KR100672632B1 - 액정표시소자의 약액교환방법 및 그 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시소자의 약액교환방법 및 그 장치에 관한 것으로, 제 1 양액 탱크내의 약액을 이용하여 투입되는 기판에 식각 또는 박리 공정을 수행하는 단계와, 상기 제 1 약액 탱크의 약액을 이용하여 상기 식각 또는 박리된 기판들의 매수를 카운트하는 단계와, 상기 카운트된 매수가 상기 제 1 약액 탱크에 대해 기 셋트된 최대 기판 매수에 도달하기 전의 일 시점에서 제 2 약액 탱크의 준비상태를 체크하는 단계와, 상기 제 2 약액 탱크를 사용하기 위해 준비된 상태에 있고 상기 카운트된 매수가 상기 최대 기판 매수에 도달할 때, 상기 제 2 약액 탱크의 약액을 사용하여 투입된 기판에 식각 또는 박리 공정을 수행하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
탱크 교환, 식각액, 박리액, 탱크 준비

Description

액정표시소자의 약액교환방법 및 그 장치{Method For Exchanging An Etchant In Liquid Crystal Display Device And Apparatus thererof}
도 1은 종래의 액정표시소자의 식각, 박리 공정도.
도 2는 종래 기술에 의한 액정표시소자의 약액교환 공정도.
도 3은 본 발명의 액정표시소자의 식각, 박리 공정도.
도 4는 본 발명에 의한 액정표시소자의 약액교환 공정도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
402 : 탱크 1 준비 404 : 탱크 교환
409 : H 센서 감지 411 : 탱크 2 준비
본 발명은 액정표시소자의 약액교환방법에 관한 것으로, 특히 약액교환 이전에 교환할 약액 탱크의 준비 여부를 확인하는 액정표시소자의 약액교환방법 및 그 장치에 관한 것이다.
액정표시소자는 저전압 구동, 풀 칼라 구현, 경박 단소 등의 특징을 가지고 있고 그 응용 범위가 모니터, 계산기, 시계, 노트북 등에서, 개인 휴대 단말기, 대 형 TV, 항공용 모니터 등으로 넓혀져 왔다. 이러한 액정표시장치의 특징은 박막트랜지스터를 채용하였기 때문에 가능하다.
액정표시소자의 박막트랜지스터 공정은 일정 패턴을 형성하기 위하여 증착, 포토레지스트를 도포, 마스크 설치, 노광, 식각, 박리 등의 공정을 반복하게 된다. 이 중 식각과 박리 공정은 건식과 습식이 가능하나 수율을 높이고 공정 시간을 단축하고 비용을 절감하고 잘 패턴된 박막트랜지스터를 얻기 위하여 습식 방법을 많이 사용한다. 습식 방법이란 액체 화합물(etchant, 식각액, 박리액)이 들어 있는 반응조에 기판을 넣어 식각 공정과 박리 공정을 진행하는 것이다.
따라서, 습식 방법을 채용하므로 약액(식각액, 박리액)을 교환할 필요가 발생한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 식각, 박리 공정을 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 액정표시소자의 식각, 박리 공정도이다.
도 1과 같이, 기판에 증착, 포토레지스트 도포, 마스크 설치, 노광한 후 식각을 위해 상기 기판을 로더(Loader, 100)에 장착한다. 상기 로더(100)에서 기판들은 분리되어 적층되어 있다. 여기서, 기판은 롤러를 통해 이송된다.
기판 진행 순서에 따라 상기 로더(100)에서 기판을 뉴트럴(Neutral, 101)로 이송한다. 상기 뉴트럴(Neutral, 101)은 기판 진행을 도와 주는 유닛이고 공정은 진행되지 않는다. 상기 뉴트럴(Neutral, 101)은 상하 유닛과 반송 롤러가 있다.
상기 뉴트럴(Neutral, 101)을 통과한 기판은 식각 공정을 진행하기 위하여 식각액이 들어있는 반응조(102)에 들어간다. 여기서, 식각액은 강산성 약액을 사용한다. 상기 식각 반응조(102)는 동일한 3개 이상의 식각존으로 구성된다. 상기 기판은 이 3개의 식각존을 100여초의 시간동안 통과하면서 식각된다. 그리고 3개의 식각존은 탱크 하나에 연결되어 있고 3개의 식각존 각각에 많은 수의 스프레이가 장착되어 있으며 동시에 식각 약액을 분사한다. 상기 기판의 패턴 제거 물질과 사용한 식각액은 롤러 배스를 통해 상기 탱크로 들어온다.
