KR100507259B1

KR100507259B1 - 시트 박리 장치 및 방법

Info

Publication number: KR100507259B1
Application number: KR10-1998-0023135A
Authority: KR
Inventors: 마사끼 쯔지모또; 히로시 사이또; 고지 오까모또; 겐지 고바야시; 쯔요시 구리따
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 1997-06-20
Filing date: 1998-06-19
Publication date: 2005-10-24
Also published as: TW396366B; US6149758A; KR19990007148A; SG75851A1; CN1089946C; EP0886299A2; PT886299E; EP0886299A3; DE69833237D1; MY126552A; CN1203181A; EP0886299B1; DE69833237T2

Abstract

반도체 웨이퍼에 부착된 보호 시트를 박리하도록 접착 테이프를 사용하는 장치 및 방법에 있어서, 감열 접착 테이프가 가열 공구에 의해 보호 시트의 모서리부에 열압착되고, 절단날이 소정의 길이로 접착 시트를 절단한 후, 테이프 박리부는 절단된 접착 테이프를 파지하고, 반도체 웨이퍼에서 보호 시트를 박리하도록 접착 테이프를 당기는 방향으로 이동하며, 박리된 시트는 폐기 상자로 접착 테이프와 함께 폐기된다.

Description

시트 박리 장치 및 방법 {SHEET REMOVING APPARATUS AND METHOD}

본 발명은 시트 박리 장치 및 방법에 관한 것으로, 상세하게는 반도체 웨이퍼 등의 판형 부재에 부착되는 시트를 박리하는 시트 박리 장치 및 방법에 관한 것이다.

반도체가 제조될 때, 박형이고 소형화된 반도체 칩을 생성하기 위해 반도체 웨이퍼(이하 "웨이퍼" 라 함)의 이면에 연마 공정이 실행되나, 그러한 연마 공정 전에는, 접착 필름 등으로 이루어진 보호 시트가 웨이퍼의 표면(예를 들면, 회로가가 형성된 면)에 접착된다. 다음에, 연마 공정이 완료된 후, 보호 시트가 박리된다.

보호 시트를 박리하는 종래 기술의 방법에서, 폭 25 mm ~ 50 mm의 감압 접착 테이프를 웨이퍼의 상부에 접합된 보호 시트에 부착시키는 데에 프레스 롤러가 사용되고, 다음에, 이 감압 접착 테이프는 웨이퍼에서 보호 시트를 박리하도록 당겨진다.

그러나, 이러한 방법은 보호 시트에 감압 접착 테이프를 부착시키기 위해 보호 시트에 대해 감압 접착 테이프를 압착하는 프레스 롤러의 사용을 포함하기 때문에, 그 압착력에 기인한 웨이퍼 손상의 위험이 있다. 특히, 웨이퍼가 보다 커지고 얇아지는 최근의 추세에서 볼 때, 그러한 웨이퍼 손상 위험을 고려하는 것이 필요하다.

상기한 종래 기술의 문제점을 고려하여, 본 발명의 목적은 판형 부재를 손상시키지 않고 반도체 웨이퍼 등의 판형 부재로부터 보호 시트 등의 시트를 박리하는 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

상기의 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 접착 테이프가 시트의 단부에 접합되고, 접착 테이프가 판형 부재에서 시트를 벗겨내도록 당겨진 후, 판형 부재에 부착된 시트를 박리하도록 접착 테이프를 사용하는 장치 및 방법을 제공한다. 바람직한 실시예에서, 접착 테이프는 감열 접착 테이프이다. 기준부가 판형 부재에서 형성된 경우에[예를 들면, 반도체 웨이퍼내 형성된 지향 평면부(orientation flat portion) 또는 V 노치], 그 기준부의 위치가 검출되고, 다음에, 접착 테이프가 기준부의 위치로부터 떨어진 위치에 위치한 시트의 단부에 접합된다.

더욱이, 판형 부재에 부착된 시트가 기부 필름 및 UV 경화형 접착층을 포함하는 UV 경화형 접착 시트(예를 들어, 최근에는 자외선 광에 의해 접착층의 접착력이 약화되어, 시트 박리를 용이하게 하도록 직경의 대형화 및 박형화의 웨이퍼 생산에 사용되어짐.)일 경우에는, 본 발명의 장치 및 방법은 판형 부재에 시트를 벗겨내도록 접착 테이프를 사용하기에 앞서 자외선 광으로 시트를 조사하는 것을 포함한다.

본 발명은 웨이퍼에 부착된 보호 시트를 박리하는 데에 특히 적합하지만 본 발명은 그러한 경우에 한정되지 않고, 대신에 본 발명은 판형 부재에 부착된 시트를 박리하기 위해 접착 테이프를 사용하는 통상의 장치 및 방법을 제공하는 것임에 유의해야 한다.

본 발명에 따른 웨이퍼 보호 시트를 박리하는 장치의 일예를 이하 설명하기로 한다.

