JP2002254378A

JP2002254378A - 液中ワーク取り出し装置

Info

Publication number: JP2002254378A
Application number: JP2001046901A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Akashi; 博明石
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2001-02-22
Filing date: 2001-02-22
Publication date: 2002-09-10

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】板状のワーク、例えば半導体ウエハ、液晶ガラ
ス等を、洗浄槽などの液中より取り出す場合の液中ワー
クの連続取り出し装置。【解決手段】周回する通気孔を有するベルトと、前記通
気孔を有するベルトの液中にある下走行部の上部に空気
を噴出することにより負圧を生じ、ワークを無接触状態
にて懸垂保持する無接触吸着具を設け、対象ワークを液
中から１枚づつ高速にて取り出すことができる無接触吸
着具にて構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、板状のワーク、例えば
半導体ウエハ、液晶ガラス等を洗浄槽等の液槽より取り
出す場合あるいは液槽中にあるワークを取り出す場合の
液中ワーク取り出し装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、板状のワーク、例えば半導体ウエ
ハ、液晶ガラス等の精密部品を洗浄槽から取り出す場
合、ロボット等の移載装置に装着した真空吸着パッドに
より吸着させて液槽外へ取り出している。

【０００３】また、実開昭６１−１９７０３７号は、穴
の開いたベルトの上面に空気吸引口を設けシートを吸引
し、シートをベルト下面に接触させて送り出す方式があ
る。

【０００４】その場合、液槽中のワークを吸着するため
に空気を吸引すると液も吸引するので、配管中に液が入
ったりあるいは真空ポンプや真空発生機器等に障害を生
じさせる。

【０００５】また真空吸着パッドにて吸着する場合は、
一度ワークを押さえつけるためワークが積層されている
場合は、複数枚のワークを搬送することがある。

【０００６】また搬送中、液の抵抗があるため搬送速度
をあげることもできない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、吸着具から液を吸引することなく、またワークを
損傷することなく、ワークを液槽から一枚づつ高速にて
取り出す装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願に於いて開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。

【０００９】液中に積層する板状のワークを順次取り出
す装置であって、上走行部と下走行部とを有して周回す
る通気孔を有したベルトの下走行部を液中のワークの上
部に配し、前期下走行部の上部に空気を噴出することに
より負圧を生じ、ワークを無接触状態にて懸垂保持する
無接触吸着具を設けたことを特徴とする液中ワーク取り
出し装置である。

【００１０】本発明にあっては、無接触吸着具より液中
のワークに向かって空気を噴出するとワークは無接触吸
着具に吸引され、無接触吸着具の下方に配されている通
気孔を有したベルトの下走行部の下面に密着する。

【００１１】この状態でベルトとが回転し前方へ進むと
同時に、ベルトの下走行部の下面に密着しているワーク
も前方へ送られ、ワークは前方にある無接触吸着具に吸
引され下走行部に密着し、さらに前方に送られ液槽外に
送り出される。

【００１２】

【実施例１】以下、本発明の実施例の形態を図面に基づ
いて詳細に説明する。

【００１３】図１は、本発明の一実施形態である液中ワ
ーク取り出し装置Ｅの側面断面図を、図２はその上平面
図を示す。

【００１４】無接触吸着具Ａは、図４に側面断面図を、
図５は下平面図を示すごとき本発明の発明者が発明した
特許第３０５４８９６号と同様のものを用い得る。

【００１５】無接触吸着具Ａは、椀状の基体２０の下部
にフランジ状の作動面２３を設け、内部に空間をクッシ
ョン室２１となし、クッション室２１の上面中央部に高
圧空気Ｃが流入するノズル１８を設け、ノズル１８の下
方にノズル１８の口径よりやや大きな径の偏向器２２を
設けて形成される。

【００１６】ノズル１８よりクッション室２１に流入し
た高圧空気Ｃは、偏向器２２に衝突し、流路をほぼ水平
に曲げられ作動面２３の下面に沿って排出する。

【００１７】その間、高速気流による減圧作用により、
無接触吸着具Ａの下面に負圧が発生する。

【００１８】液中ワーク取り出し装置Ｅにおいては、モ
ータ６により周回する通気孔を有するベルトＤの下走行
部２の後方部は、液槽４の液中１４に潜液しており、下
走行部２の前方部は、液槽外に突出しており収納箱５の
上部にまで達している。

【００１９】下走行部２の上方には後方部から前方部に
一定間隔を設けて無接触吸着具Ａa，Ａｂ，Ａｃ・・・
Ａｎが配列している。

【００２０】無接触吸着具Ａのノズル１８は、空気配管
１３、切替弁１１ａ、１１ｂ、１１ｃ・・・，配管１２
を介して高圧空気空気源（図示せず）に接続している。

【００２１】無接触吸着具Ａａ，Ａｂ，・・・Ａｎの前
後には、ワークの存在を感知するセンサー１０ａ，１０
Ｂ，・・・１０ｎが設けられており、空気切替弁１１
ａ、１１ｂ、・・・１１ｎを開閉させる。

