CN113734800B - 一种衬底输送机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种衬底输送机构，属于片体输送技术领域；作用在浸于液体且成列放置的衬底组上，衬底输送机构包括：基座组件；输送组件，所述输送组件包括：主动轮；从动轮，从动轮和主动轮构成一输送框架；输送带，所述输送带设置在所述输送框架上，并沿输送框架循环运动；且所述输送带沿输送方向划分为至少三个区域，三个区域包括第一带区、第二带区以及第三带区；捋水组件，所述捋水组件设置在基座组件上；其中，所述捋水组件作用在输送带位于第二带区的部分上，并通过捋水组件使得输送带经过第二带区的部分的含水量降低；达到输送机构运送衬底时稳定的技术效果。

Description

一种衬底输送机构

技术领域

本发明涉及片体输送技术领域，尤其涉及一种衬底输送机构。

背景技术

衬底为轻质的片状，质硬但脆；在衬底的前道加工工序完成后，衬底以组的形式成列放置在一起，而后一道加工工序需要衬底逐一输出。因此，需要一衬底输送机构来将成列放置的衬底间隔的对外输出。

常规的技术方案为：成列放置的衬底浸泡在水中，设计两个独立的输送机构，基于水的张力吸附特性，第一输送机构将衬底从水中向上运送到第二输送机构；第二输送机构带着衬底翻转，并在衬底翻转后，输送衬底向后道设备运动。但这种常规技术方案在实际运行中存在缺陷，具体为输送衬底时不够稳定，衬底在输送机构上会出现打滑的情况。

所以，现有技术的技术问题在于：输送机构运送衬底时不够稳定。

发明内容

本申请实施例提供一种衬底输送机构，解决了现有技术中输送机构运送衬底时不够稳定的技术问题；达到输送机构运送衬底时稳定的技术效果。

本申请实施例提供一种衬底输送机构，作用在浸于液体且成列放置的衬底组上，所述衬底输送机构包括：基座组件；输送组件，所述输送组件包括：主动轮，所述主动轮设置在基座组件上；从动轮，所述从动轮设置有若干个，若干个从动轮设置在基座组件上，且若干个从动轮和主动轮构成一输送框架；输送带，所述输送带设置在所述输送框架上，并沿输送框架循环运动；且所述输送带沿输送方向划分为至少三个区域，三个区域包括第一带区、第二带区以及第三带区；所述第一带区的下部区域位于浸泡有衬底组的液体中，且第一带区的下部区域位于衬底组的前侧；所述第三带区位于第一带区的上方，且所述第二带区位于第一带区和第三带区之间；以及驱动部，所述驱动部设置在基座组件上，驱动部连接并作用在主动轮上；捋水组件，所述捋水组件设置在基座组件上；其中，所述捋水组件作用在输送带位于第二带区的部分上，并通过捋水组件使得输送带经过第二带区的部分的含水量降低。

作为优选，所述捋水组件包括：捋水架，所述捋水架设置在基座组件上；捋水件，所述捋水件和捋水架连接，且捋水件固定式抵触或可活动式抵触在位于输送带位于第二带区的部分上。

作为优选，所述捋水件具体为刮板、刮刀、压辊或者是滚轮。

作为优选，所述第二带区至少细分为两段区域，包括一捋水区域，所述捋水区域受捋水组件的作用，且所述捋水区域的状态具体为从下向上倾斜着指向第三带区。

作为优选，所述衬底输送机构还包括：清理组件，所述清理组件包括：清理架，所述清理架设置在基座组件上；清理件，所述清理件直接或者间接作用在第二带区上，且所述清理件沿输送带的输送方向位于所述捋水件的前方。

作为优选，所述主动轮位于输送框架的上部，所述输送带沿主动轮贴合设置，以使得所述第三带区具体为一转向区域。

作为优选，所述第三带区至少细分为两段区域，两段区域沿传输方向依次为接引区域和翻转区域，接引区域对接第一带区，翻转区域为一弧形区域；其中，所述翻转区域对接接引区域，以使得所述衬底经过翻转区域后运动方向改变。