이와 관련하여, 도1은 본 발명에 따른 보호 시트 박리 장치의 실시예의 평면도를 도시한 것이다. 이 도면에서 도시한 바와 같이, 보호 시트 박리 장치는 웨이퍼 공급부(600), 웨이퍼 이송부(700), 지향 평면 정렬부(800), UV 조사부(900) 및, 시트 박리부(950)로 구성된다. 다음에 각 부분의 설명을 하기로 한다.

도2는 도1에서 화살표 A를 따라 취한 웨이퍼 공급부(600)의 도면이고, 이 도면에서 도시한 바와 같이, 웨이퍼 공급부는 수직 방향으로 자유롭게 이동 가능하도록 지지부(601)에 장착된 2개의 안내 레일(603)과, 안내부(605) 및, 안내부(605)를 통해 안내 레일(603)에 장착된 테이블(607)을 포함한다. 볼 스크루(609)는 지지부(601)를 따라 제공되고, 볼 스크루(609)와 결합하는 플레이트(611)는 테이블(607)과 연결된다. 볼 스크루(609)는 벨트(613)를 통해 모터(615)에 의해 회전되고, 이 회전은 테이블(607)을 수직 방향으로 이동시킨다. 웨이퍼 운반체(웨이퍼 이송 용기)(617)는 테이블(607)의 상부에 배열하고, 웨이퍼 운반체(617)의 랙크에는 접착된 보호 시트를 구비한 복수개의 웨이퍼(W)가 적재되어 있다.

더욱이, 지지부(601)에는 플레이트(619)가 제공되고, 이 플레이트(619)는 웨이퍼 검출기(광 투과형, 광 반사형 등)(625, 627)가 제공된 플레이트(621,623)(도1)에 연결된다. 이러한 식으로, 웨이퍼 전달체(617)가 수직으로 이동하면서, 스텝 위치 및 웨이퍼(W) 수 등의 데이터가 검출기(625, 627)에 의해 검출된다.

이송부(700)에는 흡착 부재(703)가 제공된 팁부를 포함하는 다축 가동 아암(701)이 설치되어 있고, 이 흡착 부재(703)는 가동 아암(701)의 상부에 웨이퍼(W)가 운반될 수 있도록 흡착에 의해 웨이퍼(W)를 유지하도록 적용된다. 이와 관련하여, 가동 아암(701)은 도1의 쇄선 원(705)에 의해 도시된 영역 내에서 웨이퍼(W)를 운반할 수 있다.

다음에, 도3은 도1의 화살표 B를 따라 도시한 지향 평면 정렬부를 도시한 것이고, 도4는 그 평면도이다. 지향 평면 정렬부(800)는 웨이퍼(W) 내에 기준부로서 형성된 지향 평면부를 최초로 검출함으로써 위치 결정을 실행하고, 다음에, 지향 평면부가 접착 테이프의 접합부로부터 떨어지게 위치하도록 웨이퍼(W)를 회전시킨다.

이러한 구조에 따라서, 가동 아암(701)은 웨이퍼(W)를 흡착에 의해 적정 위치에 유지시킬 수 있는 흡착구가 설치된 턴테이블(801)의 상부에 웨이퍼(W)를 놓기 위해 사용된다. 턴테이블(801)은 모터(803)에 의해 회전되고, 실린더(805)에 의해 수직 이동된다. 턴테이블(801)의 어느 한 쪽에는 센터링 판(807)이 제공되어 있고, 이 센터링 판(807)은 실린더(809)에 의해 턴테이블(801)의 방향으로 이동가능하다. 센터링 판(807)에는 웨이퍼(W) 의 직경 크기에 부응하는 단부(807a)가 형성된다.

이러한 식으로, 웨이퍼(W)가 가동 아암(701)에 의해 이송되고, 턴테이블(801)의 상부에 놓여진 후, 센터링 판(807)은 웨이퍼(W)를 중심에 위치하도록 턴테이블(801)을 향하여 이동된다. 다음에, 웨이퍼(W)가 흡착에 의해 유지된 채, 턴테이블(801)이 회전된다. 이러한 상태에서, 광 투과형 또는 광 반사형 검출기(811)는 웨이퍼(W)의 지향 평면부를 검출하기 위해 웨이퍼(W)의 위 아래에 배열되고, 이 지향 평면부를 검출하는 중에, 턴테이블(801)은 소정의 각도량만큼 회전한 다음 멈춘다. 이러한 식으로, 웨이퍼(W)는 지향 평면부가 접착 테이프의 접합부의 위치에 있지 않도록 위치한다. 즉, 접착 테이프가 후술할 가열/절단부(500)(도13)에 의해 보호 시트에 접합될 때, 지향 평면부는 접착 테이프의 접합부로부터 이격되어, 접착 테이프를 보호 시트에 확실하게 접합할 수 있게 한다.

웨이퍼(W)가 위치 결정 중에 있을 때, 흡착에 의해 다음 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 유지 아암(813)은 웨이퍼(W)의 크기에 부응하는 위치(도4에서 쇄선 곡선 (813a, 813b)에 의해 도시됨)에서 턴테이블(801)의 위에 대기 상태로 배열된다.

