JPH09326375A

JPH09326375A - ウェハの洗浄方法および装置

Info

Publication number: JPH09326375A
Application number: JP14200196A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Kimura; 繁木村
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1996-06-04
Filing date: 1996-06-04
Publication date: 1997-12-16

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の、ウェハ列の取扱いは、自動化が困難
であった。【解決手段】インゴット状にて固定部材上に接着され
た後、ワイヤソーにより長さ方向に垂直な方向からウェ
ハ列へとスライスされた各ウェハを洗浄するための方法
であって、洗浄機構１０により、固定部材上に接着され
たウェハ列の形態（ワークＷ）のまま洗浄する洗浄工程
と、剥離機構３０により、ウェハ列の形態のまま洗浄さ
れたウェハ列の端部からウェハを１枚ずつ剥離させる剥
離工程とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インゴット状にて
固定部材上に接着された後、ワイヤソーにより長さ方向
に垂直な方向からウェハ列へとスライスされた各ウェハ
を洗浄するための方法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、半導体材料、磁性材料、
セラミクス等のウェハを作製するに際しては、これら材
料をインゴットの状態で固定部材上に接着し、その後、
ワイヤソーを利用して、長さ方向に垂直な方向からウェ
ハ列へとスライスすることが行われている。

【０００３】通常、ワイヤソーによるスライスは、スラ
リー状の研削液をスプレーしながら行われ、また、材料
を完全に切り終えた後、さらに固定部材の一部に達する
深さまで行われる。このため、スライス後のウェハ列
は、それぞれが固定部材上に接着剤を介して接着された
状態であるとともに、研削液にまみれた状態にあり、ま
た、隣接するウェハ間に研削液が侵入した状態にある。

【０００４】このようなウェハ列から各ウェハを得るに
は、手作業により固定部材から複数枚のウェハを剥し、
さらに、手作業によりこれら複数枚のウェハを一枚ずつ
に分離することが行われていた。その後、各ウェハを洗
浄して研削液の除去を行うことがなされたいた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記剥
離作業は、各ウェハ等の接着状況に応じて、人が臨機応
変に適切な複数枚のウェハを剥すプロセスを含んでお
り、自動化を困難なものとしていた。また、上記方法に
おいては、ウェハ列から複数枚のウェハを剥離させるに
際して、研削液のついたウェハ列を取り扱わなければな
らない。研削液のついたウェハは、機械的なハンドリン
グが困難なものであり、さらに自動化を困難としてい
た。しかも、研削液は、装置系に汚れをもたらすもので
ある。したがって、自動化を促進するために、また、装
置系をなるべく清浄に維持するために、早い段階での研
削液の除去が要望されていた。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、自動化を達成し得るとともに、早い段階で研削液を
除去し得るウェハの洗浄方法および装置を提供すること
を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のウェハの
洗浄方法においては、インゴット状にて固定部材上に接
着された後、ワイヤソーにより長さ方向に垂直な方向か
らウェハ列へとスライスされた各ウェハを洗浄するため
の方法であって、前記固定部材上に接着された前記ウェ
ハ列の形態のまま洗浄する洗浄工程と、ウェハ列の形態
のまま洗浄された前記ウェハ列の端部からウェハを１枚
ずつ剥離させる剥離工程とを具備することを特徴として
いる。請求項２記載のウェハの洗浄方法においては、請
求項１記載のウェハの洗浄方法において、１枚ずつ剥離
された前記各ウェハを順次洗浄する枚葉洗浄工程を具備
することを特徴としている。請求項３記載のウェハの洗
浄方法においては、請求項１または２記載のウェハの洗
浄方法において、前記各ウェハを収納容器内に収容する
収容工程を具備することを特徴としている。請求項４記
載のウェハの洗浄方法においては、請求項１、２または
３記載のウェハの洗浄方法において、前記洗浄工程は、
複数回の洗浄プロセスを有することを特徴としている。

