JP2010062375A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 85
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 45
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 36
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 28
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 81
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
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Abstract
【課題】ウエーハを補強するため裏面外周部に形成された環状の外周余剰領域の影響を受けることなくダイシングテープから個々に分割されたデバイスをピックアップすることができるウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】ウエーハ裏面のデバイス対応領域を研削してデバイス領域の厚さを仕上がり厚さに形成するとともに、裏面外周余剰領域24に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程と、ウエーハの裏面を環状のフレーム5に装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープ6に貼着するウエーハ支持工程と、ウエーハの表面側からストリートに沿って切削してデバイス領域の裏面に達する分割溝を形成する分割溝形成工程と、ダイシングテープの環状補強部が形成された外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与して粘着力を低下させ、外周余剰領域をダイシングテープから剥離して除去する外周余剰領域除去工程とを含む。
【選択図】図10
【解決手段】ウエーハ裏面のデバイス対応領域を研削してデバイス領域の厚さを仕上がり厚さに形成するとともに、裏面外周余剰領域24に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程と、ウエーハの裏面を環状のフレーム5に装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープ6に貼着するウエーハ支持工程と、ウエーハの表面側からストリートに沿って切削してデバイス領域の裏面に達する分割溝を形成する分割溝形成工程と、ダイシングテープの環状補強部が形成された外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与して粘着力を低下させ、外周余剰領域をダイシングテープから剥離して除去する外周余剰領域除去工程とを含む。
【選択図】図10
Description
本発明は、表面に格子状に形成された複数のストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハを、複数のストリートに沿って分割するウエーハの加工方法に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々のデバイスを製造している。
上述したように分割されるウエーハは、ストリートに沿って切断する前に裏面を研削またはエッチングによって所定の仕上がり厚さに形成される。近年、電気機器の軽量化、小型化を達成するためにウエーハの厚さを50μm以下に形成することが要求されている。
しかるに、ウエーハの厚さを50μm以下に形成すると破損し易くなり、ウエーハの搬送等の取り扱いが困難になるという問題がある。
しかるに、ウエーハの厚さを50μm以下に形成すると破損し易くなり、ウエーハの搬送等の取り扱いが困難になるという問題がある。
上述した問題を解消するために、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削してデバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における外周部を残存させて環状の補強部を形成することにより、剛性を有するウエーハを形成することができるウエーハの加工方法が下記特許文献1に開示されている。
特開2007−19461号公報
而して、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削してデバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における外周部を残存させて環状の補強部を形成した後に、ウエーハを個々のデバイスに分割する際に、ウエーハの裏面における外周部に環状の補強部が形成された外周余剰領域をどの時点でどのようにして取り除くかが課題となる。
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削してデバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における外周部を残存させて環状の補強部を形成した後に、該環状の補強部が形成された外周余剰領域を確実に除去してウエーハを個々のデバイスに分割することができるとともに、外周余剰領域の影響を受けることなくダイシングテープから個々に分割されたデバイスをピックアップすることができるウエーハの加工方法を提供することである。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、表面に格子状に形成された複数のストリートによって複数の領域が区画されるとともに該区画された領域にデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハを、複数のストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して該デバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該外周余剰領域に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程と、