다음에, 도5는 도1의 화살표 C를 따라 취한 UV 조사부(900)의 도면이고, 도시한 바와 같이, "L" 형 개구부(903)는 각도부(901)에 형성되며, 이 개구부(903)로부터 웨이퍼(W)는 도1에서 도시된 선(707)을 따라 가동 아암(701)에 의해 이송된다. 개구부(903)는 실린더(907)에 의해 구동되는 "L" 형 덮개(905)에 의해 개폐될 수 있다. 이러한 상태에서, 웨이퍼(W)는 흡착에 의해 테이블(909)의 상부에 유지된다. 더욱이, UV 조사부(900)는 그 중심에서 UV 램프(913)가 제공된 UV 램프실(911)을 포함한다. UV 램프(913)의 아래에는 실린더(915)에 의해 개폐되는 셔터(917)가 배열된다. 도면에 도시하지 않았지만, UV 램프실(911)내의 배출 공기는 배기 배출력에 의해 덕트(919)를 통해 강제 배기된다.

웨이퍼(W)가 테이블에 놓여질 때, 웨이퍼(W)는 흡착 수단(909a)에 의해 생성된 흡착에 의해 테이블(909)에 유지된다. 다음에, 덮개(905)는 닫히고, 셔터(917)는 개방되며, 웨이퍼(W)를 (흡착에 의해) 유지하는 테이블(909)은 자외선 광으로 웨이퍼(W)의 보호 시트의 접착면을 조사하도록 도5에서 도시한 좌측 방향으로 이동된다. 조사가 완료된 후, 테이블(909)은 다시 한 번 각도부(901)를 향해 돌아오고, 흡착 수단(909a)은 웨이퍼(W)에 흡착을 박리하도록 작동되며, 웨이퍼(W)는 가동 아암(701)에 의해 UV 조사부(900)에서 반출된다. UV 조사부(900)에서 반출된 후, 웨이퍼(W)는 다음에 도1에서 도시한 선(709)을 따라 시트 박리부(950)로 이송된다. 시트 박리부(950)의 상세한 설명은 후술하기로 한다.

이와 관련하여, 웨이퍼(W)에 사용된 보호 시트가 UV 경화형 접착 보호 시트가 아닐 때, UV 조사부(900)는 생략될 수 있다.

다음에, 보호 시트 박리 장치의 전체 작동을 설명하기로 한다. 그 작동의 과정은 다음과 같다.

(1) 웨이퍼 전달체(617)는 수동적으로 또는 자동 이송 장치에 의해 자동적으로 웨이퍼 공급부(600)의 테이블(707)의 상부에 놓여진다.

(2) 테이블(607)은 모터(615)의 구동력에 의해 수직 이동되고, 이것이 완료되면, 검출기(625, 627)가 웨이퍼 전달체(617)내의 웨이퍼(W)의 단 위치 및 매수 등의 데이터를 검출한다.

(3) 웨이퍼 전달체(617)의 최상단으로부터 출발하여, 웨이퍼(W)는 가동 아암(701)에 의해 1 매씩 취출되고, 지향 평면 정렬부(800)로 이송된다. 이러한 점에서, 테이블(607)은 상승되어 웨이퍼 전달체(617)를 1 단씩 상승시키고 가동 아암(701)이 연속적인 웨이퍼(W)를 각각 취출할 수 있게 한다.

(4) 지향 평면 정렬부(800)에서, 웨이퍼(W)는 센터링 판(807)에 의해 중심 위치에 있게 되고, 다음에, 웨이퍼(W)는 턴테이블(801)에 흡착에 의해 유지되며, 턴테이블(801)은 회전한다. 이 시간 동안, 가동 아암(701)은 웨이퍼 운반체(617)에서 다음 웨이퍼(W)를 취출하고, 대기 유지되는 웨이퍼 유지 아암(813)으로 이송시킨다.

(5) 웨이퍼(W)는 흡착에 의해 유지되면서, 턴테이블(801)에 의해 회전되고, 검출기(811)는 웨이퍼(W)의 지향 평면부를 검색한다. 검출기(811)가 웨이퍼(W)의 지향 평면부를 검출하고 나면, 웨이퍼(W)는 소정의 각도로만 더 회전되고, 그 위치에서 웨이퍼(W)에 대한 유지 흡착이 지속된 채 멈춘다.

(6) 웨이퍼(W)의 위치를 결정하고 난 후, 웨이퍼(W)는 가동 아암(701)에 의해 UV 조사부(900)로 이동된다.

(7) 자외선 광으로 조사된 후, 웨이퍼(W)는 가동 아암(701)에 의해 시트 박리부(950)로 이송되고, 시트 박리부(950)에서 웨이퍼(W)의 보호 시트가 박리된다.

(8) 보호 시트가 박리된 후, 웨이퍼(W)는 가동 아암(701)에 의해 시트 박리부(950)에서 반출되고, 상기한 단계에서 웨이퍼 전달체(617)에 놓여진다.

