JP2011029401A - ウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 液体中に積み上げられた複数枚のウエハＷｆを搬送するウエハ搬送方法であって、液体Ｌｑをヒータ４１により加熱するとともに、加熱された液体Ｌｑから複数枚のウエハＷｆのうち最上位にあるものを吸着コンベア２により取り上げる。
【選択図】 図４

Description

本発明は、たとえば太陽電池の材料に用いられる半導体ウエハを１枚ずつ搬送するウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置に関する。

図１１は、半導体ウエハの製造におけるワイヤソー装置を用いた切断工程を示している（たとえば特許文献１参照）。同図に示されたワイヤソー装置Ｘは、４つのガイドローラ９３およびワイヤ９４を備えており、半導体材料９２をウエハ状に切断する装置である。ワイヤ９４は、たとえばメッキが施されたピアノ線であり、４つのガイドローラ９３に掛け回されており、図示された矢印の方向に送られる。半導体材料９２は、たとえばガラスからなる保持部材９１に接着剤によって接合された状態で、ワイヤ９４に押し付けられる。ワイヤ９４が半導体材料９２を超えて保持部材９１に到達すると、半導体材料９２の切断が完了する。この切断により、保持部材９１に各々の端縁が接合された状態で、複数枚のウエハが得られる。

しかしながら、切断を終えた後には、最終的に上記ウエハを１枚１枚分離した状態にする必要がある。この分離作業に先立って、切断粉の洗浄や、保持部材９１からの剥離を目的として、上記ウエハは、洗浄液や接着剤を溶解する溶液に漬けられる。これらの液体によって上記ウエハがウエットの状態になると、となり合う上記ウエハどうしが張り付いてしまいやすい。このようなことでは、上記ウエハを１枚１枚分離した状態とすることは容易ではなく、たとえば作業者が手作業によって上記半導体ウエハを１枚ずつ取り上げるといった作業が強いられていた。

特開２００７−１６０４３１号公報

本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供することをその課題とする。

本発明の第１の側面によって提供されるウエハ搬送方法は、液体中に積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送方法であって、上記液体を加熱するとともに、加熱された上記液体から上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものを取り上げることを特徴としている。

本発明の好ましい実施の形態においては、上記液体の温度を測定し、この測定温度が所定の温度範囲となるように上記液体を加熱する。

本発明の好ましい実施の形態においては、加熱された上記液体の温度範囲は、３０〜５０℃である。

本発明の好ましい実施の形態においては、上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出することにより、上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを含む複数枚のウエハどうしの間に隙間を生じさせた状態で、上記最上位に位置するウエハを取り上げる。

本発明の好ましい実施の形態においては、上記複数枚のウエハに対して上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものを吸着した状態で、このウエハをその面内方向にスライドさせる吸着スライド手段によって、上記最上位のウエハから順に搬送する。

本発明の第２の側面によって提供されるウエハ搬送装置は、液体中に積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送装置であって、上記液体を加熱する加熱手段と、上記複数枚のウエハのうち最上位に位置するウエハを受け取り可能なウエハ受け取り手段と、を備えることを特徴としている。

本発明の好ましい実施の形態においては、上記液体の温度を測定する温度測定手段と、上記温度測定手段による上記液体の測定温度が所定の温度範囲となるように上記加熱手段の駆動を制御する制御手段と、をさらに備える。

本発明の好ましい実施の形態においては、上記加熱手段は、上記液体に浸かったヒータである。

本発明の好ましい実施の形態においては、上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出することにより、上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを含む複数枚のウエハどうしの間に隙間を生じさせる、液体噴出手段をさらに備える。

本発明の好ましい実施の形態においては、上記ウエハ受け取り手段は、上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものを吸着した状態で、このウエハをその面内方向にスライドさせる吸着スライド手段を含む。

このような構成によれば、積み上げられた複数枚のウエハが漬かる液体を加熱することにより、当該液体の粘度を低下させることができる。これにより、隣り合うウエハどうしの間に液体が侵入することが促進される。その結果、複数枚のウエハのうち最上位に位置するウエハを、これの直下に隣接するウエハから分離しやすくなり、最上位に位置するウエハを適切に取り上げることができる。

