KR20230140371A - 텐션 확인 방법 및 테이프 첩착 장치 - Google Patents

텐션 확인 방법 및 테이프 첩착 장치 Download PDF

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KR20230140371A
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heating
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다카시 우치호
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 프레임에 첩착된 테이프의 텐션이 균일한지의 여부를 용이하게 확인 가능한 텐션 확인 방법을 제공한다.
(해결 수단) 텐션 확인 방법은, 테이프 (T) 를 가열하는 가열 공정과, 가열된 테이프 (T) 를 촬상하여 모니터 (24) 에 표시하는 촬상 공정과, 테이프 (T) 의 뒤틀림에 의해 텐션을 확인하는 확인 공정을 포함한다.

Description

텐션 확인 방법 및 테이프 첩착 장치{TENSION CHECKING METHOD AND TAPE ATTACHING APPARATUS}
본 발명은, 웨이퍼를 수용하는 개구부를 중앙에 구비한 프레임에 첩착된 테이프의 텐션을 확인하는 텐션 확인 방법과, 웨이퍼를 수용하는 개구부를 중앙에 구비한 프레임에 테이프를 첩착하는 테이프 첩착 장치에 관한 것이다.
IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 분할 예정 라인에 의해 구획된 디바이스 영역과, 디바이스 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역이 표면에 형성된 웨이퍼는, 이면이 연삭되어 원하는 두께로 형성된 후, 다이싱 장치, 레이저 가공 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 각 디바이스 칩은 휴대 전화, PC 등의 전기 기기에 이용된다.
본 출원인은, 연삭된 웨이퍼의 반송을 용이하게 하기 위해, 외주 잉여 영역에 대응하는 이면에 링상의 보강부를 잔존시켜 소정의 가공을 실시한 후, 웨이퍼의 이면에 다이싱 테이프를 첩착함과 함께 프레임으로 웨이퍼를 지지하고, 웨이퍼로부터 링상의 보강부를 제거하는 기술을 제안하였다 (예를 들어 특허문헌 1 참조).
그러나, 특허문헌 1 에 개시되어 있는 기술에 있어서는, 외주 잉여 영역에 대응하는 이면에 링상의 보강부가 볼록상으로 형성된 웨이퍼의 이면에 다이싱 테이프를 첩착하여 프레임과 일체로 하는 작업이 곤란함과 함께, 링상의 보강부를 절단하여 웨이퍼로부터 제거하는 것이 곤란하여 생산성이 나쁘다는 문제가 있었다.
그래서, 본 출원인은, 외주 잉여 영역에 대응하는 이면에 링상의 보강부가 볼록상으로 형성된 웨이퍼로부터 볼록상의 보강부를 제거하는 가공 장치를 개발하였다 (예를 들어 특허문헌 2 참조).
이 가공 장치는,
복수의 웨이퍼가 수용된 웨이퍼 카세트가 재치되는 웨이퍼 카세트 테이블과,
웨이퍼 카세트 테이블에 재치된 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼를 반출하는 웨이퍼 반출 수단과,
웨이퍼 반출 수단에 의해 반출된 웨이퍼의 표면측을 지지하는 웨이퍼 테이블과,
웨이퍼를 수용하는 개구부가 형성된 링상의 프레임을 복수 수용하는 프레임 수용 수단과,
프레임 수용 수단으로부터 프레임을 반출하는 프레임 반출 수단과,
프레임 반출 수단에 의해 반출된 프레임을 지지하는 프레임 테이블과,
프레임 테이블의 상방에 배치 형성되고 프레임에 테이프를 첩착하는 테이프 첩착 수단과,
테이프가 첩착된 프레임을 웨이퍼 테이블까지 반송하고 웨이퍼 테이블에 지지된 웨이퍼의 이면에 프레임의 개구부를 위치시켜 테이프 부착 프레임을 웨이퍼 테이블에 재치하는 테이프 부착 프레임 반송 수단과,
테이프 부착 프레임의 테이프를 웨이퍼의 이면에 압착하는 테이프 압착 수단과,
테이프 압착 수단에 의해 테이프 부착 프레임의 테이프와 웨이퍼의 이면이 압착된 프레임 유닛을 웨이퍼 테이블로부터 반출하는 프레임 유닛 반출 수단과,
프레임 유닛 반출 수단에 의해 반출된 프레임 유닛의 웨이퍼로부터 링상의 보강부를 절단하여 제거하는 보강부 제거 수단과,
링상의 보강부가 제거된 링이 없는 유닛을 보강부 제거 수단으로부터 반출하는 링이 없는 유닛 반출 수단과,
링이 없는 유닛 반출 수단에 의해 반출된 링이 없는 유닛을 수용하는 프레임 카세트가 재치되는 프레임 카세트 테이블을 포함한다.