(9) 다음 웨이퍼(W)를 위해 상기한 동일 단계가 실행되어지며, 웨이퍼 전달체(617)내의 모든 웨이퍼(W)가 시트 박리를 받을 때, 웨이퍼 전달체(617)는 수동으로 또는 자동 이송 장치에 의해 자동으로 다음 공정으로 이송된다. 이와 관련하여, 웨이퍼(W)에 사용된 보호 시트가 UV 경화 접착 보호 시트가 아닐 경우, UV 조사부로 웨이퍼(W)를 운반하고, 자외선 광으로 웨이퍼(W)를 조사하는 단계는 상기한 과정에서 생략될 수 있다.

상기의 장치 및 방법에 따라, 판형 부재를 손상하지 않고도 웨이퍼 등의 판형 부재에서 보호 시트 등의 시트를 박리할 수 있고, 웨이퍼의 기준부(지향 평면부, V-노치 등)는 접착 테이프의 접합부에서 떨어져 위치하고 있기 때문에, 접착 테이프를 보호 시트에 확실하게 접합할 수 있으며, 이는 보호 시트를 확실하게 박리할 수 있게 한다.

본 발명은 웨이퍼(W)를 이송하는 수단으로서 가동 아암의 사용에 한정되지 않고, 대신에 기타 웨이퍼 이송 수단을 사용할 수 있는 것을 유의해야 한다. 더욱이, 각 부분의 배열은 상기한 실시예에 한정되지 않는다. 더욱이, UV 경화형 접착 보호 시트가 사용된 경우, 웨이퍼 공급부, 지향 평면부 및, UV 조사부의 순서대로 배열함으로써, 그리고, 비교적 시간이 걸리는 UV 조사 동안 웨이퍼의 위치 결정을 실행함으로써, 보다 효율적인 시간의 사용이 달성될 수 있고, 이는 정해진 시간내에 보다 많은 웨이퍼들을 처리할 수 있다.

다음에, 시트 박리부(950)를 상세하게 설명하기로 한다.

이와 관련하여, 도6은 시트 박리부(950)의 정면도이고, 도7 및 도8은 각각 그 측면도 및 평면도이다. 이 도면들에서 도시한 바와 같이, 시트 박리부(950)는 플랫폼(100), 테이블부(200), 테이프 공급부(300), 박리 헤드부(400) 및, 가열/절단부(500)로 구성된다.

먼저, 시트 박리부의 일반적인 구조를 설명하면, 접합된 보호 시트를 갖는 웨이퍼(W)는 테이블(200)에 의해 이송된다. 그동안, 테이프 공급부(300)에 의해 공급된 접착 테이프(T)는 박리 헤드부(400)에 의해 인출된다. 다음에, 가열/절단부(500)는 열압착으로 보호 시트의 단부에 접착 테이프(T)를 접합하고, 다음에 소정의 길이로 접착 테이프(T)를 절단한다. 그 다음에, 박리 헤드부(400)는 웨이퍼(W)에서 보호 시트를 박리하도록 접착 테이프를 잡고 당긴다. 이와 관련하여, 각 부분의 상세한 설명을 하기로 한다.

테이블부(200)에는 도면에서 도시된 X 방향으로 이동 가능하도록 플랫폼(100) 위에 제공된 2 개의 안내 레일(201)과 안내 레일(201) 위에 제공된 테이블(203)이 설치된다. 더욱이, 벨트(209)는 플랫폼(100)의 위로 풀리(205, 207)들의 사이에 걸려 있고, 풀리(205)는 모터(211)에 의해 회전된다. 벨트(209)는 커플링(213)에 의해 테이블(203)에 연결되고, 이러한 방식으로 테이블(203)은 모터(211)의 회전에 의해 안내 레일(201)을 따라 이동할 수 있다.

테이블(203)의 중심에는 실린더(215)에 의해 승강하는 승강 테이블(217)이 배열된다. 더욱이, 승강 테이블(217)의 중심과 일치하고, 웨이퍼 직경에 부응하는 직경을 가진 복수개의 각도 흡착 요홈(219)이 테이블에 형성되고, 이 흡착 요홈(219)의 각각에는 복수개의 흡착 구멍이 형성된다. 이러한 구조로, 웨이퍼(W)는 흡착 요홈(219)의 흡착 구멍에 부압이 가해져서 생성된 흡착에 의해 적정 위치에서 유지될 수 있다. 한편, 웨이퍼(W)는 테이블(203)에서 취출될 때, 흡착이 박리된 된 다음에 실린더(215)는 승강 테이블(217)을 상승하도록 구동된다.

이러한 실시예에 있어서, 접착 테이프(T)는 폴리에틸렌 테레프탈레이트 등의 내열 필름에 감열 접착제를 제공하여 만들어진 감열 접착 테이프를 포함하지만, 기본 재료에 감열 접착 특성을 제공함하여 만들어진 감열 접착 테이프를 사용할 수 있다. 접착 테이프(T)는 릴(301)에 세트되고, 테이프 공급부(300)에 공급된다. 더욱이, 스프링(302)(도7)은 릴(301)의 회전축에 마찰판을 통하여 마찰력을 인가하도록 릴(301)의 회전축에 제공된다.

