JP5657342B2 - 剥離用テープ供給装置、及び支持板剥離装置 - Google Patents

Description

この発明は、支持板貼付用の接着剤を半導体ウェハから除去するための剥離用テープを供給する剥離用テープ供給装置、及びこの剥離用テープ供給装置を備えた支持板剥離装置に関する。

近年、電子機器の高性能化及び小型化に伴って、半導体ウェハの薄型化の要請が高まっている。通常、半導体ウェハを薄型化する際には、薄型化加工される半導体ウェハに対してサポートガラス等の支持板をＵＶ硬化型接着剤によって貼り合せ、半導体ウェハにおける張り合わせ面とは反対側の面を研磨する手法が用いられている。この手法によれば、薄型化加工された半導体ウェハに支持板が張り合わされていることから、薄型化加工された半導体ウェハの搬送及び加工時に強度の低下に起因する割れや反り等の不具合の発生を防止できるとされていた。

半導体ウェハに貼り付けられた支持板及び用いられた接着剤は、ダイシング工程に移行する前に取り除く必要がある。このため、従来、半導体ウェハから支持板及び接着剤を除去する技術について様々な開発が為されている。そのような従来技術の中には、溶剤を用いて支持板を半導体ウェハから剥離するとともに、洗浄液及びプラズマを用いて接着剤を半導体ウェハから除去するように構成されるものがある（例えば、特許文献１参照。）。

特許文献１の技術では、洗浄液を用いて半導体ウェハから接着剤を除去し、その後にプラズマによるドライ処理を行っている。しかし、支持板剥離装置の構成の簡素化や支持板剥離装置における処理の高速化を考慮すると、完全なドライ状況下で接着剤の除去処理を行うことが好ましい。

また、ドライ状況下において物理的に接着剤を除去する際には、半導体ウェハに対して物理的力が作用することによる半導体ウェハの破損等の不具合の発生を防止することが重要である。

そこで、粘着性の剥離用テープを用いて接着剤の除去処理を行う装置が提案されている。支持板が剥離された半導体ウェハの接着剤の塗布面に剥離用テープを一旦張り付けた後に引き剥がすことで、半導体ウェハ上の接着剤を剥離用テープに移動させ、半導体ウェハから接着剤を除去する。

特開２０１０−３７４８号公報

接着剤の除去処理を効率的に行うためには、ロール状の未使用の剥離用テープを一定張力下で供給ロールから半導体ウェハに連続して供給し、使用済みの剥離用テープを巻取ロールに巻き取るべきであるが、粘着性を有する剥離用テープは取り扱いが容易でない。例えば、剥離用テープをその粘着面が搬送ローラの周面に接触しないように搬送するためには、張力を作用させるテンションローラを含む多数の搬送ローラを配置する必要があり、搬送経路が複雑になる。このため、供給ロールに対する未使用の剥離用テープの補充後には、剥離用テープを供給ロールから複雑な搬送経路を経由して巻取ロールまで取り廻す作業が必要になる。この作業は、剥離用テープが粘着性を有するために煩雑になる。

この発明の目的は、搬送経路における剥離用テープの取り廻しを不要にして、粘着性の剥離用テープの補充作業を容易に行うことができる剥離用テープ供給装置、及びこの剥離用テープ供給装置を備えた支持板剥離装置を提供することである。

この発明に係る剥離用テープ供給装置は、供給ロール、巻取ロール、第１及び第２の支持体、並びに伝達機構を備え、支持板が剥離された半導体ウェハの上面から接着剤を除去する際に、第１面に粘着性を有する剥離用テープを半導体ウェハの上面を経由する所定の搬送経路に沿って搬送する。供給ロールは、ロール状の未使用の剥離用テープを回転自在に支持する。巻取ロールは、使用済みの剥離用テープを巻回して回収する。第１の支持体は、供給ロールから送り出された後の剥離用テープの第１面に全幅にわたって接離動作自在にされている。第２の支持体は、巻取ロールに回収される前の剥離用テープの第１面に全幅にわたって接離動作自在にされている。伝達機構は、操作部材を含み、操作部材に対する操作力を接離動作に変換して第１の支持体及び第２の支持体に同時に伝達する。

この構成では、操作部材に操作力を作用させると、第１及び第２の支持体がそれぞれ供給ロールから送り出された後の剥離用テープ及び巻取ロールに回収される前の剥離用テープの第１面に全幅にわたって接離動作する。第１及び第２の支持体を剥離用テープの第１面に全幅にわたって接触させると、粘着性を有する剥離用テープの第１面が第１及び第２の支持体に貼着する。第１及び第２の支持体に貼着した部分で剥離用テープを全幅にわたって切断すると、供給ロールに残留している剥離用テープ及び巻取ロールに巻回された剥離用テープは、搬送経路に滞留している剥離用テープから分離される。

