JP2023113210A - テープ貼着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フレームからテープが剥離して落下することを防止可能なテープ貼着装置を提供する。【解決手段】テープ貼着装置２は、フレームＦを支持するフレーム支持部４と、フレーム支持部４に支持されたフレームＦにテープＴを貼着するテープ貼着手段と、フレームＦに貼着されたテープＴを撮像するカメラ８と、カメラ８によって撮像した画像に基づいて、フレームＦにテープＴが適正に貼着されているか否かを判定する判定手段とを含む。【選択図】図７

Description

本発明は、ウエーハを収容する開口部を中央に備えたフレームにテープを貼着するテープ貼着装置に関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

レーザー加工装置には、ウエーハに対して透過性を有する波長のレーザー光線をウエーハの内部に集光して分割予定ラインに沿って改質層を形成するタイプのものがある。そして、分割予定ラインに沿って改質層が形成されたウエーハは、たとえば本出願人が開発した拡張装置によって、個々のデバイスチップに分割される（特許文献１参照）。

特許文献１に開示されている拡張装置は、ウエーハにテープを貼着する貼着手段と、ウエーハが貼着されたテープを拡張して改質層に沿って個々のデバイスチップに分割する分割手段と、個々のデバイスチップに分割されたウエーハが貼着されたテープを、ウエーハを収容する開口部を中央に備えたフレームに貼着するフレーム貼着手段とが配設されていて、効率よくウエーハを個々のデバイスチップに分割すると共に、テープをフレームに貼着することができる。

ところで、本出願人は、外周余剰領域に対応する裏面にリング状の補強部を残存させたウエーハとフレームとをテープによって一体にすると共に、効率よくウエーハの外周からリング状の補強部を除去する加工装置を開発し、２０２０年７月１７日に特許出願をした（特願２０２０－１２３２０１号）。

この加工装置は、フレームを支持するフレームテーブルと、フレームテーブルの上方に配設されフレームにテープを貼着するテープ貼着手段と、テープが貼着されたテープ付フレームをウエーハテーブルまで搬送しウエーハテーブルに支持されたウエーハの裏面にテープ付フレームのテープを圧着するテープ圧着手段と、ウエーハの外周に形成された補強部にレーザー光線を照射して補強部を除去する補強部除去手段と、を備えている。

特開２０１９－１１０１８８号公報

特許文献１に開示されている拡張装置においては、フレーム貼着手段によってフレームにテープを適正に貼着できない場合がある。このような場合には、フレームからテープが剥離して落下するおそれがある。

また、上記加工装置においても、テープ貼着手段によってフレームにテープを適正に貼着できない場合がある。このような場合には、やはり、フレームからテープが剥離して落下するおそれがある。

本発明の課題は、フレームからテープが剥離して落下することを防止可能なテープ貼着装置を提供することである。

本発明によれば、上記課題を解決する以下のテープ貼着装置が提供される。すなわち、
「ウエーハを収容する開口部を中央に備えたフレームにテープを貼着するテープ貼着装置であって、
フレームを支持するフレーム支持部と、該フレーム支持部に支持されたフレームにテープを貼着するテープ貼着手段と、フレームに貼着されたテープを撮像するカメラと、該カメラによって撮像した画像に基づいて、フレームにテープが適正に貼着されているか否かを判定する判定手段とを含むテープ貼着装置」が提供される。

好ましくは、該判定手段は、該画像を二値化処理し、黒色部分と白色部分との比率によってフレームにテープが適正に貼着されているか否かを判定する。

該判定手段は、該カメラで撮像した撮像領域ごとに該画像を二値化処理し、黒色部分と白色部分との比率によってフレームにテープが適正に貼着されているか否かを該撮像領域ごとに判定するのが望ましい。

本発明のテープ貼着装置は、フレームを支持するフレーム支持部と、該フレーム支持部に支持されたフレームにテープを貼着するテープ貼着手段と、フレームに貼着されたテープを撮像するカメラと、該カメラによって撮像した画像に基づいて、フレームにテープが適正に貼着されているか否かを判定する判定手段とを含むので、フレームからテープが剥離して落下することが防止される。

