JP5995598B2 - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Description
12 デバイス
13 表面
14 裏面
15 デバイス領域
16 外周余剰領域
17 面取り部
18 ノッチ
19 Via電極
21 バンプ
22 キャリアプレート
25 溝
27 絶縁膜
28 段状溝
29 先端(頭)
32 切削ブレード
36 検出器
37 研削ユニット
46 加工ヘッド
48 切削ブレード
Claims (1)
- 半導体基板の表面に複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され、デバイスの電極から半導体基板の裏面に向かって埋設されたVia電極を有するデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域に面取り部を備えたウエーハを個々のデバイスに分割するウエーハの加工方法であって、
外周余剰領域に切削ブレードを位置づけて所定の深さ切削し面取り部を除去する面取り部除去工程と、
該面取り部除去工程後に、ウエーハの表面に樹脂を介してキャリアプレートを配設するキャリアプレート配設工程と、
該キャリアプレート配設工程後に、ウエーハの裏面からVia電極の深さを検出するVia電極検出工程と、
該Via電極検出工程後に、Via電極が裏面に露出しない程度にウエーハの裏面を研削して薄化する裏面研削工程と、
該裏面研削工程後に、ウエーハの裏面から半導体基板をエッチングしてVia電極を突出させるエッチング工程と、
該エッチング工程後に、ウエーハの裏面を絶縁膜で被覆する絶縁膜被覆工程と、
該絶縁膜被覆工程後に、裏面から突出したVia電極を切削して絶縁膜から露出させると共にVia電極の頭を絶縁膜と同一面に仕上げる仕上げ工程と、
該仕上げ工程後に、絶縁膜に対して吸収性を有する波長のレーザー光線をウエーハの裏面から分割予定ラインに対応する領域に照射して絶縁膜を除去すると共に絶縁膜が除去された領域に切削ブレードを位置づけて切削しキャリアプレートに配設された状態でウエーハを個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程と、
該ウエーハ分割工程後に、Via電極の頭にバンプを配設するバンプ配設工程と、
該バンプ配設工程後に、ウエーハの裏面にダイシングテープを貼着すると共にウエーハの表面からキャリアプレートを取り外しウエーハをダイシングテープに移し替える移し替え工程と、
から、構成されるウエーハの加工方法。
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