JP2003090988A - 液晶パネル洗浄装置および液晶パネル洗浄方法 - Google Patents
液晶パネル洗浄装置および液晶パネル洗浄方法Info
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- JP2003090988A JP2003090988A JP2001281380A JP2001281380A JP2003090988A JP 2003090988 A JP2003090988 A JP 2003090988A JP 2001281380 A JP2001281380 A JP 2001281380A JP 2001281380 A JP2001281380 A JP 2001281380A JP 2003090988 A JP2003090988 A JP 2003090988A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 液晶表示パネルの製造工程において、基板に
比較的強く付着した微小粒子を効果的に除去できるガラ
ス基板の洗浄方法を提供する。 【解決手段】 エアークリーナー法に加えて、洗浄の対
象となるガラス基板を所定の振動を発生する振動体に乗
せて加振する。即ち、ガラス基板１を振動体４により加
振することで付着した微小粒子を引き離し、エアー洗浄
をし易くした上で超音波エアーを吹き付け、微小粒子を
除去する。
比較的強く付着した微小粒子を効果的に除去できるガラ
ス基板の洗浄方法を提供する。 【解決手段】 エアークリーナー法に加えて、洗浄の対
象となるガラス基板を所定の振動を発生する振動体に乗
せて加振する。即ち、ガラス基板１を振動体４により加
振することで付着した微小粒子を引き離し、エアー洗浄
をし易くした上で超音波エアーを吹き付け、微小粒子を
除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示パネル
の製造工程における、ガラス基板の洗浄処理に用いられ
る超音波エアー液晶表示パネル洗浄装置および液晶パネ
ル洗浄方法に関する。
の製造工程における、ガラス基板の洗浄処理に用いられ
る超音波エアー液晶表示パネル洗浄装置および液晶パネ
ル洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、液晶パネルのガラス基板表面の洗
浄を行うにあたり、エアーをガラス基板の表面に吹き付
けて洗浄を行うエアー洗浄装置が用いられている。エア
ー洗浄装置は、液体洗浄の後に洗浄液を乾燥させるとき
に用いる他、ラビング（配向膜処理）後の異物である微
小粒子の除去に利用される。
浄を行うにあたり、エアーをガラス基板の表面に吹き付
けて洗浄を行うエアー洗浄装置が用いられている。エア
ー洗浄装置は、液体洗浄の後に洗浄液を乾燥させるとき
に用いる他、ラビング（配向膜処理）後の異物である微
小粒子の除去に利用される。
【０００３】図４は、従来の超音波エアークリーナーの
一例を示す構成図である。この超音波エアークリーナー
は、エアーを導入し且つ排出する機能を備えた筐体１１
内に、プレッシャーヘッド部１２と、バキュームヘッド
部１３と、プレッシャーヘッド部１２のエアー吹出口付
近に配置した圧電素子１４とを備えた構成である。この
超音波エアークリーナーは、プレッシャーヘッド部１２
から高圧のエアーを吹き付けると共に圧電素子１４を所
定の振動数で振動させ、超音波を乗せたエアーナイフを
ステージ２に載せたガラス基板１の表面に対して吹き付
ける。このエアーナイフの超音波によりガラス基板表面
に形成されている空気の保護層が破壊され、微小粒子が
ガラス基板上面から剥離される。そして、微小粒子はエ
アーナイフにより巻き上げられ、バキュームヘッド部１
３からエアーとともに吸引され、除去される。
一例を示す構成図である。この超音波エアークリーナー
は、エアーを導入し且つ排出する機能を備えた筐体１１
内に、プレッシャーヘッド部１２と、バキュームヘッド
部１３と、プレッシャーヘッド部１２のエアー吹出口付
近に配置した圧電素子１４とを備えた構成である。この
超音波エアークリーナーは、プレッシャーヘッド部１２
から高圧のエアーを吹き付けると共に圧電素子１４を所
定の振動数で振動させ、超音波を乗せたエアーナイフを
ステージ２に載せたガラス基板１の表面に対して吹き付
ける。このエアーナイフの超音波によりガラス基板表面
に形成されている空気の保護層が破壊され、微小粒子が
ガラス基板上面から剥離される。そして、微小粒子はエ
アーナイフにより巻き上げられ、バキュームヘッド部１
３からエアーとともに吸引され、除去される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の超音波エアークリーナーでは、超音波を乗せたエア
ーナイフにより空気の保護層を破壊して微小粒子の剥離
・除去を行うが、ガラス基板に対して比較的強く付着し
た微小粒子を効果的に除去できないという問題点があっ
た。
来の超音波エアークリーナーでは、超音波を乗せたエア