本発明に従って構成されたテープ貼着装置の第一の実施形態を示す斜視図。 図１に示すテープ貼着装置の模式図。 押圧ローラを押圧位置に位置づけて、フレームの一端にテープを貼着した状態を示す模式図。 図３に示す状態から押圧ローラを移動させた状態を示す模式図。 図４に示す状態から押圧ローラをさらに移動させた状態を示す模式図。 フレームに貼着されたテープをカメラで撮像している状態を示す模式図。 フレームに貼着されたテープをカメラで撮像した画像の模式図。 （ａ）図７中の破線Ａで示す撮像領域に相当する画像の模式図、（ｂ）図７中の破線Ｂで示す撮像領域に相当する画像の模式図、（ｃ）図７中の破線Ｃで示す撮像領域に相当する画像の模式図、（ｄ）図７中の破線Ｄで示す撮像領域に相当する画像の模式図。 （ａ）本発明に従って構成されたテープ貼着装置の第二の実施形態を示す斜視図、（ｂ）（ａ）におけるＢ－Ｂ矢視図。

（第一の実施形態）
まず、本発明に従って構成されたテープ貼着装置の第一の実施形態について、図１ないし図８を参照して説明する。

（テープ貼着装置２）
図１に示すとおり、全体を符号２で示すテープ貼着装置は、フレームＦを支持するフレーム支持部４と、フレーム支持部４に支持されたフレームＦにテープＴを貼着するテープ貼着手段６と、フレームＦに貼着されたテープＴを撮像するカメラ８と、カメラ８によって撮像した画像に基づいて、フレームＦにテープＴが適正に貼着されているか否かを判定する判定手段１０とを含む。

（フレーム支持部４）
フレーム支持部４は、フレームＦが載せられる支持テーブル１２と、支持テーブル１２を昇降する昇降手段１４とを備える。

昇降手段１４は、支持テーブル１２を昇降自在に支持するガイド部材１６と、ガイド部材１６に装着された昇降機構（図示していない。）とを含む。昇降機構は、たとえば、支持テーブル１２に連結され上下方向に延びるボールねじと、このボールねじを回転させるモータとを有する構成でよい。昇降手段１４は、昇降機構を作動することにより、ガイド部材１６に沿って支持テーブル１２を昇降させる。

（テープ貼着手段６）
テープ貼着手段６は、テープＴを送り出すテープ送り出し部１８と、使用済みのテープＴを巻き取るテープ巻き取り部２０と、テープ送り出し部１８とテープ巻き取り部２０との間に配設され、送り出されたテープＴを支持テーブル１２に支持されたフレームＦの一端から他端に向けて押圧しながら移動して貼着する押圧ローラ２２とを備える。

（テープ送り出し部１８）
テープ送り出し部１８は、使用前のテープＴが円筒状に巻かれたロールテープＲＴを支持する支持ローラ２４と、支持ローラ２４の下方に配置された送り出しローラ２６と、送り出しローラ２６を回転させるモータ（図示していない。）と、送り出しローラ２６の回転に伴って回転する従動ローラ２８とを含む。

テープ送り出し部１８は、モータによって送り出しローラ２６と共に従動ローラ２８を回転させることによって、送り出しローラ２６と従動ローラ２８とで挟み込んだテープＴをロールテープＲＴから送り出すようになっている。また、送り出しローラ２６と従動ローラ２８との間を通過したテープＴからは剥離紙Ｐが剥離され、剥離された剥離紙Ｐは、剥離紙ローラ３０に巻き取られて回収される。

（テープ巻き取り部２０）
テープ巻き取り部２０は、使用済みのテープＴを巻き取る巻き取りローラ３２と、巻き取りローラ３２を回転させるモータ（図示していない。）と、送り出しローラ２６と巻き取りローラ３２との間に設置された一対のガイドローラ３４とを含む。

テープ巻き取り部２０においては、モータによって巻き取りローラ３２を回転させることにより、フレームＦに貼り付けた部分に当たる円形の開口部Ｔａが形成された使用済みのテープＴを、一対のガイドローラ３４によってガイドしつつ、巻き取りローラ３２によって巻き取るようになっている。

（押圧ローラ２２）
図２および図３を参照して説明すると、押圧ローラ２２は、押圧ローラ位置づけ手段（図示していない）によって昇降されるようになっており、図２に示す上側待機位置と、図３に示す下側押圧位置とに位置づけられる。また、押圧ローラ２２は、下側押圧位置に位置づけられた状態で、図示していない押圧ローラ移動手段によってＹ軸方向に移動させられる。

