JP5657342B2 - 剥離用テープ供給装置、及び支持板剥離装置 - Google Patents
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Description
100−剥離用テープ供給装置
101−供給ロール
102−巻取ロール
110−支持部
111−第1の支持体
112−第2の支持体
113−ハンドル
114−第1のリンク(伝達機構)
115−第2のリンク(伝達機構)
117−第1の固定ピン(第1の固定部材)
118−第2の固定ピン(第2の固定部材)
120−第1テンション部材
130−第2テンション部材
140−センサ部(テープ検出手段)
141−揺動板
143−アーム(第1の当接部)
144−接触片(第2の当接部)
1111−第1の支持台
1121−第2の支持台
Claims (6)
- 支持板が剥離された半導体ウェハの上面から接着剤を除去する際に、第1面に粘着性を有する剥離用テープを半導体ウェハの上面を経由する所定の搬送経路に沿って搬送する剥離用テープ供給装置であって、
ロール状の未使用の剥離用テープを回転自在に支持する供給ロールと、
使用済みの剥離用テープを巻回して回収する巻取ロールと、
前記供給ロールから送り出された後の剥離用テープの前記第1面に全幅にわたって接離動作自在にされた第1の支持体と、
前記巻取ロールに回収される前の剥離用テープの前記第1面に全幅にわたって接離動作自在にされた第2の支持体と、
操作部材を含み、前記操作部材に対する操作力を前記接離動作に変換して前記第1の支持体及び前記第2の支持体に同時に伝達する伝達機構と、
前記搬送経路における前記第1の支持体の下流側で剥離用テープに所定の張力を作用させる第1テンション部材と、
前記搬送経路における前記第2の支持体の上流側で剥離用テープに所定の張力を作用させる第2テンション部材と、
を備え、
前記第1テンション部材及び前記第2テンション部材は、それぞれ周面が剥離用テープの第2面に接触する第1テンションローラ及び第2テンションローラを含むとともに前記供給ロール及び前記巻取ロールのそれぞれに接近及び離間するように昇降自在に支持され、
前記第1テンション部材及び前記第2テンション部材を前記第1の支持体及び前記第2の支持体のそれぞれに近接した所定の固定位置で選択的に固定する第1の固定部材及び第2の固定部材をさらに備えた剥離用テープ供給装置。 - 前記伝達部材は、前記操作部材に対する操作力を前記第1の固定部材及び前記第2の固定部材による前記第1テンション部材及び前記第2テンション部材の固定動作に変換して伝達する連動機構を含む請求項1に記載の剥離用テープ供給装置。
- 前記供給ロール及び前記巻取ロールを個別に回転及び停止させる第1及び第2の駆動機構と、
前記供給ロールにおける剥離用テープの残量及び前記巻取ロールにおける剥離用テープの巻取量を検出するテープ検出手段と、
前記第1テンション部材及び前記第2テンション部材を前記固定位置で検出する位置検出手段と、
前記テープ検出手段及び前記位置検出手段の検出結果に基づいて前記駆動機構の動作を制御する制御手段と、
をさらに備えた請求項2に記載の剥離用テープ供給装置。 - 前記テープ検出手段は、前記供給ロール及び前記巻取ロールのそれぞれに巻回された剥離用テープの外周面に上方から当接する第1の当接部及び第2の当接部を一体的に備えた揺動部材を揺動自在に支持し、前記第1の当接部及び前記第2の当接部のそれぞれの揺動位置に基づいて、前記供給ロール及び前記巻取ロールにおける剥離用テープの巻回量を検出する請求項3に記載の剥離用テープ供給装置。
- 前記揺動部材は、剥離用テープの搬送に伴って回転する回転体の周面における回転方向が下向きの位置に下方から係合する係合部を備えた請求項4に記載の剥離用テープ供給装置。
- 請求項1〜5の何れかに記載の剥離用テープ供給装置を備え、
半導体ウェハに接着剤を介して貼り付けられた支持板を剥離した後に、前記剥離用テープ供給装置から供給された剥離用テープを介して半導体ウェハから接着剤を取り除くように構成された支持板剥離装置。
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JP2010241745A JP5657342B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | 剥離用テープ供給装置、及び支持板剥離装置 |
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