JP2008034708A - 半導体ウエハマウント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削ユニット1でウエハ裏面の外周に残存形成された環状凸部rを除去して半導体ウエハ全体を一様な厚さに形成し、該処理後のウエハWを搬送ユニット2のロボットアーム8で取り出して検査ユニット2で欠損を検査し、欠損のないウエハWをロボットアーム8でマウントフレーム作製ユニット3に搬送して支持用粘着テープDTを介してリングフレームfに貼付け支持し、表面から保護テープPTを剥離してマウントフレームMFを作製する。
【選択図】図1
Description
ウエハ裏面の外周に残存形成された環状凸部を除去して半導体ウエハ全体を一様な厚さに形成する研削ユニットと、
環状凸部が除去処理された半導体ウエハをロボットアームで取り出して次工程に送り出す搬送ユニットと、
前記ロボットアームで持ち込まれた半導体ウエハを支持用粘着テープを介してリングフレームに貼付け支持してマウントフレームを作製するマウントフレーム作製ユニットとを備え、
前記マウントフレーム作製ユニットには、前記ロボットアームによって持ち込まれた半導体ウエハを、保護テープが貼り付けられた表面を上向きにした姿勢で載置保持するアライメントステージと、
アライメントステージで位置合わせされた半導体ウエハを、貼り合わせ部に持ち込んでリングフレームに貼付けられている支持用粘着テープの上向き粘着面に貼り付ける貼合わせ手段と、
貼り合わせ作製されたマウントフレームにおける半導体ウエハの表面から保護テープを剥離する保護テープ剥離機構と、
を備えたことを特徴とする。
前記研削ユニットに、裏面外周に環状凸部が残存形成された半導体ウエハを多段に差込み収容したカセットを装填するウエハ供給部を備えた
ことを特徴とする。
前記搬送ユニットに、前記環状凸部の除去処理を受けた半導体ウエハの外周における欠損の有無を検査する検査ユニットと、欠損の検出された半導体ウエハを回収する不良品回収部を備えた
ことを特徴とする。
前記マウントフレーム作製ユニットに、リングフレーム供給部から取り出されたリングフレームの下面に帯状の支持用粘着テープを貼り付けてリングフレームに沿って切り抜くテープ処理部を備えてあることを特徴とする。
2 … 搬送ユニット
3 … マウントフレーム作製ユニット
8 … ロボットアーム
10 … 検査ユニット
12 … 不良品回収部
13 … アライメントステージ
15 … 検査ユニット
16 … リングフレーム供給部
18 … テープ処理部
19 … 貼合わせ部
22 … 保護テープ剥離機構
DT … 支持用粘着テープ
PT … 保護テープ
f … リングフレーム
MF … マウントフレーム
W … ワーク(半導体ウエハ)
b … 扁平凹部
r … 環状凸部
Claims (4)
- 表面に保護テープが貼り付けられるとともに、バックグラインドによって形成された扁平凹部を囲繞するように裏面外周に環状凸部が残存形成された半導体ウエハを処理対象とし、この半導体ウエハを支持用粘着テープを介してリングフレームに支持したマウントフレームを製造する半導体ウエハマウント装置であって、
ウエハ裏面の外周に残存形成された環状凸部を除去して半導体ウエハ全体を一様な厚さに形成する研削ユニットと、
環状凸部が除去処理された半導体ウエハをロボットアームで取り出して次工程に送り出す搬送ユニットと、
前記ロボットアームで持ち込まれた半導体ウエハを支持用粘着テープを介してリングフレームに貼付け支持してマウントフレームを作製するマウントフレーム作製ユニットとを備え、
前記マウントフレーム作製ユニットには、前記ロボットアームによって持ち込まれた半導体ウエハを、保護テープが貼り付けられた表面を上向きにした姿勢で載置保持するアライメントステージと、
アライメントステージで位置合わせされた半導体ウエハを、貼合わせ部に持ち込んでリングフレームに貼付けられている支持用粘着テープの上向き粘着面に貼り付ける貼合わせ手段と、
貼り合わせ作製されたマウントフレームにおける半導体ウエハの表面から保護テープを剥離する保護テープ剥離機構と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエハマウント装置。 - 請求項1に記載の半導体ウエハマウント装置において、
前記研削ユニットに、裏面外周に環状凸部が残存形成された半導体ウエハを多段に差込み収容したカセットを装填するウエハ供給部を備えた
ことを特徴とする半導体ウエハマウント装置。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体ウエハマウント装置において、
前記搬送ユニットに、前記環状凸部の除去処理を受けた半導体ウエハの外周における欠損の有無を検査する検査ユニットと、
欠損の検出された半導体ウエハを回収する不良品回収部と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエハマウント装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の半導体ウエハマウント装置において、
前記マウントフレーム作製ユニットに、リングフレーム供給部から取り出されたリングフレームの下面に帯状の支持用粘着テープを貼り付けてリングフレームに沿って切り抜くテープ処理部を備えた
ことを特徴とする半導体ウエハマウント装置。
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