【０００８】請求項５記載のウェハの洗浄装置において
は、インゴット状にて固定部材上に接着された後、ワイ
ヤソーにより長さ方向に垂直な方向からウェハ列へとス
ライスされた各ウェハを洗浄するための装置であって、
前記固定部材上に接着された前記ウェハ列の形態のまま
洗浄するために、ウェハ洗浄槽、該ウェハ洗浄槽に振動
を与えるための振動手段、および前記ウェハ洗浄槽内へ
と前記ウェハ列を搬送するためのウェハ列搬送手段を有
する洗浄機構と、ウェハ列の形態のまま洗浄された前記
ウェハ列の端部からウェハを１枚ずつ剥離させるため
に、前記ウェハ列の端部に位置するウェハを吸着するた
めのウェハ吸着盤、および、該ウェハ吸着盤を移動させ
るための駆動手段を有する剥離機構とを具備することを
特徴としている。請求項６記載のウェハの洗浄装置にお
いては、請求項５記載のウェハの洗浄装置において、１
枚ずつ剥離された前記各ウェハを順次洗浄するために、
洗浄のためのブラシ、および、該ブラシによる洗浄箇所
に向けて洗浄液をスプレーするためのスプレー手段を有
する枚葉洗浄機構を具備することを特徴としている。請
求項７記載のウェハの洗浄装置においては、請求項５ま
たは６記載のウェハの洗浄装置において、前記各ウェハ
を収納容器内に収容するために、ウェハの枚葉搬送手段
を有する収容機構を具備することを特徴としている。請
求項８記載のウェハの洗浄装置においては、請求項５、
６または７記載のウェハの洗浄装置において、前記洗浄
機構には、複数のウェハ洗浄槽が設けられていることを
特徴としている。

【０００９】請求項１記載の発明によると、固定部材上
に接着されたウェハ列の形態のまま洗浄を行うので、早
い段階で研削液が除去され、自動手段によるハンドリン
グが行いやすい。また、ウェハ列の形態のまま洗浄され
たウェハ列の端部から１枚ずつウェハを剥離させるの
で、自動化が容易となる。請求項２記載の発明による
と、１枚ずつ剥離された各ウェハを順次洗浄することに
より、剥離された各ウェハに残存する汚れが除去され
る。請求項３記載の発明によると、各ウェハは、収納容
器内に収容されるので、その後の取扱いが容易であり、
次工程への受け渡しが円滑になされる。請求項４記載の
発明によると、洗浄工程は、複数回の洗浄プロセスを有
しているので、より完全な洗浄効果が期待される。

【００１０】請求項５記載の発明によると、ウェハ列
は、ウェハ列搬送手段によりウェハ洗浄槽内へと搬送さ
れ、ウェハ洗浄槽内において洗浄される。また、洗浄さ
れたウェハ列の端部に位置するウェハには、ウェハ吸着
盤が吸着する。そして、駆動手段により、そのウェハ
は、ウェハ吸着盤に吸着された状態でウェハ吸着盤ごと
移動され、ウェハ列から剥離される。請求項６記載の発
明によると、各ウェハは、スプレー手段により洗浄液を
スプレーされた状態で、ブラシにより洗浄される。請求
項７記載の発明によると、各ウェハは、ウェハの枚葉搬
送手段により、収納容器内に収容される。請求項８記載
の発明によると、洗浄機構には、複数のウェハ洗浄槽が
設けられているので、複数回の洗浄プロセスが可能とさ
れ、より完全な洗浄効果が期待される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明のウェハの洗浄方法
および装置の実施の形態について、図面を参照して説明
する。

【００１２】図１および図２は、本発明のウェハの洗浄
装置の一実施形態を示すもので、本発明のウェハの洗浄
装置は、洗浄機構１０、反転機構２０、剥離機構３０、
枚葉洗浄機構４０、収容機構５０を具備して構成されて
いる。

【００１３】本実施形態において対象としているワーク
Ｗは、図３に示すように、固定部材１上のウェハ列であ
る。この場合、固定部材１は、カーボン２、ガラス３、
鉄製基台４から構成されており、各ウェハは、インゴッ
ト状にて固定部材１上に接着された後、ワイヤソーによ
り長さ方向に垂直な方向からウェハ列へとスライスされ
たものである。ここで、スライスは、カーボン２の深さ
まで行われており、各ウェハ間は、完全に切り離されて
おり、個々に固定部材１上に接着された状態で並置され
ている。本実施形態においては、ウェハは、８インチの
シリコンウェハであり、２００〜２５０枚のウェハが並
置されたワークＷを対象としている。

【００１４】〔洗浄機構１０〕洗浄機構１０は、固定部
材１上に接着されたウェハ列を、この形態のまま洗浄す
るためのものである。洗浄機構１０は、図４〜図６に示
すように、ウェハ洗浄槽１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、超音
波振動器１２（振動手段）、および、ウェハ列搬送手段
１３、揺動手段１４を有して構成されている。

【００１５】超音波振動器１２は、図４に示すように、
各ウェハ洗浄槽１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃのそれぞれの側
壁および底壁に取り付けられたもので、ウェハ洗浄槽１
１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ内の洗浄液およびワークＷに振動
を与えるよう機能する。