상기 식각 공정이 완성되면 상기 식각 반응조(102)를 통과하여 세정1 공정(103)을 거친다.
상기 세정 1공정(103)을 통과한 기판은 다음 박리 공정을 위해 이송된다. 그리고, 다시 한번 뉴트럴(Neutral, 101)을 통과한다. 상기 뉴트럴(Neutral, 101)은 기판 진행을 도와 주는 유닛이고 공정은 진행되지 않는다. 상기 뉴트럴(Neutral, 101)은 상하 유닛과 반송 롤러가 있다.
상기 뉴트럴(Neutral, 101)을 통과한 기판은 박리액이 들어있는 박리 반응조(105)로 들어간다. 여기서, 박리 약액은 강알칼리성 약액을 사용한다. 일정 시간 상기 박리 반응조(105)에서 박리되고 난 후 상기 박리 반응조(105)를 통과한다.
상기 박리 공정을 완결한 후 기판은 세정 2 공정(106)을 진행한다.
세정 2 공정(106)을 진행한 기판을 건조(107) 시키고 언로더(Unloader, 108)로 이송시킨다.
이때, 상기 식각 반응조(102)의 식각 약액 탱크와 상기 박리 반응조(105)의 박리 약액 탱크는 여러 매수의 기판 사용 후 각 약액 탱크를 교환하여야 하므로 여분의 각 약액 탱크가 필요하고 이 약액 탱크를 교환하는 방법이 필요하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 의한 약액교환방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 종래 기술에 의한 액정표시소자의 약액 교환 공정도이다. 식각 공정과 박리 공정 모두에 공통으로 사용되므로 식각 공정을 예로 들어 설명하겠다.
도 2와 같이, 양산(200)은 식각 반응조내에서 식각 공정이 계속 진행되는 것을 뜻한다. 여기서, 식각 약액 탱크로 탱크 2를 먼저 사용하고 있다. 상기 식각 약액 탱크 2로 기판 몇매를 양산하였는가 여부를 묻는다(201). 상기 기판의 매수는 약 900매로 가정한다. No 이면 계속 상기 양산(200)을 한다. Yes 이면 식각 약액 탱크 1의 준비 여부를 묻는다(202). 여기서, 탱크 1의 준비란 탱크가 약액을 원하는 시간내에 원하는 약액량 만큼 식각존으로 배출하고 약액 온도를 설정치 내에서 유지시키는 상태를 말한다.
상기 식각 약액 탱크 1의 준비 여부(202)에서 No 이면 경보를 발생하고, 로더(Loader)부에서 기판 투입을 정지시키고, 기판 반송부와 기판 순환부를 정지시킨다. Yes 이면 식각 약액 탱크를 교환한다. 즉, 탱크 1을 공급하고 탱크 2의 약액을 배출한다.
그런 다음, LL 센서로 탱크 2의 약액이 다 배출되었는가를 감지한다(204). No 이면 상기 탱크 2의 약액을 계속 배출한다.
Yes 이면 지연 시간(delay time)을 5초 갖는다(205). 여기서, LL센서란 탱크 내 약액이 거의 없음을 확인하거나 약액 배출이 다 되었는지를 확인할 때 사용하는 센서이다.
상기 지연 시간(delay time)을 5초 가진 후 탱크 2를 급액하고(206) 가열한다(207). 상기 탱크 2를 급액하고 H 센서로 탱크내 약액이 많이 있는가 여부를 감지한다(208). No 이면 탱크 2를 계속 급액한다. 그리고 상기 탱크 2를 가열하고 온도가 70±2℃ 인가를 묻는다(209). 여기서, No 이면 상기 탱크 2를 계속 가열한다.
상기 탱크 2가 급액되고 온도가 70±2℃이면 탱크 2는 준비 완료 상태(210)가 된다. 여기서, 탱크 2의 준비란 탱크가 약액을 원하는 시간내에 원하는 약액량 만큼 식각반응조로 배출하고 약액 온도를 설정치 내에서 유지시키는 상태를 말한다.
