 3a et 3B, le tube à quartz de type cylindrique 115 possède une lampe à lumière ultraviolette 117 et un film réfléchissant a. Grâce à cette structure, la lumière provenant de l'ampoule à lumière ultraviolette 117 est concentrée sur la couche de verre 10, accroissant ainsi l'efficacité de la lumière. A ce moment là, le film réfléchissant 115a peut être fabriqué en déposant une matière possédant la caractéristique de réfléchir la
lumière.
Le gaz Ns passant par l'orifice de coulée de gaz N2 maintient un espace entre le tube à quartz de type cylindrique 115 et l'ampoule à lumière ultraviolette 117 sous atmosphère de gaz N2, réduisant ainsi la perte
d'ultraviolets par l'oxygène.
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L'ampoule à lumière ultraviolette 117 comprend plusieurs électrodes externes 117a, une électrode
interne 117b et une source électrique lumineuse 117c.
Sur le dessin, les électrodes externes 117a sont prévues excepté sur une zone S, accroissant ainsi
l'efficacité de la lumière.
Le procédé d'irradiation aux ultraviolets est
expliqué ci-après en détails à l'aide des dessins.
Premièrement, la couche de verre 10 est insérée dans l'appareil par un dispositif de transport (non illustré) et maintenue dans un état de flottement par la valve à jet mentionnée ci-après. A ce moment là, l'espace entre la couche de verre 10 et le logement de l'ampoule 113 est adéquatement maintenu en contrôlant
l'intensité du fluide montant de la valve à jet.
Deuxièmement, l'air est inséré dans le logement de l'ampoule 113 et le gaz N2 est insufflé dans le tube à quartz de type cylindrique au moyen de l'orifice de coulée du gaz N2, après quoi, la source électrique lumineuse 117c est mise en marche, puis le champ électrique entre les électrodes externes 117a et l'électrode interne 117b se créé, générant ainsi des ultraviolets. A ce moment là, pour augmenter l'efficacité de la radiation, la fréquence pour la source électrique lumineuse 117c est de préférence située entre 20 KHz et 200 KHz, ce qui est semblable à l'état métastable des gaz internes de la source
électrique lumineuse 117c comme Xe, Kr ou Rn.
Certains ultraviolets générés par l'ampoule à lumière ultraviolette 117 irradient à la surface de la couche de verre 10 par le biais du tube à quartz de type cylindrique 115 et les autres ultraviolets sont réfléchis par le film réfléchissant 115a, les ultraviolets irradiant ainsi à la surface de la couche
de verre 10.
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DISPOSITIF À DOUCHE ULTRARAPIDE
La figure 4a est un dessin montrant le dispositif à douche ultrarapide faisant partie du module de nettoyage multifonctions selon la présente invention et la figure 4b est une vue partielle agrandie de la
figure 4a.
Si l'on se réfère aux figure 4a et 4b, premièrement, un agent nettoyant est introduit par un orifice d'entrée 30 doté d'une petite zone destinée à recevoir une quantité d'agent nettoyant Qs et une pression Ps. Après quoi, la vitesse de l'agent nettoyant provenant de l'orifice d'entrée 30 passe de vitesse lente à vitesse rapide dans un réservoir d'eau 40. En outre, l'agent nettoyant passant au travers d'une plaque perforée 50 est transformé en flux laminaire et réparti à la surface de la couche de verre
(non illustré).
La figure 5a est un dessin montrant un autre mode de réalisation du dispositif à douche ultrarapide, la figure 5b est une vue partielle agrandie de la figure a et la figure 6a est une vue de référence destinée à
expliquer les figure 5a et 5b.
Si l'on se réfère aux dessins, le flux laminaire généré par la plaque perforée 50 est exfolié par un
dispositif de connexion 60, générant ainsi un vortex.
La suppression du vortex est contrôlée par la taille a du dispositif de connexion 60 et la distance b entre les dispositifs de connexion voisins. Pour éviter la création du vortex, dans ce mode de réalisation, la
distance b est de 3 à 5 fois celle de la taille a.
Sur les dessins, Pm est une pression exercée sous la plaque perforée 50, h est l'espace entre les buses voisines, Fm est la force formant l'espace h. Afin de compenser la modification élastique de l'espace entre
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les buses voisines, un dispositif de connexion 70 est prévu. La figure 7 est un dessin montrant un autre mode
de réalisation du dispositif à douche ultrarapide.
Dans ce mode de réalisation, la partie supérieure et inférieure de la couche de verre 10 est nettoyée en même temps par l'énergie de vélocité et l'énergie de collision. La figure 8 est un dessin montrant un autre mode
de réalisation du dispositif à douche ultrarapide.