なお、Ｙ軸方向は、図１に矢印Ｙで示す方向である。また、図１に矢印Ｘで示すＸ軸方向はＹ軸方向に直交する方向であり、図１に矢印Ｚで示すＺ軸方向はＸ軸方向およびＹ軸方向に直交する上下方向である。Ｘ軸方向およびＹ軸方向が規定するＸＹ平面は実質上水平である。

（切断機構３６）
図１に示すとおり、テープ貼着手段６は、さらに、フレームＦの外周にはみ出したテープＴを切断する切断機構３６を備えている。切断機構３６は、Ｚ軸方向に延びるＺ軸ガイド部材３８と、Ｚ軸方向に移動自在にＺ軸ガイド部材３８に支持されたＺ軸可動部材４０と、Ｚ軸可動部材４０をＺ軸方向に移動させるＺ軸送り手段（図示していない。）とを含む。Ｚ軸送り手段は、Ｚ軸可動部材４０に連結されＺ軸方向に延びるボールねじと、このボールねじを回転させるモータとを有する構成でよい。

また、切断機構３６は、Ｚ軸可動部材４０の先端下面に固定されたモータ４２と、Ｚ軸方向に延びる軸線を中心としてモータ４２によって回転されるアーム４４とを含む。アーム４４の下面には、互いに間隔をおいて第一・第二の垂下片４６ａ、４６ｂが付設されている。第一の垂下片４６ａには、Ｚ軸方向と直交する軸線を中心として回転自在に円形のカッター４８が支持され、第二の垂下片４６ｂには、Ｚ軸方向と直交する軸線を中心として回転自在に押さえローラ５０が支持されている。

（カメラ８）
切断機構３６のアーム４４には支持片５２が付設されており、上記カメラ８は、支持片５２に支持されている。カメラ８は、フレームＦに貼着されたテープＴを上方から撮像する。また、カメラ８が撮像した画像のデータは、判定手段１０に出力される。

（判定手段１０）
判定手段１０は、テープ貼着装置２の作動を制御する制御手段５４に組み込まれている。制御手段５４は、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、演算結果等を格納する読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）とを有するコンピュータから構成されている。

（フレームＦ）
上述のテープ貼着装置２によってテープＴが貼着されるフレームＦは、環状であり、ウエーハを収容する円形の開口部Ｆａを中央に備えている。

（テープＴ）
テープＴは、片面に粘着層（糊層）が設けられた粘着テープでもよく、あるいは粘着層を有していない熱圧着シートであってもよい。熱圧着シートは、熱可塑性の合成樹脂（たとえば、ポリオレフィン系樹脂）のシートであり、融点近傍の温度まで加熱されると、軟化ないし溶融して粘着力を発揮するシートである。

粘着テープの粘着面には剥離紙Ｐが付設される一方、熱圧着シートの圧着面には、剥離紙Ｐが付設される場合と、剥離紙Ｐが付設されない場合がある。剥離紙Ｐが付設されていない熱圧着シートが用いられる場合、テープ貼着装置２は、剥離紙Ｐを回収する必要がないので、剥離紙ローラ３０を備えていなくてもよい。

また、テープＴが熱圧着シートである場合には、支持テーブル１２または押圧ローラ２２の少なくとも一方に、ヒーターおよび温度センサ（いずれも図示していない。）が内蔵され、フレームＦに熱圧着シートが貼着される際に、支持テーブル１２または押圧ローラ２２の少なくとも一方が、熱圧着シートの融点近傍の温度まで加熱される。

上述したとおりのテープ貼着装置２の作動について説明する。

まず、支持テーブル１２にフレームＦが載せられる前に、フレームＦを受け取り可能な位置（たとえば、図１ないし図２に示す位置）に支持テーブル１２を位置づけると共に、押圧ローラ２２を上側待機位置に位置づける。また、ロールテープＲＴからテープＴを送り出し、剥離紙Ｐを剥離したテープＴを弛ませることなく張った状態で、支持テーブル１２の上方に位置づける。なお、テープＴが粘着テープである場合には、支持テーブル１２の上方に位置するテープＴの粘着面を下に向ける。

次いで、複数のフレームＦを収容しているフレーム収容手段（図示していない。）からフレーム搬出手段（図示していない。）によって搬出されたフレームＦが支持テーブル１２に載せられたら、制御手段５４は、昇降手段１４および押圧ローラ位置づけ手段を作動させることによって、図３に示すとおり、支持テーブル１２を貼着開始位置に位置づけると共に、押圧ローラ２２を下側押圧位置に位置づけて、テープＴにテンションを加えてフレームＦの一端にテープＴを貼着する。

