JP2009004611A - 剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハWとガラス板Pとが接着シートSを介して接着された処理対象物Dを支持するテーブル11と、処理対象物Dに振動を付与する振動付与手段12と、半導体ウエハW及びガラス板Pに剥離力を付与する剥離力付与手段13とを備えて剥離装置が構成されている。振動付与手段12によりガラス板Pを介して接着シートSに振動を付与することで、当該接着シートSとガラス板Pとを剥離し、ガラス板Pを半導体ウエハWから離間する方向に変位させることで当該ガラス板Pを半導体ウエハWから剥離することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、かかる問題に着目して案出されたものであり、その目的は、第1及び第2の部材からなる処理対象物を支持した際の高さ位置調整を厳格に調整しなくても、第1及び第2の部材の剥離を容易に行うことのできる剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
また、本発明によれば、従来のように、処理対象物の端面に対して外側からアクセスする剥離きっかけ部形成手段を用いる必要性がなくなるため、処理対象物の高さ位置を高精度に行うことも要求されず、従って、剥離装置の構造を簡易化することができる。
更に、第1の部材と第2の部材とを相互に離間させる剥離力付与手段を設けることで、剥離動作を自動的に行うことができ、また、振動付与手段を処理対象物に沿って移動可能として、振動付与と剥離動作とを同期させた剥離を行うこともできる。
更に、処理対象物に対して軸状部材を接触若しくは非接触の状態で振動を付与する構成とすることで、第1及び第2の部材の材質等に応じた振動付与形態を選択することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 テーブル(支持手段)
12 振動付与手段
13 剥離力付与手段
15 軸状部材
D 処理対象物
P ガラス板(第2の部材)
S 接着シート
W 半導体ウエハ(第1の部材)
Claims (6)
- 第1の部材と第2の部材とが接着シートを介して接着された処理対象物を支持する支持手段と、前記処理対象物に振動を付与して当該第1及び第2の部材を剥離する振動付与手段とを備えたことを特徴とする剥離装置。
- 前記第1及び第2の部材を離間させる剥離力付与手段を更に含むことを特徴とする請求項1記載の剥離装置。
- 前記振動付与手段は、処理対象物をその面方向に横切る軸状部材を含み、当該軸状部材は、前記処理対象物に沿って移動可能に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の剥離装置。
- 前記振動付与手段は、前記処理対象物に対して接触若しくは非接触の状態で振動を付与することを特徴とする請求項1、2又は3記載の剥離装置。
- 第1の部材と第2の部材とが接着シートを介して接着された処理対象物を支持手段に支持させた状態で、前記処理対象物に振動を付与し、当該振動により前記接着シートによる接着状態を解除して第1及び第2の部材を剥離することを特徴とする剥離方法。
- 前記振動の付与と同時若しくは直後に、前記第1及び第2の部材を離間させる剥離力を付与することを特徴とする請求項5記載の剥離方法。
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