JP2010514205A - シリコンウェハを分離させるための方法および装置 - Google Patents

Abstract

本発明は、シリコンウェハ（１２）の水平スタック（１０）からシリコンウェハ（１２ａ）を分離させるための方法に関する。この方法は、スタック（１０）内のシリコンウェハ（１２ａ）の表面に可動移送装置（２）を取り付け、シリコンウェハ（１２ａ）がスタック（１０）から分離されるまで、シリコンウェハ（１２ａ）をシリコンウェハ（１２ａ）の表面と平行（Ａ）に水平移動させることを含むことを特徴とする。本発明は、この方法を実施するための装置も含む。

Description

本発明は、シリコンウェハをシリコンウェハの水平スタック（ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ ｓｔａｃｋ）から分離させるための方法および装置に関する。本出願において、水平（ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ）という用語は、ウェハの積重ね方向が水平である、すなわちウェハの表面が実質的に垂直な面内に位置するスタックを意味する。

太陽電池用のシリコンウェハの生産では、シリコンインゴットが、薄いウェハに切り分けられる。一般に、インゴットは、平行に、液冷ソーイングプロセス（ｌｉｑｕｉｄ−ｃｏｏｌｅｄ ｓａｗｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ）でウェハに切断され、このプロセスと後続のプロセスの結果、製品は、湿った薄いシリコンウェハのスタックからなる。後続のプロセスでは、それぞれの個々のウェハが別々に処理されることになる。

スタックからそれぞれの個々のウェハを分離するのは、現在、手作業で行われており、手作業では、作業者が、最外ウェハをスタックから持ち上げ／引き抜き、それらをカセット内に配置するか、または次の処理段階へ移送するための組立ライン上に順番に配置する。

このプロセスには問題がないわけではない。ウェハは、ウェハ間の媒体の凝集性、接着性および粘性、ならびにウェハの表面の粗さによって決まる力によって互いに保持される。さらに、分離は労働集約的作業であるとともに、それが実行されうるスピードに限界がある。手作業により、ウェハの大部分が作業中に損傷を受けることになる。太陽電池産業では、ウェハの厚み１００μｍ〜２００μｍを薄くする必要があり、その結果、非常に慎重な取扱いに関する要件がさらに重要になる。

国際公開ＷＯ２００４／０５１７３５号には、シリコンウェハを垂直スタックから分離させるための装置が開示されている。ウェハは、水平面内にあり、この面内で移動させられる。この場合、垂直スタック内の最初のシリコンウェハをスタックから持ち上げ、流体が、最初のシリコンウェハと上から２番目のシリコンウェハとの間にそれらが互いに分離するのを助けるために吹きかけられる移送装置が使用される。この技法の欠点は、シリコンウェハが分離する間に損傷を受ける危険性が依然として高いことである。移送装置はウェハに取り付けるための手段を備え、この手段はウェハの単一点に圧力をかけるものである。この圧力は、側部から吹きかけられる流体とともに、ウェハ間の毛細管力に打ち勝つためのものである。したがって、この圧力は、ウェハを変形させ、最悪の場合、ウェハを破壊させる可能性もある。この刊行物は、この問題が、ウェハを押さえておきかつウェハが折り重ならないようにする部品も含む移送装置によって解決される方法を示している。

ドイツ特許第１０２００５０１６５１８号は、キャリアシステムからウェハを取り外しかつ水平スタックを個別化するための装置を開示している。本明細書に記述されているように、キャリアシステムは、ソーイングプロセス中にシリコンを（接着剤で）固定するために使用される薄板（通常はガラス）である。このガラス板および接着剤は、個別化を行うために後で除去されなければならない。この刊行物は、最外ウェハの下のガラス板に行き当たって、そのウェハを接着剤およびガラスの残留物とともに解放させるために使用されるチゼルについて記述している。しかし、起こりうることは、そのウェハが隣接するウェハに即座に付着して、個別化を達成できなくなることである。