【００１６】ウェハ列の搬送は、上下方向と進行方向と
に関して行われる。まず、図４を参照して、ウェハ列搬
送手段１３によるウェハの上下方向の搬送について説明
する。上下方向の搬送は、各ウェハ洗浄槽１１Ａ、１１
Ｂ、１１Ｃ内にワークＷを浸漬させるために、および、
各ウェハ洗浄槽１１Ａ、１１Ｂ、１１ＣからワークＷを
引き上げるためになされるものであって、ワークＷを保
持するための２本の支持アーム１５が、基台４の長さ方
向両端に形成された係止部４ａを下側から支持し、この
支持アーム１５の第１係止部１５ａを段部１６ａにより
支持しているガイド部材１６が、ガイドレール１６ｂに
沿って移動させることにより、なされている。

【００１７】次に、図５および図６を参照して、ウェハ
列搬送手段１５によるウェハの進行方向の搬送について
説明する。進行方向の搬送は、ワークＷを把持するため
の把持アーム１７が、基台４の側部に形成された溝４ｂ
内に係合爪１７ａを側方から挿入することにより、ワー
クＷを把持し、レール１５ａに沿って、ウェハ洗浄槽１
１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ間にわたって、ワークＷを搬送す
ることにより、なされている。

【００１８】揺動手段１４は、各ウェハ洗浄槽１１Ａ、
１１Ｂ、１１Ｃ内において、ワークＷを揺動運動させる
ためのもので、モータ１４ａ、減速機１４ｂ、クランク
部材１４ｃ、支持ロッド１４ｄ、支持アーム１５の第２
係止部１５ｂにより構成されている。揺動運動は、モー
タ１４ａの回転出力を、減速機１４ｂにて減速した後、
クランク部材１４ｃにより回転運動を上下方向の揺動運
動に変換することによりもたらされ、この揺動運動は、
第２係止部１５ｂを係止している支持ロッド１４ｄを介
してワークＷに伝達される。この場合、第１係止部１５
ａと段部１６ａとの係合は、第２係止部１５ｂが支持ロ
ッド１４ｄに支持された状態から、ガイド部材１６を下
げることにより解除することができる。よって、上下方
向の搬送と、揺動運動とは、選択的に行い得るようにな
っている。

【００１９】〔反転機構２０〕反転機構２０は、固定部
材１とウェハ列とを、ウェハ列の軸線回りに１８０゜回
転させる、すなわち、上下を反転させるためのものであ
る。反転機構２０は、図７および図８に示すように、２
本の支持ロッド２１と、２つの支持部材２２と、これら
支持部材２２を回転駆動するための駆動モータ２３を備
えて構成されている。

【００２０】この場合、図７は、反転機構２０を図１に
おける矢印Ａ方向から見た図であることに注意された
い。また、図８は、反転機構２０を図７における矢印Ｂ
方向から見た図である。

【００２１】支持ロッド２１は、ウェハ列の長さ方向に
垂直に、かつ、ウェハ列の長さ方向両端において平行に
配設されたものであって、各支持ロッド２１の下面に
は、ラック２１ａが形成されている。

【００２２】支持部材２２は、固定部材１の孔部に爪２
２ａを引っかけることにより固定部材１の側方から固定
部材を把持する係合アーム２２ｂ、および、この係合ア
ーム２２ｂから離間した場所にラック２１ａと係合状態
で転動するピニオン２２ｃを有するものである。ここ
で、係合アーム２２ｂは、ピニオン２２ｃがラック２１
ａと係合して転動した場合には、つれて旋回するもので
ある。また、係合アーム２２ｂは、ピニオン２２ｃの軸
心とウェハ列の軸線とを一致させた状態で固定部材１の
孔部に爪２２ａを引っかける位置に配設されている。

【００２３】駆動モータ２３は、駆動モータ２３・中間
部材２４間に張設されたベルト２３ａ、および、中間部
材２４・支持部材２２間に張設されたベルト２３ｂを介
して、支持部材２２を回転させることができる。この場
合、ラック２１ａ・ピニオン２２ｃの係合により、係合
アーム２２ｂおよびワークＷは、ウェハ列の軸線回りに
１８０゜回転されることになる。この場合、反転に伴っ
て、駆動モータ２３、中間部材２４、および、支持部材
２２は、支持ローラ２２ｄ、２２ｄが支持ロッド２１上
を転がることにより、全体的に平行移動することにな
る。