一例として、供給ロールに残留している剥離用テープを取り外して新たなロール状の剥離用テープを供給ロールに配置するとともに、供給ロールに残留していた剥離用テープを巻取ロールに配置する。この後、新たな剥離用テープ及び残留していた剥離用テープをそれぞれ第１及び第２の支持体上で搬送経路に存在している剥離用テープに接合し、操作部材に反対方向の操作力を作用させて第１及び第２の支持体を剥離用テープの第１面から離間させる。これによって、搬送経路内に新たな剥離用テープを取り回す作業を必要とすることなく、新たな剥離用テープが補充される。

この構成において、搬送経路における第１の支持体の下流側と第２の支持体の上流側とのそれぞれで剥離用テープに所定の張力を作用させる第１及び第２のテンション部材を備えることが好ましい。第１及び第２の支持体に剥離用テープの第１面が弛みを生じることなく貼着し、剥離用テープの切断及び接合を容易に行うことができる。

第１及び第２のテンション部材は、それぞれ周面が剥離用テープの第２面に接触する第１及び第２のテンションローラを含むとともに供給ロール及び巻取ロールのそれぞれに接近及び離間するように昇降自在に支持されたものとし、第１及び第２の固定部材をさらに備えることが好ましい。第１及び第２の固定部材は、第１及び第２のテンション部材をそれぞれ第１及び第２の支持体に近接した所定の固定位置で選択的に固定する。剥離用テープにおける第１及び第２の支持体が接触する部分における弛みをより確実に除去できる。

伝達部材は、操作部材に対する操作力を固定手部材による第１及び第２のテンション部材の固定動作に変換して伝達する連動機構を含むものとすることが好ましい。単一の操作部材に操作力を作用させることで、第１及び第２の支持体、並びに第１及び第２の固定部材を同時に動作させることができる。

供給ロール及び巻取ロールを個別に回転及び停止させる第１及び第２の駆動機構と、供給ロール及び巻取ロールにおける剥離用テープの巻取量を検出するテープ検出手段と、第１及び第２のテンション部材の位置を検出する位置検出手段と、検出手段の検出結果に基づいて駆動機構の動作を制御する制御手段と、をさらに備えることが好ましい。供給ロールにおける剥離用テープの残量又は巻取り軸における剥離用テープの巻取量に基づいて蹴りされたタイミングで、供給ロール及び巻取ロールを選択的に回転させて第１及び第２のテンション部材を固定位置に移動させることで、剥離用テープの補充作業を適正なタイミングで行うことができる。

テープ検出手段は、供給ロール及び巻取ロールのそれぞれに巻回された剥離用テープの外周面に上方から当接する第１の当接部及び第２の当接部を一体的に備えた揺動部材を揺動自在に支持し、第１の当接部及び第２の当接部のそれぞれの揺動位置に基づいて、供給ロール及び巻取ロールにおける剥離用テープの巻回量を検出するものとすることが好ましい。供給ロールにおける未使用の剥離用テープの収納量が所定量以下に減少したこと、及び巻取ロールにおける使用済みの剥離用テープの巻回量が所定量以上に増加したことのそれぞれを、単一のテープ検出手段で個別に検出できる。

揺動部材は、剥離用テープの搬送に伴って回転する回転体の周面における回転方向が下向きの位置に下方から係合する係合部を備えることが好ましい。揺動部材を供給ロールに対する新たな剥離用テープの補充の障害とならない位置に固定できるとともに、剥離用テープの供給開始に伴う回転体の回転によって回転体の周面に対する棒体の係合を自動的に解除できる。

この発明によれば、供給ロール及び巻取ロールの近傍で第１及び第２の支持体に貼着した剥離用テープを切断及び接合することで、供給ロールと巻取ロールとの間の搬送経路における剥離用テープの滞留状態を維持することができ、粘着性の剥離用テープの補充作業を容易に行うことができる。

本発明の実施形態に係る剥離用テープ供給装置が適用されるデマウンタの概略の平面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、同デマウンタの正面図及び側面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、デマウンタのピールユニットにおける接着剤除去処理を示す図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、同剥離用テープ供給装置の支持部の平面図、正面図及び側面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、同剥離用テープ供給装置のセンサ部の平面図及び正面図である。 同デマウンタの制御部のブロック図である。 同制御部の処理手順の一部を示すフローチャートである。