該裏面研削工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ダイシングテープに貼着されたウエーハの表面側から該ストリートに沿って切削ブレードによって切削して該デバイス領域の裏面に達する分割溝を形成することにより該デバイス領域を個々のデバイスに分割する分割溝形成工程と、
該分割溝形成工程が実施されたウエーハが貼着されている該ダイシングテープにおける該環状の補強部が形成された該外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与して該ダイシングテープの粘着力を低下させ、該外周余剰領域を該ダイシングテープから剥離して除去する外周余剰領域除去工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
ウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して該デバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該外周余剰領域に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程と、
該裏面研削工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ダイシングテープに貼着されたウエーハの表面側から該ストリートに沿って切削ブレードによって切削して該デバイス領域の裏面に達する分割溝を形成することにより該デバイス領域を個々のデバイスに分割する分割溝形成工程と、
該分割溝形成工程が実施されたウエーハが貼着されている該ダイシングテープにおける該環状の補強部が形成された該外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与して該ダイシングテープの粘着力を低下させ、該外周余剰領域を該ダイシングテープから剥離して除去する外周余剰領域除去工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
上記外周余剰領域除去工程を実施した後に、ダイシングテープを拡張して個々の分割されたデバイス間の隙間を広げ、デバイスをダイシングテープから剥離してピックアップするピックアップ工程を実施する。
また、本発明によれば、表面に格子状に形成された複数のストリートによって複数の領域が区画されるとともに該区画された領域にデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハを、複数のストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して該デバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該外周余剰領域に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程と、
該裏面研削工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ダイシングテープに貼着されたウエーハを該デバイス領域と該外周余剰領域との境界部に沿って切断する外周余剰領域分離工程と、
該外周余剰領域分離工程が実施されたウエーハが貼着されている該ダイシングテープにおける該環状の補強部が形成された該外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与して該ダイシングテープの粘着力を低下させ、該外周余剰領域を該ダイシングテープから剥離して除去する外周余剰領域除去工程と、
該外周余剰領域除去工程が実施されたウエーハのデバイス領域の表面側から該ストリートに沿って切削ブレードによって切削して該デバイス領域の裏面に達する分割溝を形成することにより該デバイス領域を個々のデバイスに分割する分割溝形成工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
ウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して該デバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該外周余剰領域に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程と、
該裏面研削工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ダイシングテープに貼着されたウエーハを該デバイス領域と該外周余剰領域との境界部に沿って切断する外周余剰領域分離工程と、
該外周余剰領域分離工程が実施されたウエーハが貼着されている該ダイシングテープにおける該環状の補強部が形成された該外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与して該ダイシングテープの粘着力を低下させ、該外周余剰領域を該ダイシングテープから剥離して除去する外周余剰領域除去工程と、
該外周余剰領域除去工程が実施されたウエーハのデバイス領域の表面側から該ストリートに沿って切削ブレードによって切削して該デバイス領域の裏面に達する分割溝を形成することにより該デバイス領域を個々のデバイスに分割する分割溝形成工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
上記分割溝形成工程を実施した後に、ダイシングテープを拡張して個々の分割されたデバイス間の隙間を広げ、デバイスをダイシングテープから剥離してピックアップするピックアップ工程を実施する。