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。

本発明に係るウエハ搬送装置の一例を示す全体概略図である。 図１に示すウエハ搬送装置を示す要部断面図である。 図１に示すウエハ搬送装置の吸着コンベアを斜め下方から見た要部斜視図である。 本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハを浮上させる工程を示す要部断面図である。 本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハを浮上させる工程を示す、図３と同様の要部斜視図である。 本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハを吸着する工程を示す、図３と同様の要部斜視図である。 本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハを吸着する工程を示す要部断面図である。 本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハをスライドさせる工程を示す要部断面図である。 本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハをスライドさせる工程を示す、図３と同様の要部斜視図である。 本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハを中継コンベアに受け渡す工程を示す要部断面図である。 ワイヤソー装置を用いた半導体材料の切断工程を示す斜視図である。

以下、本発明の好ましい実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。

図１は、本発明に係るウエハ搬送装置の一例を示している。本実施形態のウエハ搬送装置Ａは、ウエハ槽１、吸着コンベア２、ノズル３１、スポンジローラ３２、ヒータ４１、温度センサ４２、ヒータ制御部４３、中継コンベア５、装填コンベア６、およびスタッカ７を備えている。

ウエハ槽１は、鉛直方向上方が開口する容器状とされており、複数枚のウエハＷｆを、所定の液体Ｌｑに浸した状態で収容するためのものである。複数枚のウエハＷｆは、上下に積み上げられた状態で液体Ｌｑ内につけられており、液体Ｌｑの液面Ｌｓに対して所定の角度傾斜した姿勢とされている。液体Ｌｑは、たとえば水に適量の界面活性剤が混入されたものである。これらウエハＷｆの枚数は、たとえば１０００枚程度である。ウエハＷｆの寸法の一例を挙げると、外形が１５６ｍｍ角であって、厚さが０．１４〜０．１８ｍｍである。複数枚のウエハＷｆは、その最上位に位置するものの上面が後述する吸着コンベア２のウエハ吸着面２２ｃと平行となるように積み上げられている。最上位のウエハＷｆの上面と吸着コンベア２のウエハ吸着面２２ｃとの距離は、たとえば約３０ｍｍとされる。

複数枚のウエハＷｆは、たとえばウエハ槽１の図中左方において積み上げられた後に、コンベア１１によってウエハ槽１の図中右方部分に送られてくる。送られてきた複数枚のウエハＷｆは、たとえばリフタ１２によって昇降可能にハンドリングされる。リフタ１２は、たとえばサーボモータ（図示略）によって、少なくともウエハＷｆの１枚分の厚さに相当する精度で昇降自在とされている。

吸着コンベア２は、本発明で言う吸着スライド手段の一例に相当し、ウエハ槽１内においてその下方部分が液体Ｌｑに漬かる位置に設けられている。図２に示すように、吸着コンベア２は、１対のローラ２１、１対の無端ベルト２２、およびバキュームボックス２３を備えている。

１対のローラ２１は、互いに離間して平行配置されており、少なくともいずれかがサーボモータ（図示略）などの駆動源に連結されている。本実施形態では、図２に示されたローラ２１は、図中の反時計回りに回転させられる。

１対の無端ベルト２２は、環状とされたたとえばゴム製の帯状ベルトであり、１対のローラ２１に掛け回されている。図３に示すように、１対の無端ベルト２２は、互いに平行に離間配置されている。図２および図３に示すように、各無端ベルト２２のうちその周回方向の一部分である吸着区間２２ａには、複数の孔２２ｂが形成されている。各孔２２ｂは、無端ベルト２２をその厚さ方向に貫通しており、液体Ｌｑや空気が通過可能となっている。本実施形態においては、吸着区間２２ａの周回方向寸法は、ウエハＷｆの周回方向寸法とほぼ同じとされている。

