KR100766247B1 - 일체형 스트립 및 세정 장치 - Google Patents
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- Y10S134/902—Semiconductor wafer
Abstract
Description
액정 표시장치는 소형 및 박형화와 저전력 소모의 장점을 가지며, 노트북 PC, 사무 자동화 기기, 오디오/비디오 기기 등으로 이용되고 있다. 특히, 스위치 소자로서 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 이용되는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치는 동적인 이미지를 표시하기에 적합하다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
Claims (8)
- 기판상에 스트리퍼를 공급하여 상기 기판상의 수지를 1차 제거하는 제1 스트립모듈, 상기 수지를 물리적으로 2차 제거하는 제2 스트립모듈, 및 상기 기판상에 스트리퍼를 고압으로 분사시킴으로써 상기 기판상의 잔존 수지를 완전히 제거하는 제3 스트립모듈을 포함하는 스트립라인;상기 스트립라인 아래에 설치되어 상기 기판을 세정 및 건조하기 위한 세정라인;상기 기판을 상기 스트립라인으로 공급하기 위한 로더;상기 기판을 상기 스트립라인으로부터 상기 세정라인으로 직접 이동시키는 엘리베이터; 및상기 세정라인으로부터 상기 기판을 수납하기 위한 언로더를 구비하는 것을 특징으로 하는 일체형 스트립 및 세정 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 스트립 라인과 동일층에 설치되어 상기 수지를 제거하기 위하여 분사된 스트리퍼를 제거하는 아이피에이모듈을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 일체형 스트립 및 세정 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 엘리베이터는 상기 아이피에이모듈로부터 이동된 기판을 상기 세정라인으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 일체형 스트립 및 세정 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 세정라인은,상기 엘리베이터로부터의 기판상에 세정액을 공급하여 파이프 샤워로 1차 세정하는 제 1 세정모듈과,상기 기판상에 고압으로 세정액을 분사시켜 2차 세정하는 제 2 세정모듈과,상기 세정액이 잔존하는 기판을 건조시키는 드라이모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 일체형 스트립 및 세정 장치.
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 스트립 및 세정 장치는 10,840×1,800 밀리미터(mm) 보다 작은 공간에 설치되는 것을 특징으로 하는 일체형 스트립 및 세정 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 스트립 및 세정 장치는 5,270×1,800 밀리미터 보다 작은 공간에 설치되는 것을 특징으로 하는 일체형 스트립 및 세정 장치.
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