JP2011151167A - ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハ搬送装置Aは、ウエハ群Wfを支持する支持手段2と、支持手段2に支持されたウエハ群Wfのうち少なくとも最上位に位置するウエハWf1を送り出す送出手段4と、ウエハ群Wfを保持可能な保持部材33を有し、保持部材33と支持手段2との距離が比較的遠くなる第1の状態と、保持部材33と支持手段2との距離が比較的近くなる第2の状態と、を切り替え可能な保持手段3と、を備えており、保持手段3が上記第1の状態であるときに、保持部材33にウエハ群Wfを供給可能であり、保持手段3が上記第2の状態であるときに、ウエハ群Wfを保持部材33から支持手段2に移し替えることが可能なことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
Lq 液体
Ls 液面
Wf ウエハ群
Wf1 ウエハ
x,x’,y,z,z’ 方向
1 ウエハ槽
2 支持手段
3 保持手段
4 送出手段
5 中継コンベア
6 装填コンベア
7 スタッカ
8 ノズル
10 基台
11 台座
12 起立壁
21 ガイド部材
22 支持部材
31 回動部材
32 軸心
33 保持部材
41 ローラ
42 無端ベルト
42a 吸着区間
42b 孔
42c ウエハ吸着面
43 バキュームボックス
431,432,433 区画室
43a 吸気口
43b 孔
44 ホース
45 脱水槽
46 ポンプ
47 バルブユニット
71 ポケット
121 エアシリンダ
122 伸縮ロッド
123 ナックルジョイント
211 空洞部
212 サーボモータ
213 スクリューシャフト
214 可動連結部
221,222 棒状部材
223 連結部材
224 土台部
225 規制部材
226 受台部
311 空洞部
312 ガイドレール
313 可動連結部
331,332 棒状部材
333 連結部材
334 土台部
335 壁部材
336 支持板
337 支持枠
338,339 受台部
Claims (20)
- 積層された複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送装置であって、
上記複数枚のウエハを支持する支持手段と、
上記支持手段に支持された上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを送り出す送出手段と、
上記複数枚のウエハを保持可能な保持部材を有し、上記保持部材と上記支持手段との距離が比較的大きくなる第1の状態と、上記保持部材と上記支持手段との距離が比較的小さくなる第2の状態と、を切り替え可能な保持手段と、
を備えており、
上記保持手段が上記第1の状態であるときに、上記保持部材に上記複数枚のウエハを供給可能であり、
上記保持手段が上記第2の状態であるときに、上記複数枚のウエハを上記保持部材から上記支持手段に移し替えることが可能なことを特徴とする、ウエハ搬送装置。 - 上記支持手段は、液体中に設置されており、
上記送出手段は、上記液体の液面に対して傾斜する送出方向に沿って上記ウエハを移動させ、上記ウエハを上記液体中から液体外へと送り出すように構成されている、請求項1に記載のウエハ搬送装置。 - 上記支持手段は、上記複数枚のウエハの積層方向が、上記送出方向に対して垂直となるように、上記複数枚のウエハを支持している、請求項2に記載のウエハ搬送装置。
- 上記支持手段は、上記送出方向に対して垂直な方向に延びるガイド部材と、上記複数枚のウエハを支持しつつ、上記ガイド部材に沿って移動可能な支持部材と、を有している、請求項3に記載のウエハ搬送装置。
- 上記支持部材は、上記送出方向に対して垂直な方向に沿って、上記送出手段により近づく方向に向けて、上記保持部材に保持された上記複数枚のウエハを押圧することにより、上記複数枚のウエハを上記保持部材から上記支持手段に移し替える、請求項4に記載のウエハ搬送装置。
- 上記保持手段は、一方の端部を回動中心として回動する回動部材を有しており、上記回動部材を回動させることにより上記第1の状態と上記第2の状態との切り替えを行う、請求項3ないし5のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
- 上記保持部材の少なくとも一部は、上記回動部材の一方の端部と他方の端部との間を移動可能なように形成されている、請求項6に記載のウエハ搬送装置。
- 上記保持手段が上記第2の状態であるときに、上記保持部材は、上記複数枚のウエハの積層方向が、上記送出方向に対して垂直となるように、上記複数枚のウエハを保持する、請求項3ないし7のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