Dans ce mode de réalisation, le dispositif à douche ultrarapide est prévu en continu sur un plan ainsi que sur la face supérieure et inférieure comme
sur la figure 7.
La structure selon les figure 7 et 8 est basée sur
les figure 4 et figure 6, c'est pourquoi la description
de chaque élément a été omise.
LAME D'AIR DE TYPE V
Les figure 9a et 9b sont des dessins montrant la lame d'air de type V faisant partie du module de
nettoyage multifonctions selon la présente invention.
Si l'on se réfère aux figure 9a et 9b, la lame d'air 5 de type V selon la présente invention comprend une lame d'air supérieure et inférieure 5a, 5b et des
orifices d'entrée et de sortie (non illustrés).
Sur la figure 9a, l'agent nettoyant est déplacé vers la partie centrale de la couche de verre 10, néanmoins, sur la figure 9b, l'agent nettoyant est déplacé vers les parties latérales de la couche de
verre 10.
Dans ce mode de réalisation, la couche de verre 10 se déplace de telle manière que la lame d'air 5 de type V est arrêtée mais il est également possible de déplacer la lame d'air 5 de type V de manière à ce que
la couche de verre soit arrêtée.
Partie motrice La figure 10 est un dessin destiné à expliquer le principe de la partie motrice du module de nettoyage
multifonctions selon la présente invention.
Si l'on se réfère à la figure 10, la valve à jet de la partie motrice comprend un réservoir d'eau 250 et
une plaque perforée 260.
Premièrement, le fluide montant de pression P2 et de quantité Q2 passe dans le réservoir d'eau 250, à ce moment là, la quantité Q2 est identique à la quantité Q4 dans le réservoir d'eau 250 et la pression dans le
réservoir d'eau 250 diminue.
Deuxièmement, si les énergies de potentiel sont identiques hormis la perte d'énergie, la pression P4 dans le réservoir d'eau 250 augmente rapidement à cause de la transformation de l'énergie de vélocité en
énergie de pression à partir du schéma de Bernoulli.
D'autre part, étant donné que le diamètre de la plaque perforée 260 est petit, le fluide montant dans le réservoir d'eau 250 est comprimé uniformément et ensuite la pression uniforme P6 est maintenue sur la valve à jet et sous la couche de verre 10 par la plaque
perforée 260.
Un espace uniforme h est constamment maintenu entre la valve à jet et la couche de verre 10 par une tare W, à répartition uniforme, de la couche de verre et par la pression uniforme exercée P6, tout en ne
touchant pas la couche de verre 10 avec la valve à jet.
La marque A représente la direction de marche de
la couche de verre 10.
La figure 11 est un dessin destiné à expliquer un
autre principe de la partie motrice.
Dans ce cas, une paire de valves à jet est prévue dans les sections supérieures et inférieures de la couche de verre 10 car le centre de gravité peut être ébranlé pour un instant du fait de la pression et de la tare de l'agent nettoyant. Par conséquent, les valves à jet supérieures et inférieures sont prévues à moins d'l mm des surfaces de la couche de verre 10, la pression Pl de la valve à jet supérieure et la pression P2 de la
valve à jet inférieure devenant ainsi identiques.
Sur le dessin, les marques 250a et 250b représentent les réservoirs d'eau et les marques 260a
et 260b représentent les plaques perforées.
La figure 12a est une vue plane montrant un mode de réalisation de la partie motrice du module de nettoyage multifonctions selon la présente invention,
et la figure 12b est une vue de côté de la figure 12a.
Si l'on se réfère aux figure 12 a et 12b, la partie motrice comprend un rouleau moteur 210, un bogie pour le transport du verre 270, un câble de transport
280 et une valve à jet 290.
Le bogie pour le transport du verre 270 est connecté au rouleau moteur 210 par le biais d'un câble de transport électrique (non illustré). La valve à jet 290 fait flotter la couche de verre 10 et ensuite, la couche de verre 10 est déposée dans le bogie pour le
transport du verre 270.
La figure 13a est une vue plane montrant un autre mode de réalisation de la partie motrice et la figure
13b est une vue de côté de la figure 13a.
Dans ce mode de réalisation, excepté le bogie pour le transport du verre 270 décrit dans les figure 12a et 12b, tous les éléments sont les mêmes que les précédents. La figure 14 est une vue de côté schématique d'un appareil de nettoyage selon un mode de réalisation de
la présente invention.