作为优选，所述第一带区和接引区域位于同一输送面上，所述第一带区和接引区域之间的间隔处构成一过渡区域；其中，所述过渡区域和第二带区之间错开，且过渡区域的高度小于衬底沿输送方向的尺寸，所述输送带依次按第一带区、第二带区以及第三带区的顺序进行运动，并通过输送带使得衬底从第一带区运动到第三带区的接引区域，

作为优选，所述衬底输送机构还包括：外送组件，所述外送组件的第一端衔接输送带的第三带区，所述外送组件的第二端向外远离输送带的第三带区，通过外送组件使得衬底向外输出。

作为优选，所述外送组件分设为两组，且两组外送组件平行设置在输送带的第三带区的两侧。

作为优选，所述从动轮中包括：第一从动轮，所述第一从动轮位于第二带区，所述第一从动轮作用在输送带上，并通过第一从动轮使得整个输送带处于张紧状态；此外，所述第一从动轮和基座组件之间的位置可调。

作为优选，所述衬底输送机构还包括：压轮组件，所述压轮组件包括：压轮基板，所述压轮基板位于输送带的外侧，且压轮基板从第三带区延伸到第一带区；压轮架，所述压轮架连接基座组件和压轮基板；以及压轮，所述压轮设置在压轮基板上，压轮的外层质软，压轮包括：第一压轮，所述第一压轮对应第三带区；第二压轮，所述第二压轮位于第一压轮的下方，且所述第二压轮对应第一带区；其中，所述压轮和输送带之间构成压持空间，并通过压持空间限定衬底运动的轨迹。

作为优选，所述第一压轮相对于压轮基板可调式连接，以使得第一压轮相对于第三带区的位置可调整。

作为优选，所述输送带的外侧设置有计数件，所述计数件对应第一带区和第三带区的过渡区域，通过计数件使得衬底的输送量可计量。

作为优选，所述衬底输送机构还包括：助推组件，所述组推组件包括：助推架，所述助推架直接或间接设置在基座组件上；助推件，所述助推件设置在助推架上，所述助推件可产生气流或引导气流，所述助推件的气流输出端朝向第三带区的翻转区域。

作为优选，所述基座组件包括：侧板，所述侧板设置在输送带的一侧；吸附盒，所述吸附盒设置在第一带区的内侧，所述吸附盒对应输送带的一端设置有一个或多个通孔；且所述吸附盒上通孔直接或间接连通一负压源；其中，所述输送带上贯通设置有若干的吸附孔，所述吸附孔的运动轨迹经过吸附盒上的通孔，通过吸附孔使得输送带带动一衬底运动。

作为优选，所述基座组件还包括：限定框架，所述限定框架设置在第一带区的外侧，所述限定框架固定连接在侧板或者吸附盒上，且限定框架和吸附盒构成一个限定空间，且所述限定空间容置一成列放置的衬底组。

作为优选，所述衬底输送机构还包括：移动组件，所述移动组件包括：固定座；活动座，所述活动座连接在基座组件上；滑轨件，所述滑轨件设置在固定座和活动座之间，且所述滑轨件的运动方向和朝向衬底组的方向一致；以及推动件；所述推动件设置在固定座上，且所述推动件作用在活动座上，通过推动件使得基座组件朝向衬底组运动。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

1、本申请实施例中，通过采用一体式的输送带来输送衬底，相较于传统的双输送结构，使得输送带各处的输送速度相同，提高运输衬底时的稳定性；且为了控制输送带上的水分，在第一带区和第三带区之间增设一第二带区，基于在第二带区上设置针对性的捋水组件，利用捋水组件控制输送带表面的水分，使得输送带在到达第三地区时的水分被合理控制，保证衬底和输送带之间的张力吸力适宜，有利于衬底随输送带进行翻转运动；解决了现有技术中输送机构运送衬底时不够稳定的技术问题；达到输送机构运送衬底时稳定的技术效果。

2、本申请实施例中，输送带选用一整条的宽带，相较于传统的双皮带结构，无速度差，衬底和输送带之间的吸附面积大；且输送带在第三带区受主动轮支撑，第三带区的翻转区域无输送带凹陷或输送带滑移的问题，提高和维持了输送带在过第三带区时的高平整度；平整的输送带有利于维持输送带和衬底之间的吸附状态，使得衬底可以稳定在第三带区完成翻转动作，避免衬底在翻转动作时出现打滑。