ーナイフにより空気の保護層を破壊して微小粒子の剥離
・除去を行うが、ガラス基板に対して比較的強く付着し
た微小粒子を効果的に除去できないという問題点があっ
た。
【０００５】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであって、液晶表示パネルの製造工程におけるガ
ラス基板の洗浄処理を、より確実に行うことができる液
晶パネル洗浄装置およびおよび液晶パネル洗浄方法を提
供することを目的とする。
たものであって、液晶表示パネルの製造工程におけるガ
ラス基板の洗浄処理を、より確実に行うことができる液
晶パネル洗浄装置およびおよび液晶パネル洗浄方法を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記のような観点から、
この発明は、エアーを吹き出すと共に前記エアーに超音
波を乗せてエアーナイフを生成し、前記エアーナイフを
液晶基板の洗浄面に吹き付ける超音波エアー洗浄手段
と、振動を発生する振動体を有し、前記振動体の振動を
前記液晶基板に伝えて前記液晶基板を所定振動数で加振
する加振手段と、を備えた液晶パネル洗浄装置である。
この発明は、エアーを吹き出すと共に前記エアーに超音
波を乗せてエアーナイフを生成し、前記エアーナイフを
液晶基板の洗浄面に吹き付ける超音波エアー洗浄手段
と、振動を発生する振動体を有し、前記振動体の振動を
前記液晶基板に伝えて前記液晶基板を所定振動数で加振
する加振手段と、を備えた液晶パネル洗浄装置である。
【０００７】この発明によれば、加振手段により液晶基
板を加振することで、液晶基板表面に付着した微小粒子
が引き離されるから、超音波による空気保護層の破壊作
用とあわせてエアーナイフによる洗浄効果を向上でき
る。なお、対象となる液晶基板には、ガラス基板の他に
フィルム液晶装置に用いる透明樹脂製の基板が含まれ
る。
板を加振することで、液晶基板表面に付着した微小粒子
が引き離されるから、超音波による空気保護層の破壊作
用とあわせてエアーナイフによる洗浄効果を向上でき
る。なお、対象となる液晶基板には、ガラス基板の他に
フィルム液晶装置に用いる透明樹脂製の基板が含まれ
る。
【０００８】また、この発明は、前記液晶基板を表面に
載せ且つ所定方向に移動可能なステージと、前記ステー
ジの裏面に当接するローラ面を有し、前記ローラ面が回
転しながら前記ステージの前記裏面と当接することによ
り前記ステージを移動させるローラ体と、を有し、前記
加振手段は、前記振動体がローラ体の前記ローラ面を振
動させることで前記液晶基板を所定振動数で加振する液
晶パネル洗浄装置である。
載せ且つ所定方向に移動可能なステージと、前記ステー
ジの裏面に当接するローラ面を有し、前記ローラ面が回
転しながら前記ステージの前記裏面と当接することによ
り前記ステージを移動させるローラ体と、を有し、前記
加振手段は、前記振動体がローラ体の前記ローラ面を振
動させることで前記液晶基板を所定振動数で加振する液
晶パネル洗浄装置である。
【０００９】振動子の振動に起因してローラ体のローラ
面が振動すると、ローラ面に当接支持されているステー
ジに振動が伝わり、ステージ上に載せた液晶基板が加振
される。これにより、液晶基板表面に付着した微小粒子
が引き離され、超音波による空気保護層の破壊作用とあ
わせてエアーナイフによる洗浄効果を向上できる。ま
た、ローラ体で回転支持しつつステージを移動できるの
で、洗浄処理を連続的に行なえる。
面が振動すると、ローラ面に当接支持されているステー
ジに振動が伝わり、ステージ上に載せた液晶基板が加振
される。これにより、液晶基板表面に付着した微小粒子
が引き離され、超音波による空気保護層の破壊作用とあ
わせてエアーナイフによる洗浄効果を向上できる。ま
た、ローラ体で回転支持しつつステージを移動できるの
で、洗浄処理を連続的に行なえる。
【００１０】また、この発明は、前記加振手段が、前記
振動体の振動面を前記ローラ体の前記ローラ面に摺動状
態で当接させ、前記ローラ面を所定振動数で加振する液
晶パネル洗浄装置である。
振動体の振動面を前記ローラ体の前記ローラ面に摺動状
態で当接させ、前記ローラ面を所定振動数で加振する液
晶パネル洗浄装置である。
【００１１】また、この発明は、前記加振手段が、前記
ローラ体に前記振動体を内蔵し、前記ローラ体の前記ロ
ーラ面を所定振動数で加振する液晶パネル洗浄装置であ
る。
ローラ体に前記振動体を内蔵し、前記ローラ体の前記ロ
ーラ面を所定振動数で加振する液晶パネル洗浄装置であ
る。
【００１２】また、この発明は、前記液晶基板を表面に
載せ且つ所定方向に移動可能なステージと、を有し、前
記加振手段は、前記ステージの裏面に前記振動体の振動
面を摺動状態で当接させ、前記ステージを所定振動数で
加振することにより、前記液晶基板を所定振動数で加振
する液晶パネル洗浄装置である。
載せ且つ所定方向に移動可能なステージと、を有し、前
記加振手段は、前記ステージの裏面に前記振動体の振動
面を摺動状態で当接させ、前記ステージを所定振動数で