【００２２】液槽４内には、液を噴出してワークＢを後
端部の無接触吸着具Ａａに吸引可能な位置まで移動およ
び重なっているワークＢをばらすことが可能な液ノズル
８，９が設けられている。

【００２３】上述の構成において、液中の最上部のワー
クＢが液ノズル８，９の噴流により、最後部に並列され
ている無接触吸着具Ａａの吸引可能距離まで達したこと
をセンサー２４が感知すると切替弁１１ａが開になり、
無接触吸着具Ａａに高圧空気Ｃが供給されワークＢが吸
引され、通気孔を有するベルトＤの下走行部２に密着
し、通気孔を有するベルトＤの移動と共に前方に送られ
る。

【００２４】ワークＢの移動により、無接触吸着具Ａｂ
の後に設けられたセンサー１０ｂによりワークＢの接近
を感知し切替弁１１ｂを開にし、無接触吸着具Ａｂに空
気を供給しワークＢを吸引する。

【００２５】ワークＢが進行しセンサー１１ｃにより通
過を確認すると、切替弁１１ｂを閉にし無接触吸着具Ａ
ｂへの高圧空気Ｃの供給を停止する。

【００２６】以下順次この動作を繰り返し、ワークＢは
下走行部２の最前端まで達して通気孔を有するベルトＤ
より脱着し、収納箱５に落下する。

【００２７】

【実施例２】図３には本発明の別の実施例の液中ワーク
取り出し装置Ｆの側面断面図を示している。

【００２８】周回する通気孔を有するベルトＤの液中に
ある下走行部１６を水平に配し、下走行部１６の前端部
の下方に液槽４外に突出するコンベア１７を設ける。

【００２９】下走行部１６の上方には無接触吸着具Ａが
配設されている。

【００３０】また下走行部１６とワークＢの２枚分の厚
み以下の間隙を設けて、２枚送り防止器１９をそなえて
いる。

【００３１】高圧空気Ｃ供給機構、センサー機構その他
は、前述の実施例１と同じ方式である。

【００３２】かような構成に於ける液中ワーク取り出し
装置Ｆにおいて、無接触吸着具Ａが液中のワークＢを吸
引し下走行部に密着させ、通気孔を有するベルトＤの移
動により下走行部１６の前端部より脱着し、ベルト１７
上に移載され液槽４外に送り出され、収納箱５に収納さ
れる。

【００３３】下走行部１６によりワークＢが送られる場
合、２枚重なっている場合は２枚送り防止器１９により
剥離され、１枚だけ送り出される。

【００３４】従って、本発明は無接触吸着具Ａより空気
を噴出することによりワークＢの吸引をするため液を吸
引することがなく、配管、弁、真空発生装置等に液によ
る障害を生じさせることがない。

【００３５】特にワークが食品の場合は、衛生面で優れ
ている。

【００３６】またワークを広い面で吸引するため、吸引
力が真空吸着パッドのように強力でないためワークを損
傷することがない。

【００３７】また通気孔を有するベルトＤの速度を変化
させることにより、取り出し速度を容易に制御可能であ
り、従来の真空吸着方式のロボット等の往復移載装置に
よる方式より高速化が可能である。

【００３８】本発明に用いられる無接触吸着具は、本実
施例に記載のもの以外に気体を噴出することにより負圧
を発生せしめ、ワークを無接触状態にて懸垂保持する保
持具でもよい。

【００３９】通気孔を有するベルトＤはメッシュ状の
他、通気性のものでもよく、また帯状、ひも状のベルト
を間隔を設けて無接触吸着具の下方に配設してもよい。

【００４０】また下走行部が液面より上方に設けるよう
に構成して、液面に浮上しているワークを取り出すこと
も可能である。

【００４１】

【発明の効果】本願に開示される発明のうち、代表的な
ものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のと
おりである。

【００４２】（１）液中のワークを一枚づつ液槽外に取
り出すことができる。

【００４３】（２）液を装置内に吸引することがない。

【００４４】（３）ワークを損傷しない。

【００４５】（４）高速取り出しが可能である。

【００４６】（５）衛生的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の側面断面図である。

【図２】本発明の実施例の上平面図である。

【図３】本発明の他の実施例の側面断面図である。

【図４】無接触吸着具Ａの側面断面図である。

【図５】無接触吸着具Ａの下平面図である。

【符号の説明】

２、１６，下走行部３、１５，上走行部４、液槽５，収納箱１０ａ，１０ｂ，・・・，１０ｎセンサー１１ａ，１１ｂ，・・・１１ｎ切替弁１７、コンベア１８、ノズル１９、２枚送り防止器２１クッション室２２、偏向器２３，作動面Ａ，Ａａ，・・・Ａｂ，Ａｎ無接触吸着具ＢワークＣ高圧空気Ｄ通気孔を有するベルトＥ，Ｆ液中ワーク取り出し装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液中の板状のワークを順次取り出す装置で
あって、上走行部と下走行部とを有して周回する通気孔
を有したベルトの下走行部を液中のワークの上部に配
し、前記下走行部の上部に空気を噴出することにより負
圧を生じ、ワークを無接触状態にて懸垂保持する無接触
吸着具を設けたことを特徴とする液中ワーク取り出し装
置。