JP5313014B2 - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Description
4 面取り部
6 除去予定領域(環状領域)
6a 円形内周エッジ
8 切削ユニット
10 スピンドル
10a スピンドルの軸線
20 チャックテーブル
24 切削ブレード
24a 非対向面
24b 対向面
Claims (2)
- 外周に面取り部を有するウエーハの周縁部に切削ブレードを切り込ませつつ該ウエーハを回転させることで、ウエーハ外周の面取り部を含む除去予定領域を除去するウエーハの加工方法であって、
該除去予定領域の半径方向距離に対して1倍より大きく2倍未満の厚みを有する切削ブレードをスピンドルの先端に装着する切削ブレード装着ステップと、
ウエーハを保持する保持面と、該保持面に直交し該保持面の中心を通る回転軸とを有するチャックテーブルで、ウエーハの中心を該回転軸に一致させてウエーハを保持するウエーハ保持ステップと、
第1及び第2側面を有する切削ブレードの該第1側面を、該スピンドルの軸線の投影と該除去予定領域の円形内周エッジとの二つの交点のうちの一方に位置づける位置付けステップと、
該位置付けステップを実施した後、該切削ブレードを回転させつつウエーハに所定深さまで切り込ませる切り込みステップと、
該切り込みステップを実施した後、該チャックテーブルを少なくとも360度回転させることで該除去予定領域を除去する除去ステップと、
所定のタイミングで、該切り込みステップにおける該切削ブレードの位置付けを、該切削ブレードの該第2側面を前記二つの交点のうちの他方に位置づける位置付け変更ステップと、
を具備したことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 前記所定のタイミングとは、前記ウエーハ保持ステップと、前記位置付けステップと、前記切り込みステップと、前記除去ステップとを所定枚数のウエーハに実施した後である請求項1記載のウエーハの加工方法。
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JP2009090122A JP5313014B2 (ja) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | ウエーハの加工方法 |
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