上記のように、支持テーブル１２を貼着開始位置に位置づけると共に、押圧ローラ２２を押圧位置に位置づけた際には、図３に示すとおり、テープＴは、押圧ローラ２２からテープ巻き取り部２０の下側のガイドローラ３４に向かって仰角αをなす。

次いで、押圧ローラ２２でテープＴをフレームＦに押し付けながら、押圧ローラ２２をフレームＦの他端に向けてＹ軸方向に移動させる。これによって、均一なテンションをテープＴに加えた状態で、テープＴをフレームＦに貼着することができる。

押圧ローラ２２を移動させる際は、押圧ローラ２２の移動に同期して支持テーブル１２を上昇させることにより、テープＴに加わるテンションを一定に保つ。具体的には、図４および図５に示すとおり、仰角αが一定となるように、押圧ローラ２２の移動に同期して支持テーブル１２が次第に上昇するように制御手段５４によって制御する。

なお、テープＴが熱圧着シートである場合には、支持テーブル１２の上面の温度または押圧ローラ２２の外周面の温度を、テープＴが軟化ないし溶融する温度に調整した上で、押圧ローラ２２によって一定のテンションをテープＴに加えながら、押圧ローラ２２をＹ軸方向に転がすことにより、テープＴをフレームＦに熱圧着することができる。もちろん、テープＴを熱圧着する際も、仰角αが一定となるように、押圧ローラ２２の移動に同期して支持テーブル１２を次第に上昇させる。

テープＴをフレームＦに貼着した後、切断機構３６のカッター４８および押さえローラ５０を下降させ、フレームＦ上のテープＴにカッター４８を押し当てると共に、押さえローラ５０でテープＴの上からフレームＦを押さえる。次いで、モータ４２によってアーム４４を回転させ、カッター４８および押さえローラ５０をフレームＦに沿って円を描くように移動させる。これによって、フレームＦの外周にはみ出したテープＴをフレームＦに沿って切断することができる。

また、押さえローラ５０でテープＴの上からフレームＦを押さえているので、テープＴを切断している際にフレームＦやテープＴの位置ずれが防止される。なお、円形の開口部Ｔａが形成された使用済みのテープＴは、テープ巻き取り部２０によって巻き取られる。

フレームＦにテープＴを貼着したら、図６に示すように、矢印Ｒ１で示す方向にカメラ８を回転させながら、フレームＦに貼着されたテープＴを上方からカメラ８によって撮像する。カメラ８によって撮像した画像のデータは判定手段１０に出力される。

そうすると、判定手段１０は、カメラ８が撮像した画像を二値化処理して、図７に示すような黒色と白色の二色の画像５６に変換する。二値化処理された画像５６においては、フレームＦとテープＴとが重なっている環状領域Ｒｃ（フレームＦの開口部Ｆａの周縁とテープＴの外周Ｔｏとで囲まれた環状の領域）において、フレームＦとテープＴとが密着している部分が黒色で示され、フレームＦとテープＴとが密着していない部分が白色で示される。

そして、判定手段１０は、環状領域Ｒｃ全体における黒色部分（フレームＦとテープＴとが密着している部分）の比率が閾値（たとえば９５％）以上でなければ、フレームＦにテープＴが適正に貼着されていないと判定する。フレームＦにテープＴが適正に貼着されていないと判定した場合には、押圧ローラ２２を用いてフレームＦにテープＴを押し付ける作業（貼着作業）を繰り返す。一方、環状領域Ｒｃ全体における黒色部分の比率が閾値以上であれば、フレームＦにテープＴが適正に貼着されていると判定する。

このように、テープ貼着装置２においては、フレームＦにテープＴを貼着した後に、環状領域Ｒｃ全体における黒色部分の比率が閾値以上であるか否かに基づいて、フレームＦにテープＴが適正に貼着されているかどうかを確認する。そして、フレームＦにテープＴが適正に貼着されていなければ、押圧ローラ２２によってテープＴの貼着作業を繰り返すので、フレームＦにテープＴが適正に貼着されていないものが、後工程に搬送されることがない。したがって、後工程において、フレームＦからテープＴが剥離して落下することが防止される。