일본 공개특허공보 2010-62375호 일본 공개특허공보 2022-019392호
그러나, 테이프 첩착 수단에 있어서 프레임에 첩착된 테이프의 텐션이 균일한지의 여부의 확인을 할 수 없다는 문제가 있다. 프레임에 첩착된 테이프의 텐션이 균일하지 않으면, 테이프 부착 프레임의 테이프에 압착된 웨이퍼를 개개의 디바이스 칩으로 분할할 때에 지장을 초래할 우려가 있다.
본 발명의 과제는, 프레임에 첩착된 테이프의 텐션이 균일한지의 여부를 용이하게 확인 가능한 텐션 확인 방법 및 테이프 첩착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 상기 과제를 해결하는 이하의 텐션 확인 방법이 제공된다. 즉,
「웨이퍼를 수용하는 개구부를 중앙에 구비한 프레임에 첩착된 테이프의 텐션을 확인하는 텐션 확인 방법으로서,
테이프를 가열하는 가열 공정과,
가열된 테이프를 촬상하여 모니터에 표시하는 촬상 공정과,
테이프의 뒤틀림에 의해 텐션을 확인하는 확인 공정을 포함하는 텐션 확인 방법」이 제공된다.
바람직하게는, 그 가열 공정은, 가열된 테이블에, 테이프가 첩착된 프레임이 재치된다.
또, 본 발명에 의하면, 상기 과제를 해결하는 이하의 테이프 첩착 장치가 제공된다. 즉,
「웨이퍼를 수용하는 개구부를 중앙에 구비한 프레임에 테이프를 첩착하는 테이프 첩착 장치로서,
프레임을 지지하는 프레임 지지 테이블과, 그 프레임 지지 테이블을 승강시키는 승강 수단과, 그 프레임 지지 테이블에 대향하여 배치 형성된 테이프 첩착 수단을 적어도 구비하고,
그 테이프 첩착 수단은, 테이프를 송출하는 테이프 송출부와, 사용이 완료된 테이프를 권취하는 테이프 권취부와, 그 테이프 송출부와 그 테이프 권취부 사이에 배치 형성되고 송출된 테이프를 그 프레임 지지 테이블에 지지된 프레임의 일단으로부터 타단을 향하여 가압하면서 이동하여 첩착하는 가압 롤러와, 프레임에 첩착된 테이프를 가열하는 가열 수단과, 테이프를 촬상하는 카메라와, 모니터를 구비하고,
그 가열 수단에 의해 가열된 테이프를 그 카메라에 의해 촬상하여, 테이프의 뒤틀림을 그 모니터에 표시하는 테이프 첩착 장치」가 제공된다.
그 가열 수단은, 테이프가 첩착된 프레임이 재치되는 가열된 테이블인 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 프레임에 첩착된 테이프의 텐션이 균일한지의 여부를 용이하게 확인할 수 있다. 따라서, 테이프 부착 프레임의 테이프에 압착된 웨이퍼를 개개의 디바이스 칩으로 분할할 때에 지장을 초래하지 않는다.
도 1 은, 본 발명에 따라 구성된 테이프 첩착 장치의 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 테이프 첩착 수단의 사시도이다.
도 3 은, 도 1 에 나타내는 테이프 첩착 수단의 모식도이다.