加振することにより、前記液晶基板を所定振動数で加振
する液晶パネル洗浄装置である。
【００１３】そして、この発明は、エアーを吹き出すと
共に前記エアーに超音波を乗せてエアーナイフを生成す
るステップと、前記エアーナイフを液晶基板の洗浄面に
吹き付けると共に、前記液晶基板を加振させるステップ
と、を有する液晶パネル洗浄方法である。
共に前記エアーに超音波を乗せてエアーナイフを生成す
るステップと、前記エアーナイフを液晶基板の洗浄面に
吹き付けると共に、前記液晶基板を加振させるステップ
と、を有する液晶パネル洗浄方法である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
【００１５】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１にかかる液晶表示パネル洗浄装置の構成図であ
る。図２は、図１に示した液晶表示パネル洗浄装置の正
面図である。図３は、図１に示した液晶表示パネル洗浄
装置の下面図である。この液晶表示パネル洗浄装置１０
０は、ガラス基板１を載置し且つゴム等の弾性体からな
るステージ２と、ステージ２の裏面を支持しステージ２
の移動手段であるローラ体３と、ガラス基板１を加振す
る振動体４と、ステージ２に対面し且つ分離して設置さ
れる超音波エアー部１０とから構成されている。
の形態１にかかる液晶表示パネル洗浄装置の構成図であ
る。図２は、図１に示した液晶表示パネル洗浄装置の正
面図である。図３は、図１に示した液晶表示パネル洗浄
装置の下面図である。この液晶表示パネル洗浄装置１０
０は、ガラス基板１を載置し且つゴム等の弾性体からな
るステージ２と、ステージ２の裏面を支持しステージ２
の移動手段であるローラ体３と、ガラス基板１を加振す
る振動体４と、ステージ２に対面し且つ分離して設置さ
れる超音波エアー部１０とから構成されている。
【００１６】ステージ２は、ローラ体３に支持され、ロ
ーラ体３の回転により水平方向に移動可能に配置され
る。ローラ体３の軸には回転駆動用のモータが接続され
ている（図示省略）。振動体４は、ローラ体３のローラ
面に当接状態で設置される。なお、超音波エアー部１０
と、ステージ下部の振動体４とは、ガラス基板１の振動
位置と超音波が乗ったエアーナイフの吹き付け位置とが
重なり洗浄が有効に行われるように、ステージ２の垂直
線上に設置するのが好ましい。また、ステージ２に弾性
体を用いることにより、振動体４からの超音波振動をガ
ラス基板１に効果的に伝えることができる。なお、ステ
ージ２の移動は、前記ローラ体３によらず、別途設けた
アクチュエータ（図示省略）により行うようにしてもよ
く、その場合、ローラ体３はステージ２を支持し、ステ
ージ２の移動に伴い回転する。
ーラ体３の回転により水平方向に移動可能に配置され
る。ローラ体３の軸には回転駆動用のモータが接続され
ている（図示省略）。振動体４は、ローラ体３のローラ
面に当接状態で設置される。なお、超音波エアー部１０
と、ステージ下部の振動体４とは、ガラス基板１の振動
位置と超音波が乗ったエアーナイフの吹き付け位置とが
重なり洗浄が有効に行われるように、ステージ２の垂直
線上に設置するのが好ましい。また、ステージ２に弾性
体を用いることにより、振動体４からの超音波振動をガ
ラス基板１に効果的に伝えることができる。なお、ステ
ージ２の移動は、前記ローラ体３によらず、別途設けた
アクチュエータ（図示省略）により行うようにしてもよ
く、その場合、ローラ体３はステージ２を支持し、ステ
ージ２の移動に伴い回転する。
【００１７】超音波エアー部１０は、図４に示した従来
の超音波エアークリーナーと同構成であり、筐体１１
と、筐体１１に連結されエアーを導入および排出する配
管孔（図示省略）とから構成され、筐体１１内には、プ
レッシャーヘッド部１２と、バキュームヘッド部１３
と、プレッシャーヘッド部１２付近に配置した圧電素子
１４とから構成されている。なお、図４では筐体１１の
両端から超音波エアーを吹き出し、筐体１１の中央から
バキュームする構造を示したが、中央から超音波エアー
を吹き出し、両端からバキュームする構造のエアークリ
ーナー（図示省略）も使用可能であり、微小粒子の粒径
や微小粒子とガラス基板１との吸着強さに応じて使い分
けできる。また、超音波エアーナイフを生成できる超音
波エアークリーナーであれば当該構成に限定されない。
の超音波エアークリーナーと同構成であり、筐体１１
と、筐体１１に連結されエアーを導入および排出する配
管孔（図示省略）とから構成され、筐体１１内には、プ
レッシャーヘッド部１２と、バキュームヘッド部１３
と、プレッシャーヘッド部１２付近に配置した圧電素子
１４とから構成されている。なお、図４では筐体１１の
両端から超音波エアーを吹き出し、筐体１１の中央から
バキュームする構造を示したが、中央から超音波エアー
を吹き出し、両端からバキュームする構造のエアークリ
ーナー（図示省略）も使用可能であり、微小粒子の粒径
や微小粒子とガラス基板１との吸着強さに応じて使い分