3、本申请实施例中，通过在第二带区设置一清理组件，清理组件用气冲、水冲、接触冲刮或者上述多种结合的结构，对输送带上可能存留的衬底碎片进行清理，避免衬底碎片在经过第二带区后和从第一带区向第三带区运动的合格衬底发生碰撞，也避免衬底碎片随输送带在第三带区进行不可预期的翻转。

4、本申请实施例中，在输送带的第三带区后段对接设置有外送组件，外送组件分两侧设置在输送带的两侧，依次来顺畅的承接衬底，完成直立状态或近似于直立状态的衬底衬对外以平面或者斜面输送的方式输出。

5、本申请实施例中，在输送带的外侧设置有压轮组件，压轮组件用于限定衬底运动时的路径，保证衬底可以随输送带从第一带区进入第二带区。且压轮组件中的第一压轮的高度可调节，使得第一压轮对应第三带区的位置不同，以使得压轮组件可以适用于不同尺寸的衬底，使得衬底在第三带区的接引区域合理压片的同时，衬底在进行翻片动作前第一压轮刚好脱落衬底。

6、本申请实施例中，在第一带区和第二带区之间的过渡区域设置一计数件，由于过渡区域为一段空白区域，计数件上的传感器作用在过渡区域后，无干扰，检测精准；若有衬底从第一带区向第三带区运动的运动，过程中会经计数件的工作范围，则计数件可以准确记录经过的衬底数量。此外，由于衬底碎片无法经过过渡区域，将计数件的工作范围提高，则可以进一步保证衬底碎片无法干扰到计数，保证计数的准确性。

7、本申请实施例中，在第三带区的外侧设置一助推组件，助推件可以产生或者引导气流，并利用气流来使得衬底在沿输送带进行翻转动作被压制，使得衬底和输送带之间有一定的正压力，基于这股正压力使得衬底在第三带区进行翻转时更加稳定。优选，助推组件相对于输送带分多段设置，以便于使得组推组件施加的正压力均匀，衬底在输送带上的扭矩大。

8、本申请实施例中，在基座组件外设置一移动组件，使得衬底输送机构可以向衬底组靠拢，以保证衬底可以和输送带位于第一带区的部分接触，保证输送带在工作时可以带上衬底向上运动。

附图说明

图1为本发明一种衬底输送机构的前轴测向结构示意图；

图2为本发明一种衬底输送机构的后轴测向结构示意图；

图3为本发明中一种衬底输送机构在隐藏移动组件后的轴测向结构示意图；

图4为本发明一种衬底输送机构在隐藏部分的基座组件后的左侧向结构示意图；

图5为本发明一种衬底输送机构的主视向结构示意图；

图6为图5中B-B向的轴测向剖视结构示意图；

图7为图3中A处的放大图；

图8为本发明一种衬底输送机构中捋水组件作用在输送带上的结构示意图；

图9为本发明一种衬底输送机构中压轮组件作用在输送带上的结构示意图。

图中的附图标记为：1、移动组件；11、固定座；12、滑轨件；13、活动座；14、推动件；2、基座组件；21、侧板；22、限定框架；23、吸附盒；3、输送组件；31、主动轮；32、从动轮；321、第一从动轮；3211、轴头；3212、定块；3213、调节栓；322、第二从动轮；323、第三从动轮；324、第四从动轮；325、第五从动轮；33、输送带；331、第一吸附孔；332、第二吸附孔；33a、第一带区；33b、第二带区；33c、第三带区；33d、第四带区；34、驱动部；341、驱动电机；342、传动件；343、传动轮；41、捋水架；42、捋水件；5、清理组件；51、清理架；52、清理件；6、压轮组件；61、压轮架；611、压轮基架；612、压轮横架；62、压轮基板；63、压轮；63a、第一压轮；63b、第二压轮；64、计数件；7、助推组件；71、助推架；72、助推件；8、外送组件；81、外送架；82、外送带；9、衬底。