그런 다음, 상기 탱크 2가 준비 완료되었는지 여부를 확인한다(211).
여기서, 상기 종래 기술에 의한 약액교환방법의 문제점은 다음과 같다.
첫째, 기존 장비의 약액 탱크 교환 설정치마다 탱크 1, 2를 교환하도록 시스템이 구성되어 있고, 사전 탱크 교환 준비 여부에 대한 체크가 없어 탱크 교환시 해당 탱크가 준비(ready)가 되지 않았을 경우, 장비 내에 진행중이던 기판이 장비내 정체됨으로 인하여 불량이 발생된다.
둘째, 불량 기판의 처리 비용 및 기판 제거후 약액 교환 문제 조치로 인한 장비 비작동 시간(down time)이 길어진다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 약액 탱크의 교환 이전에 약액 탱크의 준비 여부를 체크하여 연속적인 공정을 진행하도록 하는 액정표시소자의 약액교환방법 및 그 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시소자의 약액교환방법은, 제 1 양액 탱크내의 약액을 이용하여 투입되는 기판에 식각 또는 박리 공정을 수행하는 단계와, 상기 제 1 약액 탱크의 약액을 이용하여 상기 식각 또는 박리된 기판들의 매수를 카운트하는 단계와, 상기 카운트된 매수가 상기 제 1 약액 탱크에 대해 기 셋트된 최대 기판 매수에 도달하기 전의 일 시점에서 제 2 약액 탱크의 준비상태를 체크하는 단계와, 상기 제 2 약액 탱크를 사용하기 위해 준비된 상태에 있고 상기 카운트된 매수가 상기 최대 기판 매수에 도달할 때, 상기 제 2 약액 탱크의 약액을 사용하여 투입된 기판에 식각 또는 박리 공정을 수행하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 식각, 박리 공정을 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 액정표시소자의 식각, 박리 공정도이다.
도 3과 같이, 기판에 증착, 포토레지스트 도포, 마스크 설치, 노광한 후 식각을 위해 상기 기판을 로더(Loader, 300)에 장착한다. 상기 로더(300)에서 기판들은 분리되어 적층되어 있고 상기 로더(300)와 수직 연결된 이오나이저(301)에 의하 여 기판 표면의 정전기가 제거된다. 상기 이오나이저(301)는 이온 성분을 방출하여 기판 표면에 대전된 전하량을 줄이는 방법으로 정전기를 제거한다. 여기서, 기판은 롤러를 통해 이송된다.
기판 진행 순서에 따라 상기 로더(300)에서 기판을 뉴트럴(Neutral, 302)로 이송한다. 상기 뉴트럴(Neutral, 302)은 기판 진행을 도와 주는 유닛이고 공정은 진행되지 않는다. 상기 뉴트럴(Neutral, 302)은 상하 유닛과 반송 롤러가 있다.
상기 뉴트럴(Neutral, 302)을 통과한 기판은 식각 공정을 진행하기 위하여 식각액이 들어있는 반응조(303)에 들어간다. 여기서, 식각액은 강산성 약액을 사용한다. 상기 식각 반응조(303)는 동일한 3개 이상의 식각존으로 구성된다. 상기 기판은 이 3개의 식각존을 100여초의 시간동안 통과하면서 식각된다. 그리고 3개의 식각존은 탱크 하나에 연결되어 있고 3개의 식각존 각각에 많은 수의 스프레이가 장착되어 있으며 동시에 식각 약액을 분사한다. 상기 기판의 패턴 제거 물질과 사용한 식각액은 롤러 배스를 통해 상기 탱크로 들어온다.
상기 식각 공정이 완성되면 상기 식각 반응조(303)를 통과하여 수세 처리 공정(304)을 거친다. 여기서 물은 증류수를 사용한다.
상기 수세 처리 공정(304)을 통과한 기판에 샤워 장치(305)로 약액을 뿌려준다.
상기 샤워 장치(305)를 통과한 기판에 에어나이프(AK, 306))를 작동시켜 기판 표면의 식각액을 공기로 불어 없앤다.
상기 에어나이프(AK, 306)를 통과한 기판은 다음 박리 공정을 위해 이송된 다. 그리고, 다시 한번 뉴트럴(Neutral, 302)을 통과한다. 상기 뉴트럴(Neutral, 302)은 기판 진행을 도와 주는 유닛이고 공정은 진행되지 않는다. 상기 뉴트럴(Neutral, 302)은 상하 유닛과 반송 롤러가 있다.