【００２４】〔剥離機構３０〕剥離機構３０は、ウェハ
列の形態のまま洗浄されたウェハ列の端部からウェハを
１枚ずつ剥離させるためのものである。剥離機構３０
は、図９〜図１１に示すように、軟化槽３１、ウェハ吸
着盤３２、旋回アーム３２ａ、吸着盤用ロータリアクチ
ュエータ（駆動手段）３３、エアスライドテーブル３
４、押え部材３５、押え部材用ロータリアクチュエータ
３６、エアノズル３７、ボール螺子３８ａ、スライドモ
ータ３８を有して構成されている。

【００２５】この場合、図９は、剥離機構３０を図１に
おける矢印Ａ方向から見た図であることに注意された
い。また、図１０は、剥離機構３０を図９における矢印
Ｃ方向から見た図であり、ウェハ吸着盤３２および押え
部材３５が頂部位置にある状態が図示されていることに
注意されたい。

【００２６】軟化槽３１は、各ウェハが固定部材１に接
着している接着剤を軟化させるためのもので、ヒータ３
１ａを備えた槽である。軟化槽３１内において、ワーク
Ｗの固定部材１を固定するために、固定用シリンダ３１
ｂ、固定用フレーム３１ｃが設けられている。本実施形
態においては、接着剤がエポキシ系接着剤であることに
基づいて、約９０℃の水槽とされている。本発明は、こ
れに限定されるものではなく、使用している接着剤に応
じて、適宜、温度、溶剤等を選択するものであって良
い。

【００２７】ウェハ吸着盤３２は、図示しない真空吸着
源に接続されて、ウェハ列の端部に位置する１枚のウェ
ハを吸着するためのものである。ウェハ吸着盤３２は、
このウェハ吸着盤３２を支持する旋回アーム３２ａを介
して、吸着盤用ロータリアクチュエータ３３により回転
駆動される。これにより、ウェハ吸着盤３２に吸着され
ているウェハは、面方向に移動され、ウェハ列の領域外
へと移動するよう大きく回転駆動される。この場合、剥
離されたウェハの受け側には、係合アーム３２ａを柔軟
に受け止めるためのショックアブソーバ３２ｂが設けら
れている。

【００２８】エアスライドテーブル３４は、ウェハと固
定部材１との接着箇所の端点を支点としてウェハを面方
向に回転移動させるためのもので、連結部材３４ａを介
して吸着盤用ロータリアクチュエータ３３の軸を横方向
にスライド移動させることにより、ウェハ吸着盤３２・
旋回アーム３２ａ・吸着盤用ロータリアクチュエータ３
３を、一体的に横方向に移動自在とするものである。

【００２９】この場合、エアスライドテーブル３４に代
えて、あるいは、エアスライドテーブル３４に加えて、
後述の押え部材３５に取り付けられたシリンダ３４ｂお
よびフック３４ｃの組合せを使用することもできる。フ
ック３４ｃは、係止爪として機能するものであり、シリ
ンダ３４ｂによって駆動されることにより、後述のスリ
ット３５ａを通して、端部に位置する１枚のウェハだけ
を係止して、このウェハだけを横方向にずらし得るもの
である。

【００３０】押え部材３５は、ウェハ列の端部付近を覆
ってウェハ列の端部に位置する１枚のウェハのみを挿通
させかつ隣接するウェハを移動させないためのものであ
り、押え部材３５には、この目的のために、ウェハ列の
端部付近を覆ったときに１枚のウェハのみが挿通し得る
だけの隙間のスリット３５ａが形成されている。また、
押え部材３５には、ウェハ吸着盤３２の移動または通過
を許容する切欠３５ｂが形成されている。押え部材３５
は、押え部材用ロータリアクチュエータ３６に接続され
ており、押え位置３５Ａと退避位置３５Ｂとの間を回転
駆動される。

【００３１】エアノズル３７は、剥離されるウェハに近
傍に配置されたもので、剥離されるべきウェハと、この
ウェハに隣接するウェハとの間に作用している表面張力
を低減させるために、それらウェハ間の間隙に向けて空
気流を噴射するためのものである。

【００３２】スライドモータ３８は、ウェハの剥離が終
わるたびごとに、ボール螺子３８ａに沿って、ウェハ吸
着盤３２、旋回アーム３２ａ、吸着盤用ロータリアクチ
ュエータ３３、エアスライドテーブル３４、押え部材３
５、押え部材用ロータリアクチュエータ３６、エアノズ
ル３７、および後述の受け部材４４の集合体を、図１１
において矢印Ｄで示す方向に所定長さずつ移動させる。