도 4 는, 가압 롤러를 가압 위치에 위치시켜, 프레임의 일단에 테이프를 첩착한 상태를 나타내는 모식도이다.
도 5 는, 도 4 에 나타내는 상태로부터 가압 롤러를 이동시킨 상태를 나타내는 모식도이다.
도 6 은, 도 5 에 나타내는 상태로부터 가압 롤러를 더욱 이동시킨 상태를 나타내는 모식도이다.
도 7 은, 테이프 부착 프레임 반송 수단을 테이프 부착 프레임의 상방에 위치시킨 상태를 나타내는 사시도이다.
도 8 은, 촬상 공정을 나타내는 모식도이다.
이하, 본 발명의 텐션 확인 방법 및 테이프 첩착 장치의 바람직한 실시형태에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.
(테이프 첩착 장치 (2))
먼저, 본 발명의 테이프 첩착 장치부터 설명한다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 도시된 실시형태의 테이프 첩착 장치 (2) 는, 프레임 (F) 을 지지하는 프레임 지지 테이블 (4) 과, 프레임 지지 테이블 (4) 을 승강시키는 승강 수단 (6) 과, 프레임 지지 테이블 (4) 에 대향하여 배치 형성된 테이프 첩착 수단 (8) 과, 테이프 첩착 장치 (2) 의 작동을 제어하는 제어 수단 (10) 을 구비한다.
(승강 수단 (6))
승강 수단 (6) 은, 프레임 지지 테이블 (4) 을 자유롭게 승강시킬 수 있도록 지지하는 가이드 부재 (12) 와, 가이드 부재 (12) 에 장착된 승강 기구 (도시하지 않음) 를 포함한다. 승강 기구는, 예를 들어, 프레임 지지 테이블 (4) 에 연결되고 상하 방향으로 연장되는 볼 나사와, 이 볼 나사를 회전시키는 모터를 갖는 구성이면 된다. 그리고, 승강 수단 (6) 은, 승강 기구를 작동시킴으로써, 가이드 부재 (12) 를 따라 프레임 지지 테이블 (4) 을 승강시키도록 되어 있다.
(테이프 첩착 수단 (8))
테이프 첩착 수단 (8) 은, 테이프 (T) 를 송출하는 테이프 송출부 (14) 와, 사용이 완료된 테이프 (T) 를 권취하는 테이프 권취부 (16) 와, 테이프 송출부 (14) 와 테이프 권취부 (16) 사이에 배치 형성되고, 송출된 테이프 (T) 를 프레임 지지 테이블 (4) 에 지지된 프레임 (F) 의 일단으로부터 타단을 향하여 가압하면서 이동하여 첩착하는 가압 롤러 (18) 와, 프레임 (F) 에 첩착된 테이프 (T) 를 가열하는 가열 수단 (20) 과, 테이프 (T) 를 촬상하는 카메라 (22) 와, 모니터 (24) 를 구비한다.
(테이프 송출부 (14))
도 2 를 참조하여 설명하면, 테이프 송출부 (14) 는, 사용 전의 테이프 (T) 가 원통상으로 감겨진 롤 테이프 (R) 를 지지하는 지지 롤러 (26) 와, 지지 롤러 (26) 의 하방에 배치된 송출 롤러 (28) 와, 송출 롤러 (28) 를 회전시키는 모터 (도시하지 않음) 와, 송출 롤러 (28) 의 회전에 수반하여 회전하는 종동 롤러 (30) 를 포함한다.
테이프 송출부 (14) 는, 모터에 의해 송출 롤러 (28) 와 함께 종동 롤러 (30) 를 회전시킴으로써, 송출 롤러 (28) 와 종동 롤러 (30) 사이에 끼워 넣은 테이프 (T) 를 롤 테이프 (R) 로부터 송출하도록 되어 있다. 또, 송출 롤러 (28) 와 종동 롤러 (30) 사이를 통과한 테이프 (T) 로부터는 박리지 (P) 가 박리되고, 박리된 박리지 (P) 는, 박리지 롤러 (32) 에 권취되어 회수된다.