具体实施方式

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本申请实施例提供一种衬底输送机构，通过采用一体式的输送带来输送衬底，相较于传统的双输送结构，使得输送带各处的输送速度相同，提高运输衬底时的稳定性；且为了控制输送带上的水分，在第一带区和第三带区之间增设一第二带区，基于在第二带区上设置针对性的捋水组件，利用捋水组件控制输送带表面的水分，使得输送带在到达第三地区时的水分被合理控制，保证衬底和输送带之间的张力吸力适宜，有利于衬底随输送带进行翻转运动；解决了现有技术中输送机构运送衬底时不够稳定的技术问题；达到输送机构运送衬底时稳定的技术效果。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

一种衬底输送机构，参考说明书附图1-2，作用在浸于液体且成列放置的衬底组上，衬底输送机构包括：基座组件2、输送组件3、捋水组件、清理组件5、外送组件8、压轮组件6、助推组件7以及移动组件1；输送组件3用于从液体中将衬底9逐片输出，捋水组件作用于输送组件3，用于控制输送组件3上输送带33的水分，使得输送带33表面和衬底9之间的张力吸附达到一合适值，以便于衬底9沿输送带33进行翻转动作。

基座组件2，参考说明书附图3-4，用于支撑固定其他部件、限定衬底9位置以及提供负压。基座组件2包括：侧板21、吸附盒23以及限定框架22。侧板21分两组，分别设置在输送组件3的两侧，两组侧板21相互连接，构成一个稳定的框架结构，以便于连接限定其他零部件；吸附盒23为现有技术，吸附盒23设置在第一带区33a的内侧，吸附盒23对应输送带33的一端设置有一个或多个通孔，使得输送带33在第一带区33a具有负压吸附衬底9的能力；且吸附盒23上通孔直接或间接连通一负压源；限定框架22设置在第一带区33a的外侧，限定框架22固定连接在侧板21或者吸附盒23上，且限定框架22和吸附盒23构成一个限定空间，且限定空间容置一成列放置的衬底组。

关于限定框架22的具体结构，限定框架22可以减小衬底位置的偏移，使吹散的衬底限制于一定范围内，起导向作用，不至于衬底左右偏差太大而引起在衬底翻片过程中的不稳定。限定框架由滚轮组成。在一个实施例中，限定框架22具体为两组分散在输送带33两侧的限定辊，限定辊直接和两侧的侧板21连接，且可转动；限定辊上套设有软质层，以使得和衬底9接触的表面可形变，以便于温和的限定硬脆性质的衬底9。

输送组件3，参考说明书附图3-4，用于输送衬底9。输送组件3包括：主动轮31、从动轮32、输送带33以及驱动组件。主动轮31和从动轮32设置在两组侧板21上；且从动轮32设置有若干个，若干个从动轮32和主动轮31构成一输送框架；输送带33设置在输送框架上；而驱动部34设置在侧板21上，并且驱动部34连接作用在主动轮31上。

主动轮31，参考说明书附图3-4，用于支撑输送带33，并带动输送带33运动。主动轮31设置在输送组件3的上方，用于支撑输送带33的第三带区33c，基于主动轮31的弧度在输送带33沿主动轮31贴合设置后，第三带区33c具体为一转向区域，自然而然的带动衬底9进行翻转动作。且输送带33在第三带区33c受主动轮31支撑，第三带区33c的翻转区域无输送带33凹陷或输送带33滑移的问题，提高和维持了输送带33在过第三带区33c时的高平整度；平整的输送带33有利于维持输送带33和衬底9之间的吸附状态，使得衬底9可以稳定在第三带区33c完成翻转动作，避免衬底9在翻转动作时出现打滑。

从动轮32，参考说明书附图3和7，用于配合主动轮31构建输送框架，限定输送带33的张紧度，从动轮32至少包括：第一从动轮321、第二从动轮322、第三从动轮323、第四从动轮324以及第五从动轮325。其中，第一从动轮321和基座组件2之间的位置可调，为一张紧轮；具体的结构为，第一从动轮321两侧的轴头3211架设在侧板21上，轴头3211外露，且侧板21对应轴头3211设置有定块3212，定块3212和轴头3211之间设置有调节栓3213用来间距，从而使得第一从动轮321相对于侧板21的位置可调整。在一个实施例中，第一从动轮321位于第二带区33b，第一从动轮321作用在输送带33上，并通过第一从动轮321使得整个输送带33处于张紧状态；将第一从动轮321设置在第二带区33b的优点包括：一是高度合适，便于后期人工调高；二是此处输送带33对从动轮32的包覆角度大，在调整第一从动轮321位置后，输送带33的张紧度调整明显。