上記の刊行物は、電子産業用ウェハの取扱いに言及している。これらのウェハは、より優れた機械的特性を有しており、とりわけそれらが比較的厚い（３００〜４００μｍ）ため、比較的大きな機械的負荷に耐えることができる。一方、太陽電池ウェハは、極めて脆弱であり、より穏やかな取扱いを必要とする。本発明は、とりわけこれらのウェハの個別化を実行できるようにするためのものである。しかし、本発明はまた、太陽電池ウェハとは異なる厚み（例えば２００〜４００μｍ）を有するウェハの個別化のためにも使用されうる。

国際公開ＷＯ２００４／０５１７３５号 ドイツ特許第１０２００５０１６５１８号

本発明の目的は、シリコンウェハの分離を改善するための、すなわちシリコンウェハをより効率的に分離させ、損傷を受けるシリコンウェハの割合を低減するかまたはゼロにするための方法および装置を提供することである。

本発明は、シリコンウェハの水平スタックからシリコンウェハを分離させるための方法を含む。この方法は、ａ）スタック内の最外シリコンウェハの表面に可動移送装置を取り付けるステップと、ｂ）そのシリコンウェハがスタックから分離されるまで、シリコンウェハを実質的に垂直な面内で移動させるステップとを含むことを特徴とする。

本発明による方法および装置によって分離されるシリコンウェハは、例えば太陽電池生産用ウェハである。かかるウェハは薄く（１００μｍ〜２００μｍ）、それの取扱いは特に重要である。

「スタック（ｓｔａｃｋ）」という用語は、ソーイングし接着層を溶解した後、あるいは接着層を別の方法で除去した後で得られる製品を意味する。ウェハをスタックの形で互いに保持する力は、接着力と凝集力と粘性力と機械力とを組み合わせたものである（接着力と凝集力はいわゆる毛細管力を構成する）。

本発明の例示の実施形態では、ウェハの垂直面内での移動は、実質的に上方に、すなわち重力とは反対の方向に行われ、それによってウェハの制御された移動を達成する。

いくつかの方向が垂直面内に規定され、それによって本発明のいくつかの変形形態を規定することが可能となり、例えば、ウェハは、垂直面内の水平経路、垂直経路または湾曲経路を移動させられる。

「実質的に垂直な面内（ｉｎ ａ ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙ ｖｅｒｔｉｃａｌ ｐｌａｎｅ）」という表現は、傾斜移動（ｔｉｌｔｉｎｇ ｍｏｖｅｍｅｎｔ）（一端でインゴットに依然として付いているウェハがインゴットから分離されたときに起こる移動など）を含まない移動を意味する。傾斜移動は、ウェハの破壊を引き起こしうるウェハ内の機械的内部応力の原因となる。本発明は、ウェハがスタックから分離されるまで、すなわちウェハの表面がもはや互いに対向して位置しなくなるまで、ウェハの垂直移動を提供する。

したがって、本発明による方法は、例えば、ステップｂ）の一部として、実質的に垂直経路（この実施形態が図面に示してある）、水平経路、傾斜経路または湾曲経路に沿って上方へ移動させることを含むことがある。最後に述べる実施形態は図面に示される。この方法の一変形形態では、湾曲経路は、ウェハが取り付けられるホイールによって提供され、その結果、移動は円形経路の湾曲部分に沿って行われる。大きいホイールの場合、移動経路は水平に近づく。

一実施形態では、本発明による方法は、液体充填容器内に完全にまたは部分的に浸漬されて実施される。

一実施形態では、この方法は、シリコンウェハ上に液体または流体を吹きかけることを含む。このステップには、異なる機能を有するいくつかの変形形態がある。一変形形態では、液体が下方に向けられた垂直ジェットで吹きかけられる。この目的は、前面ウェハがスタックから離れる間、前から２番目のウェハを押さえておくことである。別の変形形態では、液体の吹きかけは前面ウェハを分離させるために使用され、したがって、前面ウェハは依然として、２００〜２０００マイクロメートルの間隔をあけて安定した位置にある。この最後の変形形態は、分離を、ウェハの厚み変動の影響をあまり受けないものにするのに役立つ。さらに、前面ウェハ間の間隔をあけることにより、水がウェハの表面全体にわたって流れることができ、ウェハの表面は、水および／または目的に合った化学薬品によって洗浄される。液体を吹きかけることのもう１つの機能が、水中の気泡を除去し、それによってウェハ間の毛細管力を低減することである。この場合、ウェハ間の間隔は、粘性反力が無視されうるほど大きい。