図１に示すように、本発明の実施形態に係る剥離用テープ供給装置１００が適用される支持板剥離装置であるデマウンタ１０は、ウェハに張り合わされたサポートガラス、及び貼り合わせに用いた接着剤（例えば、紫外線硬化型接着剤）をウェハから取り除く。このため、デマウンタ１０は、アライメント部１２、ステージチャック１４、レーザ照射ユニット１６、剥離ユニット１８、ピールユニット２０及び制御部５０を備える。制御部５０は、ステージチャック１４、レーザ照射ユニット１６、剥離ユニット１８、ピールユニット２０等の動作を統括的に制御するように構成されている。

アライメント部１２は、デマウンタ１０に導入されたウェハの配置角度及び中心位置を調整可能に構成される。デマウンタ１０に導入されるウェハは、下面側にダイシングテープ及びダイシングフレームが取り付けられ、上面側に接着剤を介してサポートガラスが取り付けられている。

ステージチャック１４は、アライメント部１２の近傍に配置されており、上面にウェハ及びダイシングフレームを吸着支持する。ステージチャック１４は、矢印３０２で示す方向に配置された図示しないガイドに沿って、ピールユニット２０の処理位置とレーザ照射ユニット１６の処理位置との間を往復移動する。

レーザ照射ユニット１６は、レーザ光照射装置及びレーザフード１６２を備えている。レーザ光照射装置は、インジウムガリウムヒ素等のレーザダイオードから照射されたレーザ光をレーザ照射ユニット１６の処理位置に搬送されたウェハの全面に走査しつつ照射可能に構成されている。レーザ光照射装置は、一般にレーザマーカとして用いられる通常のレーザ光照射装置を用いることが可能である。サポートガラスに塗布された熱発泡型樹脂は、レーザ光の照射によって発泡し、サポートガラスがウェハから剥離する。

レーザフード１６２は、第１のフード部材１６４及び第２のフード部材１６６を備えている。第１のフード部材１６４は、レーザ照射ユニット１６の処理位置の上方の所定位置にて固定される。第２のフード部材１６６は、昇降可能に支持されている。第２のフード部材１６６は、レーザ照射ユニット１６の非処理時においては最上位置に配置されている。レーザ照射ユニット１６の処理時には、第２のフード部材１６６は最下位置まで降下する。第２のフード部材１６６が最下位置まで降下すると、第２のフード部材１６６によってダイシングフレームの全体が押さえつけられるとともに、ウェハ上方のレーザ照射空間が閉塞されてレーザ光が外部に漏れないようになる。

剥離ユニット１８は、リフト装置１８２、アジャスト装置１８６、及びガラスカセット１８４を備える。リフト装置１８２は、レーザ照射ユニット１６及びガラスカセット１８４の間において揺動可能な剥離アーム１８３を備える。

リフト装置１８２は、レーザ照射ユニット１６によってレーザ光が照射されウェハから剥離したサポートガラスを剥離アーム１８３によって持ち上げる。リフト装置１８２は、ガラスを持ち上げた後に剥離アーム１８３を回動させ、ガラスカセット１８４の上方の空間まで搬送する。

アジャスト装置１８６は、ガラスカセット１８４の上方の空間にて、剥離アーム１８３に保持されたサポートガラスを、真空吸着パッド１８５を介して受け取るように構成される。アジャスト装置１８６は、剥離アーム１８３から受け取ったサポートガラスを、水平を保つように調整しつつ、ガラスカセットの所定位置に載置する。なお、カセット１８４に積載されたサポートガラスは、図示しないリサイクルコータで洗浄された後に熱発泡型樹脂を塗布され、その後に再びマウンタで別のウェハに貼付される。

図１並びに図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ピールユニット２０は、剥離用テープ供給装置１００、スライドベース２１４、吸着アーム部２０２及びピールローラ２０４を備えている。スライドベース２１４は、ガイド２１８及び２２０に沿って矢印３００で示す方向に往復移動する。吸着アーム部２０２は、メカシリンダを介して昇降可能に構成される。吸着アーム部２０２は、アライメント部１２及びステージチャック１４上のウェハを吸着可能に構成されており、アライメント部１２及びステージチャック１４の間でウェハを双方向に搬送する。

図３に示すように、ピールユニット２０は、レーザ照射ユニット１６でサポートガラスが取り除かれたウェハの上面から接着剤を取り除く。まず、図３（Ａ）に示すように、ウェハがピールユニット２０の処理位置に配置されると、ピールローラ２０４が降下し、ウェハの上面端部に接触する。その後、ピールユニット２０はピールローラ２０４を介してウェハを加圧しつつ、ピールローラ２０４がウェハ上面を転がるようにしてウェハの上面の全面に残留した接着剤を剥離させて回収する。