상기 뉴트럴(Neutral, 302)을 통과한 기판은 박리액이 들어있는 박리 반응조(308)로 들어간다. 여기서, 박리 약액은 강알칼리성 약액을 사용한다. 일정 시간 상기 박리 반응조(308)에서 박리되고 난 후 상기 박리 반응조(308)를 통과한다. 상기 박리 반응조(308)는 동일한 4개 이상의 반응존으로 구성된다. 상기 기판은 이 4개의 박리존을 100여초의 시간동안 통과하면서 박리된다. 그리고 4개의 박리존은 탱크 하나에 연결되어 있고 4개의 박리존 각각에 많은 수의 스프레이가 장착되어 있으며 동시에 박리 약액을 분사한다. 상기 기판의 패턴 제거 물질과 사용한 박리액은 롤러 배스를 통해 상기 탱크로 들어온다.
상기 박리 공정을 완결한 후 기판은 유기 용제인 DMSO가 있는 반응조(309)로 이송한다. 여기서 DMSO는 용제이므로 세척의 효과가 있다.
상기 DMSO 반응조(309)를 통과한 기판을 수세 처리(310)한다. 여기서 물은 증류수를 사용한다.
상기 수세 처리(310)한 기판에 CJ(Cavitation Jet, 311)를 적용한다. CJ는 증류수를 강한 에어(Air)와 합쳐 기판 표면에 분사함으로써 기판을 세정하거나, 약액을 분사하여 공정을 진행하는 유닛이다.
상기 증류수로 CJ를 진행한 후 순수(증류수)로 샤워시킨다(312). 상기 순수로 샤워(312)시켜 기판 표면을 완전히 세정한다.
순수 샤워 시킨 기판을 건조(313) 시키고 언로더(Unloader, 314)로 이송시킨다. 언로더(314)에 수직으로 이오나이저(301)를 설치하여 기판의 정전기를 제거한다.
그리고, 본 발명은 기판을 약 900매로, 장비내 기판수를 19매로 가정하고, 사용 매수 881매(사용교환매수-장비내 기판수)에서 교환할 탱크의 준비(ready) 여부를 확인하고 준비(ready)가 되어 있지 않을 시 로더(loader)에서의 기판 주입을 정지하고 장비내 기판을 정상 진행하여 장비에서 빼내어 배출하고 경보를 발생하도록 하는 것을 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 액정표시소자의 약액교환방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명에 의한 액정표시소자의 약액교환 공정도이다. 식각 공정과 박리 공정 모두에 공통으로 사용되므로 식각 공정을 예로 들어 설명하겠다.
도 4와 같이, 양산(400)은 식각 반응조내의 3 식각존에서 식각 공정이 계속 진행되는 것을 뜻한다. 여기서, 식각 약액 탱크로 탱크 2를 먼저 사용하고 있다. 상기 식각 약액 탱크 2로 기판 880매 이상을 양산하였는가 여부를 묻는다(401). No 이면 계속 상기 양산(400)을 한다. Yes 이면 식각 약액 탱크 1의 준비 여부를 묻는다(402). 여기서, 탱크 1의 준비란 탱크가 약액을 원하는 시간내에 원하는 약액량 만큼 3 식각존으로 배출하고 약액 온도를 설정치 내에서 유지시키는 상태를 말한다.
상기 식각 약액 탱크 1의 준비 여부(402)에서 No 이면 경보를 발생하고, 로 더(Loader)부에서 기판 투입을 정지시키고, 기판 반송부와 기판 순환부는 계속 진행하여 기판 투입 정지전의 기판에 식각 공정을 진행한다. Yes 이면 상기 식각 약액 탱크 2로 기판 900매를 양산하였는가 여부를 묻는다(403).
No 이면 계속 상기 양산(400)을 한다. Yes 이면 식각 약액 탱크를 교환한다(404). 즉, 탱크 1을 공급하고 탱크 2의 약액을 배출한다.
그런 다음, LL 센서로 탱크 2의 약액이 다 배출되었는가를 감지한다(405). No 이면 상기 탱크 2의 약액을 계속 배출한다.