本発明によれば、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削してデバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における外周部を残存させて環状の補強部を形成した後に、ウエーハの裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着し、デバイス領域を個々のデバイスに分割する分割溝形成工程を実施した後に、ダイシングテープにおける外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与してダイシングテープの粘着力を低下させ、外周余剰領域をダイシングテープから剥離して除去するので、デバイス領域を個々のデバイスに確実に分割することができるとともに、外周余剰領域の影響を受けることなくダイシングテープから個々に分割されたデバイスをピックアップすることができる。
また、本発明によれば、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削してデバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における外周部を残存させて環状の補強部を形成した後に、ウエーハの裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着し、ウエーハをデバイス領域と外周余剰領域との境界部に沿って切断する外周余剰領域分離工程を実施した後に、ダイシングテープにおける外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与してダイシングテープの粘着力を低下させ、外周余剰領域をダイシングテープから剥離して除去するので、その後のデバイス領域を個々のデバイスに分割する分割溝形成工程が容易であるとともに、外周余剰領域の影響を受けることなくダイシングテープから個々に分割されたデバイスをピックアップすることができる。
また、本発明によれば、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削してデバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における外周部を残存させて環状の補強部を形成した後に、ウエーハの裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着し、ウエーハをデバイス領域と外周余剰領域との境界部に沿って切断する外周余剰領域分離工程を実施した後に、ダイシングテープにおける外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与してダイシングテープの粘着力を低下させ、外周余剰領域をダイシングテープから剥離して除去するので、その後のデバイス領域を個々のデバイスに分割する分割溝形成工程が容易であるとともに、外周余剰領域の影響を受けることなくダイシングテープから個々に分割されたデバイスをピックアップすることができる。
以下、本発明によるウエーハの加工方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1には本発明によるウエーハの加工方法によって個々のデバイスに分割されるウエーハとしての半導体ウエーハの斜視図が示されている。図1に示す半導体ウエーハ2は、例えば厚さが700μmのシリコンウエーハからなっており、表面2aに複数のストリート21が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート21によって区画された複数の領域にIC、LSI等のデバイス22が形成されている。このように構成された半導体ウエーハ2は、デバイス22が形成されているデバイス領域23と、該デバイス領域23を囲繞する外周余剰領域24を備えている。
図1には本発明によるウエーハの加工方法によって個々のデバイスに分割されるウエーハとしての半導体ウエーハの斜視図が示されている。図1に示す半導体ウエーハ2は、例えば厚さが700μmのシリコンウエーハからなっており、表面2aに複数のストリート21が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート21によって区画された複数の領域にIC、LSI等のデバイス22が形成されている。このように構成された半導体ウエーハ2は、デバイス22が形成されているデバイス領域23と、該デバイス領域23を囲繞する外周余剰領域24を備えている。
上記半導体ウエーハ2をストリート21に沿って切断し個々のデバイスに分割するに際し、半導体ウエーハ2の裏面におけるデバイス領域23に対応する領域を研削してデバイス領域23の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、半導体ウエーハ2の裏面における外周余剰領域24に対応する領域に環状の補強部を形成する。このような加工を施すには、先ず図2に示すように半導体ウエーハ2の表面2aにデバイス22を保護するための保護部材3を貼着する(保護部材貼着工程)。従って、半導体ウエーハ2の裏面2bが露出する形態となる。
上述した保護部材貼着工程が実施された半導体ウエーハ2を個々のデバイス22に分割するウエーハの加工方法の第1の実施形態について説明する。
第1の実施形態においては、先ず半導体ウエーハ2の裏面2bにおけるデバイス領域23に対応する領域を研削してデバイス領域23の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、半導体ウエーハ2の裏面2bにおける外周余剰領域24に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程を実施する。この裏面研削工程は、図3に示す研削装置によって実施する。
第1の実施形態においては、先ず半導体ウエーハ2の裏面2bにおけるデバイス領域23に対応する領域を研削してデバイス領域23の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、半導体ウエーハ2の裏面2bにおける外周余剰領域24に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程を実施する。この裏面研削工程は、図3に示す研削装置によって実施する。
