JP6965126B2 - 被加工物の加工方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係る被加工物の加工方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る被加工物の加工方法の加工対象の被加工物の一例を示す斜視図である。図2は、図1に示された被加工物の要部を拡大して示す斜視図である。図3は、図2中のIII−III線に沿う断面図である。図4は、実施形態1に係る被加工物の加工方法の流れを示すフローチャートである。
図5は、図4に示された被加工物の加工方法のテープ貼着ステップ後の被加工物の斜視図である。テープ貼着ステップST1は、被加工物1に粘着テープ10を貼着するステップである。実施形態1では、ドライエッチングステップST5において被加工物1をGフルカットするために被加工物1の裏面9に粘着テープ10等の支持部材を配設するのが望ましい。実施形態1において、テープ貼着ステップST1では、図5に示すように、被加工物1の基材2の裏面9に外周縁が環状フレーム11に貼着された粘着テープ10を貼着して、被加工物1を環状フレーム11で支持する。被加工物の加工方法は、被加工物1に粘着テープ10を貼着すると、被覆ステップST2に進む。
図6は、図4に示された被加工物の加工方法の被覆ステップを示す側断面図である。図7は、図4に示された被加工物の加工方法の被覆ステップ後の被加工物の断面図である。
図8は、図4に示された被加工物の加工方法のレーザ加工溝形成ステップで用いられるレーザ加工装置の一例を示す斜視図である。図9は、図4に示された被加工物の加工方法のレーザ加工溝形成ステップを示す側断面図である。図10は、図4に示された被加工物の加工方法のレーザ加工溝形成ステップ後の被加工物の断面図である。図11は、図10中のXI部を拡大して示す断面図である。
図12は、図4に示された被加工物の加工方法の堆積物除去ステップで用いられる切削装置の一例を示す斜視図である。図13は、図4に示された被加工物の加工方法の堆積物除去ステップを示す側断面図である。図14は、図4に示された被加工物の加工方法の堆積物除去ステップ中の被加工物の要部の断面図である。
図15は、図4に示された被加工物の加工方法のドライエッチングステップで用いられるエッチング装置の一例を示す断面図である。図16は、図4に示された被加工物の加工方法のドライエッチングステップ後の被加工物の断面図である。
図17は、図4に示された被加工物の加工方法のマスク除去ステップを示す側断面図である。マスク除去ステップST6は、ドライエッチングステップST5を実施した後、保護膜12を除去するステップである。実施形態1において、マスク除去ステップST6では、図17に示すように、被加工物1の裏面9側を粘着テープ10を介して洗浄装置80のケース81内のスピンナテーブル82に吸着保持させ、スピンナテーブル82を軸心回りに回転させながら、被加工物1にノズル83から洗浄液17を噴射する。実施形態1にて、洗浄液17は、純水又は市水(水道水)である。
本発明の実施形態1の変形例に係る被加工物の加工方法を図面に基づいて説明する。図18は、実施形態1の変形例に係る被加工物の加工方法の堆積物除去ステップを示す側断面図である。なお、図18は、実施形態1と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
2 基材
3 表面
4 ストリート
5 デバイス
7 デバイス層(積層物)
8 TEG(積層物)
12 保護膜(保護部材)
14 レーザ加工溝
15 堆積物
16 幅
41 切削ブレード
200 レーザビーム
ST2 被覆ステップ
ST3 レーザ加工溝形成ステップ
ST4 堆積物除去ステップ
ST5 ドライエッチングステップ
Claims (3)
- 基材と、該基材の表面に交差する複数のストリートで区画された領域にそれぞれデバイスが形成されたデバイス層と、を備えるとともに該ストリート上に積層物が積層された被加工物の加工方法であって、
該被加工物の表面を保護部材で被覆する被覆ステップと、
該被覆ステップを実施した後、該ストリートに沿ってレーザビームを照射して該ストリートに沿って該保護部材とともに該積層物を除去するレーザ加工溝を形成するレーザ加工溝形成ステップと、
該レーザ加工溝形成ステップを実施した後、該レーザ加工溝の幅より薄い切削ブレードで該レーザ加工溝形成ステップで生成され該レーザ加工溝に堆積した堆積物を切削し除去する堆積物除去ステップと、
該堆積物除去ステップを実施した後、該保護部材を介してドライエッチングを施すドライエッチングステップと、を備えた被加工物の加工方法。 - 該保護部材は、水溶性樹脂からなり、
該堆積物除去ステップは、該切削ブレードに切削液を供給することなく実施する、請求項1に記載の被加工物の加工方法。 - 該堆積物除去ステップでは、該切削ブレードを被加工物に対して下から上に回転させる、請求項1に記載の被加工物の加工方法。
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