Yes 이면 지연 시간(delay time)을 5초 갖는다(406). 여기서, LL센서란 탱크내 약액이 거의 없음을 확인하거나 약액 배출이 다 되었는지를 확인할 때 사용하는 센서이다.
상기 지연 시간(delay time)을 5초 가진 후 탱크 2를 급액하고(407) 가열한다(408). 상기 탱크 2를 급액하고 H 센서로 탱크내 약액이 많이 있는가 여부를 감지한다(409). No 이면 탱크 2를 계속 급액한다. 그리고 상기 탱크 2를 가열하고 온도가 70±2℃ 인가를 묻는다(410). 여기서, No 이면 상기 탱크 2를 계속 가열한다.
상기 탱크 2가 급액되고 온도가 70±2℃이면 탱크 2는 준비 완료 상태(411)가 된다. 여기서, 탱크 2의 준비란 탱크가 약액을 원하는 시간내에 원하는 약액량 만큼 3 식각존으로 배출하고 약액 온도를 설정치 내에서 유지시키는 상태를 말한다.
그런 다음, 상기 탱크 2가 준비 완료되었는지 여부를 확인한다(412).
여기서, 본 발명은 사용 매수 881매(사용교환매수-장비내 기판수, 사용교환매수는 900매, 장비내 기판수는 19매로 가정)에서 교환할 탱크의 준비(ready) 여부를 확인하고 준비(ready)가 되어 있지 않을 시 로더(loader)에서의 기판 투입을 정지하고 장비내 기판을 정상 진행하여 장비에서 빼내어 배출하고 경보를 발생하도록 하는 것 뿐만 아니라, 사용 매수(사용교환매수-장비내 기판수)를 공정중 적정수로 정할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 액정표시소자의 약액교환방법 및 그 장치는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 약액 탱크로 사용 가능한 기판을 양산하기 이전에 교환할 약액 탱크의 준비 여부를 체크하므로 연속적으로 탱크를 교환하므로 약액 교환시에도 양산이 진행될 수 있다.
둘째, 약액 탱크로 사용 가능한 기판을 양산하기 이전에 교환할 약액 탱크의 준비 여부를 체크하여 연속적으로 탱크를 교환하므로 기판의 불량이 감소한다.
셋째, 약액 탱크로 사용 가능한 기판을 양산하기 이전에 교환할 약액 탱크의 준비 여부를 체크하여 연속적으로 탱크를 교환하므로 장비의 비작동 시간(down time)이 줄어들어 수율이 높아진다.
넷째, 약액 탱크로 사용 가능한 기판을 양산하기 이전에 교환할 약액 탱크의 준비 여부를 체크하여 연속적으로 탱크를 교환하므로 불량이 발생되지 않아 인력과 시간, 자금의 투입을 줄일 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.

Claims (14)

  1. 제 1 양액 탱크내의 약액을 이용하여 투입되는 기판에 식각 또는 박리 공정을 수행하는 단계;
    상기 제 1 약액 탱크의 약액을 이용하여 상기 식각 또는 박리된 기판들의 매수를 카운트하는 단계;
    상기 카운트된 기판의 매수가 상기 제 1 약액 탱크의 약액에 대해 설정된 최대 기판 매수보다 적을 때 상기 제 1 약액 탱크의 약액을 사용하여 상기 식각 또는 박리 공정을 계속 수행하고 상기 카운트된 매수가 상기 제 1 약액 탱크에 대해 미리 셋트된 최대 기판 매수에 도달하기 전의 일 시점에서 제 2 약액 탱크의 준비상태를 체크하는 단계;
    상기 제 2 약액 탱크를 사용하기 위해 준비된 상태에 있고 상기 카운트된 매수가 상기 최대 기판 매수에 도달할 때, 상기 제 2 약액 탱크의 약액을 사용하여 투입된 기판에 식각 또는 박리 공정을 수행하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 약액 탱크를 준비하는 데 있어서,
    상기 제 2 약액 탱크의 양을 LL 센서로 감지하는 단계;
    지연 시간을 갖는 단계;
    상기 제 2 약액 탱크에 약액을 급액하는 단계;
    상기 제 2 약액 탱크의 약액을 H 센서로 감지하는 단계;
    상기 제 2 약액 탱크를 70±2℃로 가열하는 단계;
    상기 제 2 약액 탱크의 준비를 완료하는 단계; 및