도10에 도시한 바와 같이, 테이프 공급부(300)에는 서로간에 상호 가압 접촉하는 핀치 롤러(303) 및 인장 롤러(305)와, 안내 롤러(307), 핀치 롤러(308)가 설치된다. 테이프 공급부(300)의 하단부에는 축(310)을 통해 볼 부시(311)에 제공된 테이프 수용판(309)이 설치된다. X 방향으로 이동 가능한 테이프 수용판(309)은 통상 스프링(313)에 의해 돌출 방향(예를 들면, 도10의 좌측 방향)으로 바이어스된다.

릴(301)로부터 공급되고 핀치 롤러(308)와 안내 롤러(307)의 사이를 통과한 후, 접착 테이프(T)의 방향은 전환되고, 다음에 핀치 롤러(303)와 인장 롤러(305) 사이를 더 통과한 후, 접착 테이프(T)는 테이프 수용판(309)으로 보내어지고, 여기에서 테이프 압착판(315)에 의해 테이프 수용판(309)의 상부가 압착된다.

절단기 요홈(309a)은 테이프 수용판(309)의 전방 단부에 형성되고, 테이프 압착판(315)은 실린더(317)에 의해 구동된다. 더욱이, 타이밍 벨트(321)는 타이밍 풀리(319)로부터 인장 롤러(305)에 걸쳐 있고, 타이밍 풀리(319)는 모터(323)(도8)에 의해 구동된다. 인장 롤러(305)는 이송 방향의 반대 방향으로 접착 테이프(T)에 장력(백 텐션)을 가하기 위해 접착 테이프(T)의 이송 방향의 반대 방향으로 회전한다.

인장 롤러(305)의 후방부(도10의 우측)에는 테이프 수용판(309)의 상부에서 접착 테이프(T)의 후진을 방지하도록 테이프 압착 안내부(306)가 제공된다.

테이프 공급부(300)는 수직 방향(도면에서 Z축 방향)으로 이동 가능하다. 즉, 도7에서 도시된 바와 같이, 테이프 공급부(300)는 플랫폼부(100)에 제공된 기판(101)에 고정된 실린더(325)에 의해 Z축 방향으로 이동된다.

도7에서 더욱 도시한 바와 같이, 박리 헤드부(400)에는 박리 헤드(401)와 박리 헤드(401)를 지지하는 아암(403)이 설치되어 있고, 아암(403)은 X 축으로 자유롭게 이동 가능하도록 안내부(405)에 제공되어 있다. 아암(403)은 동력 전달 기구(미도시함)를 통하여 안내부(405)의 단부에 제공된 모터(407)에 의해 구동된다. 안내부(405)는 지지판(409)에 의해 플랫폼(100)의 위에 장착된다.

박리 헤드(401)에는 상부 죠오(411) 및 하부 죠오(413)로 구성된 테이프 척(412)이 설치되고, 상부 죠오(411)는 테이프 척(412)을 개폐하도록 실린더(415)에 의해 이동된다. 박리 헤드(401)에는 또한 접착 테이프(T)가 테이프 척(412)의 내측에 존재하는 지의 여부를 검출하도록 검출 센서(417)(광전 센서 등; 도10 참조)가 제공된다.

다음에, 가열/절단부(500)의 설명을 하기로 한다. 이와 관련하여, 도9a는 가열/절단부(500)의 확대 평면도이고, 도9b는 그 측면도이다. 더욱이, 가열/절단부(500)의 정면도가 도13에 도시되어 있다. 이 도면들에서 도시한 바와 같이, 막대형 가열기(503)가 가열 블록(501) 내에 파묻혀 있고, 가열 공구(505)가 스크루(507)에 의해 가열 블록(501)의 하단에 고정된다. 가열 공구(505)의 하단은 국부적으로 열이 가해질 수 있도록 도9b에 도시한 바와 같은 요철 형태를 가지도록 형성된다. 더욱이, 가열 공구(505)는 웨이퍼의 크기와 곡률에 따라 다양한 형태의 공구들이 사용될 수 있도록 교체 가능하다. 가열 블록(501)은 수직 방향(도면에서 Z축 방향)으로 자유롭게 이동 가능하도록 2 개의 안내축에 의해 프레임(508) 위에 장착되어, 프레임(508)에 고정된 실린더(509)에 의해 승강된다.