けできる。また、超音波エアーナイフを生成できる超音
波エアークリーナーであれば当該構成に限定されない。
【００１８】図５は、図１に示したステージを示す斜視
図である。ステージ２は、ガラス基板１と接する面には
複数の溝部２１を有し、更にその溝部２１から繋がる一
ヶ所の真空導入口２２を有する。また、ガラス基板１
は、溝部２１を塞ぐように設置され、真空導入口２２か
ら真空ポンプ（図示せず）を用いて溝部２１内を真空吸
引することによりステージ２に固定する。なお、図５に
示したステージ２では、ガラス基板１が設置される部分
に複数の線状溝部２１が施されているが、この他に溝部
２１の形状として、例えばステージ２のガラス基板１が
設置される全体に放射状となる形状等を用いることもで
きる。
図である。ステージ２は、ガラス基板１と接する面には
複数の溝部２１を有し、更にその溝部２１から繋がる一
ヶ所の真空導入口２２を有する。また、ガラス基板１
は、溝部２１を塞ぐように設置され、真空導入口２２か
ら真空ポンプ（図示せず）を用いて溝部２１内を真空吸
引することによりステージ２に固定する。なお、図５に
示したステージ２では、ガラス基板１が設置される部分
に複数の線状溝部２１が施されているが、この他に溝部
２１の形状として、例えばステージ２のガラス基板１が
設置される全体に放射状となる形状等を用いることもで
きる。
【００１９】なお、ステージ２の材質としては、振動体
４からの振動を有効に伝え、ガラス基板１と真空吸着に
よる密着性がよく且つ使用による磨耗が少ない硬質ゴム
が好適である。また、上記実施の形態では、真空導入口
２２を弾性体５の移動方向側面としているが、ステージ
２の移動に支障のない位置であればどの位置であっても
よい。例えば弾性体５の下面に真空導入口２２を施した
場合、ステージ２の側面方向に真空ラインが突出しない
ため、狭いスペースに装置を設置する場合に有効であ
る。
４からの振動を有効に伝え、ガラス基板１と真空吸着に
よる密着性がよく且つ使用による磨耗が少ない硬質ゴム
が好適である。また、上記実施の形態では、真空導入口
２２を弾性体５の移動方向側面としているが、ステージ
２の移動に支障のない位置であればどの位置であっても
よい。例えば弾性体５の下面に真空導入口２２を施した
場合、ステージ２の側面方向に真空ラインが突出しない
ため、狭いスペースに装置を設置する場合に有効であ
る。
【００２０】なお、上記実施の形態ではステージ２全体
を弾性体で構成したが、ステージ２の一部を弾性体と
し、当該弾性体に前記ガラス基板１を載置してもよい
（図示省略）。例えばステージ２の上面を弾性体で構成
すると共に下層をステンレス等の金属で構成してもよ
い。この場合は、ローラ３との接触に起因する磨耗を低
減できる。また、ガラス基板１のステージ２への固定手
段は真空吸着に限らず、例えばガラス基板１の周囲を挟
持するクランプ装置等の固定部材を用いてもよい。この
場合、真空ポンプや真空ラインの設置が不要であるか
ら、液晶表示パネル洗浄装置をより簡易な構成にでき
る。
を弾性体で構成したが、ステージ２の一部を弾性体と
し、当該弾性体に前記ガラス基板１を載置してもよい
（図示省略）。例えばステージ２の上面を弾性体で構成
すると共に下層をステンレス等の金属で構成してもよ
い。この場合は、ローラ３との接触に起因する磨耗を低
減できる。また、ガラス基板１のステージ２への固定手
段は真空吸着に限らず、例えばガラス基板１の周囲を挟
持するクランプ装置等の固定部材を用いてもよい。この
場合、真空ポンプや真空ラインの設置が不要であるか
ら、液晶表示パネル洗浄装置をより簡易な構成にでき
る。
【００２１】また、ステージ２は、ローラ体３が回転す
ることにより水平方向に移動する。ステージ２を所定方
向に可動としたことでガラス基板１の全体を連続的に洗
浄できる。ローラ体３の材料としては、例えばステンレ
ス鋼、ニッケル・銅系合金、ニッケル・クロム系合金等
の耐食性の金属材料が好適である。また、振動体４は、
図２に示すようにローラ体３を挟んでステージ２の下部
に設置する。これにより、振動体４の振動がローラ体３
を介して、ステージ２上に載せたガラス基板１に伝えら
れ、ガラス基板１を加振できる。
ることにより水平方向に移動する。ステージ２を所定方
向に可動としたことでガラス基板１の全体を連続的に洗
浄できる。ローラ体３の材料としては、例えばステンレ
ス鋼、ニッケル・銅系合金、ニッケル・クロム系合金等
の耐食性の金属材料が好適である。また、振動体４は、
図２に示すようにローラ体３を挟んでステージ２の下部
に設置する。これにより、振動体４の振動がローラ体３
を介して、ステージ２上に載せたガラス基板１に伝えら
れ、ガラス基板１を加振できる。
【００２２】図６は、図１に示した振動体の構成図であ
る。振動体４は、筐体５上部に積層型の圧電素子８を設
け、その両端の電極に所定周波数の電圧を印加する電源
６を接続した構成である。なお、上記実施の形態では振
動体４の設置場所をローラ体３の垂直線下部としている