输送带33，参考说明书附图4，为一环带，用于循环运动时带动衬底9。输送带33设置在输送框架上，并沿输送框架循环运动。需要说明的是，输送带33上贯通设置有若干的吸附孔，吸附孔的运动轨迹经过吸附盒23上的通孔，通过吸附孔使得输送带33带动一衬底9运动。吸附孔分为第一吸附孔331和第二吸附孔332，其中，第二吸附孔332设置在输送带33上间隔设置，以使得输送带33所吸附衬底9之间会产生间隔。原理是光靠第一吸附孔331无法使得衬底9从水中运动而出，只有在第一吸附孔331和第二吸附孔332共同作用时才能带动衬底9从水中运动而出。

关于输送带33的各区域作用说明，输送带33沿输送方向划分为四个区域，四个区域按顺序依次为第一带区33a、第二带区33b、第三带区33c以及第四带区33d。

第一带区33a，用于对接成列设置的衬底组，使得衬底9跟随输送带33运动。第一带区33a的下部区域位于浸泡有衬底组的液体中，且第一带区33a的下部区域位于衬底组的前侧。

第三带区33c，用于带动衬底9进行翻转。第三带区33c位于第一带区33a的上方，第三带区33c至少细分为两段区域，两段区域沿传输方向依次为接引区域和翻转区域，接引区域对接第一带区33a，翻转区域为一弧形区域；接引区域和第一带区33a位于同一输送面上，接引区域和第一带区33a之间的间隔处构成一过渡区域；其中，过渡区域和第二带区33b之间错开，且过渡区域的高度小于衬底9沿输送方向的尺寸，通过输送带33使得衬底9从第一带区33a运动到第三带区33c的接引区域；翻转区域对接接引区域，以使得衬底9经过翻转区域后运动方向改变。

第二带区33b，参考说明书附图6和8，用于控制输送带33表面的水分，使衬底9与主动轮31上输送带33接触时水刚好，水的张力吸附值最大，衬底9能平稳翻转。第二带区33b位于第一带区33a和第三带区33c之间，且第二带区33b位于第一带区33a和第三带区33c组成的输送面错开，不干扰衬底9从第一带区33a运动到第三带区33c；第二带区33b至少细分为两段区域，其中包括一捋水区域，捋水区域受捋水组件的作用，且捋水区域的状态具体为从下向上倾斜着指向第三带区33c，以使得捋下的水不会流向第三带区33c，保证输送带33向第三带区33c运动的部分的表面水分合适。

第四带区33d，第四带区33d在第三带区33c和第一带区33a之间，第四带区33d为输送带33空转的区域，输送带33在经过第四带区33d后重新回到第一带区33a。

驱动部34，参考说明书附图1-2，用于驱动主动轮31旋转。驱动部34包括：驱动电机341、传动件342以及传动轮343；驱动电机341设置在侧板21上，传动轮343和主动轮31连接，且传动件342分别连接驱动电机341和传动轮343，使得驱动电机341带动主动轮31转动。

捋水组件，参考说明书附图4、6以及8，用于捋去输送带33表面的一部分水分，使得输送带33带着合适的水分与衬底9接触。捋水组件设置在基座组件2上；捋水组件包括：捋水架41和捋水件42，捋水架41设置在侧板21上；捋水件42和捋水架41连接，且捋水件42固定式抵触或可活动式抵触在位于输送带33位于第二带区33b的部分上。捋水件42具体为刮板、刮刀、压辊或者是滚轮。可以理解的是，还可以在捋水件42上增加一动力源，使得捋水件42相对于输送带33转动、移动或者是震动。需要说明的是，衬底9从垂直翻转到水平时，主要靠衬底9和输送带33之间的水的张力吸附，如果水过多，吸力减小打滑，水过少同样也会造成吸力减小而打滑，最终造成衬底9上片的不稳。