図3に示す研削装置4は、被加工物としてのウエーハを保持するチャックテーブル41と、該チャックテーブル41に保持されたウエーハの加工面を研削する研削手段42を具備している。チャックテーブル41は、上面にウエーハを吸引保持し図3において矢印41aで示す方向に回転せしめられる。研削手段42は、スピンドルハウジング421と、該スピンドルハウジング421に回転自在に支持され図示しない回転駆動機構によって回転せしめられる回転スピンドル422と、該回転スピンドル422の下端に装着されたマウンター423と、該マウンター423の下面に取り付けられた研削ホイール424とを具備している。この研削ホイール424は、円板状の基台425と、該基台425の下面に環状に装着された研削砥石426とからなっており、基台425がマウンター423の下面に取り付けられている。
上述した研削装置4を用いて裏面研削工程を実施するには、チャックテーブル41の上面(保持面)に図示しないウエーハ搬入手段によって搬送された上記半導体ウエーハ2の保護部材3側を載置し、半導体ウエーハ2をチャックテーブル41上に吸引保持する。ここで、チャックテーブル41に保持された半導体ウエーハ2と研削ホイール424を構成する環状の研削砥石426の関係について、図4を参照して説明する。チャックテーブル41の回転中心P1と環状の研削砥石426の回転中心P2は偏芯しており、環状の研削砥石426の外径は、半導体ウエーハ2のデバイス領域23と外周余剰領域24との境界線25の直径より小さく境界線25の半径より大きい寸法に設定され、環状の研削砥石426がチャックテーブル41の回転中心P1(半導体ウエーハ2の中心)を通過するようになっている。
次に、図3および図4に示すようにチャックテーブル41を矢印41aで示す方向に300rpmで回転しつつ、研削ホイール424を矢印424aで示す方向に6000rpmで回転せしめるとともに、研削ホイール424を下方に移動して研削砥石426を半導体ウエーハ2の裏面に接触させる。そして、研削ホイール424を所定の研削送り速度で下方に所定量研削送りする。この結果、半導体ウエーハ2の裏面には、図5に示すようにデバイス領域23に対応する領域が研削除去されて所定厚さ(例えば30μm)の円形状の凹部23bに形成されるとともに、外周余剰領域24に対応する領域が図示の実施形態においては厚さ670μm残存されて環状の補強部24bに形成される(裏面研削工程)。
次に、上述した裏面研削工程が実施された半導体ウエーハ2の裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程を実施する。図6の(a)に示すように環状のフレーム5の内側開口部を覆うように外周部が装着されたポリオレフィン等の合成樹脂シートからなるダイシングテープ6の表面6aには、図示の実施形態においては紫外線を照射することによって硬化し粘着力が低下する粘着剤が塗布されている。なお、紫外線を照射することによって粘着力が低下するダイシングテープとしては、例えば古河工業(株)が製造販売するUCシリーズを用いることができる。また、外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープとしては、加熱することによって粘着力が低下するテープを用いてもよい。加熱することによって粘着力が低下するテープとしては、例えば日東電工(株)が製造販売するリバアルファ(登録商標)を用いることができる。このように形成されたダイシングテープ6の表面6aに半導体ウエーハ2の裏面2bを貼着する。従って、図6の(b)に示すようにダイシングテープ6の表面6aに貼着された半導体ウエーハ2は、表面2aが上側となる。そして、保護部材3を剥離する。
上述したウエーハ支持工程を実施したならば、ダイシングテープ6に貼着された半導体ウエーハ2の表面2a側からストリート21に沿って切削ブレードによって切削し、デバイス領域23の裏面に達する分割溝を形成する分割溝形成工程を実施する。この分割溝形成工程は、図7に示す切削装置を用いて実施する。図7に示す切削装置7は、被加工物を保持するチャックテーブル71と、切削ブレード721を備えた切削手段72と、撮像手段73を具備している。チャックテーブル71は、被加工物を吸引保持するように構成されており、図示しない切削送り手段によって図7において矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめられるとともに、図示しない割り出し送り手段によって矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられるようになっている。なお、チャックテーブル71の上面には、図8に示すように上記半導体ウエーハ2の裏面に形成された円形状の凹部23bが嵌合する段部が形成されている。この切削装置7によって分割溝形成工程を実施するには、チャックテーブル71上に半導体ウエーハ2の裏面2bが貼着されたダイシングテープ6側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、半導体ウエーハ2をチャックテーブル71上に保持する。従って、チャックテーブル71上に吸引保持された半導体ウエーハ2は、表面2aが上側となる。なお、図7においてはダイシングテープ6が装着された環状のフレーム5を省いて示しているが、環状のフレーム5はチャックテーブル71に配設された適宜のフレーム保持手段に保持される。
このようにして、半導体ウエーハ2を吸引保持したチャックテーブル71は、図示しない切削送り手段によって撮像手段73の直下に位置付けられる。チャックテーブル71が撮像手段73の直下に位置付けられると、撮像手段73および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ2の分割溝を形成すべき切削領域を検出するアライメント作業を実行する。即ち、撮像手段73および図示しない制御手段は、半導体ウエーハ2の所定方向に形成されているストリート21と、切削ブレード721との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、切削領域のアライメントを遂行する(アライメント工程)。また、半導体ウエーハ2に形成されている上記所定方向に対して直交する方向に延びるストリート21に対しても、同様に切削領域のアライメントが遂行される。