図２に示すように、バキュームボックス２３は、無端ベルト２２の内側空間に配置されており、断面矩形状のたとえばＳＵＳ製の箱である。バキュームボックス２３の高さ方向寸法は、無端ベルト２２の内側どうしの間隔とほぼ同じとなっている。このため、バキュームボックス２３の上下面に沿って、無端ベルト２２が摺動する。各無端ベルト２２は、ローラ２１の駆動によって、図２における矢印方向（反時計回り）に周回させられる。すなわち、ローラ２１が回転駆動すると、無端ベルト２２のうちバキュームボックス２３に対して下側に位置する部分（ウエハ吸着面２２ｃ）は、図中左方から右方に向けてスライドする。

バキュームボックス２３は、３つの区画室２３１，２３２，２３３を有する。これらの区画室２３１，２３２，２３３は、１対のローラ２１が離間する方向に沿って並べられている。バキュームボックス２３には、複数の孔２３ｂが形成されている。複数の孔２３ｂは、バキュームボックス２３の下側部分に設けられており、本実施形態においては、バキュームボックス２３の下側部分のほぼ全面に設けられている。区画室２３１，２３２，２３３には、それぞれ吸気口２３ａが設けられている。

図２によく表れているように、吸着コンベア２は、液体Ｌｑの液面Ｌｓに対して若干傾いた姿勢とされている。より具体的には、吸着コンベア２の右端が左端よりも上位となるように傾斜している。

吸気口２３ａには、ホース２４、バルブユニット２７、脱水槽２５を介してポンプ２６が接続されている。ホース２４は、たとえば樹脂からなる可撓性を有する配管部品である。バルブユニット２７は、区画室２３１，２３２，２３３ののうちいずれをポンプ２６と接続するかを切替可能とされている。脱水槽２５は、バキュームボックス２３を介して吸引した空気から液体Ｌｑを分離するためのものである。ポンプ２６は、吸着コンベア２によってウエハＷｆを吸着することが可能な程度に、無端ベルト２２に収容された格好となっているバキュームボックス２３内の空間を減圧するための減圧源である。

ノズル３１は、液体Ｌｑが吐出される部品であり、液体Ｌｑの噴流を生じさせる。このノズル３１には、配管（図示略）を介して吐出ポンプ（図示略）が接続されている。本実施形態においては、図２に示すように、ノズル３１は、積み上げられた複数枚のウエハＷｆに対して図中右方に配置されており、複数枚のウエハＷｆの端面に向けて液体Ｌｑを噴出させる姿勢で設けられている。より具体的には、図３に示すように、ノズル３１からの噴流がウエハＷｆ端面に当たる位置としては、高さ方向においては最上位のものから数枚分（５〜６枚程度）の位置であり、奥行き方向においては略中央位置である。ノズル３１から吐出される液体Ｌｑの流量は、たとえば９Ｌ／ｍｉｎ程度である。なお、後述する複数枚のウエハＷｆを分離させる効果をより確実に奏するには、複数枚のウエハＷｆに向けて複数のノズル３１から液体Ｌｑを吐出する構成が好ましい。

スポンジローラ３２は、表面部分がスポンジからなるローラである。スポンジローラ３２は、吸着コンベア２の直下において、積み上げられた複数枚のウエハＷｆに対して図中右方に配置されている。スポンジローラ３２は、図示しないたとえばモータに連結されており、回転可能とされている。本実施形態においては、スポンジローラ３２は、ブラケットによって吸着コンベア２に対して固定されている。

図１に示すように、ヒータ４１は、液体Ｌｑに漬かっており、たとえばウエハ槽１の壁面付近に配置されている。このヒータ４１としては、液体加熱用のものが用いられる。ヒータ４１が駆動すると、液体Ｌｑが加熱されて当該液体Ｌｑの温度が上昇する。ヒータ４１は、ケーブルを介してヒータ制御部４３につながっており、ヒータ制御部４３からの電気信号によってその駆動が制御される。なお、たとえば、ウエハ槽１内の液体Ｌｑを攪拌するための攪拌翼（図示略）をヒータ４１の近傍に設けてもよい。この場合、上記攪拌翼の作動により、液体Ｌｑの温度を速やかに上昇させることができるとともに、液体Ｌｑ全体の温度の均一化を図ることができる。