【００３３】〔枚葉洗浄機構４０〕枚葉洗浄機構４０
は、剥離された各ウェハを１枚ずつ洗浄するためのもの
で、図１１および図１２に示すように、受け渡し手段４
１、枚葉洗浄手段４２、乾燥手段４３とを備えて構成さ
れている。

【００３４】受け渡し手段４１は、受け部材４４、コン
ベヤ４５から構成されている。受け部材４４は、厚さ方
向中央においてウェハの厚さよりもわずかに厚く形成さ
れた収容部４４ａ内に、ウェハ吸着盤３２により剥離さ
れたウェハを受け取るものである。受け部材４４は、図
１１に示すように、直立した状態で、ウェハを受け取
る。そして、ウェハ吸着盤３２による吸着が解除された
後、底縁部に設けられた軸体回りに回転され、図示二点
鎖線で示すように水平状態へと倒される。

【００３５】倒されたところには、２本のベルト４５ａ
が矢印Ｄ方向に搬送し得るよう駆動されているコンベヤ
４５が設けられている。また、受け部材４４には、コン
ベヤ４５の２本のベルト４５ａと位置を合わせて、長さ
方向全体にわたる切欠部４４ｂ（図９および図１１）が
形成されており、この切欠部４４ｂからは、ウェハが下
方に向けて露出した状態にあり、ウェハがコンベヤ４５
の各ベルト４５ａと接触し得るようになっている。

【００３６】よって、ウェハ吸着盤３２により剥離され
たウェハは、一旦、受け部材４４に収容され、受け部材
４４が倒されることにより、切欠部４４ｂを通してコン
ベヤ４５の各ベルト４５ａと接触し、各ベルト４５ａと
の摩擦力により受け部材４４から離脱してコンベヤ４５
により、次工程である枚葉洗浄手段４２へと受け渡され
ることになる。

【００３７】枚葉洗浄手段４２は、洗浄のためのブラシ
ローラ（ブラシ）４２ａ、このブラシローラ４２ａによ
る洗浄箇所に向けて洗浄水（洗浄液）をスプレーするた
めのスプレーノズル（スプレー手段）４２ｂ、ウェハの
搬送および吸水のための吸水ローラ４２ｃ、および、ブ
ラシローラ４２ａ・吸水ローラ４２ｃの駆動モータ４２
ｄを有して構成されている。

【００３８】この場合、スプレーノズル４２ｂは、ウェ
ハの表裏面を有効に洗浄し得るよう、図１３に示すよう
に、ブラシローラ４２ａの上下両側に設けられている。

【００３９】乾燥手段４３は、Ｏリング４３ａが複数取
り付けられたステンレス製ローラ４３ｂ、ローラ４３ｂ
の駆動モータ４３ｃ、および、温風吹付手段（図示せ
ず）を有して構成されている。

【００４０】〔収容機構５０〕収容機構５０は、図１に
示すように、枚葉洗浄および乾燥された各ウェハをカセ
ット（収納容器）５１内に収容するために、枚葉洗浄機
構４０の後段に配設されたもので、ロボット（ウェハの
枚葉搬送手段）５２を備えて構成されている。

【００４１】次に、上述のように構成された本発明のウ
ェハの洗浄装置を用いた洗浄方法について説明する。

【００４２】〔洗浄工程〕図３に示すワークＷは、ワイ
ヤソーによりスライスされた後、適当な搬送手段によ
り、洗浄機構１０のウェハ列搬送手段１３に受け渡され
る。この洗浄工程においては、ワークＷのウェハ列を、
この形態のまま洗浄を行う。これにより、早い段階での
研削液の除去を達成する。

【００４３】まず、第１ウェハ洗浄槽１１Ａにおいて
は、クリンスルーＫＳ１０００（商品名、花王株式会社
製）を洗浄液として、超音波振動器１２により超音波振
動を付加しながら洗浄を行う。超音波振動は、キャビテ
ーションを生じて洗浄効果の大きな２８ｋＨｚ帯、およ
び／または、狭い隙間まで洗浄液が侵入しやすい２００
ｋＨｚ帯で行う。また、洗浄中は、揺動手段１４によ
り、ワークＷに揺動を与え、洗浄効果を高めるようにす
る。そして、時々は、ワークＷを洗浄液から一旦引き上
げ、洗浄液を流す操作を行って、再度、洗浄液に浸す操
作を行い、さらに洗浄効果を高めるようにする。