가열 블록(501)은 프레임(508)에 장착된 2개의 판형 테이프 압착 안내부(511)의 사이의 전후방(X축 방향)내에 끼워져 있다. 테이프 압착 안내부(511)는 예를 들어 폴리아미드 수지(polyimide resin) 또는 폴리에테르 에테르 케톤 수지(polyether ether ketone resin) 등의 내열성 부재로 만들어진다. 테이프 압착 안내부(511)의 상단부는 프레임(508)에 고정되고 하단부는 접착 테이프(T)를 자유롭게 압착할 수 있도록 둥글게되어 있다. 더욱이, 실린더(513)를 이동시키는 절단기는 테이프 압착 안내부(511)들 중 하나의 측부에 장착되고(도9a), 실린더(513)의 이동에 의해 Y 축 방향으로 왕복 이동되는 절단날(515)은 실린더(513)의 피스톤 팁부에 장착된다. 실린더(513)의 아래에 판형 테이프 프레스(517)가 배열되고, 절단날(515)이 통과 할 수 있도록 슬릿(517a)이 테이프 프레스(517)에 형성된다.

가열/절단부(500)는 수직 방향(도면에서 Z축 방향)으로 이동 가능하다. 즉, 가열/절단부(500)는 기판(101)에 고정된 실린더(519)(도8)에 의해 Z축 방향으로 이동된다.

다음에, 시트 박리부(950)의 작동을 다음의 단계1 내지 단계8에서 설명하기로 한다.

(단계1: 웨이퍼를 적정 위치에 세트한다)

웨이퍼(W)는 가동 아암(701)에 의해 테이블(203)의 상부의 적정 위치에 설정된다. 웨이퍼(W)가 테이블(213)에서 웨이퍼(W)의 크기에 부응하는 흡착 요홈(219)과 정렬된 후, 진공 장치(미도시함)가 흡착에 의해 웨이퍼(W)를 유지하도록 작동된 다음, 테이블은 테이프 공급부(300)(도10)의 아래로 직접 이동된다.

테이프 공급부(300)에서, 접착 테이프(T)는 사전에 안내 롤러(307), 핀치 롤러(303) 및, 인장 롤러(305)에 순서대로 걸려 있고, 접착 테이프(T)는 테이프 프레스(315)와 테이프 수용판(309)에 의해 그 팁부 근처에 유지된다. 더욱이, 인장 롤러(305)는 접착 테이프(T)에 적절한 백 텐션을 인가하도록 구동된다.

이 때, 박리 헤드부(400)의 테이프 척(412)은 개방된다. 다음에, 박리 헤드부(400)는 테이프 공급부(300)를 향하여 X 축 방향으로 이동된다. 더욱이, 박리 헤드부(400)의 이동은 테이블(203)이 이동과 동시에 실행될 수 있다.

(단계2: 접착 테이프(T)의 팁부를 파지한다)

도11에서 도시한 바와 같이, 박리 헤드부(400)는 테이프 수용판(309)을 후방으로 밀고, 이러한 수용판(309)의 후방 이동은 접착 테이프(T)의 팁부를 테이프 척(412)의 입구부내로 삽입시킨다. 이 때, 접착 테이프(T)는 인장 롤러(305)와 핀치 롤러(303)의 사이에 유지되고, 접착 테이프(T)는 테이프 압박 안내부(306)에 의해 후방으로부터 밀리기 때문에, 테이프 수용판(309) 위로 걸려 있는 접착 테이프(T)의 후방 이동 없이 테이프 수용판(309)만 후방 이동하며, 이러한 방법으로 접착 테이프(T)의 팁부는 확실하게 테이프 척(412)의 입구부내로 삽입된다. 접착 테이프(T)의 팁부가 센서(417)에 의해 검출될 때, 테이프 척(412)은 접착 테이프(T)의 팁부를 파지하도록 닫힌다. 다음에, 인장 롤러(305)에 의해 생성된 백 텐션이 해제되고 테이프 압착판(315)은 상승하고 접착 테이프(T)로부터 분리된다.

(단계3: 접착 테이프(T)를 인출한다)

도12에 도시한 바와 같이, 박리 헤드부(400)는 테이프 이송부(300)로부터 떨어지는 X 축 방향으로 이동되고, 이는 접착 테이프(T)가 인출되게 한다. 이때, 인장 롤러(305)는 백 텐션을 인가하도록 작동된다.

(단계4: 테이프(T)의 열압착 접합 및 절단)

도13에 도시한 바와 같이, 가열/절단부(500)는 하강하고, 테이프 압착 안내부(511)는 웨이퍼(W)의 부근으로 접착 테이프(T)를 아래로 민다. 접착 테이프(T)는 테이프 압착판(517, 315)에 의해 테이프 수용판(309)의 위에 압착된다. 그 후에, 가열기 승강 실린더(509)는 수 초 동안 웨이퍼(W) 팁부의 보호 시트(F)에 대항하여 가열 공구(505)를 가압하도록 구동되고, 이러한 방법으로 접착 테이프(T)는 열압착에 의해 보호 시트(F)에 접합된다. 이때, 테이블(203)의 위치는 웨이퍼(W)의 크기에 따라 조절된다. 이와 관련하여, 테이블(203)은 접착 테이프(T)가 열압착 접합을 받을 때까지 가열/절단부(500) 바로 밑의 위치로 이동될 수 있다. 그 다음에, 절단날(515)은 소정의 길이로 접착 테이프(T)를 절단하도록 Y 축 방향으로 이동된다.

