JP2003292160A - ガラス基板の取り出し装置 - Google Patents

ガラス基板の取り出し装置

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JP2003292160A
JP2003292160A JP2002098347A JP2002098347A JP2003292160A JP 2003292160 A JP2003292160 A JP 2003292160A JP 2002098347 A JP2002098347 A JP 2002098347A JP 2002098347 A JP2002098347 A JP 2002098347A JP 2003292160 A JP2003292160 A JP 2003292160A
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glass
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Ichiro Fukuwatari
一郎 福渡
Hajime Iinuma
肇 飯沼
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 大形化及び薄形化されたガラス基板の場合で
あっても、製造工場から出荷された多数枚が積層された
状態のガラス基板から、１枚ずつ確実かつガラス基板を
破損することなく取り出すことができる、機構が簡易で
小形化が可能なガラス基板の取り出し装置を提供するこ
と。 【解決手段】 多数枚が積層された状態のガラス基板Ｇ
を載置するガラス基板載置台１と、このガラス基板載置
台１に載置した多数枚が積層された状態のガラス基板Ｇ
のうち、最表面に位置するガラス基板と他のガラス基板
の間に流体を吹き込むノズル手段２Ａ、２Ｂと、最表面
に位置するガラス基板を保持し、所定位置まで移動させ
るガラス基板保持・移動機構３と、所定位置まで移動し
たガラス基板をガラス基板保持・移動機構３から受け取
るガラス基板受け取り機構４とから構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板の取り
出し装置に関し、特に、製造工場から出荷された多数枚
が積層された状態のガラス基板を、その加工工場におい
て、１枚ずつ取り出すために用いられるガラス基板の取
り出し装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、液晶用ガラス基板等のガ
ラス基板は、ガラス基板の製造工場において、ガラス基
板の間に必要に応じ易剥離シートを挟み込んだ上、多数
枚が積層された平積み状態で出荷され、これを、加工工
場において、１枚ずつ取り出して加工装置に供給するよ
うにしている。
【０００３】この場合、加工工場においては、多数枚が
積層された平積み状態のガラス基板から、ガラス基板を
１枚ずつ取り出して加工装置に供給するために、図４に
示すような、先端にガラス基板吸着ハンド１１を備えた
多軸ロボット１０を使用するようにしている。そして、
この多軸ロボット１０を使用して、多数枚が積層された
平積み状態のガラス基板Ｇから、ガラス基板を１枚ずつ
取り出して加工装置に供給するに際しては、まず、多数
枚が積層された平積み状態のガラス基板を挿入した運搬
用カセット１２を、ガラス基板が立つ状態に回転して載
置する。そして、この状態で、運搬用カセット１２の開
口から多軸ロボット１０のガラス基板吸着ハンド１１を
挿入し、ガラス基板吸着ハンド１１にガラス基板を１枚
ずつ吸着しながら、取り出し、例えば、生産用カセット
１３に挿入するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年の液晶
用ガラス基板の大形化及び薄形化に伴い、ガラス基板の
間に易剥離シートを挟み込むようにしても、積層したガ
ラス基板同士が接着状態となって、ガラス基板吸着ハン
ド１１にガラス基板を吸着しても、ガラス基板同士の接
着状態が解除されず、これにより、ガラス基板の取り出
しを円滑に行うことができなかったり、無理に取り出そ
うとするとガラス基板自身が大きな曲げ応力を受ける結
果ガラス基板の破損が発生しやすくなるという問題があ
った。また、多軸ロボット１０を使用する場合、装置が
大形化し、装置の専有面積が増大するという問題があっ
た。
【０００５】本発明は、上記従来のガラス基板の取り出
し装置が有する問題点に鑑み、大形化及び薄形化された
ガラス基板の場合であっても、製造工場から出荷された
多数枚が積層された状態のガラス基板から、１枚ずつ確
実かつガラス基板を破損することなく取り出すことがで
きる、機構が簡易で小形化が可能なガラス基板の取り出