ピールローラ２０４は、図３（Ｂ）に示すように、ウェハを加圧しつつ、ウェハ上面を転がるようにしてウェハ上面における反対側の端部まで到達する。その間、ピールローラ２０４に張架された剥離用テープ２０６の第１面が順次的にウェハ上面に貼り付けられ、接着剤がウェハ上面から剥離用テープ２０６の第１面に移っていく。ウェハ上面に貼り付いた剥離用テープ２０６は、水平面と垂直面とが連続するように配置されたピールブロック２１０に沿って略垂直に持ち上げられてウェハ上面から剥離する。その後、剥離用テープ２０６における接着剤を吸着した部分は、巻取ロール１０２に回収される。

なお、ウェハが剥離用テープ２０６とともに持ち上げられてしまうことを防止するために、ピールブロック２１０における水平面と垂直面との接合部分の半径を０．２ｍｍ程度に抑えることで、剥離用テープ２０６とウェハとが分離し易くなるようにしている。

図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、剥離用テープ供給装置１００は、供給ロール（供給ロール）１０１、巻取ロール（供給ロール）１０２、支持部１１０、第１テンション部材１２０、第２テンション部材１３０、テープセンサ１４０を備えている。剥離用テープ供給装置１００は、供給ロール１０１に巻回された未使用の剥離用テープ２０６をピールローラ２０４に供給し、使用済みの剥離用テープ２０６を巻取ロール１０２に巻回して回収する。

ピールローラ２０４には、ウェハに付着した接着剤を剥離するための剥離用テープ２０６が張架される。ピールユニット２０には、供給ロール１０１からピールローラ２０４を含む複数のローラを経由して巻取ロール１０２に至る剥離用テープ２０６の搬送経路が構成されている。

剥離用テープ２０６は、粘着性を有する粘着面（第１面）を内側にして供給ロール１０１に巻回されている。剥離用テープ２０６は、剥離用テープ供給装置１００内で、供給ロール１０１から下方に繰り出され、第１テンションロール１２１に粘着面を外側にして略半周巻回される。この後、搬送ロール１０３によって供給ロール１０１及び巻取ロール１０２の上方を経由してピールローラ２０４に導かれる。剥離用テープ２０６は、ピールローラ２０４から、搬送ロール１０４及びガイドロール１０５を経て剥離用テープ供給装置１００内に戻り、第２テンションロール１３１に粘着面を外側にして略半周巻回した後、巻取ロール１０２に巻き取られる。

第１テンション部材１２０は、第１テンションロール１２１を軸支する本体１２３の下方にウェイト１２２を保持しており、第１テンションロール１２１を介して剥離用テープ２０６に張力を付与する。第２テンション部材１３０は、第２テンションロール１３１を軸支する本体１３３の下方にウェイト１３２を保持しており、第２テンションロール１３１を介して剥離用テープ２０６に張力を付与する。第１テンション部材１２０及び第２テンション部材１３０は、主に剥離用テープ２０６の繰り出し量及び巻取り量に応じて、剥離用テープ供給装置１００内で昇降する。

第１テンション部材１２０及び第２テンション部材１３０の上下方向の位置は、それぞれ第１センサ部材１０６及び第２センサ部材１０７によって検出される。第１テンション部材１２０の本体１２３には、２カ所に孔部１２０１が形成されている。孔部１２０１には、後述する固定ピン１１７が嵌入する。第２テンション部材１３０の本体１３３にも、後述する固定ピン１１８が嵌入する孔部１３０１が形成されているが、図２には現れない。なお、ウェイト１２２，１３２の質量は、所定範囲で増減自在にされている。

供給ロール１０１及び巻取ロール１０２は、それぞれ個別のモータ１０１１，１０２１から変速機１０１２，１０２２を介して正逆両方向の回転が供給される。なお、モータ１０２１及び変速機１０２２は、図２（Ｂ）には現れない。

この実施形態では、剥離用テープ２０６としてポリエステル製テープを用いているが、これに限定されるものではない。

図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、支持部１１０は、剥離用テープ２０６の補充に際して搬送経路に滞留している剥離用テープ２０６を取り除くことなく、供給ロール１０１及び巻取ロール１０２を交換できるようにするものである。このため、支持部１１０は、第１の支持体１１１、第２の支持体１１２、ハンドル１１３、第１のリンク１１４、第２のリンク１１５、ベース１１６、第１の固定ピン１１７、第２の固定ピン１１８、スプリング１１９を備えている。