Si l'on se réfère à la figure 14, l'appareil de nettoyage comprend une partie motrice 360 exécutant le chargement et le déchargement de la couche de verre 10, le module de nettoyage multifonctions 300 possédant plusieurs rideaux d'air, un dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer, une brosse, un dispositif à douche ultrarapide et une lame d'air, lesquels étant disposés en continu sur un plan et la couche de verre insérée en continu dans ceux-ci, une plaque support 320 pour récupérer l'agent nettoyant 150 comme l'eau
déminéralisée et un réservoir à eau 330.
Sur le dessin, la marque A représente la direction de la marche de la couche de verre 10 et la marque a représente la direction de la marche du module de
nettoyage multifonctions 300.
La figure 15 est une vue de côté schématique de l'appareil de nettoyage selon un autre mode de
réalisation de la présente invention.
Dans ce mode de réalisation, excepté le module de nettoyage multifonctions 300 qui est fixé, tous les
éléments sont les mêmes que les précédents.
Selon la présente invention, en utilisant le module de nettoyage multifonctions, dont les éléments sont intégrés, on réduit ainsi l'aire d'installation et on libère effectivement de l'espace dans la fabrication. En outre, selon la présente invention, il est possible d'augmenter le rendement de l'écran plat, comme l'écran à cristaux liquides, en utilisant le
module de nettoyage multifonctions.
Il est en outre entendu par les hommes du métier
que la description précédente est un mode de
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réalisation préférée du dispositif exposé et que différents changements et modifications peuvent être opérés dans l'invention sans s'écarter de son esprit et de sa visée.5
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Claims (10)
1. Module de nettoyage multifonctions pour écran plat, comprenant: plusieurs rideaux d'air (1); - un dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer (2); - une brosse (3); - un dispositif à douche ultrarapide (4); et - une lame d'air (5) de type V, dans lequel les rideaux d'air (1), le dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer (2) , la brosse (3), le dispositif à douche ultrarapide (4) et la lame d'air (5) sont disposés en continu sur un plan et les couche de verre (16) sont insérées en
continu dans ceux-ci.
2. Module de nettoyage multifonctions selon la revendication 1, dans lequel le dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer comprend un logement pour ampoule (113), un tube à quartz de type cylindrique (115) et une ampoule à
rayons ultraviolets (117) dans le tube à quartz de type cylindrique.
3. Module de nettoyage multifonctions selon la revendication 2, dans lequel l'ampoule à rayons ultraviolets (117) comprend plusieurs électrodes externes
(117a), une électrode interne (117b) et une source électrique lumineuse (117c).
4. Module de nettoyage multifonctions selon la revendication 2, dans lequel un film réfléchissant (115a) est installé dans le tube à quartz de type cylindrique (115) afin de réfléchir les ultraviolets générés par l'ampoule à rayons ultraviolets
(117).
5. Module de nettoyage multifonctions selon la revendication 1, dans lequel le dispositif à douche ultrarapide (4) comprend un réservoir d'eau (401) dans lequel l'agent nettoyant s'écoule et une plaque perforée (501) pour transformer l'agent nettoyant en flux laminaire et répartir l'agent nettoyant sur la surface de la
couche de verre (101).
6. Module de nettoyage multifonctions selon la revendication 5, dans lequel le dispositif à douche ultrarapide (4) est installé dans les sections supérieures et
inférieures de la couche de verre (10).
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7. Module de nettoyage multifonctions selon la revendication 5, dans lequel
le dispositif à douche ultrarapide (4) projette un décapant ou un révélateur.
8. Module de nettoyage multifonctions selon la revendication 1, dans lequel la lame d'air (5) de type V comprend une lame d'air supérieure et inférieure (Sa, 5b) sur la couche de verre et des orifices d'entrée et de sortie d'air.
9. Module de nettoyage multifonctions selon la revendication 1 comprenant en outre: - un rouleau moteur (210); - un bogie pour le transport du verre (270); - un câble de transport pour transporter le bogie de transport du verre; et - une valve à jet (290) possédant un réservoir d'eau et une plaque perforée.
10. Appareil de nettoyage pour écran plat, comprenant: - une partie motrice (360) exécutant le chargement et le déchargement de la couche de verre (10); - un module de nettoyage multifonctions (300) possédant plusieurs rideaux d'air, un dispositif d'irradiation aux ultraviolets eximer, une brosse, un dispositif à douche ultrarapide et une lame d'air, lesquels étant disposés en continu sur un plan et les couches de verre insérées en continu dans ceux-ci; - une plaque support (320) pour récupérer l'agent nettoyant; et
- un réservoir d'eau (330).