が、振動体４の振動がガラス基板１に伝達できる構成で
あればこれに限定されない。例えば振動体４をローラ体
３の水平側に設置してもよい。この場合、振動体４をロ
ーラ体３の下部に設置するよりも振動体４の高さ分のス
ペースが不要となり、スペースの限られた場所における
液晶表示パネル洗浄装置の設置には有効となる。
る。振動体４は、筐体５上部に積層型の圧電素子８を設
け、その両端の電極に所定周波数の電圧を印加する電源
６を接続した構成である。なお、上記実施の形態では振
動体４の設置場所をローラ体３の垂直線下部としている
が、振動体４の振動がガラス基板１に伝達できる構成で
あればこれに限定されない。例えば振動体４をローラ体
３の水平側に設置してもよい。この場合、振動体４をロ
ーラ体３の下部に設置するよりも振動体４の高さ分のス
ペースが不要となり、スペースの限られた場所における
液晶表示パネル洗浄装置の設置には有効となる。
【００２３】また、ローラ体３および振動体４の接触面
には、摩擦を低減するための摺動面を形成するのが好ま
しい。摺動面は、例えば溶射皮膜もしくはメッキ処理に
より形成するものとする。摺動面の材質には、耐磨耗性
の金属、例えば溶射であれば酸化アルミニウム、酸化ク
ロム等の酸化物やタングステンカーバイド、クロムカー
バイド等の炭化物、メッキはクロム、タングステン・モ
リブデン系合金、ニッケル等を用いるのが好ましい。ま
た、ローラ体３の表面を熱処理により硬化させて、摺動
面を形成してもよい。
には、摩擦を低減するための摺動面を形成するのが好ま
しい。摺動面は、例えば溶射皮膜もしくはメッキ処理に
より形成するものとする。摺動面の材質には、耐磨耗性
の金属、例えば溶射であれば酸化アルミニウム、酸化ク
ロム等の酸化物やタングステンカーバイド、クロムカー
バイド等の炭化物、メッキはクロム、タングステン・モ
リブデン系合金、ニッケル等を用いるのが好ましい。ま
た、ローラ体３の表面を熱処理により硬化させて、摺動
面を形成してもよい。
【００２４】次に、上記液晶パネル洗浄装置１００によ
る洗浄動作について説明する。まず、被洗浄物であるガ
ラス基板１をステージ２に載せ、上記ステージ２の溝部
２１内を真空吸引し、ガラス基板１を固定する。続い
て、ローラ体３を回転させて超音波エアー部１０の下位
置まで前記ステージ２を移動させる。ガラス基板１上に
は、図７（ａ）に示すように、異物である微小粒子Ｐが
付着しており、その微小粒子Ｐはエアー保護層７により
取り巻かれている。
る洗浄動作について説明する。まず、被洗浄物であるガ
ラス基板１をステージ２に載せ、上記ステージ２の溝部
２１内を真空吸引し、ガラス基板１を固定する。続い
て、ローラ体３を回転させて超音波エアー部１０の下位
置まで前記ステージ２を移動させる。ガラス基板１上に
は、図７（ａ）に示すように、異物である微小粒子Ｐが
付着しており、その微小粒子Ｐはエアー保護層７により
取り巻かれている。
【００２５】ここで、プレッシャーヘッド部１２から超
音波を乗せたエアーナイフＡをガラス基板１の洗浄面に
吹き付け、当該超音波により前記エアー保護層７を破壊
する。このときの圧電素子１４の振動数は２０ｋＨｚ〜
１０００ｋＨｚ程度とするのが好ましい。一方、これと
同時に振動体４を振動させると、振動体４の圧電素子８
とローラ３のローラ面とが当接しており、更にローラ面
とステージ２の裏面とが当接している結果、当該振動が
ローラ３を介してステージ２に伝達される（図中符号
Ｂ）。なお、振動体４の圧電素子８の振動数は、５０Ｈ
ｚ〜１００ｋＨｚ程度とするのが好ましい。これによ
り、図７（ｂ）に示すように、付着していた微小粒子Ｐ
がガラス基板１の表面から引き離される。この結果、殆
どの微小粒子ＰがエアーナイフＡにより巻き上げられて
バキュームヘッド部１３から吸い取られるから、ガラス
基板１の洗浄処理を確実に行えるようになる。
音波を乗せたエアーナイフＡをガラス基板１の洗浄面に
吹き付け、当該超音波により前記エアー保護層７を破壊
する。このときの圧電素子１４の振動数は２０ｋＨｚ〜
１０００ｋＨｚ程度とするのが好ましい。一方、これと
同時に振動体４を振動させると、振動体４の圧電素子８
とローラ３のローラ面とが当接しており、更にローラ面
とステージ２の裏面とが当接している結果、当該振動が
ローラ３を介してステージ２に伝達される（図中符号
Ｂ）。なお、振動体４の圧電素子８の振動数は、５０Ｈ
ｚ〜１００ｋＨｚ程度とするのが好ましい。これによ
り、図７（ｂ）に示すように、付着していた微小粒子Ｐ
がガラス基板１の表面から引き離される。この結果、殆
どの微小粒子ＰがエアーナイフＡにより巻き上げられて
バキュームヘッド部１３から吸い取られるから、ガラス
基板１の洗浄処理を確実に行えるようになる。
【００２６】図８は、上記液晶表示パネル洗浄装置の変
形例を示す構成図である。なお、図１に示した液晶パネ
ル洗浄装置１００と同様の構成要素には同一の符号を付
し、その説明を省略する。このように、ローラ体３のロ
ーラ面に複数の圧電素子３１を張り付けるようにしても
よい。この圧電素子３１に所定周波数の電圧を印加する