以上のようにしてチャックテーブル71上に保持されている半導体ウエーハ2の切削領域のアライメントが行われたならば、半導体ウエーハ2を保持したチャックテーブル71を切削領域の切削開始位置に移動する。このとき、図8の(a)に示すように半導体ウエーハ2は所定のストリート21の一端(図8の(a)において左端)が切削ブレード721の直下より所定量右側に位置するように位置付けられる。そして、切削ブレード721を図8の(a)において矢印721aで示す方向に所定の回転速度で回転し、2点鎖線で示す待機位置から図示しない切り込み送り手段によって図8の(a)において実線で示すように下方に所定量切り込み送りする。この切り込み送り位置は、図8の(a)に示すように切削ブレード721の外周縁が半導体ウエーハ2の裏面2bにおけるデバイス領域23の裏面(図8の(a)において下面)、即ちダイシングテープ6の表面に達する位置に設定されている。
上述したように切削ブレード721の切り込み送りを実施したならば、切削ブレード721を図8の(a)において矢印721aで示す方向に所定の回転速度で回転しつつ、チャックテーブル71を図8の(a)において矢印X1で示す方向に所定の切削送り速度で移動せしめる。そして、チャックテーブル71に保持された半導体ウエーハ2の右端が切削ブレード721の直下を通過したらチャックテーブル71の移動を停止する。この結果、図8の(b)に示すように半導体ウエーハ2には、表面2aからデバイス領域23に対応する領域の裏面(図8の(b)において下面)に達する分割溝26が形成される(分割溝形成工程)。
以上のようにして、半導体ウエーハ2の所定方向に延在する全てのストリート21に沿って上記分割溝形成工程を実施したならば、チャックテーブル71を90度回動せしめて、上記所定方向に対して直交する方向に延びる各ストリート21に沿って上記分割溝形成工程を実行する。この結果、図9に示すように半導体ウエーハ2には全てのストリート21に沿って表面2aからデバイス領域23の裏面に達する分割溝26が形成され、デバイス領域23は個々のデバイスに分割される。なお、デバイス領域23を囲繞する外周余剰領域24は、分割溝26が環状の補強部24bの裏面に達していないので、環状の形態が維持されている。
上述したように分割溝形成工程を実施することにより半導体ウエーハ2のデバイス領域23を個々のデバイスに分割したならば、半導体ウエーハ2が貼着されているダイシングテープ6における環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24の貼着領域に外的刺激を付与してダイシングテープ6の粘着力を低下させ、外周余剰領域24をダイシングテープ6から剥離して除去する外周余剰領域除去工程を実施する。即ち、図10の(a)に示すように上記分割溝形成工程が実施された半導体ウエーハ2が貼着されているダイシングテープ6における環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24の貼着領域にダイシングテープ6の裏面側(図10の(a)において下側)から紫外線照射器8によって紫外線を照射する(紫外線照射工程)。この結果、ダイシングテープ6における環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24の貼着領域の粘着剤が硬化し粘着力が低下する。このようにして紫外線照射工程を実施したならば、図10の(b)に示すように環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24をダイシングテープ6から剥離する(外周余剰領域剥離工程)。このとき、上記紫外線照射工程を実施することによりダイシングテープ6における環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24の貼着領域の粘着力が低下せしめられているので、外周余剰領域24はダイシングテープ6から容易に剥離することができる。なお、ダイシングテープ6として加熱することによって粘着力が低下するテープを用いた場合には、外周余剰領域剥離工程を実施する前にダイシングテープ6を所定の温度で加熱する。
次に、ダイシングテープ6に貼着され個々に分割されたデバイス22をダイシングテープ6から剥離してピックアップするピックアップ工程を実施する。このピックアップ工程は、図11に示すピックアップ装置9を用いて実施する。図11に示すピックアップ装置9は、上記環状のフレーム5を保持するフレーム保持手段91と、該フレーム保持手段91に保持された環状のフレーム5に装着されたダイシングテープ6を拡張するテープ拡張手段92と、ピックアップコレット93を具備している。フレーム保持手段91は、環状のフレーム保持部材911と、該フレーム保持部材911の外周に配設された固定手段としての複数のクランプ912とからなっている。フレーム保持部材911の上面は環状のフレーム5を載置する載置面911aを形成しており、この載置面911a上に環状のフレーム5が載置される。そして、載置面911a上に載置された環状のフレーム5は、クランプ912によってフレーム保持部材911に固定される。このように構成されたフレーム保持手段91は、テープ拡張手段92によって上下方向に進退可能に支持されている。
テープ拡張手段92は、上記環状のフレーム保持部材911の内側に配設される拡張ドラム921を具備している。この拡張ドラム921は、環状のフレーム5の内径より小さく該環状のフレーム5に装着されたダイシングテープ6に貼着される半導体ウエーハ2の外径より大きい内径および外径を有している。また、拡張ドラム921は、下端に支持フランジ922を備えている。図示の実施形態におけるテープ拡張手段92は、上記環状のフレーム保持部材911を上下方向に進退可能な支持手段923を具備している。この支持手段923は、上記支持フランジ922上に配設された複数のエアシリンダ923aからなっており、そのピストンロッド923bが上記環状のフレーム保持部材911の下面に連結される。このように複数のエアシリンダ923aからなる支持手段923は、図12の(a)に示すように環状のフレーム保持部材911を載置面911aが拡張ドラム921の上端と略同一高さとなる基準位置と、図12の(b)に示すように拡張ドラム921の上端より所定量下方の拡張位置の間を上下方向に移動せしめる。