【００４４】次に、第２ウェハ洗浄槽１１Ｂにおいて
は、クリンスルーＫＳ１０００（商品名、株式会社花王
製）の５％水溶液を洗浄液として、洗浄を行う。超音波
振動の付加、揺動の付加、ワークＷの一時的な引き上
げ、等の洗浄条件は、上記と同様である。

【００４５】そして、第３ウェハ洗浄槽１１Ｃにおいて
は、水により、洗浄を行う。超音波振動の付加、揺動の
付加、ワークＷの一時的な引き上げ、等の洗浄条件は、
上記と同様である。

【００４６】この洗浄工程においては、洗浄液の種類、
超音波振動の付加、揺動の付加、ワークＷの一時的な引
き上げ、等の洗浄条件は、ワークＷに応じて適切に行わ
れるべきものであり、上記に限定されるものではない。

【００４７】〔反転工程〕次に、洗浄されたウェハ列を
剥離工程に引き渡すに先立って、すなわち、ウェハ列を
軟化槽３１に浸漬させるに先立って、固定部材１を下側
に位置させるよう、この反転工程により、固定部材１と
ウェハ列とを上下反転させる。この反転操作は、駆動モ
ータ２３を駆動して、ラック２１ａ・ピニオン２２ｃを
互いに係合させ、係合アーム２２ｂおよびワークＷを、
ウェハ列の軸線回りに１８０゜回転することにより行
う。

【００４８】〔剥離工程〕この工程においては、図７の
矢印Ｅで示すように、反転されたウェハ列を昇降手段
（図示せず）により下降させ、各ウェハと固定部材１と
の間の接着剤の部分を、ヒータ３１ａにより約９０℃に
維持された軟化槽３１中に浸漬し、固定用シリンダ３１
ｂおよび固定用フレーム３１ｃにより固定する。これに
より、接着剤が軟化し、剥離が容易となる。

【００４９】次に、退避位置３５Ｂ（図９）としておい
た押え部材３５を押え位置３５Ａに移動させる。そし
て、ウェハ吸着盤３２によりウェハ列の端部に位置する
１枚のウェハを吸着する。

【００５０】その後、エアスライドテーブル３４を駆動
して、連結部材３４ａを介して吸着盤用ロータリアクチ
ュエータ３３の軸を横方向にスライド移動させることに
より、ウェハは、ウェハ吸着盤３２に吸着したまま、ウ
ェハ吸着盤３２と共に図７および図９において矢印Ｆで
示すように、ウェハを面方向に移動させる。この場合、
エアノズル３７からの空気流の噴出を並行して行う。

【００５１】これにより、接着点３０ａから接着点３０
ｂ（図９）にわたるウェハと固定部材１との接着部分の
うち、接着箇所の端点３０ｂを支点としてウェハが固定
部材１に対して回転し、他の端点３０ａ側から、徐々に
かつ連続的に、軟化された接着部分が剥がれていくこと
になる。

【００５２】次に、エアノズル３７からの空気流の噴出
を並行した状態で、ウェハを、ウェハ吸着盤３２に吸着
したまま、ウェハ吸着盤３２と共に図７および図９にお
いて矢印Ｇで示すように、押え部材３５のスリット３５
ａを挿通させて、吸着盤用ロータリアクチュエータ３３
により大きく回転駆動する。この場合、押え部材３５
は、ウェハ列の端部を覆ったままであり、ウェハ吸着盤
３２の移動は、押え部材３５の切欠３５ｂにより許容さ
れている。これにより、このウェハは、１枚だけ固定部
材１から剥離されることになる。

【００５３】〔枚葉洗浄工程〕そして、ウェハ吸着盤３
２により剥離したウェハを、一旦、受け部材４４に収容
する。さらに、受け部材４４を倒すことにより、ウェハ
を切欠部４４ｂを通してコンベヤ４５の各ベルト４５ａ
と接触させ、各ベルト４５ａとの摩擦力により受け部材
４４から離脱してコンベヤ４５により、次工程である枚
葉洗浄手段４２へと受け渡す。受け渡しが終わった後
は、スライドモータ３８を駆動して、ウェハ吸着盤３
２、旋回アーム３２ａ、吸着盤用ロータリアクチュエー
タ３３、エアスライドテーブル３４、押え部材３５、押
え部材用ロータリアクチュエータ３６、エアノズル３
７、および受け部材４４の集合体を、図１１において矢
印Ｄで示す方向に所定長さだけ移動させる。