清理组件5，参考说明书附图4和8，用于清理输送带33上的衬底9碎片。清理组件5包括：清理架51和清理件52，清理架51设置在基座组件2上；清理件52直接或者间接作用在第二带区33b上，且清理件52沿输送带33的输送方向位于捋水件42的前方。可以理解的是，清理组件5可以和捋水组件组合在一起，形成一个双功能的组合件，具体的组合结构可以是一个架体带捋水件42和清理件52，也可以是一个架体带一个集合捋水和清理的双功能件。

外送组件8，参考说明书附图3，用于对外输出衬底9。外送组件8的第一端衔接输送带33的第三带区33c，外送组件8的第二端向外远离输送带33的第三带区33c，通过外送组件8使得衬底9向外输出。在一个实施例中，外送组件8分设为两组，且两组外送组件8平行设置在输送带33的第三带区33c的两侧。

压轮组件6，参考说明书附图4、5以及9。压轮组件6包括：压轮基板62、压轮架61以及压轮63。压轮基板62位于输送带33的外侧，且压轮基板62从第三带区33c延伸到第一带区33a；压轮架61连接基座组件2和压轮基板62；压轮63设置在压轮基板62上，且压轮63可以转动，以便于配合衬底9向上运动。压轮63的外层质软。压轮63包括：第一压轮63a和第二压轮63b，第一压轮63a对应第三带区33c；第二压轮63b位于第一压轮63a的下方，且第二压轮63b对应第一带区33a；其中，压轮63和输送带33之间构成压持空间，并通过压持空间限定衬底9运动的轨迹。

需要说明的是，压轮63用于压持着衬底9向上运动，压轮63的位置会影响衬底9向上运动的稳定性。且衬底9从垂直压片到翻片的结合处要求高，最好在衬底9在开始翻片动作时，压轮63刚好脱开衬底9。目前市场上的固定式压轮63只能对一种尺寸的衬底9有非常好压持效果，若是换其它尺寸，尤其是现在182与210衬底9尺寸相差很大，更不用说166与210的尺寸差异大，就会出现结合位置时机不是最优而造成生产不稳。所以，换线生产产品是非常大的挑战。在本申请中，第一压轮63a相对于压轮基板62优选设置为可调式连接，以使得第一压轮63a相对于第三带区33c的位置可调整，以适用不同尺寸的衬底9。

计数件64，参考说明书附图9，用于对衬底9的输送量计量。计数件64对应第一带区33a和第三带区33c的过渡区域，由于过渡区域为一段空白区域，计数件64上的传感器作用在过渡区域后，无干扰，检测精准；若有衬底9从第一带区33a向第三带区33c运动的运动，过程中会经计数件64的工作范围，则计数件64可以准确记录经过的衬底9数量。此外，由于衬底9碎片无法经过过渡区域，将计数件64的工作范围提高，则可以进一步保证衬底9碎片无法干扰到计数，保证计数的准确性。可以理解的是，计数件64设置在压轮组件6上，以减少一个支架；计数件64具体设置在第一压轮63a和第二压轮63b之间。

助推组件7，参考说明书附图9，用于辅助限定衬底9在翻转动作时的姿态。组推组件包括：助推架71和助推件72，助推架71直接或间接设置在基座组件2上；述助推件72设置在助推架71上，助推件72可产生气流或引导气流，助推件72的气流输出端朝向第三带区33c的翻转区域，以对衬底9施加一个正向的压力，使得衬底9在翻转过程中更加稳定。

移动组件1，参考说明书附图1-2，用于驱动衬底输送机构朝衬底9运动。移动组件1包括：固定座11、活动座13、滑轨件12以及推动件14；活动座13连接在基座组件2上，具体可以是固定连接在侧板21上；滑轨件12设置在固定座11和活动座13之间，且滑轨件12的运动方向和朝向衬底组的方向一致；推动件14如气缸，设置在固定座11上，且推动件14作用在活动座13上，通过推动件14使得基座组件2朝向衬底组运动。

