JP5495647B2 - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Description
該ウェーハと同一寸法或いは該ウェーハよりも大きい該サポート部材の表面に該ウェーハの外周部に対応し且つ該サポート部材の表面側及び外周面側に開放されている凹部を形成する凹部形成工程と、
該凹部形成工程の後に、該ウェーハの該表面を該サポート部材の該表面に当接させて且つ該ウェーハの外縁部を該凹部に対応させて該サポート部材の該表面上に該ウェーハを載置し、次いで該凹部及び該ウェーハの外縁部に渡って接着材を装填し、該サポート部材の該表面に該ウェーハを固着する固着工程と、
該固着工程の後に、該サポート部材の該表面に固着されている該ウェーハの裏面を研削或いは研磨して該ウェーハを薄化する薄化工程と、
該薄化工程の後に、該サポート部材と該ウェーハとを分離する分離工程と、を含むウェーハの加工方法が提供される。
該変質層形成工程後で且つ該分離工程の前に、該ウェーハの裏面側にエキスパンドテープを貼着するエキスパンドテープ貼着工程と、
該分離工程の後に、該エキスパンドテープを拡張して該ウェーハを該変質層に沿って分離して個々のチップにすると共に各チップ間に間隔を形成する分割工程とを含む、のが好適である。
4 シリコン基板
8 デバイス(マイクロマシンデバイス)
10 サポート部材
11 凹部
12 チャックテーブル(切削装置)
18 切削ブレード
26 接着材
30 チャックテーブル(研削装置)
32 研削工具
38 チャックテーブル(レーザ加工装置)
40 レーザ照射ヘッド
42 変質層
44 エキスパンドテープ
48 テープ拡張装置
S1 凹部形成工程
S2 固着工程
S3 薄化工程
S4 分離工程
S5 変質層形成工程
S6 エキスパンドテープ貼着工程
S7 分割工程
L 分割予定ライン
Claims (3)
- 表面には格子状に形成された分割予定ラインによって複数個のデバイスが区画されているウェーハの表面側をサポート部材に固定し、該ウェーハの裏面を研削又は研磨してウェーハを薄化するウェーハの加工方法であって、
該ウェーハと同一寸法或いは該ウェーハよりも大きい該サポート部材の表面に該ウェーハの外周部に対応し且つ該サポート部材の表面側及び外周面側に開放されている凹部を形成する凹部形成工程と、
該凹部形成工程の後に、該ウェーハの該表面を該サポート部材の該表面に当接させて且つ該ウェーハの外縁部を該凹部に対応させて該サポート部材の該表面上に該ウェーハを載置し、次いで該凹部及び該ウェーハの外縁部に渡って接着材を装填し、該サポート部材の該表面に該ウェーハを固着する固着工程と、
該固着工程の後に、該サポート部材の該表面に固着されている該ウェーハの裏面を研削或いは研磨して該ウェーハを薄化する薄化工程と、
該薄化工程の後に、該サポート部材と該ウェーハとを分離する分離工程と、を含むウェーハの加工方法。 - 該接着材は外的刺激によって接着力が低下する性質を有し、該分離工程では、該接着材に外的刺激を与えて該サポート部材と該ウェーハとを分離する請求項1に記載のウェーハの加工方法。
- 該薄化工程の後で且つ該分離工程の前に、該ウェーハの裏面側から該ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザビームを該分割予定ラインに沿って照射して該ウェーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、
該変質層形成工程後で且つ該分離工程の前に、該ウェーハの裏面側にエキスパンドテープを貼着するエキスパンドテープ貼着工程と、
該分離工程の後に、該エキスパンドテープを拡張して該ウェーハを該変質層に沿って分離して個々のデバイスにすると共に各デバイス間に間隔を形成する分割工程とを含む、請求項1又は2記載のウェーハの加工方法。
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