し装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のガラス基板の取り出し装置は、多数枚が積
層された状態のガラス基板を載置するガラス基板載置台
と、前記ガラス基板載置台に載置した多数枚が積層され
た状態のガラス基板のうち、最表面に位置するガラス基
板と他のガラス基板の間に流体を吹き込むノズル手段
と、前記最表面に位置するガラス基板を保持し、所定位
置まで移動させるガラス基板保持・移動機構と、所定位
置まで移動したガラス基板をガラス基板保持・移動機構
から受け取るガラス基板受け取り機構とからなることを
特徴とする。
【０００７】このガラス基板の取り出し装置は、ガラス
基板載置台に載置した多数枚が積層された状態のガラス
基板のうち、最表面に位置するガラス基板と他のガラス
基板の間にノズル手段から流体を吹き込みながら、ガラ
ス基板保持・移動機構により、最表面に位置するガラス
基板を保持し、所定位置まで移動させて、ガラス基板を
１枚ずつガラス基板受け取り機構に受け渡すことができ
る。
【０００８】この場合において、ガラス基板載置台は、
空気中に設置しても、水中に設置してもよく、空気中に
設置した場合には、ノズル手段にエアノズルを、また、
水中に設置した場合には、ノズル手段に水流ノズルを用
いるようにする。
【０００９】そして、ガラス基板載置台を空気中に設置
し、ノズル手段にエアノズルを用いた場合に、エアノズ
ルに供給するエアを、イオン化及び／又は加湿すること
ができる。
【００１０】これにより、ガラス基板の帯電を防止し、
ガラス基板の取り出しを円滑に実施することができると
ともに、ガラス基板に塵等が付着するのを未然に防止す
ることができる。
【００１１】また、ノズル手段を、ガラス基板保持・移
動機構によって最初にガラス基板が保持される側のガラ
ス基板の端面の側方位置に配設したり、ガラス基板保持
・移動機構によって最初にガラス基板が保持される側の
ガラス基板の端面と直交するガラス基板の端面の側方位
置に配設したり、さらには、両者を併用することができ
る。
【００１２】これにより、最表面に位置するガラス基板
と、多数枚が積層された状態のガラス基板との間に流体
層を確実に形成しながら、最表面に位置するガラス基板
を徐々に剥離するように分離することができ、ガラス基
板の取り出しを一層円滑に実施することができる。
【００１３】また、ガラス基板保持・移動機構に、最表
面に位置するガラス基板の表面を吸着する吸着手段を備
えるようにしたり、最表面に位置するガラス基板を挟持
するチャック手段を備えるようにしたり、さらには、両
者を併用することができる。
【００１４】これにより、最表面に位置するガラス基板
を保持し、最表面に位置するガラス基板と、多数枚が積
層された状態のガラス基板との間に流体層を確実に形成
しながら、最表面に位置するガラス基板を、所定位置ま
で移動させ、ガラス基板受け取り機構に受け渡すことが
できる。
【００１５】また、ガラス基板に向けて超音波を発信す
る超音波発生手段を備えることができる。
【００１６】これにより、最表面に位置するガラス基板
と、多数枚が積層された状態のガラス基板との間に流体
層を確実に形成しながら、徐々に剥離するように分離す
ることができ、ガラス基板の取り出しを一層円滑に実施
することができる。
【００１７】また、ガラス基板受け取り機構を、エア浮
上方式の固定台や取り出しフォークの挿入スペースを備
えた固定台やコンベアで構成することができる。
【００１８】これにより、ガラス基板受け取り機構から
加工装置側へのガラス基板の供給を円滑に実施すること
ができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明のガラス基板の取り
出し装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】図１に、本発明のガラス基板の取り出し装
置の一実施例を示す。このガラス基板の取り出し装置
は、多数枚が積層された状態のガラス基板Ｇを載置する
ガラス基板載置台１と、このガラス基板載置台１に載置
した多数枚が積層された状態のガラス基板Ｇのうち、最
表面に位置するガラス基板と他のガラス基板の間に流体
を吹き込むノズル手段２Ａ、２Ｂと、最表面に位置する
ガラス基板を保持し、所定位置まで移動させるガラス基
板保持・移動機構３と、ガラス基板保持・移動機構３に
よって所定位置まで移動させられたガラス基板をガラス
基板保持・移動機構３から受け取るガラス基板受け取り
機構４とから構成するようにする。
【００２１】この場合において、ガラス基板Ｇは、ガラ
ス基板の製造工場において、ガラス基板の間に必要に応
じ易剥離シートを挟み込んだ上、多数枚が積層された平