と、圧電素子３１に当接しているステージ２にその振動
が伝達され、ガラス基板１を加振できる。なお、同図に
示したようにローラ面に圧電素子３１を設ける他、図９
に示すように、ローラ体３０の内部に複数の圧電素子３
２を埋設してもよい。この場合、圧電素子３２の振動
は、ローラ面を介してステージ２に伝達される。また、
図８および図９に示した構成の他、圧電素子をローラ体
自体に内蔵しその振動がステージ２に伝達できるようで
あれば、圧電素子の設置位置は問わない。
形例を示す構成図である。なお、図１に示した液晶パネ
ル洗浄装置１００と同様の構成要素には同一の符号を付
し、その説明を省略する。このように、ローラ体３のロ
ーラ面に複数の圧電素子３１を張り付けるようにしても
よい。この圧電素子３１に所定周波数の電圧を印加する
と、圧電素子３１に当接しているステージ２にその振動
が伝達され、ガラス基板１を加振できる。なお、同図に
示したようにローラ面に圧電素子３１を設ける他、図９
に示すように、ローラ体３０の内部に複数の圧電素子３
２を埋設してもよい。この場合、圧電素子３２の振動
は、ローラ面を介してステージ２に伝達される。また、
図８および図９に示した構成の他、圧電素子をローラ体
自体に内蔵しその振動がステージ２に伝達できるようで
あれば、圧電素子の設置位置は問わない。
【００２７】この変形例に係る液晶パネル洗浄装置で
は、ローラ体３０に圧電素子３１、３２を内蔵するよう
にしたので、図１に示す液晶パネル洗浄装置１００のよ
うにローラ体３０と別に振動体４を設置する必要がなく
なるから、液晶パネル洗浄装置をコンパクト化できる。
は、ローラ体３０に圧電素子３１、３２を内蔵するよう
にしたので、図１に示す液晶パネル洗浄装置１００のよ
うにローラ体３０と別に振動体４を設置する必要がなく
なるから、液晶パネル洗浄装置をコンパクト化できる。
【００２８】（実施の形態２）図１０は、実施の形態２
に係る液晶パネル洗浄装置を示す斜視図である。図１１
は、図１０に示した液晶パネル洗浄装置の下面図であ
る。図１２は、図１０に示した液晶パネル洗浄装置の断
面図である。なお、図１に示した液晶パネル洗浄装置と
同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略
する。この液晶パネル洗浄装置２００は、上面に摺動面
を形成した平板状の振動体４０を備えた構成であり、ス
テージ２はこの振動体４０の上に設置される。ステージ
２は、図示しないアクチュエータにより所定方向に移動
可能である。
に係る液晶パネル洗浄装置を示す斜視図である。図１１
は、図１０に示した液晶パネル洗浄装置の下面図であ
る。図１２は、図１０に示した液晶パネル洗浄装置の断
面図である。なお、図１に示した液晶パネル洗浄装置と
同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略
する。この液晶パネル洗浄装置２００は、上面に摺動面
を形成した平板状の振動体４０を備えた構成であり、ス
テージ２はこの振動体４０の上に設置される。ステージ
２は、図示しないアクチュエータにより所定方向に移動
可能である。
【００２９】振動体４０は、ステンレス製の基材４１の
上面に積層型の圧電素子４２を形成し、この圧電素子４
２の上面に摺動面４３を形成した構成である。圧電素子
４２の両端の電極には所定周波数の電圧を印加するため
の電源４４が接続されている。また、摺動面４３は、上
記同様、溶射皮膜もしくはメッキ処理により形成するの
が好ましい。摺動面４３の材質には、耐磨耗性の金属、
例えば、溶射であれば酸化アルミニウム、酸化クロム等
の酸化物やタングステンカーバイド、クロムカーバイド
等の炭化物、メッキはクロム、タングステン・モリブデ
ン系合金、ニッケル等を用いることができる。
上面に積層型の圧電素子４２を形成し、この圧電素子４
２の上面に摺動面４３を形成した構成である。圧電素子
４２の両端の電極には所定周波数の電圧を印加するため
の電源４４が接続されている。また、摺動面４３は、上
記同様、溶射皮膜もしくはメッキ処理により形成するの
が好ましい。摺動面４３の材質には、耐磨耗性の金属、
例えば、溶射であれば酸化アルミニウム、酸化クロム等
の酸化物やタングステンカーバイド、クロムカーバイド
等の炭化物、メッキはクロム、タングステン・モリブデ
ン系合金、ニッケル等を用いることができる。
【００３０】圧電素子４２に所定周波数の電圧を印加す
ると、この圧電素子４２の振動が摺動面４３を介してス
テージ２に伝達され、ステージ２に載せたガラス基板１
が加振される。また、ステージ２が移動しても振動体４
０の摺動面４３とステージ２の裏面とが摺動しつつ当接
状態を維持するので、ガラス基板１を加振しながら連続
的に洗浄を行うことができる。
ると、この圧電素子４２の振動が摺動面４３を介してス
テージ２に伝達され、ステージ２に載せたガラス基板１
が加振される。また、ステージ２が移動しても振動体４
０の摺動面４３とステージ２の裏面とが摺動しつつ当接