以上のように構成されたピックアップ装置9を用いて実施するピックアップ工程について図12の(a)乃至(c)を参照して説明する。即ち、半導体ウエーハ2(ストリート21に沿って個々のデバイス22に分割されている)が貼着されているダイシングテープ6が装着された環状のフレーム5を、図12の(a)に示すようにフレーム保持手段91を構成するフレーム保持部材911の載置面911a上に載置し、クランプ912によってフレーム保持部材911に固定する。このとき、フレーム保持部材911は図12の(a)に示す基準位置に位置付けられている。次に、テープ拡張手段92を構成する支持手段923としての複数のエアシリンダ923aを作動して、環状のフレーム保持部材911を図12の(b)に示す拡張位置に下降せしめる。従って、フレーム保持部材911の載置面911a上に固定されている環状のフレーム5も下降するため、図12の(b)に示すように環状のフレーム5に装着されたダイシングテープ6は拡張ドラム921の上端縁に接して拡張せしめられる。この結果、ダイシングテープ6に貼着されているデバイス22間が広がり、隙間Sが拡大される。次に、図12の(c)に示すようにピックアップコレット93を作動してデバイス22を吸着し、ダイシングテープ6から剥離してピックアップし、図示しないトレーに搬送する。上述したピックアップ工程においては、上述したようにデバイス22間の隙間Sが広げられているので、隣接するデバイス22と接触することなく容易にピックアップすることができる。なお、デバイス22をダイシングテープ6から剥離してピックアップする際には、ダイシングテープ6に紫外線を照射してダイシングテープ6の粘着力が低下させることにより、デバイス22をダイシングテープ6から容易に剥離することができる。
次に、本発明によるウエーハの加工方法の第2の実施形態について説明する。
なお、本発明によるウエーハの加工方法の第2の実施形態においては、上記第1の実施形態と同様に上記図2に示す保護部材貼着工程が実施された半導体ウエーハ2に対して上記図3乃至図5に示す裏面研削工程を実施するとともに、上記図6に示すウエーハ支持工程を実施する。
なお、本発明によるウエーハの加工方法の第2の実施形態においては、上記第1の実施形態と同様に上記図2に示す保護部材貼着工程が実施された半導体ウエーハ2に対して上記図3乃至図5に示す裏面研削工程を実施するとともに、上記図6に示すウエーハ支持工程を実施する。
上述したように上記図3乃至図5に示す裏面研削工程および上記図6に示すウエーハ支持工程を実施したならば、ダイシングテープ6に貼着された半導体ウエーハ2を、デバイス領域23と外周余剰領域24との境界部に沿って切断する外周余剰領域分離工程を実施する。この外周余剰領域分離工程は、上記図7に示す切削装置7を用いて実施することができる。切削装置7を用いて外周余剰領域分離工程を実施するには、図13に示すようにチャックテーブル71上に半導体ウエーハ2の裏面2bが貼着されたダイシングテープ6側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、半導体ウエーハ2をチャックテーブル71上に保持する。従って、チャックテーブル71上に吸引保持された半導体ウエーハ2は、表面2aが上側となる。なお、図13においてはダイシングテープ6が装着された環状のフレーム5を省いて示しているが、環状のフレーム5はチャックテーブル71に配設された適宜のフレーム保持手段に保持される。
次に、図13に示すようにチャックテーブル71を撮像手段73の直下に位置付ける。そして、撮像手段73および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ2の切削すべき領域を検出するアライメント工程を実行する。即ち撮像手段73および図示しない制御手段は、半導体ウエーハ2のデバイス領域23と外周余剰領域24との境界部(環状の補強部24bの内周)と切削ブレード721との位置合わせを行うためのアライメント作業を遂行する。
以上のようにしてチャックテーブル71上に保持されている半導体ウエーハ2の切削すべき領域を検出するアライメントが行われたならば、半導体ウエーハ2を保持したチャックテーブル71を切削領域に移動する。そして、切削手段72の切削ブレード721をチャックテーブル71に保持された半導体ウエーハ2のデバイス領域23と外周余剰領域24との境界部(環状の補強部24bの内周)の直上に位置付ける。そして、図14の(a)に示すように切削ブレード721を矢印721aで示す方向に回転しつつ2点鎖線で示す待機位置から下方に切り込み送りし、実線で示すように所定の切り込み送り位置に位置付ける。この切り込み送り位置は、切削ブレード521の外周縁がダイシングテープ6に達する位置に設定されている。
次に、上述したように切削ブレード721を矢印721aで示す方向に回転しつつチャックテーブル71を図14の(a)において矢印71aで示す方向に回転せしめる。そして、チャックテーブル71が1回転することにより、図14の(b)に示すようにチャックテーブル71に保持された半導体ウエーハ2はデバイス領域23と外周余剰領域24との境界部(環状の補強部24bの内周)に沿って形成された環状の切削溝27によって切断され、デバイス領域23と外周余剰領域24とが分離される(外周余剰領域分離工程)。