積み状態で出荷されたものを、そのまま略水平状態にあ
るガラス基板載置台１上に載置して使用するようにす
る。
【００２２】また、ガラス基板載置台１は、最表面に位
置するガラス基板が、定常的に所定の高さ位置になるよ
うに、高さ調整機構（図示省略）を備えることが望まし
い。
【００２３】ところで、ガラス基板載置台１は、空気中
に設置しても、水中に設置してもよく、空気中に設置す
る場合には、ノズル手段２Ａ、２Ｂにエアノズルを、ま
た、水中に設置する場合には、ノズル手段２Ａ、２Ｂに
水流ノズルを用いるようにする。
【００２４】そして、ガラス基板載置台１を空気中に設
置し、ノズル手段２Ａ、２Ｂにエアノズルを用いる場合
には、エアノズルに供給するエアを、イオナイザ及び／
又は加湿器により、イオン化及び／又は加湿することが
好ましい。これにより、ガラス基板の帯電を防止し、ガ
ラス基板の取り出しを円滑に実施することができるとと
もに、ガラス基板に塵等が付着するのを未然に防止する
ことができるものとなる。
【００２５】ノズル手段２Ａ、２Ｂは、ガラス基板保持
・移動機構３によって最初にガラス基板Ｇが保持される
側のガラス基板Ｇの端面の側方位置（図１（ａ）におい
て、ガラス基板載置台１の右端部）に配設したり、ガラ
ス基板保持・移動機構３によって最初にガラス基板Ｇが
保持される側のガラス基板Ｇの端面と直交するガラス基
板Ｇの端面の側方位置（図１（ｂ）において、ガラス基
板載置台１の両端部）に配設したり、さらには、本実施
例に示すように、両者を併用することができる。これに
より、最表面に位置するガラス基板と、多数枚が積層さ
れた状態のガラス基板との間に流体層を確実に形成しな
がら、最表面に位置するガラス基板を徐々に剥離するよ
うに分離することができ、ガラス基板の取り出しを一層
円滑に実施することができるものとなる。
【００２６】また、ガラス基板保持・移動機構３には、
最表面に位置するガラス基板の表面を吸着する吸着手段
３１を備えるようにしたり、図２に示すように、最表面
に位置するガラス基板を挟持するチャック手段３２を備
えるようにしたり、さらには、両者を併用することがで
きる。これにより、最表面に位置するガラス基板を保持
し、最表面に位置するガラス基板と、多数枚が積層され
た状態のガラス基板との間に流体層を確実に形成しなが
ら、最表面に位置するガラス基板を、所定位置まで移動
させ、ガラス基板受け取り機構４に受け渡すことができ
るものとなる。この場合、吸着手段３１やチャック手段
３２による最表面に位置するガラス基板の保持位置は、
ガラス基板Ｇの一端縁側とすることが、最表面に位置す
るガラス基板と、多数枚が積層された状態のガラス基板
との間に流体層を円滑に形成することができるため好ま
しい。また、チャック手段３２を単独で使用する場合に
は、チャック手段３２によってガラス基板Ｇの端縁を確
実に挟持することができるように、図２に示すように、
多数枚が積層された状態のガラス基板Ｇの一端縁側を階
段状にずらした状態（この場合、階段状にずらす長さＬ
は、１０ｍｍ程度が望ましい。）でガラス基板載置台１
に載置するようにする。
【００２７】また、ガラス基板載置台１に載置したガラ
ス基板Ｇに向けて超音波を発信する超音波発生手段５を
備えることができる。これにより、最表面に位置するガ
ラス基板と、多数枚が積層された状態のガラス基板との
間に流体層を確実に形成しながら、徐々に剥離するよう
に分離することができ、ガラス基板の取り出しを一層円
滑に実施することができるものとなる。
【００２８】また、ガラス基板受け取り機構４には、図
１（ｃ）に示すような、ガラス基板保持・移動機構３か
ら受け渡され、ガラス基板受け取り機構４の上面に載置
されたガラス基板Ｇを加工装置側へ円滑に供給すること
ができるように、適宜の取り出しフォーク機構（図示省
略）のフォークの挿入スペース４１を備えた固定台４Ａ
で以て構成したり、図３に示すように、ローラコンベア
４Ｂ等の任意のコンベアで構成したり、さらには、エア
浮上方式の固定台で以て構成することができる。
【００２９】上記の構成からなるガラス基板の取り出し
装置は、ガラス基板載置台１に平積み状態に載置した多
数枚が積層された状態のガラス基板Ｇのうち、最表面に
位置するガラス基板と他のガラス基板の間にノズル手段
２Ａ、２Ｂから流体を吹き込みながら、ガラス基板保持
・移動機構３により、最表面に位置するガラス基板を保
持し、所定位置まで移動させて、ガラス基板を１枚ずつ
ガラス基板受け取り機構４に受け渡すことができる。
【００３０】この場合、特に、ガラス基板保持・移動機
構３の吸着手段３１やチャック手段３２により、最表面
に位置するガラス基板Ｇの一端縁側を保持することによ
り、ノズル手段２Ａ、２Ｂから流体を吹き込むことと相