    상기 제 2 약액 탱크의 준비 여부를 확인하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제 2 약액 탱크가 준비된 상태는 식각 또는 박리 반응조로 원하는 시간내에 원하는 양의 약액을 배출하고, 상기 반응조에 채워진 약액 온도를 설정된 온도 범위로 유지시키는 상태임을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 제 2 약액 탱크가 준비되어 있지 않을 경우 로더(loader)부에서 기판 투입을 정지하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 약액 탱크의 약액을 사용하여 상기 최대 사용 매수의 기판들을 식각 또는 박리하지 않았을 경우, 계속하여 상기 제 1 약액 탱크의 약액을 사용하여 상기 기판들을 식각 또는 박리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  7. 제 2항에 있어서, 상기 제 2 약액 탱크의 약액이 LL 센서에서 감지되어 많으면 약액을 계속 배출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  8. 제 2항에 있어서, 상기 제 2 약액 탱크의 약액이 H 센서로 감지되어 적으면 약액을 계속 급액하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  9. 제 2항에 있어서, 상기 제 2 약액 탱크의 온도가 70±2℃가 안되면 계속 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 기판의 사용 매수는 상기 교환할 매수에서 장비내에 있는 기판의 매수를 뺀 값인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 약액 탱크로 교체된 후 상기 제 1 약액 탱크를 준비 상태로 만드는 단계가 더 구비되고, 상기 단계는,
    상기 제 1 약액 탱크의 약액을 모두 배출하는 단계;
    소정의 지연시간을 갖는 단계;
    상기 제 1 약액 탱크내에 새로운 약액을 원하는 양만큼 공급하는 단계; 그리고
    상기 제 1 약액 탱크내에 채워진 약액의 온도가 설정된 온도범위내에 있도록 상기 제 1 약액 탱크를 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  12. 제 1 약액 탱크내의 약액을 이용하여 장치내로 투입된 기판들에 식각 또는 박리 공정을 수행하는 단계;
    상기 제 1 약액 탱크내의 약액을 이용하여 식각 또는 박리된 상기 기판들의 매수를 카운트하는 단계;
    상기 카운트된 기판의 매수가 미리 셋트된 최대 기판 매수로부터 상기 장치로 이미 투입된 기판들의 매수를 검사한 값에 도달할 때, 상기 제 2 약액 탱크의 준비 상태를 체크하는 단계; 그리고
    상기 제 2 약액 탱크가 사용을 위한 준비 상태에 있고 상기 카운트된 매수가 상기 최대 기판 매수에 도달할 때 상기 제 2 약액 탱크의 약액을 사용하여 상기 기판들을 식각 또는 박리하는 단계를 구비함을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 제 2 약액 탱크가 준비 상태에 있지 않을 때, 다음 기판을 상기 장치로 투입하는 것을 중지하는 단계;
    상기 장치에 현재 이미 투입된 상기 기판들에 대해서 상기 제 1 약액 탱크의 약액을 이용하여 상기 식각 또는 박리 과정을 정상적으로 차례로 수행하고 나서 배출시키는 단계; 그리고
    상기 장치에 대한 경계를 위해 경보음을 발생하는 단계를 더 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환방법.
  14. 외부로부터 패턴되기 위한 물질층이 형성된 기판을 투입시키는 로더와,
    상기 투입된 기판들을 식각 또는 박리시키기 위한 약액을 제공하는 제 1 및 제 2 약액 탱크; 그리고
    상기 제 1, 제 2 약액 탱크의 교환을 제어하기 위하여, 상기 제 1 약액 탱크의 약액을 이용하여 상기 식각 또는 박리되는 기판들의 매수를 카운트하고, 상기 카운트된 기판의 매수가 상기 제 1 약액 탱크에 대해 허용된 최대 기판 매수에 도달하기 전의 일 시점에서 상기 제 2 약액 탱크의 준비 상태를 체크하며, 상기 제 2 약액 탱크가 준비 상태에 있고 상기 카운트된 매수가 상기 최대 기판 매수에 도달할 때 상기 제 1 약액 탱크를 상기 제 2 약액 탱크로 교체하는 콘트롤러를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자의 약액교환장치.
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