(테이프 권취부 (16))
테이프 권취부 (16) 는, 사용이 완료된 테이프 (T) 를 권취하는 권취 롤러 (34) 와, 권취 롤러 (34) 를 회전시키는 모터 (도시하지 않음) 와, 송출 롤러 (28) 와 권취 롤러 (34) 사이에 설치된 1 쌍의 가이드 롤러 (36) 를 포함한다.
테이프 권취부 (16) 에 있어서는, 모터에 의해 권취 롤러 (34) 를 회전시킴으로써, 프레임 (F) 에 첩부한 부분에 해당하는 원형의 개구부 (TO) 가 형성된 사용이 완료된 테이프 (T) 를, 1 쌍의 가이드 롤러 (36) 에 의해 가이드하면서, 권취 롤러 (34) 에 의해 권취하도록 되어 있다.
(가압 롤러 (18))
도 3 및 도 4 를 참조하여 설명하면, 가압 롤러 (18) 는, 가압 롤러 위치 부여 수단 (도시하지 않음) 에 의해 승강되도록 되어 있고, 도 3 에 나타내는 상측 대기 위치와, 도 4 에 나타내는 하측 가압 위치에 위치된다. 또, 가압 롤러 (18) 는, 하측 가압 위치에 위치된 상태에서, 도시하지 않은 가압 롤러 이동 수단에 의해 Y 축 방향으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다.
또한, Y 축 방향은, 도 1 에 화살표 Y 로 나타내는 방향이다. 또, 도 1 에 화살표 X 로 나타내는 X 축 방향은 Y 축 방향에 직교하는 방향이고, 도 1 에 화살표 Z 로 나타내는 Z 축 방향은 X 축 방향 및 Y 축 방향에 직교하는 상하 방향이다. X 축 방향 및 Y 축 방향이 규정하는 XY 평면은 실질상 수평이다.
(가열 수단 (20))
도 1 에 나타내는 바와 같이, 가열 수단 (20) 은, 프레임 지지 테이블 (4) 과 Y 축 방향으로 간격을 두고 배치된 가열 테이블 (38) 과, 가열 테이블 (38) 에 내장된 히터 (도시하지 않음) 를 포함한다. 그리고, 가열 수단 (20) 에 있어서는, 테이프 (T) 가 첩착된 프레임 (F) (이하「테이프 부착 프레임 (F')」이라고 한다) 이 가열 테이블 (38) 의 상면에 재치되면, 히터를 작동시켜 가열 테이블 (38) 의 상면 온도를 올림으로써, 프레임 (F) 에 첩착된 테이프 (T) 를 가열하도록 되어 있다.
(카메라 (22))
도 1 을 참조하여 설명을 계속하면, 도시된 실시형태의 카메라 (22) 는, 테이프 부착 프레임 (F') 을 프레임 지지 테이블 (4) 로부터 가열 수단 (20) 에 반송하는 테이프 부착 프레임 반송 수단 (40) 에 장착되어 있다.
테이프 부착 프레임 반송 수단 (40) 은, Y 축 방향으로 연장되는 Y 축 가이드 부재 (42) 와, Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 Y 축 가이드 부재 (42) 에 지지된 Y 축 가동 부재 (44) 와, Y 축 가동 부재 (44) 를 Y 축 방향으로 이동시키는 Y 축 이송 수단 (도시하지 않음) 과, Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 Y 축 가동 부재 (44) 에 지지된 Z 축 가동 부재 (46) 와, Z 축 가동 부재 (46) 를 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 축 이송 수단 (도시하지 않음) 을 포함한다.
Z 축 가동 부재 (46) 는, Z 축 이송 수단에 연결된 아암 (48) 과, 아암 (48) 의 선단에 배치된 기판 (50) 과, 기판 (50) 의 하면에 형성된 복수의 흡인 패드 (52) 를 갖고, 각 흡인 패드 (52) 는 흡인 수단 (도시하지 않음) 에 접속되어 있다. 기판 (50) 에는, 관통공 (50a) 이 형성되고, 이 관통공 (50a) 에 카메라 (22) 가 끼워 넣어져 있다.