俟って、最表面に位置するガラス基板と、多数枚が積層
された状態のガラス基板との間に流体層を円滑に形成す
ることができ、多数枚が積層された状態のガラス基板Ｇ
から、その最表面に位置するガラス基板を、ガラス基板
に大きな応力をかけることなく、徐々に剥離するように
分離することができ、ガラス基板の取り出し作業を確実
かつガラス基板を破損することなく実施することができ
るものとなる。
【００３１】以上、本発明のガラス基板の取り出し装置
について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は
上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、
その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更
することができるものである。
【００３２】
【発明の効果】本発明のガラス基板の取り出し装置によ
れば、ガラス基板載置台に載置した多数枚が積層された
状態のガラス基板のうち、最表面に位置するガラス基板
と他のガラス基板の間にノズル手段から流体を吹き込み
ながら、ガラス基板保持・移動機構により、最表面に位
置するガラス基板を保持し、所定位置まで移動させて、
ガラス基板を１枚ずつガラス基板受け取り機構に受け渡
すことができ、ガラス基板の取り出し作業を確実かつガ
ラス基板を破損することなく実施することができる。ま
た、このガラス基板の取り出し装置は、機構が簡易で、
多数枚が積層されたガラス基板を平積み状態のまま１枚
ずつガラス基板受け取り機構に受け渡すことができるの
で、装置の小形化が可能となり、装置の専有面積を低減
することができる。
【００３３】また、ガラス基板載置台は、空気中に設置
しても、水中に設置してもよく、空気中に設置した場合
には、ノズル手段にエアノズルを、また、水中に設置し
た場合には、ノズル手段に水流ノズルを用いることがで
きる。
【００３４】そして、ガラス基板載置台を空気中に設置
し、ノズル手段にエアノズルを用いた場合に、エアノズ
ルに供給するエアを、イオン化及び／又は加湿すること
により、ガラス基板の帯電を防止し、ガラス基板の取り
出しを円滑に実施することができるとともに、ガラス基
板に塵等が付着するのを未然に防止することができる。
【００３５】また、ノズル手段を、ガラス基板保持・移
動機構によって最初にガラス基板が保持される側のガラ
ス基板の端面の側方位置に配設したり、ガラス基板保持
・移動機構によって最初にガラス基板が保持される側の
ガラス基板の端面と直交するガラス基板の端面の側方位
置に配設したり、さらには、両者を併用することがで
き、これにより、最表面に位置するガラス基板と、多数
枚が積層された状態のガラス基板との間に流体層を確実
に形成しながら、最表面に位置するガラス基板を徐々に
剥離するように分離することができ、ガラス基板の取り
出しを一層円滑に実施することができる。
【００３６】また、ガラス基板保持・移動機構に、最表
面に位置するガラス基板の表面を吸着する吸着手段を備
えるようにしたり、最表面に位置するガラス基板を挟持
するチャック手段を備えるようにしたり、さらには、両
者を併用することができ、これにより、最表面に位置す
るガラス基板を保持し、最表面に位置するガラス基板
と、多数枚が積層された状態のガラス基板との間に流体
層を確実に形成しながら、最表面に位置するガラス基板
を、所定位置まで移動させ、ガラス基板受け取り機構に
受け渡すことができる。
【００３７】また、ガラス基板に向けて超音波を発信す
る超音波発生手段を備えることにより、最表面に位置す
るガラス基板と、多数枚が積層された状態のガラス基板
との間に流体層を確実に形成しながら、徐々に剥離する
ように分離することができ、ガラス基板の取り出しを一
層円滑に実施することができる。
【００３８】また、ガラス基板受け取り機構を、エア浮
上方式の固定台や取り出しフォークの挿入スペースを備
えた固定台やコンベアで構成することができ、これによ
り、ガラス基板受け取り機構から加工装置側へのガラス
基板の供給を円滑に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス基板の取り出し装置の一実施例
を示し、（ａ）は全体の説明図（正面図）、（ｂ）はガ
ラス基板載置台の説明図（側面図）、（ｃ）はガラス基
板受け取り機構の説明図（側面図）である。
【図２】ガラス基板保持・移動機構のチャック手段によ
り、最表面に位置するガラス基板を挟持する方法を示す
説明図で、（ａ）は全体図、（ｂ）はその要部拡大図で
ある。
【図３】ガラス基板受け取り機構の変形実施例の説明図
（斜視図）である。