別の実施形態では、この方法は、スタック内の残りの１つまたは複数のシリコンウェハが同時に移動するのを阻止装置によって阻止することを含む。

一実施形態では、この方法は、ステップｂ）の後、ｃ１）移送装置からウェハを除去するステップを含む。これは、ウェハまたは移送装置をウェハの面（および移送装置の面）に対して垂直な方向に沿って移動させることによって、例えば、移送装置からウェハに吹きつけられる空気によって、あるいは移送装置からウェハまで通される流体によって実施されうる。この除去は、移送装置とウェハの間の、ウェハの面に沿った相対的移動によっても、あるいはそれらの組合せによっても実施されうる。

別の実施形態では、この方法は、ステップｂ）の後、ｃ２）スタックを移送装置に向けて、シリコンウェハの厚みに対応する距離だけ移動させるステップと、ｄ）スタックから次のシリコンウェハを分離させるために、ステップａ）〜ｂ）を繰り返すステップとを含む。

ステップｃ１）およびｃ２）は、ｃ１）またはｃ２）から始めることが可能な場合、同時にまたは連続的に行われてもよい。

液体は、例えば、スタックからシリコンウェハを分離させるのを容易にするために、水または脱イオン水、あるいは粘度および／または表面張力を低減するための添加剤を含む水とすることができる。液体は調節されうる。すなわち、液体の温度は１０〜７０℃、好ましくは３０〜６０℃、さらに好ましくは５０℃とすることができる。水の毛細管力および粘度を低減するための非常に多数の物質が市販されている。温水は表面張力も粘度も低下させる。

本発明は、シリコンウェハの水平スタックからシリコンウェハを分離させるための装置も含む。この装置は、スタック内の最外シリコンウェハの表面に取り付けるための可動移送装置を備え、可動移送装置は、シリコンウェハがスタックから分離されるまで、シリコンウェハを実質的に垂直な面内で移動させるために配置されることを特徴とする。

一実施形態では、この装置は、最外ウェハを実質的に垂直面内の垂直経路、水平経路、傾斜経路または湾曲経路に沿って移動させるための装置を備える。最後に述べる代替実施形態の一例は、最外ウェハが取り付けられるホイールを備える。

別の実施形態では、この装置は、スタックが完全にまたは部分的に浸漬される液体充填容器を備える。

一実施形態では、この装置は、移送装置に取り付けられたシリコンウェハと隣接するシリコンウェハとの間の結合力を打ち消すために、シリコンウェハ上に液体または流体を吹きかけるための１つまたは複数のノズルを備える。

別の実施形態では、この装置は、スタック内の下にある１つまたは複数のシリコンウェハが同時に移動するのを阻止するための阻止装置を備える。

別の実施形態では、この装置は、移送装置からウェハを除去するための手段を備える。

別の実施形態では、この装置は、スタックを移送装置に向けて、シリコンウェハの厚みに対応する距離だけ移動させ、それによってスタックから次のシリコンウェハを移送装置によって分離させることを可能にするための手段を備える。

本発明の個々の特徴について、それらの様々な実施形態および変形形態に関連して説明してきたが、当業者には、それらを組み合わせたものも特許請求の範囲に含まれることが明らかであろう。

次に、本発明について、本発明の一実施形態を概略的に示す添付図面を参照しながら詳細に説明する。

本発明の第１の実施形態の図である。 本発明の第２の実施形態の前から見た図である。 本発明の第２の実施形態でのホイールの詳細図である。 本発明の第２の実施形態の上から見た図である。 第２の実施形態の一部の下から見た図である。