(모니터 (24))
모니터 (24) 는, 카메라 (22) 에 전기적으로 접속되어 있고, 카메라 (22) 에 의해 촬상된 화상을 표시하도록 되어 있다.
(절단 기구 (54))
도 2 에 나타내는 바와 같이, 도시된 실시형태의 테이프 첩착 수단 (8) 은, 추가로, 프레임 (F) 의 외주에 비어져 나온 테이프 (T) 를 절단하는 절단 기구 (54) 를 구비하고 있다. 절단 기구 (54) 는, Z 축 방향으로 연장되는 Z 축 가이드 부재 (56) 와, Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 Z 축 가이드 부재 (56) 에 지지된 Z 축 가동 부재 (58) 와, Z 축 가동 부재 (58) 를 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 축 이송 수단 (도시하지 않음) 을 포함한다.
또, 절단 기구 (54) 는, Z 축 가동 부재 (58) 의 선단 하면에 고정된 모터 (60) 와, Z 축 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 모터 (60) 에 의해 회전되는 아암 (62) 을 포함한다. 아암 (62) 의 하면에는, 서로 간격을 두고 제 1·제 2 수하편 (垂下片) (64a, 64b) 이 부설되어 있다. 제 1 수하편 (64a) 에는, Z 축 방향과 직교하는 축선을 중심으로 하여 자유롭게 회전할 수 있도록 원형의 커터 (66) 가 지지되고, 제 2 수하편 (64b) 에는, Z 축 방향과 직교하는 축선을 중심으로 하여 자유롭게 회전할 수 있도록 누름 롤러 (68) 가 지지되어 있다.
(제어 수단 (10))
제어 수단 (10) 은, 제어 프로그램에 따라 연산 처리하는 중앙 처리 장치 (CPU) 와, 제어 프로그램 등을 격납하는 리드 온리 메모리 (ROM) 와, 연산 결과 등을 격납하는 읽고 쓰기 가능한 랜덤 액세스 메모리 (RAM) 를 갖는 컴퓨터로 구성되어 있다.
(프레임 (F), 테이프 (T))
상기 서술한 테이프 첩착 장치 (2) 에 의해 테이프 (T) 가 첩착되는 프레임 (F) 은, 환상이고, 원판상의 웨이퍼 (도시하지 않음) 를 수용하는 원형의 개구부 (Fa) 를 중앙에 구비하고 있다. 테이프 (T) 는, 편면에 점착층 (풀층) 이 형성된 점착 테이프여도 되고, 혹은 점착층을 갖고 있지 않은 열 압착 시트여도 된다. 열 압착 시트는, 열가소성의 합성 수지 (예를 들어, 폴리올레핀계 수지) 의 시트이고, 융점 근방의 온도까지 가열되면, 연화 내지 용융되어 점착력을 발휘하는 시트이다.
또, 테이프 (T) 가 열 압착 시트인 경우에는, 프레임 지지 테이블 (4) 또는 가압 롤러 (18) 의 적어도 일방에, 히터 및 온도 센서 (모두 도시하지 않음) 가 내장되고, 프레임 (F) 에 열 압착 시트가 첩착될 때에, 프레임 지지 테이블 (4) 또는 가압 롤러 (18) 의 적어도 일방이, 열 압착 시트의 융점 근방의 온도까지 가열된다.
(테이프 첩착 방법)
다음으로, 상기 서술한 테이프 첩착 장치 (2) 를 사용하여 프레임 (F) 에 테이프 (T) 를 첩착하는 방법에 대해 설명한다.
프레임 (F) 에 테이프 (T) 를 첩착할 때에는, 먼저, 프레임 지지 테이블 (4) 에 프레임 (F) 이 올려지기 전에, 프레임 (F) 을 수취 가능한 위치 (예를 들어, 도 2 에 나타내는 위치) 에 프레임 지지 테이블 (4) 을 위치시킴과 함께, 가압 롤러 (18) 를 상측 대기 위치에 위치시킨다.