ベース１１６は、剥離用テープ供給装置１００の底板１０８に取り付けられた支柱１０９１，１０９２の上端に固定されている（図２参照。）。ハンドル１１３は、この発明の操作部材であり、ベース１１６の中央部に軸支された回転軸１１３１周りに図４（Ａ）中実線で示す第１の位置から同図中二点鎖線で示す第２の位置までの所定範囲内で回転自在にされている。スプリング１１９は、張力によってハンドル１１３を第１の位置又は第２の位置の何れかに固定する。なお、第１センサ部材１０６及び第２センサ部材１０７は、それぞれ支柱１０９１及び１０９２に固定されている。

第１の支持体１１１及び第２の支持体１１２は、それぞれスライダ１１１１及び１１２１上で下端部を支点にして図４（Ａ）中実線で示す退避位置と同図中二点鎖線で示す露出位置との間に揺動自在に支持されている。スライダ１１１１及び１１２１は、ベース１１６上で水平方向に沿って互いに接近及び離間する方向に移動自在にされている。スライダ１１１１及び１１２１には、下部にそれぞれ第１の固定ピン１１７及び第２の固定ピン１１８が固定されている。

ハンドル１１３には、第１のリンク１１４及び第２のリンク１１５のそれぞれの第１の端部が部分球面を介して係合している。第１のリンク１１４及び第２のリンク１１５のそれぞれの第２の端部は、それぞれ部分球面を介して第１の支持体１１１及び第２の支持体１１２に係合している。ハンドル１１３の図４（Ａ）中実線で示す位置と二点鎖線で示す位置との間の回転動作は、リンク１１４及び１１５を介して、第１の支持体１１１及び第２の支持体１１２、並びにスライダ１１１Ａ及び１１２Ａに伝達される。

ハンドル１１３が図４（Ａ）中実線で示す位置にある場合には、支持体１１１及び１１２、並びに固定ピン１１７及び１１８は、図４（Ａ）中実線で示す退避位置に位置している。ハンドル１１３を図４（Ａ）中二点鎖線で示す位置に回転させると、支持体１１１及び１１２、並びに固定ピン１１７及び１１８は、図４（Ａ）中二点鎖線で示す露出位置に移動する。

固定ピン１１７及び１１８は、上下方向の移動範囲における上限位置にあるテンション部材１２０及び１３０のそれぞれの孔部１２０１及び１３０１に嵌入し、テンション部材１２０及び１３０の下方への移動を規制する。なお、この発明の所定の固定位置は、テンション部材１２０及び１３０の移動範囲の上限位置に限るものではない。したがって、固定ピン１１７及び１１８は、テンション部材１２０及び１３０の下降を規制することを条件に、上限位置にあるテンション部材１２０及び１３０に係合するものに限らない。

支持体１１１及び１１２は、それぞれ支持台１１１２及び１１２２を備えている。支持台１１１２は、支持体１１１が露出位置にあるときに、供給ロール１０１から繰り出された直後の剥離用テープ２０６の粘着面に圧接する。支持台１１２２は、支持体１１２が露出位置にあるときに、巻取ロール１０２に巻き取られる直前の剥離用テープ２０６の粘着面に圧接する。供給ロール１０１から繰り出された直後の剥離用テープ２０６及び巻取ロール１０２に巻き取られる直前の剥離用テープ２０６には、それぞれテンション部材１２０及び１３０から十分な張力が作用している。このため、支持台１１１２及び１１２２には、剥離用テープ２０６が貼着する。

図２に示すように、この発明のテープ検出手段であるテープセンサ１４０は、供給ロール１０１及び巻取ロール１０２の上方に配置されている。テープセンサ１４０は、この発明の棒体であるアーム１４１の変位により、供給ロール１０１における未使用の剥離用テープ２０６の残量、及び巻取ロール１０２における使用済みの剥離用テープ２０６の巻取量を検出する。

図５に示すように、テープセンサ１４０は、揺動板１４１、回転軸１４２、アーム１４３、接触片１４４、第１検出片１４５、第２検出片１４６、フォトカプラ１４７、ベース１４８を備えている。ベース１４８は、回転軸１４２及びフォトカプラ１４７を前面側に延出させて固定しており、供給ロール１０１及び巻取ロール１０２の上方で剥離用テープ供給装置１００に取り付けられている。

揺動板１４１は、上端部を回転軸１４２に軸支されている。アーム１４３は、第１の端部に係止片１４３１が取り付けられ、第２の端部を揺動板１４１に固定されている。接触片１４４は揺動板１４１の下端部から前面側に延出している。第１の検出片１４５及び第２の検出片１４６は、揺動板１４１から互いに異なる回転角度位置で回転軸１４２の半径方向に延出している。フォトカプラ１４７は、揺動板１４１が互いに異なる第１又は第２の回転角度まで回転した時に第１の検出片１４５又は第２の検出片１４６を検出する。