工作原理：

移动组件1推进衬底输送机构靠近置于液体中的衬底组；开始工作时，主动轮31带动输送带33转动；在吸附盒23作用在位于第一带区33a的输送带33上，使得输送带33吸附上衬底9向上运动；衬底9在输送带33和压轮组件6的共同作用下直接从第一带区33a运动到第三带区33c；而输送带33本身还会经过第二带区33b，并在第二带区33b受到捋水组件的作用而损失掉一部分水分，使得输送带33运动到第三带区33c后，输送带33和衬底9之间吸附力达到适宜的范围，保证衬底9可以随着输送带33完成翻转动作，最终由外送组件8从输送带33上对接过衬底9，并对外输出。

技术效果：

1、本申请实施例中，通过采用一体式的输送带33来输送衬底9，相较于传统的双输送结构，使得输送带33各处的输送速度相同，提高运输衬底9时的稳定性；且为了控制输送带33上的水分，在第一带区33a和第三带区33c之间增设一第二带区33b，基于在第二带区33b上设置针对性的捋水组件，利用捋水组件控制输送带33表面的水分，使得输送带33在到达第三地区时的水分被合理控制，保证衬底9和输送带33之间的张力吸力适宜，有利于衬底9随输送带33进行翻转运动；解决了现有技术中输送机构运送衬底9时不够稳定的技术问题；达到输送机构运送衬底9时稳定的技术效果。

2、本申请实施例中，输送带33选用一整条的宽带，相较于传统的双皮带结构，无速度差，衬底9和输送带33之间的吸附面积大；且输送带33在第三带区33c受主动轮31支撑，第三带区33c的翻转区域无输送带33凹陷或输送带33滑移的问题，提高和维持了输送带33在过第三带区33c时的高平整度；平整的输送带33有利于维持输送带33和衬底9之间的吸附状态，使得衬底9可以稳定在第三带区33c完成翻转动作，避免衬底9在翻转动作时出现打滑。

3、本申请实施例中，通过在第二带区33b设置一清理组件5，清理组件5用气冲、水冲、接触冲刮或者上述多种结合的结构，对输送带33上可能存留的衬底9碎片进行清理，避免衬底9碎片在经过第二带区33b后和从第一带区33a向第三带区33c运动的合格衬底9发生碰撞，也避免衬底9碎片随输送带33在第三带区33c进行不可预期的翻转。

4、本申请实施例中，在输送带33的第三带区33c后段对接设置有外送组件8，外送组件8分两侧设置在输送带33的两侧，依次来顺畅的承接衬底9，完成直立状态或近似于直立状态的衬底9衬对外以平面或者斜面输送的方式输出。

5、本申请实施例中，在输送带33的外侧设置有压轮组件6，压轮组件6用于限定衬底9运动时的路径，保证衬底9可以随输送带33从第一带区33a进入第二带区33b。且压轮组件6中的第一压轮63a的高度可调节，使得第一压轮63a对应第三带区33c的位置不同，以使得压轮组件6可以适用于不同尺寸的衬底9，使得衬底9在第三带区33c的接引区域合理压片的同时，衬底9在进行翻片动作前第一压轮63a刚好脱落衬底9。

6、本申请实施例中，在第一带区33a和第二带区33b之间的过渡区域设置一计数件64，由于过渡区域为一段空白区域，计数件64上的传感器作用在过渡区域后，无干扰，检测精准；若有衬底9从第一带区33a向第三带区33c运动的运动，过程中会经计数件64的工作范围，则计数件64可以准确记录经过的衬底9数量。此外，由于衬底9碎片无法经过过渡区域，将计数件64的工作范围提高，则可以进一步保证衬底9碎片无法干扰到计数，保证计数的准确性。

7、本申请实施例中，在第三带区33c的外侧设置一助推组件7，助推件72可以产生或者引导气流，并利用气流来使得衬底9在沿输送带33进行翻转动作被压制，使得衬底9和输送带33之间有一定的正压力，基于这股正压力使得衬底9在第三带区33c进行翻转时更加稳定。优选，助推组件7相对于输送带33分多段设置，以便于使得组推组件施加的正压力均匀，衬底9在输送带33上的扭矩大。