状態を維持するので、ガラス基板１を加振しながら連続
的に洗浄を行うことができる。
【００３１】なお、この液晶パネル洗浄装置２００は、
振動体４０にステージ２を載せ、振動体４０上面との摺
動によりステージ２を移動することとしたので、上記実
施の形態１に比べローラ体とローラ軸を支える部材など
が不要となる。また、液晶パネル洗浄装置２００をコン
パクト化できる。
振動体４０にステージ２を載せ、振動体４０上面との摺
動によりステージ２を移動することとしたので、上記実
施の形態１に比べローラ体とローラ軸を支える部材など
が不要となる。また、液晶パネル洗浄装置２００をコン
パクト化できる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の液晶表
示パネル洗浄装置および液晶パネル洗浄方法では、エア
ーを吹き出すと共に当該エアーに超音波を乗せてエアー
ナイフを生成し、このエアーナイフを液晶基板の洗浄面
に吹き付けると共に、液晶基板を加振させて液晶基板の
洗浄を行うので、液晶基板表面の微小粒子を効果的に除
去できる。この結果、液晶パネルの洗浄処理を確実に行
うことができる。
示パネル洗浄装置および液晶パネル洗浄方法では、エア
ーを吹き出すと共に当該エアーに超音波を乗せてエアー
ナイフを生成し、このエアーナイフを液晶基板の洗浄面
に吹き付けると共に、液晶基板を加振させて液晶基板の
洗浄を行うので、液晶基板表面の微小粒子を効果的に除
去できる。この結果、液晶パネルの洗浄処理を確実に行
うことができる。
【図１】この発明の実施の形態１にかかる液晶表示パネ
ル洗浄装置の構成図である。
ル洗浄装置の構成図である。
【図２】図１に示した液晶表示パネル洗浄装置の正面図
である。
である。
【図３】図１に示した液晶表示パネル洗浄装置の下面図
である。
である。
【図４】従来の超音波エアークリーナーの一例を示す構
成図である。
成図である。
【図５】図１に示したステージを示す斜視図である。
【図６】図１に示した振動体の構成図である。
【図７】洗浄工程を示す説明図である。
【図８】液晶表示パネル洗浄装置の変形例を示す構成図
である。
である。
【図９】図８に示したローラ体の変形例を示す断面図で
ある。
ある。
【図１０】実施の形態２に係る液晶パネル洗浄装置を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図１１】図１０に示した液晶パネル洗浄装置の下面図
である。
である。
【図１２】図１０に示した液晶パネル洗浄装置の断面図
である。
である。
１００ 液晶パネル洗浄装置
１ ガラス基板
２ ステージ
３ ローラ体
４ 振動体
１０ 超音波エアー部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA21 FA25 FA30 HA01
MA20
2H090 JB02 JC19 JD13
3B116 AA02 AB38 BB85 BB88 BC05
5F031 CA05 HA02 HA03 HA14 HA23
HA48 HA56 HA57 LA10 MA23
Claims (6)
- 【請求項１】 エアーを吹き出すと共に前記エアーに超
音波を乗せてエアーナイフを生成し、前記エアーナイフ
を液晶基板の洗浄面に吹き付ける超音波エアー洗浄手段
と、 振動を発生する振動体を有し、前記振動体の振動を前記
液晶基板に伝えて前記液晶基板を所定振動数で加振する
加振手段と、 を備えた液晶パネル洗浄装置。 - 【請求項２】 前記液晶基板を表面に載せ且つ所定方向
に移動可能なステージと、 前記ステージの裏面に当接するローラ面を有し、前記ロ
ーラ面が回転しながら前記ステージの前記裏面と当接す
ることにより前記ステージを移動させるローラ体と、を
有し、 前記加振手段は、前記振動体がローラ体の前記ローラ面
を振動させることで前記液晶基板を所定振動数で加振す
る請求項１記載の液晶パネル洗浄装置。 - 【請求項３】 前記加振手段は、前記振動体の振動面を
前記ローラ体の前記ローラ面に摺動状態で当接させ、前
記ローラ面を所定振動数で加振する請求項２記載の液晶
パネル洗浄装置。 - 【請求項４】 前記加振手段は、前記ローラ体に前記振
動体を内蔵し、前記ローラ体の前記ローラ面を所定振動
数で加振する請求項２記載の液晶パネル洗浄装置。 - 【請求項５】 前記液晶基板を表面に載せ且つ所定方向
に移動可能なステージと、を有し、 前記加振手段は、前記ステージの裏面に前記振動体の振
動面を摺動状態で当接させ、前記ステージを所定振動数
で加振することにより、前記液晶基板を所定振動数で加
振する請求項１記載の液晶パネル洗浄装置。 - 【請求項６】 エアーを吹き出すと共に前記エアーに超
音波を乗せてエアーナイフを生成するステップと、 前記エアーナイフを液晶基板の洗浄面に吹き付けると共