温度センサ４２は、液体Ｌｑに漬かっており、たとえばウエハ槽１の壁面付近に配置されている。温度センサ４２としては、たとえば液温測定用のサーミスタを採用することができる。温度センサ４２からの出力信号は、ケーブルを介してヒータ制御部４３に伝送される。

ヒータ制御部４３は、ヒータ４１に駆動電力を供給するためのものであり、ウエハ槽１の外部に設けられている。ヒータ制御部４３は、温度センサ４２からの電気信号に応じてヒータ４１の駆動を制御する制御回路を備える。ヒータ制御部４３による制御としては、たとえば温度センサ４２での測定温度が所定の温度範囲となるようにヒータ４１の駆動を制御する、いわゆるフィードバック制御が挙げられる。

中継コンベア５は、吸着コンベア２の下流側において、液面Ｌｓの上方に配置されている。中継コンベア５は、後述する手順によって吸着されたウエハＷｆを吸着コンベア２から受け渡される。

装填コンベア６は、中継コンベア５の下流側に配置されている。装填コンベア６は、中継コンベア５から受け取ったウエハＷｆを、スタッカ７へと装填するのに用いられる。

スタッカ７は、複数枚のウエハＷｆを１枚ずつ格納するためのものであり、鉛直方向に互いに平行に配列された複数のポケット７１を有している。装填コンベア６からウエハＷｆが送られてくると、このウエハＷｆがあるポケット７１に装填される。すると、図示しない昇降手段によってスタッカ７はポケット７１の一段分だけ上昇される。これにより、次のウエハＷｆを装填可能な状態となる。

次に、本発明に係るウエハ搬送方法の一例について、図４〜図１０を参照しつつ以下に説明する。

まず、図４に示すように、無端ベルト２２の吸着区間２２ａを、積み上げられたウエハＷｆの直上に位置させる。吸着区間２２ａがこの位置にあるときは、バキュームボックス２３の複数の孔２３ｂのうち区画室２３１，２３２に設けられものが、吸着区間２２ａと重なっている。また、このときバルブユニット２７を切り替えることにより、区画室２３１，２３２とポンプ２６とを接続し、区画室２３３とポンプ２６とを遮断する。これとともに、ポンプ２６を駆動させ、区画室２３１，２３２の内圧を負圧とする。ここで、ヒータ４１を駆動することにより、あらかじめ液体Ｌｑの温度を３０〜５０℃程度にしておく。

次いで、ノズル３１からウエハＷｆの端面に向けて所定の吐出圧力で液体Ｌｑを噴出する（図３参照）。ノズル３１からの吐出圧力によって、液体Ｌｑが噴き付けられる部位において、ウエハＷｆどうしの間に液体Ｌｑが侵入する。そうすると、図５に示すように、最上位のウエハＷｆを含む複数枚のウエハＷｆは、互いの間に隙間が生じるように浮き上がる。そして、最上位のウエハＷｆは、無端ベルト２２の吸着区間２２ａ（ウエハ吸着面２２ｃ）に近接する。なお、積み上げられたウエハＷｆの周囲の適所には、ウエハＷｆをその面内方向に垂直な方向に沿って上下動させるためのガイド（図示略）が設けられている。

吸着コンベア２において、区画室２３１，２３２の内圧が負圧であることから、吸着区間２２ａの直下近傍にある最上位のウエハＷｆが上方に引き寄せられる。そして、図６および図７に示すように、最上位のウエハＷｆが吸着区間２２ａに吸着される。

次いで、ノズル３１からの液体Ｌｑの噴出を停止し、図８および図９に示すように、ローラ２１を駆動することにより無端ベルト２２を反時計回りに周回させる。これにより、吸着されたウエハＷｆが図中右方にスライドされる。このとき、スポンジローラ３２を反時計回りに回転させておく。すると、スライドするウエハＷｆは、その先端から順にスポンジローラ３２の上方をこれに接しながら通過する。これにより、ウエハＷｆにはスライド方向と反対方向に向けて抵抗力が付与される。仮に、最上位に位置していたウエハＷｆとその直下にあったウエハＷｆとが、誤って２枚取りされた場合、この抵抗力によって下方のウエハＷｆを取り除くことができる。さらに、液体Ｌｑに混入された界面活性剤は、２枚のウエハＷｆどうしの間に液体Ｌｑが侵入することを好適に促進する。