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Families Citing this family (49)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI251506B (en) * | 2000-11-01 | 2006-03-21 | Shinetsu Eng Co Ltd | Excimer UV photo reactor |
| US7209771B2 (en) * | 2000-12-22 | 2007-04-24 | Terahop Networks, Inc. | Battery powered wireless transceiver having LPRF component and second wake up receiver |
| US7209468B2 (en) * | 2000-12-22 | 2007-04-24 | Terahop Networks, Inc. | Forming communication cluster of wireless AD HOC network based on common designation |
| US7200132B2 (en) * | 2000-12-22 | 2007-04-03 | Terahop Networks, Inc. | Forming ad hoc RSI networks among transceivers sharing common designation |
| US7133704B2 (en) * | 2000-12-22 | 2006-11-07 | Terahop Networks, Inc. | Manufacture of LPRF device wake up using wireless tag |
| US7221668B2 (en) * | 2000-12-22 | 2007-05-22 | Terahop Networks, Inc. | Communications within population of wireless transceivers based on common designation |
| US7522568B2 (en) * | 2000-12-22 | 2009-04-21 | Terahop Networks, Inc. | Propagating ad hoc wireless networks based on common designation and routine |
| US7430437B2 (en) * | 2000-12-22 | 2008-09-30 | Terahop Networks, Inc. | Transmitting sensor-acquired data using step-power filtering |
| US7155264B2 (en) * | 2000-12-22 | 2006-12-26 | Terahop Networks, Inc. | Systems and methods having LPRF device wake up using wireless tag |
| KR100672632B1 (ko) * | 2001-11-06 | 2007-02-09 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자의 약액교환방법 및 그 장치 |
| JP2004174308A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-24 | Kawaju Plant Kk | 板材の洗浄設備 |
| KR100935401B1 (ko) * | 2003-03-06 | 2010-01-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 자외선을 이용하는 기판세정장치 및 이의 구동방법 |
| EP1614001B1 (fr) * | 2003-04-11 | 2009-11-25 | Nikon Corporation | Procede de nettoyage pour des optiques en lithographie par immersion |
| TW201806001A (zh) | 2003-05-23 | 2018-02-16 | 尼康股份有限公司 | 曝光裝置及元件製造方法 |
| US20050000509A1 (en) * | 2003-05-27 | 2005-01-06 | Caddy Corporation | Exhaust hood with UVC light assembly |
| KR101033122B1 (ko) * | 2004-06-29 | 2011-05-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치의 제조를 위한 기판세정장치 |
| JP4497407B2 (ja) * | 2004-07-21 | 2010-07-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄処理方法及びその装置 |
| US8795769B2 (en) * | 2005-08-02 | 2014-08-05 | New Way Machine Components, Inc. | Method and a device for depositing a film of material or otherwise processing or inspecting, a substrate as it passes through a vacuum environment guided by a plurality of opposing and balanced air bearing lands and sealed by differentially pumped groves and sealing lands in a non-contact manner |
| JP4668088B2 (ja) * | 2005-10-14 | 2011-04-13 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP4984886B2 (ja) * | 2006-12-27 | 2012-07-25 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ用基板の洗浄装置及び洗浄方法 |
| US20090178298A1 (en) | 2008-01-15 | 2009-07-16 | Anatoli Anatolyevich Abramov | Device for fluid removal after laser scoring |
| KR101341013B1 (ko) * | 2008-09-04 | 2013-12-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 세정 장치 |
| KR101296659B1 (ko) | 2008-11-14 | 2013-08-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 세정 장치 |
| KR101229775B1 (ko) * | 2008-12-26 | 2013-02-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판 세정장치 |
| CN101697091B (zh) * | 2009-09-08 | 2011-10-05 | 上海明兴开城超音波科技有限公司 | 一种笔记本电脑外壳连续通过式清洗机 |
| DE102009058962B4 (de) * | 2009-11-03 | 2012-12-27 | Suss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Substraten |
| US20120216840A1 (en) * | 2009-11-03 | 2012-08-30 | Arakawa Chemical Industries, Ltd. | Electronic component cleaning device and cleaning method |
| KR20120053319A (ko) * | 2010-11-17 | 2012-05-25 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 기판 세정 시스템 및 세정 방법 |
| KR101791197B1 (ko) * | 2011-05-27 | 2017-10-31 | 엘지디스플레이 주식회사 | 건식 세정 장치 |
| CN103008296A (zh) * | 2011-09-22 | 2013-04-03 | 吉富新能源科技(上海)有限公司 | 一种光伏玻璃透明导电膜镀膜前清洗制程方法 |