또, 롤 테이프 (R) 로부터 테이프 (T) 를 송출하고, 박리지 (P) 를 박리한 테이프 (T) 를 느슨하게 하지 않고 펼친 상태에서, 프레임 지지 테이블 (4) 의 상방에 위치시킨다. 이 때, 프레임 지지 테이블 (4) 의 상방에 위치하는 테이프 (T) 의 점착면을 아래를 향하게 한다.
이어서, 복수의 프레임 (F) 을 수용하고 있는 프레임 수용 수단 (도시하지 않음) 으로부터 프레임 반출 수단 (도시하지 않음) 에 의해 반출된 프레임 (F) 이 프레임 지지 테이블 (4) 에 올려졌으면, 제어 수단 (10) 은, 승강 수단 (6) 및 가압 롤러 위치 부여 수단을 작동시킴으로써, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 프레임 지지 테이블 (4) 을 첩착 개시 위치에 위치시킴과 함께, 가압 롤러 (18) 를 하측 가압 위치에 위치시켜, 테이프 (T) 에 텐션을 가하여 프레임 (F) 의 일단에 테이프 (T) 를 첩착한다.
상기와 같이, 프레임 지지 테이블 (4) 을 첩착 개시 위치에 위치시킴과 함께, 가압 롤러 (18) 를 가압 위치에 위치시켰을 때에는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (T) 는, 가압 롤러 (18) 로부터 테이프 권취부 (16) 의 하측의 가이드 롤러 (36) 를 향하여 앙각 (α) 을 이룬다.
이어서, 가압 롤러 (18) 로 테이프 (T) 를 프레임 (F) 에 누르면서, 가압 롤러 (18) 를 프레임 (F) 의 타단을 향하여 Y 축 방향으로 이동시킨다. 이로써, 거의 균일한 텐션을 테이프 (T) 에 가한 상태에서, 테이프 (T) 를 프레임 (F) 에 첩착할 수 있다.
가압 롤러 (18) 를 이동시킬 때에는, 가압 롤러 (18) 의 이동에 동기하여 프레임 지지 테이블 (4) 을 상승시켜, 테이프 (T) 에 가해지는 텐션을 일정하게 유지한다. 구체적으로는, 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 앙각 (α) 이 일정해지도록, 가압 롤러 (18) 의 이동에 동기하여 프레임 지지 테이블 (4) 이 점차 상승하도록 제어 수단 (10) 에 의해 제어한다.
또한, 테이프 (T) 가 열 압착 시트인 경우에는, 프레임 지지 테이블 (4) 의 상면의 온도 또는 가압 롤러 (18) 의 외주면의 온도를, 테이프 (T) 가 연화 내지 용융되는 온도로 조정한 후에, 가압 롤러 (18) 에 의해 일정한 텐션을 테이프 (T) 에 가하면서, 가압 롤러 (18) 를 Y 축 방향으로 굴림으로써, 테이프 (T) 를 프레임 (F) 에 열 압착할 수 있다. 물론, 테이프 (T) 를 열 압착할 때에도, 앙각 (α) 이 일정해지도록, 가압 롤러 (18) 의 이동에 동기하여 프레임 지지 테이블 (4) 을 점차 상승시킨다.
테이프 (T) 를 프레임 (F) 에 첩착한 후, 절단 기구 (54) 의 커터 (66) 및 누름 롤러 (68) 를 하강시켜, 프레임 (F) 상의 테이프 (T) 에 커터 (66) 를 갖다 댐과 함께, 누름 롤러 (68) 로 테이프 (T) 위에서부터 프레임 (F) 을 누른다. 이어서, 모터 (60) 에 의해 아암 (62) 을 회전시켜, 커터 (66) 및 누름 롤러 (68) 를 프레임 (F) 을 따라 원을 그리듯이 이동시킨다. 이로써, 프레임 (F) 의 외주에 비어져 나온 테이프 (T) 를 프레임 (F) 을 따라 절단할 수 있다.