- 上記保持手段が上記第1の状態であるときに、上記保持部材は、上記複数枚のウエハの積層方向が、上記液体の液面に対して垂直となるように、上記複数枚のウエハを保持する、請求項8に記載のウエハ搬送装置。
- 上記支持手段に支持された上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出することにより、上記複数枚のウエハどうしの間のいずれかに隙間を生じさせる少なくとも1つの液体噴出手段を備えている、請求項1ないし9のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
- 積層された複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送方法であって、
支持手段に支持された上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを送り出す送出工程と、
上記複数枚のウエハを保持可能な保持部材を有し、上記保持部材と上記支持手段との距離が比較的大きくなる第1の状態と、上記保持部材と上記支持手段との距離が比較的小さくなる第2の状態と、を切り替え可能な保持手段によって、上記支持手段に上記複数のウエハを搬送する搬送工程と、を有しており、
上記搬送工程は、上記保持手段を上記第1の状態とし、上記保持部材に上記複数枚のウエハを供給するウエハ供給工程と、上記保持手段を上記第2の状態とし、上記複数枚のウエハを上記保持部材から上記支持手段に移し替える積替工程と、を有していることを特徴とする、ウエハ搬送方法。 - 上記支持手段が、液体中に設置されており、
上記送出工程において、上記液体の液面に対して傾斜する送出方向に沿って上記ウエハを移動させることにより、上記ウエハを上記液体中から液体外へと送り出す、請求項11に記載のウエハ搬送方法。 - 上記送出工程において、上記支持手段は、上記複数枚のウエハの積層方向が、上記送出方向に対して垂直となるように、上記複数枚のウエハを支持している、請求項12に記載のウエハ搬送方法。
- 上記支持手段は、上記送出方向に対して垂直な方向に延びるガイド部材と、上記複数枚のウエハを支持しつつ、上記ガイド部材に沿って移動可能な支持部材と、を有しており、
上記積替工程の後に、上記支持部材を上記ガイド部材に沿って移動させる工程を行う、請求項13に記載のウエハ搬送方法。 - 上記積替工程は、上記送出方向に対して垂直な方向に沿って、上記送出手段により近づく方向に向けて、上記支持部材によって、上記保持部材に保持された上記複数枚のウエハを押圧することにより行われる、請求項14に記載のウエハ搬送方法。
- 上記保持手段は、一方の端部を回動中心として回動する回動部材を有しており、
上記搬送工程は、上記回動部材を回動させることにより上記第1の状態から上記第2の状態へと切り替える工程を有している、請求項12ないし15のいずれかに記載のウエハ搬送方法。 - 上記ウエハ供給工程と、上記回動部材を回動させることにより上記第1の状態から上記第2の状態へと切り替える工程との間に、
上記保持部材の少なくとも一部を、上記回動部材の一方の端部と他方の端部との間を移動させる工程を有している、請求項16に記載のウエハ搬送方法。 - 上記積替工程において、上記保持部材は、上記複数枚のウエハの積層方向が、上記送出方向に対して垂直となるように、上記複数枚のウエハを保持している、請求項12ないし17のいずれかに記載のウエハ搬送方法。
- 上記ウエハ供給工程において、上記保持部材は、上記複数枚のウエハの積層方向が、上記液体の液面に対して垂直となるように、上記複数枚のウエハを保持している、請求項18に記載のウエハ搬送方法。
- 上記支持手段に支持された上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出することにより、上記複数枚のウエハどうしの間のいずれかに隙間を生じさせるべく、上記複数枚のウエハの端面に向けて上記液体を噴出する工程を備えている、請求項12ないし19のいずれかに記載のウエハ搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011151167A true JP2011151167A (ja) | 2011-08-04 |
JP2011151167A5 JP2011151167A5 (ja) | 2013-03-07 |
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JP (1) | JP5502503B2 (ja) |
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