8、本申请实施例中，在基座组件2外设置一移动组件1，使得衬底输送机构可以向衬底组靠拢，以保证衬底9可以和输送带33位于第一带区33a的部分接触，保证输送带33在工作时可以带上衬底9向上运动。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种衬底输送机构，其特征在于，作用在浸于液体且成列放置的衬底组上，所述衬底输送机构包括：

基座组件；

输送组件，所述输送组件包括：

主动轮，所述主动轮设置在基座组件上；

从动轮，所述从动轮设置有若干个，若干个从动轮设置在基座组件上，且若干个从动轮和主动轮构成一输送框架；

输送带，所述输送带设置在所述输送框架上，并沿输送框架循环运动；且所述输送带沿输送方向划分为至少三个区域，三个区域包括第一带区、第二带区以及第三带区；所述第三带区位于第一带区的上方，且所述第二带区位于第一带区和第三带区之间；

捋水组件，所述捋水组件设置在基座组件上；

其中，所述捋水组件作用在输送带位于第二带区的部分上，并通过捋水组件使得输送带经过第二带区的部分的含水量降低。

2.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述捋水组件包括：

捋水架，所述捋水架设置在基座组件上；

捋水件，所述捋水件和捋水架连接，且捋水件固定式抵触或可活动式抵触在位于输送带位于第二带区的部分上。

3.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述第三带区至少细分为两段区域，两段区域沿传输方向依次为接引区域和翻转区域，接引区域对接第一带区，翻转区域为一弧形区域；

其中，所述翻转区域对接接引区域，以使得所述衬底经过翻转区域后运动方向改变。

4.如权利要求3所述的衬底输送机构，其特征在于，所述第一带区和接引区域位于同一输送面上，所述第一带区和接引区域之间的间隔处构成一过渡区域；其中，所述过渡区域和第二带区之间错开，且过渡区域的高度小于衬底沿输送方向的尺寸，通过输送带使得衬底从第一带区运动到第三带区的接引区域。

5.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述从动轮中包括：

第一从动轮，所述第一从动轮位于第二带区，所述第一从动轮作用在输送带上，并通过第一从动轮使得整个输送带处于张紧状态；此外，所述第一从动轮和基座组件之间的位置可调。

6.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述衬底输送机构还包括：

压轮组件，所述压轮组件包括：

压轮基板，所述压轮基板位于输送带的外侧，且压轮基板从第三带区延伸到第一带区；

压轮架，所述压轮架连接基座组件和压轮基板；以及

压轮，所述压轮设置在压轮基板上，压轮的外层质软，压轮包括：

第一压轮，所述第一压轮对应第三带区；

第二压轮，所述第二压轮位于第一压轮的下方，且所述第二压轮对应第一带区；

其中，所述压轮和输送带之间构成压持空间，并通过压持空间限定衬底运动的轨迹。

7.如权利要求6所述的衬底输送机构，其特征在于，所述第一压轮相对于压轮基板可调式连接，以使得第一压轮相对于第三带区的位置可调整。

8.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述输送带的外侧设置有计数件，所述计数件对应第一带区和第三带区的过渡区域，通过计数件使得衬底的输送量可计量。

9.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述基座组件包括：

侧板，所述侧板设置在输送带的一侧；

吸附盒，所述吸附盒设置在第一带区的内侧，所述吸附盒对应输送带的一端设置有一个或多个通孔；且所述吸附盒上通孔直接或间接连通一负压源；

其中，所述输送带上贯通设置有若干的吸附孔，所述吸附孔的运动轨迹经过吸附盒上的通孔，通过吸附孔使得输送带带动一衬底运动。

10.如权利要求1-9中任意一项所述的衬底输送机构，其特征在于，所述衬底输送机构还包括：

移动组件，所述移动组件包括：

固定座；

活动座，所述活动座连接在基座组件上；

滑轨件，所述滑轨件设置在固定座和活动座之间，且所述滑轨件的运动方向和朝向衬底组的方向一致；以及

推动件；所述推动件设置在固定座上，且所述推动件作用在活动座上，通过推动件使得基座组件朝向衬底组运动。

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