【００５４】次に、枚葉洗浄手段４２により、スプレー
ノズル４２ｂにより上下から注水を行いながらブラシロ
ーラ４２ａによる洗浄、および、吸水ローラ４２ｃによ
るウェハの搬送および吸水を行う。さらに、乾燥手段４
３によるウェハの乾燥を行う。

【００５５】〔収容工程〕最後に、ロボット５２によ
り、枚葉洗浄および乾燥された各ウェハをカセット５１
内に収容する。

【００５６】本実施形態においては、固定部材１上に接
着されたウェハ列の形態のまま洗浄を行うので、早い段
階で研削液が除去され、自動手段によるハンドリングを
容易に行うことができる。また、ウェハ列の形態のまま
洗浄されたウェハ列の端部から１枚ずつウェハを剥離さ
せるので、自動化を容易に達成することができる。

【００５７】また、１枚ずつ剥離された各ウェハを順次
洗浄することにより、剥離された各ウェハに残存する汚
れを除去することができる。

【００５８】さらに、枚葉洗浄および乾燥された各ウェ
ハは、カセット５１収納容器内に収容されるので、その
後の取扱いが容易であり、次工程への受け渡しを円滑に
達成することができる。

【００５９】そして、洗浄工程は、複数回の洗浄プロセ
スを有しているので、より完全に洗浄することができ
る。

【００６０】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、以下の形態とすることもできる。ａ）シリコンウェハに代えて、任意の半導体材料、磁性
材料、セラミクス等のウェハを対象とすること。ｂ）８インチ径のウェハに代えて、任意の寸法のウェハ
を対象とすること。ｃ）剥離工程において、エアスライドテーブル３４を利
用してウェハ列端部のウェハを面方向にずらすことに代
えて、あるいは、加えて、シリンダ３４ｂおよびフック
３４ｃを利用してウェハ列端部のウェハを面方向にずら
すこと。ｄ）エアスライドテーブル３４、ウェハ吸着盤３２等に
より構成されている剥離機構３０に代えて、他の任意の
剥離機構を使用すること。ｅ）剥離工程において、ウェハ列の長さ方向の一方の端
部から１枚ずつウェハを剥離させることに代えて、ウェ
ハ列の長さ方向の両方の端部から１枚ずつウェハを剥離
させること。

【００６１】

【発明の効果】本発明のウェハの洗浄方法および装置に
よれば、以下の効果を奏する。請求項１記載のウェハの
洗浄方法によれば、固定部材上に接着されたウェハ列の
形態のまま洗浄を行うので、早い段階で研削液が除去さ
れ、自動手段によるハンドリングを容易に行うことがで
きる。また、ウェハ列の形態のまま洗浄されたウェハ列
の端部から１枚ずつウェハを剥離させるので、自動化を
容易に達成することができる。請求項２記載のウェハの
洗浄方法によれば、１枚ずつ剥離された各ウェハを順次
洗浄することにより、剥離された各ウェハに残存する汚
れを除去することができる。請求項３記載のウェハの洗
浄方法によれば、各ウェハは、収納容器内に収容される
ので、その後の取扱いが容易であり、次工程への受け渡
しを円滑に達成することができる。請求項４記載のウェ
ハの洗浄方法によれば、洗浄工程は、複数回の洗浄プロ
セスを有しているので、より完全に洗浄することができ
る。

【００６２】請求項５記載のウェハの洗浄装置によれ
ば、ウェハ列は、ウェハ列搬送手段によりウェハ洗浄槽
内へと搬送され、ウェハ列の形態のままウェハ洗浄槽内
において洗浄される。すなわち、早い段階で研削液を除
去することができる。また、洗浄されたウェハ列の端部
に位置するウェハを、ウェハ吸着盤および駆動手段によ
り、１枚ずつ容易にウェハ列から剥離させることができ
る。請求項６記載のウェハの洗浄装置によれば、各ウェ
ハを、スプレー手段により洗浄液をスプレーしながらブ
ラシにより洗浄することができ、剥離された各ウェハに
残存する汚れを除去することができる。請求項７記載の
ウェハの洗浄装置によれば、各ウェハを、ウェハの枚葉
搬送手段により、収納容器内に収容することができ、次
工程への受け渡しを円滑に達成することができる。請求
項８記載のウェハの洗浄装置によれば、洗浄機構には、
複数のウェハ洗浄槽が設けられているので、複数回の洗
浄プロセスが可能とされ、より完全に洗浄することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェハの洗浄装置の一実施形態を示す
正面図である。