図１は、複数のシリコンウェハ１２が液体充填容器５内に垂直位置で配置されている水平スタック１０からシリコンウェハを分離させるための本発明による装置１を示す。垂直位置は、スタック内の各ウェハが垂直に置かれているが、実際のスタックは水平になっていることを意味する。

装置１は、本発明のこの実施形態では、１つまたは複数の吸引装置（ｓｕｃｔｉｏｎ ｄｅｖｉｃｅ）１１０を有する移送装置２を備え、吸引装置１１０は、移送装置２を最外ウェハに向けて水平に、また垂直に移動させ、その後、シリコンウェハ１２を実質的に垂直な面内で垂直方向（矢印Ａ）にスタック１０からコンベヤベルト１４まで押し進め、次いで、コンベヤベルト１４にシリコンウェハ１２が置かれ、吸引装置から解放されるための手段（図示せず）とともに、最外シリコンウェハ１２の表面に付着することができる。移送装置２を移動させるための前記手段（図示せず）は、水平垂直サーボ制御集配ユニットを備える。本発明の一実施形態では、移送装置２は、ウェハの隅および中央に配置された５つの吸引装置１１０を備える。水平移動は、最外ウェハ１２に向けて移動することを含む。垂直移動は、吸引装置１１０をウェハの向かい側に配置し、次いでウェハの表面と平行に移動することを含む。別法として、スタックが段階的に水平に移動させられてよく、吸引装置は固定点に戻ることができる。

吸引装置１１０はウェハの表面全体に押圧力を及ぼすように配置され、この押圧力はウェハのすべての部分に対してほぼ等しい。これは、吸引装置の適正な数および位置を選択することによって制御することができ、このことは、ウェハの表面全体が吸引装置を配置するために使用可能であるので、容易に行われる。それによって、ウェハの位置は、吸引装置による分離作業の間ずっと制御下にある。スタックが水中に浸漬される本発明の実施形態では、液圧（水ベース）吸引装置が使用される。このような場合、毛細管力はほとんど発生せず、それによって阻止装置は使用されない。

装置１はさらに、スタック１０上に液体または流体を吹きかけるための１つまたは複数のノズル３を備えることができる。液体は、好ましくは水、あるいは粘度および／または表面張力を低減するための付加手段を有する水であり、それによって上述の力がシリコンウェハ１２を互いに結合する。水ノズル３は、平坦な水ジェットを与えるように設計される。他の実施形態では、ノズル３は阻止装置４に組み込まれる。本発明の一実施形態ではノズルの数は２個であり、他の実施形態は最多で６個のノズルを有することができる。

別の実施形態では、装置１は阻止装置４を備えており、阻止装置４の機能は、スタック内の隣接する１つまたは複数のシリコンウェハが同時に移動するのを阻止することである。阻止装置４は通常、幅が２〜１０ｍｍでよい真っすぐな板である。

ノズル３と阻止装置４はどちらも、スタック１０に沿って移動可能とすることができる。ノズル３は回転可能とすることもでき、それによって、スタック１０上に液体を吹きかける角度が分離プロセス中に変化することが可能になる。

次に、装置１の機能についてより詳細に説明する。記号の１２ａは、スタック１０の一方の端にある最外シリコンウェハに対して用いられる。したがって、シリコンウェハ１２ａは、スタック１０から分離されなければならないシリコンウェハである。

スタック１０は、装置１内に水平に配置される。スタックは、水中に浸漬されることが好ましい。移送装置２がウェハ１２ａの前の適正な位置に配置された後、吸引装置１１０はシリコンウェハ１２ａの表面に取り付けられる。