に、前記液晶基板を加振させるステップと、 を有する液晶パネル洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001281380A JP2003090988A (ja) | 2001-09-17 | 2001-09-17 | 液晶パネル洗浄装置および液晶パネル洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001281380A JP2003090988A (ja) | 2001-09-17 | 2001-09-17 | 液晶パネル洗浄装置および液晶パネル洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003090988A true JP2003090988A (ja) | 2003-03-28 |
Family
ID=19105213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001281380A Pending JP2003090988A (ja) | 2001-09-17 | 2001-09-17 | 液晶パネル洗浄装置および液晶パネル洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003090988A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005104221A1 (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-03 | Lintec Corporation | シート貼付装置及び貼付方法 |
| JP2005310879A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Lintec Corp | 貼付テーブル |
| JP2009004611A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Lintec Corp | 剥離装置及び剥離方法 |
| US7616288B2 (en) | 2004-01-19 | 2009-11-10 | Nec Lcd Technologies, Ltd | Method of manufacturing liquid crystal display device with removal of contaminants after cleaning and drying |
| KR20190048148A (ko) * | 2017-10-30 | 2019-05-09 | 김정화 | 이송용 롤러조립체 |
| KR20220144196A (ko) * | 2021-04-19 | 2022-10-26 | 주식회사 한진기공 | 벨트컨베이어용 클리닝롤러 |
-
2001
- 2001-09-17 JP JP2001281380A patent/JP2003090988A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7616288B2 (en) | 2004-01-19 | 2009-11-10 | Nec Lcd Technologies, Ltd | Method of manufacturing liquid crystal display device with removal of contaminants after cleaning and drying |
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| JP2005310879A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Lintec Corp | 貼付テーブル |
| JP4509635B2 (ja) * | 2004-04-19 | 2010-07-21 | リンテック株式会社 | 貼付テーブル |
| JP2009004611A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Lintec Corp | 剥離装置及び剥離方法 |
| KR20190048148A (ko) * | 2017-10-30 | 2019-05-09 | 김정화 | 이송용 롤러조립체 |
| KR102018726B1 (ko) * | 2017-10-30 | 2019-09-05 | 김정화 | 이송용 롤러조립체 |
| KR20220144196A (ko) * | 2021-04-19 | 2022-10-26 | 주식회사 한진기공 | 벨트컨베이어용 클리닝롤러 |
| KR102472877B1 (ko) * | 2021-04-19 | 2022-12-01 | 주식회사 한진기공 | 벨트컨베이어용 클리닝롤러 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Effective date: 20040303 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 |