この発明の第１の当接部であるアーム１４３は、弾性変形可能な樹脂又は金属線材等で構成されており、自重により中間部で供給ロール１０１に巻回されている未使用の剥離用テープ２０６の外周面に当接する。供給ロール１０１における剥離用テープ２０６の巻回量が減少していくと、アーム１４３の中間部と剥離用テープ２０６の外周面との当接位置が下降し、アーム１４３は揺動板１４１と一体的に回転軸１４２を中心に図５（Ａ）中反時計方向に回転する。供給ロール１０１における剥離用テープ２０６の巻回量が所定量以下になると、揺動板１４１が第１の回転角度まで回転し、フォトカプラ１４８が第１の検出片１４５を検出する。

この発明の第２の当接片である接触片１４４は、巻取ロール１０２における使用済みの剥離用テープ２０６の巻回量が一定量を超えた時に、巻取ロール１０２に巻回されている剥離用テープ２０６の外周面に当接する。巻取ロール１０２における剥離用テープ２０６の巻回量がさらに増加していくと、接触片１４４は揺動板１４１とともに図５（Ａ）中時計方向に回転する。巻取ロール１０２における剥離用テープ２０６の巻回量が所定量以上になると、揺動板１４１が第２の回転角度まで回転し、フォトカプラ１４８が第２の検出片１４６を検出する。このとき、アーム１４３は、一部を供給ロール１０１に巻回されている未使用の剥離用テープ２０６の外周面に当接させた状態で弾性変形する。

供給ロール１０１における未使用の剥離用テープ２０６の巻回量が所定量以下になったこと及び巻取ロール１０２における使用済みの剥離用テープ２０６の巻回量が所定量以上になったことを、単一のテープセンサ１４０で検出することができる。これによって、未使用の剥離用テープ２０６の残量が不十分になった状態だけでなく、使用済みの剥離用テープ２０６の巻回可能量が不十分になった状態を、単一のテープセンサ１４０によって検出できる。

アーム１４３の第１の端部に取り付けられた係止片１４３１は、搬送ロール１０３の周面において剥離用テープ２０６が接触しない部分であって剥離用テープ２０６の搬送時に上方から下方に移動する部分に、下方から係合する。係止片１４３１には、上部に係合ロール１４３２が軸支されている。係止片１４３１を搬送ロール１０３の周面に係合させることで、アーム１４３を継続的に上方に退避させておくことができ、供給ロール１０１の交換を容易に行うことができる。

係止片１４３１が搬送ロール１０３の周面に係合している状態で剥離用テープ２０６の搬送を開始すると搬送ロール１０３が回転し、係止片１４３１には搬送ロール１０３の周面から下向きに回転力が作用する。この回転力の作用によって、係止片１４３１は搬送ロール１０３との係合を解除して下方に落下する。したがって、供給ロール１０２の交換後に作業者が係止片１４３１を搬送ロール１０３の周面から外し忘れても、剥離用テープ２０６の搬送開始時にはアーム１４３を供給ロール１０１に巻回されている剥離用テープ２０６の外周面に当接させることができる。

図６に示すように、制御部５０は、ＲＯＭ５０２及びＲＡＭ５０３を備えたＣＰＵ５０１に、第１センサ部材１０６及び第２センサ部材１０７、テープセンサ１４０、モータドライバ５０４及び５０５、表示コントローラ５０６等を含む入出力機器を接続して構成されている。ＣＰＵ５０１は、ＲＯＭ５０２に予め格納されたプログラムに従って各入出力機器を統括して制御する。

テープセンサ１４０は、フォトカプラ１４８による検出片１４５又は１４６の検出信号をＣＰＵ５０１に出力する。第１センサ部材１０６及び第２センサ部材１０７は、それぞれ上下方向に沿って複数のセンサを備えており、テンション部材１２０及び１３０のそれぞれの昇降範囲における上限位置及び下限位置を含む複数の位置における検出信号をＣＰＵ５０１に出力する。

ＣＰＵ５０１は、テープセンサ１４０、センサ部材１０６及び１０７の検出信号に基づいて、表示器５０４、モータ１０１１及び１０２１を駆動する。また、ＣＰＵ５０１は、デマウンタ１０の動作中における所定のタイミングでモータ１０１１及び１０２１を駆動し、剥離用テープ２０６を供給ロール１０１からピールローラ２４を経路して巻取ロール１０２に巻き取る。