(단계5: 테이프 공급부와 가열/절단부의 상승)

도14에 도시한 바와 같이, 테이프 공급부(300)와 가열/절단부(500)는 상승된다. 도면에서 도시한 바와 같이, 접착 테이프(T)와 보호 시트(F)의 접합 지점은 웨이퍼(W)의 단부 근처에 있다. 예를 들면, 웨이퍼(W)의 단부에서 접합 지점 (P)까지의 거리는 3 mm 이내 이다.

(단계6: 보호 시트의 박리)

도15에 도시된 바와 같이, 박리 헤드부(400)는 모터(407)에 의해 도면의 우측으로 이동되고, 테이블(203)은 모터(211)에 의해 도면의 좌측으로 이동되며, 이로써 보호 시트(F)가 박리 헤드부(400)에 의해 유지되고 웨이퍼(W)에서 벗겨진다. 이때, 보호 시트(F)가 수평 방향으로 당겨지도록 박리 헤드부(400)는 보호 시트(F)에 가능한 근접한 위치에서 접착 테이프(T)를 유지하는 것이 바람직하다. 이러한 식으로, 테이블(203)에 흡착에 의해 유지된 웨이퍼(W)가 테이블(203)에서 소정 위치를 벗어나 미끄러지는 것을 어렵게 하는 동시에, 웨이퍼(W)에의 응력을 최소화할 수 있다. 더욱이, 테이블(203)은 박리 헤드부(400)의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 동시에 이동되기 때문에, 박리 작동은 비교적 단기간에 종료될 수 있다.

(단계7: 보호 시트의 폐기)

도16에 도시한 바와 같이, 박리 헤드부(400)는 소정의 위치로 이동되었을 때, 접착 테이프(T)와 보호 시트(F)를 플랫폼(100) 내에 수납된 폐기 상자(103)로 낙하하도록 개방된다. 이때, 폐기는 위로부터 고압 공기를 분출함으로써 용이하게 될 수 있다.

(단계8: 웨이퍼의 취출)

테이블(203)이 원점 위치로 돌아올 때, 승강 테이블(217)은 상승되고, 웨이퍼(W)는 취출된다. 그러한 취출은 가동 아암(701)에 의해 실행될 수 있다.

상술한 바와 같이, 접착 테이프(T)는 보호 시트의 단부에 접착되기 때문에, 웨이퍼가 프레스 롤러에 의해 압착되는 종래의 기술 방법에서 발생되는 웨이퍼의 손상 등을 방지할 수 있고, 이는 본 발명이 직경의 대형화 및 박형화의 웨이퍼에서 보호 시트를 박리하는 데에 적합하게 한다. 접착 테이프로서, 웨이퍼 단부의 접착을 위해 상술한 감열 접착 테이프 등의 사용이 바람직하나, 단부와의 강력한 접합을 형성할 수 있는(예를 들면, 작은 표면적 위로 강력한 접합을 형성할 수 있는) 다른 형태의 접착 테이프도 사용될 수 있다.

더구나, 감열 접착 테이프가 접착 테이프(T)로서 사용될 때, 접착 테이프 T는 보호 시트(F)의 일부에 열압착되기 때문에, 프레스 롤러로서 웨이퍼를 압착함으로써 종래의 기술에서 발생되는 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 종래의 기술에서 사용된 감압 접착 테이프 등의 경우에, 연마 폐기물, 절단 폐기물, 또는, 수분이 보호 시트의 표면에 부착하면, 접착 테이프와 보호 시트의 접합이 약해지고, 이는 1 회의 박리 실행이 불완전하게 되는 것을 초래하거나 접착 테이프를 접합하기에 앞서 웨이퍼의 보호 시트가 청결하게 될 것을 필요로 한다. 그러나, 상기의 본 실시예에서 설명한 감열 접착 테이프를 사용함으로써, 보호 테이프의 표면에 오염물이나 수분이 부착되어도, 확실한 접합이 실행될 수 있다. 더욱이, 그러한 감열 접착 테이프는 실온에서 접착성을 가지고 있지 않기 때문에, 이송 롤러에서 표면 처리를 실행할 필요가 없고, 방출 라이너가 필요없으며, 그 결과 접착 테이프를 취급하는 것이 용이해진다. 더구나, 강력한 접착 접합을 형성할 수 있는 비교적 저가의 열 밀봉 재료를 사용할 수 있기 때문에, 본 발명은 자원을 절약할 수 있고, 저가이다.

더욱이, 상술한 장치에서 보호 시트의 단부와 접합하도록 감열 접착 테이프를 사용할 때, 웨이퍼의 단부는 전기 회로가 형성되지 않은 스텝부에 있기 때문에, 웨이퍼는 열압착이 실행될 때도 손상되지 않는다. 따라서, 감열 접착 테이프는 사용하기에 용이한 부가적 이점을 가진다.