上述したように外周余剰領域分離工程を実施したならば、半導体ウエーハ2が貼着されているダイシングテープ6における環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24の貼着領域に外的刺激を付与してダイシングテープ6の粘着力を低下させ、環状の補強部24bが形成され多外周余剰領域24をダイシングテープ6から剥離して除去する外周余剰領域除去工程を実施する。即ち、図15の(a)に示すように上記外周余剰領域分離工程が実施された半導体ウエーハ2が貼着されているダイシングテープ6における環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24の貼着領域にダイシングテープ6の裏面側(図15の(a)において下側)から紫外線照射器8によって紫外線を照射する(紫外線照射工程)。この結果、ダイシングテープ6における環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24の貼着領域の粘着剤が硬化し粘着力が低下する。このようにして紫外線照射工程を実施したならば、図15の(b)に示すように環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24をダイシングテープ6から剥離する(外周余剰領域剥離工程)。このとき、上記紫外線照射工程を実施することによりダイシングテープ6における環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24の貼着領域の粘着力が低下せしめられているので、外周余剰領域24はダイシングテープ6から容易に剥離することができる。なお、ダイシングテープ6として加熱することによって粘着力が低下するテープを用いた場合には、外周余剰領域剥離工程を実施する前にダイシングテープ6を所定の温度で加熱する。
上述した外周余剰領域除去工程を実施することにより環状の補強部24bが形成された外周余剰領域24をダイシングテープ6から剥離して除去したならば、半導体ウエーハ2の表面側からストリート21に沿って切削ブレードによって切削し、デバイス領域23の裏面に達する分割溝を形成する分割溝形成工程を実施する。この分割溝形成工程は、上記図7に示す切削装置7を用いて実施することができる。切削装置7を用いて分割溝形成工程を実施するには、図16に示すようにチャックテーブル71上に半導体ウエーハ2のデバイス領域23の裏面が貼着されたダイシングテープ6側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、半導体ウエーハ2のデバイス領域23をチャックテーブル71上に保持する。従って、チャックテーブル71上に吸引保持された半導体ウエーハ2のデバイス領域23は、表面が上側となる。なお、図16においてはダイシングテープ6が装着された環状のフレーム5を省いて示しているが、環状のフレーム5はチャックテーブル71に配設された適宜のフレーム保持手段に保持される。
このようにして、半導体ウエーハ2を吸引保持したチャックテーブル71は、図示しない切削送り手段によって撮像手段73の直下に位置付けられる。チャックテーブル71が撮像手段73の直下に位置付けられると、撮像手段73および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ2のデバイス領域23における分割溝を形成すべき切削領域を検出するアライメント作業を実行する。即ち、撮像手段73および図示しない制御手段は、半導体ウエーハ2のデバイス領域23の所定方向に形成されているストリート21と、切削ブレード721との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、切削領域のアライメントを遂行する(アライメント工程)。また、半導体ウエーハ2のデバイス領域23に形成されている上記所定方向に対して直交する方向に延びるストリート21に対しても、同様に切削領域のアライメントが遂行される。
以上のようにしてチャックテーブル71上に保持されている半導体ウエーハ2のデバイス領域23における切削領域のアライメントが行われたならば、半導体ウエーハ2のデバイス領域23を保持したチャックテーブル71を切削領域の切削開始位置に移動する。このとき、図17の(a)に示すように半導体ウエーハ2のデバイス領域23は所定のストリート21の一端(図17の(a)において左端)が切削ブレード721の直下より所定量右側に位置するように位置付けられる。そして、切削ブレード721を図17の(a)において矢印721aで示す方向に所定の回転速度で回転し、2点鎖線で示す待機位置から図示しない切り込み送り機構によって図17の(a)において実線で示すように下方に所定量切り込み送りする。この切り込み送り位置は、図17の(a)に示すように切削ブレード721の外周縁が半導体ウエーハ2のデバイス領域23の裏面(図17の(a)において下面)に達する位置に設定されている。
上述したように切削ブレード721の切り込み送りを実施したならば、切削ブレード721を図17の(a)において矢印721aで示す方向に所定の回転速度で回転しつつ、チャックテーブル71を図17の(a)において矢印X1で示す方向に所定の切削送り速度で移動せしめる。そして、チャックテーブル71に保持された半導体ウエーハ2のデバイス領域23の右端が切削ブレード721の直下を通過したらチャックテーブル71の移動を停止する。この結果、図17の(b)に示すように半導体ウエーハ2のデバイス領域23には、表面から裏面に達する分割溝26が形成される(分割溝形成工程)。
以上のようにして、半導体ウエーハ2のデバイス領域23の所定方向に延在する全てのストリート21に沿って上記分割溝形成工程を実施したならば、チャックテーブル71を90度回動せしめて、上記所定方向に対して直交する方向に延びる各ストリート21に沿って上記分割溝形成工程を実行する。この結果、図18に示すように半導体ウエーハ2のデバイス領域23には全てのストリート21に沿って表面から裏面に達する分割溝26が形成され、デバイス領域23は個々のデバイスに分割される。
次に、ダイシングテープ6に貼着され個々に分割されたデバイス22をダイシングテープ6から剥離してピックアップするピックアップ工程を実施する。このピックアップ工程は、上記図11に示すピックアップ装置9を用いて図12に示すように実施する。
2:半導体ウエーハ
21:ストリート
22:デバイス
23:デバイス領域
24:外周余剰領域
3:保護部材
4:研削装置
41:研削装置のチャックテーブル
42:研削手段
424:研削ホイール
5:環状のフレーム
6:ダイシングテープ
7:切削装置
71:切削装置のチャックテーブル
72:切削手段
721:切削ブレード
8:紫外線照射器