| CN103406302B (zh) * | 2013-08-23 | 2015-08-12 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基于紫外线的清洗方法及清洗装置 |
| CN103586244B (zh) * | 2013-11-15 | 2015-06-10 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 用于ogs二次强化工艺的玻璃基片一体化清洗设备 |
| CN105170576B (zh) * | 2015-05-11 | 2017-11-14 | 柏弥兰金属化研究股份有限公司 | 卷对卷聚酰亚胺膜的清洗方法及其系统 |
| DE102015011228B4 (de) * | 2015-08-27 | 2017-06-14 | Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat |
| DE102015011229B4 (de) * | 2015-08-27 | 2020-07-23 | Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat |
| DE102015011177B4 (de) * | 2015-08-27 | 2017-09-14 | Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat |
| US11358172B2 (en) * | 2015-09-24 | 2022-06-14 | Suss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg | Method for treating substrates with an aqueous liquid medium exposed to UV-radiation |
| WO2017058764A1 (fr) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | Buchanan Walter Riley | Réacteur à plasma pour liquide et gaz |
| US11452982B2 (en) | 2015-10-01 | 2022-09-27 | Milton Roy, Llc | Reactor for liquid and gas and method of use |
| US10882021B2 (en) | 2015-10-01 | 2021-01-05 | Ion Inject Technology Llc | Plasma reactor for liquid and gas and method of use |
| US10187968B2 (en) | 2015-10-08 | 2019-01-22 | Ion Inject Technology Llc | Quasi-resonant plasma voltage generator |
| US10046300B2 (en) | 2015-12-09 | 2018-08-14 | Ion Inject Technology Llc | Membrane plasma reactor |
| CN105921458B (zh) * | 2016-06-14 | 2019-01-18 | 苏州泰拓精密清洗设备有限公司 | 一种模块化清洗机 |
| DE102017203351B4 (de) * | 2017-03-01 | 2021-08-05 | Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat |
| CN108993960A (zh) * | 2017-06-07 | 2018-12-14 | 丁保粮 | 一种气液喷淋清洗机 |
| KR102516339B1 (ko) | 2018-04-06 | 2023-03-31 | 삼성전자주식회사 | 광 조사기용 덮개 구조물과 이를 구비하는 광 조사장치 및 이를 이용한 다이 접착 방법 |
| CN108828847A (zh) * | 2018-05-25 | 2018-11-16 | 句容骏升显示技术有限公司 | 一种液晶显示器灌晶方法 |
| CN111111323B (zh) * | 2019-12-30 | 2021-10-08 | 上海电机学院 | 一种过滤网自动清洁仪器 |
| CN112570328B (zh) * | 2020-12-22 | 2022-12-06 | 深圳盛显科技有限公司 | 一种液晶电视显示屏组装用节能清洁装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB191323454A (en) * | 1913-01-31 | 1914-11-16 | Elbert Le Roy Couch | Improvements in Apparatus for Electrolytically Cleaning Articles. |
| FR2653683A1 (fr) * | 1989-10-27 | 1991-05-03 | Osl Technologies | Machine de rincage modulaire. |
| JPH05224167A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-09-03 | Canon Inc | 液晶素子用ガラス基板の洗浄方法 |
| US20010017142A1 (en) * | 1992-02-07 | 2001-08-30 | Masaaki Suzuki | Method of washing substrate with UV radiation and ultrasonic cleaning |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4454621A (en) * | 1982-01-15 | 1984-06-19 | Static Inc. | Sheet and web cleaner |
| US5564159A (en) * | 1994-05-26 | 1996-10-15 | The John Treiber Company | Closed-loop multistage system for cleaning printed circuit boards |
| US5741247A (en) * | 1995-08-31 | 1998-04-21 | Biolase Technology, Inc. | Atomized fluid particles for electromagnetically induced cutting |
| US6272886B1 (en) * | 1996-10-23 | 2001-08-14 | 3M Innovative Properties Company | Incremental method of producing multiple UV-induced gratings on a single optical fiber |
| US6272768B1 (en) * | 1999-11-12 | 2001-08-14 | Michael J. Danese | Apparatus for treating an object using ultra-violet light |
-
2001
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB191323454A (en) * | 1913-01-31 | 1914-11-16 | Elbert Le Roy Couch | Improvements in Apparatus for Electrolytically Cleaning Articles. |
| FR2653683A1 (fr) * | 1989-10-27 | 1991-05-03 | Osl Technologies | Machine de rincage modulaire. |
| JPH05224167A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-09-03 | Canon Inc | 液晶素子用ガラス基板の洗浄方法 |
| US20010017142A1 (en) * | 1992-02-07 | 2001-08-30 | Masaaki Suzuki | Method of washing substrate with UV radiation and ultrasonic cleaning |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 017, no. 669 (P - 1657) 9 December 1993 (1993-12-09) * |
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