또, 누름 롤러 (68) 로 테이프 (T) 위에서부터 프레임 (F) 을 누르고 있으므로, 테이프 (T) 를 절단하고 있을 때에 프레임 (F) 이나 테이프 (T) 의 위치 어긋남이 방지된다. 또한, 원형의 개구부 (TO) 가 형성된 사용이 완료된 테이프 (T) 는, 테이프 권취부 (16) 에 의해 권취된다.
(텐션 확인 방법)
다음으로, 테이프 첩착 장치 (2) 를 사용하여 프레임 (F) 에 첩착한 테이프 (T) 의 텐션을 확인하는 방법에 대해 설명한다.
(반송 공정)
상기와 같이 프레임 (F) 에 테이프 (T) 를 첩착했으면, 테이프 부착 프레임 (F') 을 가열 수단 (20) 에 반송하는 테이프 부착 프레임 반송 공정을 실시한다.
테이프 부착 프레임 반송 공정에서는, 먼저, 테이프 부착 프레임 반송 수단 (40) 에 의해 테이프 부착 프레임 (F') 을 반출 가능한 위치까지 프레임 지지 테이블 (4) 을 하강시킨다. 이어서, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 테이프 부착 프레임 반송 수단 (40) 의 기판 (50) 을 테이프 부착 프레임 (F') 의 상방에 위치시킨다. 이어서, 기판 (50) 을 하강시켜, 테이프 부착 프레임 (F') 의 상면에 흡인 패드 (52) 를 접촉시킨다.
이어서, 흡인 수단을 작동시켜 흡인 패드 (52) 에 흡인력을 생성하고, 테이프 부착 프레임 (F') 을 흡인 패드 (52) 로 흡인 유지한다. 이어서, 흡인 패드 (52) 로 흡인 유지한 테이프 부착 프레임 (F') 을 프레임 지지 테이블 (4) 로부터 가열 테이블 (38) 에 반송한다. 그리고, 가열 테이블 (38) 의 상면에 테이프 부착 프레임 (F') 을 접촉시켰으면, 흡인 패드 (52) 의 흡인력을 해제하고, 테이프 부착 프레임 (F') 을 가열 테이블 (38) 에 재치한다.
(가열 공정)
테이프 부착 프레임 반송 공정을 실시한 후, 테이프 (T) 를 가열하는 가열 공정을 실시한다. 가열 공정에서는, 히터를 작동시켜 가열 테이블 (38) 의 상면 온도를 올려, 프레임 (F) 에 첩착된 테이프 (T) 를 가열한다. 테이프 (T) 의 가열 온도는, 가열에 의해 테이프 (T) 의 고응력 부분에 뒤틀림이 발생하는 온도이며, 테이프 (T) 의 재료나 두께에 따라 적절한 온도 (예를 들어, 40 ∼ 100 ℃) 로 설정한다. 또한, 테이프 부착 프레임 (F') 이 가열 테이블 (38) 에 반송되기 전에, 가열 테이블 (38) 의 상면 온도를 테이프 (T) 의 가열 온도로 미리 조정해 두어도 된다.
(촬상 공정)
가열 공정을 실시한 후, 가열된 테이프 (T) 를 촬상하여 모니터 (24) 에 표시하는 촬상 공정을 실시한다. 도시된 실시형태에서는, 테이프 부착 프레임 반송 수단 (40) 의 기판 (50) 에 카메라 (22) 가 장착되어 있으므로, Z 축 가동 부재 (46) 를 적절히 승강시켜, 테이프 부착 프레임 (F') 의 전체가 모니터 (24) 에 들어가도록 카메라 (22) 의 촬상 영역을 조정한다.
(확인 공정)
촬상 공정을 실시한 후, 테이프 (T) 의 뒤틀림에 의해 텐션을 확인하는 확인 공정을 실시한다.
