JP2011029390A - ウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 積み上げられた複数枚のウエハWfを搬送するウエハ搬送方法であって、液体中に置かれた複数枚のウエハWfの端面に向けてノズル31から液体を噴出することにより、複数枚のウエハWfのうち少なくとも最上位に位置するウエハWfを含む複数枚のウエハWfどうしの間に隙間を生じさせた状態で、最上位に位置するウエハWfを吸着コンベア2により取り上げる。
【選択図】 図4
Description
Lq 液体
Ls 液面
Wf ウエハ
1 ウエハ槽
2 吸着コンベア(吸着スライド手段)
5 中継コンベア
6 装填コンベア
7 スタッカ
8 (分離用)ノズル
11 コンベア
12 リフタ
21 ローラ
22 無端ベルト
22a 吸着区間
22b 孔
22c ウエハ吸着面
23 バキュームボックス
231,232,233 区画室
23a 吸気口
23b 孔
24 ホース
25 脱水槽
26 ポンプ
27 バルブユニット
31 (浮上用)ノズル
32 スポンジローラ
41 ヒータ
42 温度センサ
43 ヒータ制御部
71 ポケット
Claims (12)
- 積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送方法であって、
液体中に置かれた上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出することにより、上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを含む複数枚のウエハどうしの間に隙間を生じさせた状態で、上記最上位に位置するウエハを取り上げることを特徴とする、ウエハ搬送方法。 - 上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものを吸着した状態で、このウエハをその面内方向にスライドさせる吸着スライド手段によって、上記最上位のウエハから順に搬送する、請求項1に記載のウエハ搬送方法。
- 上記吸着スライド手段として、互いに離間した1対のローラと、上記1対のローラに掛け回されており、複数の孔が設けられた吸着区間を有する無端ベルトと、上記無端ベルトに囲まれた空間を減圧しうる減圧手段と、を備えた吸着コンベアを用いる、請求項2に記載のウエハ搬送方法。
- 上記吸着スライド手段におけるウエハ吸着面は、ウエハのスライド方向前方側に向かうにつれて上位となるように傾斜しており、上記最上位のウエハは、上記ウエハ吸着面に対して正対している、請求項2に記載のウエハ搬送方法。
- 上記複数枚のウエハに対してウエハのスライド方向前方側に配置された浮上用ノズルから、上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出させることにより、上記隙間を生じさせる、請求項2に記載のウエハ搬送方法。
- 上記複数枚のウエハに対してウエハのスライド方向前方側に配置された分離用ノズルから、上記吸着スライド手段によって吸着されたウエハの端面に向けて、上記液体を噴出させる、請求項2ないし5のいずれかに記載のウエハ搬送方法。
- 積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送装置であって、
液体中に置かれた上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出することにより、上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを含む複数枚のウエハどうしの間に隙間を生じさせる、液体噴出手段と、
上記隙間を生じさせた状態において、上記最上位に位置するウエハを受け取り可能なウエハ受け取り手段と、
を備えることを特徴とする、ウエハ搬送装置。 - 上記ウエハ受け取り手段は、上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものを吸着した状態で、このウエハをその面内方向にスライドさせる吸着スライド手段を含む、請求項7に記載のウエハ搬送装置。
- 上記吸着スライド手段は、互いに離間した1対のローラと、上記1対のローラに掛け回されており、複数の孔が設けられた吸着区間を有する無端ベルトと、上記無端ベルトに囲まれた空間を減圧しうる減圧手段と、を備えた吸着コンベアである、請求項8に記載のウエハ搬送装置。
- 上記液体噴出手段は、上記複数のウエハに対してウエハのスライド方向前方側に配置された浮上用ノズルである、請求項8に記載のウエハ搬送装置。
- 上記吸着スライド手段は、ウエハ吸着面がウエハのスライド方向前方側に向かうにつれて上位となるように配置され、上記複数枚のウエハは、上記ウエハ吸着面に対して正対するように配置される、請求項8に記載のウエハ搬送装置。
- 上記複数枚のウエハに対してウエハのスライド方向前方側に配置され、上記吸着スライド手段によって吸着されたウエハの端面に向けて上記液体を噴出する分離用ノズルをさらに備える、請求項8ないし11のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
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