더욱이, 상술한 본 실시예에는 소정의 길이로 접착 테이프를 절단하는 절단날을 포함하는 절단 수단이 제공되어 있지만, 본 발명은 그러한 구조에 한정되지 않고, 대신에 다양한 다른 절단 수단을 사용할 수 있다. 더욱이, 상술한 실시예로부터 절단 수단을 생략할 수 있다. 예를 들면, 적절한 길이의 스트립으로 미리 절단된 접착 테이프로 시작하고, 다음에 보호 시트(F)의 단부에 접합하도록 소정 길이의 접착 테이프 스트립을 사용한 후, 보호 시트(F)를 벗겨내도록 그 접착 테이프 스트립을 당김으로써 절단 단계를 박리할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 판형 부재의 손상 없이 웨이퍼 등의 판형 부재로부터 시트를 박리할 수 있게 한다.

도1은 본 발명에 따른 보호 시트 박리 장치의 실시예의 평면도.

도2는 도1의 화살표 A를 따라 취한 웨이퍼 공급부의 도면.

도3은 도1에서 화살표 B를 따라 취한 지향 평면 정렬부의 도면.

도4는 지향 평면 정렬부의 평면도.

도5는 도1에서 화살표 C를 따라 취한 UV 조사부의 도면.

도6은 본 발명에 따른 시트 박리부의 정면도.

도7은 본 발명에 따른 시트 박리부의 측면도.

도8은 본 발명에 따른 시트 박리부의 평면도.

도9a 및 도9b는 본 발명에 따른 가열/절단부의 평면도 및 측면도.

도10 내지 도16은 본 발명에 따른 시트 박리부의 동작을 나타낸 설명도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100: 플랫폼

300: 테이프 공급부

400: 박리 헤드부

500: 가열/절단부

600: 웨이퍼 공급부

700: 웨이퍼 이송부

800: 지향 평면 정렬부

900: UV 조사부

Claims

판형 부재에 부착된 시트를 박리하도록 접착 테이프를 사용하는 시트 박리 장치이며,

시트의 단부에 상기 접착 테이프를 접합하는 접합 수단과,

판형 부재로부터 시트를 박리하도록 상기 접착 테이프를 당기는 시트 박리 수단을 포함하고,

상기 접착 테이프가 접합되는 부위는 상기 시트의 일부인 시트 박리 장치.
판형 부재에 부착된 시트를 박리하도록 접착 테이프를 사용하는 시트 박리 장치이며,

판형 부재를 지지하는 테이블과,

상기 접착 테이프를 공급하는 테이프 공급 수단과,

시트의 단부에 테이프 공급 수단에 의해 공급된 상기 접착 테이프를 접합하는 접합 수단과,

판형 부재에 대해 상기 접착 테이프를 유지 및 이동하는 이동 수단을 포함하고,

상기 접착 테이프가 접합되는 부위는 상기 시트의 일부인 시트 박리 장치.
제2항에 있어서, 테이프 공급 수단으로부터 공급된 접착 테이프를 소정의 길이로 절단하는 절단 수단을 더 포함하는 시트 박리 장치.
접착 테이프를 사용하여 판형 부재에 부착된 시트를 박리하는 방법이며,

시트의 단부에 접착 테이프를 접합하는 단계와,

판형 부재로부터 시트를 박리하도록 접착 테이프를 당기는 단계를 포함하며,

상기 접착 테이프가 접합되는 부위는 상기 시트의 일부인 시트 박리 방법.
제1항에 있어서, 접착 테이프는 감열 접착 테이프인 시트 박리 장치.
제2항에 있어서, 접착 테이프는 감열 테이프인 시트 박리 장치.
제4항에 있어서, 접착 테이프는 감열 접착 테이프인 시트 박리 방법.
기준부가 형성된 판형 부재에 부착된 시트를 박리하도록 접착 테이프를 사용하는 시트 박리 장치이며,

판형 부재의 기준부의 위치를 검출하는 검출 수단과,

접착 테이프의 접합부로부터 떨어진 판형 부재의 기준부의 위치를 결정하는 위치 결정 수단과,

시트의 단부에 접착 테이프를 접합하는 접합 수단과,

판형 부재에서 시트를 박리하도록 접착 테이프를 당기는 시트 박리 수단을 포함하는 시트 박리 장치.
제8항에 있어서,

시트는 자외선 경화형 접착 시트이고,

시트 박리 장치는 자외선광으로 시트를 조사하는 자외선 조사 수단을 더 포함하는 시트 박리 장치.
접착 테이프를 사용하여 기준부가 형성된 판형 부재에 부착된 시트를 박리하는 방법이며,

판형 부재의 기준부의 위치를 검출하는 단계와,

기준부로부터 떨어진 위치에서 시트의 단부에 접착 테이프를 접합하는 단계와,

판형 부재로부터 시트를 박리하도록 접착 테이프를 당기는 단계를 포함하는 시트 박리 방법.
제10항에 있어서,

시트는 자외선 경화형 접착 시트이고,

시트 박리 단계를 실행하기 전에 자외선광으로 시트를 조사하는 단계를 더 포함하는 시트 박리 방법.