モータドライバ５０４及び５０５には、それぞれモータ１０１１及び１０２１が接続されている。モータドライバ５０４及び５０５は、ＣＰＵ５０１から出力される駆動データに基づいてモータ１０１１及び１０２１を駆動する。

表示コントローラ５０６には、表示器５１０が接続されている。表示コントローラ５０６は、ＣＰＵ５０１から出力される表示データに基づいて表示器５１０を駆動する。

なお、この実施形態では剥離用テープ供給装置１００の動作をデマウンタ１０の制御部５０によって制御しているが、剥離用テープ供給装置１００に専用の制御部を備えることもできる。

図７に示すように、ＣＰＵ５０１は、デマウンタ１０によるウェハからの支持板の剥離処理中に、モータ１０１１及び１０２１を適宜駆動し（Ｓ１）、剥離用テープ２０６をピールローラ２４に供給する。この間にテープセンサ１４０から検出片１４５又は１４６の検出信号が出力されると（Ｓ２）、モータ１０１１及び１０２１の駆動とともにデマウンタ１０における動作を停止する（Ｓ３，Ｓ４）。そして、ＣＰＵ５０１は、表示器５１０にデマウンタ１０の動作を停止した旨の表示を行う（Ｓ５）。

この後、ＣＰＵ５０１は、センサ部材１０６及び１０７からテンション部材１２０及び１３０が上限位置にある旨の検出信号が出力されるまでモータ１０１１及び１０２１を駆動する（Ｓ６〜Ｓ８）。ステップＳ６では、ＣＰＵ５０１は、モータ１０１１及び１０２１をデマウンタ１０の動作中における駆動方向と逆方向に駆動する。これによって、供給ロール１０１とテンション部材１２０との間に位置していた剥離用テープ２０６、及び巻取ロール１０２とテンション部材１３０との間に位置していた剥離用テープ２０６が、それぞれ供給ロール１０１及び巻取ロール１０２に巻き取られる。そして、テンション部材１２０及び１３０は、昇降範囲における上限位置に向かって上昇する。

テンション部材１２０及び１３０が上限位置に達したことをセンサ部材１０６及び１０７が検出すると、ＣＰＵ５０１は、表示器５１０に表示する（Ｓ９）。作業者がハンドル１１３を図４（Ａ）中実線で示す位置から二点鎖線で示す位置に回転させると、支持体１１１及び１１２、並びに固定ピン１１７及び１１８が露出位置に移動する。まず、支持体１１１及び１１２が露出位置に達することで剥離用テープ２０６の粘着面に圧接し、支持台１１１１及び１１２１に剥離用テープ２０６が貼着する。次いで、固定ピン１１７及び１１８が露出位置に達してテンション部材１２０及び１３０の孔部１２０１及び１３０１にそれぞれ嵌入し、テンション部材１２０及び１３０は上限位置に固定されて自重による下方への移動を規制される。

支持台１１１１及び１１２１に貼着した剥離用テープ２０６を切断しても、テンション部材１２０及び１３０が下降することがない。このため、テンション部材１２０からピールローラ２０４を経由してテンション部材１３０までの間の搬送経路に滞留する剥離用テープ２０６が移動することもない。新たな供給ロール１０１を装着後に、新たな供給ロール１０１に剥離用テープ２０６の繰り出した部分を、支持台１１１１に貼着している剥離用テープ２０６に接着させる。また、使用済みの供給ロール１０１を巻取ロール１０２と交換して新たな巻取ロール１０２とし、新たな巻取ロール１０２に巻回されている剥離用テープ２０６から引き出した部分を支持台１１２１に貼着している剥離用テープ２０６に接着する。

この作業により、テンション部材１２０からピールローラ２０４を経由してテンション部材１３０までの間の搬送経路に剥離用テープ２０６を取り廻し直す作業を行うことなく、供給ロール１０１及び巻取ロール１０２を交換することができる。

供給ロール１０１と巻取ロール１０２とは、必ずしも同時に交換する必要はない。巻取ロール１０２に巻回される使用済みの剥離用テープ２０６には半導体ウェハから剥離した接着剤が付着している。このため、供給ロール１０１における未使用の剥離用テープ２０６の巻回量の減少速度と巻取ロール１０２における使用済みの剥離用テープ２０６の巻回量の増加速度とが一致せず、供給ロール１０１及び巻取ロール１０２の交換タイミングに差異を生じ得る。この実施形態に係る剥離用テープ供給装置１００では、センサ部１４０が供給ロール１０１及び巻取ロール１０２のそれぞれにおける剥離用テープ２０６の巻回量を個別に検出できる。したがって、供給ロール１０１又は巻取ロール１０２の何れか一方が交換タイミングを迎えた場合にも、上述の処理によって適正に対応することができる。