シリコンウェハ１２ａに取り付けられた移送装置は、本発明を用いてスタック１０から垂直に離され、例えばコンベヤベルト１４を経由して次の作業に移動させられる。

ウェハは、例えば吸引装置内の空気圧または液圧を増大させることによって、コンベヤベルトに搬送される。

既述のように、垂直移動により、シリコンウェハ１２ａの取扱いは非常に慎重で制御されたものとなる。したがって、この作業の間にシリコンウェハ１２ａが破壊する危険性は大幅に低下する。

本発明の一実施形態（図示せず）では、ノズル３は省略される。この場合のウェハの分離は、本質的に押し動作によって達成される。

先に述べたように、本発明のいくつかの実施形態では、阻止装置４が、上記の移動作業時にスタック１０のすぐ近くに設けられ、阻止装置は、スタック内の隣接する１つまたは複数のシリコンウェハが同時に移動するのを阻止し、それによってシリコンウェハ１２ａだけが移動作業時に確実に移動させられる。

スタック１０内の次のシリコンウェハが分離されるのを可能にするために、スタック１０の移動が移送装置２、ノズル３および阻止装置４に向けて上述の移送装置によって行われるか、あるいは、移送装置２、ノズル３および阻止装置４の移動が次のシリコンウェハに向けて行われるか、のどちらかである。それに引き続いて、上述の分離プロセスが繰り返される。

図２は、本発明の第２の実施形態の前から見た図である。本発明のこのバージョンでは、移送装置は、スタック１０内の前面ウェハ１２ａを湾曲経路で移動させるように配置される。この装置は、例えばアルミニウムで製作された、ウェハ１２を一時的に取り付けるための領域２２を有するホイール２０を備える。ホイール２０は、ロッド５１および５２（図５参照）を受容するための溝２１も含む。ホイール２０は、液体充填容器５内の水中に部分的に浸漬される。

図３は、ホイール２０の取付け領域２２と前記ロッドが配置されるべき溝の詳細を示す。領域は開口部３１および溝３０を含み、これらの目的は開口部３０にかかる吸引力を分散させることである。開口部３１は、スタックからウェハを拾い上げる間に吸引力を及ぼし、ホイールから水を除去する間に押圧力を及ぼす。本発明のこの実施形態では、ホイール２０の表面は、実質的に平坦かつ平滑であり、その結果、毛細管力は、吸引力がなくなっても、ホイール上にウェハを保持するのに十分である。

図４は、本発明の第２の実施形態の上から見た図である。この実施形態では、ホイール２０が実質的に垂直な位置にあることが分かる。この装置は、スタック１０をホイール２０に向けて移動させ、それによって前面ウェハ１２ａとホイール２０の間に最短距離を確保するための機構４０を備える。この機構は、スタック１０を支持するための２本のロッド５１および５２（図５に示されている）を含む容器を備える。これらのロッドは、ホイールと物理的に接触することなく溝に挿入されるように配置される。それによって、ウェハは、それらがホイール２０と接触したときでも下方から定位置に保持される。

この装置はさらに、ホイール２０の背面の近くに位置する吸引マニホルドを有する吸引機構４１を備えていて、水相および吹きつけ機構４２内に負圧を作り出す。本発明のこの実施形態では、吸引機構４１および吹きつけ機構４２は定位置を有し、装置は、ホイール内の領域２２を吸引機構および吹きつけ機構に特定の場所で連結するための連結装置を備える。これらの場所は、吸引機構ではスタックの前の領域内にあり、吹きつけ機構ではコンベヤベルト１４の前の領域内にある。

使用時にホイール２０は実質的に垂直な面内で回転する。取付け領域２２がスタック１２ａ内の前面ウェハの前に位置すると、前記取付け領域は吸引機構４１に連結され、吸引力が与えられる。方法のこの部分は、本発明のこの実施形態では水中で行われる。したがって、ウェハ間の毛細管力は低く、挑戦課題は、分離プロセスの間中、ウェハの位置の制御を維持することである。ウェハはロッド５１および５２を含む容器内に位置し、スタックは図示されていない機構によって前方に移動させられ、２番目の前面ウェハは、この実施形態では下方に向けられた（垂直または傾斜）水ジェットを有するノズルを備える阻止装置によって抑止される。