また、判定手段１０は、上記の判定方法とは異なる判定方法によって、フレームＦにテープＴが適正に貼着されているか否かを判定してもよい。たとえば、判定手段１０は、カメラ８で撮像した撮像領域ごとに画像を二値化処理し、黒色部分と白色部分との比率によってフレームＦにテープＴが適正に貼着されているか否かを撮像領域ごとに判定するようになっていてもよい。

具体的には、カメラ８を動かしながら撮像を繰り返し、環状領域Ｒｃを部分的に含む複数の画像を取得する。複数の画像を取得する際は、複数の画像のすべてを組み合わせた際に、環状領域Ｒｃの全体が含まれるようにする。次いで、取得した全画像を二値化処理して、図８に示すような、黒色と白色の二色の画像Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、・・・に変換する。なお、図８に示す画像Ａ～Ｄは、図７に示す画像５６において、破線Ａ～Ｄで示す撮像領域に相当する画像である。

次いで、二値化処理した画像Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、・・・のそれぞれにおいて、環状領域Ｒｃの黒色部分の比率が閾値以上であるか否かを調べる。そして、すべての画像において、環状領域Ｒｃの黒色部分の比率が閾値以上でなければ、フレームＦにテープＴが適正に貼着されていないと判定する。

環状領域Ｒｃ全体では黒色部分の比率が閾値以上であっても、環状領域Ｒｃの一部分に着目した場合に、黒色部分の比率が閾値未満の領域が存在する（すなわち、フレームＦとテープＴとの密着部分が局所的に閾値を下回っている）ときがある。このときには、閾値未満の領域を起点として、フレームＦからテープＴが剥離するおそれがある。

そこで、判定手段１０は、二値化処理した全画像Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、・・・の中から、環状領域Ｒｃの黒色部分の比率が閾値未満の画像がひとつでも抽出された場合には、フレームＦにテープＴが適正に貼着されていないと判定する。これによって、一層確実に、フレームＦにテープＴが適正に貼着されているものだけを後工程に回すことができる。

（第二の実施形態）
次に、本発明に従って構成されたテープ貼着装置の第二の実施形態について、図９を参照して説明する。

（テープ貼着装置６２）
図９に示すとおり、テープ貼着装置６２は、フレームＦを支持するフレーム支持部６４と、フレーム支持部６４に支持されたフレームＦにテープＴを貼着するテープ貼着手段６６と、フレームＦに貼着されたテープＴを撮像するカメラ６８と、カメラ６８によって撮像した画像に基づいて、フレームＦにテープＴが適正に貼着されているか否かを判定する判定手段１０とを含む。

（フレーム支持部６４）
フレーム支持部６４は、フレームＦを吸着して支持する支持部材７０と、支持部材７０を昇降させる昇降手段（図示していない。）とを含む。

支持部材７０は、環状であり、ウエーハＷを収容する円形の開口部７０ａを中央に備えている。また、支持部材７０は吸引手段（図示していない。）に接続されていて、支持部材７０の下面には、多数の吸引孔（図示していない。）が形成されている。そして、支持部材７０は、吸引手段で多数の吸引孔に吸引力を生成し、支持部材７０の下面でフレームＦを吸着して支持するようになっている。

フレーム支持部６４の昇降手段は、図示していないが、支持部材７０に連結され上下方向に延びるボールねじと、このボールねじを回転させるモータとを有する構成でよい。

（テープ貼着手段６６）
テープ貼着手段６６は、テープＴを保持するテープ保持部７２と、支持部材７０に支持されたフレームＦにテープＴを押圧するための押圧ローラ７４と、フレームＦに貼着されたテープＴを切断する円形のカッター７６とを含む。テープ保持部７２は、剥離紙Ｐが剥離されたテープＴを弛ませることなく張った状態で、実質上水平に保持する。

テープ貼着手段６６は、さらに、円形の回転テーブル７８と、回転テーブル７８を回転させるモータ８０と、回転テーブル７８を昇降させる昇降手段（図示していない。）を有している。そして、押圧ローラ７４およびカッター７６は回転テーブル７８の上面に回転自在に支持されている。

図示していないが、回転テーブル７８上には、カッター７６を昇降させる昇降手段が設けられている。昇降手段によってカッター７６は、押圧ローラ７４の上端よりもカッター７６の上端の方が低い待機位置と、押圧ローラ７４の上端よりもカッター７６の上端の方が高い切断位置とに位置づけられるようになっている。