테이프 (T) 의 텐션이 균일하지 않은 경우에는, 테이프 (T) 의 재료나 두께에 따른 적절한 온도에서 가열하면, 테이프 (T) 의 고응력 부분에 뒤틀림이 발생한다. 뒤틀림이 발생한 부분을 도 8 에 부호 70 으로 나타낸다. 이와 같은 경우에는, 테이프 부착 프레임 (F') 의 테이프 (T) 에 웨이퍼를 압착하고, 그 후, 테이프 부착 프레임 (F') 상의 웨이퍼를 개개의 디바이스 칩으로 분할할 때에 지장을 초래할 우려가 있다. 그 때문에, 뒤틀린 테이프 (T) 를 프레임 (F) 으로부터 떼어 내고, 새로운 테이프 (T) 를 프레임 (F) 에 첩착한다. 한편, 테이프 (T) 의 텐션이 균일한 경우에는, 가열해도 테이프 (T) 에는 뒤틀림은 발생하지 않는다.
이와 같이, 도시된 실시형태에 있어서는, 프레임 (F) 에 첩착한 테이프 (T) 를 가열하고, 이어서, 가열된 테이프 (T) 를 촬상하여 모니터 (24) 에 표시하고, 그리고, 테이프 (T) 의 뒤틀림에 의해 텐션을 확인하므로, 프레임 (F) 에 첩착된 테이프 (T) 의 텐션이 균일한지의 여부를 용이하게 확인할 수 있다.
따라서, 프레임 (F) 에 테이프 (T) 가 적정하게 첩착되어 있지 않은 것이, 후공정에 반송되는 것이 방지되어, 테이프 부착 프레임 (F') 의 테이프 (T) 에 압착된 웨이퍼를 개개의 디바이스 칩으로 분할할 때에 지장을 초래하지 않는다.
2 : 테이프 첩착 장치
4 : 프레임 지지 테이블
6 : 승강 수단
8 : 테이프 첩착 수단
14 : 테이프 송출부
16 : 테이프 권취부
18 : 가압 롤러
20 : 가열 수단
22 : 카메라
24 : 모니터
38 : 가열 테이블
F : 프레임
Fa : 프레임의 개구부
T : 테이프

Claims (4)

  1. 웨이퍼를 수용하는 개구부를 중앙에 구비한 프레임에 첩착된 테이프의 텐션을 확인하는 텐션 확인 방법으로서,
    테이프를 가열하는 가열 공정과,
    가열된 테이프를 촬상하여 모니터에 표시하는 촬상 공정과,
    테이프의 뒤틀림에 의해 텐션을 확인하는 확인 공정을 포함하는 텐션 확인 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 가열 공정은, 가열된 테이블에, 테이프가 첩착된 프레임이 재치되는 텐션 확인 방법.
  3. 웨이퍼를 수용하는 개구부를 중앙에 구비한 프레임에 테이프를 첩착하는 테이프 첩착 장치로서,
    프레임을 지지하는 프레임 지지 테이블과, 그 프레임 지지 테이블을 승강시키는 승강 수단과, 그 프레임 지지 테이블에 대향하여 배치 형성된 테이프 첩착 수단을 적어도 구비하고,
    그 테이프 첩착 수단은, 테이프를 송출하는 테이프 송출부와, 사용이 완료된 테이프를 권취하는 테이프 권취부와, 그 테이프 송출부와 그 테이프 권취부 사이에 배치 형성되고 송출된 테이프를 그 프레임 지지 테이블에 지지된 프레임의 일단으로부터 타단을 향하여 가압하면서 이동하여 첩착하는 가압 롤러와, 프레임에 첩착된 테이프를 가열하는 가열 수단과, 테이프를 촬상하는 카메라와, 모니터를 구비하고,
    그 가열 수단에 의해 가열된 테이프를 그 카메라에 의해 촬상하여, 테이프의 뒤틀림을 그 모니터에 표시하는 테이프 첩착 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    그 가열 수단은, 테이프가 첩착된 프레임이 재치되는 가열된 테이블인 테이프 첩착 장치.
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