なお、支持部１１０にモータを配置し、作業者のハンドル１１３の手動操作に代えて、ＣＰＵ５０１によるモータの駆動制御によって支持体１１１及び１１２、並びに固定ピン１１７及び１１８を退避位置と露出位置との間に移動させるようにしてもよい。

上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１０−デマウンタ（支持板剥離装置）
１００−剥離用テープ供給装置
１０１−供給ロール
１０２−巻取ロール
１１０−支持部
１１１−第１の支持体
１１２−第２の支持体
１１３−ハンドル
１１４−第１のリンク（伝達機構）
１１５−第２のリンク（伝達機構）
１１７−第１の固定ピン（第１の固定部材）
１１８−第２の固定ピン（第２の固定部材）
１２０−第１テンション部材
１３０−第２テンション部材
１４０−センサ部（テープ検出手段）
１４１−揺動板
１４３−アーム（第１の当接部）
１４４−接触片（第２の当接部）
１１１１−第１の支持台
１１２１−第２の支持台

Claims (6)

1. 支持板が剥離された半導体ウェハの上面から接着剤を除去する際に、第１面に粘着性を有する剥離用テープを半導体ウェハの上面を経由する所定の搬送経路に沿って搬送する剥離用テープ供給装置であって、
   ロール状の未使用の剥離用テープを回転自在に支持する供給ロールと、
   使用済みの剥離用テープを巻回して回収する巻取ロールと、
   前記供給ロールから送り出された後の剥離用テープの前記第１面に全幅にわたって接離動作自在にされた第１の支持体と、
   前記巻取ロールに回収される前の剥離用テープの前記第１面に全幅にわたって接離動作自在にされた第２の支持体と、
   操作部材を含み、前記操作部材に対する操作力を前記接離動作に変換して前記第１の支持体及び前記第２の支持体に同時に伝達する伝達機構と、
   前記搬送経路における前記第１の支持体の下流側で剥離用テープに所定の張力を作用させる第１テンション部材と、
   前記搬送経路における前記第２の支持体の上流側で剥離用テープに所定の張力を作用させる第２テンション部材と、
   を備え、
   前記第１テンション部材及び前記第２テンション部材は、それぞれ周面が剥離用テープの第２面に接触する第１テンションローラ及び第２テンションローラを含むとともに前記供給ロール及び前記巻取ロールのそれぞれに接近及び離間するように昇降自在に支持され、
   前記第１テンション部材及び前記第２テンション部材を前記第１の支持体及び前記第２の支持体のそれぞれに近接した所定の固定位置で選択的に固定する第１の固定部材及び第２の固定部材をさらに備えた剥離用テープ供給装置。
2. 前記伝達部材は、前記操作部材に対する操作力を前記第１の固定部材及び前記第２の固定部材による前記第１テンション部材及び前記第２テンション部材の固定動作に変換して伝達する連動機構を含む請求項１に記載の剥離用テープ供給装置。
3. 前記供給ロール及び前記巻取ロールを個別に回転及び停止させる第１及び第２の駆動機構と、
   前記供給ロールにおける剥離用テープの残量及び前記巻取ロールにおける剥離用テープの巻取量を検出するテープ検出手段と、
   前記第１テンション部材及び前記第２テンション部材を前記固定位置で検出する位置検出手段と、
   前記テープ検出手段及び前記位置検出手段の検出結果に基づいて前記駆動機構の動作を制御する制御手段と、
   をさらに備えた請求項２に記載の剥離用テープ供給装置。
4. 前記テープ検出手段は、前記供給ロール及び前記巻取ロールのそれぞれに巻回された剥離用テープの外周面に上方から当接する第１の当接部及び第２の当接部を一体的に備えた揺動部材を揺動自在に支持し、前記第１の当接部及び前記第２の当接部のそれぞれの揺動位置に基づいて、前記供給ロール及び前記巻取ロールにおける剥離用テープの巻回量を検出する請求項３に記載の剥離用テープ供給装置。
5. 前記揺動部材は、剥離用テープの搬送に伴って回転する回転体の周面における回転方向が下向きの位置に下方から係合する係合部を備えた請求項４に記載の剥離用テープ供給装置。
6. 請求項１〜５の何れかに記載の剥離用テープ供給装置を備え、
   半導体ウェハに接着剤を介して貼り付けられた支持板を剥離した後に、前記剥離用テープ供給装置から供給された剥離用テープを介して半導体ウェハから接着剤を取り除くように構成された支持板剥離装置。

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