無端ベルト２２が周回すると、吸着区間２２ａが区画室２３１，２３２と重なる位置から区画室２３２，２３３と重なる位置へと移動する。このときには、図８によく表れているように、バルブユニット２７を切り替えることにより、区画室２３２，２３３とポンプ２６とを接続し、区画室２３１とポンプ２６とを遮断する。これにより、区画室２３２，２３３の内圧が負圧となり、区画室２３１はその内圧が強い負圧となる状態から解除される。

次いで、図１０に示すように、さらに無端ベルト２２を周回させる。すると、吸着されたウエハＷｆは、さらに右方へとスライドし、中継コンベア５へと受け渡される。図示された状態においては、吸着区間２２ａは区画室２３３のみと重なっている。このときには、バルブユニット２７を切り替えることにより、区画室２３３とポンプ２６とを接続し、区画室２３１，２３２とポンプ２６とを遮断する。

この後は、中継コンベア５、装填コンベア６を経由して、ウエハＷｆがスタッカ７に装填される。一方、吸着コンベア２は、無端ベルト２２をさらに周回させるとともに、バルブユニット２７を切り替えることにより、再び図４に示す状態となる。そして、リフタ１２が、積み上げられた複数枚のウエハＷｆをその一枚分の厚さに相当する高さだけ上昇させることにより、次のウエハＷｆを吸着可能な状態となる。以上に述べた工程を順次繰り返すことにより、積み上げられた複数枚のウエハＷｆを１枚ずつ搬送し、スタッカ７へと装填できる。

次に、本実施形態のウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置Ａの作用について説明する。

複数枚のウエハＷｆは、たとえばワイヤソーを用いた切断工程の後に、洗浄工程や接着剤の溶解工程を経るために濡れた状態となる。これらの濡れたウエハＷｆを大気中におくと、互いに張り付いてしまい、１枚ずつに分離することは困難である。本実施形態によれば、複数枚のウエハＷｆが漬かる液体Ｌｑは、ヒータ４１により加熱され、常温よりも高温とされている。これにより、液体Ｌｑの粘度は加熱前よりも低下しており、隣り合うウエハＷｆどうしの間に液体Ｌｑが侵入することが促進される。その結果、複数枚のウエハＷｆのうち最上位に位置するウエハＷｆを、これの直下に隣接するウエハＷｆから分離しやすくなり、最上位のウエハＷｆを適切に取り上げることができる。

ヒータ４１の駆動は、液体Ｌｑの温度（温度センサ４２による測定温度）に応じてヒータ制御部４３によって制御される。このため、液体Ｌｑ中からウエハＷｆを順次取り上げる作業工程において、液体Ｌｑの温度を所望の温度範囲に維持することができる。

本実施形態では、液体Ｌｑ中に積み上げられた複数枚のウエハＷｆにおいては、これらウエハＷｆの端面に液体Ｌｑを噴出することにより、最上位にあるウエハＷｆを含む複数枚のウエハＷｆの間に隙間が生じさせられる。すなわち、最上位のウエハＷｆとこれに隣接する直下のウエハＷｆとの間に隙間があるため、ウエハＷｆどうしが張り付いた状態は解消されて、最上位に位置するウエハＷｆを適切に吸着コンベア２に吸着させることができる。また、上述したように、複数枚のウエハＷｆが漬かる液体Ｌｑは加熱されることよって粘度が低下した状態にあるため、ウエハＷｆどうしの間に液体Ｌｑが侵入しやすくなっている。このこととウエハＷｆ端面への液体噴出とが相俟って、ウエハＷｆの間に隙間が生じやすくなる。

ウエハＷｆをスライドさせる吸着コンベア２を用いれば、吸着したウエハＷｆを積み上げられた複数枚のウエハＷｆの直上からスムーズに退避させることができる。このとき、複数枚のウエハＷｆが大きく乱されるおそれが少ない。