先に述べたように、ウェハ間の距離を維持し、さらにウェハの垂直位置も維持するために、前面ウェハを水で流すことは可能である。

次いで、スタック内の最外ウェハ１２ａは、ホイール２０の方へ引き抜かれる。ホイールは、それの回転運動を継続するとともに、容器から上へかつ吸引機構４１から離れる向きに移送され、取付け領域は吸引力を及ぼさなくなる。ウェハ１２ａは、もはやホイール２０に対して吸引力によっては固着されず、毛細管力によって固着される。毛細管力は、接触面の大きさのために、このタスクにとって十分強い。ウェハ１２ａが取り付けられている取付け領域２２がベルト１４の領域に到達すると、吹きつけ機構は、開口部３１から空気（または液体）を吹き出させ、それによって毛細管力を均衡させ、ホイール２０からウェハを除去する。この吹き出しは、水、空気またはそれらの組合せを用いて行うことができる。続いて（または同時に）、ウェハは、ベルト１４上で水平位置に傾斜されるか、または目的、例えば吸盤に合ったピックアップユニットによって離昇され、さらなる処理のためにベルト上に配置されうる。

これにより、ウェハは、受容時（吹きつけ力が毛細管力よりもわずかに大きく、ウェハは自然に外れる）、あるいはウェハのプルオフ時（毛細管力が吹きつけ力よりもわずかに大きい）に１つまたは複数の吸引装置を用いて確実に穏やかに扱われる。吹き出し段階では、次のウェハの新たなプルオフ（吸引）が水中で実施される。カウンタ（例えば光電セルによって制御される）が、スタックを自動的に前進させるためのタイミング信号を出す。スタック１０は、ウェハの厚みに対応する長さだけ前方に押されるか、あるいは最後のプルオフからの繰返し数だけ前方に押される。このプロセスは、スタックが空になるまで続く。

吹きつけマニホルドの前での受容／プルオフの後、ウェハは、さらなる処理のためにコンベヤトラック／ベルトに沿ってさらに移送される。

図は、水中に半分浸漬されたホイール２０を示しているが、ホイールが完全に浸漬された状態でこのプロセスを実施することも可能である。この場合、装置は、ウェハがホイールから押して取り外されるまでウェハがホイールに対して吸引によって保持するように改変されるべきである。

図５は、第２の実施形態の一部の下から見た図である。この図は、ホイール２０、吸引機構４１および吹きつけ機構４２を示す。この図は、スタック１０を下から保持するロッド５１および５２も示す。ロッド５１および５２は、ウェハをホイール４０に向けて移送するコンベヤベルト（図示せず）に連結されうる。

したがって、本発明は、ウェハの簡単、迅速かつ慎重な個別化を可能にする。本発明の特徴について個々の実施形態に関連して説明してきたが、他の組合せを本発明の範囲から逸脱することなく提供することが可能である。例えば、図１に示されている実施形態に吸引マニホルドおよび吹きつけ装置を使用することが可能であり、図２に示されている移送装置に、それが水中にないときに、吸盤を使用することも可能である。

１ 装置
２ 可動移送装置
３ ノズル
４ 阻止装置
５ 液体充填容器
１０ 水平スタック
１２ シリコンウェハ
１２ａ シリコンウェハ
１４ コンベヤベルト
２０ ホイール
２１ 溝
２２ 取付け領域
３０ 溝
３１ 開口部
４０ 機構
４１ 吸引機構
４２ 吹きつけ機構
５１ ロッド
５２ ロッド
１１０ 吸引装置

Claims (18)