【図２】図１に示すウェハの洗浄装置を示す側面図であ
る。

【図３】図１に示すウェハの洗浄装置が対象とするワー
クを示す斜視図である。

【図４】図１に示すウェハの洗浄装置における洗浄機構
を示す側面図である。

【図５】図４に示す洗浄機構におけるウェハ列搬送手段
を示す正面図である。

【図６】図５に示すウェハ列搬送手段の一部を拡大して
示す側面図である。

【図７】図１に示すウェハの洗浄装置における反転機構
を図１における矢印Ａ方向から見た左側面図である。

【図８】図７に示す反転機構を図７における矢印Ｂ方向
から見た正面図である。

【図９】図１に示すウェハの洗浄装置における剥離機構
を図１における矢印Ａ方向から見た左側面図である。

【図１０】図９に示す剥離機構を図９における矢印Ｃ方
向から見た正面図である。

【図１１】図１に示すウェハの洗浄装置における剥離機
構を示す平面図である。

【図１２】図１に示すウェハの洗浄装置における枚葉洗
浄機構を示す平面図である。

【図１３】図１２に示す枚葉洗浄機構を詳細に示す正面
図である。

【符号の説明】

１固定部材１０洗浄機構１１Ａ第１ウェハ洗浄槽（ウェハ洗浄槽）１１Ｂ第２ウェハ洗浄槽（ウェハ洗浄槽）１１Ｃ第３ウェハ洗浄槽（ウェハ洗浄槽）１２超音波振動器（振動手段）１５ウェハ列搬送手段３０剥離機構３１ウェハ吸着盤３２吸着盤用ロータリアクチュエータ（駆動手段）４０枚葉洗浄機構４２ａブラシローラ（ブラシ）４２ｂスプレーノズル（スプレー手段）５０収容機構５１カセット（収納容器）５２ロボット（ウェハの枚葉搬送手段）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インゴット状にて固定部材上に接着され
た後、ワイヤソーにより長さ方向に垂直な方向からウェ
ハ列へとスライスされた各ウェハを洗浄するための方法
であって、前記固定部材上に接着された前記ウェハ列の形態のまま
洗浄する洗浄工程と、ウェハ列の形態のまま洗浄された前記ウェハ列の端部か
らウェハを１枚ずつ剥離させる剥離工程とを具備するこ
とを特徴とするウェハの洗浄方法。
【請求項２】請求項１記載のウェハの洗浄方法におい
て、１枚ずつ剥離された前記各ウェハを順次洗浄する枚葉洗
浄工程を具備することを特徴とするウェハの洗浄方法。
【請求項３】請求項１または２記載のウェハの洗浄方
法において、前記各ウェハを収納容器内に収容する収容工程を具備す
ることを特徴とするウェハの洗浄方法。
【請求項４】請求項１、２または３記載のウェハの洗
浄方法において、前記洗浄工程は、複数回の洗浄プロセスを有することを
特徴とするウェハの洗浄方法。
【請求項５】インゴット状にて固定部材上に接着され
た後、ワイヤソーにより長さ方向に垂直な方向からウェ
ハ列へとスライスされた各ウェハを洗浄するための装置
であって、前記固定部材上に接着された前記ウェハ列の形態のまま
洗浄するために、ウェハ洗浄槽、該ウェハ洗浄槽に振動
を与えるための振動手段、および前記ウェハ洗浄槽内へ
と前記ウェハ列を搬送するためのウェハ列搬送手段を有
する洗浄機構と、ウェハ列の形態のまま洗浄された前記ウェハ列の端部か
らウェハを１枚ずつ剥離させるために、前記ウェハ列の
端部に位置するウェハを吸着するためのウェハ吸着盤、
および、該ウェハ吸着盤を移動させるための駆動手段を
有する剥離機構とを具備することを特徴とするウェハの
洗浄装置。
【請求項６】請求項５記載のウェハの洗浄装置におい
て、１枚ずつ剥離された前記各ウェハを順次洗浄するため
に、洗浄のためのブラシ、および、該ブラシによる洗浄
箇所に向けて洗浄液をスプレーするためのスプレー手段
を有する枚葉洗浄機構を具備することを特徴とするウェ
ハの洗浄装置。
【請求項７】請求項５または６記載のウェハの洗浄装
置において、前記各ウェハを収納容器内に収容するために、ウェハの
枚葉搬送手段を有する収容機構を具備することを特徴と
するウェハの洗浄装置。
【請求項８】請求項５、６または７記載のウェハの洗
浄装置において、前記洗浄機構には、複数のウェハ洗浄槽が設けられてい
ることを特徴とするウェハの洗浄装置。