複数枚のウエハＷｆは、最上位に位置するものの上面が吸着コンベア２のウエハ吸着面２２ｃと平行となるように積み上げられている。このため、ノズル３１からの液体噴出により浮上してきた最上位のウエハＷｆの全面に対して、吸着コンベア２による吸着力が略均等に作用する。このような構成は、最上位にあるウエハＷｆを的確に吸着するのに適している。また、ウエハ吸着面２２ｃは、ウエハＷｆのスライド方向前方側（図中右方）が上位となるように傾斜しているため、ウエハＷｆを短い移動行程で効率よく搬送するのに適している。

ノズル３１は、複数枚のウエハＷｆに対してウエハＷｆのスライド方向前方側（図中右方）に配置されており、積み上げられたウエハＷｆの端面に向けて液体Ｌｑを噴出する。すなわち、ノズル３１からはウエハＷｆのスライド方向とは逆方向に液体Ｌｑが噴出される。これにより、最上位に位置していたウエハＷｆの直下にあるウエハＷｆが誤って運ばれるのを抑制することができる。

区画室２３１，２３２，２３３のうち吸着区間２２ａと重ならないものを、順次ポンプ２６に対して遮断することにより、吸着区間２２ａ以外の部分によって吸着したいウエハＷｆ以外のウエハＷｆを誤って吸着してしまうことを防止することができる。

本発明に係るウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明に係るウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。

Ａ ウエハ搬送装置
Ｌｑ 液体
Ｌｓ 液面
Ｗｆ ウエハ
１ ウエハ槽
２ 吸着コンベア（吸着スライド手段）
５ 中継コンベア
６ 装填コンベア
７ スタッカ
１１ コンベア
１２ リフタ
２１ ローラ
２２ 無端ベルト
２２ａ 吸着区間
２２ｂ 孔
２２ｃ ウエハ吸着面
２３ バキュームボックス
２３１，２３２，２３３ 区画室
２３ａ 吸気口
２３ｂ 孔
２４ ホース
２５ 脱水槽
２６ ポンプ
２７ バルブユニット
３１ （浮上用）ノズル
３２ スポンジローラ
４１ ヒータ
４２ 温度センサ（温度測定手段）
４３ ヒータ制御部（制御手段）
７１ ポケット

Claims (10)

1. 液体中に積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送方法であって、
   上記液体を加熱するとともに、加熱された上記液体から上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものを取り上げることを特徴とする、ウエハ搬送方法。
2. 上記液体の温度を測定し、この測定温度が所定の温度範囲となるように上記液体を加熱する、請求項１に記載のウエハ搬送方法。
3. 加熱された上記液体の温度範囲は、３０〜５０℃である、請求項２に記載のウエハ搬送方法。
4. 上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出することにより、上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを含む複数枚のウエハどうしの間に隙間を生じさせた状態で、上記最上位に位置するウエハを取り上げる、請求項１ないし３のいずれかに記載のウエハ搬送方法。
5. 上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものを吸着した状態で、このウエハをその面内方向にスライドさせる吸着スライド手段によって、上記最上位のウエハから順に搬送する、請求項１ないし４のいずれかに記載のウエハ搬送方法。
6. 液体中に積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送装置であって、
   上記液体を加熱する加熱手段と、
   上記複数枚のウエハのうち最上位に位置するウエハを受け取り可能なウエハ受け取り手段と、
   を備えることを特徴とする、ウエハ搬送装置。
7. 上記液体の温度を測定する温度測定手段と、
   上記温度測定手段による上記液体の測定温度が所定の温度範囲となるように上記加熱手段の駆動を制御する制御手段と、
   をさらに備える、請求項６に記載のウエハ搬送装置。
8. 上記加熱手段は、上記液体に浸かったヒータである、請求項６または７に記載のウエハ搬送装置。
9. 上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出することにより、上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを含む複数枚のウエハどうしの間に隙間を生じさせる、液体噴出手段をさらに備える、請求項６ないし８のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
10. 上記ウエハ受け取り手段は、上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものを吸着した状態で、このウエハをその面内方向にスライドさせる吸着スライド手段を含む、請求項６ないし９のいずれかに記載のウエハ搬送装置。

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