1. シリコンウェハの水平スタックからシリコンウェハを分離させるための方法であって、
   ａ）前記スタック（１０）内の最外シリコンウェハ（１２ａ）の表面に可動移送装置（２）を取り付けるステップと、
   ｂ）前記シリコンウェハ（１２ａ）が前記スタック（１０）から分離されるまで、前記シリコンウェハ（１２ａ）を実質的に垂直な面内で移動させるステップと、
   を含むことを特徴とする、方法。
2. 実質的に垂直な経路、実質的に水平な経路、傾斜経路または湾曲経路に沿って上方へ移動させるステップを含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. 前記シリコンウェハ（１２ａ）を分離させるために前記シリコンウェハ（１２ａ）上に液体または流体を吹きかけ、それによって前記移送装置に取り付けられた前記シリコンウェハ（１２ａ）と隣接する前記シリコンウェハとの間の結合力を打ち消すステップを含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
4. 前記スタック内の隣接する１つまたは複数の前記シリコンウェハが同時に移動するのを阻止装置（４）によって阻止するステップを含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
5. ステップｂ）の後、ｃ１）前記移送装置から前記ウェハを除去するステップを含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
6. ステップｂ）の後、ｃ２）前記スタック（１０）を前記移送装置（２）に向けて、前記シリコンウェハ（１２ａ）の厚みに対応する距離だけ移動させるステップと、ｄ）前記スタックから次の前記シリコンウェハを分離させるために、ステップａ）〜ｂ）を繰り返すステップとを含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
7. 前記方法が、液体充填容器（５）内に完全にまたは部分的に浸漬されて実施されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
8. 前記液体が、前記スタックから前記シリコンウェハを分離させるのを容易にするために、水、あるいは粘度および／または表面張力を低減するための添加剤を含む水であることを特徴とする、請求項７に記載の方法。
9. 前記液体の温度が、１０〜７０℃、好ましくは３０〜６０℃、さらに好ましくは５０℃であることを特徴とする、請求項７に記載の方法。
10. シリコンウェハ（１２）の水平スタック（１０）からシリコンウェハ（１２ａ）を分離させるための装置（１）であって、
    前記スタック（１０）内の前記最外シリコンウェハ（１２ａ）の表面に取り付けるための可動移送装置（２）を備え、前記可動移送装置（２）は、前記シリコンウェハ（１２ａ）が前記スタック（１０）から分離されるまで、前記シリコンウェハ（１２ａ）を実質的に垂直な面内で移動させるために配置されることを特徴とする、装置。
11. 前記最外ウェハを実質的に前記垂直面内の垂直経路、水平経路、傾斜経路または湾曲経路に沿って移動させるための装置を備えることを特徴とする、請求項１０に記載の装置。
12. 前記シリコンウェハ（１２ａ）を分離させるために前記シリコンウェハ（１２ａ）上に液体または流体を吹きかけ、それによって前記移送装置に取り付けられた前記シリコンウェハ（１２ａ）と隣接する前記シリコンウェハとの間の結合力を打ち消すための１つまたは複数のノズル（３）を備えることを特徴とする、請求項１０に記載の装置。
13. 前記スタック（１０）内の下にある１つまたは複数の前記シリコンウェハが同時に移動するのを阻止するための阻止装置（４）を備えることを特徴とする、請求項１０に記載の装置。
14. 前記移送装置から前記ウェハを除去するための装置を備えることを特徴とする、請求項１０に記載の装置。
15. 前記スタック（１０）を前記移送装置（２）に向けて、前記シリコンウェハ（１２ａ）の厚みに対応する距離だけ移動させ、それによって前記スタックから次の前記シリコンウェハを前記移送装置（２）によって分離させることを可能にするための手段を備えることを特徴とする、請求項１０に記載の装置。
16. 前記スタック（１０）が完全にまたは部分的に浸漬される液体充填容器（５）を備えることを特徴とする、請求項１０に記載の装置。
17. 前記液体が、前記スタックから前記シリコンウェハを分離させるのを容易にするために、水、あるいは粘度および／または表面張力を低減するための添加剤を含む水であることを特徴とする、請求項１６に記載の装置。
18. 前記液体の温度が、１０〜７０℃、好ましくは３０〜６０℃、さらに好ましくは５０℃であることを特徴とする、特許請求項１６および１７のいずれか一項に記載の装置。

Images