（カメラ６８）
カメラ６８は、回転テーブル７８の上面に支持されている。図９（ｂ）に示すように、カメラ６８、押圧ローラ７４およびカッター７６は、フレームＦの大きさに対応する同一円周上に配置されている。第二の実施形態のカメラ６８は、フレームＦに貼着されたテープＴを下方から撮像する。

上述したとおりのテープ貼着装置６２の作動について説明する。

まず、剥離紙Ｐを剥離したテープＴを弛ませることなく張った状態でテープ保持部７２によって保持する。また、支持部材７０の下面でフレームＦを吸着して支持すると共に、支持したフレームＦをテープＴの上方に位置づける。なお、図９に示す例においては、テープＴにウエーハＷが貼着されている。

次いで、支持部材７０を下降させると共に回転テーブル７８を上昇させ、フレームＦの下面と押圧ローラ７４の上端とでテープＴを挟み込む。この際、カッター７６を待機位置（押圧ローラ７４の上端よりもカッター７６の上端の方が低い位置）に位置づけておく。次いで、回転テーブル７８を回転させることにより、フレームＦの下面に沿って押圧ローラ７４を周回させ、テープＴをフレームＦに貼着する。

なお、テープＴが熱圧着シートである場合には、支持部材７０の下面の温度または押圧ローラ７４の外周面の温度を、テープＴが軟化ないし溶融する温度に調整したうえで、押圧ローラ７４を周回させる。

テープＴをフレームＦに貼着したら、回転テーブル７８を若干下降させた後、カッター７６を切断位置に位置づける。次いで、回転テーブル７８を上昇させて、カッター７６の上端をテープＴに押し当てる。そして、回転テーブル７８を回転させることにより、フレームＦの下面に沿ってカッター７６を周回させ、フレームＦの外周にはみ出したテープＴをフレームＦに沿って切断する。

テープＴを切断した後、回転テーブル７８を若干下降させる。次いで、回転テーブル７８を回転させて、フレームＦに貼着されたテープＴを下方からカメラ６８によって撮像する。カメラ６８によって撮像した画像のデータは判定手段１０に出力される。

そうすると、判定手段１０は、上記第一の実施形態と同様に、カメラ６８が撮像した画像を二値化処理する。そして、環状領域Ｒｃの黒色部分（フレームＦとテープＴとの密着部分）の比率が閾値以上でなければ、フレームＦにテープＴが適正に貼着されていないと判定する。この場合には、押圧ローラ７４によってテープＴの貼着作業を繰り返す。一方、環状領域Ｒｃの黒色部分の比率が閾値以上であれば、フレームＦにテープＴが適正に貼着されていると判定する。

また、第二の実施形態においても、判定手段１０は、カメラ６８で撮像した撮像領域ごとに画像を二値化処理し、黒色部分と白色部分との比率によってフレームＦにテープＴが適正に貼着されているか否かを撮像領域ごとに判定するようになっていてもよい。

以上のとおりであり、第一・第二の実施形態に係るテープ貼着装置２、６２においては、カメラ８、６８によって撮像した画像に基づいて、フレームＦにテープＴが適正に貼着されているか否かを判定するので、フレームＦにテープＴが適正に貼着されていないものが、後工程に搬送されることがない。したがって、後工程において、フレームＦからテープＴが剥離して落下することが防止される。

２：テープ貼着装置（第一の実施形態）
４：フレーム支持部
６：テープ貼着手段
８：カメラ
１０：判定手段
６２：テープ貼着装置（第二の実施形態）
６４：フレーム支持部
６６：テープ貼着手段
６８：カメラ

Claims (3)

1. ウエーハを収容する開口部を中央に備えたフレームにテープを貼着するテープ貼着装置であって、
   フレームを支持するフレーム支持部と、該フレーム支持部に支持されたフレームにテープを貼着するテープ貼着手段と、フレームに貼着されたテープを撮像するカメラと、該カメラによって撮像した画像に基づいて、フレームにテープが適正に貼着されているか否かを判定する判定手段とを含むテープ貼着装置。
2. 該判定手段は、該画像を二値化処理し、黒色部分と白色部分との比率によってフレームにテープが適正に貼着されているか否かを判定する請求項１記載のテープ貼着装置。
3. 該判定手段は、該カメラで撮像した撮像領域ごとに該画像を二値化処理し、黒色部分と白色部分との比率によってフレームにテープが適正に貼着されているか否かを該撮像領域ごとに判定する請求項１記載のテープ貼着装置。

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