【図４】従来のガラス基板の取り出し装置の説明図（斜
視図）である。
【符号の説明】
Ｇ ガラス基板 １ ガラス基板載置台 ２Ａ、２Ｂ ノズル手段 ３ ガラス基板保持・移動機構 ３１ 吸着手段 ３２ チャック手段 ４ ガラス基板受け取り機構 ５ 超音波発生手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｈ 3/48 Ｂ６５Ｈ 3/48 ３１０Ｚ 3/62 3/62 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ Ｆターム(参考） 3F030 AA08 CA01 3F343 FA12 FB19 GA01 GB01 GC01 GD01 JB02 JB12 JB27 JC12 JC13 JC20 JD03 JD13 JD26 JD28 JD35 KB05 KB14 LA04 5F031 CA05 FA02 FA07 FA30 GA16 GA24 PA18 PA20 PA21

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 多数枚が積層された状態のガラス基板を
    載置するガラス基板載置台と、前記ガラス基板載置台に
    載置した多数枚が積層された状態のガラス基板のうち、
    最表面に位置するガラス基板と他のガラス基板の間に流
    体を吹き込むノズル手段と、前記最表面に位置するガラ
    ス基板を保持し、所定位置まで移動させるガラス基板保
    持・移動機構と、所定位置まで移動したガラス基板をガ
    ラス基板保持・移動機構から受け取るガラス基板受け取
    り機構とからなることを特徴とするガラス基板の取り出
    し装置。
  2. 【請求項２】 ガラス基板載置台が空気中に設置され、
    ノズル手段がエアノズルからなることを特徴とする請求
    項１記載のガラス基板の取り出し装置。
  3. 【請求項３】 エアノズルに供給するエアを、イオン化
    及び／又は加湿することを特徴とする請求項２記載のガ
    ラス基板の取り出し装置。
  4. 【請求項４】 ガラス基板載置台が水中に設置され、ノ
    ズル手段が水流ノズルからなることを特徴とする請求項
    １記載のガラス基板の取り出し装置。
  5. 【請求項５】 ノズル手段を、ガラス基板保持・移動機
    構によって最初にガラス基板が保持される側のガラス基
    板の端面の側方位置に配設したことを特徴とする請求項
    １、２、３又は４記載のガラス基板の取り出し装置。
  6. 【請求項６】 ノズル手段を、ガラス基板保持・移動機
    構によって最初にガラス基板が保持される側のガラス基
    板の端面と直交するガラス基板の端面の側方位置に配設
    したことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載
    のガラス基板の取り出し装置。
  7. 【請求項７】 ガラス基板保持・移動機構が、最表面に
    位置するガラス基板の表面を吸着する吸着手段を備えて
    いることを特徴とする請求項１、２、３、４、５又は６
    記載のガラス基板の取り出し装置。
  8. 【請求項８】 ガラス基板保持・移動機構が、最表面に
    位置するガラス基板を挟持するチャック手段を備えてい
    ることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６又は
    ７記載のガラス基板の取り出し装置。
  9. 【請求項９】 ガラス基板に向けて超音波を発信する超
    音波発生手段を備えていることを特徴とする請求項１、
    ２、３、４、５、６、７又は８記載のガラス基板の取り
    出し装置。
  10. 【請求項１０】 ガラス基板受け取り機構が、エア浮上
    方式の固定台からなることを特徴とする請求項１、２、
    ３、４、５、６、７、８又は９記載のガラス基板の取り
    出し装置。
  11. 【請求項１１】 ガラス基板受け取り機構が、取り出し
    フォークの挿入スペースを備えた固定台からなることを
    特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８又は
    ９記載のガラス基板の取り出し装置。
  12. 【請求項１２】 ガラス基板受け取り機構が、コンベア
    からなることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、
    ６、７、８又は９記載のガラス基板の取り出し装置。
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