9:ピックアップ装置
21:ストリート
22:デバイス
23:デバイス領域
24:外周余剰領域
3:保護部材
4:研削装置
41:研削装置のチャックテーブル
42:研削手段
424:研削ホイール
5:環状のフレーム
6:ダイシングテープ
7:切削装置
71:切削装置のチャックテーブル
72:切削手段
721:切削ブレード
8:紫外線照射器
9:ピックアップ装置
Claims (4)
- 表面に格子状に形成された複数のストリートによって複数の領域が区画されるとともに該区画された領域にデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハを、複数のストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して該デバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該外周余剰領域に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程と、
該裏面研削工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ダイシングテープに貼着されたウエーハの表面側から該ストリートに沿って切削ブレードによって切削して該デバイス領域の裏面に達する分割溝を形成することにより該デバイス領域を個々のデバイスに分割する分割溝形成工程と、
該分割溝形成工程が実施されたウエーハが貼着されている該ダイシングテープにおける該環状の補強部が形成された該外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与して該ダイシングテープの粘着力を低下させ、該外周余剰領域を該ダイシングテープから剥離して除去する外周余剰領域除去工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 該外周余剰領域除去工程を実施した後に、該ダイシングテープを拡張して個々の分割されたデバイス間の隙間を広げ、デバイスを該ダイシングテープから剥離してピックアップするピックアップ工程を実施する、請求項1記載のウエーハの加工方法。
- 表面に格子状に形成された複数のストリートによって複数の領域が区画されるとともに該区画された領域にデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハを、複数のストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して該デバイス領域の厚さを所定の仕上がり厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該外周余剰領域に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する裏面研削工程と、
該裏面研削工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着され外的刺激によって粘着力が低下するダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ダイシングテープに貼着されたウエーハを該デバイス領域と該外周余剰領域との境界部に沿って切断する外周余剰領域分離工程と、
該外周余剰領域分離工程が実施されたウエーハが貼着されている該ダイシングテープにおける該環状の補強部が形成された該外周余剰領域の貼着領域に外的刺激を付与して該ダイシングテープの粘着力を低下させ、該外周余剰領域を該ダイシングテープから剥離して除去する外周余剰領域除去工程と、
該外周余剰領域除去工程が実施されたウエーハのデバイス領域の表面側から該ストリートに沿って切削ブレードによって切削して該デバイス領域の裏面に達する分割溝を形成することにより該デバイス領域を個々のデバイスに分割する分割溝形成工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 該分割溝形成工程を実施した後に、該ダイシングテープを拡張して個々の分割されたデバイス間の隙間を広げ、デバイスを該ダイシングテープから剥離してピックアップするピックアップ工程を実施する、請求項3記載のウエーハの加工方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008227157A JP2010062375A (ja) | 2008-09-04 | 2008-09-04 | ウエーハの加工方法 |
US12/542,270 US7858496B2 (en) | 2008-09-04 | 2009-08-17 | Wafer processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008227157A JP2010062375A (ja) | 2008-09-04 | 2008-09-04 | ウエーハの加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010062375A true JP2010062375A (ja) | 2010-03-18 |
Family
ID=41726072
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008227157A Pending JP2010062375A (ja) | 2008-09-04 | 2008-09-04 | ウエーハの加工方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7858496B2 (ja) |
JP (1) | JP2010062375A (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110824 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121218 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130528 |